DE19714292C2 - Vorrichtung zur Übertragung einer Auslenkung eines Aktors - Google Patents
Vorrichtung zur Übertragung einer Auslenkung eines AktorsInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Übertragung einer
Auslenkung eines Aktors mit einer Druckkammer gemäß dem Ober
begriff des Patentanspruchs 1.
Aktoren werden beispielsweise in der Kraftfahrzeugtechnik
verwendet, um ein Servoventil oder ein Einspritzventil einer
Brennkraftmaschine zu öffnen. Die Bauart eines Aktors, insbe
sondere die Bauart eines piezoelektrischen Aktors, erfordert
die Übertragung der Auslenkung des Aktors, um beispielsweise
eine Hubübersetzung der Auslenkung oder eine Druckerhöhung
der Auslenkbewegung des Aktors zu erreichen.
Aus DE 42 32 225 A1 ist ein Verschiebungsverstärker für ein
piezoelektrisches Element bekannt, der eine Druckkammer auf
weist. Die Druckkammer ist durch mehrere Bauteile gebildet,
die über Membrane miteinander verbunden sind. Die Druckkammer
ist mit einem Übertragungsmedium gefüllt. Ein piezoelektri
scher Aktor liegt an einem Bauteil an. Durch eine Auslenkung
des piezoelektrischen Aktors wird das Bauteil gegenüber den
anderen Bauteilen verschoben. Die Übertragung der Auslenkung
erfolgt über ein weiteres Bauteil, das durch die Dehnung ei
ner zweiten Membran gegenüber dem Ausgangspunkt verschoben
wird.
Aus DE 195 43 131 A1 ist eine Anordnung zur hydraulischen
Stellwegtransformation eines piezoelektrischen Energiewand
lers bekannt. Der Stellwegtransformator weist eine Druckkam
mer auf, die mit einem Übertragungsmedium gefüllt ist. Die
Druckkammer ist von einer Membran begrenzt, an der ein piezo
elektrischer Aktor anliegt. Zudem ist an der Außenseite der
Druckkammer ein Metallfaltenbalg vorgesehen, der über einen
Verbindungskanal mit der Druckkammer verbunden ist. Bei der
Auslenkung des Aktors wird die Membran gegen die Druckkammer
bewegt und somit Übertragungsmedium in den Faltenbalg ge
drückt. Der Faltenbalg dehnt sich folglich aus und verschiebt
ein zugeordnetes Stellglied.
Die Aufgabe der Erfindung beruht darin, eine Vorrichtung zur
Übertragung einer Auslenkung eines Aktors bereitzustellen,
die einfach herzustellen ist.
Die Aufgabe der Erfindung wird durch die Merkmale des An
spruchs 1 gelöst.
Ein wesentlicher Vorteil der Erfindung beruht darin, daß die
zwei Bauteile, aus denen der Membranübersetzer im wesentli
chen aufgebaut ist, auf einfache Art und Weise dicht verbind
bar sind.
Vorteilhafte Ausbildungen und Verbesserungen der Erfindung
sind in den Unteransprüchen angegeben.
Die Erfindung wird anhand der Figuren näher erläutert; es
zeigen:
Fig. 1 eine erste Ausführungsform eines Membranübersetzers
mit einer Hartlötverbindung,
Fig. 2 eine zweite Ausführungsform des Membranübersetzers
mit einer Schraubverbindung,
Fig. 3 eine dritte Ausführung des Membranübersetzers mit
einer Bördelung und
Fig. 4 eine Druckkammer mit Elastomer.
Fig. 1a zeigt eine Vorrichtung zur Übertragung einer Auslen
kung eines Aktors 8, insbesondere eines Piezoaktors, auf ei
nen Aktuator, der vorzugsweise als Stellkolben 9 ausgebildet
ist. Die Übertragungsvorrichtung besteht im wesentlichen aus
zwei Bauteilen 1, 2, wobei das erste Bauteil 1 eine kreisför
mige Grundplatte 18 aufweist, die im Randbereich in einen im
wesentlichen senkrecht zur Grundplatte 18 ausgerichteten Be
grenzungsring 19 übergeht. Das erste Bauteil 1 weist somit
eine Topfform auf, in die das zweite Bauteil 2 teilweise ein
gebracht ist.
