DE19704340A1 - Entfernungsmesser - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Entfernungsmesser, insbesondere einen einstrahligen Pulslaser-Entfernungsmesser mit einem Lichtsender, einem Lichtempfänger, einem im Sende- oder Empfangszweig gelegenen optischen Abschwächer und einer Zeitmeßeinheit zur Ermittlung der Lichtlaufzeit zwischen Aussendung und Empfang eines Lichtsignals.

Bekannte Entfernungsmesser der angegebenen Art sind oftmals nur mit großem wirtschaftlichen Aufwand herstellbar. Insbe­ sondere arbeiten die bekannten Entfernungsmesser nicht immer mit der in vielen Anwendungsfällen wünschenswerten Genauig­ keit.

Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, einen Entfernungs­ messer der eingangs angegebenen Art derart weiterzubilden, daß die Herstellungskosten gesenkt werden können und daß insbesondere auch dessen Meßgenauigkeit und dessen exakte Reproduzierbarkeit bei der Herstellung erhöht werden kann.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Lichtsender als einheitlicher und kompakter Baustein ausge­ bildet ist, in welchen eine Laserdiode, Anschlußelemente für die Laserdiode, eine Vorrichtung zur Referenzimpulsauskopp­ lung sowie ein Fasersteckanschluß zur Einkopplung des ausge­ sandten Lichts in eine Glasfaser integriert sind, und daß der Lichtempfänger ebenfalls als einheitlicher und kompakter Baustein ausgebildet ist, in welchen eine Photodiode, Anschlußelemente für die Photodiode, eine Vorrichtung zur Referenzimpulseinkopplung sowie ein Fasersteckanschluß zur über eine Glasfaser erfolgenden Einkopplung von Empfangs­ licht integriert sind.

Der erfindungsgemäße Entfernungsmesser zeichnet sich also dadurch aus, daß alle für die Erzeugung des Sendelichts, die Auskopplung eines Referenzimpulses sowie die Einkopplung des Sendelichts in eine Glasfaser benötigten Komponenten zu einem einzelnen, kompakten Baustein zusammengefaßt sind. Ebenso sind die Komponenten für die Einkopplung von Empfangs­ licht, die Einkopplung des Referenzimpulses sowie die Umwand­ lung der eingekoppelten Lichtsignale in elektrische Signale zu einem einheitlichen und kompakten Empfangsbaustein zusam­ mengefaßt.

Der Einsatz dieser beiden Bausteine führt auf vorteilhafte Weise zu einer einfachen Handhabbarkeit und damit auch zu einer schnelleren Montage, wobei sich gleichzeitig die Bau­ größe des Entfernungsmessers verringern läßt. Zudem werden bei der Montage des Entfernungsmessers aufwendige Justage­ arbeiten eingespart, da die optischen Komponenten von Sende- und Empfangsbaustein bereits innerhalb dieser Bausteine fest zueinander justiert sind, so daß bei der Montage des Entfer­ nungsmessers diesbezüglich keine weiteren Arbeiten mehr nötig sind.

Da erfindungsgemäß sowohl der Lichtsender als auch der Licht­ empfänger jeweils mit einem Fasersteckanschluß ausgestattet sind, läßt sich die Optik des Entfernungsmessers ohne Schwierigkeiten von dessen Elektronik trennen. Die Verbindung zwischen Optik und Elektronik kann auf einfache Weise mittels Lichtleitfasern hergestellt werden, die mit den genannten Fasersteckanschlüssen koppelbar sind. Diese Separierung von optischen und elektronischen Komponenten ist insbesondere dann von Vorteil, wenn der erfindungsgemäße Entfernungsmesser beispielsweise in explosionsgefährdeten Bereichen eingesetzt wird, in denen das Vorhandensein von elektronischen Bauteilen problematisch ist. In solchen Anwendungsfällen kann die Optik in explosionsgefährdeten Bereichen und die Elektronik außerhalb dieser Bereiche angeordnet werden.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist es auch möglich, den Sende- und den Empfangsbaustein zu einem einzigen Baustein zusammenzufassen. In diesem Fall ist es auf vorteilhafte Weise nicht mehr nötig, die beiden Baustei­ ne so zueinander justieren, daß der aus dem Sendebaustein ausgekoppelte Referenzimpuls korrekt in den Empfangsbaustein eingekoppelt wird, da bei Zusammenfassung beider Bausteine zu einem einzelnen Baustein die einzelnen Komponenten be­ reits so angeordnet werden können, daß eine korrekte Refe­ renzimpulseinkopplung sichergestellt ist.

