DE1548707A1 - Fotoelektrischer Schrittgeber - Google Patents

Fotoelektrischer Schrittgeber

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DE1548707A1 DE1966L0054168 DEL0054168A DE1548707A1 DE 1548707 A1 DE1548707 A1 DE 1548707A1 DE 1966L0054168 DE1966L0054168 DE 1966L0054168 DE L0054168 A DEL0054168 A DE L0054168A DE 1548707 A1 DE1548707 A1 DE 1548707A1
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Description

Patentabteilung 1548707
Fotoelektrischer Schrittgeber
Es sind eine Reihe von Geräten zur Abtastung der Lage oder der Bewegung eines Gitters in bezug auf einen Festpunkt bekannt, bei denen eine Abbildung eines Punktes eines Gitters auf sich selbst oder auf eine andere Stelle des gleichen Git-
t *-
ters erfolgt und bei denen aus der Verschiebung des Gitterbildes zum Gitter auf fotoelektrischem Wege Signale gewonnen werden, die ein Maß auf die Verschiebung des Gitters sind.
So ist (Zeitschrift "Journal of Scientific Instruments1·, August i960, S. 261) eine Anordnung zur Abtastung der relativen Lage eines Amplitudengitters beschrieben, die mit Durchlicht arbeitet. Bei ihr wird mittels einer Lampe und eines vor diese geschalteten optischen Systems ein paralleles Lichtstrahlenbündel erzeugt, das an dem anzumessenden Gitter gebeugt wird und dann auf einem Hohlspiegel zueinander kohärente Bilder erzeugte Die reflektierten Strahlenbündel entwerfen wegen des wiederum durchlaufenen optischen Systems in der Bildebene des abgetasteten Gitters ein Gitterbild, dessen periodisch schwankende Relativlage zum Gitter den durchgelassenen Lichtstrom bestimmt und bei dem danach mittels eines einem optisehen System nachgeachalteten fotoelektrischen Empfängers ausgewertet wird.
Auch ist (schweizerische Patentschrift Jf01 500) eine Vorrichtung zum Messen von Verschiebungen bekanntgeworden, bei der ein Reflexionaraeter verwendet ist, daa auf aich selbst
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abgebildet wird. Durch optische Mittel lassen sich zueinander phasenverschobene Signale erzeugen, die zur Anzeige der Bewegungsrichtung des Rasters herangezogen werden können.
Bei allen bisher bekannten Geräten, bei denen nur ein optischer Kanal verwendet ist, fallen lediglich Signale gleicher Phasenlage an, aus denen beispielsweise nach Patent 1 I36 bzw. nach Patent . . . (Patentanmeldung L 35 751 IXa/42b) mittels eines doppelbrechenden Baugliedes und nach Trennung nach Polarisationsrichtungen die gegeneinander in der Phase verschobenen Ausgangssignale abgeleitet werden könnan.
Der Erfindung lag die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung in Form eines mit Auflicht oder Durchlicht arbeitenden fotoelektrischen Schrittgebers zu schaffen, die trotz Verwendung nur eines optischen Kanals für eine oder zwei Koordinatenrichtungen der Messung jeweils ein Paar zugeordneter Gegentaktsignale liefert, aus denen sich dann leicht für eine oder zwei Koordinatenrichtungen je ein VierphasensignaIfeld ableiten läßt.
Gegenstand der Erfindung ist ein fotoelektrischer Schrittgeber mit mindestens einem Meßgitter, dessen jeweilige Lage Mittels mindestens zwei fotoelektrischen Empfängern abgetastet wird. Dieser Schrittgeber zeiohnet sich daduroh aus, daß bei Verwendung eines Phasengitters, dessen Gangunterschied vorzugsweise ~ ist, das Gitter mittels einer Abbildungsoptik entweder auf ein zweites Phasengitter oder auf sich selbst
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abgebildet wird, und daß die abbildenden Lichtbündel nach der Beugung am zweiten Gitter bzw. nach der zweiten Beugung am gleichen Gitter den fotoelektrischen Empfängern derart zugeleitet werden, daß diejenigen BeugungsOrdnungen, deren Intensitäten in Gegenphase moduliert sind, auf unterschiedliche fotoelektrische Empfänger auftreffen. Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung kann als erstes Gitter auch ein Amplitudengitter verwendet werden. Auch können in den abbildenden Strahlengang zusätzlich am Abbildungsort senkrecht zueinander polarisierte oder chromatisch aufgespaltene Bilder erzeugende Bauglieder eingefügt sein.
Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung können die Gitter als Kreuzgitter ausgeführt sein, deren Kreuzungswinkel dem gewünschten Koordinatenwinkel der Messung entspricht. In diesem Falle weist die Beleuchtungseinrichtung zwei den Koordinatenrichtungen entsprechende Hauptbeleuchtungsrichtungen auf. Das Kreuzgitter kann als Phasen-Kreuzgitter , als Amplituden-Kreuz'gitter oder als Amplituden-Phasen-Kreuzgitter ausgebildet sein, bei dem die Markierungen in der einen Richtung Phasenobjekte, in der anderen Richtung Amplitudenobjekte sind. Die Verwendung einer aus einem Hohlspiegel bzw. einem Hohlspiegelsegment in Kombination mit einem optisch brechenden Bauglied bestehenden Abbildungsoptik ist vorteilhaft.
Die Erfindung ist in den Zeichnungen beispielsweise dargestellt und nachfolgend erläutert.
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Bei der in Fig. 1 dargestellten Vorrichtung zum Messen in einer Koordinatenrichtung durchläuft das von einer Lampe 10 ausgesandte Lichtstrahlenbündel einen Kondensor 11 und wird an einem Phasengitter 12 gebeugt. Die gebeugten Strahlenbündel bilden über ein Objektiv I3 die Lichtquelle in der hinteren Brennebene 14 des Objektivs I3 ab, und zwar nach Beugungsordnungen getrennt. Dabei wird das Bild nullter Ordnung ausgelöscht, falls das Phasengitter die- -Bedingung erfüllt. Die Lichtbündel der Bilder werden über ein weiteres Objektiv 15 als Bild des Gitters 12 auf ein zweites Phasengitter 16 geworfen und an diesem gebeugt. Dabei sind die Bilder der Gitterstriche zu den Gitterstrichen am Abbildungsort parallel, und die Gitterkonstante der Bilder entspricht der Gitterkonstante des Gitters am Abbildungsort. Es entstehen in der hinteren Brennebene 17 einer nachgeschalteten Feldlinse 18 ein Bild nullter Ordnung sowie Bilder höherer Ordnung. In der Ebene 17 befindet sich ein geometrischer Strahlenteiler 19» der aus einem mit einer öffnung versehenen, schräg zur optischen Achse stehenden Planspiegel besteht. Über Feldlinsen 20, 21 werden je ein fotoelektrischer Empfänger 22 oder 23 mit dem Bild des Gitters 16 beaufschlagt. Dabei ist der Empfänger 22 den Lichtbündeln der nullten Ordnung, der Empfänger 23 den Lichtbündeln höherer Ordnung zugeordnet, und die Signale an den genannten Empfängern sind zueinander in Gegenphase. Durch Einfügen eines Volleston-Prismas 25 sowie polarisierender Strahlenteiler 26, 27 lassen sich unter Zuhilfenahme weiterer fotoelektrischer Empfänger 22 * und 23* gegen die erstgenannten Signale
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phasenverschobene Signale gewinnen. Bei entsprechender Dimensionierung der Bauteile kann man sogar vier um je 90 gegeneinander verschobene Signale erzeugen, die gemeinsam ein elektrisches Drehfeld bilden.
Das Vorliegen von vier miteinander verketteten Signalen hat den Vorteil, daß man bei der elektrischen Weiterverarbeitung, beispielsweise nach Patent ... (Patentanmeldung L 50 450 IXb/ 42d) oder Patent ... (Patentanmeldung L 52 699 IXb/42d), den Einfluß von Schwankungen des mittleren Lichtflusses eliminieren kann.
