DE1904166A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Trocknen flaechigen Materials - Google Patents

Description

Beschreibung zum Patentgesuch

der Herren Norman Harwood Williams, 22 Cragmont Avenue, San Francisco, California/USA und

Henry William Schuette, 1110 .Northeast l48th Ave., Portland, Oregon/USA ·

betreffend:

"Verfahren und Vorrichtung zum Trocknen flächigen Materials"

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Trocknen flächigen Materials.,

Bei der Herstellung von Papier-, Holz-, Textil- und anderen Materialien, bei denen die Entfernung von Feuchtigkeit erforderlich ist, ist es häufig erwünscht, ein Endprodukt zu erzeugen, welches ein gleichförmiges Feuchtigkeitsprofil bei einem vorgegebenen Feuchtigkeitsgehalt aufweist. Um ein gleichförmiges· Feuchtigkeitsprofil mittels konventioneller Trockenverfahren auf der Basis von Leitung, Konvektion oder Strahlung zu erzielen, ist es bisher üblich gewesen, das-Material zu übertrocknen derart, daß der Feuchtigkeitsgehalt der feuchtesten Stellen geringer ist als der für das Endprodukt erwünschte. Um eine Feuchtigkeitsnivellierung zu erreichen, d.h. eine Vergleichmäßigung des Feuchtigkeitsgehaltes an den feuchten und trockenen Stellen des Materials, wird das übertrocknete Material dann wieder befeuchtet durch Lagern unter Verhältnissen mit geregelter Temperatur und Luftfeuchte.

Dieses Verfahren des Übertrocknens und Wiederbefeuchten vielst jedoch zahlreiche Nachteile auf. Beim übertrocknen von Holz werden beispielsweise die äußeren Flächen mehr getrocknet als das Innere des Holzkörpers. Dies führt zu einer Schrumpfung

909836/1043 _ ₂ -

in den äußeren Flächen relativ zum Innenkörper des Holzes. Infolge dieses reaktiven Schrumpfungsprozesses bricht und splittert das Holz. Die Übertrocknung hat außerdem nachteilige Wirkungen hinsichtlich der Endqualität des Materials, sie setzt beispielsweise die Zugfestigkeit des Materials herab und führt häufig zum Verwerfen von Holz- und Papiermaterial. Darüberhinaus neigt das Material Im übertrockneten Zustand zum Heißen oder Brechen oder kann überhaupt leicht bei der Handhabung beschädigt werden. Zu diesen Kachteilen kommt hinzu, daß die Trocknung durch Leitung, Konvektion und Strahlung kein Feuchtigkeitsprofil ergibt, das den erwünschten Gleichförmigkeitsnrad aufweist.

Um die Nachteile des beschriebenen konventionellen Verfahrens auszuschalten und Materialien mit einem gleichmäßigeren Feuchtigkeitsprofil zu erhalten, ist schon vorgeschlagen worden, derartige Materialien mittels Ilikrowellenenergie zu trocknen. Die Mikrowellentrocknung hat den Vorteil, daß sich ohne Übertrocknung und Wiederbefeuchtung ein verbessertes Feuchtigkeitsprofil ergibt. Leider neigt aber die Feuchtigkeit dazu, wenn sie aus dem Material mit Mikrowellen entfernt wird, sich in denj Mikrowellenapplikator und auf der Oberfläche des Materials zu sammeln. Die Feuchtigkeitsansammlung im Mlkrowellenapplikator ist hinderlich und muß vermieden werden, weil sie eventuell zum Ausfall des Trocknungssystems führen kann. Darüber- W hinaus bildet die Fetiehtlgkeitsansammlung auf der Oberfläche des Materials, welches getrocknet wird, eine Barriere, welche die weitere Feuchtigkeitsabfuhr aus dem Material verzögert und häufig verhindert, da die Feuchtigkeit innerhalb des Material#- körpers nicht durch die Feuchtigkeitsschieht, die sich auf der Materialoberfläche gebildet hat, hindurch entfernt werden kann. Zusätzlich kann die Feuchtigkeit, die sich auf der Materialoberfläche gesammelt hat, wieder in das Material hineinziehen und damit weiter die Wirksamkeit des Feuchtigkeitsaustriebs mittels Mikrowellenteehnlken herabsetzen. Auch absorbiert die Oberflächenfeuchte auf dem Material einen Teil der Mikrowellenenergie und setzt damit den Wirkungsgrad des Troeknungssystems herab. - 3 -

909836/1048

Zwar wurden verschiedene Verfahren ausprobiert, um diese schädliche Ansammlung von Feuchtigkeit zu verhindern, doch war keines erfolgreich genug, die Mikrowellentechnik in die wirtschaftlich vertretbare Anwendung der Industriepraxis für die Trocknung von Material auf niedrige Feuchtigkeitsgehalte einzuführen.

Es ist die Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung für die Trocknung von flächigem Material mittels Mikrowellen zu schaffen, wobei die schädliche Übertrocknung und Wiederbefeuchtung zur Erzielung von Material mit gleichförmigem Feuchtigkeitsprofil bei niedrigem Feuchtigkeitsgehalt entfallen können. Darüberhinaus soll ein Verfahren geschaffen werden, das wirtschaftlieh dur<hführ-bar ist für industrielle Anwendungszwecke beim Trocknen großer Durchsatzmengen.

Das Verfahren gemäß der Erfindung zum Trocknen flächigen Materials mittels Mikrowellen ist dadurch"gekennzeichnet, daß das Material durch eine Behandlungszone bewegt wird, daß das Material an einer ersten Behandlungsstation der Zone einer Mikrowellenbestrahlung genügend hohen Energiepegels ausgesetzt wird, daß Feuchtigkeit vom Materialinnern an die Materialoberfläche getrieben wird, daß danach an einer zweiten Behandlungs-· station der Zone stromabwärts von der ersten ein mit hoher Geschwindigkeit strömender Gasstrom auf die Materialoberfläche im wesentlichen senkrecht auftreffend gerichtet wird zum Verdampfen und Abführen der Oberflächenfeuchtigkeit, die durch die Iükrowellenbestrahlung ausgetrieben war, und zugleich zur Durchführunr eines davon unabhängigen Trocknungsprozesses, und daß nachfolgend die vorstehend genannten Arbeitsgänge während des Materialdurchlaufs durch die Behandlungszone mehrere. Male wiederholt werden.