Eine besonders vorteilhafte, geringe Baugröße des erfin­ dungsgemäßen Entfernungsmessers läßt sich dann erreichen, wenn der Sende- und/oder der Empfangsbaustein ein Volumen kleiner 1 cm³, bevorzugt kleiner 0,5 cm³ und insbesondere ein Volumen von ungefähr 0,2 cm³ besitzt.

Von Vorteil ist es weiterhin, wenn in den Sende-/Empfangs­ baustein vor und/oder hinter der Vorrichtung zur Referenz­ impulsauskopplung/Referenzimpulseinkopplung zumindest eine Linse, insbesondere eine Kollimatorlinse integriert ist. Bevorzugt ist sowohl im Sende- als auch im Empfangsbaustein sowohl vor als auch hinter der Vorrichtung zur Referenz­ impulsauskopplung/Referenzimpulseinkopplung genau eine Kolli­ matorlinse angeordnet.

Der erfindungsgemäße Sende-/Empfangsbaustein kann ein Gehäu­ se, insbesondere ein Edelstahlgehäuse aufweisen, in welchem die einzelnen Komponenten des jeweiligen Bausteins gehalten sind. Dieses Gehäuse wird vorzugsweise mit einem Durchbruch zur Referenzimpulsauskopplung/Referenzimpulseinkopplung aus­ gestattet, so daß ein Referenzimpuls beispielsweise direkt vom Sendebaustein in den Empfangsbaustein eingekoppelt wer­ den kann. Für die Referenzimpulsübertragung wird folglich keine Lichtleitfaser benötigt, wobei es grundsätzlich natür­ lich auch möglich ist, den Referenzimpuls über eine solche Lichtleitfaser oder auch über Umlenkspiegel zu übertragen.

Die Vorrichtung zur Aus-/Einkopplung des Referenzimpulses wird auf vorteilhafte Weise durch einen im jeweiligen Bau­ stein integrierten Strahlteilerspiegel realisiert. Bevorzugt ist es, wenn dieser Strahlteilerspiegel jeweils eine hohe Transmission aufweist, insbesondere kann die Transmission des Strahlteilerspiegels mehr als 90%, insbesondere mehr als 95% und bevorzugt zwischen 97% und 99% betragen. Eine derart hohe Transmission bedingt auf vorteilhafte Weise einen minimalen Energieverlust beim Aussenden und beim Empfang des zur Entfernungsmessung dienenden Lichtimpulses.

Die Laserdiode des Sendebausteins kann zur Erzeugung von Laserimpulsen mit einer Dauer zwischen 1 und 50 ns, bevor­ zugt mit einer Dauer von ungefähr 3 ns bei einer Leistung zwischen 1 und 50 W, bevorzugt bei einer Leistung von unge­ fähr 10 W ausgelegt sein.

Die Photodiode des Empfangsbausteins wird vorzugsweise als Avalanche-Photodiode ausgebildet, welche eine Bandbreite zwi­ schen 20 und 500 MHz, bevorzugt eine Bandbreite von ungefähr 200 MHz aufweist.

