DE19532767C2 - Triangulation method - Google Patents

Triangulation method

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DE19532767C2 DE19532767A DE19532767A DE19532767C2 DE 19532767 C2 DE19532767 C2 DE 19532767C2 DE 19532767 A DE19532767 A DE 19532767A DE 19532767 A DE19532767 A DE 19532767A DE 19532767 C2 DE19532767 C2 DE 19532767C2
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    • G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/88—Lidar systems specially adapted for specific applications
    • G01S17/89—Lidar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging

Description

Technisches GebietTechnical field

Die Erfindung betrifft ein Triangulationsverfahren gemäß dem Ober­ begriff von Patentanspruch 1. Mit Triangulationsverfahren wird der Abstand zwischen einer Bezugsebene und einer Objektoberfläche ab­ solut gemessen. Dadurch ist es möglich, die Lage und/oder Gestalt von Objekten zu bestimmen, beispielsweise in der Produktions­ technik.The invention relates to a triangulation method according to the Ober Concept of claim 1. The triangulation method is used Distance between a reference plane and an object surface measured really. This enables the location and / or shape to determine objects, for example in production technology.

Stand der TechnikState of the art

Triangulationsverfahren sind auf dem Gebiet der Lasermeßtechnik bekannt (Donges A., Noll R.: Lasermeßtechnik - Grundlagen und Anwendungen. Heidelberg: Hüthig Buch Verlag 1993, ISBN 3-7785- 2216-71. Ein kollimierter Laserstrahl wird auf eine Objektoberfläche gerichtet und erzeugt dort einen Leuchtfleck. Das an der Oberfläche gestreute Licht wird von einem Objektiv, das unter einem Winkel ge­ gen die Einstrahlrichtung angeordnet ist, auf einen positionsempfind­ lichen Detektor abgebildet. Als Detektoren werden positionsempfind­ liche Dioden (position sensitive diodes, PSD) oder sogenannte char­ ged coupled devices (CCD) eingesetzt. Aus der mit Hilfe der Detekto­ ren bestimmten Lage des abgebildeten Leuchtflecks sowie der be­ kannten Einstrahl- und Beobachtungsrichtung wird der Abstand zwi­ schen einer Bezugsebene und der Leuchtfleckposition auf der Ober­ fläche ermittelt.Triangulation methods are known in the field of laser measurement technology (Donges A., Noll R .: Laser measurement technology - basics and applications. Heidelberg: Hüthig Buch Verlag 1993, ISBN 3-7785-2216-71. A collimated laser beam is directed onto an object surface and generates there a luminescent spot. the light scattered at the surface of light is arranged of a lens that ge at an angle gen the irradiation direction, imaged on a positionsempfind union detector. When detectors are positionsempfind Liche diodes (p osition s ensitive d iodes, PSD) or so-called c har ged c oupled d evices (CCD) is used. from using the Detekto certain position ren of the imaged light spot, as well as be known single beam and the direction of observation, the distance Zvi rule a reference plane and the light spot position on the upper surface determined.

In der DE-OS 38 22 143 ist ein Triangulationsver­ fahren offenbart, bei dem die Oberfläche eines Objekts mittels eines Lichtstrahls abgetastet wird und wobei von der Oberfläche gestreu­ tes und reflektiertes Licht von einem Objektiv auf einen positions­ empfindlichen Detektor abgebildet wird. Der Triangulationssensor be­ steht im wesentlichen aus einer Lichtquelle, vorzugsweise einem Laser, einer Einrichtung mit der der Laserstrahl relativ über das Objekt bewegt werden kann sowie einem positionsempfindlichen Detektor mit vorgeschaltetem Objektiv, mit dem die Position des Laserstrahls auf der Objektoberfläche gemessen wird. Durch Bewegung des Laserstrahl über das Objekt wird der Abstand einer Linie auf der Objektoberfläche von einer Bezugsebene ermittelt und somit das Oberflächenprofil dieser Linie.In DE-OS 38 22 143 is a triangulation ver driving disclosed, in which the surface of an object by means of a Light beam is scanned and being scattered from the surface and reflected light from a lens to a position sensitive detector is imaged. The triangulation sensor be essentially consists of a light source, preferably one Laser, a device with which the laser beam is relatively over the Object can be moved as well as a position sensitive Detector with an upstream lens, with which the position of the Laser beam is measured on the object surface. By Movement of the laser beam over the object becomes the distance of one Line determined on the object surface from a reference plane and hence the surface profile of this line.

