DE1639597A1

DE1639597A1 - Stromversorgung fuer eine Glimmentladungs-Vakuumpumpe

Info

Publication number: DE1639597A1
Application number: DE1968V0035409
Authority: DE
Inventors: Quinn Dale L
Original assignee: Varian Associates Inc
Current assignee: Varian Medical Systems Inc
Priority date: 1967-03-06
Filing date: 1968-02-05
Publication date: 1971-04-01
Also published as: GB1169853A; US3412310A; FR1567244A; DE1639597B2

Description

> ι. PATENTANWÄLTE

DR. CLAUS REINLÄNDER DIPL-ING. KLAUS BERNHARDT y-, _pi5?

D-8 MÖNCHEN 23 -
MAINZER 6TRASSE 5

VARIAJJ ASSOCIATES
PaIo Alto / California V. St. v. Amerika

Stromversorgung für eine Glimmentladungs- Vakuumpumpe

Priorität: 6. März 1967 Vereinigte Staaten von Amerika US-Ser. No. 620 824

Ea wird eine Stromversorgung für Glimmentladungs- Vakuumpumpen beschrieben, die mit einem Spannungsverdoppler - Zweiweg - Brükken - Gleichrichter arbeitet, der von einem "weichen" (stromabhängigen) Transformator gespeist wird. Diese Stromversorgung ist besonders geeignet, eine Mehrzellen - Getter - Ionen - Vakuum- λ pumpe zu speisen. Bei diesem Pumpentyp wird eine Vielzahl von getrennten, magnetisch eingeschnürten Glimmentladungssäulen nach Penning verwendet, die dazu dienen, das Gas zu ionisieren und die Ionen in ein Gettermaterial zu treiben, um das Gettermaterjal zu versprühen und die Ionen einzubetten, dae heißt also durch Gettern und Einbetten zu pumpen. Glimmentladungepumpen im allgemeinen, und Penning - Pumpen im besonderen stellen für die Stromversorgung eine Belastung dar, die gekennzeichnet ist durch einen Bereioh niedriger Impedanz mit hohem Strom bei hohen Druoken, von beispielsweise 10 "⁵Torr , und einen Bereioh hoher Impedanz mit niedrigem Strom bei niedrigen Druoken von beispielsweise 10 Torr.

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Der "weiche." Transformator zusammen mit dem Brückengleichrichter liefert einen kontrollierten begrenzten hohen Strom bei hohen Drucken an die Pumpe, und der Spannnungsverdoppler liefert einen hochgespannten niedrigen Strom im Bereich niedrigen Druckes an die Pumpe. Der Spannungsverdoppler der Stromversorgung wird durch zwei Kondensatoren gebildet, die in Reihe in einen Zweig parallel zu den Ausgangsklemmen des Brückengleichrichters geschaltet sind. Die Reihenkondensatoren sind in der Mitte angezapft und diese Anzapfung ist mit einer Eingangsklemme der Brücke verbunden, so daß auf einer Seite der Brücke, wenn diese als durch die Ausgangsklemme unterteilt betrachtet wird, jeweils ein Kondensator parallel zu einer der Brückenibden liegt.

Pur Getter - Ionen - Vakuumpumpen sind verschiedene Stromversorgungen bekannt. In letzter Zeit wurden überwiegend zwei Arten von Stromversorgungen verwendet. Bei der ersten Art wurde ein "harter" Transformator in Verbindung mit einem brückenfreien Zweiweggleichrichter und einer kapazitiven Spannungsverdopplersohaltung verwendet. Der Ausgangsstrom dieser Stromversorgung ist durch die kapazitive Reaktanz der Spannungsverdoppler - Kondensatoren begrenzt, die mit der Sekundärwicklung des Transformators in Reihe liegen. Für Hoohleiatungs - Hoohstrom - Pumpen wurde der Strombegrenzungekondensator viel zu groß und teuer.