909836/1048

Gemäß der Erfindung wird also die Trocknung so durchgeführt, daß das feuchtigkeitsbeladene Material abwechselnd der Hikrowellenenergie und einem mit hoher Geschwindigkeit strömenden Gasstrom ausgesetzt wird. Es hat sich nämlich gezeigt, daß auf diese Weise das Material wirtschaftlich direkt auf niedrige Feuchtigkeitsgehalte getrocknet werden kann.beispielsweise' 5% relative Feuchte-, wenn die Mikrowellentrocknung stufenweise erfolgt in örtlich getrennten Mikrowellentrocknungsstationen und das Material einem Gasstrom hoher Geschwindigkeit zwischen mindestens zwei solcher Stationen ausgesetzt wird, welcher Gasstrom - beispielsweise eine Luftströmung - eine solche

fc Richtung erhält, daß er im -wesentlichen senkrecht auf die Materialoberfläche auftrifft. Bei jeder Gasstromstation zerreißt die Gasströmung die Feuchtigkeitsschicht auf der Materialoberfläche, die sich in der vorangehenden Mikrowellentrocknungsstation gebildet hat, und führt die Feuchtigkeit ab. Indem so die Feuchtigkeit, welche sich sonst im Mikrowellenapplikator und auf der Materialoberfläche gesammelt, hätte, abgeführt wird, wird die Mikrowellentechnik überhaupt erst anwendbar, um wirtschaftlich Feuchtigkeit aus dem Material auszutreiben, unabhängig vom Feuchtigkeitsgehalt des Materials. Das Verfahren gemäß der Erfindung ist darüberhinaus besonders vorteilhaft deshalb, weil die zur Durchführung des Verfahrens dienende Vorrichtung, d.h. der Mikrowellenapplikator, sich erheblich vereinfachen läßt

W gegenüber einer Anordnung, bei der das Material gleichzeitig der Mikrowellenenergie und der Gasströmung ausgesetzt wäre.· Weiter ist es beim stufenweisen Trocknen des Materials, d.h. in räumlich getrennten Mikrowellentrockenstationen, und beim Abführen der Feuchtigkeit von der Materialoberfläche in Stationen, welche jeweils einer Trockenstation folgen, wesentlich leichter, die ausgetriebenen Feuchtigkeit daran zu hindern, sich im Mikrowellenapplikator und/oder auf der Materialoberfläc'he niederzuschlagen bzw, zu sammeln. Dies rührt daher, wefl. das Entfernen der Feuchtigkeit, die aus dem Material in einer Trockenstation

909836/1048

ausgetrieben worden ist, bevor das Material durch die nächstfolgende Trocknungsstation geführt wird, immer nur einen geringen Prozentsatz der Materialfeuchtigkeit frei in den Mikrowellenapplikator gelangen läßt oder an die Oberfläche des Materials. In der praktischen Anwendung hat es sich als besonders vorteilhaft erwiesen, das Material mit einem gefalteten Wellenleiterapplikator zu trocknen, welcher eine Mehrzahl von im Abstand angeordneten geschlitzten Wellenleiterabschnitten aufweist, die miteinander zu eineriserpentinenförmigen Mikrowellenpfad verbunden sind. Einer oder mehrere der geschlitzten Wellenleiterabschnitte können so angeordnet sein, daß sie eine Trockenstation bilden, in der die Feuchtigkeit aus dem Material mittels der Leistung der zugeführten Mikrowellenenergie extrahiert wird. Die zur Abfuhr der extrahierten Feuchtigkeit dienende Luftströmung hoher Geschwindigkeit wird so gerichtet, daß sie einem Pfad folgt, welcher die Materialoberfläche senkrecht durchsetzt, und sie wird vorzugsweise jeweils in den Zwischenräumen zwischen den geraden Wellenleiterabschnitten angewandt. Gemäß der Erfindung sind Einrichtungen vorgesehen, um die auftreffende Luft längs eines Pfades zu leiten, von dem ein Teil parallel zur Materialoberfläche und längs dieser Oberfläche verläuft. Dadurch wird die Feuchtigkeit von der Oberfläche '.'ab gewischt" und von der Luftströmung mitgerissen, so daß die Abfuhr der Feuchtigkeit von der Materialtöoberfläche erleichtert wird. In einer solchen Vorrichtung-ist die Feuchtigkeit, die sich im Mikrowellenapplikator und auf der Materialob'erfläehe sammelt, während dieses durch die geschlitzten Wellenleiterabschnitte geführt wird, nicht nachteilig, weil sie so geringfügig ist, daß sie nicht merkiaar die Feuchtigkeitsaustriebsrate gegenüber einem solchen Wert herabsetzt, der zur" erwarten wäre, wenn sich im Mikrowellenapplikator und auf der Materialoberfläche überhaupt keine Feuchtigkeit befände.

909836/1048

Mit dem Verfahren und der Vorrichtung gemäß der Erfindung ist es möglich, flächige Materialien, xtfie Papier, Holz etc.,' derart zu trocknen, daß sich ein gleichmäßiges Peuchtigkeitsprofil ergibt, wobei das nachteilige Übertrocknen vermieden wird, niedrige Feuchtigkeitsgehalte trotzdem erreichbar sind, die Trocknung für die Industrielle Anwendung wirtschaftlich erfolgt und bei der Trocknung· die Materialqualität nicht beeinträchtigt wird.

Die Erfindung soll nachstehend unter Bezugnahme auf ^ die beigefügten Zeichnungen näher erläutert werden:

Fig. 1 stellt eine Vorrichtung gemäß der Erfindung schematiseh dar,

Fig. 2 zeigt im Schnitt ein Ausführungsbeispiel der Trocknungsvorrichtung gemäß der Erfindung,

Fig. 2a ist eine Explosionsdarstellung des in Fig. 2

mit der Linie 2a-2a umrahmten Teils im- Schnitt,

Fig. 3 zeigt im Querschnitt die Vorrichtung nach Linie 3-3 in Fig. 2 und

Fig. 4 ist ein Längsschnitt nach Linie 4-4 in Fig.