Nachteilig an den bekannten Triangulationsverfahren ist, daß für die gleichzeitige Messung mehrerer Abstände zwischen einer Bezugs­ ebene und der Objektoberfläche so viele Lasertriangulationssensoren eingesetzt werden müssen, wie Abstände gemessen werden sollen. Dabei enthält jeder Lasertriangulationsensor eine Strahlquelle, eine Abbildungsoptik sowie einen positionsempfindlichen Detektor. Für eine gleichzeitige Messung müssen zudem die einzelnen Sensoren synchronisiert werden. Insgesamt erfordert die gleichzeitige Messung mehrerer Abstände einen relativ hohen gerätetechnischen Aufwand. A disadvantage of the known triangulation process is that for the simultaneous measurement of several distances between a reference level and the object surface as many laser triangulation sensors how distances should be measured must be used. Each laser triangulation sensor contains one beam source, one Imaging optics and a position sensitive detector. For the individual sensors must also measure simultaneously be synchronized. Overall, the simultaneous measurement requires several distances a relatively high expenditure on equipment.  

Die gattungsbildende DE 36 42 051 A1 beschreibt ein Triangulationsverfahren bei dem Bildmusterstrahlen in einer Vielzahl durch ein erstes optisches System auf ein Objekt geworfen werden. Von den Bildmusterstrahlen am Objekt erzeugte optische Bilder werden durch ein zweites optisches System hindurch von einem Bildempfänger empfangen, um die Orte der empfangenen optischen Bilder zu erfassen. Die Abstände der von den erfaßten Stellen der optischen Bilder zu einer Vielzahl von Stellen am Objekt werden gemessen, womit man eine dreidimensionale Information über das Objekt erhält.The generic DE 36 42 051 A1 describes a triangulation method in the Image pattern rays in a plurality through a first optical system onto an object to be thrown. Optical images generated by the image pattern rays on the object are passed through a second optical system by an image receiver received to capture the locations of the received optical images. The distances that of the detected locations of the optical images to a plurality of locations on the object are measured, which gives three-dimensional information about the object.

Die DE 34 35 033 A1 beschreibt ferner ein Lichtschnittverfahren zur optischen oder optoelektronischen Abstands- bzw. Tiefenmessung und Oberflächenprüfung. Meßungenauigkeiten werden gemäß dieser Lehre dadurch gemindert, daß die Ebenen in denen Lichtstrahl und Meßfläche mit Skala oder Detektorfläche verlaufen, miteinander die Scheimpflug'sche Bedingung erfüllen.DE 34 35 033 A1 also describes a light section method for optical or optoelectronic distance or depth measurement and surface inspection. According to this teaching, measurement inaccuracies are reduced in that the levels in which light beam and measuring surface run with a scale or detector surface with each other meet the Scheimpflug condition.

Darstellung der ErfindungPresentation of the invention

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Triangula­ tionsverfahren anzugeben, bei dem mehrere Abstände mit nur einem positionsempfindlichen Detektor gleichzeitig gemessen werden kön­ nen.The object of the present invention is a triangula tion method in which several distances with only one position-sensitive detector can be measured simultaneously nen.

Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt bei einem Verfahren gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1 mit den Merkmalen des Kennzeichens von Anspruch 1. Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den Unteran­ sprüchen 2 bis 8 angegeben.This object is achieved in a method according to the preamble of claim 1 with the features of the characterizing part of claim 1. Advantageous further developments are given in claims 2 to 8 at under.

Die Vorteile der Erfindung bestehen darin, daß der gerätetechnische Aufwand für die gleichzeitige Messung mehrerer Abstände erheblich reduziert wird und zudem eine Synchronisation mehrerer Triangu­ lationssensoren nicht erforderlich ist. Das Oberflächenprofil eines Objekts, z. B. eines Werkstücks in der Produktionstechnik, kann somit vergleichsweise schnell und einfach ermittelt werden.The advantages of the invention are that the device Considerable effort for the simultaneous measurement of several distances is reduced and also a synchronization of several Triangu lation sensors is not required. The surface profile of a Object, e.g. B. a workpiece in production engineering can can be determined comparatively quickly and easily.

