DE1901977A1

DE1901977A1 - Perot-Fabry-Interferenzfilter

Info

Publication number: DE1901977A1
Application number: DE19691901977
Authority: DE
Inventors: Austin Robert R
Original assignee: Perkin Elmer Corp
Current assignee: Applied Biosystems Inc
Priority date: 1968-01-26
Filing date: 1969-01-16
Publication date: 1969-09-11
Also published as: GB1248343A; US3578848A; FR2000849A1

Description

Perot-Fabry-Interferenzfilter

Die Erfindung betrifft ein Perot-Fabry-Interferenzfilter, welches für Licht in einem vorgegebenen Wellenlängenbereich durchlässig ist, mit einem Paar* von Reflexschichten.

Interferenzfilter sind bekannte und in großem Umfange benutzte Vorrichtungen, welche gewisse Spektralbereiche von Licht durchlassen, während sie gleichzeitig andere Spektralbereiche von Licht zurückweisen. Obwohl der Ausdruck "Interferenzfilter" etwas ungenau ist, weil nämlich verschiedene unterschiedliche Arten von Filtern mit Interferenzerscheinungen arbeiten, wird der Ausdruck im allgemeinen benutzt, um Interferenzfilter vom Perot-Fabry-Typ zu bezeichnen, die im wesentlichen von zwei im Abstand voneinander angeordneten hochreflektierenden Flächen gebildet werden.Die beiden Flächen können einfache metallische Filme sein oder

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mehrschichtige Systeme von dielektrischen Materialien. Wenn weißes Licht durch das Filter hindurchgeschickt und anschließend spektral zerlegt wird, so sieht man ein Bandenspektrum. Durch zusätzliche bekannte Filtermittel ist es möglich, alle bis auf eine von der Mehrzahl von Transmissionsbanden zu beseitigen, wenn dies gewünscht wird. Der Abstand zwischen den beide: η reflektierenden Flächen bestimmt den Abstand und die Breite der Transmissionsbanden. Dieser Abstand liegt in der Größenordnung von einigen Mikron. Wenn der Abstand größer gemacht wird, werden die Transmissionsbanden dichter beieinanderliegend und schmaler. Der Abstand zwischen den beiden reflektierenden Systemen bestimmt die Lage der Transraissionsbanden in dem Spektrum. Im Idealfall sollten die beiden Reflexschichten übereinstimmen. Wenn die beiden Reflexschichten bei der gewünschten Transmissionswellenlänge nicht genau übereinstimmen, so führt dies zu einer Verlagerung der Transmissionsspitze infolge der in dem Abstandsstück^iedium hervorgerufenen Phasendispersion. Wenn die beiden Reflexschichten bei der gewünschten Wellenlänge nicht im wesentlichen übereinstimmend sind, sind die Reflexionswerte bei diesen Wellenlängen verschieden und die Airy-Bedingung (R^, = Rp) für maximale Durchlässigkeit wird nicht erfüllt. Das führt zu einer Verminderung der Spitzendurchlässigkeit des Durchlässigkeitsbandes. . -

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Es sind verschiedene TeclmLken für den Aufbau fön Interferenzfiltern bekannt·

Gemäß einer Technik sind die beiden reflektierenden Flächen auf einzelnen unterlagen aufgebracht, die durch einen Luftraum voneinander getrennt sind und durch mechanische Mit",el "wie O-Ringe oder Stifte usw. in dem gewünschten Abstand gehalten werden. Obwohl theoretisch große Abstände, d.M. 75 oder 100 Mikron erreicht werden können, ist es außerordentlich schwierig, diese Anordnung anfänglich auszurichten und dann ausgerichtet zu halten.

Bei einer anderen Technik werden die beiden reflektierenden Flächen auf gegenüberliegenden Seiten eines dünnen Glimmerblättchens gebildet. Obwohl das für Abstände von ungefähr 10 Mikron ausreichend ist, verhindern die optischen Eigenschaften von Glimmer seine Verwendung, wenn größere Abstände gewünscht werden. Außerdem ist es außerordentlich schwierig, ein Glimmerblättchen zu erhalten, welches eine brauchbar große Fläche besitzt. Somit ist Glimmer grundsätzlich nur brauchbar für Filter kleiner Abmessungen, bei welchen die beiden reflektierenden Flächen um ungefähr 10 Mikron auseinander liegen.

