DE1639597A1 - Stromversorgung fuer eine Glimmentladungs-Vakuumpumpe - Google Patents
Stromversorgung fuer eine Glimmentladungs-VakuumpumpeInfo
- Publication number
- DE1639597A1 DE1639597A1 DE1968V0035409 DEV0035409A DE1639597A1 DE 1639597 A1 DE1639597 A1 DE 1639597A1 DE 1968V0035409 DE1968V0035409 DE 1968V0035409 DE V0035409 A DEV0035409 A DE V0035409A DE 1639597 A1 DE1639597 A1 DE 1639597A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- rectifier
- bridge
- capacitors
- vacuum pump
- glow discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
- H02M7/00—Conversion of ac power input into dc power output; Conversion of dc power input into ac power output
- H02M7/02—Conversion of ac power input into dc power output without possibility of reversal
- H02M7/04—Conversion of ac power input into dc power output without possibility of reversal by static converters
- H02M7/06—Conversion of ac power input into dc power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes without control electrode or semiconductor devices without control electrode
- H02M7/10—Conversion of ac power input into dc power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes without control electrode or semiconductor devices without control electrode arranged for operation in series, e.g. for multiplication of voltage
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
- H01J41/12—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps
- H01J41/18—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps with ionisation by means of cold cathodes
- H01J41/20—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps with ionisation by means of cold cathodes using gettering substances
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Dc-Dc Converters (AREA)
Description
> ι. PATENTANWÄLTE
DR. CLAUS REINLÄNDER
DIPL-ING. KLAUS BERNHARDT y-, pi5?
D-8 MÖNCHEN 23 -
MAINZER 6TRASSE 5
MAINZER 6TRASSE 5
VARIAJJ ASSOCIATES
PaIo Alto / California V. St. v. Amerika
PaIo Alto / California V. St. v. Amerika
Stromversorgung für eine Glimmentladungs- Vakuumpumpe
Priorität: 6. März 1967 Vereinigte Staaten von Amerika US-Ser. No. 620 824
Ea wird eine Stromversorgung für Glimmentladungs- Vakuumpumpen
beschrieben, die mit einem Spannungsverdoppler - Zweiweg - Brükken
- Gleichrichter arbeitet, der von einem "weichen" (stromabhängigen) Transformator gespeist wird. Diese Stromversorgung ist
besonders geeignet, eine Mehrzellen - Getter - Ionen - Vakuum- λ
pumpe zu speisen. Bei diesem Pumpentyp wird eine Vielzahl von getrennten, magnetisch eingeschnürten Glimmentladungssäulen nach
Penning verwendet, die dazu dienen, das Gas zu ionisieren und die Ionen in ein Gettermaterial zu treiben, um das Gettermaterjal zu
versprühen und die Ionen einzubetten, dae heißt also durch Gettern
und Einbetten zu pumpen. Glimmentladungepumpen im allgemeinen, und Penning - Pumpen im besonderen stellen für die Stromversorgung
eine Belastung dar, die gekennzeichnet ist durch einen Bereioh niedriger Impedanz mit hohem Strom bei hohen Druoken, von beispielsweise
10 "5Torr , und einen Bereioh hoher Impedanz mit niedrigem
Strom bei niedrigen Druoken von beispielsweise 10 Torr.
1098U/0570
Der "weiche." Transformator zusammen mit dem Brückengleichrichter
liefert einen kontrollierten begrenzten hohen Strom bei hohen Drucken an die Pumpe, und der Spannnungsverdoppler liefert einen
hochgespannten niedrigen Strom im Bereich niedrigen Druckes an die Pumpe. Der Spannungsverdoppler der Stromversorgung wird
durch zwei Kondensatoren gebildet, die in Reihe in einen Zweig parallel zu den Ausgangsklemmen des Brückengleichrichters geschaltet
sind. Die Reihenkondensatoren sind in der Mitte angezapft und diese Anzapfung ist mit einer Eingangsklemme der Brücke
verbunden, so daß auf einer Seite der Brücke, wenn diese als durch die Ausgangsklemme unterteilt betrachtet wird, jeweils ein Kondensator
parallel zu einer der Brückenibden liegt.
