DE1699150U - Vakuummesser. - Google Patents

Vakuummesser.

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DE1699150U
DE1699150U DEP6359U DEP0006359U DE1699150U DE 1699150 U DE1699150 U DE 1699150U DE P6359 U DEP6359 U DE P6359U DE P0006359 U DEP0006359 U DE P0006359U DE 1699150 U DE1699150 U DE 1699150U
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Germany
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vacuum
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temperature
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DEP6359U
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Osram GmbH
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Patent Treuhand Gesellschaft fuer Elektrische Gluehlampen mbH
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L21/00Vacuum gauges
    • G01L21/10Vacuum gauges by measuring variations in the heat conductivity of the medium, the pressure of which is to be measured
    • G01L21/12Vacuum gauges by measuring variations in the heat conductivity of the medium, the pressure of which is to be measured measuring changes in electric resistance of measuring members, e.g. of filaments; Vacuum gauges of the Pirani type
    • GPHYSICS
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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

Qft-B 269Ü7»3tt5ii
Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen m
Heidenheim/Brenz
♦b„H,,/
Vakuumm.ess er nach Hrani,
Die leuerung betrifft einen Yakuunim.esser nach dem Vorschlag von Pirani, bei welchem die Wärmeableitung eines elektrisch erhitzten Drahtes durch das Hestgas bei Verwendung eines seinen Widerstand mit der Temperatur ändernden Drahtes als Meßgrundlage dient. Als temperaturempfindlicher Widerstand wird entweder ein Drahtmaterial mit positivem Temperatur-Koeffizienten benutzt, wie Nickel, Platin oder auch Wolfram, oder Hassewiderstände mit negativem. Temperatur-Koeffizienten. Bei der bisherigen Ausführung solcher Vakuummesser wurde der temperaturempfindliche Widerstand meist in einem Glasgefäß eingeschmolzen, das mit einer Öffnung mit dem zu messenden ünterdruckraum verbunden wurde. t>ber elektrische Verbindungsleitungen wurde dann der temperaturempfindliche Widerstand mit einem getrennt aufgestellten Meßinstrument und der elektrischen Spannungsquelle verbunden. Gewöhnlich wurden solche Vakuummesser als Laboratoriumseinrichtungen hergestellt und den individuell auftauchenden .Srfordernissen angepaßt.
Soweit derartige Geräte handelsüblich sind, bestehen sie ebenfalls aus mehreren Teilen, die durch entsprechende elektrische Leitungen miteinander verbunden werden müssen, Sie sind infolgedessen unhandlich. Ss fehlte bisher an einem einfachen, kleinen und handlichen Gerät, das alle Teile einschließlich der Verbindungsleitungen in sich vereinigt und in möglichst beliebiger Lage an die verschiedenen Vakuumleitungen angeschlossen werden
geschaffen Gemäß vorliegender Heuerung wird dem Abhilfe/dadurch, daß In
einem Vakuummesser die an den zu messenden ünterdruckraum an-
schließbare, den temperaturempfindlich.en Widerstand enthaltende ließkammer, die diesen Widerstand speisende Spannungsquelle und das elektrische Anzeigeinstrument sowie gegebenenfalls Vergleichs« und !ichwiderstände in einem Gehäuse vereinigt sind· Zum Anschluß an die zu messenden Unterdruckräume können rait dem Gehäuse verschiedenartig ausgebildete, den anzuschließenden Räumen angepaßte Anschlußstutzen leicht auswechselbar verbunden sein.
Zur näheren Erläuterung dient die beigefügte Zeichnung, die in einem Ausführungsbeispiel in
Fig. 1 den Vakuummesser in Ansicht und in * 2 im Längsschnitt zeigt. Die
Fig· 3 und 4 zeigen zwei Ausführungsbeispiele der den temperatur— empfindlichen Widerstand enthaltenden Meßkaramer,
^iS· 5 zeigt einige verschiedenartig ausgebildete, mit dem
Gehäuse auswechselbar zu verbindende Anschlußstutzen·
Fig. 6 zeigt ein zweckmäßiges Schaltbild des neuen Vakuummessers.
Bei dem Vakuummesser nach der Neuerung sind erstmalig alle erforderlichen ieile in einem einzigen Gehäuse 6 zusammengefaßt. Etwa in der Mitte dieses aus Metall oder Isolierstoff bestehenden Gehäuses ist in eine entsprechende Erweiterung 7 das elektrische Meßinstrument, beispielsweise Strommesser oder Galvanometer 8 eingelassen. Dieses Meßinstrument ist drehbar angeordnet, damit es bei jeder Lage des Gerätes aufrecht gerichtet und leicht abgelesen werden kann» Ss ist deshalb über im Innern des Gehäuses verlaufende flexible Leitungen mit den übrigen feilen der Schaltung verbunden.