In der Darstellung nach Fig.. 1 wird zu trocknendes Material,beispielsweise Holzfurnier 11, mittels z.B'. einer Rollentransporteinrichtung 12 mit vorgegebener Geschwindigkeit durch eine Mehrzahl von Mikrowellentrockenstationen 13 bewegt, die 'an Stationen im Längsabstand längs der Bewegungsbahn des Materials 11 angeordnet sind. Die Anzahl der Trockenstationen 13 und die Geschwindigkeit, mit der das Material 11 mittels der Transporteinrichtung 12 bewegt wird, hängen im Prinzip

909836/1048

ab von der Mikrowellenenergie, die für das Trocknen an den Stationen 13 vorhanden ist, dem Grad der Mikroxiellenkopplung mit dem zu trocknenden Material 11, der Breite und Dicke der zu trocknenden Zone und dem Feuchtigkeitsgehalt, der aus dem Material auszutreiben ist. Bei jeder der Trocknungsstationen 13 wird das zu trocknende Material 11 der Mikrowellenenergie bei vorgegebener Frequenz und vorgegebenem Energiepegel ausgesetzt, wobei die Energie mittels verschiedenartiger Mikrowellenapplikatoren zugeführt werden kann. Beispielsweise wird in der Trockenvorrichtung gemäß der Erfindung ein gefalteter Wellenleiter-Mikrowellenapplikator, dargestellt in den Fig. 2-4, mit geschlitzten Viellenleiterabschnitten an jeder der Mikrowellentrockenstationen 13 eingesetzt, um die Mikrowellentrockenenergie dem Material 11 zuzuführen. Beispiele für einige andere Mikrowellenapplikatoren, die für die übertragung von Mikrowellentrocknungsenergie auf das Material 11 eingesetzt werden könnten, sind kapazitiv arbeitende Wärmeübertrager_a individuell angeregte Wellenleiter, Mikrowellen-llohlleiter und Mikrowellen-Richtstrahler,

Aus Gründen des Wirkungsgrades und der gleichförmigen Trocknung ist es besonders vorteilhaft, das Material 11 durch ein mit lükrowellenenergie gefülltes Volumen hindurchzuführen, wie es dargestellt wird durch einen Mikrowellenapplikator 15 vom Typ der geschlitzten Wellenleiter, wobei einander gegenüberliegende Seiten des Materials 11 gleichzeitig der Mikrowellenenergie ausgesetzt werden. Unter bestimmten Voraussetzungen, wenn beispielsweise ein Furnier auf einer Seite eines Holzträgers zu befestigen ist, kann es jedoch wünschenswert sein, nur eine Seite I¹I des Materials 11 der Mikrowellenenergie auszusetzen. Unter anderen Bedingungen wiederum, wenn beispielsweise eine Beschichtung auf gegenüberliegenden Seiten des Materials zu härten ist, kann es wünschenswert sein, zuerst die eine Seite 1*1 und dann die andere Seite 16 des Materials 11 der Mikrowellenenergie auszusetzen. Im ersteren Fall könnte ein Applikator vom Richtstrahlertyp an jeder der Mikrowellentrockenstationen 13 ein-

- 8 909836/1048

gesetzt werden, um die Mikrowellenenergie dem Material 11 durch Riehtstrahlen auf die Seite l4 zuzuführen. Im letzteren Fall könnten Mikrowellen-Richtstrahler so angeordnet werden, daß die Energie zuerst einer Seite Ik des Materials 11 an einer oder mehreren Trockenstationen 13 zugeführt wird und dann der gegenüberliegenden Seite 16 an anderen Trockenstationen 13.

Wenn Feuchtigkeitsbeladenes Material mit Mikrowellenenergie getrocknet wird, sammelt sich Feuchtigkeit auf der Oberfläche des Materials. Wie oben erläutert, ist das Vorhanden-P . sein dieser Feuchtigkeit nachteilig für den Trockenvorgang.

Um die Ansammlung der nachteiligen Feuchtigkeit zu unterbinden, werden Gasströme'gebildet, die mit hoher Geschwindigkeit von z.B. l600 bis 7000 m/min, strömen und so gerichtet sind, daß sie senkrecht auf die Oberfläche des Materials 11 auftreffen, auf der die Feuchtigkeit zum Sammeln neigt. Dies erfolgt in Feuchtigkeitsabführstationen 17, Vielehe sich mindestens zwischen benachbarten Trockenstationen 13 befinden. Falls erwünscht, können diese Abführstationen auch der ersten Trockenstation vorangehen und der letzten Trockenstation nachgeschaltet sein. Die Gasströme werden aus Gas gebildet, dessen relative Feuchtigkeit nicht größer als 90% ist. Im dargestellten Ausführungsbeispiel liefert eine . Zentrifugalpumpe 18 ein Gas, beispielsweise Luft, mit einem * vorgegebenen Druck; sie ist über ein Luftplenum 19 mit Strahldüsen 21 verbunden, die in den Feuchtigkeitsabführstationen·17 angeordnet sind. Die Geschwindigkeit der Luftströme, die aus den Strahldüsen 21 austreten, ist bestimmt durch die Druckhöhe der Pumpe, den Druck in dem Bereich, in welchen der Luftstrom gerichtet ist, die Düsenform und die Größe der Düsenmündung. Wenn breite Materialbahnen getrocknet werden, kann eine Vielzahl von Strahldüsen 21 an jeder der Abführstationen 17" vorgesehen sein und seitlich zur Strecke des Materials 11 angeordnet werden.

909836/1048

Die auftreffenden Luftströme hoher Geschwindigkeit setzen die an der Oberfläche- des Materials haftende lästige Flüssigkeit frei. Wenn diese freigesetzte Flüssigkeit jedoch nicht schnell aus der Nachbarschaft des Materials 11 abgeführt wird, kann sie sich auf dessen Oberfläche wieder niederschlagen. Um zu verhindern, daß sich ein merkbarer Anteil der freigesetzten Flüssigkeit wieder auf der Oberfläche niederschlägt, wird die Luft, Vielehe den auftreffenden Luftstrom hoher Geschwindigkeit gebildet hatte, durch eine Absaugeinrichtung 22 aus der Nachbarschaft der Feuchtigkeitsabführstationen 17 längs eines Pfades entfernt, von dem ein Teil parallel zur Materialoberfläche und längs zu dieser Oberfläche in den Abführstationen verläuft. Die freigesetzte Flüssigkeit wird von der Luftströmung aufgenommen und wird mit der Luft aus der Nähe der Abführstationen entfernt. Indem die abzuführende Luft längs eines Pfades gerichtet wird, der parallel zur Materialoberfläche und längs dieser Oberfläche in den Abführstationen 17 verläuft, eig-bt sich eine Abwischwirkung der Luft über die Fläche des Materials 11, auf der die Feuchtigkeit anzuhaften sucht. Diese' Abwischwirkung erleichtert das Freisetzen der anhaftenden Feuchtigkeit vom Material 11 und das Mitreißen der freigesetzten Feuchtigkeit mit der Luftströmung, womit das lästige Wiederniederschlagen der freigesetzten Feuchtigkeit auf dem Material verhintert wird.