Das zweite Bauteil 2 besteht ebenfalls im wesentlichen aus
einer kreisförmigen zweiten Grundplatte 20, die im Randbe
reich in einen senkrecht zur zweiten Grundplatte 20 angeord
neten zweiten Begrenzungsring 21 übergeht. Die erste und die
zweite Grundplatte 18, 20 sind somit im wesentlichen parallel
zueinander angeordnet. Der erste Begrenzungsring 19 und der
zweite Begrenzungsring 21 sind konzentrisch zueinander ange
ordnet.
Das erste Bauteil 1 weist im Übergangsbereich zwischen der
ersten Grundplatte 18 und dem ersten Begrenzungsring 19 im
Innenbereich eine erste Dichtfläche 7 auf, die kreisförmig
umlaufend ausgebildet ist und in einem vorgegebenen Winkel a
zur Fläche der ersten Grundplatte 18 angeordnet ist.
Ebenso weist das zweite Bauteil 2 im Übergangsbereich zwi
schen der zweiten Grundplatte 20 und dem zweiten Begrenzungs
ring 21 im Außenbereich eine zweite Dichtfläche 6 auf, die
kreisförmig umlaufend ausgebildet ist. Die zweite Dichtfläche
6 ist in einem vorgegebenen zweiten Winkel b zur zweiten
Grundplatte 20 angeordnet.
Die Fig. 1d und 1e zeigen deutlich, daß die erste und die
zweite Dichtfläche 7, 6 vorzugsweise kegelstumpfförmig ausge
bildet sind und zwar vorzugsweise so, daß es zwischen der er
sten und der zweiten Dichtfläche 7, 6 einen Differenzwinkel d
gibt, der eine definierte, dichte und umlaufende Dichtkante
festlegt.
In Fig. 1d ist der erste Winkel a größer als der zweite Win
kel b und der Dichtwinkel d ist somit: (a - b)/2 = d.
In Fig. 1e ist der zweite Winkel b größer als der erste Win
kel a und somit der Dichtwinkel d: (b - a)/2 = d.
Der Dichtwinkel ergibt sich aus einer Sitzwinkeldifferenz,
die auch bei einer elastischen Verformung eine linienförmig
umlaufenden Dichtsitz mit hohen Linien- und Flächenlasten bei
vergleichsweise niedrigen Axialdriften gewährleistet. Auf
diese Weise wird eine hohe Dichtigkeit auch bei hohen Drücken
in der Druckkammer 3 gewährleistet.
Fig. 1f zeigt eine Flach-Dichtsitz, bei dem der erste Winkel
a gleich dem zweiten Winkel b ist und die erste und die zwei
te Dichtfläche 7, 6 im wesentlichen parallel zur Grundplatte
18 angeordnet sind.
Das zweite Bauteil 2 ist in den Innenbereich des ersten Bau
teils 2 in der Weise eingefügt, daß die zweite Dichtfläche 6
und die erste Dichtfläche 7 aufeinander gepreßt sind und so
mit eine dicht abgeschlossene Druckkammer 3 zwischen der er
sten Grundplatte 18 und der zweiten Grundplatte 20 ausgebil
det ist. Die Druckkammer 3 ist mit einem Übertragungsmedium,
vorzugsweise mit einem Hydrauliköl mit einer geringen Kom
pressibilität gefüllt.
