DE19521390A1 - Fokussierungsverfahren in der Photolithographie - Google Patents
Fokussierungsverfahren in der PhotolithographieInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung befaßt sich mit einem Fokussierungs
verfahren in der Photolithographie. Im Besonderen beschäftigt
sich die vorliegende Erfindung mit einem Belichtungssystem, in
welchem ein Maskenmuster auf einen vorbestimmten Bereich einer
Wafer Oberfläche durch eine verkleinernde Abbildungslinse auf
einanderfolgend in einem Repetierverfahren übertragen wird,
und bezieht sich insbesondere auf ein Verfahren zur Fokussie
rung des Belichtungslichts für jeden vorbestimmten Bereich vor
der Abstrahlung des Belichtungslichtes im Belichtungssystem.
Ein photolithographisches Repetiersystem mit Rückverkleinerung
stellt eine Art abbildendes Belichtungssystem zur Übertragung
eines Musters, welches von einer Maske vorgegeben wird, auf
einen Resist dar. Dieses photolithographisches Repetiersystem
mit Rückverkleinerung wendet ein sich schrittweise wiederho
lendes Verfahren an, und enthält einen Mechanismus um dieses
Verfahren auszuführen.
Im Repetierverfahren wird die Belichtung jedesmal ausgeführt,
wenn ein Wafer auf einer zweidimensional beweglichen X-Y Füh
rungsvorrichtung um eine konstante Strecke während des Vorgangs
der Übertragung eines Maskenmusters auf einen Resist weiter
geführt wurde. Das Belichtungsverfahren durch ein solches pho
tolithographisches Repetiersystem mit Rückverkleinerung soll
im Folgenden beschrieben werden.
Fig. 8 zeigt ein herkömmliches photolithographisches Repetier
system mit Rückverkleinerung während des Belichtungsvorgangs.
Es wird auf Fig. 8 Bezug genommen, eine Lichtquelle 511
strahlt das Licht einer Quecksilberlampe (g-Strahlen oder i-
Strahlen) durch eine Kondensor Linse 513 auf eine Glasmaske
(Strichplatte) 515. Die Lichtstrahlen, die die Glasmaske 515
durchdringen, werden durch eine verkleinernde Abbildungslinse
501 auf den Photoresist auf einem Wafer 50 projiziert.
In dem obigen photolithographisches Repetiersystem mit Rück
verkleinerung kann pro Belichtungsvorgang ein Bereich von 15 mm
× 15 mm belichtet werden (eine Belichtungszone). Deshalb wird
der Wafer 50 jeweils um eine Belichtungszone belichtet, wenn
der Wafer 50 von einer X-Y Führungsvorrichtung 502 bewegt
wird, welche für schrittweise und automatische Bewegungen in X
und Y Richtung bereitgestellt wurde.
Der Wafer 50 ist auf der X-Y Führungsvorrichtung 502 durch Un
terdruck befestigt.
Obwohl der Durchsatz bei dem obigen Verfahren, bei dem jeweils
eine Belichtungszone in Entsprechung zum Repetierverfahren be
leuchtet wird, geringer ist als bei einem Verfahren bei dem
der gesamte Wafer übertragen wird, kann es die folgenden Vor
teile (1) und (2) verschaffen.
- (1) Da die Projektionsfläche verkleinert wird, ist es möglich eine Linse mit ähnlicher Abmessung aber größerer numerischer Apertur (NA) zu verwenden, so daß ein Muster mit guter Steuer barkeit von Größe und Auflösung erreicht werden kann.
- (2) Aufgrund der kleinen Abbildungsflächen können Verzerrungen eines Abbilds durch die Linse unterdrückt werden, so daß eine sehr genaue Positionierung möglich ist.
Beim Vorgang der Belichtung des Wafers mit diesem photolitho
graphischen Repetiersystem mit Rückverkleinerung zur Herstel
lung eines Musters mit hoher Auflösung, liegt ein wesentlicher
Gesichtspunkt in der Fokussierung des Belichtungslichts vor
dem Belichtungsvorgang. Diese Fokussierung der Belichtung wird
üblicherweise durch einen automatischen Fokussierungsmechanis
mus ausgeführt, welcher am photolithographischen Repetiersy
stem mit Rückverkleinerung vorhanden ist.
Fig. 9 zeigt schematisch eine Struktur eines herkömmlichen
automatischen Fokussierungsmechanismus, wie er in einem photo
lithographisches Repetiersystem mit Rückverkleinerung verwen
det wird. Es wird auf Fig. 9 Bezug genommen, der automatische
Fokussierungsmechanismus beinhaltet eine Leuchtdiode (LED)
503, eine Kondensor Linse 504, einen Abbildungsspalt 505, eine
Abbildungslinse 506, eine Einfangslinse 507, einen verstellba
ren Reflektor 508, einen Einfangsspalt 509 und einen Detektor
510.
