DE1673475A1

DE1673475A1 - Einrichtung zur Umwandlung eines elektrischen Eingangssignals in ein entsprechendes Ausgangssignal fuer einen Fluessigkeitsdruckpegel

Info

Publication number: DE1673475A1
Application number: DE19671673475
Authority: DE
Inventors: Lloyd Sheldon Gilbert
Original assignee: Fisher Governor Co
Current assignee: Fisher Governor Co
Priority date: 1966-10-20
Filing date: 1967-06-22
Publication date: 1972-03-23
Also published as: SE322989B; FR1514669A; US3456669A; GB1185709A; DE1673475B2

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur Umwandlung eines elektrischen Eingangssignals in ein entsprechendes Ausgangssignal für einen Plüssigkeitsdruckpegel.

Die Möglichkeit, Flussigkeitsdrücke durch elektrische Signale fehlerfrei zu steuern, ist für eine große Anzahl von Systemen wünschenswert. Die typischsten darunter sind Steuersysteme für Raffinieranlagen, Eohrleitungseinricbtungen und chemische Betriebe und hydraulische Steuersysteme für eine Vielzahl von Anwendungsmaglichkeiten. Um diese Möglichkeit zu schaffen, wurden Ventileinrichttmgen konstruiert, die elektrisch betätigte Magnetspulen, Motoren und dgl. verwenden. Obwohl diese Einrichtungen oft höchst günstig hinsichtlich ihres vorgesehenen Zweckes, ihres Raumbedarfs, ihrer Kosten und ihre»

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Aufbaus sind, so sind sie doch nicht in der Lage, eine hohe fehlerfreie Flüssigkeitsdrucksteuerung zu erreichen, und dadurch wurde die häufige Verwendung einer elektrischen Steuerung von Flüssigkeitsdruck eingeschränkt. Die Entwicklung der elektronischen Steuertechniken hat jedoch neuerdings den Bedarf für einfache, fehlerfreie, elektrische Energieumwandler von Signal/Flüssigkeitsdruck erhöht.

^ Die erfindungsgemäße Aufgabe wird gelöst durch eine Kammer mit einem Einlaß- und einen Auslaßkanal, durch eine Quelle für Flüssigkeitsdruck, die mit dem Einlaßkanal verbunden ist, um die Kammer druckfest zu machen, durch ein elektrisch betriebenes piezoelektrisches Ventil, das wenigstens benachbart einer der Kanäle, die den Druck in der Kammer regeln, angeordnet ist, durch Mittel zum Anlegen des elektrischen Eingangssignals an das Ventil, um eine piezoelektrische Ablenkungskraft zu erzielen, die das genannte Ventil veranlaßt, den Druck in der Kammer zu verändern, durch Rückkopplungsmittel, die das Ventil

W mit einer äußeren Kraft beaufschlagen, die von der Höhe des Druckes in der Kammer abhängt, wobei die Kraft entgegen der piezoelektrischen Ablenkungskraft wirkt, und durch Abtastmittel, die mit der Kammer verbunden sind und das Ausgangssignal für den Flüssigkeitsdruckpegel bilden.

Ein weiteres Merkmal der Erfindung ist die Schaffung eines elektrischen Energieumwandlers von Signal/Flüssigkeitsdruck, der ohne weiteres zur Steuerung der Flussigkeitsdruckpegel in Abhängigkeit von einem diskontinuierlichen Eingangssignal, das im allgemeinen am Auslaß eines Komputers oder

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eines synchronisierten Hauptkontrollsignalgenerators erscheint, verwendet werden kann.