Von den durch diese Erweiterung 7 voneinander getrennten Hohlräumen 9 und 10 dient der obere 9 zur Aufnahme der Spannungsquelle, zweckmäßig einer einzelligen -Irockenbatterie 11* Sine im Innern mit einem Federkontakt 15 versehene Schraubkappe 12 bildet den Abschluß. Der Saum hinter dem Galvanometer 8 sowie der untere Hohlraum 10 dienen zur Aufnahme der Spaltmittel
22, 23, 24 und 1« und der Festwiderstände R2, R^, R5, Eg (und bJ für eindrähtige Ifießrohre) sowie der Meßkammer 14«,
Diese Meßkammer ist in .Fig. 3 in größerem Maßstab dargestellt. Sie ist als kurser Glasrohrstutzen mit einem aus der Glühlampentechnik übernommenen Glasfuß I5 ausgebildet, mit dessen Hilfe vier Stromzuführungsdrähte vakuumdicht eingeführt sind. Sie tragen in ihrem Innern zwei voneinander elektrisch getrennte folframdrahtv/endeln 16 und 17, die als teniperaturempfindliclie Widerstände dienen. Sin einfacheres Beispiel einer Meßkammer mit nur einem temperaturempfindlichen Widerstand und dementsprechend nur zwei Stromzuführungen zeigt Fig. 4.
Der Raum 10 des Gehäuses 6 enthält an einem freien Ende eine Gummidichtung 18, die sich nach innen auf den Rand der Meßkammer 14 legt· Zur Verbindung iait den au messenden Unterdruckräumen dienen diesen angepaßte Anschlußstutzen 19, äie mit einem Flansch auf die Außenseite der Gummidichtung 18 aufgelegt und mit einer überwurfmutter 20 am Gehäuse 6 festgehalten werden. Die Anordnung ist so ausgeführt, daß beim Anziehen der Überwurfmutter 20 die Gummidichtung 18 gleichzeitig das Glasrohr 14 und den Flansch des Anschlußstutzens 19 nach außen abdichtet« In Fig. 5 sind verschiedene derartige, gegeneinander auswechselbare Anschlußstutzen dargestellt, durch deren Wahl es ermöglicht wird, das ganze Gerät auch mit schwer zugänglichen Anschluß-Öffnungen der zu messenden Unterdruckräume zu verbinden. Wenn zu befürchten ist, daß in den zu messenden Unterdruckräumen Feuchtigkeit enthaltende Gasreste vorhanden sind oder auch, wenn Feuchtigkeit bei der Auswechselung der Anschlußstutzen zur Meßkaamer zutreten kann, empfiehlt es sich, zwischen die Meßkammer und den Anschlußstutzen ein feuchtigkeitabsorbierendes Filter zu schalten. Hierfür kann ein durchlochter Behälter 21, beispielsweise aus Drahtgaze, dienen, der mit feinkörnigem PgOc
gefüllt wird·
Wird eine Meßkammer nach Pig, 4 mit mir einem temperaturempfind-
liehen Widerstand verwendet, so genügt ein Strommesser in Beine mit diesem. Widerstand zur Anzeige des V&kuums, wobei die Spannung der einzelligen Trockenbatterie 11 wegen des geringen Stromverbrauchs für längere Zeit als konstant angesehen werden kann« Zur Erhöhung der Empfindlichkeit und Genauigkeit kann es auch zweckmäßig sein, zwei temperatur empfindliche Widerstände 16 und 17 der Meßkammer nach Fig. J> ia einer Brückenschaltung zu verwenden·
Eine solche Brückenschaltung zeigt beispielsweise F^g. 6, in welcher R, und R, die beiden teaperaturempfindlichen Widerstände, also I7olframdrahtwendelnf sind, während Rp, Raι ^c un<3- Kg (.und. gegebenenfalls auch R^, wenn ein Heßrohr mit nur einem teraperaturempfindlichen Widerstand benutzt wird,) gleichartige Pestwiderstände außerhalb der Meßkamraer sind· Zur Anzeige dient dann ein Strommesser oder ein Galvanometer 8 mit entsprechender Sichung. Ba die Betriebsspannung des Trockenelementes ira Laufe der Zeit abfällt, zur Messung aber eine konstante Spannung vorhanden sein soll, kann der durch die Brücke fließende Strom mit Hilfe des Drehwiderstandes Er7 auf den richtigen Wert eingeregelt werden. Ob der richtig® Stromwert eingestellt ist, kann am Ausschlag des Meßinstrumentes abgelesen werden, wenn die beiden Umschaltkontakte 22 und 23 durch Druck auf den zugehörigen Knopf betätigt werden, die dann anstelle der temperaturempfindlichen Widerstände R-^ und IU die Festwiderstände Rc und Hg in die Brücke einschalten» Der Ausschlag des Meßinstrumentes wird in diesem Falle auf eine Eichmarke der Skala durch Nachstellen des Widerstandes R« gebracht. Die Sichmarke der Skala wird zweckmäßigerweise durch einen feststehenden Zeiger dargestellt, der in gewissen Grenzen nachstellbar ist, um eventuelle Alterungserscheinungen der temperaturempfindlichen Widerstände ausgleichen zu können»
24 ist ein Hauptschalter zum. Stroralosmachen des ganzen 7akuummessers. Die Bedienungsknöpfe des Umschalters 22, 23 und des Hauptschalters 24 ragen von dem Gehäuse 6 nach außen· V0 11 dem zweckmäßig als Dreh-Potentiometer ausgebildeten Regelwiderstand R« ist nach außen nur die geschlitzte Achse 25 zugänglich, um mittels Schraubenzieher eingestellt zu werden»
Schutzansprüche -

