DE19539606A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln plattenförmiger Gegenstände, insbesondere von elektronischen Leiterplatten oder dergleichen - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln plattenförmiger Gegenstände, insbesondere von elektronischen Leiterplatten oder dergleichenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Behandeln plat
tenförmiger Gegenstände, insbesondere von elektronischen
Leiterplatten oder dergleichen, bei welchem
- a) die Gegenstände durch eine Behandlungszone hindurchge führt werden, in welcher sie mit einer chemikalienhal tigen Behandlungsflüssigkeit beaufschlagt werden;
- b) überschüssige Behandlungsflüssigkeit aufgefangen und im Kreislauf erneut zur Beaufschlagung der Gegen stände verwendet wird;
- c) an dem Auslaufende der Behandlungszone Behandlungs flüssigkeit, die an der Oberfläche der Gegenstände anhaftet, von den Gegenständen entfernt und wieder in den Kreislauf der Behandlungsflüssigkeit zurück gegeben wird,
und eine Vorrichtung zur Behandlung plattenförmiger Gegen
stände insbesondere von elektronischen Leiterplatten
oder dergleichen mit
- a) einem Maschinengehäuse, welches einen Einlaß und einen Auslaß für die Gegenstände aufweist;
- b) einem Transportsystem, welches die Gegenstände vom Einlaß zum Auslaß des Maschinengehäuses transportiert;
- c) einer Behandlungskammer die in dem Maschinengehäuse zwischen dem Einlaß um dem Auslaß angeordnet ist und in welcher die Gegenstände mit einer chemikalien haltigen Behandlungsflüssigkeit beaufschlagt werden;
- d) einem Sumpf im unteren Bereich des Maschinengehäuses, in welchem sich zurückströmende Behandlungsflüssigkeit sammelt und aus der die Behandlungsflüssigkeit wieder der Behandlungskammer zugeführt wird;
- e) einer in der Nähe des Auslasses im Maschinengehäuse angeordneten Abstreifeinrichtung, welche an der Oberfläche der Gegenstände anhaftende Behandlungs flüssigkeit entfernt und in den Sumpf zurückfließen läßt.
Elektronische Leiterplatten durchlaufen bei ihrer Herstel
lung eine Vielzahl von Behandlungskammern, in denen sie
mit unterschiedlichen Behandlungsflüssigkeiten beaufschlagt
werden. Die Behandlungsflüssigkeiten enthalten regelmäßig
verhältnismäßig kostspielige Chemikalien. Um zu verhindern,
daß die Behandlungsflüssigkeit aus einer Behandlungskammer
in die andere Behandlungskammer verschleppt wird, sind
zwischen den verschiedenen Behandlungskammern im allgemei
nen Spülzonen vorgesehen, in denen die Leiterplatten mit
Wasser abgespült werden. Die mit dem Spülwasser abgeführten
Chemikalien sind im Regelfalle verloren, sofern nicht
besondere aufwendige Maßnahmen zu ihrer Wiedergewinnung
getroffen werden. Man ist daher bemüht, möglichst viel
Behandlungsflüssigkeit direkt von den Oberflächen der
Leiterplatten zurückzugewinnen, wenn diese die Behandlungs
kammer verlassen, und zwar in einer Form, in welcher die
Behandlungsflüssigkeit unmittelbar wieder in den Kreislauf
zurückgegeben werden kann. Bei bekannten Vorrichtungen der
eingangs genannten Art geschieht dies mit Quetschwalzen
paaren, die oberhalb und unterhalb des Bewegungsweges der
Leiterplatten angeordnet sind, derart, daß die Leiterplat
ten den zwischen den Quetschwalzen gebildeten Spalt durch
queren müssen, wobei die Behandlungsflüssigkeit mehr
oder weniger abgestreift wird und in den Sumpf der ent
sprechenden Vorrichtung abfließt.
Es hat sich jedoch herausgestellt, daß insbesondere
bei Leiterplatten, welche Bohrungen enthalten, noch
immer eine erhebliche Verschleppung von Chemikalien
stattfindet, die in typischen Fällen durchaus jähr
liche Kosten in sechsstelliger Größenordnung (in DM)
verursachen können.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfah
ren bzw. eine Vorrichtung der eingangs genannten Art
zu schaffen, mit welchen auch unter ungünstigen geo
metrischen Verhältnissen von den Oberflächen der platten
förmigen Gegenstände, insbesondere auch von solchen, die
eine Vielzahl von Bohrungen enthalten, die Behandlungs
flüssigkeit weitestgehend zurückgewonnen und in den
Kreislauf zurückgeführt werden kann.
Diese Aufgabe wird, was das Verfahren angeht, dadurch
gelöst, daß im Schritt c des eingangs genannten Verfahrens
die Gegenstände mit einem Abblasmedium abgeblasen werden,
welches im wesentlichen aus mit Wasserdampf oder fein
verteilten Wassertröpfchen angereicherter Luft besteht.
Erfindungsgemäß wird also der mechanische Kontakt, der
bei den bekannten Quetschwalzenpaaren für die Entfernung
der Behandlungsflüssigkeit von den Oberflächen sorgen
sollte, durch eine Beaufschlagung mit Luft ersetzt.
