DE19507119A1 - Vorrichtung zur Bestimmung von Verunreinigungen - Google Patents
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Description
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- - wenigstens einer Laserlichtquelle (10) zur Erzeu gung von gepulster Laserstrahlung,
- - einer Beleuchtungsoptik (24) zur Aufbringung des Laserlichts auf eine Probe (12),
- - einer Beobachtungsoptik (26), die auf den beleuch teten Teil der Probe (12) gerichtet ist,
- - einer Detektoreinheit (16, 18, 20) zur Erfassung der von der Probe (12) abgestrahlten und über die Beobachtungsoptik (26) weitergeleiteten Fluores zenzstrahlung der Probe (12), dadurch gekennzeichnet, daß
- - die Detektoreinheit (16, 18, 32, 34, 36) die von der Probe (12) abgestrahlte Fluoreszenzstrahlung in wenigstens zwei Zeitfenstern (I₁, I₂), die unter schiedlichen zeitlichen Abstand t von einem Zeit punkt der Aufbringung eines Laserblitzes auf die Probe (12) besitzen, erfaßt, und
- - eine Rechnereinheit zur Bestimmung des Verhältnis ses zwischen den in den Zeitfenstern aufgefangenen Meßsignalen zur quantitativen Bestimmung des Grades der Verunreinigung.
- - eine Einrichtung zur Erzeugung von Laserlicht we nigstens einer zweiten Wellenlänge, die verschieden von der Wellenlänge des ersten Laserlichts ist, wo bei mit Laserlicht beider Wellenlängen die zu un tersuchende Probe (12) beleuchtet wird, und
- - wobei die Detektoreinheit (16, 18, 32, 34, 36) zur Erfassung der von der Probe (12) abgestrahlte Fluo reszenzstrahlung in den wenigstens zwei Zeitfen stern (I₁, I₂), getrennt nach den Beleuchtungswel lenlängen eingerichtet ist, und
- - wobei die Rechnereinheit zur Bestimmung eines Wer tes V, des Verhältnisses der für die einzelnen Wel lenlängen in den Zeitfenstern aufgefangenen Meßsig nale I₂/I₁ eingerichtet ist, um eine qualitative Bestimmung der Verunreinigung durch Vergleich mit bekannten sich für verschiedene Konzentrationswerte ergebenden Wertescharen zu ermöglichen.
- - das Eintreffen der Fluoreszenzstrahlung in wenig stens zwei verschiedenen Zeitfenstern als Meßwerte (I₁ und I₂) registriert wird,
- - durch Bildung des Verhältnisses (V₁) zwischen den in den Zeitfenstern aufgefangenen Zählwerten der Grad der Verunreinigung bestimmt wird.
die Lage und Anzahl der Meßpunkte nach den Ergebnissen der vorangegangenen Messungen festgelegt wird,
wobei zur Bestimmung bei unbekanntem Substratverhaltens eine einzige Messung in nicht verschmutztem, gleichen Substrat vorgenommen wird; und wobei bei einer unbe kannten Verunreinigungssubstanz eine einzige Probe ent nommen wird.
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Representative=s name: BOEHMERT & BOEHMERT ANWALTSPARTNERSCHAFT MBB -, DE Representative=s name: BOEHMERT & BOEHMERT, DE Representative=s name: CHRISTIAN BIEHL, DE Representative=s name: CHRISTIAN BIEHL, 24105 KIEL, DE |
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R082 | Change of representative |
Representative=s name: BOEHMERT & BOEHMERT ANWALTSPARTNERSCHAFT MBB -, DE Representative=s name: BOEHMERT & BOEHMERT, DE |
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