Insbesondere der Einsatz von Lasern gemäß dem Unteranspruch 4 vereinfacht das Triangulationsverfahren, da auf diese Weise die ge­ wünschte Anzahl an Meßstrahlen auf einfache Art und Weise erzeugt werden kann. Die Verwendung von Lasern hat darüber hinaus den Vorteil, daß in einfacher Weise die Leuchtflecke auf einer Geraden positioniert werden können, wie im Unteranspruch 8 angegeben. Diese Ausgestaltung hat den Vorteil, daß die Leuchtflecke ohne Un­ schärfe auf dem Detektor abgebildet werden können.In particular, the use of lasers according to subclaim 4 simplifies the triangulation process because in this way the ge Desired number of measuring beams generated in a simple manner can be. The use of lasers also has the Advantage that the light spots on a straight line can be positioned as indicated in subclaim 8. This configuration has the advantage that the light spots without Un sharpness can be imaged on the detector.

Kurze Beschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings

Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels näher beschrieben. Die Strahlung, mit der die Objektoberfläche be­ aufschlagt wird, stammt von einem Laser. Es sei jedoch ausdrücklich darauf hingewiesen, daß auch jede andere Strahlungsquelle einge­ setzt werden kann, mit der Meßstrahlen erzeugt werden können, die an der Objektoberfläche wenigstens teilweise gestreut werden. Es zeigen:The invention is described below using an exemplary embodiment described in more detail. The radiation with which the object surface is struck comes from a laser. However, it is express noted that any other radiation source is turned on can be set with which measuring beams can be generated are at least partially scattered on the object surface. It demonstrate:

Fig. 1 schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Verfahrens in der Ausführung mit zwei Laserstrahlen Fig. 1 shows a schematic representation of the method according to the invention in the embodiment with two laser beams

Fig. 2 Aufsicht auf die linienförmige Detektorfläche mit Bildern von Leuchtflecken für verschiedene Postitionen der Objektober­ fläche Fig. 2 top view of the linear detector surface with images of light spots for different positions of the object surface

Bester Weg zur Ausführung der ErfindungBest way to carry out the invention

In Fig. 1 sei der Lösungsweg des erfindungsgemäßen Vefahrens be­ schrieben. Ein Laserstrahl (3) erzeugt auf der Oberfläche (2) eines Werkstücks (1) einen Leuchtfleck (4). Die Optik (5) bildet den Leuchtfleck (4) auf den Detektor (6) ab. Das Bild des Leuchtflecks ist in Fig. 1 mit (4') bezeichnet. Der Detektor ist eine CCD-Zeile, beste­ hend aus einer zeilenförmigen Anordnung gleichartiger Detektorele­ mente. Jedes Detektorelement liefert ein elektrisches Signal als Funktion der auf dieses Element einfallenden Strahlungsintensität.In Fig. 1, the solution of the method according to the invention be written. A laser beam ( 3 ) creates a light spot ( 4 ) on the surface ( 2 ) of a workpiece ( 1 ). The optics ( 5 ) image the light spot ( 4 ) on the detector ( 6 ). The image of the light spot is labeled ( 4 ') in FIG. 1. The detector is a CCD line, consisting of a line-shaped arrangement of similar detector elements. Each detector element provides an electrical signal as a function of the radiation intensity incident on that element.

Verändert die Objektoberfläche (2) ihre Lage in z-Richtung (13) bei­ spielsweise, weil das abgetastete Oberflächenprofil eine Erhöhung aufweist, so verschiebt sich der Leuchtfleck (4) ebenfalls in z- Richtung. Diese Verschiebung führt zu einer Veränderung der Lage des Bildes (4') auf dem Detektor.If the object surface ( 2 ) changes its position in the z direction ( 13 ), for example because the scanned surface profile has an elevation, the light spot ( 4 ) also shifts in the z direction. This shift leads to a change in the position of the image ( 4 ') on the detector.

Figur. 2 zeigt eine Detailansicht des Detektors (6). Er besteht vor­ zugsweise aus einer CCD-Zeile (14) mit ihren gleichartigen Detektor­ elementen (15), die zeilenförmig angeordnet sind. In Fig. 2 sind ver­ schiedene Lagen des abgebildeten Leuchtflecks (4'), (4") und (4''') dargestellt. Sie entsprechen verschiedenen Positionen der Objekt­ oberfläche (2) in z-Richtung und damit des Leuchtflecks (4).Figure. 2 shows a detailed view of the detector ( 6 ). It preferably consists of a CCD line ( 14 ) with its similar detector elements ( 15 ), which are arranged in rows. In FIG. 2, ver different positions of the imaged light spot (4 '), (4 ") and (4' shown ''). They correspond to different positions of the object surface (2) in the z-direction and thus the light spot (4) .

