DE1627261A1

DE1627261A1 - Verfahren zum Bearbeiten und Messen ebener duenner Scheiben

Info

Publication number: DE1627261A1
Application number: DE19671627261
Authority: DE
Inventors: Dipl-Ing Kornelius Noss
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1967-03-31
Filing date: 1967-03-31
Publication date: 1970-09-10

Description

SIEMENS AKTIENGESEIISCHAFT München 2,

Berlin und München Wittelsbacherplatz 2

P 16 27 261.0-14 VPA 67/2270

Υerfahren zum Bearbeiten und Messen -ebener dünner Scheiben

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bearbeiten und Messen dünner ebener Scheiben, insbesondere Halbleiterscheiben, bei dem die Scheibe auf der ebenen, mit Öffnungen versehenen Auflagefläche einer Haltevorrichtung durch Ansaugen gehalten wird.

Es ist bekannt, Teile, insbesondere solche mit einer ebenen Auflagefläche, zum Bearbeiten durch Saugvorrichtungen festzuhalten. Per Nachteil bekannter Verfahren besteht darin, daß die angesaugten dünnen Seheiben sich über den Sauglöchern der verwendeten Saugvorrichtimgen einwärtsbiegen. Das hat

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zur Folge j daß "beispielsweise "beim Polieren dünner Scheiben sich keine ebene Politur erzielen läßt;» Außerdem ist es sehr schwierig, die Dicke einer auf diese Weise festgehaltenen Scheibe an allen Stellen richtig zu messen»

Es wurden deshalb bereits andere Ansaugvorrichtungen zum Be- ^ arbeiten und Messen dünner Scheiben vorgeschlagen. Bei einer dieser Vorrichtungen ist statt einzelner großer Sauglöcher eine Vielzahl kleiner" Sauglöcher vorgesehen« Derartige Saugvorrichtungen sind jedoch technisch sehr aufwendig, wenn nicht sogar technisch unmöglich«

Eine andere bekannte Saugvorrichtung "besteht aus einer ebenen Fläche mit einem Einsatz aus porösem, a,B. gesintertem, Material, Bs ist aber technisch oft nicht möglich? das porösdurchlässig und das umgebende nichtporöse Material miteinander ^w zu einer ausreichend ebenen Fläche zu schleifen, zu läppen oder dergleichen.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Bearbeiten und Messen ebener dünner Scheiben, insbesondere Halbleiterscheiben» anzugeben, bei dem die dünne Scheibe auf einer Haltevorrichtung, die eine ebene Auflagefläche besitzt, angesaugt wird, ohne daß die Scheibe unerwünscht durchgebogen wird-

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Gemäß der vorliegenden Erfindung wird daher ein Verfahren zum Bearbeiten und Messen ebener ävmxier Scheiben, insbesondere Halbleiterscheiben, vorgeschlagen, bei dem die Scheibe auf der ebenen mit Öffnungen versehenen Auflage einer Haltevorrichtung durch Ansaugen gehalten wird, wobei eine Haltvorrichtung verwendet wird, deren ebene Auflagefläche von einem Innenstempel und einem diesen Stempel mit geringem Abstand umgebenden Außenring gebildet ist und die einen von der ™ Saugpumpe zu dem zwischen dem Stempel und dem Außenring gebildeten Schlitz führenden Kanal besitztο

Weitere Einzelheiten der Erfindung sind in der nachfolgenden Beschreibung und an Hand der Figur näher erläutert»

Die Figur zeigt ein Beispiel einer Haltevorrichtung zum Durchführen des Verfahrens gemäß der Erfindung«

Die ebene Auflagefläche, auf der eine dünne Scheibe 7 angesaugt werden soll, Xfirä von einem Innenstempel 2 und einem diesen Stempel in geringem Abstand umgebenden Außenring 1 gebildet» Damit der Innenstempel 2 fest im Außenring 1 sitzt, hat nur der Oberteil des Innenstempels 2 einen geringeren Durchmesser als der Innendurchmesser des Außenrings, so daß ein Saugschlitz 3 gebildet ist, wie dies in der Zeichnung '''„gestellt ist» Außenring 1 und Innenstempel 2 sind so ausgeM' st, daß der Saugschlitz 3 vorzugsweise kreisförmig

