DE1943748A1 - Heiz- und Temperaturmessgeraet - Google Patents
Heiz- und TemperaturmessgeraetInfo
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Description
€mst Q. !,Geisse 5602 L p A L NG k ENi«ö <Rhld·)' de"
Bökenbusch 41.
Dipl.-Phy, Jürgen lOeisse ' ^™5 1943748
Patentanwälte
Patentanmeldung
The Perkin-Elmer Corporation, Norwalk/Conn. USA
Heiz- und Temperaturmeßgerät
Die Erfindung betrifft ein Heiz- und Temperaturmeßgerät
mit einem Ofen zum Erhitzen eines Materials und einem Heizwiderstand, der den Ofen "beheizt und zugleich
als temperaturabhängiger Widerstand einen Teil einer Temperaturmeßschaltung bildet.
Es ist häufig wünschenswert, die Temperatur eines Materials in einem Temperaturbereich in einer vorgegebenen
Weise zu verändern. Beispielsweise wird in verschiedenen Analysengeräten wie Abtastkalorimetern,
thermogravimetriechen Analysengeräten und thermomechanischen
Analysengeräten die Temperatur einer Probe in programmierter Weise verändert, und es werden Änderungen
von mechanischen Eigenschaften, welche sich bei der Veränderung der Temperatur des Probenmaterials ergeben,
erfaßt und aufgezeichnet. Vorbekannte Geräte dieger Art enthielten einen elektrischen Ofen zum Aufheizen
der Probe in dem gewünschten Bereich. Um die
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Außenfläche eines wärmeleitenden Ofenmaterials wird"
eine elektrische Heizwendel gelegt, und dieser Heizwendel wird elektrische Energie zum Beheizen des Ofens
zugeführt. Der Heizwiderstand führt nicht nur dem Ofenkörper Wärme zu sondern wirkt auch als Temperaturfühler.
Ss ist eine Schaltung vorgesehen, durch welche * abwechselnd dem Heizwiderstand elektrische Energie zum
Beheizen des Ofens zugeführt wird und der Widerstand des Heizwiderstandes bestimmt wird, um eine elektrische
Anzeige der Probentemperatur zu erhalten. Diese elektrische Anzeige wird benutzt, um die Zufuhr von
Heizenergie zu dem Heizwiderstand nach Maßgabe dee
gewünschten Programmes zu regeln. Eine Heiz- und Temperaturmeßanordnung
dieser Art mit einem einzigen HeIz- und Meßwiderstand ist Gegenstand der Patentanmeldung
P 17 98 135.9 vom 29-8.1968.
Es ist wünschenswert, einen^ Heizwiderstand für solche
, Anwendungen zu schaffen, der sowohl wirtschaftlich
hergestellt werden kann als auch mit einem relativ hohen Grad von Genauigkeit reproduzierbar ist. Es
ist weiterhin wünschenswert, eine relativ starke und im wesentlichen lineare Temperaturabhängigkeit des
Widerstandes für diesen Heizwiderstand zu erreichen. Vorbekannte Heizanordnungen benutzten einen Platinwiderstand,
der eine brauchbare im wesentlichen lineare Temperaturabhängigkeit zeigt. Jedoch ist zusätzlich
— 3 — 1098 11/0893
zu den relativ hohen Kosten von Platin die Herstellung
eines Heizwiderstandes aus diesem Material relativ kostspielig, da sich gewisse Herstellungstechniken,
wie beispielsweise die Bildung des Heizwiderstandes
durch Atzen einer Metallschicht auf einem isolierenden G-rundkörper mit der Technik der gedruckten Schaltungen
nicht ohne weiteres anwenden lassen. Andererseits zeigen andere Heizwiderstand-materialien wie
beispielsweise Nickel, ßle für eine Vielzahl von Eerstellungstechniken
geeigneter und wesentlich weniger kostspielig sind, eine Temperaturabhängigkeit, die
insbesondere bei höheren Temperaturen für die G-enauigkeitsanforderungen
von Analysengeräten nicht annehnbar ist. Bei vorbekannten Anordnungen wurde die Linearität
dieser anderen Materialien, die als Heizwiderstände benutzt werden konnten, dadurch verbessert, daß
zu dem Heizwiderstand ein Ohm'scher Idnearisierungswiderstand
parallel geschaltet wird, der eine relativ hohe Leistungsaufnahme und einen Temperaturkoeffizienten
des Widerstandes von im wesentlichen null besitzt. Die durch diese Anordnung von Heizwiderstand und Parallelwiderstand
erhaltene Linearität ist für die Verwendung in Analysengeräten ausreichend. Um diese Linearität
zn erhalten, zieht der Parallelwiderstand gedoch einen relativ starken Strom und verbraucht relativ
viel elektrische Energie. Die Verwendung eines leistungsverbrauchenden Widerstandes wurde deshalb im
Hinblick auf die geringe Ausnutzung von relativ großen.
