DE19539134A1 - Auswerteverfahren für berührungslos messende Weg-/Winkelaufnehmer mit sinusförmigen Spursignalen - Google Patents

Auswerteverfahren für berührungslos messende Weg-/Winkelaufnehmer mit sinusförmigen Spursignalen

Info

Publication number
DE19539134A1
DE19539134A1 DE1995139134 DE19539134A DE19539134A1 DE 19539134 A1 DE19539134 A1 DE 19539134A1 DE 1995139134 DE1995139134 DE 1995139134 DE 19539134 A DE19539134 A DE 19539134A DE 19539134 A1 DE19539134 A1 DE 19539134A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
signals
angle
phase
evaluation method
sinusoidal track
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE1995139134
Other languages
English (en)
Other versions
DE19539134C2 (de
Inventor
Dieter Dipl Phys Schoedlbauer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Bourns Inc
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE1995139134 priority Critical patent/DE19539134C2/de
Publication of DE19539134A1 publication Critical patent/DE19539134A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19539134C2 publication Critical patent/DE19539134C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/24404Interpolation using high frequency signals

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung des Tangens bzw. des Kotangens des Phasenwinkels α, abwechselnd in jeweils aufeinander folgenden Quadranten der Signalperiode, so daß nur die Phasenlage der beiden Signale zur Auswertung kommt und der genutzte Wertebereich der Winkelfunktionen zwischen -1 und +1 liegt. Das Verfahren vermeidet somit weitgehend den Einfluß von nicht stabilisierten Signalamplituden und führt bei vergleichsweise geringerem Aufwand zu einem Ergebnis in digitalisierter Form.
Für die Bestimmung des jeweils gültigen Quadranten sowie der zugehörigen Winkelfunktionen wird ein Satz von vier sinusförmigen Signalen herangezogen, welche mit einer (örtlichen) Phasendifferenz von jeweils 45° aufeinander folgen.
U₀(α) = A sin(α) und U₁ (α) = A cos(α) sind die gemessenen Spursignale, aus denen durch Addition bzw. Subtraktion die zusätzlichen Signale U₂ (α) und U₃ (α) abgeleitet werden. Die Berechnung der Winkelfunktionen wird auf einen Vergleich zweier Analogspannungswerte mit sukzessiver Approximation zurückgeführt, wobei das Steuerregister des eingesetzten multiplizierenden Digital-Analog-(D/A)-Wandlers als Ergebnis das Bitmuster des (stets positiven) Ausdrucks
enthält, mit dessen Hilfe sich der gesuchte Phasenwinkel bzw. Lagewert α in konventioneller Weise über eine Winkeltabelle bestimmen läßt.
Aufgabe ist die Auswertung von zwei um 90° versetzten Sinussignalen (Sinus/Cosinus) für die genaue Bestimmung des Lagewertes innerhalb einer Signalperiode.
Die bekannten und derzeit eingesetzten Verfahren dienen hauptsächlich zur Steigerung der Auflösung bei inkrementalen Gebern mit sinusförmigen Spursignalen. Der gesuchte örtliche Lagewert setzt sich dabei aus zwei Anteilen zusammen: Für die Grobauflösung wird ein Periodenzähler verwendet, zur Feinauflösung innerhalb einer Signalperiode, d. h. zur Bestimmung des Phasenwinkels werden die digitalisierten Spannungswerte der beiden Spursignale herangezogen (siehe z. B. Zeitschrift Elektronik 1/94, "Spurenauswertung" mit Spezial-Chip, Seite 24 ff.). Die digitalisierten Signalspannungswerte dienen direkt zur Adressierung der in einem Speicher abgegebenen Winkeltabelle. Hierzu werden die Signale unabhängig voneinander entweder parallel in zwei getrennten Analog/Digital-(A/D)-Wandlern verarbeitet oder im Multiplexbetrieb mit einem Umsetzer konvertiert, sofern die Verarbeitungszeit dies erlaubt. Beiden Methoden ist im Gegensatz zu dem hier betrachteten Auswerteverfahren gemeinsam, daß die Signalamplituden der beiden Spuren jeweils unabhängig voneinander konstant sein müssen. Nur in diesem Fall existiert ein eindeutiger Zusammenhang zwischen den gemessenen Spannungswerten und dem gesuchten Phasenwinkel.
Es wird ein Approximationsverfahren für die Durchführung einer Tangens-Kotangens- Interpolation vorgeschlagen. Mit Hilfe dieser Methode läßt sich der Einfluß von nicht stabilisierten Signalamplituden weitgehend eliminieren, da vom Prinzip her nur die Phasenlage der beiden Signale zueinander zur Auswertung kommt.
Mathematische Beschreibung des Auswerteverfahrens
Die hier vorgestellte mathematische Beschreibung erhebt keinen Anspruch auf Vollständigkeit. Das Funktionsprinzip des Auswerteverfahrens wird jedoch ohne Beschränkung der Allgemeinheit hinreichend erfaßt.