Diese Luft paßt sich allen Oberflächenunebenheiten eben
so an, wie sie in Bohrungen eindringt, die sich in dem
plattenförmigen Gegenstand befinden. Würde als Abblas
medium reine Luft verwendet, so bestünde die Gefahr,
daß die Behandlungsflüssigkeit bei der Beaufschlagung
austrocknet, so daß die in der Behandlungsflüssigkeit
enthaltenen Chemikalien in kristalliner Form auf dem
plattenförmigen Gegenstand zurückbleibt und dann gleich
wohl verschleppt wird. Aus diesem Grunde wird erfin
dungsgemäß das Abblasmedium von Luft gebildet, welche in
besonderer Weise mit Wasserdampf oder fein verteilten
Wassertröpfchen angereichert ist. Durch diesen Wassergehalt
des Abblasmediums wird ein Antrocknen der Behandlungsflüs
sigkeit auf den Oberflächen der plattenförmigen Gegenstände
unter Auskristallisation der Chemikalien vermieden.
Es gelingt eine nahezu vollständige Entfernung der Be
handlungsflüssigkeit, auch derjenigen, die sich in Boh
rungen engen Durchmessers befindet.
Die oben genannte Aufgabe wird, was die Vorrichtung
angeht, erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Abstreif
einrichtung der eingangs genannten Vorrichtung als Abblas
einrichtung ausgebildet ist und umfaßt:
- f) einen Düsenstock mit mindestens einer Düse, wobei die Gesamtheit aller Düsen des Düsenstockes einen auf die Transportebene der Gegenstände gerichteten Strahl eines Abblasmediums richtet, der über die gesamte Arbeitsbreite der Vorrichtung ungefähr senkrecht zur Bewegungsrichtung der Gegenstände verläuft;
- g) eine Einrichtung, welche Luft durch den Düsenstock drückt;
- h) eine Einrichtung welche zumindest einen Teil der den Düsenstock durchtretenden Luft mit Wasserdampf oder fein verteilten Wassertröpfchen anreichert.
Der Sinn der verschiedenen Merkmale, durch welche sich
eine erfindungsgemäße Vorrichtung auszeichnet, ergibt
sich entsprechend aus den obigen Ausführungen zum er
findungsgemäßen Verfahren.
Bei einem besonders bevorzugten Ausführungsbeispiel
der Erfindung weist der Düsenstock auf:
- a) ein sich ungefähr senkrecht zur Bewegungsrichtung der Gegenstände erstreckendes Verteilerrohr;
- b) eine Vielzahl von entlang des Verteilerrohres ange ordneten, mit diesem kommunizierenden Einzeldüsen.
Einzeldüsen der hier angesprochenen Art sind bekannt und
kommerziell erhältlich. Dabei gibt es bekannte Ausführungs
beispiele, welche besonders laminare und daher effektive
Strahlen erzeugen. Diese verbrauchen zur Erzielung des ge
wünschten Effekts verhältnismäßig wenig Luft.
Dabei empfiehlt sich, daß die Einzeldüsen als Fächerstrahl
düsen ausgebildet und unter einem Winkel zur Achse des
Verteilerrohres angeordnet sind und einen solchen Abstand
voneinander aufweisen, daß sich die von den Einzeldüsen
erzeugten Strahlen in Bewegungsrichtung der Gegenstände
gesehen überlappen. Durch die so erhaltene Überlappung
wird eine lückenlose Beaufschlagung der plattenförmigen
Gegenstände über ihre gesamte Breite hinweg erzielt,
ohne daß auf deren Oberflächen "Spuren" verbleiben,
in denen keine Beaufschlagung stattfindet.
Alternativ ist es auch möglich, daß die Einzeldüsen
zu einer oszillatorischen Bewegung parallel zur Achse
des Verteilerrohres antreibbar sind. Auch auf diese
Weise werden die unverwünschten "puren" ohne Beauf
schlagung auf der Oberfläche der plattenförmigen Ge
genstände vermieden.
Die Einrichtung zur Anreicherung der Luft mit Wasser
umfaßt im einfachsten Falle mindestens eine in dem Luft
strom angeordnete Wasser-Sprühdüse.
Diese kann dabei so ausgerichtet sein, daß ihr Strahl
parallel zur Strömungsrichtung der Luft verläuft. Das
die Sprühdüse(n) verlassende Wasser wird auf diese Weise
optimal vom Luftstrom mitgenommen; die Gefahr, daß sich
Wasser in flüssiger Form sofort wieder ausscheidet, ist
vergleichsweise gering.
Alternativ ist es aber auch möglich, die Sprühdüse so
auszurichten, daß ihr Strahl senkrecht zur Strömungs
richtung der Luft verläuft. In diesem Falle trifft zwar
im allgemeinen der Sprühstrahl auf die Wand des Rohres,
des Kanales oder dergleichen, durch welches (welchen) die
Luft hindurchgeführt wird, mit einer gewissen Gefahr, daß
sich hierbei Wasser abscheidet. Andererseits ist aber
die Vermischung mit der vorbeiströmenden Luft aufgrund
der unterschiedlichen Strömungsrichtungen besonders
gut.
Die Einrichtung, welche Luft durch den Düsenstock drückt,
umfaßt in der Regel ein Gebläse. Mit diesem lassen sich
die erforderlichen Luftdrücke und Volumenleistungen
erzielen und auch leicht einstellen.
Wenn das Gebläse saugseitig mit dem Innenraum des Maschi
nengehäuses verbunden ist, wird ein geschlossener Luft
kreislauf hergestellt, durch welchen die Umwelt minimal
belastet wird. Ein Frischluftverbrauch findet praktisch
nicht statt. Außerdem wird vergleichsweise wenig Wärme aus
dem Innenraum des Maschinengehäuses, der sich im allge
meinen auf erhöhter Temperatur befindet, herausgetragen.
