DE1914762A1 - Strahlenempfindliches Element - Google Patents
Strahlenempfindliches ElementInfo
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Description
20.3.1959 1914762
Teeg Research, Inc.
DETROIT, Michigan, USA
DETROIT, Michigan, USA
Strahlenempfindliches Element
Die Erfindung betrifft ein strahlenempfindliches Element ■
nach Patent ... ( P 17 72 461.7). ·
Das Hauptpatent betrifft strahlenempfindliche Elemente» die in der"Regel eine metallische Schicht umfassen, welche
ihrerseits mit einer Schicht aus einem Material überzogen ist, das bei Exposition gegenüber elektromagnetischer Strahlung,
beispielsweise gewöhnlichem Licht, in der Lage ist, mit dem Metall oder den Metallen der metallischen Schicht
zu reagieren. Als Folge einer selektiven und diskreten,' ausreichend lang dauernden Exposition gegenüber elektro-
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magnetischer Strahlung der erforderlichen Intensität ergibt sich infolge einer Wechselwirkung der beiden Schichten
an den bestrahlten Stellen eine selektive und diskrete Ausbildung eines Wechselwirkungsproduktes, das gegenüber den
licht bestrahlten Teilen des Elementes unterschiedliche chemische und physikalische Eigenschaften besitzt. Derartige
strahlenempfindliche Elemente sind u.a. zur Herstellung lithographischer Offsetplatten u. dgl. geeignet, ohne daß
dabei eine Nachbehandlung der Elemente nach der Belichtung erfolgen muß, weil die hydrophilen bzw .öle ophilen Eigenschaften der belichteten Teile des Elements, gegenüber den unbelichteten Teilen verschieden sind. Alternativ kann nach der
Belichtung auch ein einfaches Waschen des Elementes in einem geeigneten Lösungsmittel eine andere Form einer lithographischen
Platte ergeben oder ein Xtzmuster vermitteln,
aus dem sich andere Arten lithographischer Platten oder Gegenstände mit entsprechenden Mustern herstellen lassen.
Die vorliegende Erfindung beruht darauf, daß einige der in der zuvor erwähnten Patentanmeldung beschriebene Materialien,
die unter dem Einfluß einer elektromagnetischen Strahlung mit einer metallischen Schicht reagieren, die Eigenschaft
besitzen, nach selektiver Belichtung mit elektromagnetischer oder korpuskularer Strahlung an den belichteten Stellen physikalische
und chemische Eigenschaften, zu zeigen, die von ι den entsprechenden Eigenschaften der unbelichteten Bereiche
verschieden sind, und zwar selbst dann, wenn eine reaktive Metallschicht nicht vorhanden ist. Derartige Veränderungen
der chemischen und physikalischen Eigenschaften betreffen beispielsweise das Hydrophil/Oleophil-Verhältnis, welches
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an den belichteten Bereichen ein anderes als an den unbe- " lichteten Bereichen des strahlenempfindlichen Elementes ist.
)aneben zeigen die belichteten und unbelichteten Bereiche [eweils unterschiedliche Löslichkeiten in bestimmten Löjungsmitteln,
was es ermöglicht, eine erhebliche Steigerung der unterschiedlichen hydrophilen bzw. oleophilen Eigenschaften
an den belichteten und unbelichteten Bereichen zu erzielen. Weiterhin ergeben sich aus den erwähnten Eigentümlichkeiten
noch zusätzliche Anwendungsmöglichkeiten der strahlungsempfindlichen Elemente, beispielweise die Verwendung
als sehr wirksame einfache Fotoätz-Beschichtung fUr die Herstellung bestimmter Endprodukte. Weitere Unterschiede
der physikalischen und chemischen Eigenschaften, wie sie sich nach dej? Belichtung eines strahlenempfindlichen Elementes
gemäß der Erfindung ergeben, umfassen die Fotoleitfähigkeit, das Reflexionsvermögen, das Durchlaß- und Absorptionsvermögen,
den elektrischen Widerstand, die Dichte sowie das chemische Reaktionsvermögen.