Pur Getter - Ionen - Vakuumpumpen sind verschiedene Stromversorgungen
bekannt. In letzter Zeit wurden überwiegend zwei Arten von Stromversorgungen verwendet. Bei der ersten Art wurde ein
"harter" Transformator in Verbindung mit einem brückenfreien Zweiweggleichrichter und einer kapazitiven Spannungsverdopplersohaltung
verwendet. Der Ausgangsstrom dieser Stromversorgung ist durch die kapazitive Reaktanz der Spannungsverdoppler - Kondensatoren
begrenzt, die mit der Sekundärwicklung des Transformators in Reihe liegen. Für Hoohleiatungs - Hoohstrom - Pumpen wurde der
Strombegrenzungekondensator viel zu groß und teuer.
Bei einer zweiten Art Stromversorgung wurde ein Zweiweg - BrüokengLaiohriohter
und "weioher" Transformator verwendet. Der Strom
1098U/0570
wurde durch den "weichen" Transformator begrenzt. In diesem Zusammenhang
soll unter "weich" verstanden werden, daß die Sekundärwicklung des Transformators längere Zeit kurz geschlossen werden
kann, ohne daß der Transformator Schaden leidet. "Weiche" Transformatoren können als auch Transformatoren mit hoher Reaktanz
oder strom"begrenzende Transformatoren bezeichnet werden. Solche
"weichen" Transformatoren arbeiten üblicherweise mit einem ^ magnetischen Nebenschluß um die Sekundärwicklung, so daß, wenn
die Reaktanz sich in der Sekundärwicklung aufbaut, ein größerer Teil des Magnetfeldes der Primärwicklung um die Sekundärw icklung
herumgeleitet wird. Ein Brückengleichrichter in Verbindung mit einem "weichen" Transformator könnte zwar einen ausreichenden
Kurzschlußstrom für den Hochdruckbereich des Transformators liefern, ein solcher Transformator wurde jedoch außerordentlich aufwendig,
wenn sowohl der hohe KurζSchlußstrom als auch die hohe *
Leerlaufspannung für den Niederdruckbereich geliefert werden soll- Λ
te. Bei Betrieb mit üblichen Netzspannungen von 220 - 240 V kam der Netzstrom auch in die Nähe von 30 A. Jede Steigerung der Ausgangsleistung
zur Erzielung eines besseren Startverhaltens der Pumpe würde eine größere Netzbelastung als 30 A mit sich bringen,
und dann müssen die Bauteile, wie Stecker und Steckdosen, verstärkt werden und als nächste übliche Größe kommt ein Nennstromstärke
von 50 A in Präge j hierfür geeignete Bauteile sind jedoch
wesentlich größer und teurer.
Diese Erfindung soll deshalb eine bessere Stromversorgung für Glimmentladungs - Vakuumpumpen verfügbar gemacht werden.
109814/0570
Erfindungsgemäß wird in einem Brückengleichrichter eine Spannungsverdopplerschaltung
verwendet, und diese Brückenschaltung mit einem "weichen" Transformator gespeist, so daß die Stromversorgung
im Hochdruckbereich mit der Pumpe als strombegrenzter Zweiweg - Brückengleichrichter arbeitet und als üblicher Zweiweggleichrichter
und Verdoppler im Niederdruckbereich arbeitet.
Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung enthält die Spannungsverdopplerschaltung
KondÄatoren, die über den Ausgangsklemmen der Stromversorgung liegen und parallel zu zwei Diodenarmen der
Brücken, so daß die dazu parallel liegenden Diodenarme der Brücke in einen nicht leitenden Zustand vorgespannt werden, wenn die
Impedanz der Vakuumpumpe oberhalb eines gewissen Wertes liegt, wodurch der Übergang in den Niederdruck - Arbeitsbereich angezeigt
wird.