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elektrischen Leistungen und die Notwendigkeit, das leistungsTerbrauehende Glied in dem Gerät anzuordnen
und zu kühlen für ungeeignet zur Verwendung in einem Analysengerät angesehen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein verbessertes Gerät zur Temperaturprogrammierung eines Materi-"
als in einem Temperaturbereich zu schaffen.
Eine andere Aufgabe der Erfindung besteht darin, bei einem Gerät zum Temperaturprogrammieren eines Materials
in einem Temperaturbereich eine verbesserte Heizanord— :
nung zu schaffen mit einem Heizwiderstand, der eine relativ nichtlineare Widerstands-Temperatur-Charakteristik
zeigt, und einem Linearisierungsglied·
Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine
verbesserte Heiz- und Temperaturmeßanordnung mit einem einzigen Glied in einer Temperaturprogrammieranordnung
bei einem -^nalysengerät zu schaffen, bei welcher das
Glied aus einem Material hergestellt ist, das eine Widerstands-Temperatur-Öharakteristik
besitzt, die für die Verwendung bei einem Aüalysengerät relativ nichtlinear ist·
Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Heiz- und Temperaturmeßanordnung mit einem einzigen
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_ EJ
Element in einer Programmieraliordnung bei einem Analysengerät zu schaffen, welche ein Heizelement besitzt,
das aus einem Material mit einer relativ nichtlinearen Widerstands-Temperatur-Gharakteristik besteht
und aus einem Linearisierungsglied, wobei die elektrische
Energie, die in dem Linearisierungsglied verbraucht wird, nutzbringend eingesetzt wird.
Erfindungsgemäß wird das dadurch erreicht, daß mit der
Temperaturmeßschaltung und dem Heizwiderstand ein elektrisches
Linearisierungsglied in einer Fichtlineari-
·-■- der "zutaten Widerstands-Temperatur-Gharakteristik des Heizwiderstandes
ausgleichenden Weise verbunden ist und daß dieses Linearisierungaglied so zu dem Ofen angeordnet
ist, daß Wärme, die durch Verbrauch elektrischer Energie in dem Linearisierungsglied erzeugt wird, dem
Ofen zur Beheizung des darin angeordneten Materials zugeführt wird.
Gemäß den allgemeinen Merkmalen der Erfindung weist ein Gerät zur Veränderung der Temperatur eines Material«
In einem Temperaturbereich in programmierter Weise einen elektrischen Ofen auf, welcher sowohl von
ein·» Beizwiderstand beheizt wird, der eine relativ nichtlineare Widerstands-Temperatur-Oharakteriatik
aufweist, als auch von einem linearisierenden elektrischen
Wideretand. Der Idnearisierungawideretand besitzt
- 6 109811/0-893.
einen relativ geringen -Widerstand s-Temperatur-Koe.ffi-,
zientenund ist so mit dem Heizwiderstand verschaltet,
daß sich eine relativ lineare resultierende Widerstand s-Temperatur-Charakteristik
ergibt. Das Heizelement und der linearisierungswiderstand sind so zu dem Ofen angeordnet,
daß sie dem Ofen Wärme zuführen, die durch ψ den Verbrauch elektrischer Energie in beiden Wider
ständen erzeugt wird.