Der piezoelektrische Effekt kann in vorteilhafter Weise in einer Yentileinricbtung zum Steuern von Druckpegeln in Abhängigkeit von elektrischen Signalschwankungen angewandt werden. Wenn ein richtig orientierter piezoelektrischer Kristall einem elektrischen Feld ausgesetzt wird, wird der Kristall verformt. Eine Mehrzahl solcher elektrischer Kristallplatten kann in Schichten aufgehäuft werden, um einen elektro-mecha- | nischen Energieumwandler zu bilden, der eine Ablenkung in jede Richtung ermöglicht, da über die Kristalle Spannungen angelegt werden. Wenn solch ein laminierter Aufbau in Auslegern eines benachbarten Durchströmungskanals für Flüssigkeit gehalten ist, kann ein elektrisch gesteuertes 7entil gebildet werden.

Obgleich die innerhalb des laminierten Aufbaue als Ergebnis der angelegten Spannung gebildete innere Ablenkungskraft fast proportional der Größe der angelegten Spannung ist, entspricht die tatsächliche Ablenkung nur grob der Größe ^v des elektrischen Eingangssignals. Dies ergibt sich daraus, daß der laminierte Energieumwandler nur sehr geringe Pederungseigenschaften besitzt. Infolgedessen weist die Beziehung zwischen dem angelegten elektrischen Signal und dem Auslaßdruckpegel im allgemeinen mehrere Fehler auf, die in Nichtlinearität und Hystereseeffekten bestehen.

Dementsprechend ist es ein kennzeichnendes Merkmal der vorliegenden Erfindung, einen piezoelektrischen Elektro/

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Druekpegelumwandler zu schaffen, der auagezeichnete Linearität aufweist.

Ein weiteres Merkmal der Erfindung besteht darin, einen Flüssigkeitsäruckpegel fehlerfrei und schnell in Abhängigkeit von Schwankungen in der Größe eines elektrischen Eingangssignals zu steuern.

Gemäß einem Hauptmerkmal der vorliegenden Erfindung ist eine Einrichtung zur Umwandlung eines elektrischen Eingangs-. signals in einen entsprechenden Flüssigkeitsdruckpegelauslaß vorgesehen. Entsprechend einem Merkmal der Erfindung ist eine mit. einem Einlaß- und einem Auslaßkanal versehene, Flüssigkeit enthaltende Kammer mit einer Quelle für Flüssigkeitsdruck versehen, die mit dem Einlaßkanal verbunden ist, um die Kammer druckfest zu machen. Gemäß einem weiteren Merkmal der Erfindung ist ein elektrisch betätigter piezoelektrischer Energieumwand.ler benachbart zu wenigstens einem dieser Kanäle zur Steuerung des Druckes in der Kammer angeordnet. Es sind Mittel zum Anlegen eines elektrischen Eingangssignals an den piezoelektrischen

Energieumwandler vorgesehen, um eine Ablenkungskraft in dem Energieumwandler zu erreichen, die ihn in eine erste Richtung bewegt, um den Druckpegel in der Kammer zu verändern. Gemäß einem weiteren Merkmal der Erfindung sind Rückkopplungsmittel zum Anlegen einer äußeren Kraft gegen den Energieumwandler vorgesehen, der der Größe des Druckes in der Kammer entspricht, wobei diese äußere Kraft entgegen der inneren, elektrisch erzeugten Ablenkungskraft wirkt. Weiterhin sind Mittel zum Abtasten des Druckpegels innerhalb der Kammer

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vorgesehen, um den Auslaß des flussigkeitsdruckpegels zu bilden.

Mit der vorliegenden Erfindung ist es möglich, den Auslaßdruckpegel in Abhängigkeit von Einlaßsignalschwankungen mit einem "hohen Grad an Genauigkeit zu steuern. Die Erfindung ermöglicht eine Speisung mit diskontinuierlichen, verscblüsselten Impulseingangssignalen von einem Komputer oder dgl. Der Energieumwandler der vorliegenden Erfindung kann dazu dienen, eine "Speicherung" zu bewirken, so daß der Auslaßdruckpegel für eine Zeitdauer auf einem angemessenen Wert zwischen verschiedenen elektrischen Einlaßsignalen gehalten wird. In dieser Weise ist der neuartige Energieumwandler gemäß der vorliegenden Erfindung in der Lage, Informationen aufzunehmen und zu speichern, die in dem Eingangssignal enthalten sind, so daß der Eontrollsignalgenerator mit anderen Elektro/Druckenergieumwandlern synchronisiert werden kann.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen nachfolgend in Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnungen ( näher erläutert werden. \