Bei einer zweiten Art Stromversorgung wurde ein Zweiweg - BrüokengLaiohriohter und "weioher" Transformator verwendet. Der Strom

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wurde durch den "weichen" Transformator begrenzt. In diesem Zusammenhang soll unter "weich" verstanden werden, daß die Sekundärwicklung des Transformators längere Zeit kurz geschlossen werden kann, ohne daß der Transformator Schaden leidet. "Weiche" Transformatoren können als auch Transformatoren mit hoher Reaktanz oder strom"begrenzende Transformatoren bezeichnet werden. Solche "weichen" Transformatoren arbeiten üblicherweise mit einem ^ magnetischen Nebenschluß um die Sekundärwicklung, so daß, wenn die Reaktanz sich in der Sekundärwicklung aufbaut, ein größerer Teil des Magnetfeldes der Primärwicklung um die Sekundärw icklung herumgeleitet wird. Ein Brückengleichrichter in Verbindung mit einem "weichen" Transformator könnte zwar einen ausreichenden Kurzschlußstrom für den Hochdruckbereich des Transformators liefern, ein solcher Transformator wurde jedoch außerordentlich aufwendig, wenn sowohl der hohe KurζSchlußstrom als auch die hohe * Leerlaufspannung für den Niederdruckbereich geliefert werden soll- _Λ te. Bei Betrieb mit üblichen Netzspannungen von 220 - 240 V kam der Netzstrom auch in die Nähe von 30 A. Jede Steigerung der Ausgangsleistung zur Erzielung eines besseren Startverhaltens der Pumpe würde eine größere Netzbelastung als 30 A mit sich bringen, und dann müssen die Bauteile, wie Stecker und Steckdosen, verstärkt werden und als nächste übliche Größe kommt ein Nennstromstärke von 50 A in Präge j hierfür geeignete Bauteile sind jedoch wesentlich größer und teurer.

Diese Erfindung soll deshalb eine bessere Stromversorgung für Glimmentladungs - Vakuumpumpen verfügbar gemacht werden.

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Erfindungsgemäß wird in einem Brückengleichrichter eine Spannungsverdopplerschaltung verwendet, und diese Brückenschaltung mit einem "weichen" Transformator gespeist, so daß die Stromversorgung im Hochdruckbereich mit der Pumpe als strombegrenzter Zweiweg - Brückengleichrichter arbeitet und als üblicher Zweiweggleichrichter und Verdoppler im Niederdruckbereich arbeitet.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung enthält die Spannungsverdopplerschaltung KondÄatoren, die über den Ausgangsklemmen der Stromversorgung liegen und parallel zu zwei Diodenarmen der Brücken, so daß die dazu parallel liegenden Diodenarme der Brücke in einen nicht leitenden Zustand vorgespannt werden, wenn die Impedanz der Vakuumpumpe oberhalb eines gewissen Wertes liegt, wodurch der Übergang in den Niederdruck - Arbeitsbereich angezeigt wird.

Vorzugsweise werden gemäß einer Weiterbildung der Erfindung die Kondensatoren so ausgewählt, daß ihre Kapazitätswerte ausreichend hoch sind, um die Spitzenausgangeleistung der Stromversorgung, wie sie an die Pumpe geliefert wird, zum hochdruckseitigen Ende des'Hochdruckbereiches zu verschieben, so daß über den größten Teil des Betriebsbereiches der Pumpe ein stabiler Betrieb erreicht wird.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung in Verbindung mit der Zeichnung? es zeigen:

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Pig. 1 schematise*! eine bekannte Glimmentladungs - Vakuumpumpe mit zugehöriger Stromversorgung;

Fig. 2 schematisch eine andere Schaltung als die gemäß Fig. 1;

Fig. 3 schematisch eine Stromversorgung nach der Erfindung für Glimmentladungs- Vakuumpumpe;

Fig. 4 das Ersatzschaltbild der Schaltung nach Fig. 3 für den Hochdruck-Arbeitsbereich;

Fig. 5 Das Ersatzschaltbild für die Schaltung nach Fig. 3 für den | Niederdruck - Arbeitsbereich der Pumpe; und

Fig. 6 die Abhängigkeit der Spannung, des Stromes und der Leistung in Prozent der Maximalwerte in Abhängigkeit vom Betriebsdruck der Pumpe.

