DE1627261A1 - Verfahren zum Bearbeiten und Messen ebener duenner Scheiben - Google Patents
Verfahren zum Bearbeiten und Messen ebener duenner ScheibenInfo
- Publication number
- DE1627261A1 DE1627261A1 DE19671627261 DE1627261A DE1627261A1 DE 1627261 A1 DE1627261 A1 DE 1627261A1 DE 19671627261 DE19671627261 DE 19671627261 DE 1627261 A DE1627261 A DE 1627261A DE 1627261 A1 DE1627261 A1 DE 1627261A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- outer ring
- suction
- flat
- punch
- support surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
- B25B11/005—Vacuum work holders
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
SIEMENS AKTIENGESEIISCHAFT München 2,
Berlin und München Wittelsbacherplatz 2
P 16 27 261.0-14 VPA 67/2270
Υerfahren zum Bearbeiten und Messen -ebener dünner Scheiben
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bearbeiten und Messen dünner ebener Scheiben, insbesondere Halbleiterscheiben,
bei dem die Scheibe auf der ebenen, mit Öffnungen versehenen Auflagefläche einer Haltevorrichtung durch Ansaugen gehalten
wird.
Es ist bekannt, Teile, insbesondere solche mit einer ebenen Auflagefläche, zum Bearbeiten durch Saugvorrichtungen festzuhalten.
Per Nachteil bekannter Verfahren besteht darin, daß die angesaugten dünnen Seheiben sich über den Sauglöchern
der verwendeten Saugvorrichtimgen einwärtsbiegen. Das hat
Rb/Rl r''if$w*i%iii».in- „,..., ^ „ _ . - 2 -
0 ö 9 S 4 7 / U 4 2 b
PA 9/493/847 - 2 -
zur Folge j daß "beispielsweise "beim Polieren dünner Scheiben
sich keine ebene Politur erzielen läßt;» Außerdem ist es sehr schwierig, die Dicke einer auf diese Weise festgehaltenen
Scheibe an allen Stellen richtig zu messen»
Es wurden deshalb bereits andere Ansaugvorrichtungen zum Be-
^ arbeiten und Messen dünner Scheiben vorgeschlagen. Bei einer dieser Vorrichtungen ist statt einzelner großer Sauglöcher
eine Vielzahl kleiner" Sauglöcher vorgesehen« Derartige Saugvorrichtungen
sind jedoch technisch sehr aufwendig, wenn nicht sogar technisch unmöglich«
Eine andere bekannte Saugvorrichtung "besteht aus einer ebenen
Fläche mit einem Einsatz aus porösem, a,B. gesintertem,
Material, Bs ist aber technisch oft nicht möglich? das porösdurchlässig und das umgebende nichtporöse Material miteinander
w zu einer ausreichend ebenen Fläche zu schleifen, zu läppen
oder dergleichen.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Bearbeiten und Messen ebener dünner Scheiben, insbesondere
Halbleiterscheiben» anzugeben, bei dem die dünne Scheibe auf einer Haltevorrichtung, die eine ebene Auflagefläche
besitzt, angesaugt wird, ohne daß die Scheibe unerwünscht durchgebogen wird-
PA 9/493/847 - /3 - .