Vorzugsweise werden gemäß einer Weiterbildung der Erfindung die
Kondensatoren so ausgewählt, daß ihre Kapazitätswerte ausreichend hoch sind, um die Spitzenausgangeleistung der Stromversorgung,
wie sie an die Pumpe geliefert wird, zum hochdruckseitigen Ende des'Hochdruckbereiches zu verschieben, so daß über den größten
Teil des Betriebsbereiches der Pumpe ein stabiler Betrieb erreicht wird.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der
folgenden Beschreibung in Verbindung mit der Zeichnung? es zeigen:
1098U/0S70
Pig. 1 schematise*! eine bekannte Glimmentladungs - Vakuumpumpe
mit zugehöriger Stromversorgung;
Fig. 2 schematisch eine andere Schaltung als die gemäß Fig. 1;
Fig. 3 schematisch eine Stromversorgung nach der Erfindung für Glimmentladungs- Vakuumpumpe;
Fig. 4 das Ersatzschaltbild der Schaltung nach Fig. 3 für den Hochdruck-Arbeitsbereich;
Fig. 5 Das Ersatzschaltbild für die Schaltung nach Fig. 3 für den |
Niederdruck - Arbeitsbereich der Pumpe; und
Fig. 6 die Abhängigkeit der Spannung, des Stromes und der Leistung
in Prozent der Maximalwerte in Abhängigkeit vom Betriebsdruck der Pumpe.
In Fig« 1 ist eine bekannte Glimmentladungs - Vakuumpumpe 1 und
die zugehörige Stromversorgung 2 dargestellt. Die Glimmentladungs-Vakuumpumpe 1 besteht aus einem nicht dargestellten Gefäß, das
eine Vielzellenanode 3 enthält, die zwischen zwei Kathodenplatten 4 angeordnet 1st. Die Katfaodenplattan bestehen aus einem Gettermaterial,
beispielsweise Tltan» und die Anode 3 wird mit einer
nicht dargestellten Xaolatoranordnung im Abstand von den Platten 4 gehaltert. Ein Magnet 5 ist außerhalb des Vakuumgefäßa angeordnet
und liefert ein Magnetfeld von beispielsweise 1000 Gaua durch die Anode 3, das axial zu ü.m mit offenen Ende versehenen
Anodenzellen liegt«
Die Stromversorgung 2 liefert eine maximale positive Spannung
Ton beispielsweise 7,5 kV an dl· Anode 3 gegenüber ei en Kathodenplatten 4, wenn unter 10*^ for* gearbeitet wirä. Wenn der Gas-
druck innerhalb der Pumpe 1 durch eine nicht dargestellte andere Vakuumpumpe auf etwa 10 Torr abgesenkt worden ist, sorgt die
angelegte Spannung dafür, daß eine Glimmentladung eingeleitet wird. Die Spannung zwischen der Anode 3 und der Kathode 4 liegt
dann bei etwa 400 V, und der Strom wird durch die Stromversorgung 2 begrenzt. Diese Glimmentladung wird als Penning - Entladung bezeichnet
und sorgt dafür, daß das Gas ionisiert wird und die positiven Ionen in die Kathodenplatten 4 getrieben werden, um das
Gettermaterial zu versprühen und die Ionen in den Kathodenplatten 4 einzubetten. Das versprühte Material wird auf den Oberflächen
innerhalb der Pumpe gesammelt und dient dazu, damit in Berührung kommende Gase zu gettern, so daß diese abgepumpt werden. Bei
Drucken unterhalb etwa 3 x 10 Torr ist die Glimmentladung durch eins Vielzahl von G-limmentladungs säulen gekennzeichnet, von denen
je eine ko-axial zu den Anodenzellen liegt und auf diese eingeschnürt
ist."