Einige Veröffentlichungen über Interferenzfilter sind folgende:

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1.) USA Patentschrift 3 ο39 362 2.) USA Patentschrift 3 o^1 2o8

3·) Optical Properties of Thin Solid Films, O.S. Heavens, 1965> Dover Publications Inc., New York, Seiten 227-231

4-.) Physics of Thin Films, Band 2, G.Hass und R.E. Thun, 1964-, Academic Press.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein neues und verbessertes Interferenzfilter und ein Verfahren zu seiner Herstellung zu schaffen.

Der Erfindung liegt weiter die Aufgabe zugrunde, ein neues und verbessertes Schmalband-Interferenz-Filter und ein Verfahren zu dessen Herstellung zu schaffen.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Interferenzfilter zu schaffen, das außerordentlich steif, außerordentlich unempfindlich gegen Temperaturänderungen ist, keinen Kitt oder mechanische Halterungen zur Verbindung der verschiedenen Glieder erfordert und welches relativ billig herzustellen ist,

Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Interferenzfilter zu schaffen, welches eine Transmissionsbandbreite von ungefähr 1/2 A besitzt.

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Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Interferenzfilter zu schaffen, bei welchem die beiden Reflexschichten im wesentlichen übereinstimmend sind und im wesentlichen im richtigen Abstand voneinander angeordnet werden.

Erfindungsgemäß wird das dadurch erreicht, daß die Reflexschichten auf je eine lichtdurchlässige Unterlage aufgebracht und zu beiden Seiten einer Abstandsplatte aus Glas angeordnet sind, deren Dicke den für die Durchlässigkeit für Licht in dem vorgegebenen Wellenlängenbereich erforderlichen Abstand der beiden Reflexschichten bestimmt.

Das Verfahren zur Herstellung von Perot-Fabry-Interferenzfiltern gemäß der Erfindung ist gekennzeichnet durch die nachstehenden Verfahrensschritte:

a) Herstellung von drei massiven Glaskörpern mit optisch planen, planparallelen Flächen,

b) Aufbringung übereinstimmender hochreflektie-.render Beschichtungen an den Vorderseiten zweier der massiven Glaskörper,

c) Verbindung der Vorderseite eines der beiden beschichteten massiven Glaskörper mit'der Rückseite des dritten massiven Glaskörpers,

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-δα) Veränderung der Dicke des dritten massiven Glaskörpers derart, daß eine an dessen Vorderseite aufgebrachte hochreflektierende Beschichtung in Zusammenwirken mit der hochreüektierenden Beschichtung an der Rückseite eine Lichtdurchlässigkeit in einen vorgegebenen Wellenlängenbereich ergibt, und

e) Verbindung der beschichteten Vorderseite des anderen der beiden massiven Glaskörper mit der Vorderseite des dritten massiven Glaskörpers .

Kurz gesagt besteht das filter aus zwei übereinstimmenden hochreflektierenden Beschichtungen, die von einer Abstandsplatte aus massivem Glas voneinander getrennt sind. Die Beschichtungen sind auf getrennte Unterlagen aus massivem Glas aufgebracht _t die in optischem Kontakt mit den Endflächen der Abstandsplatte sind.

Das Filter wird hergestellt, indem erst die beiden übereinotimmenden hochreflektierenden Beschichtungen auf einzelne Unterlagen aufgebracht werden. Dann wird eine Endfläche der Abstandsplatte in optischen Eontakt mit der beschichteten Endfläche einer der Unterlagen gebracht. Die andere Endfläche der Abstandsplatte wird dann bearbeitet bis zu der genauen erforderlichen Ab-

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messung (Dicke). Wenn diese Abmessung einmal erreicht wird, wird diese Endfläche der Abstandsplatte in optischen Kont&kt mit der beschichteten Endfläche der anderen Unterlage gebracht.

Ein Herkmal der Erfindung besteht in der Technik,
eine Äbstandsplatte mit der genauen erforderlichen
Abmessung dadurch zu schaffen, daß die Abstandsplatte auf die angenäherten Abmessungen bearbeitet wird, daß genau bestimmt wird, wie die entsprechende Dicke ist und daß dann eine Abstimmschicht auf eine Endfläche der Abstandsplatte aufgebracht wird, um die
genaue erforderliche Größe zu erzeugen. Ein weiteres Merkmal der Erfindung besteht in dem Verfahren des
Zusammenbaus des Filters.