Von der LED 503 emittiertes Laserlicht fällt durch die Konden
sor-Linse 504, den Abbildungsspalt 505 und die Abbildungslinse
506 und trifft auf die Oberfläche des Wafers 50 auf. Das von
der Oberfläche des Wafers 50 reflektierte Laserlicht fällt
durch die Einfangslinse 507 und wird in einem vorbestimmten
Winkel vom Reflektor 508 abgelenkt und vom Detektor durch den
Einfangsspalt 509 aufgenommen. Der Detektor 510 mißt die In
tensität des Laserlichts. Beim Schritt der Fokussierung des
Belichtungslichts ist der Wafer 50 mit einem auf ihn aufge
brachten Photoresist überzogen.
Auf der Grundlage der vom Detektor gemessenen Intensität des
Laserstrahls stellt das System die Höhe, bzw. die vertikale
Position des Oberflächenabschnitts des Wafers 50 fest, auf
welche die Laserstrahlen gestrahlt werden. Um die optimale Fo
kussierung des Belichtungslichtes in Bezug auf die Höhe der
Oberfläche zu erreichen, wird die X-Y Führungsvorrichtung 502
vertikal (d. h. in Z-Richtung) und relativ zur verkleinernden
Abbildungslinse 501 bewegt. Dadurch wird die Oberfläche des
Wafer 50, die mit Laserstrahlen bestrahlt wird, angepaßt um
die optimale Position in Bezug auf die verkleinernde Abbil
dungslinse 501 einzunehmen.
Im Folgenden wird ein Verfahren zur Bearbeitung eines Wafers
durch ein photolithographisches Repetiersystem mit Rückver
kleinerung beschrieben.
Fig. 10 stellt ein Ablaufdiagramm dar, welches ein Verfahren
zur Bearbeitung eines Wafers durch ein photolithographisches
Repetiersystem mit Rückverkleinerung schematisch zeigt.
Fig. 11 stellt ein Ablaufdiagramm dar, in welchem ein Höhen
differenzenmeßschritt 131b und ein Fokuspositionsanpassungs
schritt 133 in einem Fokussierungsschritts 130 in Fig. 10
schematisch dargestellt wird.
Fig. 12 stellt einen Plan des Wafers dar und zeigt einen zu
belichtenden Bereich, der sich aus einer Mehrzahl von Belich
tungszonen zusammensetzt, und einen nicht zu belichtenden Be
reich.
Fig. 13 stellt einen schematischen Plan dar, der die Bestrah
lungspositionen der Laserstrahlen innerhalb einer Belichtungs
zone zeigt.
Es wird hauptsächlich auf Fig. 10 Bezug genommen, ein Halblei
terwafer wird in ein photolithographisches Repetiersystem mit
Rückverkleinerung eingebracht (Schritt 110). Dabei wird der
Wafer auf die X-Y Führungsvorrichtung gelegt und durch Unter
druck an dieser befestigt. Der Ausrichtungsvorgang wird durch
geführt um ein Masken Muster genau auszurichten, welches in
Bezug auf den Wafer übertragen werden soll (Schritt 120). In
diesem Zustand wird die Fokussierung in Bezug auf den Wafer
ausgeführt. (Schritt 130). Dieser Fokussierungsschritt 130 um
faßt den Höhendifferenzenmeßschritt 131b und den Fokuspositi
onsanpassungsschritt 133.
Zuerst wird eine vorbestimmte Anzahl von Belichtungszonen zur
Messung einer Höhendifferenz (ΔF) im Höhendifferenzenmeß
schritt 131b ausgewählt. Genauer, wie in Fig. 12 gezeigt wird,
wird der zu belichtende Bereich 57 auf der Wafer Oberfläche
aus einer Mehrzahl von Belichtungszonen 55 gebildet, wovon
jede durch die strichpunktierten Linien definiert ist. Eine
Belichtungszone 55 stellt einen Bereich dar, welcher auf ein
mal im Repetierverfahren durch ein photolithographisches Repe
tiersystem mit Rückverkleinerung zu belichten ist. Belich
tungszonen 55 umfassen Chipbereiche 51, d. h., Gebiete, auf
welchen Chips gebildet werden, und Schneidelinien 53, die sich
zwischen den Chipbereichen 51 befinden. Von dieser Mehrzahl
von Belichtungszonen 55 wird eine vorbestimmte Anzahl von Be
lichtungszonen ausgewählt.
Es wird hauptsächlich auf Fig. 11 Bezug genommen, es wird ein
Vorgang ausgeführt um die Höhe FA eines zentralen Teils
(Belichtungszonenmitte) einer Belichtungszone 55 unter den
ausgewählten Belichtungszonen 55 zu messen (Schritt 201). Da
her werden, wie in Fig. 13 gezeigt, Laserstrahlen 70 auf eine
Position 55a gestrahlt, welche als eine im wesentlichen zen
trale Position der Belichtungszone 55 angesehen werden kann,
und die Höhe FA wird ausgehend von der Intensität der reflek
tierten Laserstrahlen 70 festgestellt, wie dies bereits in Be
zug auf Fig. 9 beschrieben wurde.
Anschließend bewegt sich die X-Y Führungsvorrichtung um eine
vorbestimmte Strecke in X und Y Richtung (Schritt 203 in Fig.