Beim /Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel fällt Licht einer Lampe 30 mit dem Hauptstrahl schräg zur optischen Achse, schräg zur Bewegungsrichtung und schräg zur Strichrichtung des Maßstabs 38 über einen Kondensor 31 sowie ein nachgeechaltetes Umlenkprisma 32 durch einen gleichzeitig als Eintritts- und Austrittsöffnung fungierenden, von Plänspiegelflächen 60 begrenzten Spalt 6i in die Abbildungsoptik ein. Neben den Planspiegeln 60 ist ein verspiegeltes Kugelschalensegment 33 angeordnet, das um eine Achse 34 meßbar geschwenkt werden kann. Diese Verschwenkung kann beispielsweise mittels eines elektromechanischen Wandlere bewirkt werden. Diesem Segment ist eine Linse 35 zur Erzeugung einer Parallelprojektion derart zugeordnet, daß ihr dem Hohlspiegel zugewendeter Brennpunkt mit dem Krümmungescheitel der optisch wirksamen KugeIsohalenflache zusammenfällt. Das Lichtbündel durchläuft, nachdem es eine
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Halbfläche dieser Linse durchsetzt hat, dann weiter eine bildaufspaltende doppelbrechende· Platte 36 sowie eine unter einem Winkel von 45 zu den Hauptschwingungsrichtungen der Platte orientierte--- -Platte 37 Ul*d trifft dann als paralleles, aus zwei gegeneinander versetzten, rechts und links zirkulär polarisierten Teillichtbündeln bestehendes Gesamtlichtbündel auf den anzumessenden Maßstab 38 schräg auf. Der Hauptstrahl dieses schrägen Bündels ist genauso wie der Hauptstrahl des regulär am Meßgitter reflektierten Anteils in einer Ebene enthalten, die die Gitterstrichrichtung und die optische Achse des Hohlspiegellinsensystems enthält. Der Maßstab besteht aus einem verspiegelten Träger, in den ein Mäanderprofil mit einer Höhe von -f- eingearbeitet ist.
Neben dom wegen der Λ -Gangunterschiedsbedingung theoretisch nicht entstehenden regulär reflektierten Lichtbündel entstehen an Maßstab durch die Gitterwirkung gebeugte und daher gegen die oben genannte Ebene geneigt· parallels Lichtbündel. Bei einer Stufenhöhe von Λ löschen eich durch Interferenz die beiden von Gittergrund und von den Gitterhöhen regulär reflektierten Lichtanteile aus. Die geneigten Lichtbündel durchlaufen die Bauteile 37 bis 35 rückwärts und werden dabei nach Rückverwandlung in linear polarisierte· Licht mit gegenüber dem ersten Durchgang um 90 gedrehter Sohwingungsrichtung noch weiter aufgespalten. Sie erzeugen als konvergente LiohtbUndel auf der Spiegeloberfläohe al· Beugungsbilder höherer Ordnung Bilder des Eintritteepaltee, die, falls
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das Balken-zu-Lückenverhältnis des Gitters 1:1 ist, nur in den geraden BeugungsOrdnungen Intensität aufweisen. Eventuelle Abweichungen der Stufenhöhe oder des Balken-mu-Lückenverhältnisses des Gitters lassen sich durch Verhinderung der Reflexion am Kugelsegmentspiegel an den Orten der geradzahligen Beugungsordnungen eliminieren. Die auf der Hohlspiegeloberfläche liegenden Beugungsbilder höherer Ordnung stellen selbst wieder kohärente Lichtquellen für eine weitere Gitterbilderzeugung und Reflexion am Maßstab dar.