Der erfindungsgemäße Entfernungsmesser ist insbesondere dann zu einer besonders genauen Bestimmung der zu messenden Ent­ fernung in der Lage, wenn die verwendete Zeitmeßeinheit zur Ermittlung von Zeiten im ps-Bereich ausgelegt ist. Bevorzugt ist es dabei, wenn die Zeitmeßeinheit entsprechend der am 31.1.1997 unter dem Titel "Verfahren zur Bestimmung eines Zeitintervalls zwischen zwei Ereignissen" (Unser Aktenz.: S 6320) eingereichten deutschen Patentanmeldung der Anmel­ derin ausgebildet ist. Der Offenbarungsgehalt der letzt­ genannten Patentanmeldung wird hiermit ausdrücklich im Inhalt der vorliegenden Patentanmeldung erklärt.

Eine besonders kostengünstige Version des erfindungsgemäßen Entfernungsmessers läßt sich erreichen, wenn zur Ermittlung der nachfolgend noch beschriebenen Zeitintervalle im Rahmen der Zeitmeßeinheit lediglich zwei separate Zeitmesser einge­ setzt werden.

Von Vorteil ist es, wenn der optische Abschwächer im Empfangszweig des Entfernungsmessers zwischen einer Empfangs­ optik und dem Empfangsbaustein angeordnet wird. In diesem Fall ist sichergestellt, daß der Entfernungsmesser immer mit voller Sendeleistung arbeiten kann, da im Sendezweig keine Abschwächung erfolgt.

Der optische Abschwächer kann als motorbetriebene Blende, insbesondere als motorbetriebene Kurvenscheibe oder Iris­ blende ausgebildet werden. Ebenso ist es jedoch möglich, den optischen Abschwächer als mikromechanische Baugruppe aus zu­ führen, wobei hier eine Vielzahl von konkreten Ausführungs­ formen realisierbar sind.

Eine besonders bevorzugte Ausführungsform einer solchen mikromechanischen Baugruppe liegt dann vor, wenn der opti­ sche Abschwächer einen mechanischen, insbesondere einen piezomechanischen Steller zur Verschiebung einer zwischen zwei einander gegenüberliegenden Glasfaser-Enden positionier­ baren Blende umfaßt.

Eine weitere bevorzugte Ausführungsform der genannten mikro­ mechanischen Baugruppe besteht in einem optischen Abschwä­ cher, der einen mechanischen, insbesondere einen piezomecha­ nischen Steller zur relativ zueinander erfolgenden Verschie­ bung von zwei einander gegenüberliegenden Glasfaser-Enden umfaßt.

Ein besonders fehlerfreier Betrieb eines erfindungsgemäßen Entfernungsmessers ist beispielsweise dann möglich, wenn der optische Abschwächer so eingestellt wird, daß Referenz- und Empfangssignal die gleiche Amplitude und/oder die gleiche Impulsbreite aufweisen.

Dabei können die Impulsbreiten von Referenz- und Empfangs­ signal mittels der Zeitmeßeinheit bestimmt werden, wobei der optische Abschwächer so lange verstellt wird, bis beide Impulsbreiten gleich groß sind.

Für die Regelung der Impulsbreiten bzw. Amplituden von Referenz- und Empfangssignal bieten sich prinzipiell zwei unterschiedliche Verfahren an:

Zum einen ist es möglich, im Rahmen jeder Sendeimpulsaussen­ dung den zeitlichen Abstand von Referenz- und Empfangsimpuls sowie auch die Impulsbreiten von Referenz- und Empfangs­ impuls zu bestimmen, wobei im Falle ungleicher Impulsbreiten der optische Abschwächer so lange verstellt wird, bis auf folgenden Sendeimpulsaussendungen gleiche Impulsbreiten fest­ gestellt werden.

Andererseits ist es jedoch auch möglich, die Impulsbreiten von Referenz- und Empfangsimpuls nur bei jeder n-ten Sende­ impulsaussendung zu bestimmen, woraufhin dann bei ungleichen Impulsbreiten der optische Abschwächer zur Erzeugung glei­ cher Impulsbreiten verstellt wird. In diesem Fall kann n beispielsweise < 100, insbesondere ungefähr gleich 1000 sein.