In Fig« 1 ist eine bekannte Glimmentladungs - Vakuumpumpe 1 und die zugehörige Stromversorgung 2 dargestellt. Die Glimmentladungs-Vakuumpumpe 1 besteht aus einem nicht dargestellten Gefäß, das eine Vielzellenanode 3 enthält, die zwischen zwei Kathodenplatten 4 angeordnet 1st. Die Katfaodenplattan bestehen aus einem Gettermaterial, beispielsweise Tltan» und die Anode 3 wird mit einer nicht dargestellten Xaolatoranordnung im Abstand von den Platten 4 gehaltert. Ein Magnet 5 ist außerhalb des Vakuumgefäßa angeordnet und liefert ein Magnetfeld von beispielsweise 1000 Gaua durch die Anode 3, das axial zu ü.m mit offenen Ende versehenen Anodenzellen liegt«

Die Stromversorgung 2 liefert eine maximale positive Spannung Ton beispielsweise 7,5 kV an dl· Anode 3 gegenüber ei en Kathodenplatten 4, wenn unter 10*^ for* gearbeitet wirä. Wenn der Gas-

druck innerhalb der Pumpe 1 durch eine nicht dargestellte andere Vakuumpumpe auf etwa 10 Torr abgesenkt worden ist, sorgt die angelegte Spannung dafür, daß eine Glimmentladung eingeleitet wird. Die Spannung zwischen der Anode 3 und der Kathode 4 liegt dann bei etwa 400 V, und der Strom wird durch die Stromversorgung 2 begrenzt. Diese Glimmentladung wird als Penning - Entladung bezeichnet und sorgt dafür, daß das Gas ionisiert wird und die positiven Ionen in die Kathodenplatten 4 getrieben werden, um das Gettermaterial zu versprühen und die Ionen in den Kathodenplatten 4 einzubetten. Das versprühte Material wird auf den Oberflächen innerhalb der Pumpe gesammelt und dient dazu, damit in Berührung kommende Gase zu gettern, so daß diese abgepumpt werden. Bei Drucken unterhalb etwa 3 x 10 Torr ist die Glimmentladung durch eins Vielzahl von G-limmentladungs säulen gekennzeichnet, von denen je eine ko-axial zu den Anodenzellen liegt und auf diese eingeschnürt ist."

Die Stromversorgung 2 besteht aus einem steifen Transformator ό mit einer Primärwicklung 7» die gewöhnlich an Netzspannung von 120 V und 60 Hz angeschaltet wird. Der Transformator kann jedoch auoh für eine Stromquelle von 600 V oder weniger und 25 - 400 Hz auegelegt werden,. Die Sekundärwicklung 8 des Transformators liegt über dem Eingangs einer Zweiweg - Sparmungsverdoppelungs - Gleichriohterachaltung 9«

Die Spannungsverdoppltr - Gleichrichteraoh.aUung 9 weist zwei Eingangeklemmen 11 und 12 und zwei Ausgangsklemmen 13 und 14 auf. iiO sind zwei Gleiohriohterarae 15 und 16 vorgesehen« Hin Arm 15

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liegt zwischen einer Eingangsklemme 11 und einer Ausgangsklemme 13, und der andere Arm 16 liegt zwischen einer Eingangsklemme 11 und· der anderen Ausgangsklemme 14. Zwei Kondensatoren 17 und 18 liegen in Reihe über den Ausgangsklemmen 13 und 14. Die Relhenverbindung der Kondensatoren 17 und 18 ist in der Mitte angezapft, um die zweite Eingangsklemme 12 des Gleichrichters 9 zu bilden.

Die Glimmentladung in der Pumpe 1 ist durch zwei Betriebsbereiche gekennzeichnet. Einer dieser Bereiche ist ein Hochdruck - Pump- und Anlaufbereich, in dem die Entladung durch eine extrem kleine Impedanz gekennzeichnet ist. In diesem Bereich muß also der Strom begrenzt werden, um, im ungünstigsten Falle, ein Aufbrennen der Pumpe zu verhindern, oder wenigstens eine Überhitzung der Pumpe, bei der ihre Elemente ausgasen würden, wodurch schlechte und unstabile Starteigenschaften hervorgerufen würden. Bei der Schaltung nach Pig. 1 ist der -im Hochdruckbereich gelieferte Strom durch den kapazitiven Blindwiderstand der Kondensatoren 17 und 18 begrenzt, ™ weil jeder pulsierende Ausgangs- Gleichstrom durch die Kondensatoren 17 und 18 fließen muß. Diese Kondensatoren werden außerordentlich aufwendig, wenn relativ große Anlaufströme von beispielsweise 1 A für große Pumpen 1 benötigt werden.