Das Gebläse kann mit demjenigen Teil des Innenraumes
des Maschinengehäuses verbunden sein, der sich oberhalb
des Bewegungsweges des plattenförmigen Gegenstandes
befindet. Dies bedeutet, daß sich die Oberfläche des
plattenförmigen Gegenstandes praktisch auf Normaldruck
befindet. Der Luftkreislauf "geht an dem plattenförmigen
Gegenstand vorbei".
Unter bestimmten Bedingungen, insbesondere bei Gegen
ständen, welche Bohrungen enthalten, ist eine Ausge
staltung der Erfindung empfehlenswert, bei welcher das
Gebläse mit demjenigen Teil des Innenraumes des Maschi
nengehäuses verbunden ist, der sich unterhalb des Be
wegungsweges des plattenförmigen Gegenstandes befindet.
Über den Gegenstand hinweg bildet sich auf diese Weise
eine Druckdifferenz aus, welche beim Durchblasen der
Bohrungen besonders hilfreich ist.
Die Einrichtung, welche Luft durch den Düsenstock drückt,
kann auch die Wasserstrahldüse(n) umfassen, die so in
einem Düsenkanal angeordnet ist, daß sich die Wirkung
einer nach dem Venturi-Prinzip arbeitenden Pumpe ergibt,
welche Umgebungsluft ansaugt. Zumindest ein Teil der Luft,
die zum Abblasen der plattenförmigen Gegenstände benötigt
wird, kann so in Bewegung gesetzt werden, ohne daß sich
dies in der Leistung des Gebläses niederschlägt.
Bei einem besonders bevorzugten Ausführungsbeispiel
der Erfindung umfaßt der Düsenstock:
- a) einen ersten, nicht-angereicherte Luft führenden Verteilerkanal, dessen Auslaß von einer oder mehreren ersten Düsenöffnungen gebildet wird und dessen Einlaß mit dem Gebläse verbunden ist;
- b) einen zweiten wasserführenden Verteilerkanal, dessen Auslaß von einer oder mehreren Wasser-Sprühdüsen gebildet ist, die so in einem oder mehreren Düsen kanälen angeordnet sind, daß sich die Wirkung einer nach dem Venturi-Prinzip arbeitenden Pumpe ergibt, welche Umgebungsluft ansaugt,
wobei jeder Düsenkanal zu einer zweiten Düsenöffnung
führt, die einer ersten Düsenöffnung benachbart ist.
Bei dieser Ausführungsform der Erfindung durchläuft
der plattenförmige Gegenstand nach dem Verlassen der
Behandlungszone zwei "Vorhänge", die von unterschied
lichen Abblasmedien gebildet werden. Der erste "Vorhang"
besteht aus verhältnismäßig stark mit Wasser angereicher
ter Luft, die allerdings nur einen geringen volumenmäßigen
Durchsatz und nur einen verhältnismäßig geringen Druck
aufweist. Mit diesem ersten "Vorhang" werden die Ober
flächen des plattenförmigen Gegenstandes gut vorgefeuchtet.
Die eigentliche mechanische Arbeit wird dann von dem
zweiten "Vorhang" übernommen, in dem ein großes Luft
volumen pro Zeiteinheit mit verhältnismäßig hohem Druck
strömt.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend
anhand der Zeichnung näher erläutert; es zeigen
Fig. 1 schematisch einen Teilschnitt durch eine Vor
richtung zur Behandlung von Leiterplatten
mit einer Abblaseinrichtung, wobei die zur
Abblaseinrichtung gehörenden Aggregate sche
matisch dargestellt sind;
Fig. 2 die Unteransicht des Abblasdüsenstockes der
Vorrichtung von Fig. 1;
Fig. 3 eine Detailansicht einer alternativen Aus
führungsform der Wasser-Anreicherungsein
richtung;
Fig. 4 einen Schnitt durch eine alternative Düse,
welche in der Abblaseinrichtung Verwendung
finden kann.
In Fig. 1 ist schematisch ein Teilschnitt durch eine
Vorrichtung zur Behandlung von Leiterplatten dargestellt,
wobei die Schnittebene senkrecht zur Bewegungsrichtung
der Leiterplatten gelegt ist. Zu Zwecken der Erläuterung
sei angenommen, daß sich die Leiterplatten, von denen
eine mit dem Bezugszeichen 1 dargestellt ist, senkrecht
zur Zeichenebene von unten nach oben bewegen. Die Leiter
platten 1 haben an der in der Zeichnung dargestellten
Stelle eine Behandlungskammer verlassen, in welcher
sie mit einer Behandlungsflüssigkeit beaufschlagt wurden,
die Chemikalien enthält. Bestimmte Mengen dieser Behand
lungsflüssigkeit befinden sich zunächst noch auf den
Oberflächen der Leiterplatte, insbesondere aber auch in
Bohrungen 2, von denen die Leiterplatten 1 eine Vielzahl
aufweisen.