Es stellen dar:

fig. 1 einen schematischen Querschnitt eines Energieumwandlers, der die Erfindung veranschaulicht und der die Übertragung eines elektrischen Eingangssignals in einen Auslaß für einen flüssigkeitsdruckpegel ermöglicht,

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Pig. 2 einen Bchematischen Querschnitt einer zweiten Ausführungsform der Erfindung,

Pig. 3 einen schematischen Querschnitt einer dritten Ausführungsform der Erfindung,

Pig. 4 eine graphische Darstellung, die aufzeigt, wie diskontinuierliche Einlaßspannungsimpulse zur Steuerung des Auslaßdruckpegels benutzt werden können, der durch die erfindungsgemäßen Energieumwandler gebildet wird und

Pig. 5 eine graphische Darstellung und zeigt, wie die

erfindungsgemäßen Energieumwandler zur Schaffung eines Ausgangsdruckpegels verwandt werden können, der proportional dem Integral einer Polge von Stromeingangsimpulsen ist.

Die in Pig. 1 dargestellte Anordnung wandelt ein an Klemmen 13 und 14 angelegtes elektrisches Signal in einen entsprechenden Iluidumsdruek um, der an einem Ausgang 15 eines Verstärkers 16 für Pluidumsdruck erscheint, Wird ein elektrische« Signal an die Klemmen 13 und 14 angelegt, so erscheint eine Spannung über Platten 1? und 18 eines piezoelektrischen Kristalls in einer Ventilanordnung 20. Die Flächen der Flatten 17 und 18 sind mit einem leitenden PiIm beschichtet, der die Elektroden der Ventilanordnung 20 bildet* Die Klemme 13 ist dtekt mit einem Belag 21 verbunden, der die Platten 17 und 18 trennt, während die Klemme 14 über einen

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Widerstand 19 mit den Belägen auf den äußeren Flächen der beiden Platten 17 und 18 verbunden ist. Die Ventilanordnung 20 selbst ist an eines der Gehäuseteile 23 oder 24 festgeklemmt, die eine innere Kammer 25 bilden. Es sind entsprechende Vorsichtsmaßnahmen getroffen, um die Platten 17 und von dem Gehäuse zu isolieren. Die Kammer 25 ist mit einer Einlaßöffnung 27 für Druck und einer Auslaßöffnung 28 zur Ableitung versehen. Die Auslaßöffnung 28 hat die Form eines Durchlasses durch das Gehäuseteil 23. Der Druck innerhalb der Kammer 25 steht über eine Öffnung 26 im Boden des Gehäuseteils 24 mit der oberen Fläche einer Membran 30 in Verbindung. Die Membran 30 ist mit ihrem Rand zwischen Gehäuseteilen 32 und eingespannt. An die Unterseite der Membran 30 greift ein federbelastetes Kolbenelement 34 an, das durch eine Wendelfeder nach oben gedrückt wird. An das Kolbenelement 34 ist ein Kugelventil 40 mittels eines Ventilstiftee 41 angebracht. Das Kugelventil 40 kann eich auf einen Sitz auflegen, um den Durchfluß von Speisedruck in das Gehäuseteil 33 zu steuern. Die Kammer unterhalb der Membran 30 ist über eine öffnung 42 zur Atmosphäre hin entlüftet.