Die Fig. 1 bis 5 dienen zur graphischen Illustration der diskutierten Formeln.
Verwendete Formelzeichen und Abkürzungen:
α: Phasenwinkel, 0 α 2π
Ui
: Signalspannungswerte mit Indices 0 i 3, siehe Text
A: Amplitude der Spursignale
Φ(x): Sprungfunktion, Φ(x) = 0 für x 0, Φ(x) = 1 für x < 0
q₀, q₁: Hilfsfunktionen, wie nachfolgend beschrieben
q(α): Nummer des Quadranten innerhalb einer Signalperiode, 0 q 3
cot_tan(α): je nach Quadrant wechselnde Winkelfunktion Tangens oder Kotangens
Φ(α): Berechneter Lagewert (Endergebnis), 0 Φ(α) 2π
Gegeben sind die beiden sinusförmigen Spursignale U₀ und U₁ mit einer wechselseitigen Phasendifferenz von ± 90 Grad (Fig. 1):
U₀(α) = A · sin(α) (1)
U₁(α) = A · cos(α) (2)
Durch Addition und Subtraktion der Meßspannungen (1) und (2) erhält man die Linearkombinationen U₂ und U₃ mit einer Phasenverschiebung von ± 45° zu den Spursignalen (Fig. 2):
U₂(α) = U₁(α) + U₀(α) = A · [cos(α) + sin(α)] (3)
U₃(α) = U₁(α) - U₀(α) = A · [cos(α) - sin(α)] (4)
Zur Vermeidung von Singularitäten bei der nachfolgenden Quotientenbildung (Division durch Null) werden vier Quadranten q(α) definiert, in denen abwechselnd entweder eine Tangens- oder eine Kotangensfunktion zur Auswertung gelangt (siehe die Fig. 3 und 4).
Mit den Modellfunktionen q₀, q₁ gemäß
q₀(α) = 1 - Φ[U₀(α) · U₁(α)] (5)
q₁(α) = 1 - Φ[U₀(α)] (6)
ergeben sich die vier Quadranten q=0 . . . 3 innerhalb einer Signalperiode zu
q(α) = q₀(α) + 2 · q₁(α) (7)
Die Festlegung der jeweils verwendeten Winkelfunktion tan(α) oder cot(α) erfolgt mit Hilfe von q₀(α). Hierzu wird eine Funktion cot_tan(α) wie folgt definiert (vgl. Fig. 4):
für den gesuchten Lagewert Φ(α) innerhalb einer Signalperiode erhält man den Ausdruck
Fig. 5 zeigt den erwarteten Verlauf von Φ(α) gemäß Gl. (9).
Schaltungstechnische Realisierung
Das Kernstück des hier vorgestellten Verfahrensd ist die sukzessiv-approximative Auswertung der Gln. (8a, 8b) durch einen Spannungsvergleich, ähnlich wie bei einem nach diesem Prinzip arbeitenden A/D-Wandler. Zum besseren Verständnis ist es vorteilhaft, die beiden Gleichungen umnzuformen, z. B. Gl. (8a):
Aus
folgt
Ein multiplizierender Digital-Analog-(D/A)-Wandler erzeugt die Ausgangsspannung Ua = cot_tan(α) * U₃(α), wobei das Analogsignal U₃(α) prinzipiell als Referenzspannung URef dient und cot_tan(α) als Binärzahl über das eingegebene Butmuster angenähert wird. Der Wandlerzyklus ist dann abgeschlossen, wenn durch Vergleich von Ua mit dem Signalspannungswert U₂(α) mittels eines Komparators die Gleichung (10) "gelöst" ist und das Steuerregister demzufolge den Zahlenwert der gewünschten Winkelfunktion cot_tan(α) enthält. Anschließend läßt sich der gesuchte Phasenwinkel bzw. Lagewert Φ(α) in konventioneller Weise über eine Winkeltabelle auslesen.
Für die praktische Durchführung der Multiplikation ist zu beachten, daß die cot-/tan-Funktionen wegen des Wertebereiches von -1 bis +1 beide Vorzeichen annehmen können (siehe Fig. 4).
Mit den Gleichungen (3) und (4) gilt
U₂(α) + U₃(α) = 2 · U₁(α)
und somit
Bei Auswertung der Gleichung (11) anstelle von (10) tritt kein Vorzeichenwechsel des Mulltiplikators mehr auf. Entsprechend lautet die Gl. (8b) in umgeschriebener Form
Die Fig. 6 zeigt die entsprechende Beschaltung der Tan-/Cot-Interpolation unter vorteilhafter Zugrundelegung der Gleichungen (11) und (12).
Die beiden Spursignale U₀(α) und U₁(α) werden verstärkt, zur Bildung von U₂(α) und U₃(α) addiert bzw. subtrahiert und mittels Halteglieder für die Dauer einer Abtastperiode "eingefroren". Zur Bestimmung des Quadranten q mit Bitmuster ₁Dn+Dn dient eine Quadrantenlogik, wobei zunächst die Spursignale U₀(α) und U₁(α) mit Hilfe von Komparatorschaltungen in die Logikzustände u₀(α) und u₁(α) übergeführt werden:
U₀(α)<0⇒u₀(α)=1
U₀(α)<0⇒u₀(α)=0
U₁(α)<0⇒u₁(α)=1
U₁(α)<0⇒u₁(α)=0
mit Dn+1, Dn=f(u₀,u₁)
Für Dn git die Funktionstabelle
d. h. Dn = u₀ xor u₁
für Dn+1 gilt die Funktionstabelle
d. h. Dn+1 =
Das niederwertige Bit Dn des Quadranten entscheidet, ob U₃(α) oder U₂(α) als Referenzspannung URef für den D/A-Wandler dient, d. h. ob die Gl. (11) oder die Gl. (12) zur Auswertung kommt. Bei Verwendung eines Wandlers mit Bitbreite n steht nach dem Auslesen der Winkeltabelle der Lagewert Φ(α) als durchgängige Binärzahl D₀ . . . Dn+1 mit einer Auflösung von (n+2) Bit zur Verfügung:
Dn-1 bis D₀: Feinauflösung innerhalb des Quadranten Dn+1Dn mit n Bit
Dn+1Dn: Nummer des Quadranten