Die vorliegende Erfindung geht von der Aufgabe aus, die in der Hauptpatentanmeldung beschriebenen, strahlenempfindlichen
Elemente weiterhin zu verbessern und insbesondere noch Materialien anzugeben, aus denen diese Elemente gebildet werden
können.
Die nachstehende Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen
der Erfindung dient im Zusammenhang mit beiliegender Zeichnung der weiteren Erläuterung. Es zeigen:
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Fig. 1 eine schematische, teilweise perspektivische und teilweise geschnittene Darstellung
eines strahlenempfindlichen Elementes gemäß der Erfindung während der Belichtung
mit elektromagnetischer Strahlung;
™ Fig. 2 das strahlenempfindliche Element aus
Fig. 1 nach der Belichtung;
Fig. 3 eine Ansicht ähnlich Fig. 2 nach Einwirkung eines Lösungsmittels und
Fig. 4 eine Ansicht ähnlich Fig. 3 nach Einwirkung
eines eine Trägerschicht auflösenden Lösungsmittels.
In Fig. 1 ist in perspektivischer Ansicht und teilweise
im Schnitt ein strahlenempfindliches Element 10 dargestellt, t ' Dieses Element umfaßt eine strahlenempfindliche Schicht 12,
die durch adhäsive Bindung auf einem Träger 14 angeordnet ist. Der Träger 14 kann aus einem konventionellen, beispielsweise
einige 1/100 mm dicken Schichtmaterial bestehen, das in passender Weise geformt ist, so daß es beispielsweise
eine ebene, gebogene oder andere Gestalt besitzt. Der Träger 14 kann aus Papier, Karton, Kunststoff oder einer Metallfolie,
beispielsweise aus Zink, Aluminium od.dgl. bestehen* welches
gegenüber dem Material der Schicht 12 eine geringe Reaktionsfreudigkeit besitzt. In bestimmten Anwendungsfällen kann es
vorteilhaft sein, zwischen der Schicht 12 und dem Träger
oder der Unterlage 14 eine (nicht dargestellte)'Zwischen-'
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schicht vorzusehen, beispielsweise aus Harz, Lack, Kunststoff
9-Gold, Siliziumoxyd, Glas od.dgl., um auf diese Weise
z.B. eine spontane oder strahleninduzierte Wechselwirkung zwischen Schicht 12 und dem Träger I1J zu verhindern, wenn
die Materialien der Schicht an sich in der Lage sind,-mit
dem Träger zu reagieren. Das Material der strahlenempfindlichen Schicht 12 besteht vorzugsweise aus einer anorganischen Verbindung oder Mischung, beispielsweise aus Metallsulfiden,
insbesondere Arsensulfiden, Antimonsulfiden, Kadmiumsulfiden, Wismutsulfiden, Chromsulfiden; Metallhalogeniden,
insbesondere Bleijodid, Kupferchlorid, Quecksilberchlorid;'
Metallseleniden, insbesondere.Arsenselenid; Arsen-Schwefel-Verbindungen
und -mischungen; Arsen-Schwefel-Halogen-Verbindungen und -mischungen, wobei das Halogen vorzugsweise
Jod, Chlor oder Brom ist, und aus Arsen-Schwefel-Antimon-Öxyd-Mischungen.
Es wurde.gefunden, daß die betreffenden Verbindungen
nicht in genauen stöchiometrischen Verhältnissen präpariert werden müssen. Zahlreiche Verbindungen oder Mischungen
werden in glasartiger P.orm erhalten. In die erwähnten Mischungen und Verbindungen können auch zusätzliche
Elemente eingeführt werden, um bestimmte Eigenschaften zu ■ modifizieren, beispielsweise Jod, Brom und/oder Silber.