Wenn die Referenz- und Empfangsimpulsbreiten nur bei jeder n-ten Sendeimpulsaussendung bestimmt werden, ist es von Vor­ teil, daß die Ermittlung des zeitlichen Abstandes von Referenz- und Empfangsimpuls und die Ermittlung der genann­ ten Impulsbreiten unter Verwendung von nur zwei Zeitmessern erfolgen kann, was sich positiv auf die wirtschaftliche Her­ stellbarkeit des erfindungsgemäßen Entfernungsmessers aus­ wirkt.

Weitere bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispie­ len unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben; in diesen zeigen:

Fig. 1 ein Blockschaltbild eines erfindungsgemäßen Entfer­ nungsmessers,

Fig. 2 die vergrößerte Darstellung eines Sendebausteins,

Fig. 3 einen möglichen zeitlichen Verlauf von Referenz­ impuls und Empfangsimpuls,

Fig. 4 eine erste mögliche Ausführungsform eines als mikro­ mechanische Baugruppe ausgebildeten optischen Abschwächers, und

Fig. 5 eine zweite mögliche Ausführungsform eines als mikro­ mechanische Baugruppe ausgebildeten optischen Abschwächers.

Fig. 1 zeigt ein Blockschaltbild eines erfindungsgemäßen Ent­ fernungsmessers mit einem Sendebaustein 1 und einem Empfangs­ baustein 2. Der nähere Aufbau des Sendebausteins 1 wird in Verbindung mit Fig. 2 näher erläutert.

Der Sendebaustein 1 wird von einer Steuerschaltung 3 beauf­ schlagt, welche insbesondere impulsförmige elektrische Signa­ le zur Verfügung stellt, die im Sendebaustein 1 die Erzeu­ gung von Sendelichtimpulsen bewirken.

Die im Sendebaustein 1 erzeugten Lichtimpulse gelangen über eine Glasfaser 4 zu einer Einheit 5, in welcher eine Verzöge­ rung des Lichtsignals sowie eine Modenmischung erzeugt wird.

Das Ausgangssignal der Einheit 5 gelangt zu einer Sendelinse 6, von der aus ein Sendelichtimpuls 7 in Richtung eines in Fig. 1 nicht dargestellten reflektierenden Objekts gesandt wird.

Dieses Objekt reflektiert den Sendeimpuls 7 als Empfangs­ impuls 8 zurück zum Entfernungsmesser, wo der Empfangsimpuls 8 über eine Empfangslinse 9 in eine Lichtleitfaser 10 einge­ koppelt wird.

Die Lichtleitfaser 10 ist im Bereich eines optischen Abschwächers 11 unterbrochen. Mittels des Abschwächers 11 kann eingestellt werden, wieviel Licht vom Bereich 10a der Lichtleitfaser in den Bereich 10b der Lichtleitfaser ge­ langt.

Über den Bereich 10b der Lichtleitfaser gelangt das empfange­ ne Licht zum Empfangsbaustein 2, welcher aus dem empfangenen Licht ein entsprechendes elektrisches Signal erzeugt und die­ ses an einen Transimpedanzverstärker 12 weiterleitet.

Das Ausgangssignal des Transimpedanzverstärkers 12 ist an eine Zeitmeß- und Auswerteeinheit 13 angelegt, welche in der Lage ist, den zeitlichen Abstand von Impulsen zu berechnen, die der Einheit 13 zugeführt werden. Aus diesen zeitlichen Abständen kann die Zeitmeß- und Auswerteeinheit 13 dann auf die Entfernung zwischen dem Entfernungsmesser und dem reflektierenden Objekt schließen.

Aus dem Sendebaustein 1 wird ein Referenzlichtstrahl 14 aus­ gekoppelt, welcher direkt, ohne Umlenkung und ohne die Ver­ wendung von Lichtleitfasern in den Empfangsbaustein 2 einge­ koppelt wird.

