DE1933236C3

DE1933236C3 - Verfahren zur Herstellung von Roehren fuer rohrfoermige Elektronenvervielfacher

Info

Publication number: DE1933236C3
Application number: DE19691933236
Authority: DE
Inventors: Henri Rougeot
Original assignee: Thomson CSF SA
Current assignee: Thales SA
Priority date: 1968-07-02
Filing date: 1969-07-01
Publication date: 1973-05-10
Also published as: US3592522A; FR1585625A; DE1933236B2; GB1208549A; DE1933236A1; NL6909865A

Description

und in dieser Lage durch Verkleben längs dei 13 Nachteils.

Mantellinien oder durch Festlegung mittels Das erfindungsgemäße Verfahren ist dadurch geSchellen gehalten werden. kennzeichnet, daß jedes dieser Rohre vor dem

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- Aufbringen der Schicht über seine ganze Länge längs kennzeichnet, daß geradlinige Rohre verwendet zweier Mantellinien aufgeschlitzt wird, die beiden so werden. ao erhaltenen Hälften nach der Behandlung wieder in

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- ihre gegenseitige Ausgangslage gebracht werden und kennzeichnet, daß gekrümmte Rohre verwendet in dieser Lage durch Verkleben längs der Mantelwerden, linien oder durch Festlegung mittels Schellen gehalten

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, werden.

dadurch gekennzeichnet, daß die Stärke der 25 An Hand der Figuren wird die Erfindung beiSchicht und deren Widerstand während des spielsweise näher erläutert. Es zeigt
Betriebs gesteuert werden. F i g. 1 ein für das erfindungsgemäße Beschichten

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, vorbereitetes Rohr für einen rohrförmigen Elekdadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung der tronenvervielfacher,

Schicht Zinnoxyd verwendet wird 30 F i g. 2 in schematischer Teildarstellung ein Bei

spiel für eine Anlage, welche bei der Behandlung der in F i g. 1 gezeigten Rohre verwendet wird, und F i g. 3 ein Beispiel eines fertigen Rohres für rohr-

förmige Elektronenvervielfacher gemäß der Er-

35 findung.

In allen Figuren sind die gleichen Teile mit den gleichen Bezugszeichen versehen.

Fig. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines

Die Erfindung bezieht sich auf Elektronenverviel- Rohres für rohrförmige Elektronenvervielfacher, fächer und insbesondere auf solche, bei welchen die 40 welches für die erfindungsgemäße Behandlung vorVervielfachung eines Bündels von Primärelektronen bereitet ist. Das gerade, über seine ganze Länge durch eine Folge von Sekundärelektronenemissionen längs der zwei diametral gegenüberliegenden Mantelim Inneren eines geradlinigen oder gekrümmten linien 2 und 21 aufgeschlitzte, isolierende Rohr 1 Kanals erzielt wird, in dem ein elektrisches Längs- weist zwei Hälften 3 und 31 auf.
feld herrscht. 45 In der Anlage gemäß F i g. 2 sind die beiden Hälf-

Es wird daran erinnert, daß ein rohrförmiger Elek- ten 3 und 31 des Rohres auf der Platte 4 befestigt, tronenvervielfacher ein oder mehrere geradlinige welche um die Achse A gedreht wird (in dieser oder gekrümmte, im allgemeinen isolierende Rohre Figur ist nur die Hälfte 3 im Schnitt zu sehen). Die aufweist, welche auf ihrer Innenwand von einer beiden Hälften sind im Inneren einer Vakuum-Widerstandsschicht bedeckt sind, die die Eigenschaft 50 glocke 5 angeordnet, welche auf einem Rahmen 7 besitzt, Sekundärelektronen mit einem Koeffizien- angebracht ist und in welcher sich auch zwei Schaten3> l zu emittieren, während eine zwischen den Ien6 befinden, die den Stoff enthalten, welcher auf Enden der Schicht, angelegte Potentialdifferenz in der den Schalen 6 zugewandten Innenfläche der den rohrförmigen Kanälen ein elektrisches Längs- Rohre 3 und 31 aufgebracht werden soll. Im Beispiel feld erzeugt. Bei dieser Anordnung ruft ein in einen 55 der F i g. 2 wird der Niederschlag durch Vakuum-Kanal eindringendes Primärelektronenbündel eine aufdampfung erzielt. Bei einer anderen Ausführungs-Folge von Sekundärelektronenemissionen an den form der Erfindung kann dieser Niederschlag auch inneren Beschichtungen derart hervor, daß am Aus- durch Kathodenzerstäubung des Halbleitermaterials gang des Kanals die Anzahl von Elektronen bezug- der Schalen unter Vakuum erhalten werden, wobei Hch derjenigen des Primärbündels stark vergrößert ist. 60 die Schalen beispielsweise aus Zinnoxyd bestehen.