Ein Druckanstieg innerhalb der Kammer 25 bewirkt, daß die Membran 30 und damit das Kugelventil 40 nach unten gegen die aufwärts gerichtete Kirft der Wendelfeder 35 gedrückt werden. Das Kugelventil 40 legt sich nach seiner Bewegung nach unten auf einen Sitz an der oberen Kante einer Einlaßöffnung 45 für den Speisedruck. Dabei bewegt sich das Kugelventil 40 von einer

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Auslaßöffnung 45A weg. Auf diese Weise wird der Fluidumsfluß durch die öffnungen 45 und 45A in Abhängigkeit von einem Druckanstieg innerhalb der Kammer 25 geändert und somit der fluidumsdruck an einer Auslaßöffnung 46 verringert.

Der Druck innerhalb der Kammer 25 ist allein durch den Eingangsdruckpegel an der Einlaßöffnung 27 und den relativen Abmessungen des durch die Auslaßöffnung 28 gebildeten Durchlasses und dem Strömungsbereich zwischen der Ventilanordnung 20 und dem Auslaßende der eine Düse bildenden Einlaßöffnung bestimmt. Biegt sich die Ventilanordnung 20 von der Einlaßöffnung 27 durch Anlegen einer entsprechenden polarisiert». Spannung an die Platten 17 und 18 von der Einlaßöffnung 27 weg, so wird sich der Druck in der Kammer 25 vergrößern. Der Druckanstieg beaufschlagt die Oberseite der Membran 30 und bewegt den mittleren Teil der Membran nach unten, wodurch der Kolben 34 und das Kugelventil 40 nach unten gedrückt werden, so daß dadurch die Einlaßöffnung 45 verengt und der an der Auslaßöffnung 46 erscheinende Steuerdruck verringert wird. Der Druckabfall kann in günstiger Weise durch Fluidumsdruckverstärker 47 verstärkt werden. Der an der Auslaßöffnung 46 oder dem Verstärker 47 vorhandene Druck gelangt an die Einlaßöffnung 27. Auf diese Weise bildet der sich ändernde Düsendruck an der Einlaßöffnung 27 eine Rückführung über die Ventilanordnung 20, das Kugelventil 40 und den zugehörigen Mechanismus und irgendeinen zusätzlichen Verstärker 47·

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Der Druckpegel an der Einlaßöffnung 27 möge mit P₁ und der Druckpegel innerhalb der Kammer 25 mit P₂ bezeichnet werden. Die Ventilanordnung 20 wird durch eine nach unten gerichtete Kraft 3? beaufschlagt, die gleich dem Produkt des effektiven Düsenquerschnitts A der Einlaßöffnung und dem Druckunterschied (I₁ - I₂) ^ist» ^d* ^b#:

Wegen der negativen Druckverstärkung -G, die durch den von dem Kolben 34 und dem Verstärker 47 betätigten Kugelventilmechanismus bewirkt wird, führt eine kleine Änderung ΑΣ,ο &^eB Druckes innerhalb der Kammer 25 zu einer wesentlich größeren Änderung AI₁ äes Druckes an der Einlaßöffnung 27. Da somit die piezoelektrische Ablenkkraft die Ventilanordnung 20 nach unten drückt, wird diese elektrisch hervorgerufene Kraft durch eine Verringerung AZ in eier nach unten gerichteten Kraft ausgeglichen, die durch die Druckdifferenz hervorgerufen wird, die zwischen der Einlaßöffnung 27 und der Kammer 25 herrscht. Diese Verringerung kann statisch folgendermaßen ausgedrückt werden:

ΔΙ ^β

Da darüber hinaus P₁ = -G P₂ ist, kann die obige Gleichung wie folgt geschrieben werden:

Al = -A(G+ ₂

Infolgedessen bewirkt eine geringe ÄnderungA£₂ ^des innerhalb der Kammer 25 einen beträchtlichen AbfallA£