Die Zeitmeß- und Auswerteeinheit 13 beaufschlagt einen Motor 15, welcher zur Ansteuerung des optischen Abschwächers 11 ausgelegt ist.

Eine Ansteuerung des optischen Abschwächers 11 mittels des Motors 15 wird immer dann ausgelöst, wenn die Breite des von der Einheit 13 empfangenen Referenzimpulses 14 nicht mit der Breite des über die Lichtleitfaser 10a, 10b empfangenen Empfangsimpulses übereinstimmt. Der Motor 15 wird dabei von der Einheit 13 so lange beaufschlagt, bis die beiden genann­ ten Breiten übereinstimmen.

Fig. 2 zeigt im Detail den Aufbau des Sendebausteins 1.

In einem im wesentlichen zylindrischen Gehäuse 16 aus Edel­ stahl ist an einem stirnseitigen Ende eine Laserdiode 17 eingebettet. Die Laserdiode 17 weist auf ihrer dem Gehäuse 16 abgewandten Seite zwei elektrische Anschlußkontakte 18 auf.

Im Gehäuse 16 ist im Bereich der optischen Achse der Laser­ diode 17 ein Strahlteilerspiegel 19 in einem Winkel von unge­ fähr 45° zur optischen Achse angeordnet. Der Strahlteiler­ spiegel 19 besitzt - wie bereits beschrieben - einen sehr hohen Transmissionsgrad, so daß entlang der optischen Achse der Laserdiode 17 verlaufendes Licht weitgehend ungehindert durch den Strahlteilerspiegel 19 hindurchtreten kann.

Auf der der Laserdiode 17 abgewandten Seite des Strahlteiler­ spiegels 19 ist eine Aufnahme 20 für einen Fasersteckan­ schluß 21 vorgesehen, welcher das von der Laserdiode 17 erzeugte Licht in eine Lichtleitfaser 4 einkoppelt.

Zwischen Strahlteilerspiegel 19 und Fasersteckanschluß 21 sowie zwischen Strahlteilerspiegel 19 und Photodiode 17 ist jeweils eine Kollimatorlinse 22 vorgesehen.

Im Bereich des Strahlteilerspiegels 19 ist das Gehäuse 16 mit einem Durchbruch 23 versehen, über den ein geringer Teil des von der Laserdiode 17 ausgesandten Lichts als Referenz­ impuls ausgekoppelt wird. Der Durchbruch 23 erstreckt sich dabei senkrecht zur optischen Achse der Laserdiode 17.

Laserdiode 17, Strahlteilerspiegel 19 und Kollimatorlinsen 22 sind fest mit dem Gehäuse 16 verbunden, während der Fasersteckanschluß 21 lösbar mit dem Gehäuse 16 verbunden ist.

Der Empfangsbaustein 2 ist ähnlich aufgebaut wie der in Fig. 2 dargestellte Sendebaustein 1. Ein Unterschied besteht lediglich darin, daß anstelle der Laserdiode 17 eine ent­ sprechend gestaltete Photodiode eingesetzt ist, der Strahl­ teilerspiegel 19 um 90° versetzt zu der in Fig. 2 dargestell­ ten Position angeordnet ist (siehe Fig. 1) und der Durch­ bruch 23 nicht wie in Fig. 2 dargestellt unterhalb des Strahlteilerspiegels 19, sondern oberhalb des Strahlteiler­ spiegels 19 vorgesehen ist, wie dies auch aus Fig. 1 zu ersehen ist.

Fig. 3 zeigt schematisch diejenigen Impulse, die von der Zeitmeß- und Auswerteeinheit 13 gemäß Fig. 1 empfangen wer­ den.

Zuerst wird der Referenzimpuls 14 (Fig. 1) empfangen, wel­ cher zum Zeitpunkt T1 eine vorgegebene Detektionsschwelle überschreitet und zum Zeitpunkt T2 diese Detektionsschwelle wiederum unterschreitet.