11). Dadurch wird die Position des Laserstrahls 70 auf die Re
ferenzposition 55b gesetzt, die sich in der selben Belich
tungszone 55 befindet wie die Mittenposition 55a, aber von
dieser um einen vorbestimmten Abstand entfernt liegt. Die Re
ferenzposition 55b wird auf einem im wesentlichen flachen Be
reich 63 auf der Waferoberfläche in der Belichtungszone 55 ge
setzt.
Im Chipbereich sind die Oberflächen sich wiederholender Berei
che flacher als die anderer Bereiche. Deshalb wird, sollte es
sich z. B. bei dem Chip um einen DRAM (Dynamic Random Access
Memory) handeln, die Referenzposition 55b in einem Speicher
zellen Bereich MC gewählt, welcher den sich wiederholenden Be
reich darstellt.
Dann wird der Laserstrahl 70 auf diese Referenzposition 55b
gestrahlt, um die Höhe FB an der Position 55b zu messen
(Schritt 205 in Fig. 11).
Ausgehend von der Höhe FA der Belichtungszonenmitte 55a und
der Höhe FB der Referenzposition 55b wird die Differenz ΔF
dieser beiden Höhen erhalten (Schritt 207 in Fig. 11). Daher
ist, wie in Fig. 14 gezeigt, die Höhendifferenz ΔF gleich dem
Wert (FB-FA), welcher erhalten wird indem die Höhe FA der Be
lichtungszonenmitte 55a von der Höhe FB der Referenzposition
55b, welche die Referenzoberfläche bildet, abgezogen wird.
Fig. 14 stellt einen Ausschnitt eines Querschnitt des Wafers
dar, welcher eine Struktur zeigt, die zwei Chipbereiche 51 und
Schneidelinien 53 innerhalb einer Belichtungszone 55 enthält.
Fig. 14 zeigt weiterhin eine Struktur bei der sich die Belich
tungszonenmitte 55a auf einer Schneidelinie DL und die Refe
renzposition 55b auf einem Speicherzellenbereich MC befinden.
Die Belichtungszonenmitte kann sich in einem Speicherzellenbe
reich MC befinden, wie gezeigt in Fig. 15. Fig. 15 zeigt eine
Struktur, in welcher drei Chipbereiche 51 und Schneidelinien
53 in einer Belichtungszone enthalten sind.
Dieser Vorgang wird wiederholt um die Höhendifferenz ΔF in al
len ausgewählten Belichtungszonen zu erhalten (Schritt 209 in
Fig. 11). Nachdem die Höhendifferenz ΔF in allen ausgewählten
Belichtungszonen ermittelt wurde, wird ein Durchschnittswert
ΔFave der Höhendifferenzen ΔF in den jeweiligen Belichtungszo
nen errechnet (Schritt 211 in Fig. 11).
Nach der Berechnung des Durchschnitts ΔFave der ausgewählten
Belichtungszonen wird ein Vorgang in der sich wiederholenden
Art und Weise wie in Fig. 10 dargestellt, ausgeführt, und ins
besondere werden die Anpassung der Fokusposition (Schritt 133)
und die Belichtung mit Strahlen die auf diese Fokusposition
fokussiert wurden (Schritt 140) für jede Belichtungszone aus
geführt.
Zuerst wird im Fokuspositionsanpassungsschritt 133 eine Höhe
FA1 der Belichtungszonenmitte in jeder zu belichtenden Belich
tungszone gemessen (Schritt 221), wie gezeigt in Fig. 11.
Anschließend wird die optimale Fokusposition, ausgehend von
der Höhe FA1 der oben erwähnten Belichtungszonenmitte, dem
Durchschnittswert ΔFave der Höhendifferenzen, ermittelt durch
den obigen Höhendifferenzenmeßschritt 131b und dem Fokusver
satz F₀ (Schritt 223 in Fig. 11). Daraus wird, wie gezeigt in
Fig. 14, die optimale Fokusposition (Oberfläche) FS durch die
Addition des Durchschnittswertes ΔFave und des Fokusversatzes
F₀ zur Höhe FA1 (FA) der Belichtungszonenmitte bestimmt (FA1
+ ΔFave + F₀).
Dann wird die X-Y Führungsvorrichtung vertikal in Z-Richtung
und relativ zu der verkleinernden Abbildungslinse bewegt, um
das Belichtungslicht auf die optimale Fokusposition FS zu fo
kussieren (Schritt 225 in Fig. 11).
Es wird hauptsächlich auf Fig. 10 Bezug genommen, die Belich
tung für eine Belichtungszone wird dann ausgeführt, so daß das
Maskenmuster auf den Photoresist übertragen wird (Schritt
140).
Anschließend bewegt sich die X-Y Führungsvorrichtung in X und
Y Richtung um die Belichtung der nächsten Belichtungszone zu
ermöglichen(Schritt 150). Auf diese Weise werden der Fokuspo
sitionsanpassungsschritt 133 und der Belichtungsschritt 140
für eine Mehrzahl von Belichtungszonen wiederholt (Schritt
160).
Nachdem das Maskenmuster auf alle Belichtungszonen übertragen
wurde, wird der Wafer aus dem photolithographischen Repetier
system mit Rückverkleinerung entfernt (Schritt 170).