Um mehrere Abstände gleichzeitig zu messen, werden mehrere Laserstrahlen auf das Objekt (1) gerichtet. In Fig. 1 ist beispielhaft ein weiterer Laserstrahl (11) eingezeichnet. Dieser erzeugt einen Leucht­ fleck (12) auf der Objektoberfläche (2). Auf dem Detektor (6) ent­ steht das Bild (12') des Leuchtflecks. Fig. 2 zeigt verschiedene Bild­ positionen (12'), (12") und (12''') des Leuchtflecks (12), je nach Lage der Objektoberfläche (2) auf der Strahlachse des Laserstrahls (11).In order to measure several distances simultaneously, several laser beams are directed onto the object ( 1 ). A further laser beam ( 11 ) is shown as an example in FIG. 1. This creates a light spot ( 12 ) on the object surface ( 2 ). The image ( 12 ') of the light spot is formed on the detector ( 6 ). Fig. 2 shows different image positions ( 12 '), ( 12 ") and ( 12 ''') of the light spot ( 12 ), depending on the position of the object surface ( 2 ) on the beam axis of the laser beam ( 11 ).

Die Laserstrahlen (3), (11) und die Optik (5) sind so angeordnet, daß die Leuchtflecke (4), (12) sowie deren Bilder (4'), (4"), (4''') und (12'), (12") und (12''') in einer Ebene liegen. Der Detektor (6) wird auf diese Ebene ausgerichtet, so daß alle Bildpositionen von der CCD- Zeile (14), wie in Fig. 2 dargestellt, erfaßt werden.The laser beams ( 3 ), ( 11 ) and the optics ( 5 ) are arranged such that the light spots ( 4 ), ( 12 ) and their images ( 4 '), ( 4 "), ( 4 ''') and ( 12 '), ( 12 ") and ( 12 ''') lie in one plane. The detector ( 6 ) is aligned on this plane, so that all image positions of the CCD line ( 14 ), as shown in Fig. 2, are detected.

Der Bereich der möglichen Positionen der Objektoberfläche in z-Rich­ tung hängt von dem zu untersuchenden Objekt ab. Für jedes Objekt oder für jeden zu untersuchenden Objektbereich liegt er zwischen einer unteren und oberen Grenze zu, zo. Unter Nutzung der bekann­ ten optischen Abbildungsgesetze wird die Anordnung in Fig. 1 so ausgelegt, daß für alle Leuchtfleckpositionen (4) und (12) innerhalb des Intervalls (zu, zo) die jeweiligen Bilder auf dem Detektor vonein­ ander getrennte Detektorbereiche (16), (17) überstreichen, wie sie in Fig. 2 dargestellt sind. Das Intervall (zu, zo) bestimmt somit die Be­ abstandung der Meßstrahlen (3) und (11). Je größer die Variation des von einem Meßstrahl abgetasteten Oberflächenprofils ist, um so größer muß der ihm zugeordnete Detektorbereich sein und benach­ barte Meßstrahlen müssen entsprechend weiter voneinander beab­ standet sein.The range of possible positions of the object surface in the z direction depends on the object to be examined. For each object or for each object area to be examined, it lies between a lower and an upper limit z u , z o . Using the known optical imaging laws, the arrangement in Fig. 1 is designed so that for each spot position ( 4 ) and ( 12 ) within the interval (z u , z o ) the respective images on the detector from each other separate detector areas ( 16 ), ( 17 ), as shown in Fig. 2. The interval (z u , z o ) thus determines the distance between the measuring beams ( 3 ) and ( 11 ). The greater the variation of the surface profile scanned by a measuring beam, the larger the associated detector area must be and neighboring measuring beams must be spaced further apart accordingly.

Bei der Auswertung des Zeilensignals wird nun so vorgegangen, daß für jeden Bereich die Lage des jeweiligen Bildes des Leuchtflecks bestimmt wird. Dazu wird beispielsweise aus den Signalen der De­ tektorelemente eines Bereiches der Schwerpunkt der Intensitätsver­ teilung berechnet. Auf diese Weise können mehrere Abstände aus einem Zeilensignal bestimmt werden.When evaluating the line signal, the procedure is now such that the position of the respective image of the light spot for each area is determined. For this purpose, the signals from the De tector elements of an area the focus of intensity ver division calculated. This allows multiple distances be determined using a line signal.