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird daher ein Verfahren
zum Bearbeiten und Messen ebener ävmxier Scheiben, insbesondere
Halbleiterscheiben, vorgeschlagen, bei dem die Scheibe auf der ebenen mit Öffnungen versehenen Auflage
einer Haltevorrichtung durch Ansaugen gehalten wird, wobei eine Haltvorrichtung verwendet wird, deren ebene Auflagefläche von
einem Innenstempel und einem diesen Stempel mit geringem Abstand umgebenden Außenring gebildet ist und die einen von der ™
Saugpumpe zu dem zwischen dem Stempel und dem Außenring gebildeten Schlitz führenden Kanal besitztο
Weitere Einzelheiten der Erfindung sind in der nachfolgenden
Beschreibung und an Hand der Figur näher erläutert»
Die Figur zeigt ein Beispiel einer Haltevorrichtung zum Durchführen
des Verfahrens gemäß der Erfindung«
Die ebene Auflagefläche, auf der eine dünne Scheibe 7 angesaugt
werden soll, Xfirä von einem Innenstempel 2 und einem
diesen Stempel in geringem Abstand umgebenden Außenring 1 gebildet»
Damit der Innenstempel 2 fest im Außenring 1 sitzt, hat nur der Oberteil des Innenstempels 2 einen geringeren
Durchmesser als der Innendurchmesser des Außenrings, so daß ein Saugschlitz 3 gebildet ist, wie dies in der Zeichnung
'''„gestellt ist» Außenring 1 und Innenstempel 2 sind so ausgeM'
st, daß der Saugschlitz 3 vorzugsweise kreisförmig
_ 4 _ 0 0 S 8 3 7 / 0 />
2 6 BAD OWGlNAU
PA 9/493/847 - 4 -
in der ebenen Auflagefläche verläuft» Innere und äußere Auflagefläche
können zweckmäßig Stirnflächen zweier konzentrischer Stempel -sein, die nur an den Stirnflächen einen
ausreichend schmalen Saugschlitz bilden/ während sie auf einem großen Teil ihrer Länge mit Festsitz ineinandergeschoben
sinds so daß beide Stirnflächen vorteilhaft miteinander ebengeschliffen,
geläppt und dergleichen werden können» Die Breite des Saugschlitzes 3 muß so groß sein, daß sich einerseits
die zu bearbeitenden Scheiben - wie gefordert - über dem Spalt nicht durchbiegen können und daß andererseits eine genügende
Saugwirkung erzielt wird,, Das bedeutet, daß der Saugschlitz
3 etwas breiter sein muß als der trotz ebener Auflagefläche noch vorhandene Spalt zwischen dieser Fläche und
der aufgelegten, zu bearbeitenden Scheibe 7»
Der Innenstempel 2 ist mit einem Kanal 4 versehen, durch den
die Luft aus dem Saugschlitz 3 über eine Öffnung 5 im Oberteil des Innenstempels 2 in Pfeilrichtung 6 mit Hilfe einer Vakuumpumpe
abgesaugt werden kann=
Gegebenenfalls kann die Luft aus dem Saugschlitz 3 auch durch eine seitliche Öffnung im Außenring 1 abgesaugt werden« Diese
Öffnung müßte zweckmäßig entweder unterhalb des ^nigschlitzes
über dem festsitzenden Innenstempelteil angebracht werden
oder an einer definierten Stelle am festsitzenden Innenstempelteil
durch diesen und den Außenring 1 zum Saugschlitz 3 vorlauf en"
0 0 9 8 3 7/0426
PA 9/493/847 - 5 -
Außenring 1 und Innenstempel 2 der Haltevorrichtung bestehen
zweckmäßig aus dem gleichen nichtporösen Material, insbesondere aus Metall j vorzugsweise Stahl» ;
Mit Hilfe der vorgeschlagenen Haltevorrichtung können ebene, sehr dünne, nichtporöse Scheiben, insbesondere Halbleiterscheiben,
die den Saugschlitz allseitig überdecken, zum Bearbeiten
und Messen gehalten werden, ohne daß dabei ein un- ^
erwünschtes Durchbiegen der Scheiben auftreten kann.
Die vorgeschlagene Haltevorrichtung weist außerdem den Vorteil auf, daß die gesamte ebene Stirnfläche des Innenstempels 2,
die von dem vorzugsweise kreisförmigen Saugschlitz 3 begrenzt ist, als Ansaugfläche wirkt, denn die äußere luft kann nur
vom Rand der zu bearbeitenden Scheibe einströmen,,
Zum Durchführen des Verfahrens gemäß der Erfindung, insbe- g
sondere für Meßzwecke, ist es weiterhin von Vorteil, wenn beide vom Innenstempel und Außenring gebildeten ebenen Stirnflächen parallel zueinander verlaufen, so daß die Dicke der bearbeiteten
Scheiben von der Grundfläche aus überall genau gemessen werden kann«
4 Patentansprüche
1 Figur
1 Figur
ÖÖi8 3.7/QU8
Claims (1)
- Patentansprücheο Verfahren zum Bearbeiten und Messen ebener dünner Scheiben, insbesondere- Halbleiterscheiben, bei dem die Scheibe auf der ebenen, mit Öffnungen versehenen Auflagefläche einer Haltevorrichtung durch Ansaugen gehalten wird, gekennzeichnet durch die Verwendung einer Haltevorrichtung, deren ebene Auflagefläche von einem Innenstempel und einem diesen Stempel mit geringem Abstand umgebenden AJußenring gebildet ist und die einen von der Säugpumpe zu dem zwischen dem Stempel und dem Außenring gebildeten Schlitz führenden Kanal besitzt.ο Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in eine® Außenring (1) ein mit einem Kanal (4) versehener Innenstempel {2) sitzt, dessen Oberteil zur Bildung eines schmalen Saugschlitzes (3) an der Auflagefläche einen etwas geringeren Durchmesser als der Innendurchmesser des Außenringes besitzt (Figur).3. Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet„ daß Außenring und Innenstempel aus dem gleichen nichtporösen Material, insbesondere aus Metall, vorzugsweise Stahl, bestehen»4= Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet,daß beide aus Innenstempel und Außenring gebildeten Stirnflächen parallel zueinanderverlaufenοBAD ORIGINAL009837/0428 .