Der zweite Begrenzungsring 21 weist oberhalb der zweiten
Dichtfläche 6 eine ringförmig umlaufende Nut 22 auf. Die Nut
22 dient im wesentlichen dazu, das beim Löten vom Verbin
dungsbereich 10 durchsickernde Hartlot aufzunehmen und vom
Dichtsitz, d. h. von der ersten und der zweite Dichtfläche 7, 6
fernzuhalten. Weiterhin ist zwischen dem ersten Begrenzungs
ring 19 und dem zweiten Begrenzungsring 21 ein Abflußbereich
11 ausgebildet. Im ersten Bauteil 1 sind Durchführungen 12
eingebracht, die mit dem Abflußbereich 11 in Verbindung ste
hen. Die Durchführungen 12 ermöglichen ein besseres Reinigen
und Entfernen von überschüssigem Hydrauliköl als Vorbereitung
für das folgende Hartlöten im Verbindungsbereich 10.
Oberhalb des Abflußbereichs 11 ist das erste Bauteil 1 mit
dem zweiten Bauteil 2 in einem Verbindungsbereich 10, der
vorzugsweise ringförmig umlaufend ausgebildet ist, fest mit
einander verbunden. Der Verbindungsbereich 10 wird durch eine
Hartlötverbindung oder eine Schweißverbindung zwischen den
parallelen Flächen des ersten und des zweiten Begrenzungsrin
ges 19, 21 gebildet. Durch diese feste Verbindung wird das
zweite Bauteil 2 mit der zweiten Dichtfläche 6 dicht umlau
fend auf die erste Dichtfläche 7 des ersten Bauteils 1 fi
xiert.
Im Innenbereich des zweiten Bauteils 2 ist innerhalb des
zweiten Begrenzungsrings 21 eine erste Ausnehmung 13 einge
bracht, die in Richtung auf das erste Bauteil 2 in eine zwei
te Ausnehmung 14 übergeht. Die zweite Ausnehmung 14 weist ei
nen kleineren Durchmesser als die erste Ausnehmung 13 auf.
Die erste und die zweite Ausnehmung 13, 14 sind jeweils zy
linderförmig ausgebildet.
Eine zweite Membran 5 ist unter der zweiten Ausnehmung 14 in
der zweiten Grundplatte 20 ausgebildet und weist vorzugsweise
die gleiche Fläche auf wie die Grundfläche der zweiten Aus
nehmung 14. Die zweite Membran 5 wird vorzugsweise durch ein
elastisches Material, insbesondere Federstahl gebildet. Eine
einfache Ausführung der zweiten Membran 5 besteht darin, daß
die zweite Grundplatte 20 im Bereich unter der zweiten Aus
nehmung 14 so dünn ausgebildet ist, daß die zweite Grundplat
te 20 unter der zweiten Ausnehmung 14 elastische Eigenschaf
ten entsprechend einer Membran aufweist.
Eine erste Membran 1 ist vorzugsweise gegenüberliegend zur
zweiten Membran 5 in der ersten Grundplatte 18 angeordnet und
besteht vorzugsweise aus einer entsprechend dünn ausgebilde
ten ersten Grundplatte 18, so daß die Grundplatte 18 elasti
sche Eigenschaften aufweist. In einer Weiterbildung der Er
findung ist in der ersten Grundplatte 18 eine separate erste
Membran 4 aus einem besonders elastischen Material, wie z. B.
Federstahl, eingebracht. Vorzugsweise ist in das erste oder
das zweite Bauteil 1, 2 eine Befüllungsbohrung 25 eingebracht,
über die nach dem dichten Verbinden des ersten und des zwei
ten Bauteils 1, 2 Übertragungsmedium in die Druckkammer 3 ge
füllt wird und anschließend die Befüllungsbohrung 25 ver
schlossen wird.
Die Funktion der Übertragungsvorrichtung der Fig. 1 wird im
folgenden näher erläutert: Ein piezoelektrischer Aktor 8
liegt an der ersten Membran 4 und ein Stellkolben 9 liegt an
der ersten Membran 5 an. Drückt nun der Aktor 8 gegen die er
ste Membran 4, so wölbt sich die erste Membran 4 in Richtung
auf die Druckkammer 3 aus. Durch das in der Druckkammer 3 be
findliche Übertragungsmedium wird die Auswölbung der ersten
Membran 4 in eine Auswölbung der zweiten Membran 5 umgesetzt,
die den an die zweite Membran 5 anliegenden Stellkolben 9 von
der Druckkammer 3 wegdrückt. Für eine optimale Übertragung
der Auslenkung ist die Druckkammer 3 blasenfrei mit einem
Übertragungsmedium mit geringer Kompressibilität gefüllt.