Gemäß spezielleren Merkmalen der Erfindung ist das
Heiz- und Temperaturmeßglied aus einem Material wie Nickel hergestellt, welches relativ billig ist und
welches eine relativ nichtlineare Winderstands-Temperatur-Charakteristik zeigt. Dieser Heizwiderstand
ist um einen Ofen herum gelegt und überträgt Wärme auf diesen. Ein Ünearisierungswiderstand mit einem
relativ geringen Widerstands-Temperatur-Koeffizienten ist zu dem Heiz- und Temperaturmeßglied parallel
. geschaltet und so um den Ofen herum gelegt, daß es
dem Ofen Wärme zuführt, die durch Verbrauoit elektric
scher Energie in diesem Widerstand erzeugt wird* Es
sind auch Schaltungsmittel vorgesehen, durch welche
abwechselnd elektrische Heizenergie dem Heiz- und
Temperaturmeßglied und dem Mnearieierungswideretand
zugeführt wird und der Widerstand derselben b·atimmt
wird, wodurch ein elektrisches Signal ale Maß für die
Temperatur der Probe erieugt wird« Si· 8ohmltungi«it-
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tel benutzen das elektrische Signal zur Regelung der
Zufuhr von Energie zu dem Heizwiderstand in programmierter
Weise.
Die Erfindung wird nachstehend an einem Ausführungsbeispiel unter Bezugnahme auf die zugehörigen Zeichnungen
beschrieben:
Figo 1 ist eine Seitenansicht, teilweise im
Schnitt, und zeigt einen Ofen, der nach einer Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung aufgebaut ist.
Fig. 2 ist eine vergrößerte Teilschnittansicht längs der Linie 2-2 von Fig. 1.
Fig. 3 ist eine Abwicklung des Heiz- und Idnearisierungsgliedes
von ^ig» 1, welches nach der Technik der gedruckten Sehal-„,
tungen vor dem Herumlegen um den Ofen von Fig. 1 hergestellt ist.
Fig. 4 ist ein Schaltbild teilweise in Blockform und zeigt eine Anordnung für die programmierte
Zufuhr elektrischer Energie zu dem Probenmaterial und
• B -
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Mg. 5 ist ein Diagramm und veranschaulicht die Verbesserung der linearität der Widerstands-Temperatur-Charakteristik
durch die Kombination von Heizwiderstand und Linearisie-.
rungsglied im Vergleich zu der Charakteristik des H-eiz- und Temperaturmeßgliedes
allein.
In Figo2 ist dargestellt, daß ein Aluminiumblock 1o
als Wärmesenke eines thermomechanisehen Analysengerätes
einen zylindrisch geformten Aluminiumofen 12 umschließt,
der innerhalb des Blocks 1o durch ein isolierendes Abstandsstück 14 gehalten ist, welches beispielsweise
aus Aluminiumoxydkeramik besteht* Diese Anordnung ist innerhalb eines Dewargefäßes 16 angeordnet.
Ein rohrförmiger Quarzprobenhalter 18 erstreckt sich durch eine Asbestkappe 2o in eine Kammer
22 des Ofens. Der Probenhalter weist eine Probenaufnahmefläche
24 auf, auf welcher ein Probenmaterial 26, welches in einem Temperaturbereich temperaturprogrammiert
werden soll, angeordnet wird. Es ist eine Quarzrohrsonde 28 zur Peststellung thermomechanischer
Veränderungen in den Eigenschaften der Probe 26 vorgesehen. Ein massives Ende 29 derselben liegt
auf der Oberfläche der Probe 26 auf.
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Der Ofen 12 wird in programmierter Weise von einem Heiz- und Meßglied 3o beheizt, welches von einem Draht
gebildet wird, der aus einer Metallschicht 32 hergestellt ist und auf einem isolierenden Grundkörper
sitzt. In !ig. 3 ist das Heiz- und Meßglied 3o abgewickelt
dargestellt als die elektrisch leitende Schicht 32, die auf dem isolierenden Grundkörper 34
nach üblichen Fabrikationstechniken der gedruckten Schaltungen geätzt ist. BIe leitende Schicht 32 ist
nach den Gesichtspunkten der Wirtschaftlichkeit und der Reproduzierbarkeit der Herstellung ausgewählt worden.
Ein spezielles Beispiel eines Materials, aus welchem das Glied 3o hergestellt werden kann, ist Nickel.