Claims (4)

1. Auswerteverfahren für Positionssensoren mit zwei um 90° zueinander phasenverschobenen Meßsignalen U₀(α)=A sin(α) und U₁ (α)=A cos(α) zur Bestimmung des Lagewertes α innerhalb einer Signalperiode, wobei prinzipiell nur die Phasenlage der beiden Signale zueinander zur Auswertung kommt,
dadurch gekennzeichnet, daß
  • - in geeignet gewählten, aufeinander folgenden Quadranten der Signalperiode jeweils der Tangens bzw. der Kotangens des Phasenwinkels α, ausgedrückt durch die Quotienten U₀(α)/U₁(α) bzw. U₁(α)/U₀(α), dargestellt wird,
  • - bei beiden Winkelfunktionen nur der Wertebereich zwischen -1 und +1 genutzt wird, so daß die Steigung der Winkelfunktionen, bezogen auf den Phasenwinkel α, betragsmäßig stets 2 ist.
2. Auswerteverfahren für Weg-/Winkelaufnehmer mit sinusförmigen Spursignalen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bestimmung des jeweiligen gültigen Quadranten unter Zuhilfenahme von Signalen U₂(α) und U₃(α) erfolgt, welche durch Addition bzw. Subtraktion der Meßsignale gebildet werden und somit zu den Meßsignalen eine Phasenverschiebung von ±45° aufweisen.
3. Auswerteverfahren für Weg-/Winkelaufnehmer mit sinusförmigen Spursignalen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Signalspannungen U₀(α) und U₁(α) mit den Signalen U₂(α) und U₃(α) in ihrer Funktion sinngemäß vertauscht werden.
4. Auswerteverfahren für Weg-/Winkelaufnehmer mit sinusförmigen Spursignalen nach Anspruch 1 bis Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Berechnung der Winkelfunktionen Tangens bzw. Kotangens auf einen Vergleich zweier Analogspannungswerte mit sukzessiver Approximation zurückgeführt wird, wobei das Steuerregister eines multiplizierenden Digital-Analog-(D/A)-Wandlers als Ergebnis das Bitmuster des (stets positiven) Ausdrucks enthält, mit dessen Hilfe sich der gesuchte Phasenwinkel bzw. Lagewert α anschließend in konventioneller Weise über eine Winkeltabelle bestimmen läßt.
DE1995139134 1995-10-20 1995-10-20 Auswerteverfahren für berührungslos messende Weg-/Winkelaufnehmer mit sinusförmigen Spursignalen Expired - Lifetime DE19539134C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1995139134 DE19539134C2 (de) 1995-10-20 1995-10-20 Auswerteverfahren für berührungslos messende Weg-/Winkelaufnehmer mit sinusförmigen Spursignalen