Das dabei zum zweiten Mal zum Maßstab geführte Licht durchsetzt dabei die beim ersten Mal nicht benutzte Halbfläche der Linse 35 und wird beim Hin- und Rückgang an den doppelbrechenden Gliedern nochmals aufgespalten und in der Polarisationsrichtung umgekehrt. Nach der zweiten Reflexion am Maßstab verläßt das der nullten Ordnung zugeordnete Strahlenbündel die Abbildungsoptik durch den Spalt, der bereits als Eintrittsspalt diente, und zwar symmetrisch zum einfallenden Licht. Es durchläuft ein Umlenkprisma ^O sowie eine Feldlinse 41. Mittels eines nachgeschalteten polarisierten Teilers' kZ werden die den unterschiedlichen Polarisationsrichtungen zugehörigen Lichtanteile des Strahlenbündels voneinander getrennt und über Kollektorlinsen 43, kk zwei fotoelektrischen Empfängern U-5» ^6 zugeführt. Das Licht höherer BeugungsOrdnungen wird mit Hilfe des den Spalt umgebenden Spiegele 60 über eine Feldlinse k$t einen polarisierenden Teiler 50 sowie die Feldlinsen 51 » 52
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zwei fotoelektrischen Empfängern 53t 5^ zugeführt, deren Ausgangssignale dem in höheren BeugungsOrdnungen gebeugten Licht entsprechen und die gegeneinander entsprechend der Aufspaltung des Bauteiles 36 sowie der Gitterkonstante phasenverschoben sind.
Wird, weil man nach zwei Koordinaten messen will, als Maßstab ein Kreuzgitter verwendet, so wird das doppelbrechende Bauteil in die Anordnung derart eingefügt, daß seine Aufspaltrichtung der Richtung der Winkelhalbierenden der Gittermarkierungen entspricht. Darüber hinaus ist dafür zu sorgen, daß die Lichtverteilung in der Brennfläche des brechenden Gliedes zwei den Koordinatenrichtungen der Gitterteilung entsprechende, in ihrer Breite beschränkte Teilflächen aufweist. Diesen beiden Teilflächen entsprechen die Hauptbeleuchtungsrichtungen. TJm eine Trennung dieser Richtungen nach dem Durchlaufen des abbildenden Systems sicherzustellen, sind entsprechende optische Mittel vorgesehen. Es können hier beispielsweise unterschiedliche Frequenzen der Beleuchtungsintensität oder der Lichtfrequenz gewählt werden.
Xn Fig. 3 ist als Beispiel für das verwendete Kugelschalensegment das bei der Anordnung nach Fig. 2 verwendete Segment in Untersicht dargestellt. Das Segment besteht aus einer verspiegelten halbierten Kugelkappe, die auf der Innenseite verspiegelt ist. Auf dieser Verspiegelung erscheinen nach der ersten Reflexion nebeneinander liegend die Bilder nullter
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und höherer Ordnung. Die Teile des Spiegels, die von geradzahligen Bildanordnungen getroffen werden, sind geschwärzt. Natürlioh kann die Verspiegelung des Segmentes auch mehr oder weniger als die Hälfte der Fläche des Segmentes bedecken. Sie muß sich beispielsweise für die Messung nach zwei rechtwinkligen Koordinatenrichtungen über drei Quadranten erstrecken. Der Eintritts-Austrittsspalt im Planspiegel 6O ist dann kreuz- oder winkelförmig ausgebildet.
In allen beschriebenen Fällen kann zum Zwecke der geometrischen Trennung die Breite des Ein- Austrittsspaltes maximal ninht größer als der durch die Gitterkonstante gegebene Aufspaltungswinkel sein. Gitter mit großer Liniendichte erlauben daher besonders lichtstarke Anordnungen.
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Claims (1)

  1. A 1507/B 236I 18. Juli 1966
    Ansprüche
    1. Fotoelektrischer Schrittgeber mit mindestens einem Meßgitter, dessen jeweilige Lage mittels mindestens zwei fotoelektrischen Empfängern abgetastet wird, dadurch gekennzeichnet, daß bei Verwendung eines Phasengitters, dessen Gangunterschied vorzugsweise ■?- ist, das Gitter mittels einer Abbildungsoptik entweder auf ein zweites Phasengitter oder auf sich selbst abgebildet wird und daß die Lichtbündel nach der Beugung am zweiten Gitter bzw. nach der zweiten Beugung am Phasengitter nach BeugungsOrdnungen derart getrennt werden, daß in der Intensität gegenphasige BeugungsOrdnungen unterschiedlichen Strahlungsempfängern zugeführt werden, und daß zum Zwecke der geometrischen Trennbarkeit der Beugungsbilder die Lichtquellenbreite entsprechend der Gitterkonstante de* Meßgitters eingeschränkt ist.