Die Leiterplatten 1 bewegen sich in der angegebenen
Richtung mit Hilfe eines Fördersystemes, welches in
Fig. 1 schematisch insgesamt mit dem Bezugszeichen
3 gekennzeichnet ist und das aus einer Vielzahl von
Rollen 4 besteht, die in einer in der Zeichnung nicht
näher angegebenen Weise angetrieben werden. Beim darge
stellten Ausführungsbeispiel befindet sich jeweils ein
Satz von Rollen 4 auf einer gemeinsamen Achse 5, die zur
Verdrehung der Rollen 4 ihrerseits verdreht wird. Eine
Vielzahl paralleler derartiger Achsen 5 mit darauf ange
brachten Rollen 4 ist jeweils senkrecht zur Bewegungsrich
tung der Leiterplatten 1 entlang des Bewegungsweges vorge
sehen. Alle Rollen 4 des Transportsystemes definieren
eine Transportebene, in welcher die Leiterplatten 1 bei
ihrer Bewegung von Rolle 4 zu Rolle 4 weitergereicht werden.
Transportsysteme 3 der hier dargestellten Art sind an
und für sich bekannt und brauchen daher nicht näher
erläutert zu werden.
An der in der Zeichnung dargestellten Position entlang
des Bewegungsweges, in der die Leiterplatten 1 aus der
Behandlungskammer ausgetreten sind, ist eine Abblaseinrich
tung vorgesehen, die insgesamt das Bezugszeichen 6 trägt.
Diese Abblaseinrichtung 6 dient dazu, den Flüssigkeitsfilm
von den Oberflächen der Leiterplatten 1 ebenso wie aus
den Bohrungen 2 weitestgehend zu entfernen. Die abgeblasene
Behandlungsflüssigkeit strömt in einen Sumpf der Vorrich
tung zurück, von wo sie durch eine Pumpe wieder in die
Behandlungskammer gefördert werden kann. Auf diese Weise
wird die Verschleppung von Behandlungsflüssigkeit, die
verhältnismäßig teuere Chemikalien enthalten kann, aus
der Vorrichtung vermieden.
Die Abblaseinrichtung 6 enthält einen Düsenstock 7,
der seinerseits wieder ein Verteilerrohr 8 und eine
Vielzahl von Düsen 9 umfaßt.
Das Verteilerrohr 7 erstreckt sich senkrecht zur Be
wegungsrichtung der Leiterplatten 1 und parallel zu
deren Oberfläche über im wesentlichen die gesamte Arbeits
breite der Vorrichtung. Die mit dem Verteilerrohr 7 kommuni
zierenden Düsen 9 verlaufen vom Verteilerrohr 8 nach
unten und enden mit den Düsenöffnungen 10 in einem ver
hältnismäßig geringen Abstand vor der Oberseite der
Leiterplatte 1. Bei den dargestellten Düsen 9 handelt es
sich um Flachstrahl- bzw. Fächerdüsen an und für sich
bekannter Bauart. Sie enthalten an ihrer Unterseite, wie
insbesondere der Fig. 2 zu entnehmen ist, eine Vielzahl
von im wesentlichen linear angeordneten Düsenöffnungen
10. Wie ebenfalls der Fig. 2 zu entnehmen ist, welche
den Abblasdüsenstock 7 schematisch von unten zeigt,
sind die Düsen 9 gegenüber der Axialrichtung des Ver
teilerrohres 8 unter einem Winkel angestellt und be
sitzen einen solchen Abstand von einander, daß sie in
der durch den Pfeil 11 gekennzeichneten Bewegungsrich
tung der Leiterplatten 1 gesehen einander überlappen.
Auf diese Weise ist gewährleistet, daß wirklich die
gesamte obere Fläche der Leiterplatten 1 angeblasen
wird.
Das Medium, welches aus den Düsenöffnungen 10 der Düsen
9 austritt, ist ein Gemisch aus Luft und Wasserdampf
bzw. ein Gemisch aus Luft und fein verteilten Wasser
tröpfchen. Diese Medium wird durch diejenigen Aggregate
bereitgestellt, welche in Fig. 1 rechts außerhalb des
Maschinengehäuses 12 der Vorrichtung dargestellt sind.
Ein Gebläse 13 saugt Luft über eine Leitung 14 aus dem
Innenraum des Maschinengehäuses 12 an. Im in der Zeichnung
dargestellten Ausführungsbeispiel befindet sich der
Ansaugstutzen 15 des Maschinengehäuses 12 in dem Raum
oberhalb der Transportebene der Leiterplatten 1. Grund
sätzlich ist es jedoch auch möglich, den Ansaugstutzen
15 auf die gegenüberliegende Seite der Transportebene zu
legen, so daß die Leiterplatten 1 auf der einen (unteren)
Seite mit Unterdruck, auf der anderen (oberen) Seite
dagegen mit Überdruck beaufschlagt werden. Auf diese
Weise wird an den Leiterplatten 1 eine Druckdifferenz
erzeugt, die insbesondere bei der Reinigung der Bohrungen
2 hilfreich sein kann.
Die Druckseite des Gebläses 13 ist über eine Leitung 16,
in der ein Durchflußmesser 17 liegt, mit dem in Fig.
1 rechten Ende des Verteilerrohres 8 des Abblasdüsen
stockes 7 verbunden. An die Leitung 16 ist außerdem
ein Druckmeßgerät 18 angeschlossen.
Die in das Verteilerrohr 8 eintretende, verhältnis
mäßig trockene Luft gelangt zunächst in eine Erweiterung
8a des Verteilerrohres 8, wo in noch zu beschreibender
Weise eine Anreicherung mit Wasserdampf bzw. feinstver
teilten Wassertröpfchen erfolgt. Das so erhaltene Gemisch
von Luft und Wasser bewegt sich weiter in das Verteiler
rohr 8 und strömt von dort in die verschiedenen Düsen
9. Durch die Düsenöffnungen 10 wird es dann unter ent
sprechend hohem Druck gegen die obere Fläche der Leiter
platten 1 gerichtet.