Nach dem herkömmlichen Fokussierungsverfahren der Photolitho
graphie wird die Höhe FB der Referenzposition 55b (d. h. die
Referenzoberfläche) zur Ermittlung der Höhendifferenz ΔF ge
messen. Da die Höhe FB der Referenzoberfläche einen Wert dar
stellt, welcher als Bezugspunkt zur Ermittlung der optimalen
Fokusposition verwendet wird, ist es wünschenswert, daß dieser
Wert genau ist. Aus diesem Grund werden die Bereiche aus sich
wiederholenden Mustern, da diese eine flachere Oberfläche be
sitzen als andere Bereiche des Chips, als Bezugsoberfläche
verwendet. Da der Bereich mit sich wiederholenden Mustern eine
relativ flache Oberfläche besitzt, so daß die Intensität von
Laserstrahlen zur Messung der Höhen, die auf den Bereich mit
sich wiederholenden Mustern gestrahlt und von diesem reflek
tiert werden, von dem Höhenunterschied der Oberfläche selbst
kaum beeinträchtigt werden, kann die Oberflächenhöhe genau
ermittelt werden.
Allerdings, auch wenn der Bereich mit sich wiederholenden Mu
stern als Referenzoberfläche verwendet wird, werden Ausfälle,
z. B. in der Anordnung der Muster, verursacht wenn der Grad der
Integration erhöht wird. Dies wird im weiteren erläutert.
- (1) Der Querschnitt des Laserstrahls 70, welcher für die Hö henmessung verwendet wird hat auf dem Wafer eine Länge L von 2 mm und eine Breite W von 150 µm, wie gezeigt in Fig. 13. Des halb muß der Bereich 63 aus sich wiederholenden Mustern, auf die der Laserstrahl auftrifft, eine ebene Fläche einnehmen, die nicht kleiner sein darf als die des Strahlquerschnitts 70. Nimmt der Bereich 63 aus sich wiederholenden Mustern eine Flä che ein, die nicht kleiner ist als die des Laserstrahlquer schnitts 70, dann wird der Laserstrahl 70a ausschließlich auf diesen Bereich 63 aus sich wiederholenden Mustern gestrahlt und nur von dort reflektiert, wie gezeigt in Fig. 16.
Deshalb kann die Höhe des Bereichs 63 aus sich wiederholenden
Mustern, der die Referenzoberfläche bildet, genau gemessen
werden.
Sollte der Bereich 63 aus sich wiederholenden Mustern jedoch
nicht eine Fläche einnehmen, die nicht kleiner ist als die des
Laserstrahlquerschnitts 70, würde der Laserstrahlquerschnitt
70 über den Bereich 63 aus sich wiederholenden Mustern hervor
ragen, wie dies in Fig. 17 gezeigt ist. In diesem Falle würde
der Laserstrahl 70a ebenfalls auf den Bereich 61, mit unter
schiedlichen Höhen gestrahlt, so daß sich die Intensität des
reflektierten Laserstrahls 70a verändern und somit die Höhe
nicht genau gemessen würde.
- (2) Einige Arten von ICs (Integrated Circuits) wie z. B. logi sche LSIs (z. B. ASICs (Application Specified Integrated Cir cuits)) enthalten keine Bereiche, wie z. B. sich wiederholende Bereiche die nicht als ein flacher Bereich angesehen werden können. In einem solchen Fall ist es unmöglich, die Höhe des Bereichs, der als Referenzoberfläche für die Bestrahlung mit Laserlicht verwendet wird, genau zu bestimmen.
Nach der herkömmlichen Regel des Designs bis zu 0.8 µm hat die
Belichtungsvorrichtung einen ausreichenden Spielraum in Hin
blick auf die Regeln des Designs und eine ausreichend große
Brennweite. Für logische LSIs, wie z. B. ASICs, wird der Brenn
punkt nicht individuell für die jeweilige Art des Schaltkrei
ses eingestellt, sondern eine einheitliche Fokussierung wird
für alle Produkte, die nach der gleichen Regel entworfen wur
den angewendet. Allerdings werden heute Bauelemente in einem
größeren Maße, im Zusammenhang mit einer höheren Integration
miniaturisiert, und deshalb werden einige Arten von Bauele
mente nun unter Anwendung einer Design Regel nicht mehr als
0.6 µm produziert, so daß verlangt wird die Brennweite unter
strengeren Bedingungen einzustellen.
Nach der obigen Regel des Designs, bestimmt für eine weitere
Miniaturisierung, wäre es unmöglich, die optimale Fokussierung
der Belichtung auszuführen, wenn die Höhe der Referenzoberflä
che nicht gemessen wurde, wie beschrieben in den obigen Fällen
(1) und (2). Dies würde Ausfälle im Aufbau der Muster verursa
chen, z. B. während diese Muster gebildet werden.
Dementsprechend ist es eine Aufgabe der Erfindung ein Fokus
sierungsverfahren in der Photolithographie zur Verfügung zur
stellen welches Bauelemente mit fehlerfreien Musteraufbau her
gestellen kann, auch wenn diese Muster aufgrund einer höheren
Integration weiter miniaturisiert werden.