Zeitlich versetzt um die Lichtlaufzeit, die der ausgesendete Laserimpuls 7 (Fig. 1) vom Entfernungsmesser zum reflektie­ renden Objekt und wieder zurück benötigt, empfängt die Ein­ heit 13 dann den Empfangsimpuls 8 (Fig. 1), welcher zum Zeit­ punkt T3 die genannte Detektionsschwelle überschreitet und zum Zeitpunkt T4 diese Detektionsschwelle wiederum unter­ schreitet.

Die Lichtlaufzeit entspricht somit der Zeitdifferenz T3-T1.

Falls der Empfangsimpuls 8 eine zu hohe Amplitude bzw. eine zu große Breite aufweist, wie dies in Fig. 3 durch den Impuls 24 veranschaulicht ist, wird über die Zeitmeß- und Auswerteeinheit 13 der Motor 15 in Gang gesetzt und der optische Abschwächer 11 derart eingestellt, daß der Empfangs­ impuls 24 so stark gedämpft wird, daß er die gleiche Ampli­ tude bzw. die gleiche Breite wie der Referenzimpuls 14 auf­ weist.

Diese Regelung der Amplitude des Empfangsimpulses wird bevor­ zugt dadurch bewerkstelligt, daß nicht die Amplituden der empfangenen Impulse, sondern deren Breiten gemessen werden. Die Breite des Referenzimpulses entspricht dabei der Differenz T2-T1, während die Breite des Empfangsimpulses der Differenz T4-T3 entspricht. Der optische Abschwächer muß folglich lediglich derart eingestellt werden, daß die beiden Differenzen T2-T1 und T3-T4 gleich groß sind.

Die Fig. 4 und 5 zeigen zwei Ausführungsformen von als mikro­ mechanische Baugruppe ausgebildeten optischen Abschwächern.

Fig. 4 zeigt einen piezomechanischen Steller 25, welcher an seinem einen Ende fest gelagert und durch Beaufschlagung mit einer Spannung in Richtung des Pfeiles A verbiegbar ist.

Am freien Ende des piezomechanischen Stellers 25 ist eine nach unten ragende Blende 26 vorgesehen, welche sich zwi­ schen zwei einander gegenüberliegenden Linsen 27a, 27b er­ streckt. Die Linsen 27a, 27b sind jeweils benachbart und beabstandet zu den Enden von zwei Glasfasern 32a, 32b ange­ ordnet und vergrößern den optisch wirksamen Bereich der ein­ ander zugewandten stirnseitigen Enden der beiden Glasfasern 32a, 32b. Die beiden Linsen 27a, 27b sowie die beiden Glas­ fasern 32a, 32b sind fest und unbeweglich gelagert.

Durch eine Verbiegung des piezomechanischen Stellers 25 kann die Blende 26 aus dem zwischen den beiden Linsen 27a, 27b liegenden Bereich herausgezogen oder weiter in diesen hinein­ bewegt werden. Auf diese Weise läßt sich wahlweise eine Ab­ schwächung des Lichtes, welches von einer Faser 32a zur anderen Faser 32b übertragen wird, erreichen.

Anstelle der Blende 26 könnte auch ein horizontal ausgerich­ teter Glasfaserabschnitt verwendet werden, welcher zwischen beiden Linsen 27a, 27b oder zwischen den beiden Enden der Glasfasern 32a, 32b mittels des Stellers 25 in vertikaler Richtung auf- und abbewegbar ist.

Eine alternative Ausführungsform eines optischen Abschwä­ chers ist in Fig. 5 dargestellt.

Auch hier ist ein piezomechanischer Steller 25 vorhanden, welcher an seinem einen Ende fest gelagert ist.

Ebenfalls mit einem Ende fest gelagert ist eine Glasfaser 28, welche sich im wesentlichen parallel zum piezomechani­ schen Steller 25 erstreckt. Die Glasfaser 28 sowie der piezo­ mechanische Steller 25 sind im Bereich ihrer freien Enden durch ein geeignetes Mittel 29 miteinander verbunden.