Claims (6)

— 6 — S c_hu t^z^ajija pr r ü c he i
1. Vakuummesser nach Pirani, dadurch gekennzeichnet, daß die an den zu messenden Unterdruckraum anschließbare, den temperaturempfindlichen V/iderstatid enthaltende Meßkaauaer, die diesen Widerstand speisende Spannungsquelle und das elektrische Anzeigeinstrument sowie gegebenenfalls Vergleichs- und Sichwiderstände in einem Gehäuse vereinigt sind.
2· Vakuummesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß verschiedenartig ausgebildete, den anzuschließenden Unterdruckräumen angepaßte Anschlußstutzen leicht auswechselbar mit dem Gehäuse verbunden sind.
3. Vakuummesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Anschlußstutzen für den zu messenden Unterdruckraum und der den temperaturempfindlichen Widerstand enthaltenden Meßkammer ein feuchtigkeitabsorbierendes, beispielsweise Phosphorpentoxyd enthaltendes Filter geschaltet ist,
4· Vakuummesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei temperatur empfindliche Widerstände in der iueßkaamer vorgesehen sind, die in entgegengesetzten Zweigen einer Brückenschaltung liegen.
5. Vakuummesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das verwendete Meßinstrument drehbar im Gerätegehäuse angebracht ist, um die Ablesbarkeit bei beliebiger Gerätelage zu erleichtern.
6. Vakuummesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Anzeige des Vakuums wie zur Kontrolle des Betriebsstromes nur ein Instrument benutzt wird, das von den temperaturempfind— liehen Widerständen in der Brücke auf Festwiderstände umgeschaltet werden kann, so daß der Instrumentenausschlag nun ein Maß für den Betriebsstrom darstellt»
7· Vakuummesser nach Anspruch 1 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Meßinstrument mit einem feststehenden Zeiger ausgerüstet ist, dessen Stellung dem für die Messung notwendigen Betriebsstrom entspricht, der aber in gewissen Grenzen von
außen her nachstellbar ist, um Alterungserscheinungen der
teoiperaturempfindlichen widerstände auszugleichen*
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3541178A1 (de) * 1985-11-21 1987-05-27 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Messkopf fuer ein vakuummeter
DE19617238A1 (de) * 1996-04-30 1997-11-06 Leybold Vakuum Gmbh Schaltung zur Temperaturkompensation eines Wärmeleitungsvakuummeters
DE19903010A1 (de) * 1999-01-26 2000-08-17 Heinz Ploechinger Pirani-Druckmeßanordnung und Kombinationssensor mit einer solchen Pirani-Druckmeßanordnung

Cited By (4)

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DE3541178A1 (de) * 1985-11-21 1987-05-27 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Messkopf fuer ein vakuummeter
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DE19903010A1 (de) * 1999-01-26 2000-08-17 Heinz Ploechinger Pirani-Druckmeßanordnung und Kombinationssensor mit einer solchen Pirani-Druckmeßanordnung
DE19903010B4 (de) * 1999-01-26 2004-07-08 Plöchinger, Heinz, Dipl.-Ing. Pirani-Druckmeßanordnung und Kombinationssensor mit einer solchen Pirani-Druckmeßanordnung

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