Der isolierende Körper 34 ist beispielsweise aus Kapton hergestellt. Die Abmessungen des isolierenden Körpers
und der Schicht sind so gewählt, daß der Isolator 34 in eine zylindrische Form um den zylindrisch geformten
Aluminiumofen 12 verformt werden kann, während er andererseits sowohl elektrische- isolation als auch
eine hinreichende -Wärmeleitfähigkeit ergibt, die für die Beheizung des Ofens wirksam ist. Die Schicht 32
hat eine hinreichende Dicke und^ Breite, daß sie elektrische
Energie zum Beheizen des Ofens verbraucht·
Die Materialien, welche die gewünschten Fabrikationseigeneahaften
besitzen, aus denen die Heiz- und Temper a türme ß wendel 3o von.Fig. 1 hergestellt werden kann,
- 1o 109811/08 9 3
zeigen im allgemeinen relativ nichtlineare Widerstands-Temperatur-Charakteristiken,
insbesondere bei höheren Temperaturen, auf welche ein Probenmaterial
programmiert werden würde. Nach einem Merkmal der Erfindung ist ein Linearisierungswiderstand 33 so zu
dem Ofen 12 angeordnet, daß er diesem Wärme zuführt. Dieser Linearisierungaiderstand ist elektrisch mit
dem Heiz- und Temperaturmeßglied verbunden, so daß sich ein zusammengesetzter Widerstand ergibt, der
eine resultierende, relativ lineare Widerstands-Temperatur-Charakteristik zei^t. Ddr'Iiltiearisierüngswiderstand
33 besteht/aus einer Metallschicht 36, die
im wesentlichen in der gleichen Weise hergestellt ist, wie das Heiz- und Temperaturmeßglied, nämlich
dttrch Ätzen eines leitenden Materials auf einem isolierenden Grundkörper 37· Ein geeignetes Material,
aus welchem das Linearisierungsglied zur Verwendung mit einem üTiekel-Heiz- und Meßglied hergestellt werden
kann, ist Nichrome V· Der Isolierende Grundkörper 37 wird zu einem Zylinder geformt und um das Heiz-
und Temperaturmeßglied 30 herumgelegt. Das Heiz- und Temperaturmeßglied und das Linearisierungsglied werden
dann in dieser Stellung um den Ofenkörper herum durch eine Metallklammer 38 befestigt, welche elektrisch
und thermisch, gegen den Linearisierungswiderstand
durch einen dünnen Streifen von isolierendem Material 40, beispielsweise Kapton isoliert ist·
-11-
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Das Heiz- und Temperaturmeßglied 3o wirkt so, daß es
sowohl Wärme dem Ofen 12 zum Beheizen der Probe 26 zuführt als auch die Temperatur des Ofens mißt. In
Figo 4 ist eine Schaltung dargestellt, durch welche
abwechselnd elektrische Energie dem Heiz- und Temperaturmeßglied und dem Linearisierungsglied während
eines Teils eines Temperaturprogrammier-Zyklus zugeführt wird, und durch welche der resultierende Widerstand
des Heiz- und Temperaturmeßgliedes und des M-nearisierungsgliedes während eines anderen Teils des
Zyklus bestimmt wird. Während des Meßteils des Zyklus wird ein elektrisches Signal erzeugt, welches ein Maß
für die Temperatur des Ofens darstellt. Die Schaltungsmittel steuern die Zufuhr von Energie zu diesen Gliedern
in programmierter Weise nach Maßgabe dieses Signals. Die parallelgeschalteten Glieder 3o und 33 sind
mit einem gesteuerten Halbleitergleichrichter 42 verbunden. Die elektrische Energie zum Beheizen der Glieder
wird von einer Wechselstromquelle 44 abgenommen und auf die Heizglieder über einen Transformator 45
und den gesteuerten Halbleitergleichrichter 42 gegeben. Die Glieder 3o und 33 liegen auch in Serie in einem
Spannungsteilerkreis 46 mit einem Ohm'sehen Widerstand
48 und einer Gleichspannungsquelle 5o. In diesem Serienkreis fließt ein Meßgleichstrom und erzeugt einen Spannungsabfall
an diesen Gliedern. Dieser Spannungsabfall ändert sich in seiner Amplitude nach Maßgabe des resul-
- 12 -
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tierenden Widerstandes des Gliedes 3o und des parallelgeschalteten
Linearisierungsgliedes 33. Wenn die Glieder 3o und 33 ihre Temperatur erhöhen, steigt der resultierende
Widerstand entsprechend. Das Glied 33 zeigt im wesentlichen einen Temperaturkoeffizienten des Widerstandes
von null,und wenn die Glieder in ihrer Temperatur
steigen, so steigt der resultierende Parallelwiderstand dieser Glieder im wesentlichen in linearer
Weise. Die Kurve 52 von Pig. 5 zeigt die Mentlinearität
eines Klckelheizwiderstandes, während die Kurve 54
die gemeinsame Charakteristik des resultierenden Widerstandes zeigt, der sich ergibt, wenn dem Heizwiderstand
ein Linearisierungswiderstand 33 parallelgeschaltet ist, dessen Widerstandswert das 5,6-fache des Widerstandes
des Nickelheizwiderstand es 3o bei 0 C beträgt. Der
Spannungsabfall an diesem resultierenden Widerstand hängt daher linear mit der Temperatur dieses Widerstandes
zusammen und liefert eine relativ genaue Anzeige der Ofentemperatur.