Der andere Betriebsbereich der Pumpe 1 ist der Niederdruckbereich, in dem 4er -Druck unterhalb von 10 Torr liegt. In dieeem Bereich wächst die Impedanz der Pumpe auf einen sehr hohen Wert bei weni-

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ger als 10 Torr. Die Schaltung nach Fig. 1 liefert die Hochspannung von beispielsweise 7,5 kV bei einigen Milli-Ampere oder weniger zum Betrieb im Niederdruckbereich.

In Fig. 2 ist eine andere bekannte Stromversorgung 21 für Glimmentladungspumpen 1 dargestellt. In diesem Falle ist der Transformator 22 ein "weicher" Transformator, dessen Sekundärwicklung 8 längere Zeit kurz geschlossen werden kann, ohne daß der Transformator 22 Schaden' leidet. An die Primärwicklung 1 wird eine Netzspannung von 220 - 240 V gelegt. Der Transformator 22 enthält eine geschlossenes magnetisches Joch 23 , wobei die Primär- und Sekundärwicklungen 7 bzw. 8 auf einen magnetischen Kern 24 des .Jochs 23 gewickelt sind, zwei magnetische Nebenschlüsse 25 liegen zwischen dem Kern 24 und dem Joch 23 an einem Punkt, der den Kern 24 zwischen den Windungen 7 und 8 schneidet. Wenn der von der Sekundärwicklung gezogenen Strom steigt, wächst auf diese Weise die Kernflußdichte, so daß ein größerer Prozentsatz des Flusses durch die Nebenschlüsse 25 zum Joch 23 abgeleitet werden. Die Nebenschlüsse 25 sind so eingestellt und bemessen, daß, wenn die Sekundärwicklung kurz geschlossen ist, der KurBschlußstrom einen Wert annimmt, den der Transformator für längere Zeitspannen ohne Schaden liefern kann. In einem typischen Ausführungsbeispiel wird der Sekundär - KurzSchlußstrom auf 1,33 Ampere effektiv eingestellt. Der Effektivwert des Sekundär - Kurzschlußstroms let das 1,1t- fache des Gleichstrom - Kurschluß Ausgangsetroms.

Die Ausgangsspannung von 5300 V effektiv der Sekundärwicklung 8 liegt über den Eingangsklemmen 11 und 12 eines üblichen vierarmigen Zweiweg - Brückengleichrichtere 26 mit Ausgangsklemmen 13 und 14

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und Gleichrichterarme 15, 16, 27 und 28. Die Ausgangsklemmen·13 und 14 sind mit der Vakuumpumpe 1 wie im Falle der Fig. 1 verbunden.

Ein Problem bei dieser bekannten Stromversorgung nach Mg. 2 liegt darin, daß keine Spannungsverdopplung vorhanden ist. Damit die Stromversorgung im Niederdruckbereich 7,5 kV Gleichspannung liefern kann und der relativ hohe Kursschlußstrom von beispielsweise 1,2 A Gleichstrom im Hochdruckbereich geliefert werden kann, wird der Transformator relativ groß und aufwendig.

In Fig. 3 ist eine Stromversorgung 31 nach der Erfindung dargestellt. Bei der dargestellten Ausführungsform ist die Schaltung 32 grundsätzlich die gleiche wie die nach Fig. 2, nur daß die Spannungsverdoppler- Kondensatorschaltung der Schaltung nach Fig.1 hinzugefügt worden ist. Genauer gesagt, sind zwei Kondensatoren

17 und 18 in Reihe Über die Ausgangsklemmen 13 und 14 des Brückengleichrichtere 32 geschaltet. Die in Reihe geschalteten Kondensatoren 17 und 18 sind in der Mitte angezapft und mit der Eingangeklemme 12 verbunden, so daß einer der Kondensatoren 17 oder

18 parallel zu jeweils einem der Gleichrichterarme 27 bzw. 28 liegt.