Durch die Federkonstanten der ersten und der zweiten Membran
4, 5 und durch eine entsprechende Wahl der Flächen der ersten
und der zweiten Membran 4, 5 wird eine entsprechende Übertra
gung der Auslenkung, Hubübersetzung der Auslenkung des Aktors
8 und/oder eine Kraftübersetzung erreicht.
Ein besonderer Vorteil der Übertragungsvorrichtung beruht
darin, daß diese im wesentlichen nur aus zwei Bauteilen 1, 2
aufgebaut ist, durch die besondere Form der zwei Bauteile 1,
2 einfach herzustellen ist und eine Befüllung der Druckkammer
3 ohne Lufteinschüsse auf einfache Art und Weise möglich ist.
Bei der Herstellung der Übertragungsvorrichtung wird das er
ste Bauteil 1 mit dem Übertragungsmedium in Innenbereich be
füllt, wobei jedoch mehr Übertragungsmedium eingefüllt ist,
als für die herzustellende Druckkammer 3 notwendig ist. An
schließend wird das zweite Bauteil 2 in den Innenbereich des
ersten Bauteils 1 eingelegt und in Richtung auf das erste
Bauteil 1 gedrückt. Dabei fließt überschüssiges Übertragungs
medium im Bereich der ersten und der zweiten Dichtfläche 7, 6
in den Abflußbereich 11 ab und aus dem Abflußbereich 11 über
die Durchführung 12 weiter.
Das zweite Bauteil 2 wird so fest in das erste Bauteil 1 ein
gedrückt, bis die erste und die zweite Dichtfläche 6, 7 ring
förmig umlaufend dicht aufeinander sitzen. Die Befüllung er
folgt vorzugsweise im Vakuum, damit im Öl gelöste Gasblasen
entweichen.
Anschließend wird das erste und das zweite Bauteil 1, 2 über
eine feste Verbindung des ersten und des zweiten Begrenzungs
rings 19, 21 im Verbindungsbereich 10 fixiert. Auf diese Wei
se ist gewährleistet, daß die Druckkammer 3 dicht abgeschlos
sen bleibt. Durch die ringförmig umlaufende Nut 22 und den
Abflußbereich 11 kann überschüssiges Übertragungsmedium ab
fließen. In einer einfachen Ausführung reicht der Abflußbe
reich 11 aus und es sind keine Durchführungen 12 notwendig.
Anstelle der Nut 22 kann auch eine entsprechende Ausnehmung
im ersten Bauteil 1 eingebracht sein.
Fig. 1b zeigt aus einer Seitenansicht die Übertragungsvor
richtung mit dem ersten Bauteil 1 und dem zweiten Bauteil 2,
wobei die Durchführungen 12 explizit sichtbar sind.
Fig. 1c zeigt die Übertragungsvorrichtung von oben, so daß
die symmetrische Kreisform der Übertragungsvorrichtung sicht
bar ist. Deutlich erkennbar ist auch der unterschiedlich gro
ße Durchmesser zwischen der ersten und der zweiten Ausnehmung
13, 14. Zudem ist die ringförmig umlaufende feste Verbindung
im Verbindungsbereich 10 sichtbar.
Fig. 2a zeigt eine zweite Ausbildung der Übertragungsvor
richtung, die im wesentlichen der ersten Ausführungsform der
Fig. 1 entspricht, wobei jedoch die Verbindung zwischen dem
ersten und dem zweiten Bauteil 1, 2 über ein Gewinde 23 er
reicht wird. In der Innenfläche des ersten Begrenzungsrings
19 und in der Außenfläche des zweiten Begrenzungsringes 21
ist jeweils ein Gewinde eingebracht, mit dem das zweite Bau
teil 2 in den Innenbereich des ersten Bauteils 1 einschraub
bar ist.