Zur Wasseranreicherung der zu den Düsen 9 des Abblas
düsenstockes 7 gelangenden Luft ist in der Erweiterung
8a des Verteilerrohres 8 eine Wassersprühdüse 19 unter
gebracht. Die in Fig. 1 dargestellte Wassersprühdüse 19
sprüht nach links, also parallel zur Bewegungsrichtung
der Luft, die sich in dem Verteilerrohr 8 bewegt. Die
Wassersprühdüse 19 wird über eine Wasserleitung 20,
in welcher ein Ventil 21 und ein Durchflußmesser 22
liegen, mit Wasser versorgt. Die Wasserleitung 20 ist
außerdem mit einem Druckmeßgerät 23 verbunden.
Die beschriebene Vorrichtung arbeitet wie folgt:
Die aus der Behandlungskammer austretenden Leiterplatten 1, an deren Oberflächen und deren Bohrungen 2 noch chemi kalienhaltige Behandlungsflüssigkeit haftet, bewegen sich auf dem Transportsystem 3 senkrecht zur Zeichenebene nach oben. Sie geraten dabei unter die Vielzahl von Düsen 9 des Abblasdüsenstockes 6, wo sie mit der bereits erwähnten Mischung aus Luft und Wasserdampf bzw. feinstver teilten Wassertröpfchen beaufschlagt wird. Durch den Wassergehalt wird verhindert, daß der Wasseranteil der Behandlungsflüssigkeit einfach abtrocknet und auskristal lisierte Chemikalien auf den Leiterplatten 1 verbleiben, wie dies der Fall wäre, wenn trockene Luft zum Abblasen eingesetzt wird. Die von den Leiterplatten 1 entfernte Behandlungsflüssigkeit tropft, wie bereits erwähnt, in den Sumpf der Vorrichtung zurück und steht für eine neue Verwendung zur Verfügung.
Die aus der Behandlungskammer austretenden Leiterplatten 1, an deren Oberflächen und deren Bohrungen 2 noch chemi kalienhaltige Behandlungsflüssigkeit haftet, bewegen sich auf dem Transportsystem 3 senkrecht zur Zeichenebene nach oben. Sie geraten dabei unter die Vielzahl von Düsen 9 des Abblasdüsenstockes 6, wo sie mit der bereits erwähnten Mischung aus Luft und Wasserdampf bzw. feinstver teilten Wassertröpfchen beaufschlagt wird. Durch den Wassergehalt wird verhindert, daß der Wasseranteil der Behandlungsflüssigkeit einfach abtrocknet und auskristal lisierte Chemikalien auf den Leiterplatten 1 verbleiben, wie dies der Fall wäre, wenn trockene Luft zum Abblasen eingesetzt wird. Die von den Leiterplatten 1 entfernte Behandlungsflüssigkeit tropft, wie bereits erwähnt, in den Sumpf der Vorrichtung zurück und steht für eine neue Verwendung zur Verfügung.
Der Luftdurchfluß durch das Verteilerrohr 8 und damit
durch die einzelnen Düsen 9 wird mit Hilfe des Durch
flußmesser 17 bzw. des Druckmeßgerätes 18 auf einen
Erfahrungswert eingestellt, der in Vorversuchen für
den jeweiligen Typ von Leiterplatten 1 und Behandlungs
flüssigkeit ermittelt wurde. Während des Betriebes dienen
Durchflußmesser 17 und Druckmeßgerät 18 der Kontrolle der
Luftzufuhr zu dem Abblasdüsenstock 6.
In entsprechender Weise wird mit Hilfe des Ventiles
21, des Durchflußmessers 22 und des Druckmeßgerätes
23 die Menge von Wasser eingestellt, welche der Wasser
sprühdüse 19 zugeführt und daher der die Erweiterung
8a des Verteilerrohres 8 durchströmenden Luft beigemengt
wird. Bei typischen Größen und Arbeitsgeschwindigkeiten
der Vorrichtung zur Behandlung von Leiterplatten werden
in die Luft Wassermengen in der Größenordnung von einigen
Litern pro Stunde zugegeben.
Durch den Umluftbetrieb, bei welchem die für die Abblas
einrichtung 6 verwendete Luft im Kreislauf geführt wird,
können Umweltprobleme vollständig vermieden werden.
Außerdem behält die im Kreislauf befindliche Luft im
wesentlichen diejenige Temperatur, die im Innenraum
des Maschinengehäuses 12 herrscht, so daß auch die Energie
verluste verhältnismäßig gering sind.
Fig. 3 stellte eine alternative Ausführungform der
Erweiterung 8a des Verteilerrohres 8 von Fig. 1 dar.
Entsprechende Teile in Fig. 3 sind mit demselben Be
zugszeichen wie in Fig. 1, jedoch zzgl. 100, gekenn
zeichnet.
In Fig. 3 ist ein kleines Eck des Maschinengehäuses
112 erkennbar, durch welches das Verteilerrohr 108 hin
durchgeführt ist. Die Erweiterung 108a des Verteiler
rohres 108 sieht grundsätzlich ebenso aus wie in Fig.