Die vorliegende Erfindung sieht ein Verfahren zur Fokussierung
in der Photolithographie vor in welchem, für einem Vorgang der
aufeinanderfolgenden Übertragung eines Maskenmusters durch eine
verkleinernde Abbildungslinse auf einen jeden vorbestimmten
Bereich einer Waferoberfläche, in einer sich schrittweise wie
derholenden Art und Weise die Waferoberfläche belichtet wird
um so einen ersten Bereich aus einer Mehrzahl von vorbestimm
ten belichteten Bereichen, und einen zweiten Bereich, der
nicht durch das Belichtungslicht belichtet wird zu bilden, die
Fokussierung der Belichtung für jede der vorbestimmten Berei
che vor der Belichtung durchgeführt wird und beinhaltet die
folgenden Schritte.
Eine Oberflächenhöhe wird an einer ersten vorbestimmten Posi
tion in einem, unter der Mehrzahl der vorbestimmten Bereiche
ausgewählten, vorbestimmten Bereich gemessen. Eine Oberflä
chenhöhe wird an einer zweiten vorbestimmten Position in dem
zweiten Bereich gemessen. Eine Differenz zwischen der Oberflä
chenhöhe an der ersten vorbestimmten Position und der Oberflä
chenhöhe an der zweiten vorbestimmten Position wird berechnet.
Eine Oberflächenhöhe wird an einer dritten vorbestimmten Posi
tion gemessen, die der ersten vorbestimmten Position in dem
vorbestimmten Bereich entspricht, willkürlich ausgewählt aus
der Mehrzahl von vorbestimmten Bereichen. Eine optimale Fokus
position im willkürlich ausgewählten, vorbestimmten Bereich
wird bestimmt, ausgehend von der Oberflächendifferenz und der
Oberflächenhöhe an der dritten vorbestimmten Position. Eine
Positionsbeziehung zwischen dem Wafer und der verkleinernden
Abbildungslinse wird eingestellt um so das Belichtungslicht
auf die optimale Fokusposition zu fokussieren.
Dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Fokussierung in der Photo
lithographie entsprechend wird eine Referenzoberfläche aus
einer Waferoberfläche gebildet, welche sich unter einem nicht
zu belichtenden Bereich befindet. Dieser Bereich wird nicht
belichtet und wird nicht mit einem Chip versehen, so daß seine
Oberfläche im wesentlichen flach ist. Es können weiterhin
leicht Abmessung dieses Bereichs so gewährleistet werden, daß
der Querschnitt des Laserstrahls nicht über sie hinausragt.
Deshalb kann die Höhe der Referenzoberfläche genau gemessen
werden. Dementsprechend können Ausfälle im Aufbau der Muster
für Photolithographie auch dann unterdrückt werden, wenn Bau
elemente in höherem Ausmaß integriert werden.
Weitere Merkmale und Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben
sich aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen
anhand der Figuren.
Von den Figuren zeigen
Fig. 1 ein Ablaufdiagramm welches die Fokusierungschritte in
einer Ausführungsform der Erfindung darstellt und und
insbesondere einen Höhendifferenzenmeßschritt und
einen Fokuspositionsanpassungsschritt;
Fig. 2 einen schematischen Plan eines Wafers in dem ein zu
belichtender Bereich aus einer Mehrzahl von Belich
tungszonen gebildet ist , sowie einen Bereich, der
nicht belichtet wird;
Fig. 3 einen Plan eines vergrößerten Ausschnitts des Wafers
aus Fig. 2;
Fig. 4 einen schematischen Querschnitt, welcher die Berech
nung der optimalen Fokusposition für den Fall zeigt,
daß die Mitte einer Belichtungszone an einem periphe
ren Schaltkreisbereich gewählt ist;
Fig. 5 einen schematischen Querschnitt, welcher die Berech
nung einer optimalen Fokusposition für den Fall
zeigt, daß die Mitte einer Belichtungszone an einer
Schneidelinie gewählt ist;
Fig. 6 einen schematischen Plan eines Wafers, in welchem ein
nicht zu belichtender Bereich am peripheren Abschnitt
Bereichs gebildet ist, welcher üblicherweise
einen zu belichtenden Bereich bildet;
Fig. 7 einen schematischen Plan eines Wafers in welchem ein
nicht zu belichtender Bereich in einem zentralen Ab
schnitts des Bereichs gebildet ist, welcher üblicher
weise einen zu belichtenden Bereich bildet;
Fig. 8 eine schematische perspektivische Darstellung die ein
Prinzip der Belichtung in einem photolithographischen
Repetiersystem mit Rückverkleinerung zeigt;
Fig. 9 schematisch eine Seitenansicht eines automatischen
Fokussierungsmechanismus in einem photolithographi
schen Repetiersystem mit Rückverkleinerung;
Fig. 10 ein Ablaufdiagramm welches ein allgemeines Verfahren
zur Bearbeitung eines Wafers durch ein photolithogra
phisches Repetiersystem mit Rückverkleinerung dar
stellt;
Fig. 11 ein Ablaufdiagramm in welchem ein herkömmlicher Fo
kussierungsschritt schematisch dargestellt ist;
Fig. 12 einen Plan dar und zeigt schematisch eine Struktur
eines Wafers in dem Belichtungszonen gesetzt sind;
Fig. 13 einen schematischen Plan, der die Positionen der La
serstrahlen innerhalb einer Belichtungszone zeigt;
Fig. 14 einen schematischen Querschnitt durch einen Wafer,
der die herkömmliche Methode zur Berechnung der opti
malen Fokusposition für den Fall, daß die Belich
tungszonenmitte an einer Schneidelinie gewählt ist,
zeigt;
Fig. 15 einen schematischen Querschnitt durch einen Wafer,
der die herkömmliche Methode zur Berechnung der opti
malen Fokusposition für den Fall, daß die Belich
tungszonenmitte an einer Speicherzelle gewählt ist,
zeigt;
Fig. 16 eine schematische Seitenansicht eines Zustands in dem
Laserstrahlen auf einen sich wiederholenden Bereich
gestrahlt werden; und
Fig. 17 eine schematische Seitenansicht eines Zustands in dem
abgestrahlte Laserstrahlen über einen sich wiederho
lenden Bereich hinausragen.