Die Werte der Kondensatoren 17 und 18 eind so ausgewählt, daß im Kiederdruckbereich bei kleinem Strombedarf eine ausreichende Zeitkonetante vorbanden ist» 00 daß die La·timpedanz die Dioden in d*n parallel liegenden Annen 27 und ZB In den nicht leitenden Zu-•tftnd vorspannt« Xn einen solchen Falle »arbeitet die 00haltung 32

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im Niederdruckbereich wie die Spannungsverdopplerschaltung nach Pig. 1, wie das in Fig. 5 veranschaulicht ist. Wenn auf der anderen Seite die Pumpe im Hochdruckbereich mit hohem Strom arbeitet, haben die Kondensatoren 17 und 18 zusammen mit der niedrigen Impedanz der Glimmentladungs- TBcuumpumpe eine solch kleine Zeitkonatante, daß die parallel liegenden Dioden voll leiten! sind und die Schaltung wie ein Zweiweg - Brückengleichrichter nach Fig. 2 · arbeiten, wie das in Fig. 4 veranschaulicht ist.

Es ist sehr wichtig, daß die Brücken - Verdopplerschaltung gemäß Fig. 3 den gleichen Kurzschluß- Gleichstrom und die gleiche Leerlaufspannung haben kann wie die Brückenschaltung nach Fig. 2, jedoch mit einer Sekundärepannung von 2650 V effektiv, was nur die Hälfte der Sekundärspannung des Transformators nach Fig. 2 ist. Wenn also die Sekundärwicklungen der Transformatoren nach Fig. 2 oder 3 gleiohen Kurzschlußstrom liefern müssen, muß der VoIt-Ampore Wert des Transformators nach Fig. 2 doppelt so groß sein wie der des Transformators nach Fig. 3. Bei einer Primärspannung von 240 V beträgt der Netzstrom des Transformators gemäß Fig. 2 etwa 30 A, bei der Schaltungsanordnung nach Fig. 3 ist der primärseitig gezogene Netzstrom jedoch nur 15 A, wenn die Sekundärwicklungen kurz geschlossen sind. Sie Kapazität der Kondensatoren 17 und 18 kann so eingestellt werden, daß sich ein« Abhängigkeit der Ausgangs-GHeichapannung rom Strom der Sοhaltung 31 nach Fig. 3 ergibt, die sehr gut der gleichartigen Kurve der Schaltung 21 nach lig. 2 folgt. Sine Herabsetzung des Netzetroms um «inen Faktor 2 bedeutet eine

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erhebliche wirtschaftliche Einsparung. Statt dessen kann der Ausgangs- Gleichstrom der Schaltung 31 nach Fig. 3 auf den doppelten Wert der Schaltung 21 nach Fig. 2 erhöht werden, um höhere Anlaufgeschwindigkeiten der Ionenpumpe zu erhalten, ehe der Wert von 30 A für den Netzstrom überschritten wird.

In Fig. 6 sind grafisch die Betriebscharakteristiken einer typischen Glimmentla dungspumpe mit einer Stromversorgung nach Fig. 3 ™ dargestellt. In einem typischen Beispiel wird der Kurzschluß-Gleichstrom zu 1,2 A gewählt, damit wird die interne Nebensohlußkonstruktion des Transformators festgelegt. Die leerlauf - Gleichspannung der Stromversorgung wird zu 7,5 kV gewählt, und dadurch wird das Windungsverhältnis des Transformators und der Nennwert der Spitzensperrspannung der Diodengleichrichter für die Brücke 32 festgelegt. Bei einer bevorzugten Ausführungsform enthalten die Gleichrichterarme 15, 16, 27 und 28 jeweils eine Reihenschaltung von wenigstens 10 Dioden 1000 PRV, damit jede Diode unterhalb ihrer | Nenn- Spitzensperrspannung arbeiten kann. Die Kondensatoren 17 und 18 werden mit einer Kapazität von 0,1 Mikrofarad und einer Nennspannung von 10 kV gewählt.

Wie aue der grafischen Darstellung in Fig. 6 ersichtlich ist, fällt die Auegangsspannung der Stromversorgung 31 mit wachsendem Druck, während dergelieferte Strom mit wachsendem Druck steigt. Die zur

Pumpe gelieferte Leistung erreicht ihren Maximalwert gut im Hochdruckbereich, so daß die Pumpe über den größten Teil dee Betriebe -

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bereiches auf der linken Seite des Leistungsmaximums arbeitet. Auf diese Weise liefert die Stromversorgung mehr Leistung an die Pumpe, wenn in dieser ein Gasstoß auftritt, durch den der Druck im Innern der Pumpe momentan ansteigt. Wenn statt dessen das Maximum der gelieferten Leistung weit im Niederdruckbereich läge und die Pumpe auf der rechten Seite des Leistungsmaximums arbeiten würde, würde bei einem solchen G-asstoß die Stromversorgung weniger Leistung liefern und dadurch kann die Pumpe unter Umständen überschwemmt werden.