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von außen anliegenden, nach unten gegen die Ventilanordnung 20 gerichteten Druckes. Wird die Verstärkung G ausreichend groß gemacht, so bewirkt das Anlegen einer Spannung an die Ventilanordnung 20 eine sehr geringe Änderung des Druckes Ρ« in der Kammer 25, und die Ventilanordnung 20 erfährt eine vernachlässigbare Auslenkung, obwohl der Druckpegel P^ eine beträchtliche Änderung erfährt. Die Rückführungseinrichtung gemäß Pig. 1 gleicht somit die elektrisch hervorgerufene Kraft in der piezoelektrischen Ventilanordnung 20 gegen eine von außen angelegte Rückführungskraft aus, die im wesentlichen genau ^P₁ entspricht. Die Folge davon ist, daß Ungenauigkeiten, die sich andernfalls wegen der schlechten Fed er eigenschaft en der Ventilanordnung 20 ergeben wurden, kompensiert und im wesentlichen aufgewogen werden durch die viel größere, elektrisch hervorgerufene Kraft und die Gegenwirkung der von außen angelegten Rückführungekraft.

Von besonderer Sedeutung ist, daß weder die Größe der negativen Verstärkung -G noch die anfängliche lage der Ventilanordnung 20 kritisch sind. Solange eine ausreichende Verstärkung verwendet wird, nimmt die Ventilanordnung 20 selbsttätig die passende Lage in bezug zu der von der Einlaßöffnung 27 dargestellten Düse ein, und danach wird sie nur in vernachlässigbarem Maße abgelenkt.

Die Rückführungskraft, die das piezoelektrische Ventil beaufschlagt, kann-in mechanischer Weise durch die in Pig. dargestellte Ausführungsform der Erfindung zugeführt werden. Bei dieser Ausführungsform ist ein piezoelektrisches Ventil

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hebelartig in einer Kammer 52 befestigt, die durch das Innere eines Gehäuses 55 gebildet ist. Die Kammer 52 ist über eine Einlaßöffnug 57 unter Druck gesetzt, die mit einer passenden Speisedruckquelle verbunden ist. Durch das Gehäuse 55 verläuft eine Entlüftungsöffnung 58, die die Kammer 52 mit der Umgebung verbindet. Durch das Gehäuse 55 führt außerdem eine Auslaßöffnung 59, die direkt mit dem Eingang eines Fluidumsdruekverstärkers 60 verbunden ist. Die Auslaßöffnung 59 leitet den Druck innerhalb der Kammer 52 an den Eingang des !"iuidumsdruckverstärkers 60. Entweder der an einem Ausgang 62 des Fluidumsdruckverstärkers 60 liegende verstärkte Druck oder der Ausgangsdruck der Auslaßöffnung 59 wird direkt einem Pluidumsdruckverstärker 64 zugeführt und beaufschlagt über eine Öffnung 63 die Unterseite einer Membran 66, deren Rand zwischen dem Gehäuse 55 und einem Gehäuseteil 67 eingespannt oder in anderer Weise daran befestigt ist, das eine Kammer unterhalb der Membran 66 bildet. Wird die Membran 66 nach oben gedrückt, so schiebt sie einen Kolben 69 und eine Schub- j stange 70 nach oben. Die Schubstange 70 verläuft durch eine zweite kleinere Membran 72, die einen Teil der Wandung der Kammer 52 bildet.

Wie im vorherigen Fall wird ein elektrisches Eingangssignal an Klemmen 75 und 76 angelegt, das eine innere, elektrisch erzeugte Ablenkkraft in dem Ventil 50 erzeugt. Biegt sich das Ventil 50 von der Einlaßöffnung 57 weg, so erhöht sich der Druck in der Kammer 52. Der Druckanstieg wird

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durch einen oder mehrere Pluidumsdruckverstärker 60 verstärkt und gegen die Unterseite der Membran 66 geführt oder direkt zu der Membran zurückgeführt, wodurch die Schubstange gegen das Ventil 50 gedrückt und somit der ursprünglichen Auslenkung entgegengewirkt wird. Wie bereits in Verbindung mit der Pig. I besprochen, verhindert die von außen angelegte, gegen das Ventil 50 gerichtete Rückführungskraft eine merkliche Auslenkung des Ventils, wenn dieses mit einem elektrischen Speisesignal beaufschlagt wird. Wie bei der vorherigen Ausführungsform werden die unerwünschten Wirkungen der unvollkommenen Federeigenschaften des Ventils 50 entsprechend verringert.