Im Folgenden wird eine Ausführungsform der Erfindung mit Bezug
auf die Zeichnungen beschrieben.
Ein Belichtungsschritt in der Ausführungsform der Erfindung
unterscheidet sich von dem herkömmlichen Belichtungsschritt,
gezeigt in Fig. 10, insbesondere durch den Fo
kussierungsschritt (Schritt 130).
Es wird auf Fig. 1 Bezug genommen, ein Halbleiterwafer wird in
ein photolithographisches Repetiersystem mit Rückverkleinerung
eingebracht und ausgerichtet. Hiernach wird eine vorbestimmte
Anzahl von Belichtungszonen unter einer Mehrzahl der Belich
tungszonen ausgewählt. So sind die Belichtungszonen 55A, 55B,
55C, und 55D, schraffiert in Fig. 2, unter einer Mehrzahl der
Belichtungszonen 55 des Wafers 50 ausgewählt. Ein Bereich 57,
der aus allen Belichtungszonen 55 gebildet wird, ist ein
Bereich der mit Belichtungslicht bestrahlt wird und bildet so
mit den sogenannten zu belichtenden Bereich. Ein Bereich 59
stellt, anders als der obige Bereich, einen Bereich dar, der
nicht mit Belichtungslicht bestrahlt wird und bildet somit den
sogenannten nicht zu belichtenden Bereich. Belichtungszonen 55
enthalten Chipbereiche 51 und Schneidelinien 53, welche sich
zwischen den Chipbereichen befinden.
Anschließend wird einen Höhe FA eines zentralen Abschnitts
einer Belichtungszone 55 unter den ausgewählten Belichtungszo
nen 55 gemessen (Schritt 1 in Fig. 1). Genauer, Laserstrahlen
70 werden z. B. auf eine Position 55a (Belichtungszonenmitte)
gestrahlt, die als im wesentlichen zentraler Abschnitt der
ausgewählten Belichtungszone 55A, wie gezeigt in Fig. 3, an
gesehen wird, und die Höhe wird auf der Grundlage der Intensi
tät der reflektierten Strahlen der Laserstrahlen 70 gemessen.
Danach bewegt sich die X-Y Führungsvorrichtung um vorbestimmte
Distanzen in X und Y Richtung (Schritt 3 in Fig. 1). Dabei
wird die Strahlposition des Laserstrahls 70 auf die Referenz
position 61A innerhalb des nicht zu belichtenden Bereichs 59
und außerhalb der Belichtungszone gesetzt, wie gezeigt in Fig. 3.
Laserstrahlen 70 werden auf die Referenzposition 61A gestrahlt
um dort eine Höhe FB der Referenzposition 61A auf der Grund
lage der Intensität des reflektierten Strahls zu messen.
(Schritt 5 in Fig. 1).
Anschließend wird Schritt 7 in Fig. 1 ausgeführt, um eine Hö
hendifferenz ΔF zwischen der Höhe der Belichtungszonenmitte
55a in der ausgewählten Belichtungszone 55A und der Referenz
position 61A im nicht zu belichtenden Bereich 59 zu erhalten.
Genauer, wie in Fig. 4 gezeigt, ist die Höhendifferenz ΔF
gleich dem Wert (FB-FA), der erhalten wird in dem die Höhe FA
der Belichtungszonenmitte 55a von der Höhe FB der Refe
renzposition 61A der Referenzoberfläche abgezogen wird. Fig. 4
zeigt einen Ausschnitt aus einem Querschnitt des Wafers und
zeigt eine Struktur bei welcher sich die Belichtungszonenmitte
55a an einem der peripheren Bereiche PC befindet. Eine Struk
tur in der sich die Belichtungszonenmitte an einer Schneideli
nie DL befindet wird in Fig. 5 gezeigt.
Die Berechnung der Höhendifferenzen ΔF in der oben angegebenen
Art und Weise wird für alle weiteren ausgewählten Belichtungs
zonen 55B, 55C und 55D wiederholt (Schritt 9 in Fig. 1).
Nachdem die Höhendifferenz für alle ausgewählten
Belichtungszonen gemessen wurde, wird ein Durchschnittswert
ΔFave der Höhenunterschiede (ΔF) der entsprechenden Belich
tungszonen berechnet (Schritt 11 in Fig. l).