Das Herstellungsverfahren wird entsprechend der Ausführungs
form der Fig. 1 durchgeführt, wobei das zweite Bauteil 2 in
den Innenbereich des ersten Bauteils 1 eingeschraubt wird,
bis die erste und die zweite Dichtfläche 6, 7 dicht aufeinan
der liegen. Überschüssiges Übertragungsmedium wird auch in
diesem Fall in den Abflußbereich 11 abgegeben. Im ersten Bau
teil 1 sind vorzugsweise Durchführungen 12 eingebracht, über
die überschüssiges Übertragungsmedium aus dem Abflußbereich
11 abfließt.
Fig. 2b zeigt die Übertragungsvorrichtung von oben, wobei
deutlich das Gewinde 23 und die zweite Ausnehmung 14 erkenn
bar sind. In dieser Ausführungsform weist die erste Ausneh
mung 13 eine nur um etwas vergrößerte Grundfläche als die
zweite Ausnehmung 14 auf. Die erste Ausnehmung 13 ist als In
nenkantausnehmung 15 ausgebildet. Über die Innenkantausneh
mung 15 wird das zweite Bauteil 2 mit einem entsprechenden
Innenkantschlüssel in das erste Bauteil 1 eingeschraubt.
Fig. 3 zeigt eine Übertragungsvorrichtung entsprechend der
Fig. 1, wobei jedoch das zweite Bauteil 2 im ersten Bauteil
1 über eine Bördelung 17 gehalten wird. Dazu ist der erste
Begrenzungsring 19 im oberen Ende in Form einer Bördelung 17
in Richtung auf den Innenbereich des ersten Bauteils 1 umge
bogen. Zwischen der Bördelung 17 und dem zweiten Bauteil 2
ist eine Feder, vorzugsweise eine Tellerfeder 16, einge
bracht, die das zweite Bauteil 2 mit der zweiten Dichtfläche
6 gegen die erste Dichtfläche 7 des ersten Bauteils 1 drückt.
Für die Aufnahme der Tellerfeder 16 ist im oberen Randbereich
des zweiten Begrenzungsringes 21 eine ringförmig umlaufende
Ausnehmung eingebracht, in der die Tellerfeder 16 angeordnet
ist.
Die Ausführungsform der Fig. 3 wird auf folgende Weise her
gestellt: Im Innenbereich des ersten Bauteils 1 ist Übertra
gungsmedium eingefüllt und das zweite Bauteil 2 wird in den
Innenbereich des ersten Bauteils 1 eingepreßt. Anschließend
wird in die ringförmig umlaufende Ausnehmung eine Tellerfeder
16 eingelegt und daraufhin der obere Randbereich des ersten
Begrenzungsringes 19 in Richtung auf den Innenbereich umgebo
gen, so daß die Tellerfeder 16 gegen die umgebogene Bördelung
17 abstützt und das zweite Bauteil 2 mit der zweiten Dicht
fläche 6 dicht gegen die erste Dichtfläche 7 des ersten Bau
teils 1 drückt. Überflüssiges Übertragungsmedium wird in den
Abflußbereich 11 gedrückt. Der Abflußbereich 11 ist oberhalb
der ersten und der zweiten Dichtfläche 7, 6 zwischen dem er
sten Begrenzungsring 19 und dem zweiten Begrenzungsring 21
ausgebildet. Vorzugsweise sind in den ersten Begrenzungsring
19 Durchführungen 12 eingebracht, die mit dem Abflußbereich
11 in Verbindung stehen. Über die Durchführungen 12 kann
überflüssiges Übertragungsmedium aus dem Abflußbereich 11 ab
fließen.
