DE1936506A1 - Steuerventileinheit - Google Patents

Steuerventileinheit

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DE1936506A1 DE19691936506 DE1936506A DE1936506A1 DE 1936506 A1 DE1936506 A1 DE 1936506A1 DE 19691936506 DE19691936506 DE 19691936506 DE 1936506 A DE1936506 A DE 1936506A DE 1936506 A1 DE1936506 A1 DE 1936506A1
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Charles Rivolier
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    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B11/00Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
    • F15B11/08Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor with only one servomotor
    • F15B11/15Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor with only one servomotor with special provision for automatic return
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/04Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor
    • F15B13/0401Valve members; Fluid interconnections therefor
    • F15B13/0402Valve members; Fluid interconnections therefor for linearly sliding valves, e.g. spool valves

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Description

  • Steuerventileinheit Die Erfindung betrifft eine Steuerventileinheit, die zwischen einer Druckquelle und einem Niederdruckraum zwischengeschaltet ist, um eine Druckdifferenz zu steuern, mit der die Betätigung einer druckmittelbetätigbaren Vorrichtung in Abhängigkeit von einem vorgegebenen Eingangssignal gesteuert wird.
  • Bei der Erfindungrd ausgegangen von einer Steuerventileinheit mit einer in einem Gehäuse angeordneten Ventileinrichtung, die zwischen einen an eine Druckquelle anschließbaren Versorgungseinlaß und einen an einen Niederdruckraum anschließbaren Rückfuhrungsauslaß zwischengeschaltet ist und in AbhAngigkeit von einem vorgegebenen Eingangssignal zwei getrennte Auslaßöffnungen, die an eine druckmittelbetätigbare Vorrichtung anschließbar sind, wahlweise mit dem Versorgungseinlaß bzw. dem RtekfUhrungsauslaß verbindet.
  • Die Steuerventileinheit ist erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß die Ventileinrichtung durch eine auf eine Druckdifferenz ansprechende bewegbare Stellvorrichtung betätigbar ist, wobei eine wirksame Fläche der Stellvorrichtung der Druckdifferenz zwischen den beiden Auslaßöffnungen ausgesetzt ist, so daß die Stellvorrichtung durch diese Druckdifferenz in eine von zwei entgegengesetzten Öffnungsstellungen bewegt wird, und zwar Je nach dem Richtungssinn des Eingangssignals, das die Betätigung der Ventileinrichtung und der Stellvorrichtung einleitet.
  • Hierbei kann die Ventileinrichtung als ein Zweistellungs-Steuerventil aufgefaßt werden, das in der Öffnungsstellung, in die es Je nach dem Richtungssinn des Eingangssignals anfangs bewegt worden ist, bleibt, bis das Eingangssignal einen entgegengesetzten vorgegebenen Wert annimmt, der groß genug ist, um das Zweistellungs-Steuerventil entgegen der Druckkraft, die von der Druckdifferenz zwischen den Auslaßöffnungen auf die wirksame Fläche der Stellvorrichtung ausgeübt wird, umzuschalten. Von Bedeutung ist hierbei insbesondere, daß das Zweistellungs-Steuerventil in der einen seiner beiden Öffnungsstellungen bleibt, obwohl das Eingangssignal, das das Zweistellungs -Steuerventil anzwangs in die betreffende Öffnungsstellung umgeschaltet hat, auf einen Wert absinkt, der kleiner als der ursprüngliche Wert ist, und sogar Null wird.
  • In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist ein druckmittelbetätigbarer doppelt wirkender Stellmotor dadurch gekennzeichnet, daß eine erfindungsgemäße Steuerventileinheit zur Steuerung der Betätigung des Stellmotor-Stellglieds vorgesehen ist, das auf die Druck differenz zwischen den sich gegenüberliegenden, an die Auslaßöffnungen der Steuerventileinheit angeschlossenen Druckkammern anspricht, und daß ein mit dem Stellglied wirkungsmäßig verbundenes Eingangssignal-Steuerventil vorgesehen ist, das die Betätigung-der Ventileinrichtung in Abhängigkeit von der Verschiebung des Stellglieds steuert.
  • Bei normaler Druckmittelversorgung arbeitet der Stellmotor autoüiatisch und kontinuierlich, bis eine Ausgangskraft- die auf das Stellglied wirkende Druckdifferenzkraft ausgleicht und somit einer weiteren Verschiebung des Stellglieds entgegenwirkt.
  • Anhand der Zeichnungen werden Ausführungsbeispiele der Erfindung näher erläutert. Es zeigen: Fig. 1 einen Querschnitt durch eine erfindungsgemäße Steuerventileinheit, Fig. 2 einen erfungsgemäßen Stellmotor mit einer Steuerventileinheit nach Fig. 1.
  • In Fig. 1 ist eine Steuerventileinheit 10 dargestellt, die die Betätigung eines doppelt wirkenden druckmittelbetätigbaren Stellmotors 12 steuert. Der Kolben 14 des Stellmotors ist der Druckdifferenz zwischen den beiden Druckkammern 16, 18 des Stellmotors ausgesetzt, um ein Stellglied 20 zu betätigen.
  • Das Gehäuse der Steuerventileinheit 10 weist einen Trennwandkörper 22 auf, an dessen beiden Stirnflächen Jeweils ein Ringkörper 24 und ein Stirnwandkörper 26 dicht befestigt sind. Der Trennwandkörper 22 besitzt einen an eine Druckquelle (nicht gezeigt) angeschlossenen Versorgungseinlaß 28, einen an einen Niederdruckraum (beispielsweise die Atmosphäre) anschließbaren Rückführungsauslaß 30 und zwei Auslaßöffnungen 32, 34, die über Leitungen 36, 38 mit den Druckkammern 16, 18 des Stellmotors verbunden sind. Der innere Abschnitt 40 des Trennwandkörpers 22 ist mit zwei im wesentlichen parallel verlaufenden Bohrungen 42, 44 verstehen, von denen die Bohrung 42 mit dem Versorgungseinlaß 28 und die Bohrung 44 mit den Rückführungsauslaß 30 verbunden ist. Jede der Bohrungen 42, 44 mündet in zwei getrennte Auslaßkammern 46, 48, von denen die eine mit der AuslaAöfung 32 und die andere mit der Auslaßöffnung 34 verbunden ist In der Bohrung 42 ist eine Stange 50 gleitbar angeordnet, deren Länge größer als die axiale Länge der Bohrung 42 ist. An den entgegengesetzten Enden der Stange 50 sind zwei Ventilkörper 52, 54 angebracht, die mit den sich gegenüberliegenden, als Ventilsitze dienenden Rändern 46, 48 der Bohrung 42 zusammenwirken, um den Versorgungseinlaß 28 mit der Auslaßkammer 46 oder der Auslaßkammer 48, und zwar über die zwischen der Stange 50 und der Bohrung 42 gebildeten Kanäle, zu verbinden. In der gleichen Weise ist in der Bohrung 44 eine Stange 60 gleitbar gelagert, wodurch die Auslaßkammern 46, 48 Jeweils mit dem Rückführungsauslaß 30 verbindbar sind. Die Stange 60, deren Länge größer als die axiale Länge der Bohrung 44 ist, ist an ihren gegenüberliegenden Enden mit zwei Ventilkörpern 62, 64 versehen, die mit den sich gegenüberliegenden, als Ventilsitze dienenden Rändern 66 bzw.
  • 68 der Bohrung 44 zusammenwirken.
  • Die Auslaßkammer46, 48 werden durch zwei elastische Membranen 70, 72 verschlossen, die an ihren äußeren Ringabschnitten zwischen dem Trennwandkörper 22 und den Ringkörpern 24 eingeklemmt sind, so daß sie im Gehäuse zwei Steuerkammern 74, 76 bilden.
  • Jede der Membranen 70, 72 ist außerdem an einem Ventilkörper 50 bzw. 54 befestigt, wodurch eine bewegbare Stellvorrichtung gebildet wird, die einerseits auf die Druckdifferenz zwischen den Auslaßkammern 46, 48 und andererseits auf die Druckdifferenz zwischen den Steuerkammern 74, 76 anspricht.
  • Die Steuerkammern 74, 76 sind einerseits Geber mit Drosselstellen 79, 81 versehene Kanäle 78,80 mit dem Versorgungseinlaß 28 und andererseits über Drosselstellen 86, 88 mit Entlüftungsöffnungen 82, 84, die an einen Niederdruckraum (beispielsweise die Atmosphäre) angeschlossen sind, verbunden. Mit den als Ventilsitz die-1 nenden Rändern der Drosselöffnungen 86, 88 wirken zwei Membranen 90, 92, die an ihren sauberen Ringabschnitten zwischen den Ringkörpern 24 und den Stirnwandkörpern 26 eingeklemmt sind, zusammen, um den Druck in den Steuerkammern 74, 76 zu steuern. Jede Membran 90, 92 unterteilt den Raum zwischen den Ringkörpern 24 und den Stirnwandkörpern 26 in eine Entlüftungskammer 94 bzw. 96, die mit der Entlüftungsffnung 82 bzw. 84 verbunden ist, und eine Eingangssignal-Steuerkammer 98 bzw. 100, die mit einem Eingangs-Signalsteuereinlaß 102 bzw. 104 verbunden ist.
  • In dem inneren Abschnitt 40 des Trennwandkörpers 22 sind Drosselkanäle 106, 108 vorgesehen, die die Auslaßkammern 46, 48 mit dem Rückführungsauslaß 30 verbinden. Der wirksame Strömungsquerschnitt des Versorgungskanals, der durch die Bohrung 42, die Stange 50 und den Ventilkörper 52 oder 54 definiert ist, wird wesentlich größer gewählt als der wirksame Strömungsquerschnitt des Entlüftungskanals, der durch die Bohrung 44, die Stange 60 und den Ventilkörper 62 oder 64 definiert ist.
  • Die beschriebene Steuerventileinheit arbeitet wie folgt: Es sei beispielsweise angenommen, daß die beiden Eingangsaignal-Steuereinlässe 102, 104 an eine Drucksteuervorrichtung (nicht gezeigt> angeschlossen sind, die ein verhältnismäßig kleines Druokdifferenz-Eingangssignal an die beiden Eingangssignal-Steuereinlässe 102, 104 abgibt. Das Druckdifferenz-Eingangssignal kann beispielsweise aus zwei komplementären Digitalsignalen, d.ht zwei getrennten Drucksignalen, bestehen, von denen das eine (Eingangssignal 1) einem vorgegebenen Druckwert entspricht, der größer als der Druckwert des anderen Drucksignals (Eingangssignal 0) ist. Es sei ferner angenommen, daß sich die verschiedenen Ventilteile anfangs in der in Fig. 1 gezeigten Stellung befinden, in der die Druckkammer 18 des Stellmotors über die Bohrung 42, die Auslaßkammer 48, die Auslaßöffnung 34 und die Leitung 38 mit dem Versorgungseinlaß 28 und die Druckkammer 16 über die Bohrung 44, die Auslaßkammer 46, die Auslaßöffnung 32 und die Leitung 36 mit dem RUckführungsauslaß 30 verbunden ist. Das bewegbare Versorgungsventil 50, 70, 72 wird durch die-zwischen den Steuerkammern 74, 76 herrschende Druckdifferenz) die auf die wirksame Fläche der Membranen 70, 72 wirkt, sowie durch die zwischen den Auslaßkammern 46, 48 wirkende Druckdifferenz, die auf die wirksame Fläche der Membranen minus dem wirksamen Querschnitt des Ventilsitzes 56 oder 58 wirkt, in der gezeigten Stellung gehalten.
  • Das bewegbare Entlüftungsventil 60, 62, 64 wird durch die zwischen den Auslaßkammern 48 und 46 herrschende Druckdifferenz, die auf die wirksame Fläche des Ventilkörpers 62 wirkt, in seiner gezeigten Stellung gehalten.
  • Wenn der Eingangssignal-Steuereinlaß 104 mit einem Drucksignal, das größer als der Druck in der Entlüftungskammer 94 ist, beaufschlagt wird, und gleichzeitig der Eingangssignal-Steuereinlaß 102 an einen Niederdruckraum (beispielsweise die Atmosphäre) angeschlossen wird, bewegen sich die Membranen 90, 92 nach rechts (in Fig. 1), wobei sie die Drosselöffnung 86 freigeben und die Drosselöffnung 88 verschieben. Der Druck in der Steuerkammer 74 nimmt ab, bis er aufgrund der Drosselöffnung 79 im wesentlichen gleich dem Druck in der Entlüftungskammer 94 ist, während der Druck in der Steuerkammer 76 ansteigt, bis er im wesentlichen gleich dem Druck im Versorgungseinlaß 28 ist. Die dabei entstehende Druckdifferenz zwischen den Steuerkammern 76, 74 überwindet die auf die Membranen 72, 70 wirkende Druckdifferenz und bewegt, das Versorgungsventil 50, 70, 72 nach rechts (in Fig. 1), wodurch die Verbindung zwischen der Auslaßkammer 118 und dem Versorgungseinlaß 28 unterbrochen und der Versorgungseinlaß 28 mit der Auslaßkammer 46 verbunden wird. Aufgrund der unterschiedlichen Strömungsquerschnitte der Kanäle 42 und 44 und des Kanals 108 bewegt die Druckkraft, die von der Druckdifferenz zwischen den beiden Auslaßkammern und der dynamischen Druckkraft (Berno'ulli-Druckkraft bedingt durch die Strömung zwischen der Bohrung 42 und dem Rückführungsauslaß 30) herrührt, das Entlüftungsventil 60, 62, 64 nach links (in Fig. 1), wodurch die Verbindung zwischen der Auslaßkammer 46 und dem Rückführugsauslaß 30 unterbrochen und der Rückführungsauslaß 30 mit der Auslaßkammer 48 und der Druckkammer 18 verbunden wird. Nach der durch das Eingangssignal gesteuerten Verschiebung des Versorgungsventils 50 erfolgt die Bewegung des Entlüftungsventils 60 schlagartig, da sich das Entlüftungsventil zu diesem Zeitpunkt in einem instabilen, druckausrs lichenen Zustand befindet. Wenn das Versorgungsventil 50, 70, 72, wie oben beschrieben, umgeschaltet worden list, bleibt das Versorgungsventil in seiner rechten Öffnungsstellung, und zwar unabhängig davon, wie sich das Eingangssignal im Eingangssignal-Steuereinlaß 104 im folgenden ändert. Um die Steuerventileinheit in ihre entgegengesetzte öffnungsstellung umzuschalten und somit die Verschiebung des Stellglieds 20 umzukehren, muß lediglich die Drosselöffnung 88 geöffnet und die Drosselöffnung 86 geschlossen werden, was dadurch geschieht, daß an den Eingangssignal-Steuereinlaß 102 ein Drucksignal abgegeben und der Eingangssignal-Steuereinlaß 104 mit der Atmosphäre verbunden wird.
  • Durch Verändern des wirksamen Strömungsquerschnitts der Drosselöffnungen 79 und 81 kann die Verzögerung im Ansprechverhalten der Steuerventileinheit 10 eingestellt werden. Aufgrund des großen Unterschieds zwischen der wirksamen Fläche der Membranen 90 und 92 und dem verhältnismäßig kleinen Querschnitt der Kanäle 86 und 88 kann das bei 102 bzw. 104 einzugebende Eingangssignal durch einen Druck erzeugt werden, der bezüglich des Drucks in den Entlüftungskammern 94, 96 sehr klein ist.
  • Bei dem in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiel wird die Zweistellungs-Ventileinrichtung durch eine Druckdifferenz gesteuert, die durch zwei komplementär wirkende Eingangsaignal-Steuerventile 86, 90 bzw. 88, 92 in getrennten Steuerkammern 74, 76 hergestellt wird. Die Drosselöffnungen 86, 88 können Jedoch auch derart angeordnet werden, daß sie von einem einzigen Ventilkörper gesteuert werden, der auf ein Eingangssignal anspricht; das Versorgungsventil 50, 70, 72 könnte unmittelbar von einem Druckdifferenz-Eingangssignal, das an die Steuerkammer 74, 76 abgegeben wird oder sogar von einer auf die Stange 50 wirkenden mechanischen Eingangs kraft gesteuert werden.
  • Insbesondere können die Drosselöffnungen 86, 88 von zwei Ventilelementen 90' und 92' gesteuert werden, die an dem bewegbaren Stellglied 20 des Stellmotors 12 befestigt sind (Fig. 2). Bei diesem Ausführungsbeispiel dient die Atmosphäre als Druckquelle, die die Versorgungsöffnung 28 und die Drosselöffnungen 86, 88 mit Druck versorgt, während der Rückführungsauslaß 30 an einen Unterdruckraum (nicht gezeigt) angeschlossen ist. Bei einer solchen Anordnung steuert die Steuerventileinheit 10 kontinuierlich und automatisch die in entgegengesetzten Richtungen erfolgende Bewegung des Kolbens 14, bis eine Ausgangskraft die auf den Kolben 14 wirkende Druckkraft ausgleicht.

Claims (10)

  1. Patentansprüche
    n 1. teuerventileinheit mit einer in einem Gehäuse angeordneten Ventileinrichtung, die zwischen einen an eine Druckquelle anschließbaren Versorgungseinlaß und einen an einen Niederdruckraum anschließbaren Rückführungsauslaß zwischengeschaltet ist und in Abhängigkeit von einem vorgegebenen Eingangssignal zwei getrennte Auslaßöffnungen> die an eine drucknittelbetätigbare Vorrichtung anschließbar sind, wahlweise mit dem Versorgungseinlaß bzw. dem Rückführungsauslaß verbindet, dadurch gekennzeichnet, daß die Ventileinrichtung (50, 60) durch eine auf eine Druckdifferenz ansprechende bewegbare Stellvorrichtung (70, 72) betätigbar ist, wobei eine wirksame Fläche der Stellvorrichtung der Druckdifferenz zwischen den beiden Auslaßöffnungen (34, 36) ausgesetzt ist, so daß die Stellvorrichtung durch diese Druckdifferenz in eine von zwei entgegensetzte Öffnungsstellungen bewegt wird, und zwar Je nach dem Richtungssinn des Eingangssignals, das die Betätigung der Ventileinrichtung und der Stellvorrichtung einleitet.
  2. 2. Steuerventileinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine zweite wirksame Fläche der Stellvorrichtung (70, 72) einer das Eingangssignäl darstellenden eingegebenen Druckdifferenz ausgesetzt ist.
  3. 3. Steuerventileinheit nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Druckdifferenz-Eingangssignal durch die Druckdifferenz zwischen zwei im Gehäuse (22, 24, 26) vorgesehenen getrennten Steuerkammern (74, 76) definiert ist, von denen Jede mit dem Versorgungseinlaß (28) und dem Rückführungsauslaß (30, 82, 84) verbunden ist, und zwar Jeweils über eine Drosselöffnung (79, 86; 81, 88), von denen die eine (86, 88) durch ein Steuerventil (90, 92) steuerbar ist, und daß die zweite wirksame Stellvorrichtungs-Fläche, die der Eingangssignal-Druckdiffereng ausgesetzt ist, wesentlich größer ist als die erste wirksame Stellvorrichtungs-Fläche, die der Druckdifferenz zwischen den Auslaßöffnungen ausgesetzt ist.
  4. 4. Steuerventileinheit nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß Jedes der Steuerventile (90, 92), die den Druck in den getrennten Steuerkammern (74, 76) steuern, durch einen Kolben oder eine Membran (90, 92) betätigbar ist, der oder die auf die Druckdifferenz zwischen einer an einen Eingangssignal-Steuereinlaß (102, 104) angeschlossenen Eingangssignal- Steuerkammer (98, 100) und einer an den Rückführungsauslaß (82, 84, 30) angeschlossenen Entlüftungskammer (94, 96) anspricht.
  5. 5. Steuerventileinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Ventleinrichtung (50, 60) ein mit der Stellvorrichtung (70, 72) wirkungsmäßig verbundenes Zweistellungs-Versorgungsventil (50, 52, 54, 56, 58) und ein druckbetätigtes Entlüftungsventil (60, 62, 64, 66, 68) aufweist, von denen das Versorgungsventil in Abhängigkeit von dem Eingangssignal die Verbindung des Versorgungseinlasses (28) mit der einen oder anderen zweier getrennter, an die Auslaßöffnungen (32, 34) angeschlossenen Auslaßkammern (46,48) steuert und das Entlüftungsventil in Abhängigkeit von der Druckdifferenz zwischen den Auslaßöffnungen die Niederdruck-Auslaßkammer mit dem Rückführungsauslaß (30) verbindet, wobei der wirksame Strömungsquerschnitt des Entlüftungsventils (60) wesentlich kleiner als der wirksame Strömungsquerschnitt des Versorgungsventils (50) ist.
  6. 6. Steuerventileinheit nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß Jede der Auslaßkammern (46, 48) über einen Drosselkanal (106, 108) unmittelbar mit dem Rückführungsauslaß (30) verbunden ist, um zu verhindern, daß der Strömungsmitteldruck in der i einen der beiden Auslaßkammern eingeschlossen wird, wenn sich das Entlüftungsventil (50) in die Stellung bewegt, in der der Versorgungseinlaß (28) mit der anderen Auslaßkammer verbunden ist.
  7. 7. Steuerventileinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Ventileinrichtung (50, 60) in einem im Gehäuse vorgesehenen starren Trennwandkörper (22) gleitbar angeordnet und an ihren gegenüberliegenden Enden mit zwei entgegengesetzt wirkenden bewegbaren Membranen (70, 72) von im wesentlichen gleicher wirksamer Fläche versehen ist, die in Verbindung mit dem Gehäuse und dem Trennwandkörper zwei getrennte Aüslaßkammern bilden, die mit den Auslaßöffnungen (32, 34) verbunden sind.
  8. 8. Steuerventileinheit nach einem der Ansprüche 2 bis 6 in Verbindung mit Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite wirksame Fläche der Stellvorrichtung (70, 72), die auf das Druckdifferenz-Eingangssignal anspricht, von den entgegengesetzt gerichteten Flächen der Membranen (70, 72), die den dem Druck der Auslaßkammern (46, 48) ausgesetzten Flächen der Membranen gegenüberliegen, gebildet wird.
  9. 9. Steuerventileinheit nach Anspruch 5 oder 6 in Verbindung mit Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Versorgungsventll (50, 52, 54, 56, 58) zwei sich gegenüberliegende, miteinander verbundene Ventilkörper (52, 54) aufweist, die mit den Membranen (70, 72) wirkungsmäßig verbunden sind und die eine oder die andere zweier sich gegenüberliegender Öffnungen (56,58) eines Versorgungskanals (42) verschließen,der in dem Trennwandkörper (22) vorgesehen ist, um den Versorgungseinlaß (28) mit den biden Auslaßkammern (46, 48) zu verbinden.
  10. 10. Druckmittelbetätigbarer5 doppelt wirkender Stellmotor, dadurch gekennzeichnet, daß eine Steuerventileinheit (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche zur Steuerung der Betätigung des Stellmotor-Stellglieds (12, 14) vorgesehen ist, das auf die Druckdifferenz zwischen den sich gegenüberliegenden, an die Auslaßöffnungen (32, 34)'der Steuerventileinheit angeschlossenen Druckkammern anspricht, und daß ein mit dem Stellglied wirkungsmäßig verbundenes Eingangssignal-Steuerventil (90', 92') vorgesehen ist, das die Betätigung der Ventileinrichtung in Übereinstimmung mit der Verschiebung des Stellglieds steuert.
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