Die Stromversorgung 2 besteht aus einem steifen Transformator ό
mit einer Primärwicklung 7» die gewöhnlich an Netzspannung von 120 V und 60 Hz angeschaltet wird. Der Transformator kann jedoch
auoh für eine Stromquelle von 600 V oder weniger und 25 - 400 Hz auegelegt werden,. Die Sekundärwicklung 8 des Transformators liegt
über dem Eingangs einer Zweiweg - Sparmungsverdoppelungs - Gleichriohterachaltung
9«
Die Spannungsverdoppltr - Gleichrichteraoh.aUung 9 weist zwei
Eingangeklemmen 11 und 12 und zwei Ausgangsklemmen 13 und 14 auf.
iiO sind zwei Gleiohriohterarae 15 und 16 vorgesehen« Hin Arm 15
109814/0570 bad owgjnal
liegt zwischen einer Eingangsklemme 11 und einer Ausgangsklemme
13, und der andere Arm 16 liegt zwischen einer Eingangsklemme 11 und· der anderen Ausgangsklemme 14. Zwei Kondensatoren 17 und 18
liegen in Reihe über den Ausgangsklemmen 13 und 14. Die Relhenverbindung der Kondensatoren 17 und 18 ist in der Mitte angezapft,
um die zweite Eingangsklemme 12 des Gleichrichters 9 zu bilden.
Die Glimmentladung in der Pumpe 1 ist durch zwei Betriebsbereiche gekennzeichnet. Einer dieser Bereiche ist ein Hochdruck - Pump-
und Anlaufbereich, in dem die Entladung durch eine extrem kleine
Impedanz gekennzeichnet ist. In diesem Bereich muß also der Strom begrenzt werden, um, im ungünstigsten Falle, ein Aufbrennen der
Pumpe zu verhindern, oder wenigstens eine Überhitzung der Pumpe, bei der ihre Elemente ausgasen würden, wodurch schlechte und unstabile
Starteigenschaften hervorgerufen würden. Bei der Schaltung nach Pig. 1 ist der -im Hochdruckbereich gelieferte Strom durch den
kapazitiven Blindwiderstand der Kondensatoren 17 und 18 begrenzt, ™
weil jeder pulsierende Ausgangs- Gleichstrom durch die Kondensatoren 17 und 18 fließen muß. Diese Kondensatoren werden außerordentlich
aufwendig, wenn relativ große Anlaufströme von beispielsweise 1 A für große Pumpen 1 benötigt werden.
Der andere Betriebsbereich der Pumpe 1 ist der Niederdruckbereich,
in dem 4er -Druck unterhalb von 10 Torr liegt. In dieeem Bereich
wächst die Impedanz der Pumpe auf einen sehr hohen Wert bei weni-
1098U/057D
Ί639597
ger als 10 Torr. Die Schaltung nach Fig. 1 liefert die Hochspannung
von beispielsweise 7,5 kV bei einigen Milli-Ampere oder weniger zum Betrieb im Niederdruckbereich.
In Fig. 2 ist eine andere bekannte Stromversorgung 21 für Glimmentladungspumpen
1 dargestellt. In diesem Falle ist der Transformator 22 ein "weicher" Transformator, dessen Sekundärwicklung 8 längere
Zeit kurz geschlossen werden kann, ohne daß der Transformator 22 Schaden' leidet. An die Primärwicklung 1 wird eine Netzspannung von
220 - 240 V gelegt. Der Transformator 22 enthält eine geschlossenes magnetisches Joch 23 , wobei die Primär- und Sekundärwicklungen 7
bzw. 8 auf einen magnetischen Kern 24 des .Jochs 23 gewickelt sind,
zwei magnetische Nebenschlüsse 25 liegen zwischen dem Kern 24 und dem Joch 23 an einem Punkt, der den Kern 24 zwischen den Windungen 7 und
8 schneidet. Wenn der von der Sekundärwicklung gezogenen Strom steigt, wächst auf diese Weise die Kernflußdichte, so daß ein größerer Prozentsatz
des Flusses durch die Nebenschlüsse 25 zum Joch 23 abgeleitet werden. Die Nebenschlüsse 25 sind so eingestellt und bemessen,
daß, wenn die Sekundärwicklung kurz geschlossen ist, der KurBschlußstrom
einen Wert annimmt, den der Transformator für längere Zeitspannen ohne Schaden liefern kann. In einem typischen Ausführungsbeispiel wird der Sekundär - KurzSchlußstrom auf 1,33 Ampere effektiv
eingestellt. Der Effektivwert des Sekundär - Kurzschlußstroms let das 1,1t- fache des Gleichstrom - Kurschluß Ausgangsetroms.