Einige der bevorzugten strahlenempfindlichen Materialien umfassen Chalkogenide, beispielsweise Arsensulfide wie Arsentrisulfid
und Arsenpentasulfid, Stoffe, die gegenüber einer Belichtung mit elektromagnetischer Strahlung, einschließlich
.sichtbarem Licht, empfindlich sind, im Hinblick auf geringe Kosten, leichte Herstellbarkeit, lange Lagerfähigkeit und
beträchtliche' mechanische Festigkeit zahlreiche Vorteile besitzen
und eine Handhabung ohne außergewöhnliche Vorsichtsmaßnahmen ermöglichen.
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Das strahlenempfindliche Material bildet auf dem strahlenempfindlichen
Element eine anhaftende Schicht 12 oder einen Überzug, dessen Dicke einige S bis einige 1/100 mm beiragen
kann. Die strahlenempfindliche Schicht 12 wird auf ien Träger Ik in einem geeigneten Verfahren, beispielsweise
lurch Verdampfung und Kondensation des betreffenden Materials auf dem Träger 14, vorzugsweise unter vermindertem
Druck, aufgebracht. Ein weiteres geeignetes Verfahren besteht darin, daß die Dämpfe unter nichtoxydierenden Ber
dingungen rasch abgekühlt werden. Auch Zerstäuben, Jonenplattierung u. dgl. sind brauchbare Arbeitstechniken. Die
rasche Abkühlung ist ein wichtiger Aspekt bei den zuvor ge7
nannten Herstellungsarten. Es erwies sich in manchen Fällen als wünschenswert, den Träger abzukühlen oder gegenüber einer
Strahlung abzuschirmen, um dadurch eine gesteigerte Fotosensitivität zu erzielen. Eine andere Methode, die strahlenempfindliche
Schicht 12 auf den Träger lh aufzubringen, besteht
darin, eine Lösung oder Suspension der strahlenempfindlichen Mischung oder Verbindung in einem passenden Lösungsmittel
bzw. in einem passenden, flüssigen Suspensionsträger herzustellen, beispielsweise in einer wäßrigen Lösung
aus Kaliumkarbonat, Amoniumhydroxyd, in Glyzerin oder in Wasser, und die Oberfläche des Trägers mit der Lösung oder
dem flüssigen Suspensionsträger zu bestreichen oder zu besprühen,
woran sich wahlweise eine Verdampfung des Lösungs- / mittels oder Suspensionsträgers anschließen kann. Auf diese
Weise bleibt auf einer Fläche des Trägers ein dünner Überzug des strahlenempfindlichen Materials zurück.
Ein weiteres Beispiel für die Herstellung eines strahlenempfindlichen
Elements gemäß der Erfindung umfaßt die Bildung einer Arsen-Schwefel-Jod-Mischung, welche zur Erzielung
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der Fließfähigkeit reich an Jod sein soll. Hit dieser
Mischung wird der Träger durch Sprühen,"Bürsten oder Eintauchen überzogen, worauf der größte Teil des Jods verdampft wird, um eine harte, an Arsen und Schwefel reiche
Schicht auf dem Träger zu erzeugen.
Wahlweise kann das strahlenempfindliche Material auch die Form eines feinen Pulvers haben, welches auf die Oberfläche
des Trägers aufgebracht wird, beispielsweise durch einfaches Einreiben der Trägerfläche mit dem Pulver.
Um die Adhäsion zwischen der strahlenempfindlichen Schicht
und dem Träger Ik zu steigern, kann eine passende (nicht dargestellte) Zwischenschicht Anwendung finden, die beispielsweise aus einem Lack, Firnis, Bindenmittel od.dgl. bestehen
kann. Diese Zwishenschicht wird auf der Oberfläche des Trägers 14 vor der Beschichtung mit dem strahlenempfindlichen
Material, angeordnet, wobei eine solche Zwischenschicht die Wechselwirkung der strahlenempfindlichen Schicht und dem
Träger verhindert, wenn eine solche Wechselwirkung zu erwarten ist.