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1995139134 DE19539134C2 (de) 1995-10-20 1995-10-20 Auswerteverfahren für berührungslos messende Weg-/Winkelaufnehmer mit sinusförmigen Spursignalen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19539134A1 true DE19539134A1 (de) 1997-04-24
DE19539134C2 DE19539134C2 (de) 2001-05-23

Family

ID=7775378

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1995139134 Expired - Lifetime DE19539134C2 (de) 1995-10-20 1995-10-20 Auswerteverfahren für berührungslos messende Weg-/Winkelaufnehmer mit sinusförmigen Spursignalen

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE19539134C2 (de)

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19719564A1 (de) * 1997-05-09 1998-11-12 Mannesmann Vdo Ag Verfahren zum Messen des Drehwinkels einer drehbaren Welle, insbesondere eines drehbaren Schalters und Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens
DE19729347A1 (de) * 1997-07-09 1999-01-14 Franz Gleixner Kapazitive Meßvorrichtung für Winkel oder Wege
EP0913668A1 (de) * 1997-10-29 1999-05-06 ruf electronics gmbh Verfahren zum Ermitteln des Phasenwinkels bei Positionsgebern mit sinusförmigen Ausgangssignalen
DE19818799A1 (de) * 1997-12-20 1999-06-24 Daimler Chrysler Ag Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Winkeln
DE19831960A1 (de) * 1998-07-16 2000-01-20 Itt Mfg Enterprises Inc Wegsensor
DE19836599A1 (de) * 1998-08-13 2000-02-17 Windhorst Beteiligungsgesellsc Verfahren zur berührungslosen magnetischen Erfassung linearer Relativbewegungen zwischen Dauermagneten und elektronischen Sensoren
DE19849554C1 (de) * 1998-10-27 2000-03-02 Ruf Electronics Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Absolutposition bei Weg- und Winkelgebern
DE19947370A1 (de) * 1999-10-01 2001-05-03 Ruf Electronics Gmbh Wegsensor
WO2001033171A1 (en) * 1999-11-04 2001-05-10 Elliott Industries Limited Inductive position detector
DE10048911C1 (de) * 2000-10-02 2002-04-25 Ruf Electronics Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Absolutposition bei Weg- und Winkelgebern
DE10114258A1 (de) * 2001-03-22 2002-09-26 Ivo Gmbh & Co Winkelmessvorrichtung zur Erfassung der genauen absoluten Position einer Geberwelle
DE10210372A1 (de) * 2002-03-08 2003-09-25 Siemens Ag Drehwinkelsensor mit hoher Winkelauflösung
DE10334869B3 (de) * 2003-07-29 2004-09-16 Tech3 E.K. Drehwinkelsensor
EP2063218A1 (de) * 2007-11-06 2009-05-27 Mitutoyo Corporation Interferometer
EP1315946B1 (de) * 2000-08-30 2010-03-31 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur erweiterung des absolutwinkelmessbereiches bei magnetfeldsensoren
DE102011103576A1 (de) 2011-05-30 2012-12-06 Megamotive Gmbh & Co. Kg Drehwinkelsensor
DE102011118928A1 (de) 2011-11-21 2013-05-23 Bourns, Inc. Drehwinkelsensor