Fig. 4 zeigt schematisch eine Druckkammer 3, die in einer
der Ausführungsformen der Übertragungsvorrichtung der Fig.
1 bis 3 angeordnet ist. Der wesentliche Unterschied dieser
Ausführungsform besteht darin, daß die Druckkammer 3 mit ei
nem elastischen Übertragungsmedium, einem Elastomer, gefüllt
ist. Zudem weist die Druckkammer 3 eine besondere Form zur
Übertragung der Auslenkung der zweiten Membran 5 auf eine
entsprechende Auslenkung der ersten Membran 4 auf. Dazu ist
die Druckkammer 3 in Richtung auf die erste Membran 4 als ko
nisch zusammenlaufender Kegelstumpf ausgebildet. Dadurch wird
die Übertragungswirkung des Elastomer in der Bewegungsrich
tung des Aktors 9 unterstützt.
Mit Elastomer als Übertragungsmedium wird das erste und das
zweite Bauteil 1, 2 vorzugsweise direkt durch einen Vulkani
sationsprozess über das Elastomer miteinander zu verbinden.
Durch die besondere Ausführung der Druckkammer 3 wird gewähr
leistet, daß sich das Elastomer vorzugsweise in axialer Rich
tung, das heißt von der zweiten Membran 5 in Richtung auf die
erste Membran 4, verformt und eine seitliche Ausdehnung be
grenzt wird.
Eine besonders vorteilhafte Art der Verbindung besteht darin,
das erste Bauteil 1 beim Einpressen des zweiten Bauteils 2 in
Vibration zu versetzen und somit leichter Luftblasen aus dem
Übertragungsmedium auszutreiben und über den Abflußbereich 11
abzugeben. Sobald der zweite Konus des zweiten Bauteils dicht
auf dem ersten Konus des ersten Bauteils aufliegt, werden das
erste und das zweite Bauteil 1, 2 mit einer definierten Kraft
gegeneinander verspannt und fixiert. Dadurch wird die Druck
kammer 3 hermetisch und blasenfrei verschlossen. Das Halten
der Spannkraft wird beispielsweise durch eine Verschraubung,
eine Bördelung, eine Lötverbindung, eine Klebeverbindung oder
eine Schweißverbindung sichergestellt.
Vorzugsweise wird die erste Membran 4 und/oder die zweite
Membran 5 bei der Herstellung der Übertragungsvorrichtung be
reits elastisch vorgespannt. Durch die Inkompressibilität des
Hydraulikmediums bleibt die Vorspannung auch nach der Montage
bestehen. Diese wirkt sich positiv gegen auftretende Spannun
gen und ermöglicht einen geringen Kraftbedarf bei der Über
tragung der Auslenkung.
Claims (13)
1. Vorrichtung zur Übertragung einer Auslenkung eines Aktors
(8) mit einer Druckkammer (3),
die von mindestens zwei Membranen (4, 5) begrenzt ist,
die mit einem Übertragungsmedium gefüllt ist, und
die im wesentlichen zwei Bauteile (1, 2) aufweist, dadurch gekennzeichnet,
die von mindestens zwei Membranen (4, 5) begrenzt ist,
die mit einem Übertragungsmedium gefüllt ist, und
die im wesentlichen zwei Bauteile (1, 2) aufweist, dadurch gekennzeichnet,
- - daß das erste Bauteil (1) eine erste Grundplatte (18) auf weist, die von einem im wesentlichen senkrecht zur ersten Grundplatte (18) angeordneten, umlaufenden ersten Randbe reich (19) umgeben ist, daß in der Grundplatte (18) eine erste Membran (4) angeordnet ist,
- - daß das zweite Bauteil (2) eine zweite Grundplatte (20) aufweist, daß in der zweiten Grundplatte (20) eine zweite Membran (5) angeordnet ist,
- - daß das zweite Bauteil (2) in den Innenbereich des ersten Randbereiches (19) eingebracht ist, und
- - daß das zweite Bauteil (2) umlaufend dicht am ersten Rand bereich (19) anliegt, so daß das erste und das zweite Bau teil (1, 2) die Druckkammer (3) begrenzen.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
das erste Bauteil (1) im Innenbereich des ersten Randberei
ches (19) eine erste Dichtfläche (7) mit einem ersten Nei
gungswinkel aufweist, daß das zweite Bauteil (2) eine umlau