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in der ebenen Auflagefläche verläuft» Innere und äußere Auflagefläche können zweckmäßig Stirnflächen zweier konzentrischer Stempel -sein, die nur an den Stirnflächen einen ausreichend schmalen Saugschlitz bilden/ während sie auf einem großen Teil ihrer Länge mit Festsitz ineinandergeschoben sinds so daß beide Stirnflächen vorteilhaft miteinander ebengeschliffen, geläppt und dergleichen werden können» Die Breite des Saugschlitzes 3 muß so groß sein, daß sich einerseits die zu bearbeitenden Scheiben - wie gefordert - über dem Spalt nicht durchbiegen können und daß andererseits eine genügende Saugwirkung erzielt wird,, Das bedeutet, daß der Saugschlitz 3 etwas breiter sein muß als der trotz ebener Auflagefläche noch vorhandene Spalt zwischen dieser Fläche und der aufgelegten, zu bearbeitenden Scheibe 7»

Der Innenstempel 2 ist mit einem Kanal 4 versehen, durch den die Luft aus dem Saugschlitz 3 über eine Öffnung 5 im Oberteil des Innenstempels 2 in Pfeilrichtung 6 mit Hilfe einer Vakuumpumpe abgesaugt werden kann=

Gegebenenfalls kann die Luft aus dem Saugschlitz 3 auch durch eine seitliche Öffnung im Außenring 1 abgesaugt werden« Diese Öffnung müßte zweckmäßig entweder unterhalb des ^nigschlitzes über dem festsitzenden Innenstempelteil angebracht werden oder an einer definierten Stelle am festsitzenden Innenstempelteil durch diesen und den Außenring 1 zum Saugschlitz 3 vor^{lauf en}"

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Außenring 1 und Innenstempel 2 der Haltevorrichtung bestehen zweckmäßig aus dem gleichen nichtporösen Material, insbesondere aus Metall j vorzugsweise Stahl» ^;

Mit Hilfe der vorgeschlagenen Haltevorrichtung können ebene, sehr dünne, nichtporöse Scheiben, insbesondere Halbleiterscheiben, die den Saugschlitz allseitig überdecken, zum Bearbeiten und Messen gehalten werden, ohne daß dabei ein un- ^ erwünschtes Durchbiegen der Scheiben auftreten kann.

Die vorgeschlagene Haltevorrichtung weist außerdem den Vorteil auf, daß die gesamte ebene Stirnfläche des Innenstempels 2, die von dem vorzugsweise kreisförmigen Saugschlitz 3 begrenzt ist, als Ansaugfläche wirkt, denn die äußere luft kann nur vom Rand der zu bearbeitenden Scheibe einströmen,,

Zum Durchführen des Verfahrens gemäß der Erfindung, insbe- g sondere für Meßzwecke, ist es weiterhin von Vorteil, wenn beide vom Innenstempel und Außenring gebildeten ebenen Stirnflächen parallel zueinander verlaufen, so daß die Dicke der bearbeiteten Scheiben von der Grundfläche aus überall genau gemessen werden kann«

4 Patentansprüche
1 Figur

ÖÖi8 3.7/QU8

Claims

Patentansprüche

ο Verfahren zum Bearbeiten und Messen ebener dünner Scheiben, insbesondere- Halbleiterscheiben, bei dem die Scheibe auf der ebenen, mit Öffnungen versehenen Auflagefläche einer Haltevorrichtung durch Ansaugen gehalten wird, gekennzeichnet durch die Verwendung einer Haltevorrichtung, deren ebene Auflagefläche von einem Innenstempel und einem diesen Stempel mit geringem Abstand umgebenden AJußenring gebildet ist und die einen von der Säugpumpe zu dem zwischen dem Stempel und dem Außenring gebildeten Schlitz führenden Kanal besitzt.

ο Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in eine® Außenring (1) ein mit einem Kanal (4) versehener Innenstempel {2) sitzt, dessen Oberteil zur Bildung eines schmalen Saugschlitzes (3) an der Auflagefläche einen etwas geringeren Durchmesser als der Innendurchmesser des Außenringes besitzt (Figur).

3. Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet„ daß Außenring und Innenstempel aus dem gleichen nichtporösen Material, insbesondere aus Metall, vorzugsweise Stahl, bestehen»

4= Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet,daß beide aus Innenstempel und Außenring gebildeten Stirnflächen parallel zueinander

verlaufenο

BAD ORIGINAL

009837/0428 .