Eine gewünschte Solltemperatur, auf welche die Probe aufgeheizt werden soll, wird von einem Spannungsabfall
an einem Ohm'sehen Widerstand 56 eines Spannungsteilers
58 vorgegeben. Die Sollwertspannung wird von einer Ausgangssteuerspannung abgeleitet, die diesem Spannungsteiler
von einer Spannungsquelle 6o zugeführt wird.
Diese Ausgangssteuerspannung ist eine Gleichspannung
1 0 9 B 1 1 / Π 8 Π Ί
oder eine Gleichspannung, deren Größe sich langsam in vorgegebener Weise über einen Zeitraum hinweg ändert.
In dem letzteren Pail stellt die Spannungsquelle 60 eine übliche programmierte Ausgangsspannung dar,
v/i 3 β ie in heutigen Analysengeräten allgemein zu finden ist.
Eine Schaltungsanordnung zur Erzeugung einer Wechselspannung, deren Amplitude proportional zu einer Differenz
der Amplituden der Sollwertspannung und des Spannungsabfalls an den resultierenden Widerstand der Glieder
3o und 33 ist, enthält einen Zerhacker 62, der ein elektromechanischer oder ein elektronischer Zerhacker
sein kann. In Pig. 4 besteht der Zerhacker 62 aus einem üblichen elektromechanischen Schwinger, und der
Deutlichkeit der Zeichnung halber sind nur die Zerhakkerkontakte dargestellt, die hier speziell interessieren.
Eine Klemme 64 eines Zerhacker-Schwingerarmes 66 ist mit dem Spannungsteiler 58 verbunden. Der Schwingerarm
66 schaltet periodisch zwischen einer Klemme 68 und einer unbenutzten Klemme 7o, beispielsweise mit
60 Hertz, hin und her. Während des Teiles des Zyklus, wo der Schwingerarm 66 Kontakt mit der Klemme 68 gibt,
wird den Glieder 30 und 33 elektrische Heizenergie zugeführt.
Genauer gesagt ist der Schwingerarm 66 so gesteuert, daß er den Kontakt mit der Klemme 7o unterbricht,
bevor Heizenergie den Gliedern 3o und 33 zuge-
- 14 1098 11/0893
führt wird, und daß er Kontakt während desjenigen Teiles des Zyklus gibt, nachdem die Zufuhr von Heizenergie
beendet ist. Ein Ausgangswiderstand des Spannungsteilers 46 ist wesentlich geringer als ein Ausgangswiderstand
des Spannungsteilers 58. Der Spannungsteiler 46 mit relativ geringem Widerstand bestimmt in erster Linie
die Spannung an den Klemmen 64 und 70, wenn der Schwingerarm 66 in Kontakt mit der Klemme 70 ist. Der Spannungsabfall
an den Gliedern 30 und 33 erscheint dann an der Klemme 64, wenn der Sehwingerarm Kontakt mit
der Klemme 70 gibt. Wenn der Schwingerarm den Kontakt mit der Klemme 70 unterbricht und die Klemme 68 berührt,
wird das niederohmige Netzwerk 46 von der Klemme 64 getrennt und an der Klemme 64 erscheint die
Sollwertspannung. In-dem periodisch der Kontakt mit der Klemme 70 hergestellt und unterbrochen wird, wird
dadurch eine Gleichspannung erzeugt, die eine Wechselstromkomponente besitzt, die ein Maß für die Amplitudendifferenz
zwischen der Sollwertspannung und dem
Spannungsabfall an den Gliedern 30 und 33 ist· Ein Kondensator 72 koppelt diese Spannung mit einem Verstärker
74, und es wird so eine Wechselspannung erzeugt, die ein Maß für die Spannungsdifferenz zwischen dem Sollwert und der Spannung an den Gliedern 30 und 33 ist·
Diese Wechselspannung wird von der Verstärkerstufe 74 verstärkt und über einen Gleichstromverstärker 76 auf
»15-
109811 /0893
einen Steuerkreis 78 für den gesteuerten Halbleitergleichrichter
gegeben. Es wird dann den Gliedern 30 und 33 Heizleistung nach Maßgabe der Amplitude des
Wechselstromausgangssignals des Verstärkers 74 zugeführt. Die Zündschaltung 78 bewirkt eine Amplituden-Phasen-Wandlung
zur Steuerung des Leitendwerdens des gesteuerten Halbleitergleichrichters und der Zufuhr von
Heizenergie. Wenn die Temperatur der Glieder 30 und sich der Solltemperatur nähert, sinkt das Wechselstromausgangssignal
von dem Verstärker 74 in seiner Amplitude auf null Volt ab. Der Regelkreis sorgt dann für
die Automatische Zufuhr von genügend Leistung zu den Gliedern 30 und 33, um die Solltemperatur aufrechtzuerhalten.