Die Ausgangsspannung von 5300 V effektiv der Sekundärwicklung 8
liegt über den Eingangsklemmen 11 und 12 eines üblichen vierarmigen
Zweiweg - Brückengleichrichtere 26 mit Ausgangsklemmen 13 und 14
_νν=:-?:3ίίΐθ S** 109814/0570
und Gleichrichterarme 15, 16, 27 und 28. Die Ausgangsklemmen·13
und 14 sind mit der Vakuumpumpe 1 wie im Falle der Fig. 1 verbunden.
Ein Problem bei dieser bekannten Stromversorgung nach Mg. 2 liegt darin, daß keine Spannungsverdopplung vorhanden ist. Damit die
Stromversorgung im Niederdruckbereich 7,5 kV Gleichspannung liefern
kann und der relativ hohe Kursschlußstrom von beispielsweise 1,2 A Gleichstrom im Hochdruckbereich geliefert werden kann, wird
der Transformator relativ groß und aufwendig.
In Fig. 3 ist eine Stromversorgung 31 nach der Erfindung dargestellt.
Bei der dargestellten Ausführungsform ist die Schaltung 32 grundsätzlich die gleiche wie die nach Fig. 2, nur daß die
Spannungsverdoppler- Kondensatorschaltung der Schaltung nach Fig.1
hinzugefügt worden ist. Genauer gesagt, sind zwei Kondensatoren
17 und 18 in Reihe Über die Ausgangsklemmen 13 und 14 des Brückengleichrichtere
32 geschaltet. Die in Reihe geschalteten Kondensatoren 17 und 18 sind in der Mitte angezapft und mit der Eingangeklemme
12 verbunden, so daß einer der Kondensatoren 17 oder
18 parallel zu jeweils einem der Gleichrichterarme 27 bzw. 28 liegt.
Die Werte der Kondensatoren 17 und 18 eind so ausgewählt, daß im
Kiederdruckbereich bei kleinem Strombedarf eine ausreichende Zeitkonetante
vorbanden ist» 00 daß die La·timpedanz die Dioden in
d*n parallel liegenden Annen 27 und ZB In den nicht leitenden Zu-•tftnd vorspannt« Xn einen solchen Falle »arbeitet die 00haltung 32
! 0081U10 570 SAD
- ίο -
im Niederdruckbereich wie die Spannungsverdopplerschaltung nach
Pig. 1, wie das in Fig. 5 veranschaulicht ist. Wenn auf der anderen Seite die Pumpe im Hochdruckbereich mit hohem Strom arbeitet,
haben die Kondensatoren 17 und 18 zusammen mit der niedrigen Impedanz der Glimmentladungs- TBcuumpumpe eine solch kleine Zeitkonatante,
daß die parallel liegenden Dioden voll leiten! sind und
die Schaltung wie ein Zweiweg - Brückengleichrichter nach Fig. 2 · arbeiten, wie das in Fig. 4 veranschaulicht ist.
Es ist sehr wichtig, daß die Brücken - Verdopplerschaltung gemäß Fig. 3 den gleichen Kurzschluß- Gleichstrom und die gleiche Leerlaufspannung
haben kann wie die Brückenschaltung nach Fig. 2, jedoch mit einer Sekundärepannung von 2650 V effektiv, was nur die
Hälfte der Sekundärspannung des Transformators nach Fig. 2 ist. Wenn also die Sekundärwicklungen der Transformatoren nach Fig. 2
oder 3 gleiohen Kurzschlußstrom liefern müssen, muß der VoIt-Ampore
Wert des Transformators nach Fig. 2 doppelt so groß sein wie
der des Transformators nach Fig. 3. Bei einer Primärspannung von 240 V beträgt der Netzstrom des Transformators gemäß Fig. 2 etwa
30 A, bei der Schaltungsanordnung nach Fig. 3 ist der primärseitig
gezogene Netzstrom jedoch nur 15 A, wenn die Sekundärwicklungen kurz geschlossen sind. Sie Kapazität der Kondensatoren 17 und 18
kann so eingestellt werden, daß sich ein« Abhängigkeit der Ausgangs-GHeichapannung
rom Strom der Sοhaltung 31 nach Fig. 3 ergibt, die
sehr gut der gleichartigen Kurve der Schaltung 21 nach lig. 2 folgt.