fende zweite Dichtfläche (6) mit einem zweiten Neigungswinkel
aufweist, daß der erste und der zweite Neigungswinkel aufein
ander abgestimmt sind, so daß die erste Dichtfläche (7) und
die zweite Dichtfläche (6) umlaufend dicht aufeinander lie
gen.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich
net, daß das zweite Bauteil (2) von einem im wesentlichen
senkrecht zur zweiten Grundplatte (20) angeordneten zweiten
Randbereich (21) umgeben ist,
daß der erste und der zweite Randbereich (19, 21) oberhalb
der ersten und der zweiten Dichtfläche (7, 6) in einem Ver
bindungsbereich (10) miteinander in Wirkverbindung stehen, so
daß die erste Dichtfläche (7) dicht auf der zweiten Dichtflä
che (6) gehalten wird.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß
oberhalb der Dichtflächen (7, 6) und unter dem Verbindungsbe
reich (10) zwischen dem ersten und dem zweiten Randbereich
(19, 21) ein Abflußbereich (11) vorgesehen ist, der zur Auf
nahme von überschüssigem Übertragungsmedium oder zur Aufnahme
von Lot vorgesehen ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
im ersten oder im zweiten Randbereich (19, 21) eine Durchfüh
rung (12) vorgesehen ist, die mit dem Abflußbereich (11) ver
bunden ist, so daß Übertragungsmedium über die Durchführung
(12) aus dem Abflußbereich (11) abfließen kann.
6. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß
die Wirkverbindung im Verbindungsbereich (10) in Form einer
Verschraubung oder einer Lötverbindung oder einer Klebever
bindung ausgebildet ist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß
im Verbindungsbereich (10) der erste Randbereich (19) eine
nach innen gebördelte Abschlußkante (17) aufweist, daß zwi
schen der Abschlußkante (17) und dem zweiten Bauteil (2) eine
Feder (16) eingebracht ist, die das zweite Bauteil (2) und
das erste Bauteil (1) mit den Dichtungsflächen (6, 7) aufein
ander drückt.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch ge
kennzeichnet, daß die erste Membran (4) eine im Vergleich zur
zweiten Membran (5) unterschiedliche Fläche aufweist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
im ersten oder im zweiten Bauteil (1, 2) angrenzend an den
Abflußbereich (11) eine ringförmig umlaufende Nut (22) einge
bracht ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Druckkammer (3) mit einem elastischen Material, insbeson
dere mit Elastomer, gefüllt ist und der Druck von der ersten
zur zweiten Membran (4, 5) über eine Verformung des elasti
schen Materials übertragen wird.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß
die Druckkammer (3) ausgehend von der ersten Membran (4) in
Richtung auf die zweite Membran (5) konisch zusammenlaufend
ausgebildet ist, so daß die Verformung des elastischen Mate
rials in Richtung auf die zweite Membran (5) unterstützt wird
und die Verformung des Elastomer in Richtung senkrecht zur
zweiten Membran (5) unterdrückt wird.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9 dadurch ge
kennzeichnet, daß das erste oder das zweite Bauteil (1, 2) ei
ne Befüllungsbohrung (25) aufweist, über die nach dem dichten
Verbinden des ersten und des zweiten Bauteils (1, 2) Übertra
gungsmedium in die Druckkammer (3) gefüllt wird, und daß an
schließend die Befüllungsbohrung (25) verschlossen wird.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9 dadurch ge
kennzeichnet, daß das Übertragungsmedium mit Druck eingefüllt
ist.
Priority Applications (1)
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1997
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Patent Citations (2)
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