Nach der Berechnung des Durchschnittswertes ΔFave der Höhen
differenzen an den ausgewählten Belichtungszonen, werden die
Anpassung der Fokusposition (Schritt 133) und die Belichtung
mit Licht, das auf die Fokusposition fokussiert ist (Schritt
140) in der sich schrittweise wiederholenden Art und Weise für
die entsprechenden Belichtungszonen durchgeführt, wie in Fig.
10 gezeigt.
Es wird hauptsächlicher Bezug genommen auf Fig. 1, die Ein
stellung der Fokusposition wird wie folgt durchgeführt. Zuerst
wird eine Höhe FA1 der Belichtungszonenmitte in jeder Belich
tungszone, welche belichtet werden soll, gemessen (Schritt
21).
Dann wird eine optimale Fokusposition FS bestimmt auf der
Grundlage der Höhe FA1 der Belichtungszonenmitte, dem Durch
schnittswert ΔFave der Höhendifferenzen wie er durch den obi
gen Höhenmessungsschritt ermittelt wurde und einen Fokusver
satz F₀ (Schritt 23 in Fig. 1). Genauer, wie gezeigt in Fig.
4, wird die optimale Fokusposition (Oberfläche) FS durch die
Addition des Durchschnittswertes ΔFave und des Fokusversatzes
F₀ zur Höhe FA1 (FA) der Belichtungszonenmitte ermittelt, d. h.
auf der Grundlage von (FA1 + ΔFave + F₀).
Der Fokusversatz F₀ wurde im voraus bestimmt.
Anschließend wird die X-Y Führungsvorrichtung vertikal in Z-
Richtung (Höhenrichtung) und in Bezug auf die verkleinernde
Abbildungslinse bewegt, um das Belichtungslicht auf die opti
male Fokusposition FS zu fokussieren (Schritt 25 in Fig. 1).
Danach wird die Belichtung ausgeführt, so wie dies bereits in
Bezug auf Fig. 10 (Schritt 140) beschrieben wurde, genauer,
die Fokussierung und die Belichtung werden nacheinander für
die jeweiligen Belichtungszonen wiederholt. Andere Schritte
als die Obigen stimmen im wesentlichen mit den herkömmlichen
Schritten überein und werden deshalb im weiteren nicht be
schrieben.
Der obigen Ausführungsform des Fokussierungsverfahrens in der
Photolithographie entsprechend werden die Referenzoberflächen
auf den vorbestimmten Oberflächen 61A, 61B, 61C und 61D des
Wafers 50 in dem nicht zu belichtenden Bereich 59 gebildet,
wie es in Fig. 2 gezeigt ist. Da im nicht zu belichtenden Be
reich 59 keine Muster gebildet werden weist er eine im wesent
lichen flache Oberfläche auf. Obwohl in dem nicht zu be
lichtenden Bereich 59 Abmessungen die denen einer Belichtungs
zone 55 entsprechen nicht gewährleistet werden können, kann
gewährleistet werden, daß sich im nicht zu belichtenden Be
reich 59 ebene Flächen, größer als die sich wiederholenden Mu
ster innerhalb einer Belichtungszone, befinden. Es ist daher
einfach zu gewährleisten, daß sich Bereiche von einer Größe,
über die der Laserstrahlquerschnitt nicht hinausragt, inner
halb des nicht zu belichtenden Bereichs 59 befinden. Ein Be
reich mit flacher Oberfläche kann ohne Rücksicht auf die Art
der herzustellenden Chips, wie z. B. DRAM und ASIC, gewährlei
stet werden. Deshalb kann die Höhe der Referenzoberfläche ge
nau gemessen werden und deshalb kann die optimale Fokusposi
tion auf der Grundlage dieser Höhe der Referenzoberfläche, ge
nau ermittelt werden. Dementsprechend können Ausfälle in der
Anordnung der Muster bei der Photolithographie unterdrückt
werden sogar wenn Bauelemente in höherem Maße integriert wer
den.
Die Ausführungsform wurde im Zusammenhang mit der Struktur be
schrieben, bei der eine Hauptoberfläche des Wafers 50 als Be
reich 55 aus Belichtungszonen gewährleistet wird und einen Ab
schnitt in welchem die Abmessungen einer Belichtungszone 55
nicht gewährleistet werden können, der den nicht zu belichten
den Bereich 59 bildet. Die Erfindung beschränkt sich jedoch
nicht auf derartige Strukturen. So kann ein Bereich, der übli
cherweise als Belichtungszone 55 gewählt wird, ebenfalls als
nicht zu belichtender Bereich, der nicht belichtet wird, ge
wählt werden. So können z. B. die schraffierten Bereiche 59a,
59b, 59c, 59d, 59e und 59f in den Fig. 6 und 7 als nicht zu
belichtende Bereiche bereitgestellt werden und die Referenzpo
sitionen, die die Referenzoberflächen bilden, können in diesen
nicht zu belichtenden Bereichen 59a-59f gewählt werden.