Sine Herabsetzung des Netzetroms um «inen Faktor 2 bedeutet eine
1098U/0570
erhebliche wirtschaftliche Einsparung. Statt dessen kann der Ausgangs-
Gleichstrom der Schaltung 31 nach Fig. 3 auf den doppelten Wert der Schaltung 21 nach Fig. 2 erhöht werden, um höhere Anlaufgeschwindigkeiten
der Ionenpumpe zu erhalten, ehe der Wert von 30 A für den Netzstrom überschritten wird.
In Fig. 6 sind grafisch die Betriebscharakteristiken einer typischen
Glimmentla dungspumpe mit einer Stromversorgung nach Fig. 3 ™
dargestellt. In einem typischen Beispiel wird der Kurzschluß-Gleichstrom zu 1,2 A gewählt, damit wird die interne Nebensohlußkonstruktion
des Transformators festgelegt. Die leerlauf - Gleichspannung der Stromversorgung wird zu 7,5 kV gewählt, und dadurch
wird das Windungsverhältnis des Transformators und der Nennwert der
Spitzensperrspannung der Diodengleichrichter für die Brücke 32 festgelegt. Bei einer bevorzugten Ausführungsform enthalten die
Gleichrichterarme 15, 16, 27 und 28 jeweils eine Reihenschaltung von wenigstens 10 Dioden 1000 PRV, damit jede Diode unterhalb ihrer |
Nenn- Spitzensperrspannung arbeiten kann. Die Kondensatoren 17 und 18 werden mit einer Kapazität von 0,1 Mikrofarad und einer Nennspannung
von 10 kV gewählt.
Wie aue der grafischen Darstellung in Fig. 6 ersichtlich ist, fällt
die Auegangsspannung der Stromversorgung 31 mit wachsendem Druck,
während dergelieferte Strom mit wachsendem Druck steigt. Die zur
Pumpe gelieferte Leistung erreicht ihren Maximalwert gut im Hochdruckbereich,
so daß die Pumpe über den größten Teil dee Betriebe -
1098U/0570
ib39597
bereiches auf der linken Seite des Leistungsmaximums arbeitet. Auf diese Weise liefert die Stromversorgung mehr Leistung an die
Pumpe, wenn in dieser ein Gasstoß auftritt, durch den der Druck im Innern der Pumpe momentan ansteigt. Wenn statt dessen das
Maximum der gelieferten Leistung weit im Niederdruckbereich läge und die Pumpe auf der rechten Seite des Leistungsmaximums arbeiten
würde, würde bei einem solchen G-asstoß die Stromversorgung weniger Leistung liefern und dadurch kann die Pumpe unter Umständen
überschwemmt werden.
Wenn auch die Stromversorgung nach Fig. 3 in Verbindung mit einer mehrzelligen Glimmentladungs-Vakuumpumpe nach Penning beschrieben
worden ist, so ist sie doch auch bei anderen Glimmentladungs-Vakuumpumpen
anwendbar, die einen Hochdruck- Betriebsbereich mit niedriger Impedanz und hohem Strom und einen Niederdruckbetriebsbereich
mit hoher Impedanz und niedrigem Strom aufweist.