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10301848B4 (de) * 2003-01-09 2014-10-09 Anton Rodi Messeinrichtung zur Erfassung von Größen, insbesondere von Winkeln oder Wegstrecken

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4029828A1 (de) * 1989-09-20 1991-04-25 Hitachi Ltd Einrichtung zur erfassung des drehwinkels einer rotierenden welle und diese einrichtung verwendende rotationssteuervorrichtung
DE4100666A1 (de) * 1990-11-07 1992-05-14 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Vorrichtung zur unterteilung von analogen periodischen signalen
DE4422868A1 (de) * 1994-06-30 1996-01-11 Itt Ind Gmbh Deutsche Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen eines Drehwinkels eines Magneten

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4029828A1 (de) * 1989-09-20 1991-04-25 Hitachi Ltd Einrichtung zur erfassung des drehwinkels einer rotierenden welle und diese einrichtung verwendende rotationssteuervorrichtung
DE4100666A1 (de) * 1990-11-07 1992-05-14 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Vorrichtung zur unterteilung von analogen periodischen signalen
DE4422868A1 (de) * 1994-06-30 1996-01-11 Itt Ind Gmbh Deutsche Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen eines Drehwinkels eines Magneten

Cited By (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19719564A1 (de) * 1997-05-09 1998-11-12 Mannesmann Vdo Ag Verfahren zum Messen des Drehwinkels einer drehbaren Welle, insbesondere eines drehbaren Schalters und Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens
DE19729347A1 (de) * 1997-07-09 1999-01-14 Franz Gleixner Kapazitive Meßvorrichtung für Winkel oder Wege
EP0913668A1 (de) * 1997-10-29 1999-05-06 ruf electronics gmbh Verfahren zum Ermitteln des Phasenwinkels bei Positionsgebern mit sinusförmigen Ausgangssignalen
DE19747753C1 (de) * 1997-10-29 1999-05-12 Ruf Electronics Gmbh Verfahren zum Ermitteln des Phasenwinkels bei Positionsgebern mit sinusförmigen Ausgangssignalen
US6018318A (en) * 1997-10-29 2000-01-25 Ruf Electronics Gmbh Method and apparatus for determining the phase angle in position transmitters with sinusoidal output signals
DE19818799A1 (de) * 1997-12-20 1999-06-24 Daimler Chrysler Ag Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Winkeln
DE19818799C2 (de) * 1997-12-20 1999-12-23 Daimler Chrysler Ag Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Winkeln
DE19831960A1 (de) * 1998-07-16 2000-01-20 Itt Mfg Enterprises Inc Wegsensor
DE19836599A1 (de) * 1998-08-13 2000-02-17 Windhorst Beteiligungsgesellsc Verfahren zur berührungslosen magnetischen Erfassung linearer Relativbewegungen zwischen Dauermagneten und elektronischen Sensoren
DE19849554C1 (de) * 1998-10-27 2000-03-02 Ruf Electronics Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Absolutposition bei Weg- und Winkelgebern
US6466889B1 (en) 1998-10-27 2002-10-15 Ruf Electronics, Gmbh Method and apparatus for determining absolute position of displacement and angle sensors
DE19947370C2 (de) * 1999-10-01 2001-10-18 Ruf Electronics Gmbh Wegsensor
DE19947370A1 (de) * 1999-10-01 2001-05-03 Ruf Electronics Gmbh Wegsensor
WO2001033171A1 (en) * 1999-11-04 2001-05-10 Elliott Industries Limited Inductive position detector
EP1315946B1 (de) * 2000-08-30 2010-03-31 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur erweiterung des absolutwinkelmessbereiches bei magnetfeldsensoren
DE10048911C1 (de) * 2000-10-02 2002-04-25 Ruf Electronics Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Absolutposition bei Weg- und Winkelgebern
US6618688B2 (en) 2000-10-02 2003-09-09 Ruf Electronics Gmbh Apparatus and method for determining absolute position with steering path and steering angle sensors
DE10114258A1 (de) * 2001-03-22 2002-09-26 Ivo Gmbh & Co Winkelmessvorrichtung zur Erfassung der genauen absoluten Position einer Geberwelle
DE10210372A1 (de) * 2002-03-08 2003-09-25 Siemens Ag Drehwinkelsensor mit hoher Winkelauflösung
DE10334869B3 (de) * 2003-07-29 2004-09-16 Tech3 E.K. Drehwinkelsensor
US6894487B2 (en) 2003-07-29 2005-05-17 Tech3 E.K. Angle of rotation sensor
EP2063218A1 (de) * 2007-11-06 2009-05-27 Mitutoyo Corporation Interferometer
JP2009115596A (ja) * 2007-11-06 2009-05-28 Mitsutoyo Corp 干渉計
US8018600B2 (en) 2007-11-06 2011-09-13 Mitutoyo Corporation Interferometer for measuring displacement information of an object
DE102011103576A1 (de) 2011-05-30 2012-12-06 Megamotive Gmbh & Co. Kg Drehwinkelsensor
DE102011118928A1 (de) 2011-11-21 2013-05-23 Bourns, Inc. Drehwinkelsensor