Bei einer Verschiebung der Objektoberfläche außerhalb der oben an­ gegebenen Grenzen kann der Fall eintreten, daß das Bild eines Leuchtflecks auf dem Detektor den ihm zugeordneten Detektorbe­ reich verläßt und ganz oder teilweise in einen benachbarten Detek­ torbereich fällt.If the object surface moves outside of the above Given the limits, the case may arise that the image of a Luminous spots on the detector are assigned to it leaves rich and in whole or in part in a neighboring detec goal area falls.

Sind in einem Detektorbereich zwei Leuchtfleckbilder vorhanden, so kann der zu ermittelnde Schwerpunkt der Intensitätsverteilung in die­ sem Detektorbereich nicht mehr eindeutig einem Abstand zugeordnet werden. Bei der Auswertung der CCD-Zeile für die gleichzeitige Mes­ sung mehrerer Abstände ist es daher vorteilhaft zunächst zu prüfen, ob in jedem Detektorbereich genau ein Bild eines Leuchtflecks vor­ handen ist. Ist in einem Detektorbereich kein Bild eines Leuchtflecks, nur ein Teil eines Bildes eines Leuchtflecks oder sind mehrere Bilder von Leuchtflecken vorhanden, so wird angezeigt, daß das Meßobjekt wenigstens an einer Meßstelle das Intervall (zu, zo) verlassen hat. Um in diesem Fall das Meßobjekt weiter vermessen zu können, können die Abstände der Meßstrahlen vergrößert und gleichzeitig der jedem Leuchtfleck zugeordnete Detektorbereich vergrößert werden. Statt einer Vergrößerung des Abstandes können auch einzelne Laserstrahlen einer Serie paralleler Laserstrahlen abgeblockt werden, so daß dies einer Abstandsvergrößerung zwischen benachbarten Strahlen, die das Objekt erreichen, entspricht.If two light spot images are present in a detector area, then the center of gravity of the intensity distribution to be determined in this detector area can no longer be clearly assigned to a distance. When evaluating the CCD line for the simultaneous measurement of several distances, it is therefore advantageous to first check whether exactly one image of a light spot is present in each detector area. If there is no image of a light spot in a detector area, only part of an image of a light spot or if there are several images of light spots, it is displayed that the test object has left the interval (z u , z o ) at least at one measuring point. In order to be able to further measure the measurement object in this case, the distances between the measurement beams can be enlarged and at the same time the detector area assigned to each light spot can be enlarged. Instead of increasing the distance, individual laser beams of a series of parallel laser beams can also be blocked, so that this corresponds to an increase in the distance between adjacent beams that reach the object.

Für die Auswertung der Signale der Detektorelemente, die oben be­ schriebene Prüfung sowie die Berechnung der Schwerpunktlagen der Intensitätsverteilungen jedes Detektorbereiches wird vorzugsweise eine elektronische Datenverarbeitungseinrichtung verwendet.For the evaluation of the signals of the detector elements, the above be written examination and the calculation of the center of gravity of the Intensity distributions of each detector area are preferred an electronic data processing device is used.

Damit die Leuchtflecke (4) und (12) möglichst ohne Unschärfe auf den Detektor (6) abgebildet werden, werden Detektor (6) und Linse (5) so angeordnet, daß sich die durch die Punkte (4) und (12) be­ stimmte Gerade (18), die Längsmittelachse (19) der CCD-Zeile (14) und die Linsenebene (20) in einem Punkt (21) schneiden.So that the light spots ( 4 ) and ( 12 ) are imaged as possible without blurring on the detector ( 6 ), detector ( 6 ) and lens ( 5 ) are arranged so that the points ( 4 ) and ( 12 ) agree Cut straight ( 18 ), the longitudinal central axis ( 19 ) of the CCD line ( 14 ) and the lens plane ( 20 ) at one point ( 21 ).

Die Gerade 18 wird vorzugsweise so gewählt, daß sie in der Mitte des Intervalls (zu, zo) zu liegen kommt. The straight line 18 is preferably chosen so that it comes to lie in the middle of the interval (z u , z o ).