Durch Spannungsbeaufschlagung kann der piezomechanische Stel­ ler 25 entlang des Pfeiles A verbogen werden.

Gegenüber dem freien Ende der Glasfaser 28 befindet sich eine weitere Glasfaser 31, welche fest und unbeweglich gelagert ist. Benachbart und beabstandet zum stirnseitigen Ende der Glasfaser 31 ist eine Linse 33 vorgesehen, welche den optisch wirksamen Bereich des stirnseitigen Endes der Glasfaser 31 vergrößert.

Durch eine Verbiegung des piezomechanischen Stellers 25 kann erreicht werden, daß sich das freie Ende der Glasfaser 28 aus dem Bereich der Linse 33 herausbewegt, wodurch die von der Glasfaser 28 in die Glasfaser 31 übertragene Lichtmenge wahlweise reduziert werden kann.

Die Aufweitung des wirksamen Bereichs des stirnseitigen Endes der Glasfaser 31 durch die Linse 33 ist sinnvoll, um Justierarbeiten bei Montage des optischen Abschwächers mit geringem Aufwand durchführen zu können. Anstelle der Linse 33 könnte ebenso eine Glasfaser verwendet werden, welche einen größeren Querschnitt besitzt als die Glasfaser 28. Auch hierdurch würde sich der Justieraufwand reduzieren lassen.

Claims (22)

1. Entfernungsmesser, insbesondere einstrahliger Pulslaser- Entfernungsmesser mit einem Lichtsender (1) , einem Lichtempfänger (2), einem im Sende- oder Empfangszweig gelegenen optischen Abschwächer (11) und einer Zeitmeß­ einheit (13) zur Ermittlung der Lichtlaufzeit zwischen Aussendung und Empfang eines Lichtsignals, dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtsender als einheitlicher und kompakter Baustein (1) ausgebildet ist, in welchen eine Laserdiode (17), Anschlußelemente (18) für die Laserdiode (17), eine Vorrichtung zur Referenzimpulsauskopplung (19) sowie ein Fasersteckanschluß (20, 21) zur Einkopplung des ausgesandten Lichts in eine Lichtleitfaser (4) inte­ griert sind, und daß der Lichtempfänger ebenfalls als einheitlicher und kompakter Baustein (2) ausgebildet ist, in welchen eine Photodiode, Anschlußelemente für die Photodiode, eine Vorrichtung zur Referenzimpulsein­ kopplung sowie ein Fasersteckanschluß zur über eine Lichtleitfaser (10b) erfolgenden Einkopplung von Empfangslicht integriert sind.

2. Entfernungsmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß der Sende- und/oder der Empfangsbaustein (1, 2) ein Volumen kleiner 1 cm³, bevorzugt kleiner 0,5 cm³ und insbesondere ein Volumen von ungefähr 0,2 cm³ besitzt.

3. Entfernungsmesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in den Sende-/­ Empfangsbaustein (1, 2) vor und/oder hinter der Vorrichtung (19) zur Referenzimpulsauskopplung/Referenz­ impulseinkopplung zumindest eine Linse (22), insbesonde­ re eine Kollimatorlinse integriert ist.

4. Entfernungsmesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Sende-/­ Empfangsbaustein (1, 2) ein Gehäuse (16), insbesondere ein Edelstahlgehäuse aufweist, in welchem die einzelnen Komponenten (17, 19, 21, 22) des Bausteins (1, 2) gehalten sind.

5. Entfernungsmesser nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich­ net, daß das Gehäuse (16) einen Durchbruch (23) zur Referenzimpulsauskopplung/Referenzimpulseinkopplung auf­ weist.

6. Entfernungsmesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zur Aus-/Einkopplung des Referenzimpulses durch einen im jeweiligen Baustein integrierten Strahlteilerspiegel (19) realisiert ist.