1. Anders dagegen ist die Anordnung der Sprühdüse 119.
Sie ist innerhalb der Erweiterung 108a so ausgerichtet,
daß sie in einer Richtung senkrecht zur Bewegungsrichtung
der Luft in der Erweiterung 108a sprüht. Welche Sprührich
tung im einzelnen die vorteilhaftere ist (axial zum
Verteilerrohr oder senkrecht hierzu) muß im Einzelfall
erprobt werden. In Fig. 3 ist außerdem noch ein Wasser
ablaßrohr 125 dargestellt, über welches sich an der
unteren Seite der Erweiterung 108a abscheidendes Wasser
abfließen kann. Im übrigen stimmt die Funktionsweise
der Wassersprühdüse 119 von Fig. 3 mit derjenigen der
Wassersprühdüse 19 von Fig. 1 völlig überein.
Fig. 4 zeigt einen vertikalen Schnitt durch ein alterna
tives Ausführungsbeispiel eines Abblasdüsenstockes, welcher
statt des Düsenstockes 7 in der Vorrichtung von Fig. 1
verwendet werden kann. Entsprechende Teile von Fig. 4
sind mit demselben Bezugszeichen wie in Fig. 1 zzgl. 200
gekennzeichnet.
Der Düsenstock 207 umfaßt ein erstes Verteilerrohr 208,
welches sich - ähnlich wie das Verteilerrohr 8 von Fig.
1 - entlang der gesamten Arbeitsbreite senkrecht zur
Bewegungsrichtung der Leiterplatten 201, die durch den
()Pfeil 211 dargestellt ist, erstreckt. Anders als dem
Verteilerrohr 8 von Fig. 1 wird jedoch dem Verteiler
rohr 208 reine, nicht mit Wasser angereicherte Luft
zugeführt. Von dem Verteilerrohr 208 führt, unter einem
spitzen Winkel gegen die Bewegungsrichtung 211 der Leiter
platten 201 angestellt, eine Vielzahl von ersten Düsen
kanälen 226, die sich trichterartig zu den Düsenöffnungen
210a in der Nähe der Leiterplatte 201 verjüngen. Statt
vieler diskreter Düsenkanäle 226 kann auch ein einziger,
über die gesamte Längserstreckung des Abblasdüsenstockes
207 verlaufender, sich zu einer Schlitz-Düsenöffnung
210a verjüngender Düsenkanal verwendet werden. Parallel
zu dem oder den ersten Düsenkanälen 226 verläuft eine
Vielzahl zweiter Düsenkanäle 227, welche sich mit den
Düsenkanälen 226 eine Trennwand 228 teilen. Statt mehrer
getrennter zweiter Düsenkanäle 227 kann wiederum ein
einziger, sich über die gesamte Länge des Abblasdüsen
stockes 207 erstreckender Düsenkanal 227 verwendet werden.
Jeder zweite Düsenkanal 227 endet an seiner engsten Stelle
in einer Düsenöffnung 210b. Am gegenüberliegenden Ende
großen Querschnittes kommuniziert jeder zweiter Düsenkanal
227 offen mit der Umgebungsatmosphäre, also z. B. mit dem
Innenraum des Maschinengehäuses 12.
Ober die gesamte Länge des Düsenstockes 207 hinweg er
streckt sich ein Wasserverteilrohr 220, an welches eine
Vielzahl von Wassersprühdüsen 219 angesetzt ist. Diese
sind so ausgerichtet, daß sie ihren Sprühnebel in Richtung
auf die zugeordneten Düsenöffnungen 210b ausstoßen.
Die Funktionsweise des in Fig. 4 dargestellten Düsen
stockes 207 ist wie folgt:
Die aus der Behandlungskammer im Sinne des Pfeiles 211 herangeführten Leiterplatten 201 tragen auf ihrer Ober seite einen Film bzw. eine dünne Schicht der Behandlungs flüssigkeit, die sich in gleicher Weise in den Bohrungen 202 befindet. Durch die Einstellung der beiden Düsenkanäle 226, 227 unter spitzem Winkel gegen die Bewegungsrichtung 211 wird die auf den Leiterplatten 201 stehende Behandlungs flüssigkeit zu einer Pfütze zusammengedrückt, die an der Weiterbewegung gehindert wird und letztendlich seit lich von den Leiterplatten 201 in den Sumpf der Vorrichtung abläuft. Durch die vertikale Geschwindigkeitskomponente, welche die aus den Düsenöffnungen 210a und 210b austreten den Abblasmedien aufweisen, wird außerdem ein gutes Durchblasen der Bohrungen 202 gewährleistet.
Die aus der Behandlungskammer im Sinne des Pfeiles 211 herangeführten Leiterplatten 201 tragen auf ihrer Ober seite einen Film bzw. eine dünne Schicht der Behandlungs flüssigkeit, die sich in gleicher Weise in den Bohrungen 202 befindet. Durch die Einstellung der beiden Düsenkanäle 226, 227 unter spitzem Winkel gegen die Bewegungsrichtung 211 wird die auf den Leiterplatten 201 stehende Behandlungs flüssigkeit zu einer Pfütze zusammengedrückt, die an der Weiterbewegung gehindert wird und letztendlich seit lich von den Leiterplatten 201 in den Sumpf der Vorrichtung abläuft. Durch die vertikale Geschwindigkeitskomponente, welche die aus den Düsenöffnungen 210a und 210b austreten den Abblasmedien aufweisen, wird außerdem ein gutes Durchblasen der Bohrungen 202 gewährleistet.