Wie aus der in Pig. 3 dargestellten Ausführungsform zu entnehmen ist, kann der erfindungsgemäße neuartige Rückführungseffekt auch ohne Verwendung zwischengeschalteter Pluidumsverstärker ersielt werden. Die Anordnung gemäß Pig. 3 stellt im wesentlichen ein Entlüftungsventil dar, bei dem ein piezoelektrisches Ventil 80 gegenüber einer Auslaßöffnung 83 angeordnet ist, die mit einer Kammer 85 mit gesteuertem !Druck in Verbindung ßteht. Die Kammer 85 wird über eine verengte Einlaßöffnung 86 unter Druck gesetzt. Der Druckpegel innerhalb der Kammer 85 wiri durch einen Ausgangsfluidumsverstärker 90 abgenommen, der an eine Abtastöffnung 91 angeschlossen ist. Normalerweise drückt der Druck in der Kammer 85, der größer als der Umgebungsdruck ist, das Ventil 80 nach oben. Wird ein elektrisches Eingangssignal an Eingangsklemmen 92 und 93 angelegt, die mit dem Ventil 80 verbunden sind, so biegt sich

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das Ventil je nach der Polarität der angelegten Spannung zu der Auslaßöffnung 83 hin oder davon weg. Drückt die elektrisch erzeugte Deformation der Kristalle innerhalb des Ventils 80 das Ende des Ventils 80 in Richtung auf die Auslaßöffnung 83, so steigt der Druck innerhalb derKammer 85 an. Infolgedessen vergrößert der nach oben gerichtete Druck, der von der Druckdifferenz zwischen der Kammer 85 und dem Außendruck hervorgerufen wird, die nach oben gerichtete Kraft gegen das Ventil 80 und wirkt somit der elektrisch hervorgerufenen Kraft entgegen. Wie die Ausfiihrungsformen gemäß den Pig. 1 und 2 der Zeichnung weist somit auch die Anordnung gemäß Pig. 3 eine Rückführung auf, um das Ventil mit einer äußeren Kraft zu beaufschlagen, die von der Größe des Druckes innerhalb der Kammer 85 abhängt, und diese von außen beaufschlagende Kraft wirkt gegen die elektrisch erzeugte Kraft.

Die Größe der elektrisch hervorgerufenen Kraft bei jeder der Ausführungsformen gemäß den Fig. 1 bis 3 ist direkt proportional der über den Platten des piezoelektrischen ^ Ventils angelegten Spannung. Das Ventil jeder dieser Ausführungsformen besteht aus wenigstens einem Paar von piezoelektrischen Schichten und verhält sich elektrisch im Ruhezustand wie eine einfache Kapazität. Diese effektive Kapazität ist durch einen gestrichelt dargestellten Kondensator 100 in lig. 1 verdeutlicht. Wird das Ventil durch eine unterbrochene, geschaltete Spannungsquelle gespeist, so bewirkt die über dem piezoelektrischen kristallinen Material gespeicherte Ladung, daß das

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Yentil in seiner Lage gehalten wird, auch wenn die angelegte Spannung durch Öffnen des Schalters verschwindet. Somit können, wie in lig. 4 dargestellt, Spannungsimpulse von einer Wechselspannungsquelle dazu verwendet werden, um den durch die Erfindung angegebenen Wandler in solcher Weise zu betätigen, daß der Wandler eine wirksame Speicherwirkung hat· Das heißt, daß, nachdem einmal ein Druckpegel hergestellt ist, dieser Druckpegel aufrechterhalten wird, selbst wenn die Speisespannung verschwindet. Der in I?ig. 4 dargestellte Verlauf des elektrischen Impulses erzeugt somit einen Verlauf eines Ausgangedruckes, der durch eine gestrichelte Linie angegeben ist. Der tatsächliche Verlauf der Spannung über den Ventilplatten ist natürlich zu jeder Zeit dem Druckpegel proportional.