Wenn auch die Stromversorgung nach Fig. 3 in Verbindung mit einer mehrzelligen Glimmentladungs-Vakuumpumpe nach Penning beschrieben worden ist, so ist sie doch auch bei anderen Glimmentladungs-Vakuumpumpen anwendbar, die einen Hochdruck- Betriebsbereich mit niedriger Impedanz und hohem Strom und einen Niederdruckbetriebsbereich mit hoher Impedanz und niedrigem Strom aufweist.

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Claims

V1 P157 D Patentansprüche

1.)Glimmentladungs- Vakuumpumpe, bestehend aus zwei Pumpenelektroden, die mit einer elektrischen Spannung beliefert werden, um eine Glimmentladung aufzubauen und durch diese Glimmentladung ionisierte Gase abzupumpen, und einer Stromversorgung ™ für die beiden Pumpenelektroden, mit der die Glimmentladung aufrecht erhalten wird und die einen "weichen" Transformator mit einer Primär- und einer Sekundärwicklung aufweist, einen Zweiweg- Brückengleichrichter, der über die Sekundärwicklung des "weichen" Transformators geschaltet ist, wobei der Ausgang des Brückengleichrichters dazu dient, die Glimmentladung in der Pumpe aufrecht zu erhalten, dadurch gekennzeichnet, daß eine Spannungsvervielfacherschaltung in den Brückengleichrichter eingeschaltet ist, um die Ausgangsspannung des Brüekengleichrichters Λ im Vergleich zur Eingangespannung zu erhöhen, die dem Brückengleichrichter von der Sekundärwicklung des "weichen" Transformators zugeführt wird·

2. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, daduroh gekennzeichnet, daß der "weiche" Transformator einen magnetischen Nebenschluß enthält, der einen Teil des Magnetflusses der Primärwicklung um die Sekundärwicklung herumleitet.

3. Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, daduroh gekennzeichnet, daß die Spannungevervielf^jj^ejgoha^tunjg eine Spannungeverdoppler-

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schaltung- ist.

4. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Spannungavervielfacher8chaltung^zwein Reihe geschaltete Kondensatoren enthält, die in Reihe über die Ausgangsklemmen des Brückengleichrichters geschaltet sind, und daß einer der Kondensatoren parallel zu einem G-leichrichterarm der Brücke und der andere Kondensator parallel zu einem zweiten Gleichrichterarm der Brücke geschaltet ist, so daß die Kondensatoren die Stromleitung durch diese beiden Gleichrichterarme der Brücke kontrollieren.

5. Vakuumpumpe nach Anspruch 4» dadurch gekennzeinet, daß der Brükkengleichrichter vier Gleichrichterarme enthält, daß jeder der Gleichrichterarme einen Diodengleichrichter enthält, und daß die Kapazitäten der beiden Kondensatoren so gewählt sind, daß bei einem Gasdruck in der Pumpe von weniger als 10 ^J Torr die Diodengleichrichter in den beiden Armen durch die Spannung über den Kondensatoren in einen nicht leitenden Zustand vorgespannt werden,. so daß die Brücke bei Pumpendrucken unterhalb von 10 Torr als Spannungsvervielfacher - Gleichrichter arbeitet.

6. Vakuumpumpe nach Anspruch 4 oder 5» dadurch gekennzeichnet, daß der Brüokengleiohrichter vier Gleichrichterarme enthält, von denen jeder einen Diodengleiohriohter enthält, und daß die Kapazitäten der Kondensatoren so gewählt sind, daß bei Betriebsdrücken in der Pumpe oberhalb von 10"* Torr die Spannungsvervielfaoher-•ohaltung unwirksam wird, eo dal die Stromversorgung die Aus-

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gangskennlinie eines Zweiweg- Brückengleichriehters ohne Spannungsvervielfacherschaltung hat.

7· Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1-6, dadurch gekennzeichnet, daß eine der beiden Pumpenelektroden eine Mehrzellenanode ist, deren Anodenzellen dazu dienen, mehere Glimmentladungssäulen zu definieren.

8. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 4-7» dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazitätswerte der Kondensatoren im Bereich von 0,01 - 1 Mikrofarad liegen.

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