1098U/0570
Claims (8)
1.)Glimmentladungs- Vakuumpumpe, bestehend aus zwei Pumpenelektroden,
die mit einer elektrischen Spannung beliefert werden, um eine Glimmentladung aufzubauen und durch diese Glimmentladung
ionisierte Gase abzupumpen, und einer Stromversorgung ™ für die beiden Pumpenelektroden, mit der die Glimmentladung
aufrecht erhalten wird und die einen "weichen" Transformator mit einer Primär- und einer Sekundärwicklung aufweist, einen
Zweiweg- Brückengleichrichter, der über die Sekundärwicklung des "weichen" Transformators geschaltet ist, wobei der Ausgang
des Brückengleichrichters dazu dient, die Glimmentladung in der Pumpe aufrecht zu erhalten, dadurch gekennzeichnet, daß eine
Spannungsvervielfacherschaltung in den Brückengleichrichter eingeschaltet
ist, um die Ausgangsspannung des Brüekengleichrichters Λ
im Vergleich zur Eingangespannung zu erhöhen, die dem Brückengleichrichter von der Sekundärwicklung des "weichen" Transformators
zugeführt wird·
2. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, daduroh gekennzeichnet, daß der
"weiche" Transformator einen magnetischen Nebenschluß enthält, der einen Teil des Magnetflusses der Primärwicklung um die Sekundärwicklung
herumleitet.
3. Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, daduroh gekennzeichnet, daß
die Spannungevervielf^jj^ejgoha^tunjg eine Spannungeverdoppler-
Of«QINAt INSPECTEO
schaltung- ist.
4. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Spannungavervielfacher8chaltungzwein Reihe geschaltete
Kondensatoren enthält, die in Reihe über die Ausgangsklemmen des Brückengleichrichters geschaltet sind, und daß einer der Kondensatoren
parallel zu einem G-leichrichterarm der Brücke und der
andere Kondensator parallel zu einem zweiten Gleichrichterarm der Brücke geschaltet ist, so daß die Kondensatoren die Stromleitung
durch diese beiden Gleichrichterarme der Brücke kontrollieren.
5. Vakuumpumpe nach Anspruch 4» dadurch gekennzeinet, daß der Brükkengleichrichter
vier Gleichrichterarme enthält, daß jeder der Gleichrichterarme einen Diodengleichrichter enthält, und daß die
Kapazitäten der beiden Kondensatoren so gewählt sind, daß bei einem Gasdruck in der Pumpe von weniger als 10 J Torr die Diodengleichrichter
in den beiden Armen durch die Spannung über den Kondensatoren in einen nicht leitenden Zustand vorgespannt werden,.
so daß die Brücke bei Pumpendrucken unterhalb von 10 Torr als Spannungsvervielfacher - Gleichrichter arbeitet.
6. Vakuumpumpe nach Anspruch 4 oder 5» dadurch gekennzeichnet, daß
der Brüokengleiohrichter vier Gleichrichterarme enthält, von denen
jeder einen Diodengleiohriohter enthält, und daß die Kapazitäten
der Kondensatoren so gewählt sind, daß bei Betriebsdrücken
in der Pumpe oberhalb von 10"* Torr die Spannungsvervielfaoher-•ohaltung
unwirksam wird, eo dal die Stromversorgung die Aus-
1098U/0570
- /ε
gangskennlinie eines Zweiweg- Brückengleichriehters ohne Spannungsvervielfacherschaltung
hat.
7· Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1-6, dadurch gekennzeichnet,
daß eine der beiden Pumpenelektroden eine Mehrzellenanode ist, deren Anodenzellen dazu dienen, mehere Glimmentladungssäulen
zu definieren.
8. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 4-7» dadurch gekennzeichnet,
daß die Kapazitätswerte der Kondensatoren im Bereich von 0,01 - 1 Mikrofarad liegen.