Bei der Herstellung der emittierenden Beschichtun- Der Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens

gen der Rohre von rohrförmigen Vervielfachern besteht im wesentlichen darin, daß eine mehr oder beschränkt man sich nach dem Stand der Technik weniger dicke, jedoch stets gleichförmig dicke allgemein auf zwei Verfahren. Schicht erzielt werden kann.

Es handelt sich 65 Insbesondere, wenn man die Sekundäremission

— entweder um Niederschläge aus der flüssigen durch eine sehr dünne Schicht eines geeigneten

oder gasförmigen Phase: Man ruft die chemi- Stoffes zu steigern sucht, welche auf einer ersten

sehe Reaktion eines Gasstromes, beispielsweise Schicht niedergeschlagen wird, gestattet dieses Ver-

fahren eine große Präzision in den Stärken jedes sätzlichen Arbeitsgänge ί^^!:^^^

dieser beiden nacheinander aufgebrachten Nieder- schlag einer sehr d^ümen.^Se^^ad^f^!_r°fn_rrn ein«

schlage Fig. 3 zeigt eine fertige Ausfuhrungsfonn eines

Schließlich kann bei der erfindungsgemäßen An- Rohres für rohrförmige Elektronenvervielfacher geordnung, bei welcher das Rohr in zwei getrennten 5 maß der Erfindung. tram„n i? und 17. Hälften in die Behandlungsanlage eingebracht wird, Auf der Innenfläche der beiden Hamen xzuna ti die über die ganze Rohrlänge gleichförmige Nieder- eines gekrümmten Glasrohres ix jf- ™*LJ~ .. - , schlagsstärke während des Beiiebs in eirler beson- aufgebracht Nach dem Aufbringen werden _die b_eiders genauen Weise durch eine bekannte Quarz- den Hälften 12 und 22, welche längs der M™nien anlage geregelt werden. Man erzeugt Schwebungen » 14 und 24 voneinander gettern* waxen, in inre urzwischen einer von Niederschlagen freien Quarz- sprüngliche Lage zurückgebracht und au uirenι oeiprobe und einem zweiten, in der Behandlungsanlage den Enden durch Klemmscheiben 15 untt ±ouna in derart angeordneten Q^arz, daß er die gleiche ihrer Mitte durch den mit Araldit angeklebten Ring Niederschlagsstärke erhält, wie die beiden Teile des 17 aneinander festgelegt efisi,r,.n,«>«s_enii»i Rohres, und vergleicht sodann die Schwebungsfre- i_S Bei dem in Fig. 3 gezeigten Ausfuhrungsbeispiel quenz mit einer niedrigen Bezugsfrequenz. weist das Rohr eine Gesamtlange von 75 mm und

Der Widerstand kann ebenfalls direkt an einer einen Innendurchmesser von ψ*&™?_ηϊ;°Ρ. f"^f;

mit zwei Elektroden versehenen Glasprobe kontrol- Die Beschichtung besteht aus einer ^^οχ??^5α™

liert werden, welche den Niederschlag gleichzeitig mit einer Stärke von 2000 A. Fur ein^m eines oer

mit den beiden Halbrohren erhält. Man unterbricht ™ Enden des Rohres eintretendes Elektron kann ma.

die Behandlung, wenn der gewünschte Oberflächen- am anderen Ende 10" auf ungefähr 10 Nanosekun-

widerstand erreicht ist und gegebenenfalls die zu- den zeitlich abgestufte Elektronen ernaiien.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

ι 2 von Zinnchlorid, beim Durchgang durch das zu Patentansprüche: behandelnde Rohr bei hoher Temperatur her vor, um auf der Innenfläche desselben einen

1. Verfahren zur Herstellung von Rohren für Niederschlag von Zinnoxyd zu erhalten;
rohrförmige Elektronenvervielfacher, bei wel- 5 — oder um die chemische Behandlung des besonchem eine Widerstandsschicht, die die Eigen- ders zu diesem Zweck gewählten, das Rohr schaft zur Sekundärelektronenemission besitzt, bildenden Isoliermittels.

auf die Innenwand dieser Rohre aufgebracht Es läßt sich jedoch feststellen, daß diese Verwird, dadurch gekennzeichnet, daß fahren nicht die Erzielung von über die ganze Länge jedes dieser Rohre vor dem Aufbringen der io der Rohre ausreichend homogenen Niederschlägen Schicht über seine ganze Länge längs zweier gestatten. Diese Länge entspricht häufig dem Mantellinien aufgeschlitzt wird, die beiden so er- Zwanzigfachen des Innendurchmessers des Rohres haltenen Hälften nach der Behandlung wieder in und oftmals einem viel größeren Betrag,
ihre gegenseitige Ausgangslage gebracht werden Die Erfindung bezweckt die Beseitigung dieses