Han sieht, daß es mit der Erfindung möglich ist, ein außerordentlich starres Interferenzfilter zu schaffen, welches zwei übereinstimmende hochreflektierende BeSchichtungen aufweist, die in jedem gewünschten Abstandvoneinander, beispielsweise von 1oo Mikron, angeordnet sind.

Die Erfindung und andere Merkmale und Vorteile derselben ergeben sich aus der* nachstehenden Zeichnung in Verbindung mit den zugehörigen Zeichnungen, in
denen die einzige Figur ein stark vergrößerter Schnitt eines naeh der Erfindung aufgebauten Filters ist.

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In der Zeichnung ist ein Filter generell mit dem Bezugszeichen 11 bezeichnet.

Das Filter 11 enthält zwei übereinstimmende hochreflektierende Beschichtungen 12 und 1J. Die Beschichtung 12 ist auf der rückwärtigen EnTläche einer Unlage 14 aus massivem Glas aufgebracht und die Beschichtung 13 ist auf der vorderen Endfläche einer Unterlage 15 aus massivem Glas vorgesehen. Es kann jede Glasart benutzt werden, die für das durchzulassende Licht durchlässig ist. Wenn beispielsweise das Filter im sichtbaren Teil des Spektrums benutzt werden soll, kann das Glas Silicat-Schmelze sein. Wenn andererseits das Glas im Infraroten benutzt werden soll, ist ein geeignetes Glas Germanium. Die vorderen und rückwärtigen Endflächen beider Unterlagen 14 und 15 sind optisch plan. Die Beschichtungen 12 und 13 können mehrschichtige dielektrische Filme sein. Sie werden auf den Unterlagen 14 und I5 durcü irgendeine bekannte Technik, beispielsweise . durch Aufdampfen, niedergeschlagen. Ein typisches Beispiel einer solchen Beschichtung ist eine Folge von abwechselnden Schichten ,von Material mit hohem und niedrigem Brechungsindex, wobei jede Schicht eine optische Dicke von 1/4 der infrage kommenden Wellenlänge besitzt. :

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Das Filter 11 enthält ferner eine Abstandsplatte 16 aus massivem Glas, welche mischen die beiden Beschichtungen 12 und 13 gesetzt wird. Das für die Abstandsplatte 16 benutzte Material kann das gleiche sein wie das, welches für die beiden Unterlagen 14 und 15 verwendet wird. Die Abstandsplatte 16 ist so bemessen, daß sie die gewünschte Trennung zwischen den beiden hoch reflektierenden Beschichtungen 14- und 15 ergibt. Die Endflächen der Abstandsplatte 16 sind optisch plan und planparallel. Die Vorderfläche der Abstandsplatte 16 weist eine zusätzliche Beschichtung 17 aus einem Material auf, dessen Brechungsindex der gleiche ist, wie der der Abstandsplatte. Der Zweck dieser zusätzlichen Beschichtung wird unten noch erläutert. Die rückwärtige Endfläche der Unterlage 14·, welche die hochreflektierende Beschichtung 12 enthält, ist in optischem Kontakt mit der Vorderfläche der Abstandsplatte 16". Die vordere Endfläche der Unterlage 15, welche die hcjschreflektierende Beschichtung 15 enthält, steht in optischem Kontakt mit der · Rückfläche der Abstandsplatte 16.

Schließlich kann das Filter 11 auch noch eine 'zusätzliche Beschichtung 18 aufweisen, die ein mehrschichtiger dielektrischer Film sein kann, welcher auf der unbeechichteten Enfläche der Unterlage 14 aufgebracht ist. Der Zweck der Beschichtung 18 besteht darin, unerwünschte Seitenbänder zu beseitigen, so daß nur ein

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Band durchgelassen wird, wenn das gewünscht wird. Die Beschichtung 18 kann natürlich vorgesehen werden oder auch nicht und bildet keinen Teil öer Erfindung. Die Beschichtung 18 kann mit irgendeiner bekannten Technik, beispielsweise durch Aufdampfen aufgebracht werden. Das Verfahren der Herstellung des Filters ist folgendesj Zunächst werden drei massive Glaskörper, die nachstehend als die Glieder A. B und C bezeichnet werden und den erforderlichen Brechungsindex, Querschnitt und die erforderliche Dicke haben_g mn als die beiden Unterlagen und die Abstandsplatte zu dienen, auf ihren vorderen und rückwärtigen Endflächen geschliffen und optisch plan gemacht© Dann werden auf den Vorderseiten der Glieder A und B, den'beiden Gliedern, die als die Unterlagen benutzt v/erden soll en _t übereinstimmende hochreflektierende Beschichtungen R₁ und Rp gebildete Ein Weg, übereinstimmende Beschüitungen zu erzeugen besteht in gleichzeitigem Aufdampfen^ wobei beide Glieder in einer einzigen "Vakuumkammer angeordnet werden und die Beschichtung gleichzeitig von einer gemeinsamen Quelle von verdampfbarem Material aufgebracht wird» Eine andere Technik besteht darin, einen einzigen Glaskörper zu beschichten und dann in zwei Hälften zu schneiden, um die beiden Glaskörper zu bilden. Die beschichtete Endfläche des Gliedes A wird dann in optischen Kontakt mit der Rückfläehe des Gliedes G gebracht, dea Elementes, welches als Abstandsplatte verwendet werden soll· Die vordere Endfläche des Gliedes G wird dann abgeschliffen, so

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daß seine Dicke ungefähr dem Abstand entspricht, der zwischen den beiden hochreflektierenden Beschichtungen R₁ und Ep erforderlieh ist, um das Licht in einem speziellen 1/ellenlängenband durchzulassen. Bann wird auf die vordere Endfläche dea Gliedes C"vorübergehend eine Schicht von reflektierendem Material T vorgesehen, welches leicht entfernt werden kann beispielsweise von Silber. Die Beschichtung von Silber T wirkt mit der hochreflektierenden Beschichtung E-j, die davon in einem Abstand gleich der Dicke des Gliedes C angeordnet ist, zusammen zur Bildung eines Interferenzfilters· Dann wird eine Aufzeichnung der spektralen Durchlässigkeit unter Verwendung eines Abtastspektrophotometers von hoher Auflösung vorgenommen. Unter Verwendung von Daten hinsichtlich des Phasenwinkels des Reflexionsvektors für Silber können die Lagen der fransmissionsbanden vorhergesagt werden für ein Filter, wo die Silberbeschichtung 1 durch die hochreflektierende Beschichtung Rp ersetzt ist» Stattdessen kann auch eine vorübergehende Beschichtung von leicht entfernbarem weichen elektrischen Material verwendet werden statt der Silberbeschichtung T, in welchem Pail die Korrektur des Phasenwinkels des Reflexionsvektors nicht erforderlich wäre.

Jeder Penler hinsichtlich der Lage der Transmissionsbande (der Unterschied von wo die Bande tatsächlich

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im Spektrum auftritt und wo die Bande gewünscht wird) lcrjiri dadurch korrigiert werden, daß die erforderliche Menge von Material M mit dem gleichen Brechungsindex wie das Glied C an einer Endfläche des Gliedes C hinzugefügt wird, so daß dfe Dicke und damit der Abstand der beiden Reflexschichten vergrößert wird. Die Formel zur Bestimmung der Menge des Korrekturmaterials, welches dem Glied C zugefügt werden muß, so daß sich die richtige Dicke ergibt, ist:

θ =

(W₂ -

wobei W₁ und V/p Transmissionsbanden unter Verwendung der vorübergehenden Silberbeschichtung sind, W₅, die Transmissionsbande unter Verwendung zweier übereinstimmender mehrschichtiger dielektrischer hochreflektierender Beschichtungen ist, Dp die gewünschte Wellenlänge ist und θ gleich irgendeinem Bruchteil einer halben Wellenlänge bei einer Wellenlänge gleich W₂ + W₁

ist. Wenn einmal die Menge von Material be-

stimmt ist, welches dem Glied C hinzugefügt werden muß, um ihm die gewünschte Dicke zu erteilen, wird die Silberbeschichtung T entfernt und das Material M auf die vordere Endfläche aufgebracht. Die beschich-

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tete Endfläche des Gliedes B wird dann in optischen Kontakt mit der vorderen Endfläche des G-liedes C gebracht.

Nachstehend wird ein Beispiel angegeben, wie ein Filter nach der Erfindung aufgebaut werden kann, welches Licht einer speziellen Wellenlänge, beispielsweise 5890 A durchlassen soll. Zunächst werden drei massive Glaskörper geeignet verfügbarer Größe zur Verwendung als die beiden Unterlagen A^f und B¹ und als Abstandsplatte C ausgewählt, die für licht bei 5890 A durchlässig sind. Beispielsweise können A¹ , B* und C¹ massive Körper aus Silicat-Schmelze (IT = 1,45) sein, die einen Querschnittsdurchmesser von 15 cm und eine Dicke von 3»75 cm besitzen. Die Endflächen der Glieder A¹, B' und 0' werden abgeschliffen und bis auf .1/200 ei£er Wellenlänge von grünem lieht optisch- plan gemacht. Die Glieder A^f und B¹ werden dann an ihren vorderen Endflächen mit übereinstimmenden hochreflektierenden Beschichtungen R^ und Rp versehen, die aus Thoriumoxyfluorid (n = 1,45) und Zinksulfid (n = 2,3) bestehen können, wobei die der Unterlage nächstgelegene Schicht Thoriumoxyfluorid ist. Die beschichtete Endfläche des Gliedes A¹ wird dann in optischen Kontakt mit der rückwärtigen Endfläche des Gliedes C gebracht. Die vordere Endfläche des Gliedes C wird dann so bearbeitet, daß seine Dicke ungefähr 80/^" beträgt und wird

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optisch plan und planparallel zu der mit der anderen Endfläche verbundenen hoclireflektierenden Beschichtung Ry, gemacht. Eine Beschichtung T¹ aus Silber von ungefähr 35o A Dicke wird dann auf die vordere Endflache des Gliedes C aufgebracht. Die Lagen der spektralen Transmissionsbanden v/erden dann unter Verwendung eines SpektiOphotometers bestimmt. Wenn man einmal annimmt, daß die beiden Transmis-

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sionsbanden bei 588I A und 5897 A- auftreten, kann durch bekannte Rechnungen bestimmt werden _s daß bei Ersatz der Silberbeschichtung T-¹ durch eine dielek-

trische Beschichtung R _Oi die mit der dielektrischen

Beschichtung E ^ an der anderen Endfläche übereinstimmt, eine Transoissionsbande bei 5886 Ä auftreten würde. Die Menge des Materials M, welches desh&lb^ der Abstandsplatte hinzugefügt werden muß_? um einen Abstand zu liefern_s der eine Transmissionsbande bei 5890 1 erzeugt, wird dann bestimmt unter Benutzung der ITormel

θ =

W₂ -

wobei θ irgendein Bruchteil einer halben Wellenlänge ist. Für. die Werte D₂ = 589o I₈ W^ = 5881 JL, W₂ = 5897 A und W^ = 5886 A ist θ 1/4. Die Menge des Materials,

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welches der Äbst&ndsplatte hinzugefügt wer^an. sollte, betragt cL'iier bei 5S89 A ein Achtel Welleniäng?. optischer Dicke. Bann wird die Silberbeschichtung T' von der vorderen Endfläche des Gliedes C entfernt und es wird i/S Wellenlänge Beschichtung aus Silizium dioxyd D* auf die Vorderseite des Gliedes C¹ aufgebracht. Die beschichtete Endfläche des Gliedes B' wird dann in optischen Kontakt mit der vorderen Endfläche des Gliedes C* gebracht. Schließlich wird auf die ^!beschichtete Endfläche des Gliedes Λ' eine zu- -s Lt all ehe Beschichtung U aufgebracht, um !unerwünschte Seitonbanäen zu beseitigen. Diese Beschichtung kann aus einer mehrschichtigen Beschichtung von dielektrischen Materialien bestehen, die durch die Formel

dargestellt ist, wobei H eine Schicht von Material von hohem Breclxungsindex, wie Zinksulfid (n = 2,3) ist, welches eine optische Dicke von /4- besitzt, L eine Schicht von Material mit geringem Brechungs index ist, von beispielsweise Crylolit (n = 1,35), welche eine optische Dicke von r/4 besitzt, und die infrage kommende Wellenlänge (5<39o A) ist.

Es sind offensichtlich im Li'cht der obigen Lehre viele Abwandlungen und Veränderungen der vorliegen den Erfindung möglich. Es versteht sich somit, daß die Erfindung auch anders durchgeführt werden kann als vorstehend speziell beschrieben ist.