BEZUGSZEICHENLISTEREFERENCE SIGN LIST

11

Werkstück
workpiece

22nd

Oberfläche des Werkstücks
Surface of the workpiece

33rd

erster Laserstrahl (Meßstrahl)
first laser beam (measuring beam)

44th

Leuchtfleck
Light spot

55

Optik
Optics

66

Detektor
detector

1111

zweiter Laserstrahl (Meßstrahl)
second laser beam (measuring beam)

1212th

Leuchtfleck
Light spot

1313

z-Richtung
z direction

1414

CCD-Zeile
CCD line

1515

Detektorenelement
Detector element

1616

Detektorbereich
Detector area

1717th

Detektorbereich
Detector area

1818th

Gerade der Objektoberfläche
Especially the object surface

1919th

Längsmittelachse des Detektors
Longitudinal central axis of the detector

2020th

Linsenebene
Lens plane

2121

Schnittpunkt
Intersection

Claims (6)

1. Triangulationsverfahren zur Abstandsbestimmung an einem Objekt, insbesondere zur Bestimmung des Oberflächenprofils (2) eines Objekts (1), bei dem das Objekt (1) mit zwei oder mehreren Meßstrahlen (3, 11) beaufschlagt wird, die an der Objektoberfläche (2) eine entsprechende Anzahl von Leuchtflecken (4, 12) erzeugen, die über ein Objektiv (5) auf eine positionsempfindliche Detektorzeile (6) abgebildet werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßstrahlen (3, 11) in einer Ebene liegen und parallel zueinander verlaufen, daß das Objektiv (5) und die Detektorzeile (6) derart ausgerichtet sind, daß die Längsmittelachse (19) der Detektorzeile (6), die Objektivebene (20), und eine Gerade (18), die entlang der Leuchtflecke in der Mitte eines vorgebbaren Meßbereichs (zu, zo) verläuft, einen gemeinsamen Schnittpunkt (21) aufweisen, und daß jedem Leuchtfleck (4, 12) ein Detektorbereich (16, 17) zugeordnet wird und der Meßstrahlenabstand derart bemessen wird, daß die Bilder (4', 4", 4'''; 12', 12", 12''') der Leuchtflecke (4, 12) ihren Detektorbereich (16, 17) nicht verlassen, sofern die Leuchtflecke im vorgegebenen Meßbereich (zu, zo) liegen.1. triangulation method for determining the distance to an object, in particular for determining the surface profile ( 2 ) of an object ( 1 ), in which the object ( 1 ) is acted upon by two or more measuring beams ( 3 , 11 ) which are applied to the object surface ( 2 ) generate a corresponding number of light spots ( 4 , 12 ) which are imaged onto a position-sensitive detector line ( 6 ) via a lens ( 5 ), characterized in that the measuring beams ( 3 , 11 ) lie in one plane and run parallel to one another in that the objective ( 5 ) and the detector line ( 6 ) are aligned in such a way that the longitudinal central axis ( 19 ) of the detector line ( 6 ), the objective plane ( 20 ), and a straight line ( 18 ) along the light spots in the middle of a predeterminable measuring range (z u , z o ), have a common intersection ( 21 ), and that each light spot ( 4 , 12 ) is assigned a detector area ( 16 , 17 ) and the measuring beam distance de is dimensioned such that the pictures ( 4 ', 4 ", 4 '''; 12 ', 12 ", 12 ''') of the light spots ( 4 , 12 ) do not leave their detector area ( 16 , 17 ), provided that the light spots are in the predetermined measuring range (z u , z o ). 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß vorab geprüft wird, ob in jedem Detektorbereich (16, 17) genau ein Bild eines Leuchtflecks (4, 12) vorhanden ist.2. The method according to claim 1, characterized in that it is checked in advance whether exactly one image of a light spot ( 4 , 12 ) is present in each detector area ( 16 , 17 ). 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei den Meßstrahlen (3, 11) um Laserstrahlen handelt. 3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the measuring beams ( 3 , 11 ) are laser beams. 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung der Laserstrahlen ein oder mehrere HeNe-Laser oder ein oder mehrere Halbleiterlaser vorgesehen sind.4. The method according to claim 3, characterized, that one or more HeNe lasers or one or more for generating the laser beams Semiconductor lasers are provided. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Detektor (6) eine segmentierte positionsempfindliche Diode oder eine CCD-Zeile verwendet wird.5. The method according to any one of claims 1 to 4, characterized in that a segmented position-sensitive diode or a CCD line is used as the detector ( 6 ). 6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die wirksame Fläche der Detektorelemente der CCD-Zeile eine rechteckige Gestalt hat, wobei die Ausdehnung quer zur Zeilenachse größer ist als in Zeilenachse.6. The method according to claim 5, characterized, that the effective area of the detector elements of the CCD line has a rectangular shape, the extent transverse to the row axis is greater than in the row axis.
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