1098U/0570
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US620824A US3412310A (en) | 1967-03-06 | 1967-03-06 | Power supply for glow discharge type vacuum pumps employing a voltagedoubler bridge-rectifier and a soft transformer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1639597A1 true DE1639597A1 (de) | 1971-04-01 |
DE1639597B2 DE1639597B2 (de) | 1976-12-30 |
Family
ID=24487552
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1968V0035409 Granted DE1639597B2 (de) | 1967-03-06 | 1968-02-05 | Stromversorgungsschaltung fuer eine getter-ionen-pumpe |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3412310A (de) |
DE (1) | DE1639597B2 (de) |
FR (1) | FR1567244A (de) |
GB (1) | GB1169853A (de) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1168324A (en) * | 1967-03-10 | 1969-10-22 | Edwards High Vacuum Int Ltd | Improvements in or relating to Penning Pump Power Supplies |
GB1394736A (en) * | 1971-05-18 | 1975-05-21 | Hewlett Packard Co | Rectifier bridge circuits |
DE2445031C2 (de) * | 1974-09-20 | 1983-06-16 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Schaltungsanordnung zur Spannungsumwandlung |
US4369489A (en) * | 1981-01-08 | 1983-01-18 | Rca Corporation | Switching dc-to-dc converter supplying uninterrupted output current |
US4629548A (en) * | 1985-04-03 | 1986-12-16 | Varian Associates, Inc. | Planar penning magnetron sputtering device |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2822535A (en) * | 1956-10-01 | 1958-02-04 | Westinghouse Electric Corp | High voltage, direct current, power packs |
US3275922A (en) * | 1962-12-19 | 1966-09-27 | Sperry Rand Corp | Conversion and ballast unit |
-
1967
- 1967-03-06 US US620824A patent/US3412310A/en not_active Expired - Lifetime
-
1968
- 1968-02-05 DE DE1968V0035409 patent/DE1639597B2/de active Granted
- 1968-02-13 GB GB6933/68A patent/GB1169853A/en not_active Expired
- 1968-03-06 FR FR1567244D patent/FR1567244A/fr not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1169853A (en) | 1969-11-05 |
US3412310A (en) | 1968-11-19 |
FR1567244A (de) | 1969-05-16 |
DE1639597B2 (de) | 1976-12-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19901930A1 (de) | Schaltnetzteil | |
DE1488120A1 (de) | Elektrostatischer Wechselrichter | |
DE1099062B (de) | Steuerbare Einrichtung zur Umformung von Gleichspannungen bzw. -stroemen in einer Brueckenschaltung | |
EP0057910B1 (de) | Schaltung zur geregelten Speisung eines Verbrauchers | |
EP0210524B1 (de) | Schaltungsanordnung, bei der ein Wechselstromverbraucher mit einer Kondensatoreinheit in Reihe liegt | |
DE1639597A1 (de) | Stromversorgung fuer eine Glimmentladungs-Vakuumpumpe | |
DE2233152A1 (de) | Kurzschlusschutzschaltung fuer leistungsschaltungen | |
DE2047152C3 (de) | Kondensatorzundeinnchtung | |
DE1589166A1 (de) | Vorschalteinrichtung zum Zuenden und zum Betrieb von Bogenlampen | |
DE1639597C3 (de) | Stromversorgungsschaltung für eine Getter-Ionen-Pumpe | |
DE2950800A1 (de) | Schaltung fuer einen stromwechselrichter mit eigener kommutierung | |
DE2047150C3 (de) | Kondensatorzündeinrichtung | |
DE69714163T2 (de) | Schaltungsanordnung | |
DE2816361A1 (de) | Verfahren zum betrieb eines leistungskondensators zur blindstromkompensation | |
DE4040247A1 (de) | Schnellabschaltende stromrichter-gleichstromversorgung | |
DE2913622A1 (de) | Schaltungsanordnung einer diagnostischen roentgeneinrichtung hoher leistung mit thyristorstromkonverter | |
DE1934980A1 (de) | Gleichrichteranordnung | |
DE1966791C2 (de) | Leistungssteuerkreis | |
DE822128C (de) | Anordnung zum Unterbrechen von elektrischen Stromkreisen | |
DE3612906A1 (de) | Netzteil fuer die transformatorlose umwandlung einer netzwechselspannung in zumindest eine gleichspannung | |
DE1952696A1 (de) | Selbstgefuehrter Wechselrichter | |
DE3342136A1 (de) | Elektrischer kondensatorblock | |
AT152246B (de) | Vorrichtung zur selbsttätigen Stromregelung in Wechselstromnetzen. | |
AT374310B (de) | Schaltungsanordnung fuer die versorgung von gleichstromverbrauchern aus einem wechselstromnetz | |
DE1513736C3 (de) | Wechselrichter |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |