DE1867491U - HIGH VACUUM TIGHT ELECTRODE ENTRY. - Google Patents

Description

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Hochvakuumdichte ElektrodendurchführungHigh vacuum tight electrode leadthrough

Die Neuerung betrifft eine hochvakuumdichte Elektrodendurchführung, bei der in einem scheibenförmigen Isolierkörper aus glasartigem oder keramischem Werkstoff mehrere Elektroden vakuumdicht eingesetzt sind.The innovation concerns a highly vacuum-tight electrode leadthrough, in which in a disk-shaped insulating body made of vitreous or ceramic material several electrodes are inserted in a vacuum-tight manner.

Es sind ein- oder zweipolige Elektrodendurchführung en bekannt, welche als Isoliermaterial glasartige oder keramische Werkstoffe enthalten. Ein Beispiel für eine Bauform mit glasartigem Isoliermaterial bieten die vakuumdichten Druckglaseinschmelzungen. One- or two-pole electrode bushings are known, which are used as insulating material contain vitreous or ceramic materials. An example of a design with glass-like insulating material is the vacuum-tight pressure glass seal.

Üblicherweise werden mehrpolige Elektrodendurchführungen, wie sie insbesondere für die Konstruktion vnn Einbaiimeßsystemen in der üochvakuumtechnik benötigt werden, dadurch zusammengestellt, daß man die entsprechende Anzahl von einpoligen Durchführungen in einem Flansch anordnet. Zur Herstellung solcher mehrpoligen Durchführungen gibt es im wesentlichen zwei Möglichkeiten.Usually, multi-pole electrode feedthroughs, such as those required in particular for the construction of built-in measuring systems in high vacuum technology, are required are compiled by arranging the appropriate number of single-pole bushings in a flange. To produce such There are essentially two possibilities for multipole bushings.

Eine Möglichkeit ist beispielsweise dadurch gegeben, daß im Ofen die benötigte Anzahl von Einzeldurchführungen in dafür vorgesehene Löcher eines Flansches eingeschmolzen wird. , Dabei läßt sich jedoch ein Verzundern und Verziehen des Flansches nicht vermeiden, so daß man gezwungen ist, den Flansch mit den empfindlichen Elektroden nachzuarbeiten, was nicht nur unwirtschaftlich ist, son-. dern auch-zur Beschädigung der Elektroden führen kann, Bei einer anderen Methode werden vorbereitete, d.fcu bereits in ringartige Bauelemente eingeschmolzene Durchführungen in die entsprechend vorbereiteten Flanschlöcher eingeschweißt. Dies führt jedoch zu einer Vielzahl von Einzelschweißnähten mit vergrößerter Gefahr der Undichtigkeit.One possibility is given, for example, that the required in the oven Number of individual feed-throughs in the holes provided in a flange is melted down. However, scaling and warping of the Do not avoid the flange, so that you are forced to use the flange with the Reworking sensitive electrodes, which is not only uneconomical, but. which can also lead to damage to the electrodes. Another method is to use prepared, i.e., fcu already melted into ring-like components Bushings welded into the prepared flange holes. However, this leads to a large number of individual weld seams with an increased risk the leak.

Außerdem sind beide Aufbauprinzipien sehr aufwendig im Platzbedarf,In addition, both construction principles are very expensive in terms of space,

Bei einer weiteren bekannten Ausführung ist als Durchführung ein Preßglasteller mit mehreren Elektroden vorgesehen. Mit dieser Ausführung können aber keineIn a further known embodiment, a pressed glass plate is used as the implementation provided with multiple electrodes. With this version, however, no

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Messungen bei hohen Temperatüren, z.B. iönisatiönsmähometermessurigenj während des Ausheizens vorgenommen werden, weil der Preßglasteller bei hohen Temperaturen die einzelnen Elektroden gegeneinander nicht mehr genügend isoliert»Measurements at high temperatures, e.g. iönisatiönsmähometeressurigenj during the bakeout can be made because the pressed glass plate at high temperatures the individual electrodes are no longer sufficiently isolated from each other »

Durch die Neuerung wird eine hochvakuumdichte Elektrodendurchführung angegeben, bei der die angeführten Schwierigkeiten vermieden werden. Das Kennzeichnende an der neuartigen Durchführung wird darin gesehen, daß ein scheibenförmi-" ger Isolierkörper aus glasartigem oder keramischem Werkstoff, in welchen mehrere Elektroden vakuumdicht eingesetzt sind, mit der einen Randzone eines metallischen Rohrstückes vakuumdicht unlösbar verbunden ist,und daß in diesem Isolierkörper neben direkt eingesetzten Elektroden ein metallisches Abschirmrohr vorgesehen ist, dessen eine Endfläche mit einem Elektrodenträger aus Isolierstoff mit einer weiteren Elektrode vakuumdicht verbunden ist* Dabei ist das Abschirmrohr auf dieselbe Art wie die Elektroden eingesetzt»The innovation specifies a highly vacuum-tight electrode lead-through, in which the difficulties mentioned are avoided. The characteristic the novel implementation is seen in the fact that a disk-shaped " ger insulating body made of vitreous or ceramic material, in which several Electrodes are used in a vacuum-tight manner, with one edge zone of a metallic Pipe section is inextricably connected in a vacuum-tight manner, and that in this insulating body In addition to directly inserted electrodes, a metallic shielding tube is provided, one end face of which is provided with an electrode carrier made of insulating material is connected to another electrode in a vacuum-tight manner * This is the shielding tube inserted in the same way as the electrodes »

Es ist vorteilhaft, daß man solche Isolierkörper, welche beliebig-viele Elektroden enthalten können, sowohl direkt mit einem Glaskolben als auch unter Zwischenschaltung des metallischen Rohrstückes mit einem Einbauflansch· verbinden kann«, Das metallische Abschirmrohr ist in solchen Fällen von Vorteil; in denen für Messungen eine besonders geschützte Elektrode benötigt wird»It is advantageous to have such insulating bodies which have any number of electrodes can contain, both directly with a glass flask and with the interposition of the metallic pipe section with a mounting flange · can connect «, The metallic shielding tube is advantageous in such cases; in which for measurements a specially protected electrode is required »

In einer wesentlichen Ausgestaltung der Neuerung ist der Elektrodenträger gleichfalls rohrförmig gestaltet und im Bereich seiner einen Endfläche mit dem Abschirmrohr und im Bereich seiner anderen Endfläche mit der durchzuführenden Elektrode vakuumdicht unlösbar verbunden. Von besonderem Vorteil ist dabei ein Elektrodenträger aus Keramik.« Ionisationsmanometermeßsysteme mit Elektrodendurchführungen nach dieser Konstruktion können auch während des Messens ausgeheizt werden. Die Isolierung der abgeschirmten Elektrode gestattet auch bei erhöhten Temperaturen, wie sie beim Ausheizen von Vakuumapparaturen üblich sind, beispielsweise 400-450⁰C, die Messung von geringen Stromstärken, weil die Keramik ihren hohen Isolations wider stand behält und die neuartige Form einen langen Isolationsweg darstellt. Bei der Verwendung der neuartigen DurchführungIn an essential embodiment of the innovation, the electrode carrier is also tubular and in the area of its one end face with the shielding tube and in the area of its other end face with the electrode to be passed through in a non-detachable manner. A ceramic electrode carrier is particularly advantageous. ”Ionization manometer measuring systems with electrode feedthroughs according to this design can also be baked out during the measurement. The isolation of the shielded electrode allows even at elevated temperatures, as are usual in the baking of the vacuum apparatus, for example, 400-450 ⁰ C, the measurement of low currents, because the ceramic retains its high insulation resist stand and the new shape is a long Isolationsweg . When using the new implementation

für Ionisationsmanometermeßsysteme^ d.h. f ür die Messung von Drücken auch unter 10" Torr, gewinnt die Ausheizfee ;-keit der Bauteile erhöhte Bedeutung, und es ist selbstverständlich vorteilhaft, wenn auch der Ausheizvorgang messend ver~ folgt werden kann«for ionization manometer measuring systems ^ i.e. for the measurement of pressures as well below 10 "Torr, the heat-out fairness of the components becomes more important, and It is of course advantageous if the heating process is also measured can be followed «

In den Zeichnungen sind Ausführungsbeispiele der neuartigen Anordnung schematisch dargestellt. Es zeigen;In the drawings, exemplary embodiments of the novel arrangement are schematic shown. Show it;

Fig. 1 eine Anordnung ein®Isolierkörpers in einem Flansch, wobei in dem Isolierkörper noch eine abgeschirmte Elektrode eingeschmolzen ist,1 shows an arrangement of an insulating body in a flange, with FIG Another shielded electrode is melted into the insulator,