7. Entfernungsmesser nach Anspruch 6, dadurch gekennzeich­ net, daß die Transmission des Spiegels (19) mehr als 90%, insbesondere mehr als 95% und bevorzugt zwischen 97% und 99% beträgt.

8. Entfernungsmesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Laserdiode (17) des Sendebausteins (1) zur Erzeugung von Laser­ impulsen mit einer Dauer zwischen 1 und 50 ns, bevorzugt mit einer Dauer von ungefähr 3 ns bei einer Leistung zwischen 1 und 50 W, bevorzugt bei einer Leistung von ungefähr 10 W ausgelegt ist.

9. Entfernungsmesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Photodiode des Empfangsbausteins (2) als Avalanche-Photodiode mit einer Bandbreite zwischen 20 und 500 MHz, bevorzugt mit einer Bandbreite von ungefähr 200 MHz ausgelegt ist.

10. Entfernungsmesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Zeitmeßein­ heit (13) zur Ermittlung von Zeiten im ps-Bereich ausge­ legt und insbesondere gemäß der am 31.1.1997 unter dem Titel "Verfahren zur Bestimmung eines Zeitintervalls zwischen zwei Ereignissen" (Unser Aktenz.: S 6320) eingereichten deutschen Patentanmeldung der Anmelderin ausgebildet ist.

11. Entfernungsmesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Zeitmeßein­ heit genau zwei Zeitmesser umfaßt.

12. Entfernungsmesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der optische Abschwächer (11) im Empfangszweig zwischen einer Empfangsoptik (9) und dem Empfangsbaustein (2) angeord­ net ist.

13. Entfernungsmesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der optische Abschwächer (11) als motorbetriebene Blende, insbesonde­ re als motorbetriebene Kurvenscheibe oder Irisblende aus­ gebildet ist.

14. Entfernungsmesser nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der optische Abschwächer (11) als mikromechanische Baugruppe ausgeführt ist.

15. Entfernungsmesser nach Anspruch 14, dadurch gekennzeich­ net, daß der optische Abschwächer (11) einen mechani­ schen, insbesondere einen piezomechanischen Steller (25) zur Verschiebung einer zwischen zwei einander gegenüber­ liegenden Glasfaser-Enden (27) positionierbaren Blende (26) umfaßt.

16. Entfernungsmesser nach Anspruch 14, dadurch gekennzeich­ net, daß der optische Abschwächer (11) einen mechani­ schen, insbesondere einen piezomechanischen Steller (25) zur relativ zueinander erfolgenden Verschiebung von zwei einander gegenüberliegenden Glasfaser-Enden (28, 30) umfaßt.

17. Verfahren zum Betrieb eines Entfernungsmessers nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der optische Abschwächer (11) so eingestellt wird, daß Referenz- und Empfangssignal die gleiche Amplitude und/oder Impulsbreite aufweisen.

18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Impulsbreiten von Referenz- und Empfangssignal mit­ tels der Zeitmeßeinheit (13) bestimmt werden und der optische Abschwächer (11) so lange verstellt wird, bis beide Impulsbreiten gleich sind.

19. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß im Rahmen jeder Sendeimpulsaussendung der zeitliche Abstand von Referenz- und Empfangsimpuls sowie die Impulsbreiten von Referenz- und Empfangsimpuls bestimmt und gegebenenfalls der optische Abschwächer (11) zur Erzeugung gleicher Impulsbreiten verstellt wird.

20. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Impulsbreiten von Referenz- und Empfangsimpuls nur bei jeder n-ten Sendeimpulsaussendung bestimmt werden, woraufhin bei ungleichen Impulsbreiten der optische Abschwächer (11) zur Erzeugung gleicher Impulsbreiten verstellt wird.

21. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß gilt n < 100, insbesondere n ungefähr gleich 1000.

22. Verfahren nach einem der Ansprüche 20 oder 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Ermittlung des zeitlichen Abstandes von Referenz- und Empfangsimpuls und die Ermittlung der Impulsbreiten unter Verwendung von nur zwei Zeitmessern erfolgt.