In Fig. 6 sind die nicht zu belichtenden Bereiche 59a-59f Be
reiche, die normalerweise an der äußeren Peripherie des zu
belichtenden Bereiches liegen.
In Fig. 7 befinden sich die nicht zu belichtenden Bereiche 59e
und 59f in relativ nahe zur Mitte der zu belichtenden Bereiche
und sind an Positionen angeordnet, die von Belichtungszonen 55
umgeben sind.
Dem Verfahren zur Fokussierung in der Photolithographie ent
sprechend bildet die Waferoberfläche im nicht zu belichtenden
Bereich die Referenzoberfläche. Da dieser Bereich keiner Be
lichtung ausgesetzt ist und sich auf ihr auch kein Chip befin
det, hat er eine im wesentlichen flache Oberfläche. Es kann
einfach gewährleistet werden, daß dieser Bereich Abmessungen
besitzt, die ein Überragen des Laserstrahlquerschnitts ver
hindern. Dementsprechend ist es möglich die Höhe der Refe
renzoberfläche genau zu bestimmen und so Ausfälle im Aufbau
der Muster zu unterdrücken, auch wenn Bauelemente in höherem
Maße integriert werden.
Claims (5)
1. Fokussierungsverfahren in der Photolithographie, in wel
chem, für einen Vorgang der aufeinanderfolgenden Übertragung
eines Maskenmusters durch eine verkleinernde Abbildungslinse
auf jeden von vorbestimmten Bereichen auf einer Waferoberflä
che in einer sich schrittweise wiederholenden Art und Weise zum
Belichten der Oberfläche des besagten Wafers (50) und einen
ersten Bereich (57) vorzusehen, der aus einer Mehrzahl der
vorbestimmten Bereiche (55), welche belichtet werden, gebildet
ist und ein zweiter Bereich (59), der nicht belichtet ist, die
Fokussierung des besagten Belichtungslichts für jede der be
sagten vorbestimmten Zonen vor der Bestrahlung mit dem besag
ten Belichtungslicht durchgeführt wird, mit:
Messen einer Oberflächenhöhe an einer ersten, vorbestimmten Position (55a) in dem gewählten, vorbestimmten Bereich aus der Mehrzahl vorbestimmter Bereiche;
Messen einer Oberflächenhöhe an einer zweiten vorbestimmten Position (61A, 61B, 61C und 61D) in dem zweiten Bereich;
Berechnen einer Höhendifferenz zwischen der Oberflächenhöhe an der ersten vorbestimmten Position und der Oberflächenhöhe an der zweiten vorbestimmten Position;
Messen einer Oberflächenhöhe an einer dritten vorbestimmten Position der ersten vorbestimmten Position in dem ersten vor bestimmten Bereich entsprechend, willkürlich ausgewählt aus der Mehrzahl vorbestimmter Bereiche.
Bestimmen einer optimalen Fokusposition an der, willkürlich gewählten vorbestimmten Bereich, auf der Grundlage der Höhen differenz und der Oberflächenhöhe an der dritten vorbestimmter Position; und
Einstellen einer Positionsbeziehung zwischen dem Wafer und der verkleinernden Abbildungslinse zum Fokussieren des Belich tungslichts auf die optimale Fokusposition.
Messen einer Oberflächenhöhe an einer ersten, vorbestimmten Position (55a) in dem gewählten, vorbestimmten Bereich aus der Mehrzahl vorbestimmter Bereiche;
Messen einer Oberflächenhöhe an einer zweiten vorbestimmten Position (61A, 61B, 61C und 61D) in dem zweiten Bereich;
Berechnen einer Höhendifferenz zwischen der Oberflächenhöhe an der ersten vorbestimmten Position und der Oberflächenhöhe an der zweiten vorbestimmten Position;
Messen einer Oberflächenhöhe an einer dritten vorbestimmten Position der ersten vorbestimmten Position in dem ersten vor bestimmten Bereich entsprechend, willkürlich ausgewählt aus der Mehrzahl vorbestimmter Bereiche.
Bestimmen einer optimalen Fokusposition an der, willkürlich gewählten vorbestimmten Bereich, auf der Grundlage der Höhen differenz und der Oberflächenhöhe an der dritten vorbestimmter Position; und
Einstellen einer Positionsbeziehung zwischen dem Wafer und der verkleinernden Abbildungslinse zum Fokussieren des Belich tungslichts auf die optimale Fokusposition.
2. Fokussierungsverfahren nach Anspruch 1, bei dem der erste
Bereich (57) eine Belichtungszone darstellt und der zweite Be
reich (59) ein nicht zu belichtender Bereich ist.
3. Fokussierungsverfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2,
wobei der Wafer (50) eine Mehrzahl von Chipbereichen (51) be
inhaltet, und alle Chipbereiche (51) innerhalb des ersten Be
reichs (57) liegen.
4. Fokussierungsverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
wobei der zweite Bereich (59a, 59b, 59c und 59d) an einem peri
pheren Abschnitt auf der Oberfläche des Wafers (50) liegt und
den ersten Bereich (57) umgibt.
5. Fokussierungsverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
wobei der zweite Bereich (59) einen Teil (59f, 59e) beinhal
tet, welcher von dem erstem Bereich (57) umgeben ist.
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