DE19712910A1 - Sensoreinrichtung - Google Patents

Sensoreinrichtung

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DE19712910A1
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sensor
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Gerhard Prof Dr Wiegleb
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SENSORS EUROPE GMBH, 40882 RATINGEN, DE
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SENSOR DEVICES GmbH
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    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/14Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature
    • G01N27/18Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature caused by changes in the thermal conductivity of a surrounding material to be tested
    • GPHYSICS
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Description

Die vorliegende Erfindung geht von einer gemäß dem Oberbegriff des Hauptanspruches konzipierten Sensoreinrichtung aus.
Derartige Sensoreinrichtungen werden beispielsweise zur Messung der Gaskonzentration in binären Gasgemischen mit Komponenten unterschiedlicher Wärmeleitfähigkeit (z. B. Wasserstoff in Luft) eingesetzt. Die Anwendungen für derartige Meßverfahren liegen in der Verfahrenstechnik (z. B. Cl2-Bestimmung in der Chlor-Alkali-Elektrolyse), der Energietechnik (Methanzahl-Bestimmung für Gasmotoren) und der Medizintechnik (z. B. Atemgasanalyse).
In der Zeitschrift Technisches Messen (12/95) ist eine Übersicht der verfügbaren Meßtechniken für die verschiedenen Anwendungen zusammengestellt.
Ein generelles Problem bei der Gasanalyse nach dem Wärmeleitverfahren ist die Trennung der Abkühlung (Aufheizung) des Sensorwiderstandes, durch die Änderung der Wärmeleitfähigkeit des Gasgemisches bei einer Konzentrationsänderung, von der Abkühlung des Sensorwiderstandes durch die Strömung (Gasaustausch) in der Meßkammer.
Durch die DE 35 02 440 und DE 35 17 240 ist eine Sensoreinrichtung (Hydros 100 der Fa. Rosemount) bekanntgeworden mit der diese Einflußeffekte minimiert werden können. Diese Einrichtung ist allerdings nur für Ansprechzeiten von < 1 sec. wirksam. Für sehr schnell ansprechende Sensoren im Bereich von < 500 msec. ist dieses Verfahren nicht geeignet, da der Gasaustausch in diesem Fall extrem schnell erfolgen muß.
Die vorliegende Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Sensoreinrichtung zu schaffen, die ein extrem schnelles Ansprechverhalten von « 1 sec. aufweist, ohne daß das Meßergebnis durch Strömungseinflüsse beeinträchtigt wird. Derartige Sensoreinrichtungen werden beispielsweise für schnelle Regelzwecke benötigt, um die Konzentration eines Gasgemisches anzupassen (Beispiel: Xenon-Gehalt in einem Narkose-Gasgemisch).
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die im kennzeichnenden Teil des Hauptanspruches gegebenen Merkmale gelöst. Eine solche Ausführung (siehe Fig. 2+3) ist deshalb vorteilhaft, da der Gasaustausch bei einer vorgegebenen Beströmung aufgrund der Kleinheit der Meßkammer (2), bedingt durch den mikromechanischen Aufbau des integrierten Wärmeleitfähigkeitssensors (4), sehr schnell erfolgen kann. Durch die geeignete Beströmung (180° zur Öffnung in der hutförmigen Abdeckung des Sensorwiderstandes) wird der Sensorwiderstand (11) auch nicht direkt angeströmt, so daß auch keine störenden Einflüsse (Abkühlung des Sensorwiderstandes (11) durch die notwendige Gasströmung) beobachtet werden können. Mit dieser Sensoreinrichtung lassen sich also extrem schnelle Konzentrationsänderung in einem Gasgemisch erkennen, ohne das eine Meßwertverfälschung, durch sich ändernde Strömungsverhältnisse, zu befürchten ist. Eine Beströmung (12) wie sie in Fig. 2 dargestellt ist, bei der ein Gasfluß in Richtung der Öffnung in der hutförmigen Abdeckung erfolgt, führt zu einer Aufsplittung der Gasströmung (12), so daß der Sensorwiderstand (11) durch diese Teilströmung abgekühlt wird und somit ein unspezifische Widerstandsänderung erfährt.
Zusätzlich besteht die Möglichkeit, durch den vorgeschalteten Bypaß (7) den Durchfluß (3) durch die Meßkammer (2) zu variieren. Dazu wird die Winkelstellung (siehe Fig. 3) zwischen dem Gasaustritt (8) in dem Sensorblock (1) und dem Gaseintritt in der Meßkammer (2) verändert. Für extrem hohe Gasdurchflüsse läßt sich somit eine einfache Anpassung des Meßkammerdurchflusses (3) realisieren.

Claims (7)

1. Sensoreinrichtung zur Erfassung und/oder Überwachung von Gaskonzentrationen in strömenden Medien mit einem Wärmeleitfähigkeitssensor (4) als Aufnehmersystem, der eine hutförmige Abdeckung (5) des Sensorwiderstandes (11) mit einseitiger Öffnung für den Gasaustausch aufweist und in einer Meßkammer (2) integriert ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Beströmung (3) der Meßkammer (2) um 180° versetzt zu der Öffnung in der hutförmigen Abdeckung (5) erfolgt.
2. Sensoreinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anströmung (8) über einen integrierten Bypass (7) in die Meßkammer (2) erfolgt.
3. Sensoreinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Wärmeleitfähigkeitssensor (4) ein mikromechanisches Element (6) eingesetzt wird.
4. Sensoreinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anströmung (8/9) und die Öffnung (10) der Meßkammer (2) nicht kongruent zueinander sind.
5. Sensoreinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Anströmung (8/9) und die Öffnung (10) in einem einstellbaren Winkel von 0° bis 90° zueinander stehen können.
6. Sensoreinrichtung nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Durchfluß (8) durch die Sensoreinrichtung geregelt wird.
7. Sensoreinrichtung nach Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensorblock (1) auf eine konstante Temperatur geregelt wird.
DE1997112910 1997-03-27 1997-03-27 Sensoreinrichtung Withdrawn DE19712910A1 (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004021304A1 (de) * 2004-04-29 2005-11-24 Abb Patent Gmbh Durchflussmessgerät

Cited By (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004021304A1 (de) * 2004-04-29 2005-11-24 Abb Patent Gmbh Durchflussmessgerät
DE102004021304B4 (de) * 2004-04-29 2018-12-13 Abb Ag Durchflussmessgerät

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