Bei dem in Fig. 4 dargestellten Abblasdüsenstock 207
erfolgt ersichtlich die Wasserzufuhr nicht in demjenigen
Luftstrom, welcher von dem Gebläse 13 (Fig. 1) im Kreis
umgewälzt wird. Vielmehr wird von den Wassersprühdüsen
219 die Flüssigkeit in einen Luft-Nebenstrom geleitet,
der aus Umgebungsatmosphäre von oben her angesaugt wird.
Der Düsenstock 207 von Fig. 4 erzeugt also zweierlei
Abblasmedien: durch die Düsenöffnungen 210b tritt ein
verhältnismäßig stark mit Wasser angereicherter Luft
strom aus, der jedoch verhältnismäßig niedrige Geschwin
digkeit und niedrigen Druck aufweist. Über die Düsen
öffnungen 210a dagegen wird gegen die Leiterplatten 201
ein verhältnismäßig starker, trockener Luftstrom gebla
sen, dessen Volumendurchsatz sehr viel höher als derje
nige durch den oder die Düsenkanäle 227 ist. Die Leiter
platten 201 durchlaufen auf diese Weise zwei "Vorhänge"
aus unterschiedlichen Abblasmedien, die senkrecht zur
Bewegungsrichtung der Leiterplatten 201 verlaufen. Diese
Art des Abblasens hat sich bei bestimmten Behandlungs
flüssigkeiten und Betriebsparametern der Vorrichtung
zur Behandlung der Leiterplatten als günstig herausge
stellt, um einerseits zuverlässig Auskristallisationen
der in der Behandlungsflüssigkeit enthaltenen Chemika
lien zu vermeiden, andererseits aber einen ausreichenden
Aufblaseffekt zu erzielen, der die Verschleppung der
Behandlungschemikalien tatsächlich auf ein Minimum re
duziert.
Claims (15)
1. Verfahren zum Behandeln plattenförmiger Gegenstände,
insbesondere von elektronischen Leiterplatten oder
dergleichen, bei welchem
- a) die Gegenstände durch eine Behandlungszone hindurchge führt werden, in welcher sie mit einer chemikalienhalti gen Behandlungsflüssigkeit beaufschlagt werden;
- b) überschüssige Behandlungsflüssigkeit aufgefangen und im Kreislauf erneut zur Beaufschlagung der Gegen stände verwendet wird;
- c) an dem Auslaufende der Behandlungszone Behandlungs
flüssigkeit, die an der Oberfläche der Gegenstände
anhaftet, von den Gegenständen entfernt und wieder
in den Kreislauf der Behandlungsflüssigkeit zurück
gegeben wird,
dadurch gekennzeichnet, daß im Schritt c die Gegenstände (1; 201) mit einem Abblas medium abgeblasen werden, welches im wesentlichen aus mit Wasserdampf oder fein verteilten Wassertröpfchen angereicherter Luft besteht.
2. Vorrichtung zur Behandlung plattenförmiger Gegen
stände, insbesondere von elektronischen Leiter
platten oder dergleichen mit
- a) einem Maschinengehäuse, welches einen Einlaß und einen Auslaß für die Gegenstände aufweist;
- b) einem Transportsystem, welches die Gegenstände vom Einlaß zum Auslaß des Maschinengehäuses transportiert;
- c) einer Behandlungskammer die in dem Maschinengehäuse zwischen dem Einlaß um dem Auslaß angeordnet ist und in welcher die Gegenstände mit einer chemikalien haltigen Behandlungsflüssigkeit beaufschlagt werden;
- d) einem Sumpf im unteren Bereich des Maschinengehäuses, in welchem sich zurückströmende Behandlungsflüssigkeit sammelt und aus der die Behandlungsflüssigkeit wieder der Behandlungskammer zugeführt wird;
- e) einer in der Nähe des Auslasses im Maschinengehäuse
angeordneten Abstreifeinrichtung, welche an der
Oberfläche der Gegenstände anhaftende Behandlungs
flüssigkeit entfernt und in den Sumpf zurückfließen
läßt,
dadurch gekennzeichnet, daß die Abstreifeinrichtung als Abblaseinrichtung (6) ausgebildet ist und umfaßt: - f) einen Düsenstock (7; 107; 207) mit mindestens einer Düse (9; 209), wobei die Gesamtheit aller Düsen (9; 209) des Düsenstockes (7; 107; 207) einen auf die Transportebene der Gegenstände (1; 101) gerich teten Strahl eines Abblasmediums richtet, der über die gesamte Arbeitsbreite der Vorrichtung ungefähr senkrecht zur Bewegungsrichtung (11; 211) der Ge genstände (1; 101) verläuft;
- g) eine Einrichtung (13; 219), welche Luft durch den Düsenstock (7; 107; 207) drückt;
- h) eine Einrichtung (19; 119; 219), welche zumindest einen Teil der den Düsenstock (7; 107; 207) durch tretenden Luft mit Wasserdampf oder fein verteilten Wassertröpfchen anreichert.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der Düsenstock (7) umfaßt:
- a) ein sich ungefähr senkrecht zur Bewegungsrichtung (11) der Gegenstände (1) erstreckendes Verteilerrohr (8);
- b) eine Vielzahl von entlang des Verteilerrohres (8) angeordneten, mit diesem kommunizierenden Einzel düsen (9).