Das Abfihren der Feuchtigkeit von der Oberfläche des Materials 11 erfolgt am besten dadurch, daß ein Bereich negativen Drucks 23 an den Abführstationen 17 vorgesehen wird und die auftreffende Luft seitlich- zur Bewegungsbahn des Materials 11 von einer Seite desselben zur anderen gerichtet wird. Dies kann so erfolgen, daß eine Zentrifugalsaugpumpe 2k über ein entsprechendes Absaugplenum 26 und Absaugleitungen 27 mit den verschiedenen Feuchtigkeitsabführstationen 17 gekoppelt wird, um die Luft und die mitgerissene Feuchtigkeit zwangsweise zu sammeln und abzuführen. Die gewünschte seitliche parallele Luftströmung wird dadurch erreicht, daß Abteilungen 28 an jeder der Abführstationen 17 geschaffen werden, durch die vorzugsweise

909836/1048 -io-

- ίο -

die Luft, welche den auftreffenden Luftstrom hoher Geschwindigkeit gebildet hatte, und die mitgerissene freigesetzte Feuchtigkeit zu den. Abführleitungen 27 geleitet werden, welche mit den Abteilungen 28 an den Enden 29 auf einer Seite der Materialbahn gekoppelt sind. In den Abteilungen 28 sind für den Durchtritt des Materials 11 entsprechende öffnungen 30 vorgesehen.

Um das Mitreißai der freigesetzten Flüssigkeit durch den Luftstrom und die" Abfuhr der Feuchtigkeit aus den Stationen zu erleichtern, wird die Luft, Vielehe für den Gasstrom hoher Geschwindigkeit verwendet wird, zunächst durl% einen Dampf- oder Gaserhitzer 31 erwärmt. Warmluft wird bevorzugt, weil sie größere Feuchtigkeitsmengen aufzunehmen vermag. Die Lufttemperatur sollte jedoch unterhalb derjenigen gehalten werden, bei der eine unerwünschte chemische oder physikalische Veränderung in dem zu trocknenden Material, beispielsweise eine Oberflächenhärtung, eintreten könnte. Außerdem sind die Probleme beim Isolieren des Luftströmungssystems von der Umgebung umso geringer, je niedriger die Lufttemperatur ist. Eine Lufttemperatur von weniger als 110° C ist für das Verfahren gemäß der Erfindung brauchbar. Falls die abzuführende Feuchtigkeit hauptsächlich aus Wasser besteht, ist eine Lufttemperatur von etwa 100° C geeignet. Es können höhere Lufttemperaturen angewandt werden, wenn sie für das zu trocknende Material unschädlich sind.

Das Verfahren gemäß der 'Erfindung kann mit verschiedenen Vorrichtungen und verschiedenen Typen von Mikrowellen-applikatoren durchgeführt werden. Die Fig. 2-4 zeigen jedoch eine besonders vorteilhafte Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens. Die Vorrichtung umfaßt eine Transporteinrichtung, beispielsweise angetriebene Rollen 32, für das Transportieim des zu troclfenden Materials längs einer vorgegebenen Strecke, so daß die verschiedenen Funktionen für die Durchführung der Trocknung an Stationen längs dieser Strecke ausgeführt werden

- 11 909836/1046

können. Die angetriebenen Rollen 32 sind an ihren Enden in Säulen 33 drehbar gelagert. Sie werden von einem Motor 34 angetrieben, mit dem sie über ein Zugmittelgetriebe gekuppelt sind, welches das antreibende Kettenrad 35, leerlaufende Kettenräder 36,37, das angetriebene Kettenrad 38 sowie Antriebsketten 39 und 40 umfaßt. Die angetriebenen Rollen 32 sind vor allem für den Transport schwereren Materials, wie Bretter, geeignet. Es können jedoch andere Transporteinrichtungen Verwendung finden, z.B. Transportbänder und Zugeinrichtungen, um leichteres Holz-, Papier- und Textilmaterial zu transportieren.

Für die Trocknung des von der Transporteinrichtung bewegten Materials wird ein gefalteter Wellenleiteraufbau 4l angewandt. Er umfaßt eine Mehrzahl, beispielsweise acht, von geraden, geschlitzten Rechteckwellenleiterabschnitten 42, die an bestimmten Stellen im Längsabstand längs des durch die angetriebenen Rollen 32 definierten Pfades angeordnet sind* Die Wellenleiterabschnitte 42 sind miteinander gekoppelt durch auf Gehrung angeordnete Rücklaufböc^en 4>, die über WellenleiterfJbnsche 44 verbunden sind, um so einen serpentinenartigen Pfad für die Mikrowellenenergie auszubilden. Schlitze und 47 für den Durchtritt des Materials durch die Wellenleiterabschnitte 42 sind in einander gegenüberliegenden Breitenwandungen 45 und 50 der Wellenleiter vorgesehen, senkrecht angeordnet zu dem von den angetriebenen Rollen 32 definierten Pfad. Der gefaltete Wellenleiteraufbau 4l wird abgestützt, indem die Enden seiner geraden Abschnitte 42 auf horizontal liegenden U-förmigen Kanalteilen 48 und 49 aufruhen, Vielehe sich längs des von den angetriebenen Rollen 32 definierten Pfades erstrecken. Als Befestigungseinrichtung können Schweißungen, Bolzen, Klammern usvi. dienen, um die Wellenleiterteile mit den Kanalteilen 48 und 49 fest zu verbinden.

- 12 -

909836/1048

Die ü-förmigen Kanalteile. 48 und 49 dienen auch als Träger für die Säulen 33, welche die Rollen 32 halten. Die Säulen 33 sind mit den Kanalteilen so verbunden, daß die Rollen 32 in dem Zwischenraum 51 zxvischen den geraden Wellen-1-eiterabschnitten 42 so gehalten werden, daß sich der höchste Punkt der Rollen in einer Ebene befindet gerade oberhalb der Ebene, die definiert ist durch die unteren Kanten 52 und 53 (s. Fig. 2a) der Schlitze 46 bzw. 47 in benachbarten Breitenwandungen 45 bzw. 50 des geraden Wellenleiterabschnitts 42. Die Kanalteile 48 und 49 dienen auch dazu, die leerlaufenden Kettenräder 36 und 37 des Zugmittelgetriebes drehbar abzustützen, und zwar dicht unterhalb des Wellenleiteraufbaus 4l. Auf diese Weise genügt ein einziger Motor 34 für den Antrieb aller Rollen 32. Die Leistung wird von dem einzigen Motor 34 auf alle Rollen 32 mittels einer horizontal liegenden Kette 39 übertragen, welche alle Paare leerlaufender Kettenräder 36 und 37 antreibt, die jeweils einer angetriebenen Rolle 32 zugeordnet sind. Die leerlaufenden Kettenräder 36 und.37 ihrerseits übertragen die Leistung auf die zugeordneten vertikal liegenden Ketten 4o und damit auf die angetriebenen Kettenräder 38, Vielehe an den angetriebenen Rollen 32, die ja weiter oben liegen, befestigt sind.

Während der Trocknung wird feuchtigkeitsbeladenes Material, wie etwa Holz, durch alle Wellenleiterabschnitte mittels der angetriebenen Rollen 32 bewegt. Der gefaltete Wellenleiteraufbau 4l wird zur Ausbreitung von Mikrowellenenergie durch eine Mikrowellenenergiequelle 54 angeregt, die an ein Ende 56 des Wellenleiteraufbaus durch einen Wellenleiterflansch 57 angekoppelt ist. Um die nicht abgestrahlte Mikrowellenenergie zu absorbieren, die bei der Trocknung des Materials nicht umgesetzt worden ist, oder wenn ohne Belastung gearbeitet wird, und um das Entstehen möglicherweise gefährlicher Reflexionen zu verhinäern, kanib ein Mikrowellenenergieverbraucher, z.B. eine Wasserbelastung 58, über einen Wellenleiterflansch

- 13 -

909836/1048

derart angekoppelt sein, daß er das andere Ende 6l des gefalteten Wellenleiteraufbaus 4l abschließt, Vorzugsweise sind der gefaltete Wellenleiteraufbau 4l, die Mikrowellenenergiequelle 54 und die Viasserbelastung 58 so konstruiert, daß unter Betriebsbedingungen, d.h. wenn Material getrocknet wird, der gefaltete Wellenleiteraufbau 4l als Wanderwellenanordnung arbeitet.

Der gefaltete Wellenleiteraufbau 4l wird von der Quelle 54 so angeregt, daß er im dominierenden Modus TE-Wellen ausbreitet, deren elektrische Feldkomponenten sich zwischen den gegenüberliegenden breiten Wellenleiterwandungen 45 und 50 erstrecken. Die Schlitze 46 und 47 sind mittig in diesen Wandungen 45 und 50 so angeordnet, daß sie sich im Punkt des maximalen elektrischen Feldes der ausgebreiteten TE-Wellen befinden.

Sobald feuchtigkeitsbeladenes Material der Mikrowellenenergie in jedem der" angeregten geraden Wellenleiterabschnitte ausgesetzt wird, wird die von dem Material mitgeführte Feuchtigkeit an die Materialoberfläche gebracht, und einJTeil bleibt an dieser haften. Wie oben erläutert, ist diese-anhaftende Feuchtigkeit schädlich und muß entfernt werden. Um die anhaftende Feuchtigkeit zu entfernen, wird ein warmer Luftstrom mit hoher Geschwindigkeit so gerichtet,· daß er senkrecht auf die gegenüberliegenden Oberflächen des Materials auftrifft, das sich in der Ebene der Wellenleiterschlitze 46 und 47 befindet. Um diesen Luftstrom hoher Geschwindigkeit im erzeugen, ist eine Mehrzahl von beispielsweise neun .vertikal gerichteten Strahldüsen 62 mindestens in jedem Zwischenraum 68 zwischen benachbarten geraden Wellenleiterabschnitten 42 angeordnet. Die Strahldüsen 62 zwischen benachbarten Wellenleiterabschnitten 42 sind seitlich des Pfades angeordnet, längs dem das Material durch die Rollen transportiert wird, und sie werden so abgestützt, daß sich die Mündungen 63 der Düsen über der Ebene befinden, die definiert

- 14 909836/104 8

- ik -

sind durch die oberen Kanten 64 bzw. 66 (s. Fig. 2a) der Wellenleiterschlitze 46 bzw. 47. Die Strahldüsen 62 dienen dazu, die an der oberen Oberfläche des Materials anhaftende Feuchtigkeit" freizusetzen, wenn das Material durch die Rollen 32 weitertransportiert wird. Vorzugsweise sind die Strahldüsen 62 an jeder Feuchtigkeitsabführstation zwischen benachbarten Wellenleiterabschnitten 42 seitlich und relativ zu denen in den vorhergehenden und nachfolgenden Feuchtigkeitsabführstationen derart versetzt, daß sie in der Längsrichtung längs des Pfades, auf dem das Material transportiert wird, ausgefluchtet sind mit den Zwischenräumen zwischen den Strahldüsen 62 an den vorher- ^ gehenden und nachfolgenden Feuchtigkeitsabführstationen. Diese relative Anordnung der Strahldüsen an aufeinanderfolgenden

Feuchtigkeitsabführstationen führt dazu, daß die Luftströmung, die mit hoher Geschwindigkeit senkrecht auftriffi^ im wesentlichen die gesamte Oberfläche des Materials,auf der die Feuchtigkeit sich zu sammeln sucht, bearbeitet, so daß sieh eine wirksamere Abführung der unerwünschten Feuchtigkeitsansammlung auf der Materialoberfläche ergibt.

. Eine Mehrzahl von neun Strahldüsen 67 ist in dem Zwischenraum 68 zwischen benachbarten geraden Wellenleiterabschnitten 42 unterhalb der Schlitze 46 und 47 angeordnet, welche nicht von den Rollen 32 ehgenoimnen sind. Die Strahldüsen * 67 sind seitlich der Strecke angeordnet, längs der das Material von den Rollen 32 transportiert wird, und zwar so, daß die Mündungen 69 der Düsen unter der. Ebene liegen, die durch die unteren Kanten 52 bzw. 53 der Wellenleiterschlitze 46 bzw. 47 definiert sirnd. Die Strahldüsen 67 dienen dazu, die an der unteren Oberfläche des Materials anhaftende schädliche Feuchtigkeit freizusetzen, während das Material mittels der Rollen 32 transportiert wird. Für die optimale Wirksamkeit beim Entfernen der anhaftenden Feuchtigkeit sind die Strahldüsen 67 aufeinanderfolgender Feuchtigkeitsabführstationen mit unteren Strahldüsen relativ zu der nächstfolgenden Station mit unten

- 15 -

909836/1048

liegenden Strahldüsen 67 in der gleichen Weise versetzt wie die oben liegenden Strahldüsen 62.

Die Luftströme hoher Geschwindigkeit besitzen eine ziemlich große Kraftwirkung auf das Material, gegen das ie gerichtet sind. Diese Kräfte sind sogar groß genug, bestimmte Materialien wie Papier, die großen Zugbeanspruchungen nicht zu widerstehen vermögen, zu beschädigen oder zu zerstören. Wenn derartige Materialien vfe Papier oder dergleichen getrocknet werden, sollten deshalb die Strahldüsen auf beiden Seiten des Materials an jeder Feuchtigkeitsabführstation so angeordnet sein, daß die auf das Material ausgeübten zerstörenden Kräfte infolge der Luftströme hoher Geschwindigkeit auf einer Seite des Materials ausgeglichen werden durch Kräfte, die durch Luftströme hoher Geschwindigkeit auf die gegenüberliegende Seite des Materials einwirken. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel nach Fig. 2-4 würden die angetriebenen Rollen 32 dabei durch Strahldüsen zu ersetzen sein, und Material wie Papier würde durch die abwechselnd angeordneten Mikrowellentrocknungsund Feuchtigkeitsabführstationen mittels einer angetriebenen Aufspulxmlze bewegt werden, die an einem Ende der Vorrichtung anzuordnen wäre.

Die warme Luft zur Ausbildung der Luftströme hoher Geschwindigkeit wird mit einem vorgegebenen Kopfdruck mittels ^: einer Zentrifugalpumpe 71 zugeführt, die innen angeordnete Gasbeheizungsrohre aufweist. Eine Luftplenumkammer 72 und Luftleitungen 73 sowie 74 sind vorgesehen, um die warme Luft von der Pumpe 71 den Strahldüsen 62 und 67 zuzuführen. Die Luftplenumkammer 72 ist ein vertikales Gehäuse , das bei den auf Gehrung liegenden Pücklaufbogen 4 3 angeordnet ist und sich in Längsrichtung der Materialbewegung auf einer Seite des gefalteten Wellenleiteraufbaus ^l erstreckt. Die Deckwandung 76 der Luftplenumkammer 72 ist mit einem Einlaß 77 für die Ankupplung der Kammer 72 an die Speisepumpe 71 versehen.

- 16 -

909836/1048

Die Speisepumpe 71 wird beidseits des Einlasses mittels Halterungen 78 und 79 getragen, welche an der Deckwandung 76 befestigt sind.

Den Strahldüsen 67, welche sich unter der Bewegungsbahn des Materials befinden, wird warme Luft über die Luftleitung zugeführt. Die Luftleitung 74 ist ein horizontales Gehäuse, das unter dem gefalteten Wellenleiteraufbau 4l angeordnet ist und sich seitlich in Längsrichtung der Materialbewegung erstreckt. Ein Ende 81 der Luftleitung 74 öffnet sich in die Luftplenumkammer 72 und ist dort befestigt am unteren Ende der Plenum- ^ kammerwandung 82 nahe dem gefalteten Wellenleiteraufbau 4l. Das andere Ende 43 der Luftleitung 74 wird durch eine Wandung verschlossen. Di-e Deckwandung 86 der Luftleitung 74 trägt außerdem die U-förmigen Kanalteile 48 und 49, welche die Rollen 32 und den gefalteten Wellenleiteraufbau 4l abstützen. Entsprechende Befestigungen können vorgesehen sein, um die'U-förmigen Kanalteile 48 und 49 an ihrer Stellte zu halten.

Die Luftleitung 73 speist die warme Luft in die Strahldüsen 62 ein, die sich oberhalb des Materialbewegungspfades befinden. Auch die Luftleitung 73 ist ein horizontales Gehäuse, das jedoch über dem gefalteten Wellenleiteraufbau 4l angeordnet ist und sich seitlich in Längsrichtung der Materialbewegung * erstreckt. Ein Ende 87 der Luftleitung 74 öffnet sich in die Luftplenumkammer 72 an dem oberen Ende der Plenumkammerwandung 82 und ist dort befestigt. Das andere Ende 88 der Luftleitung wird durch eine Wandung 89 verschlossen. Die Säulen 33,in denen die Rollen 32 drehbar gelagert sind, erstrecken sich nach oben und bilden eine zusätzliche Abstützung für die Luftleitung 73 an deren Bodenwandung 91.

Alle Strahldüsen 62 über der Materialbewegungsstrecke gehen von der Luftleitung 73 aus und werden hängend von dieser

- 17 909836/1048

getragen. In ähnlicher Weise gehen die Strahldüsen 67 unter der Materialbewegungsbahn von der Luftleitung 74 aus und erstrecken sich von ihr vertikal nach oben.

Für die wirkungsvollste Abfuhr der aus dem zu trocknenden Material freigesetzten schädlichen Feuchtigkeit sind besondere Einrichtungen vorgesehen, um die Luft, die im wesentlichen senkrecht auf die Materialoberfläche aufgetroffen war, parallel zu dieser Oberfläche und längs derselben abzuführen. In der Vorrichtung gemäß der Erfindung wird die's durch Absaugen der auftreffenden Luft und der von ihr mitgerissenen Feuchtigkeit an einer Seite des gefalteten Wellenleiteraufbaus 4l bewirkt, so daß die Luft seitlich zur Materialbewegungsstrecke strömt..Für einen besonders wirkungsvollen Luftstrom wird die auftreffende Luft und mitgerissene Feuchtigkeit an der Seite 92 des gefalteten Wellenleiteraufbaus 4l gegenüber derjenigen Seite.abgesaugt, an der sich die Luftplenumkammer 72 befindet. Obwohl die Luftplenumkammer 72 und die Luftleitungen 73 und 74 verhindern, daß die auftreffende Luft direkt durch die Decke, den Boden und die der Absaugseite 92 gegenüberliegende Seite des gefalteten Wellenleiterauf baus 4l abfließt, könnte doch die auftreffende Luft am Einlaßende 93 oder Auslaßende 94 des gefalteten Wellenleiterauf-

-baus 4l wegströmen. Um zu verhindern, daß die auftreffende Luft an diesen Stellen abfließt, sind Endwandungen 96 und 97über dem Zuführende 93 und Abfuhrende 9¹J angeordnet. An der mit dem Wellenleiterschlitz 46 am Zuführende 93 des gefalteten Wellenleiteraufbaus 4.1 fluchtenden Stelle ist die Endwandung 96' mit einer Öffnung 98 versehen, so daß das zu trocknende Material in die Vorrichtung eingeführt werden kann. Der Zwischenraum zwischen der Öffnung 98 und dem nächstliegenden Wellenleiterabschnitt 42 wird von Wandungsteilen 99 rings um die Peripherie der Öffnung überbrückt. In ähnlicher Weise ist die Endwandung 97 mit einer Öffnung 101 für das Abziehen des Materials aus der Trocknungs-

• vorrichtung versehen, welche Öffnung mit dem Wellenleiterschlitz

- 18 -

'909836/1048 BADORIQINAL

47 am Auslaßende 94 des gefalteten Wellenleiteraufbaus 4l fluchtet. Der Zwischenraum zwischen der Öffnung 101 und dem nächstllegenden Wellenleiter 42 wird von Ifandungsteilen 102 überbrückt, die rings um die Peripherie der öffnung 101 angeordnet sind.

- Zwar könnte die auftreffende Luft direkt in die umgebende Atmosphäre von der Seite 92 des gefalteten Wellenleiteraufbaus 4l abfließen. Doch wird die parallele Luftströmung über die Oberfläche des zu trocknenden Materials erheblich verbessert₃ wenn am Ort der Strahldüsen negative Druckbedingungen geschaffen

ψ werden. Zu diesem Zweck ist ein Absaugplenum 103 in Form eines vertikalen Gehäuses vorgesehen, das sich in Längsrichtung der Materialbewegung an der Seite 92 des gefalteten Wellenleiteraufbaus 4l auf der der Luftplenumkammer 72 gegenüberliegenden Seite erstreckt. Das Absaugplenum öffnet sich in den Raum zwischen den Luftleitungen 73 und 74,inÖem der gefaltete Wellenleiteraufbau angeordnet ist. Eine Zentrifugalsaugpumpe 1θ4 , getragen von Halterungen 106 und 107 an der Deckwandung 108 öes Absaugplenums 103 steht in Luftströmungskommunikation mit dem Absaugplenum 103 über einem Absauganschluß 109. Die Zentrifugalsaugpumpe 104 erzeugt einen Unterdruck In dem Absaugplenum und am Ort der Strahldüsen ξ>2 und 67, was zu einer tangentialen Luftströmung längs der oberen und unteren Materialfläche führt,

™ wenn es zwischen den Strahldüsen hindurchläuft. Die Zentrifugalsaugpumpe 104 dient außerdem dazu, aus den Wellenleiterabschnitten 42 Luft durch deren Schlitze 46 und 47 abzusaugen und damit die Ansammlung von Feuchtigkeit in den Wellenleiterabschnitten -42 zu unterbinden.

Um den Feuchtigkeitsgehalt eines 1,25 cm dicken und 15 x 150 cm großen Holzbrettes von 70Ji auf etwa 5% herabzusetzen, werden die Rollen 32 so angetrieben, daß sfevier solcher Bretter mit einer Geschwindigkeit von 5 m pro Minute

- 19 -

909836/1048 BAD ORIOfNAL

transportieren. Die Mikrowellenquelle 54 liefert bei 915 MHz 10 kW Leistung an acht geschlitzte Wellenleiterabschnitte 42 mit den Abmessungen 24,75 x 6,2 cm mit 2,5 cm breiten und 1,35 m langen Schlitzen 46 und 47. Die Zentrufugaldruck- und saugpumpen 71 bzw. 104 liefern eine Luftströmung hoher Geschwindigkeit, öle aus den Strahldüsen 62 und 67 mit einer Geschwindigkeit von etwa 2670 m/Min, austritt. Um den Feuchtigkeitsgehalt von 70j£ auf etwa 5% herabzusetzen, sind etwa vierzig Durchgänge durch den gefalteten Wellenleiteraufbau 4l mit acht geraden geschlitzten rechteckigen Wellenleiterabschnitten 42 erforderlich. Natürlich hat ein einziger Durchgang durch etwa 320 Abschnitte des gefalteten Wellenleiteraufbaus 4l das gleiche Ergebnis.

Patentansprüche :

- 20 -

909836/1048

Claims (1)

1. - 20 Pate nt ansprüche

   1) Verfahren zum Trocknen flächigen Materials mittels Mikrowellen, dadurch gekennzeichnet, daß das Material durch eine Behandlungszone bewegt wird, daß das Material an einer ersten Behandlungsstation der Zone einer Mikrowellenbestrahlung genügend hohen Energiepegels ausgesetzt wird, daß Feuchtigkeit vom Materialinnem an die Materialoberfläche getrieben wird, daß danach an einer zweiten Behandlungsstation der Zone stromabwärts von der ersten ein mit hoher Geschwindigkeit strömender Gasstrom auf die Materialoberfläche im wesentlichen senkrecht auftreffend gerichtet wird zum Verdampfen und Abführen der Oberflächenfeuchtigkeit, die durch die Mikrowellenbestrahlung ausgetrieben worden war, und zugleich zur Durchführung eines davon unabhängigen Trocknungsprozesses, und daß nachfolgend die vorstehend genannten Arbeitsgänge während des Materialdurchlaufs durch die Behandlungszone mehrere Male wiederholt werden.

   2) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Gasstrom auf eine Temperatur von mehr als 35° C erhitzt ist und seine Geschwindigkeit an der Auftreffstelle auf die Materialoberfläche mindestens l600 m/Min, beträgt.

   3) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gas nach seinem Auftreffen auf das Material längs eines vorgegebenen Pfades parallel zur Materialoberfläche und seitlich zur Bewegungsrichtung des Materials in der Behandlungszone abgeführt wird.

   Ü) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden einander gegenüberliegenden Flächen des" zu trocknenden Materials gleichzeitig der Mikrowellenbestrahlung ausgesetzt werden

   - 21 -

   909836/1048

   5) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das den Gasstrom bildende Gas eine relative Feuchte von weniger als 90$ auf v/eist.

   6) Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß als Gas erhitzte Luft verwendet wird.

   7) Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Luft
   erhitzt ist.

   daß die Luft auf eine Temperatur zwischen 35°C und 11O°C ■

   8) Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Gasquelle mit vorbestimmter Druckhöhe, mit der Gasleitungen zur Ausbildung des Gasstromes hoher Geschwindigkeit verbunden sind, und durch eine Sauganlage,mit der Absaugleitungen verbunden sind, die von den BehandlungsStationen', an denen der Gasstrom auf das Material auftrifft, zu der Sauganlage führen für die Gasabfuhr längs der vorgegebenen Pfade.

   9) Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Absaugleitungen seitlich des Materials angeschlossen .ein·!.

   10) Vorrichtung nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch eine Transporteinrichtung für die Bewegung des Materials durch die Behandlung zone mit vorgegebener Geschwindigkeit«

   11) Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, c.:-i.fl. die durch die Absaugleitungen definierten Pfade für die lasströmung s3-.h teilxieise parallel zu der Materialoberfläche erstrecken, auf die der Gasstrom mit hoher Geschwindigkeit auftrifft.

   - 22 -

   909836/10 48
   BAD ORIQfNAL

   -■ 22 -

   12) Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet durch einen gefalteten Wellenleiteraufbau in Serpentinenform für die Mikrowellenenergie und für das Einwirkenlassen derselben auf das Material während dessen Durchlauf durch die Behandlungszone _} tvelcher Wellenleiteraufbau eine Mehrzahl von Abschnitten aufweist,

   die im Abstand voneinander längs der Behandlung-.szone verteilt angeordnet sind und jeweils Schlitze für den Γ-Iaterialdurchlauf durch die Abschnitte aufweisen, durch eine Einrichtung für das Auftreffenlassen eines Gasstromes mit hoher Geschwindigkeit auf ^ das Material in einer Richtung im wesentlichen senkrecht zur Materialoberfläche und an Stellen der Behandlungszone mindestens zv/Ischen einigen der geschlitzten Wellenleiterabschnitte des Wellenleiteraulbaus und durch eine Gasabführeinrichtung für das auf das Material auftreffenöe Gas zur Ausbildung eines Abfuhr= pfades_r,von dem sich ein Teil parallel zur'Material bewegungsrichtung an dessen Oberfläche zwischen den geschlitzten Wellenleiterabschnitten des Wellenleit-sr'aui'baus erstreckt.

   13) Vorrichtung; ::ach'Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Ausbildung des Gasdrucks eine Kehrzahl von Strahldüsen umfaßt, die jeweils zwischen den geschlitzten Wellenleiterabschnitten des gefalteten Wellenleitsraufbaus und seitlich der Materialbewegungsstrecke angeordnet sind.

   1*0 Vorrichtung nach Anspruch 13 _a dadurch gekennzeichnet, daß die Strahldüsen zwischen zwei benachbarten Wellenleiterabsehnitten gegenüber den Strahldüsen in dem vorhergehenden und dem nachfolgenden Zwischenraum zwischen benachbarten Wellenleiterabschnitten auf Lücke versetzt sind mi^· ücv Bewegungsrichtung des Materials als Eezugslinie.

   6/1048

   BAD ORIGINAL,

   15) Vorrichtung nach Ansprüchen 8 und 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Absaugleitungen zwischen den geschlitzten Wellenleiterabschnitten des Wellenleiteraufbaus angeschlossen sind, vio die Gasströme hoher Geschwindigkeit auf das Material auftreffen.

   16) Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß eine Heizeinrichtung für das Aufheizen der

   als Gas verwendeten Luft auf etwa 35 bis HO⁰C Vorgesehen ist.

   17) Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 16, gekennzeichnet durch eine mit vorgegebener Frequenz und vorgegebener Ausgangsleistung betriebene Mikrowellenquelle für die Anregung des Wellenleiteraufbaus.

   18) Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung für die Erzeugung des Gasstromes hoher Geschwindigkeit eine Mehrzahl von Strahldüsen umfaßt, die Jeweils zwischen zwei geschlitzten Wellenleiterabschnitten des gefalteten Wellenleiteraufbaus und seitlich von der Materialbewegungsbahn angeordnet sind, weiter eine Gasleitung für die Einleitung von Gas von einer Gasdruckquelle in die Strahldüsen mit vorgegebenem Kopf druck, daß die Gasabfuhreinrichtung für das auf das Material auftreffende Gas eine Ab- : saugleitung in Durchflußverbindung mit den Zwischenräumen zwischen den geschlitzten Wellenleiterabschnitten des gefalteten Wellenleiteraufbaus, die sich längs einer Seite des Wellenleiteraufbaus erstreckt, eine Wandung längs der gegenüberliegenden Seite des Wellenleiteraufbaus zur Verhinderung einer Gasströmung in dieser Richtung sowie eine mit der Absaugleitung kommunizierende Saugpumpe zur Abführung des Gases aus der Absaugleitung umfaßt zuv Aufrechterhaltung einer Gasströmung an den Stellen zwischen den geschlitzten Wellenleiterabschnitten längs eines Pfades seitlich parallel zur Materialoberfläche und an dieser Oberfläche zwischen den geschlitzten Wellenleiterabschnitten.

   909836/1048