Also Published As

Publication number Publication date
DE19539134C2 (de) 2001-05-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19539134A1 (de) Auswerteverfahren für berührungslos messende Weg-/Winkelaufnehmer mit sinusförmigen Spursignalen
DE19747753C1 (de) Verfahren zum Ermitteln des Phasenwinkels bei Positionsgebern mit sinusförmigen Ausgangssignalen
EP2274579B1 (de) Positionsmesseinrichtung
DE2945895A1 (de) Magnetisches laengenmesssystem vorzugsweise zum messen der position von hydraulik-und pneumatikzylindern
CH628426A5 (de) Verfahren und vorrichtung zur kompensation fehlerhafter signalparameter.
DE3046797A1 (de) Elektrooptisches messsystem mit fehlerkorrektur
EP0643285A2 (de) System zur Messung der Absolutposition des beweglichen, zyklischen Teilungsmarken-Trägers eines inkrementalen Positionsgebers
DE19716985A1 (de) Vorrichtung zur Ermittlung der Position und/oder Torsion rotierender Wellen
DE112015001715T5 (de) Verfahren zur Messung der Schwingverschiebung unter Verwendung des Zustandsvariationsprinzips
DE112009000121T5 (de) Rotationswinkel-Erfassungsvorrichtung
EP0269779B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Winkelgeschwindigkeit aus zwei Signalen, die jeweils eine Funktion des Drehwinkels sind
EP0367947B1 (de) Positionsmesseinrichtung mit einer Unterteilungsschaltung
EP3179216B1 (de) Absolut messendes längenmesssystem und verfahren zu seinem betrieb
DE4137092A1 (de) Verfahren zum messen von winkeln unter verwendung wenigstens eines winkelcodierers
DE4443898A1 (de) Positionsmeßverfahren und Positionsmeßeinrichtung
EP1315946B1 (de) Verfahren zur erweiterung des absolutwinkelmessbereiches bei magnetfeldsensoren
DE602004002240T2 (de) Interpolationsverfahren für einen hochauflösenden optischen Winkelgeber und zugehöriger optischer Winkelgeber
DE19747563A1 (de) Lageerfassungsvorrichtung
DE102014103514B4 (de) Verfahren zur Drehwinkelerfassung
WO2016112903A1 (de) Verfahren und messsignalverarbeitungseinheit zur generierung eines mehrkanaligen messsignals für eine drehzahlmessung sowie sensoreinheit
DE10114258A1 (de) Winkelmessvorrichtung zur Erfassung der genauen absoluten Position einer Geberwelle
EP3021088B1 (de) Inkrementales Längenmesssystem und Verfahren zu seinem Betrieb
DE19938802A1 (de) Verfahren und Schaltungsanorndung zur Interpolation
DE102019110111B4 (de) Verfahren zu Selbstkalibrierung einer Positionsmessvorrichtung
EP0512327B1 (de) Positionsmesseinrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: RUF ELECTRONICS GMBH, 85635 HOEHENKIRCHEN-SIEGERTS

8181 Inventor (new situation)

Free format text: SCHOEDLBAUER, DIETER, DIPL.-PHYS. DR., 81825 MUENCHEN, DE

8110 Request for examination paragraph 44
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: RUF AUTOMOTIVE GMBH, 85635 HOEHENKIRCHEN-SIEGERTSBR

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: BOURNS, INC., RIVERSIDE, CALIF., US

8328 Change in the person/name/address of the agent

Representative=s name: VON BUELOW, T., DIPL.-ING.DIPL.-WIRTSCH.-ING.DR.RER

R071 Expiry of right