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die Einzeldüsen (9) als Fächerstrahldüsen ausge
bildet und unter einem Winkel zur Achse des Verteilerrohres
(8) angeordnet sind und einen solchen Abstand voneinander
aufweisen, daß sich die von den Einzeldüsen (9) erzeugten
Strahlen in Bewegungsrichtung (11) der Gegenstände (1)
gesehen überlappen.
5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Einzeldüsen (9) zu einer oszilla
torischen Bewegung parallel zur Achse des Verteilerrohres
(8) antreibbar sind.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur
Anreicherung der Luft mit Wasser mindestens eine in
dem Luftstrom angeordnete Wassersprühdüse (19; 119;
219) umfaßt.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß die Sprühdüse (19; 219) so ausgerichtet ist,
daß ihr Strahl parallel zur Strömungsrichtung der Luft
verläuft.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß die Sprühdüse (119) so ausgerichtet ist, daß
ihr Strahl senkrecht zur Strömungsrichtung der Luft
verläuft.
9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung, welche
Luft durch den Düsenstock (7; 107; 207) drückt, ein Gebläse
(13) umfaßt.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,
daß das Gebläse (13) saugseitig mit dem Innenraum
des Maschinengehäuses (12) verbunden ist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß das Gebläse (13) mit demjenigen Teil des Innen
raumes des Maschinengehäuses (12) verbunden ist, der
sich oberhalb der Transportebene der plattenförmigen
Gegenstände (1; 201) befindet.
12. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß das Gebläse (13) mit dem denjenigen Teil des
Innenraumes des Maschinengehäuses (12) verbunden ist,
der sich unterhalb der Transportebene der plattenförmigen
Gegenstände (1) befindet.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 12,
dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung, welche
Luft durch den Düsenstock (207) drückt, die Wasserstrahl
düse(n) (219) umfaßt, die so in einem Düsenkanal (227)
angeordnet ist, daß sich die Wirkung einer nach dem Venturi-
Prinzip arbeitenden Pumpe ergibt, welche Umgebungsluft
ansaugt.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet,
daß der Düsenstock (207) aufweist
- a) einen ersten, nicht angereicherte Luft führenden Verteilerkanal (208), dessen Auslaß von einer oder mehreren ersten Düsenöffnungen (210a) gebildet wird und dessen Einlaß mit dem Gebläse (13) verbunden ist;
- b) einen zweiten wasserführenden Verteilerkanal (220), dessen Auslaß von einer oder mehreren Wassersprüh düsen (219) gebildet ist, die so in einem oder mehre ren Düsenkanälen (227) angeordnet sind, daß sich die Wirkung einer nach dem Venturi-Prinzip arbeiten den Pumpe ergibt, welche Umgebungsluft ansaugt,
wobei jeder Düsenkanal (227) zu einer zweiten Düsenöffnung
(210b) führt, die einer ersten Düsenöffnung (210a) be
nachbart ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1995139606 DE19539606A1 (de) | 1995-10-25 | 1995-10-25 | Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln plattenförmiger Gegenstände, insbesondere von elektronischen Leiterplatten oder dergleichen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1995139606 DE19539606A1 (de) | 1995-10-25 | 1995-10-25 | Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln plattenförmiger Gegenstände, insbesondere von elektronischen Leiterplatten oder dergleichen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19539606A1 true DE19539606A1 (de) | 1997-05-28 |
Family
ID=7775667
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1995139606 Withdrawn DE19539606A1 (de) | 1995-10-25 | 1995-10-25 | Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln plattenförmiger Gegenstände, insbesondere von elektronischen Leiterplatten oder dergleichen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19539606A1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1234611A2 (de) * | 2001-02-21 | 2002-08-28 | Shibuya Kogyo Co., Ltd. | Strahlvorrichtung für einen Gemengestrom von Gas und Flüssigkeit |
DE10205586B4 (de) * | 2002-02-09 | 2007-07-05 | Degussa Galvanotechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur galvanischen Beschichtung von Endlosmaterial |
US9016230B2 (en) | 2009-05-13 | 2015-04-28 | Atotech Deutschland Gmbh | Method and assembly for treating a planar material to be treated and device for removing or holding off treatment liquid |
-
1995
- 1995-10-25 DE DE1995139606 patent/DE19539606A1/de not_active Withdrawn
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1234611A2 (de) * | 2001-02-21 | 2002-08-28 | Shibuya Kogyo Co., Ltd. | Strahlvorrichtung für einen Gemengestrom von Gas und Flüssigkeit |
EP1234611A3 (de) * | 2001-02-21 | 2004-01-07 | Shibuya Kogyo Co., Ltd. | Strahlvorrichtung für einen Gemengestrom von Gas und Flüssigkeit |
US6843471B2 (en) | 2001-02-21 | 2005-01-18 | Shibuya Kogyo Co., Ltd. | Jetting apparatus for mixed flow of gas and liquid |
KR100781820B1 (ko) * | 2001-02-21 | 2007-12-03 | 시부야 코교 가부시키가이샤 | 기체액체 혼합류의 분사장치 |
DE10205586B4 (de) * | 2002-02-09 | 2007-07-05 | Degussa Galvanotechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur galvanischen Beschichtung von Endlosmaterial |
US9016230B2 (en) | 2009-05-13 | 2015-04-28 | Atotech Deutschland Gmbh | Method and assembly for treating a planar material to be treated and device for removing or holding off treatment liquid |
US9713265B2 (en) | 2009-05-13 | 2017-07-18 | Atotech Deutschland Gmbh | Method, treatment station and assembly for treating a planar material to be treated |
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