Fig» 2 eine andere Anordnung, bei welcher die abgeschirmte Elektrode durch einen Elektrodenträger aus keramischem Material gegen die Abschirmung isoliert ist_a FIG. 2 shows another arrangement in which the shielded electrode is insulated from the shield by an electrode carrier made of ceramic material _a

x.Zbv. erkennt in Fig. 1 einen Isolierkörper 13, welcher im Bereich der einen Stirnseite eines Rohrstückes 12 vakuumdicht eingesetzt ist. Das Rohrstück 12 ist im Bereich der anderen Stirnseite mit einem. Flansch 11 verschweißt. Durch den Isolierkörper 13 führen Elektroden 14, IE und 16, wobei die Elektrode 16 von einem gleichfalls mit eingeschmolzenen, metallischen Abschirmrohr 17 umgeben ist. Die Elektrode 16 und das Abschirmrohr 17 sind durch einen rohrförmigen Glaskörper 18 gegeneinander isoliert. x.Zbv. recognizes in Fig. 1 an insulating body 13, which is inserted in the area of one end face of a pipe section 12 in a vacuum-tight manner. The pipe section 12 is in the area of the other end face with a. Flange 11 welded. Electrodes 14, IE and 16 lead through the insulating body 13, the electrode 16 being surrounded by a metallic shielding tube 17 which is likewise fused in. The electrode 16 and the shielding tube 17 are insulated from one another by a tubular glass body 18.

In Fig. 2 erkennt man entsprechend der Fig. 1 einen Flansch 21 mit einem Rohrstück 22, einen Isolierkörper 23 mit Elektroden 24, 25 und 26. Die Elektrode. 26 ist von einem Abschirmrohr 27 umgeben. In diesem Ausführungsbeispiel sind die Elektrode 26 und das Abschirmrohr 27 durch einen Keramikkörper 28 gegeneinander isoliert. Der Keramikkörper 28 wird zusätzlich noch durch eine Kappe 29 gegen Verschmutzung geschützt» In Fig. 2 can be seen in accordance with Fig. 1, a flange 21 with a pipe section 22, an insulating body 23 with electrodes 24, 25 and 26. The electrode. 26th is surrounded by a shielding tube 27. In this embodiment, the Electrode 26 and shielding tube 27 are insulated from one another by a ceramic body 28. The ceramic body 28 is additionally protected against contamination by a cap 29 »

Claims (2)

■ <r P.A.069 227*31. 1.62 - 4 i S-CΆ U T■ <r P.A. 069 227 * 31. 1.62 - 4 i S-CΆ U T 1. Hochvakuumdichte Elektrodendurchführung, bei der in einem scheibenförmigen Isolierkörper aus glasartigem oder keramischem Werkstoff eine Mehrzahl von Elektroden vakuumdicht eingesetzt sind j dadurch gekennzeichnet, daß der scheibenförraige Isolierkörper mit der einen Randzone eines metallischen Rohrstückes vakuumdicht unlösbar verbunden ist, und daß in diesem Isolierkörper neben direkt eingesetzten Elektroden ein metallisches Abschirmrohr vorgesehen ist, dessen eine Endfläche mit einem Elektrodenträger aus Isolierstoff mit einer weiteren Elektrode vakuumdicht verbunden ist,1. High vacuum-tight electrode leadthrough in which in a disk-shaped Insulating body made of vitreous or ceramic material, a plurality of electrodes inserted in a vacuum-tight manner are characterized in that the disk-shaped insulating body is connected in a vacuum-tight manner to one edge zone of a metallic pipe section, and that in this insulating body In addition to directly inserted electrodes, a metallic shielding tube is provided, one end face of which is provided with an electrode carrier made of insulating material is connected vacuum-tight to another electrode, 2. Elektrodendurchführung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Elektrodenträger gleichfalls rohrförmig gestaltet ist und im Bereich sein'. einen Endfläche mit dem Abschirmrohr und im Bereich seiner anderen Endfläche mit der durchzuführenden Elektrode vakuumdicht unlösbar verbunden ist,2. Electrode bushing according to claim 1, characterized in that the electrode carrier is also tubular and in the area '. one end face is connected to the shielding tube and in the area of its other end face to the electrode to be passed through in a vacuum-tight, non-detachable manner, C. Elektrodendurchführung nach Anspruch 1, da dur ch g e.k e η η zeichnet, daß der Elektrodenträger aus Keramik besteht»C. Electrode leadthrough according to claim 1, since by ch g e.k e η η indicates that the electrode carrier is made of ceramic »