Diese Schaltungsanordnung ist im einzelnen in der vorerwähnten Patentanmeldung P 17 98 135.9 beschrieben.
Es ist somit eine verbesserte Heizanordnung bei einem Temperaturprograinmiergerät beschrieben worden, in welcher
ein Heizelement, das relativ wirtschaftlich ist und mit einem hohen Grad von Reproduzierbarkeit hergestellt
werden kann, vorgesehen ist, und die Widerstands-Pemperatur-Charakteristik des Elementes wird
durch Verwendung eines Linearisierungswiderstandes im wesentlichen linear gemacht, wobei die Wärme, die durch
den Strom in. dem Linearisierungswiderstand erzeugt wird, dem Ofen zugeführt wird, so daß die Energie vollständig
ausgenutzt wird.
-16-
1 0 9 8 1 1 / Π Β 93
Claims (9)
- PatentansprücheHeiz- und Temperaturmeßgerät mit einem Ofen zum Erhitzen eines Materials und einem Heizwiderstand, der den Ofen beheizt und zugMch als temperaturabhängiger Widerstand einen Teil einer Temperaturmeßschaltung bildet, dadurch gekennzeichnet, daß mit der Temperaturmeßschaltung und dem Heizwiderstand (3o) ein elektrisches Linearisierungsglied (33) in einer Fichtlinearitäten der Widerstands-Temperatur-Charakteristik des Heizwiderstandes (3o) ausgleichenden Weise verbunden ist und daß dieses Linearisierungsglied (33) so zu dem Ofen angeordnet ist, daß Wärme, die durch Verbrauch elektrischer Energie in dem Linearisierungsglied (33) erzeugt wird, dem Ofen (12) zur Beheizung des darin angeordneten Materials (26) zugeführt wird.
- 2.) Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Linearisierungsglied (33) dem Heizwiderstand (3o) parallelgeschaltet ist.
- 3·) Gerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Heizwiderstand (3o) abwechselnd in- 17 10981 1 /0893einen Heizstromkreis (44, 45, 42) und in die Temperaturmeßschaltung (46, 58) einschaltbar ist.
- 4.) Gerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß es als Analysengerät ausgebildet ist, welches ein zu analysierendes Probenmaterial (26) in einem programmierten Temperaturbereich verändert und eine Anzeige für das Auftreten einer Änderung in einer Eigenschaft des Probenmaterials liefert.
- 5.) Gerät nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Heizwiderstand (3o) um eine Mantelfläche des Ofens (12) herumgelegt ist.
- 6.) Gerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Linearisierungsglied (33) um eine Mantelfläche dea Ofens (12) herumgelegt ist.
- 7.) Gerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Heizwiderstand (3o) von einer Drahtschicht (32) gebildet wird, die auf einem ersten isolierenden Grundkö'rper (34) sitzt, welcher um die Mantelfläche des Ofens (12) herumgelegt ist, und daß daa Linearisierungsglied (33) von einer Drahtschicht (36) gebildet wird, die auf einem zweiten isolierenden Grundkörper (37) sitzt, welcher ebenfalls um die Mantelfläche des Ofens (12) herumgelegt ist·- 18 109811/0893-.18 -
- 8.) Gerät nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Eeizwiderstand (3o) aus ITickel besteht.
- 9.) Gerät nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das linearisierungsglied (33) aus Fichrome V besteht.1o.) Gerät nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Temperaturkoeffizient des Widerstandes des Linearisierungsgliedes (33) im wesentlichen null ist.109811/0893
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