Die Strahlenempfindlichkeit des verwendeten Materials kann durch eine Wärmebehandlung erhöht werden, beispielsweise dadurch, daß das strahlenempfindliche Element erwärmt und
durch rasches Abkühlen abgeschreckt wird. Wenn das strahlenempfindliche Element durch Aufdampfung des strahlenempfindlichen Materials und Kondensierung des Dampfes auf dem
Träger, wie zuvor erwähnt, erzeugt wird, wird der Verdampfungs-
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Kondensationprozeß so durchgeführt, daß das kondensierte
Material nach seiner Kondensation auf dem Träger rasch abgekühlt wird. Die rasche Abkühlung des kondensierten Ma- '
terials oder auch eine "Abschreckung" des auf andere Weise präparierten Materials scheint ein sehr wichtiger Schritt ■
zur Erzielung einer brauchbaren Potosensitivität bei der Mehrzahl der vorgenannten Materialien zu sein, wie sie beider
Herstellung strahlenempfindlicher Elemente gemäß der Er- findung verwendet werden können. In manchen Fällen ist es
wichtig, daß die Temperatur der Abscheidung 2000C nicht
überschreitet. Vorzugsweise sollte die Temperatur bei etwa
25 C oder noch niedriger gehalten werden. -
Das die Schicht bildende, durch Dampfabscheidung gewonnen,
strahlenempfindliche Material ist "monolithisch", d.h., es liegt in der Form einer homogenen, nicht körnigen, massiven'
Verbindung oder Mischung vor, die durch die ganze Masse hindurch eine konstante Zusammensetzung und Struktur aufweist.
Das Material ist also gegenüber üblichen, fotosensitiven Materalien
kornlos..
Wenn die Beschichtung des Trägers durch Aufspritzen oder
Auf streichen einer das strahlenempfindliche Material enthaltenden
Lösung oder Suspension erfolgt oder auch durch Aufbringen eines feinen Pulvers des strahlenempfindlichen Materials auf*
die Trägeroberfläche, wird die resultierende, strahlenempfindliche
Beschichtung natürlich aus einer Vielzahl nebeneinander angeordneter, sehr kleiner Körnchen gebildet, welche im allgemeinen eine Größe geringer als ein Mikron besitzen. Es ist
jedoch zu beachten, daß im Gegensatz zu konventionellen fotografischen Emulsionen die Korngröße bei der Erfindung im ' j
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Hinblick auf die fotografische Lichtempfindlichkeit keine funktioneile Bedeutung besitzt. Die Punktion der strahlenempfindlichen
Materialien gemäß der Erfindung hängt nicht von dem Vorliegen solcher getrennter Körner ab, weil auch
ohne solche Körner unterschiedliche physikalische und chemische Eigenschaften nach einer Bestrahlung erzielbar sind.
Die strahlenempfindlichen Elemente gemäß der Erfindung besitzen eine praktisch unbegrenzte Lagerfähigkeit, Wenn ein
erfindungsgemäßes Element verwendet werden soll, wird es
selektiv und diskret mit elektromagnetischer Strahlung 16, beispielsweise mit Licht, bestrahlt x die entsprechend Fig.
auf die Oberfläche der reaktiven Schicht 12 durch eine Maske 18 .hindurch auftrifft. Alternativ hierzu kann auch mittels
einer passenden elektromagnetischen Strahlung ein Bild auf die Oberfläche der strahlenempfindlichen Schicht 12 in
konventioneller Weise mit einem Projektionsapparat aufprojizfert werden. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel besitzt
■die Maske 18 Teile 20^ welche gegenüber der elektromagnetischen
Strahlung 16 praktisch undurchlässig sind, während andere Teile 22 der Maske 18 die Strahlung 16 durchlassen.
Infolgedessen werden nur diskrete Bereiche 24 auf der Oberfläche der. Schicht 12 mit der Strahlung 16 bestrahlt, während
die Bereiche 26 der Schicht 12 gegenüber einer Einwirkung der
Strahlung im wesentlichen abgeschirmt sind. ι - ·
Als Folge der selektiven und diskreten Bestrahlung des Elementes 10 wird die Bildung eines (inmanchen Fällen sichtbaren)
Bildes hervorgerufen, das in Fig. 1 und 2 durch den Bereich
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angedeutet ist. Dieser Bereich 24 besitzt chemische und
physikalische Eigenschaften, die von den entsprechenden Eigenschaften der unbelichteten Oberflächenbereiche 26 der
Schicht 12 verschieden sind. Es wurde gefunden, daß mit einer (ünnen Schicht 12 z.B. aus Arsentrisulfid oder Arsenpentanulfid,
die auf einem Träger 14 angeordnet ist, nach diskreter und selektiver Belichtung beispielsweise mit intensivem
weißen Licht od.dgl., die hydrophilen Eigenschaften der belichteten Bereiche 24 der strahlenempfindlichen Schicht
gegenüber denjenigen der unbelichteten Bereiche 26 erheblich gesteigert sind, so daß das belichtete strahlenempfindliche
Element als positive lithographische Platte, lithographischer
Zylinder od.dgl. für den Offsetdruck verwendbar ist. Solche "einfärbbare" Gegenstände beschränken sich natürlich nicht
auf lithographische. ,,Platten, da die Farbe oder andere oleophilen
Substanzen zusammen mit einem Zusatz, welcher z.B. leitfähig, von hohem Widerstand, opak joder dekorativ sein ,
kann, auch Endprodukte ergeben können^ welche leicht herstellbar
und von hohem Gebrauchswert sind. Farben, welche nach '
ι ί
dem Aushärten erhabene Buchstaben ergejben, sind in diesem Zu- j
aammenhang ein weiteres Beispiel. Wenn; die Schicht 12 aus j Arsentrisulfid besteht, sind die unbelichteten Bereiche 26
der Schicht 12 oleophil, was in diesem Fall nicht auf be- ; sondere Fette oder öle beschränkt istJ sondern jede Verbindung
oder Mischung einschließt, die eine selektiv einstellbare Affinität gegenüber diesen Oberflächenbereichen bis zu /
einem solchen Punkt hin besitzt, daß während dernEinfärbung"
der Platte oder des Zylinders im Anschluß an eine Befeuchtung der ganzen Platten- oder Zylinderfläche die unbelichteten
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inspects)
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Bereiche "Farbe" annehmen, während die im wesentlichen
hydrophilen, belichteten Bereich 24, nachdem sie mit Wasser
oder wäßriger Lösungen befeuchtet sind, die "Farbe" abweisen.
Die belichteten Abschnitte 24 des strahlenempfindlichen Elemente
10 zeigen auch im Vergleich mit den unbelichteten Bereichen 26 unterschiede hinsichtlich der Löslickkeit in bestimmten
Lösungsmitteln. So weisen beispielsweise strahlenempfindliche Elemente mit einer Schicht 12 aus Arsentrisulfid
oder Arsenpentasulfid einen merklichen Anstieg der Löslichkeit
der belichteten Bereiche 24 in einigen milden wäßrigen Lösungen auf, beispielsweise Amoniumhydroxyd od.dgl.,
so daß unter, der Einwirkung solcher milder Lösungen auf das belichtete Element 10 der Fig. 2 eine Platte oder ein
Element entsteht, welches in Fig. 3 mit dem Bezugszeichen 11 bezeichnet ist und Diskontinuitäten 28 in der Schicht 12
aufweist, wobei diese Diskontinuitäten 28 denjenigen Oberflächenbereichen der Schicht 12 entsprechen, welche vorher
eine Exposition gegenüber elektromagnetischer Strahlung erfahren haben und welche nunmehr die entsprechenden, darunter
liegenden Flächenbereiche 30 des Trägers 14 bloßlegen.
Andere hierfür geeignete Lösungen umfassen Natriumsulfid, Amoniumhydroxyd,
Kaliumkarbonat und bestimmte handelsübliche Detergentien.
'S
Wahlweise können auch die belichteten Bereiche 24 dazu gebracht werden, einer Auflösung in Lösungsmitteln oder Lösungen
S5U widerstehen, in denen die unbelichteten Bereiche 26
relativ leicht löslich sind. Geeignete Lösungen und Lösungsnittel sind beispielsweise Lithiumkarboriat oder hinsichtlich
ihrer Konzentration entsprechend eingestellte Kombinationen von Natriumtripho£4<vt uv»d 1Mi-W-I umpolyphosphat. Hierdurch
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. entsteht eine negative lithographische Platte od.dgl.,
während es sich bei der zuvor erwähnten Platte, die bei- -■
spielsweise durch Auflösen in Amoniumhydroxyd entstanden
ista um eine positive Platte handelt. Die selektive Lös-'
lichkeit der belichteten oder unbelichteten Bereiche hängt von der Art des Lösungsmittels sowie von dessen Konzentration
und/oder pH-Wert ab. Ein vorgegebenes Lösungsmittel
Q kann In konzentrierter Form «Sasu dienens selektiv belichtete
Bereiche aufzulösen, während es in relativ verdünnter Form dazu verwendet werden kanns die unbelichteten Bereiche,
selektiv aufzulösen.'So kann_beispielsweise ein strahlenempfindliches Element mit einer Schicht 12 aus Ärsentrisulfid
im, eine positive lithographische Platte dadurch umgewandelt
werdena daß die Oberfläche des Elements bei Raumtemperatur
mit einer gesättigten Natriumphosphät-Natriumkarbonat-Lösung
ibefeuehtet wird, was beispielsweise .durch Eintauchen des EIe-OKsnfces
in die Lösung oder Aufbringung der Lösung mit einem SeIiXfSiIM erfolgen kann. Unter Verwendung der gleichen Lösung
feel Raumtemperatur, jedoch in einem Verdünnungsverhältnis
^ Ton 10:1 (10 Teile Wasser auf 1 Teil Lösung) ergibt sich
Ψ mis fiefflseHben strahlenempfindlichen Element eine negativ©
lifefoogr-aphisehe Platte. Wenn jedoch die verdünnte Lösung auf
^©nagstens 35 ~ ^O G er-wärmfc tjira? ?jizadt das Element m,<gä©z° äa
ein© positive lithographische Platte umgewandelte. - -
cpusil des sr-findiingsgeissLSea steal
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pliiscb'ä Pldtfcs = je nmeh &®r B©handls.mgstechnik ■=- üiagtswanö
werden kann, ist ein sehr wichtiger Aspekt diet Erfindung,,
eis. es hierdurch möglich ist, ein und dasselbe
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zur Erreichung entgegengesetzter Resultate zu benutzen.
Die strahlenempfindliche Schicht gemäß der Erfindung kann
auch als Ätzgrund für die Herstellung von Fotomasken benutzt jterden oder auch als Maskierungselement selbst. In diesem
rail wird die strahlenempfindliche Schicht 12 über einem Jlasträger 14 od.dgl. angeordnet, und nach diskreter Exposition
selektiv abgelöst, so daß sich ein Maskierungselement ergibt, das, aus den belichteten Schichtbereichen besteht, die
strahlenundurchlässig werden, und aus den abgelösten Flächenteilen, welche den darunterliegenden Träger freigeben und somit
die durchlässigen Bereiche bestimmen. Die Vorteile solcher Fotomasken sind zahlreich: Es .ergeben sich eine hohe
Auflösung und sehr scharfe Kanten. Die Behandlungstechnik
ist dabei einfach und in manchen Fällen ermöglicht die Durchlässigkeit
gegenüber Strahlung im sichtbaren Bereich des Spektrums kombiniert mit hoher Undurchlässigkeit im Ultraviolettbereich
eine direkte Registrierung.
Ira Falle eines strahlenempfindlichen Elementes mit einer
Schicht 12 aus Arsentrisulfid oder Arsenpentasulfid sind
nach selektiver und diskreter Belichtung und Auflösung der belichteten Bereiche in einem passenden Lösungsmittel falls
das Material des Trägers 14 so gewählt ist, daß seine
Oberfläche hydrophil ist - die unbelichteten Bereiche 26 der Schicht 12 gegenüber den belichteten Bereichen oleophil,
welche nunmehr durch ein passendes Lösungsmittel von der Oberfläche des Trägers weggenommen sind, vgl. Fig.. 3· Falls
ferner das Material des Trägers Ik in einem Lösungsmittel auflösbar ist, in welchem die Restteile 26, welche den unbelichteten
Bereichen der Schicht 12 entsprechen, im wesentlichen
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unlöslich sind, wirken die verbleibenden Teile 26 der Schicht 12 gegenüber der Einwirkung dieses Lösungsmittels
als Ätzgrund, so daß ein Gegenstand gemäß Fig. 4 entsteht, welcher mit ausgesparten Bereichen versehen ist, die ihrerseits
den ursprünglich belichteten Bereichen entsprechen. Die ausgesparten Bereiche können so ausgebildet werden, daß
sie sich in ihrer Tiefe durch die gesamte Dicke des Trägers 14 hindurch erstrecken und Öffnungen 32 bilden, wie sie in
Fig. 4 dargestellt sind. Es handelt sich hierbei um eine
Art "chemisches Schleifen". Die Einwirkung des Lösungsmittels kann jederzeit, falls erwünscht, abgestoppt werden, so daß
die Tiefe der ausgesparten Bereiche einstellbar ist. Eine solche Arbeitstechnik ist beispielsweise bei der Herstellung
von Druckerpreßplatten, Fadenkreuzen oder Strichplatten,
Fotogravüren und verschiedenen anderen mechanischen Gegenständen nützlich.
Aus dem Voranstehenden ergibt sich, daß mit Hilfe der Erfindung
in einfacher und konventioneller Weise eine lithographische Platte hergestellt werden kann. Außerdem läßt sich
erfindungsgemäß ein Ätzgrundmaterial . für eine Vielzahl von Gegenständen mit Hilfe von Methoden gewinnen, die mit den
üblichen Fotoätz-Verfahren vergleichbar sind, diese Verfahren jedoch im Hinblick auf Qualität,Kosten und Einfachkeit
der Herstellung weit übertreffen. /
Weiterhin ergibt sich aus dem Voranstehenden, daß erfindungsgemäß bestimmte anorganische Materialien vorgeschlagen werden,
welche sich in einen Fotoätzgrund und/oder in fotolitho-
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graphische Flächen verwandeln lassen. Die Erfindung sieht
dabei vor, daß diese Materialien gegenüber einer intensiven, elektromagnetischen oder korpuskularen Strahlung ausgesetzt
werden, so daß sich Veränderungen in den chemischen und physikalischen Eigenschaften des Materials ergeben, welche dann in
manchen Fällen ohne die Notwendigkeit einer weiteren oder anschließenden Behandlung bei der Herstellung von Endprodukten
ausgenutzt werden können.
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Claims (3)
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Patentansprüche
Strahlenempfindliches Element nach Patent ...
(Patentanmeldung P 17 72 461.7)». gekennzeichnet durch ein
anorganisches Material (12), welches nach selektiver und diskreter Bestrahlung (16) Bereiche (2*0 besitzt,
deren chemische und physikalische Eigenschaften von den unbestrahlten Bereichen (26) verschieden sind.
2. Element nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
hydrophilen Eigenschaften der bestrahlten Bereiche (24) gegenüber denjenigen der unbestrahlten Bereiche (26) verschieden
sind.
3· Element nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
oleophilen Eigenschaften der bestrahlten Bereiche (24) gegenüber denjenigen der unbestrahlten Bereiche (26) verschieden
sind.
4. Element nach Anspruch 1,-2 oder 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die bestrahlten Bereiche (24) gegenüber den unbestrahl·
•ten Bereichen (26) eine unterschiedliche Löslichkeit in
einem bestimmten Lösungsmittel besitzen.
5. Element nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,
daß das Material (12) ein Chalcogenid ist.
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Element nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Material (12) Metallsulfid,
Metallhalogenid und/oder Metallselenid ist.
Element nach einem der voranstehenden Ansprüche9 dadurch
gekennzeichnet, daß das Material (12) Arsensulfide, Silbersulfide, Wismutsulfide, Chromsulfide, Bleijodid, Kupferchlorid,
Quecksilberchlorid, Arsenselenide, Arsen-Schwefel-, ■ Selen-Schwefel-,.Arsen^Schwefel-Halogen- und/oder"Arsen--Schwefel-AntimonrOxyd-Mischungen
umfaßt.
8. Element nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Material (12) vorzugsweise durch
Dampfkondensation, schiclitförmig auf einem Träger (14)
angeordnet ist.
angeordnet ist.
9· Element nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Material (12) erhitzt und durch
Abschrecken rasch abgekühlt ist.
Abschrecken rasch abgekühlt ist.
10. Element nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Material in Form einer Schicht (12)
- dadurch auf dem Träger (14) angeordnet ist, daß der Träger
mit einer das Material enthaltenden Flüssigkeit beschichtet ist.
11. Element nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch
■ gekennzeichnet, daß das Material (12) in Pulverform vorliegt,
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A 37 025 m
m - 123
20.3.1969 - 3· -
12. Element nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß es als Potoätzgrund verwendet
ist.
13. Element nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß es zum Zwecke der Herstellung
einer Fotomaske nach der selektiven und diskreten Bestrahlung so weiterbehandelt ist, daß es ein Flächenmuster mit unterschiedlichen Durchlässigkeitseigenschaften
besitzt.
14. Verfahren zur Herstellung eines Elementes nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß auf einem Träger eine daran haftende Schicht aus dem anorganischen Material angeordnet wird und die
Schicht gegenüber elektromagnetischer Strahlung diskret und selektiv exponiert wird, so daß sich Bereiche auf
der Schicht ergeben, die gegenüber unbestrahlten Bereichen unterschiedliche chemische und physikalische
Eigenschaften besitzen.
15. Verfahren nach Anspruch l4, dadurch gekennzeichnet, daß
die bestrahlte Schicht der Einwirkung eines Lösungsmittels unterworfen wird, welches die Schicht in Abhängigkeit
von ihrer Exposition gegenüber elektromagnetischer Strahlung unterschiedlich auflöst. '
16. Verfahren nach Anspruch 13 > dadurch gekennzeichnet,
daß die Schicht mit einer Substanz bedeckt wird, welche
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19U762
A 37 025 m
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20.
3.1969 ΑΔ
Ai
gegenüber den bestrahlten Bereichen eine andere Affinität als gegenüber den unbestrahlten Bereichen
besitzt.
17· Verfahren nach einem der Ansprüche Ik - 16, dadurch
gekennzeichnet, daß als Schicht Arsensulfid aus der
Dampfphase abgeschieden und die niedergeschlagene Schicht während und nach der Dampfkondensation im
wesentlichen bei Raumtemperatur gehalten wird.
009823/ 1 766
te
Lee rsei te
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2224098A1 (de) * | 1971-05-17 | 1972-11-30 | Energy Conversion Devices Inc., Troy, Mich. (V.StA.) | Verfahren zum Herstellen von Abbildungen oder Kopien |
DE2233868A1 (de) * | 1971-07-19 | 1973-02-01 | Energy Conversion Devices Inc | Verfahren zur herstellung einer abrufbaren nachrichtenaufzeichnung |
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- 1969-08-01 ZA ZA695525A patent/ZA695525B/xx unknown
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Publication number | Publication date |
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ZA695525B (en) | 1971-03-31 |
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