Da sich das Ventil wie eine elektrische Kapazität verhält, kann der Wandler ebenfalls durch Stromimpulse betrieben werden, derart, daß der Verlauf des Ausgangsdruckes proportional dem Integral des Verlaufs des angelegten Stromes ist, wie das in Pig. 5 dargestellt ist. Ganz gleich, welche Ströme in den Wandler fließen, immer wird die über den Ventilplatten gespeicherte Ladung stufenweise erhöht, was zu einem Anstieg des Ausgangsdruckes führt, Negativ gerichtete Stromimpulse verringern die gespeicherte Ladung und senken somit entsprechend den Ausgangsdruckpegel ab. Diese beiden Wirkungen sind in Fig. 5 verdeutlicht.

SL/Sch 2 0 9 8 13/0351 - Patentansprüche -

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Claims

Patentaneprüohe

1. Einrichtung zur Umwandlung eines elektrischen. EingangsSignaIs in ein entsprechendes Ausgangssignal für ei^ea iPlüBSigkeitsdruckpegel, gekennzeichnet durch eine Eammei· nsi-fe einem Einlaß- und einem Auslaßkanal, durch eine Quelle für flüssigkeitsdruck, die mit dem Einlaßkanal verbunden ißt* um die Kammer druckfest zu machen, durch ein elektrisch betriebene piezoelektrisches Ventil, das wenigstens benachbart einer der Kanäle, die den Druck in der Kammer regeln, angeordnet ist, durob Mittel zum Anlegen des elektrischen EingangsSignaIs an das Ventil, um eine piezoelektrische Ablenkungskraft zu erzielen, die das genannte Ventil veranlaßt, den Druck in der Kammer zu verändern, durch Rückkopplungsmittel, die das ¥_entil mit einer äußeren Kraft beaufschlagen, die von der Höhe des Druckes in der Kammer abhängt, wobei die Kraft entgegen der piezoelektrischen Ablenkungskraft wirkt, und durch Abtastmittel, die mit der Kammer verbunden ( sind und das Ausgangssignal für den Flüssigkeitedruckpegel bilden.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Ventil wenigstens ein piezoelektrisches Kristall enthält sowie Mittel, die den Kristall in Abhängigkeit von dem elektrischen Eingangssignal einem elektrischen Feld aussetzen.

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3. Einrichtung nacb Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Rückkopplungsraittel Mittel enthalten, die die Veränderungen in der Höhe des Druckes in der Kammer abtasten, Mittel zur Erzeugung eines Steuerdruckes, und Mittel, die auf den Steuer-r druck ansprechen und die Höhe der äußeren Kraft variieren.

4. Einrichtung nacb Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, daß das Ventil benachbart zu der Einlaßöffnung angeordnet ist und daß die Mittel, die auf den Steuerdruck ansprechen, den Druck an der Einlaßöffnung variieren.

5.. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Erzeugung eines Steuerdruckes ein dehnbares Element enthalten, Mittel, die eine Seite des dehnbaren Elements mit dem Steuerdruck beaufschlagen und Mittel, die mit dem dehnbaren Element verbunden sind und das Ventil mit dem Rückkopplungsdruck beaufschlagen.

6. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einlaßöffnung einen verengten Durchlaß aufweist, und daß das Ventil außerhalb der Kammer angeordnet ist benachbart zu dem Auslaß, und den Flüssigkeitsstrom von der Auslaßöffnung her steuert.

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