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DES0109117 | 1967-03-31 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1627261A1 true DE1627261A1 (de) | 1970-09-10 |
Family
ID=7529298
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19671627261 Pending DE1627261A1 (de) | 1967-03-31 | 1967-03-31 | Verfahren zum Bearbeiten und Messen ebener duenner Scheiben |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE1627261A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5735186A (en) * | 1995-05-10 | 1998-04-07 | Piccini; Giancarlo | Punching-nibbling press |
-
1967
- 1967-03-31 DE DE19671627261 patent/DE1627261A1/de active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5735186A (en) * | 1995-05-10 | 1998-04-07 | Piccini; Giancarlo | Punching-nibbling press |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE1627261A1 (de) | Verfahren zum Bearbeiten und Messen ebener duenner Scheiben | |
DE1673168A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung,Auswertung und Registrierung von Luft- oder Gasproben | |
DE7215977U (de) | Saegekette mit die zahnglieder verbindenden laschen | |
DE1188214B (de) | Verfahren zur Herstellung der kammartigen Teile von ebenflaechigen Interdigitalleitungen fuer Lauffeldroehren | |
EP1741517B1 (de) | Vakuum-Spannvorrichtung zum Fixieren einer Nutzenplatte und entsprechendes Bearbeitungsverfahren | |
DE112013002066T5 (de) | Verfahren zum Bewerten eines Halbleiter-Wafers und Apparat zum Bewerten eines Halbleiter-Wafers | |
DE2741523C2 (de) | ||
DE2506255C3 (de) | Ultramikrotom | |
DE1956098A1 (de) | Verfahren zur Ermittlung der Haftfestigkeit von Lackschichten | |
DE1237653B (de) | Verfahren zur Herstellung eines Wellenleiters mit einem vakuumdicht darin festgeklemmten Glimmerfenster und durch dieses Verfahren hergestellte Wellenleiter | |
DE1084613B (de) | Trockenrasiergeraete-Schneidkopf mit wenigstens zwei Schneidplatten | |
DE2423297A1 (de) | Vorrichtung zur ermittlung einer druckverteilung | |
DE102020000870A1 (de) | Kreuzschliff-Vorrichtung | |
DE2114539A1 (de) | Vorrichtung zum Verbinden von An Schlußelementen auf einer Scheibe mit Leitern eines Leiterrahmens | |
DE711620C (de) | Feinspaltfilter fuer Fluessigkeiten und Gase | |
DE1602004C3 (de) | Verfahren zum Aufteilen eines eine Anzahl elektrischer Schaltungselemente enthaltenden Körpers | |
DE211191C (de) | ||
DE459545C (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Ringen aus streifenfoermigem Werkstoff | |
DE2401845A1 (de) | Vorrichtung zur befestigung einer scheibe od. dgl. mittels profilleisten | |
DE2014467A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von geebneten oder gewaffelten Gegenstanden aus Blech- oder Bandmaterial | |
DE1918179A1 (de) | Schablone zum Herstellen gewoelbter Oberflaechen,insbesondere Fraesmutterschablone zum Herstellen der Arbeitsflaeche von Presswerkzeugen | |
DE1421792A1 (de) | Schneidtisch fuer Glastafeln | |
DE2506255A1 (de) | Ultramikrotom | |
DE8906331U1 (de) | Lehre für ein Fliesenschneidgerät | |
EP0726429A3 (de) | Kühlvorrichtung |