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Claims

Patentansprüche

1.) Perot-Fabry-Interferenzfilter, welches für Licht in einem vorgegebenen Wellenlängenbereich durchlässig ist, mit einem Paar von Reflexschichten

dadurch gekennzeichnet,

daß die Reflexschichten (12, 13) auf je eine lichtdurchlässige Unterlage (14, 15) aufgebracht und zu beiden Seiten einer Abstandsplatte (16) aus Glas angeordnet sind, deren Dicke den für die Durchlässigkeit für Licht in dem vorgegebenen Wellenlängenbereich erforderlichen Abstand der beiden Refelxschichten bestimmt.

2.) Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

daß die Reflexionsschichten (12, 13) mehrschichtige dielektrische Filme sind, welche direkt auf den Unterlagen gebildet werden.

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5·) Interferenzfilter nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,

daß die Unterlagen (14-, 15) in optischem Kontakt mit den Endflächen der Abstandsplatte (16) sind .

4.) Interferenzfilter nach Anspruch J, dadurch gekennzeichnet,

daß die mehrschichtigen Filme (12, 13) übereinstimmend aufgebaut sind.

5·) Interferenzfilter nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,

daß die Abstandsplatte (16) auf einer Endfläche eine Beschichtung (17) mit einem Material trägt, derart, daß ihre Gesamtdicke genau diejenige ist, die für eine Durchlässigkeit in dem vorgegebenen Wellenlängenbereich erforderlich ist.

6.) Interferenzfilter nach Anspruch 5» dadurch gekennzeichnet,

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daß auf einer der Unterlagen eine zusätzliche Beschichtung (18) aufgebracht ist, durch welche andere Wellenlängenbereiche als der vorgegebene unterdrückt werden.

7·) Verfahren zur Herstellung von Perot-Fabry-Interferenzfiltern nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die nachstehenden Verfahrensschritte:

a) Herstellung von drei massiven Glaskörpern mit optisch planen, planparallelen Endflächen,

b) Aufbringung übereinstimmender hochreflektierender Beschichtungen an den Voxxlex'seiten zweier der massiven Glasköx-per,

c) Verbindung der Vorderseite eines der beiden beschichteten massiven Glaskör'per mit der Rückseite des dritten massiven Glaskörpers,

d) Veränderung der Dicke des dritten massiven Glaskörpers derart, daß eine an dessen Vorderseite aufgebrachte hochreflektierende Beschichtung in Zusammenwirken mit der hochreflektierenden Beschichtung an der Rückseite eine Lichtdurchlässigkeit in einem vorgegebenen Wellenlängenberexch ergibt, und

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e) Verbindung der beschichteten Vorderseite des anderen der beiden massiven Glaskörper mit der Vorderseite des dritten massiven Glaskörpers.

8. ) Verfahren nach Jlnspruch 7 >
dadurch gekennzeichnet,

dcc3 diti übereinstimmenden hochreflektierenden Beschichtungen auf den beiden massiven Glaskörpern durch gleichzeitiges Aufdampfen erfolgt.

9.) Verfahren nach Anspruch 7 >
dadurch gekennzeichnet,

daß die beiden massiven Glaskörper, welche die hochreflelctierenden Beschichtungen aufweisen, mit den dritten massiven Glaskörper durch optischen Kontakt verbunden werden.

1o. j Verfahren nach JLnspruch 7,
dadurch gekennzeichnet,■

daß die Änderung der Dicke des dritten massiven Glasküj-pers durch folgende Verfahrensschritte .

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Bearbeitung der Rückfläche des dritten massiven Glaskörpers bis seine Dicke ungefähr dem erforlichen Wert entspricht,

vorübergehendes Aufbringen einer reflektierenden Beschichtung auf die Rückfläche,

Prüfung des so gebildeten Filters zur Ermittlung des Betrages, um welchen die Dicke des dritten Glaskörpers erhöht werden muß, 'um den erforderlichen Abstand der beiden hochreflektierenden Schichten zu erhalten, .

Entfernen der vorübergehenden reflektierenden Beschichtung und Aufbringen einer Materialmenge auf den dritten 'Glaskörper, die erforderlich ist, um die geforderte Dicke zu erhalten. --'■

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