    2. Fotoelektrischer Schrittgeber mit mindestens einem Meßgitter, dessen jeweilige Lage mittels zwei fotoelektrisch·!* Empfängern abgetastet wird, dadurch gekennzeichnet, daß bei Verwendung »ines Amplitudengitters dieses mittels einer nur zwei BeugungsOrdnungen zum Bildaufbau benutzenden Abbildungeoptik auf ein Phasengitter abgebildet wird und daß die Khh&±fltMfltM Lichtbündel nach der Beugung an Phasengitter naoh BeugungsOrdnungen derart getrennt werden, daß in der Intensität gegenphasige BeugungsOrdnungen unterschiedlichen Strahlungsempfängern zugeführt werden, und
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    daß zum Zwecke der geometrischen Trennbarkeit der Beugungsbilder die Lichtquelle entsprechend der Gitterkonstante des Meßgitters eingeschränkt ist.
    3. Fotoelektrischer Schrittgeber nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß in den abbildenden Strahlengang zusätzlich am Abbildungsort senkrecht zueinander polarisierte oder chromatisch aufgespaltene Bilder erzeugende Bauglieder (25,36) eingefügt sind und daß die nach Polarisationsrichtung oder Farbe unterschiedlichen Lichtflüsse getrennten fotoelektrischen Empfängern (22,22»,23,23 *j45,46,53 ι52O zugeführt werden.
    k. Fotoelektrischer Schrittgeber nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Gitter als Kreuzgitter ausgeführt sind, deren Kreuzungswinkel dem gewünschten Koordinatenwinkel entspricht, daß die Beleuchtungseinrichtung zwei den Koordinatenrichtungen entsprechende Hauptbeleuchtungsrichtungen aufweist und daß Mittel vorgesehen sind, welche die Lichtflüsse nach dem Durchlaufen des abbildenden Systems außer nach BeugungsOrdnungen sit Gegentaktintensitäten und Polarisation oder Farbe auch nach den den Koordinatenrichtungen zugeordneten Hauptbeleuchtungsrichtungen trennen und unterschiedlichen Strahlungsempfängern zuführen.
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    5. Fotoelektrischer Schrittgeber nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Trennung der den Hauptbeleuchtungsrichtungen zugeordneten Lichtflüsse mittels geometrischer Teiler erfolgt.
    6. Fotoelektrischer Schrittgeber nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Trennung der den Hauptbeleuchtungsrichtungen zugeordneten Lichtflüsse mittels physikalischer Teiler nach Polarisationsrichtung oder Farbe erfolgt.
    7. Fotoelektrischer Schrittgeber nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eines der Kreuzgitter als Amplituden-Phasen-Kreuzgitter ausgebildet ist, bei dem die Markierungen in der einen Richtung Phasenobjekte, in der anderen Richtung Äasplitudenobjekte sind.
    8. Fotoelektrischer Schrittgeber nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Markierungselemente des Kreuzgitters schachbrettartig angeordnet sind,
    9. Fotoelektx'ischer Schrittgeber nach einem der Ansprüche I, 3 casr 4S dadurch gekennzeichnet, daß die Abbildungsoptik aus einem Hohlspiegel bzw. einem Hohlspiegelsegment (33) in Kombination mit einem optisch brechenden Bauglied (35) besteht.
    iO, Fotoelektrischer Schrittgeber nach Anspruch 9» dadurch ge-
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    kennzeichnet, daß ein Reflexionsgitter (38) verwendet ist und daß der Hauptstrahl des beleuchtenden Lichtstrahles in das abbildende System schräg zur optischen Achse des Systems, schräg zur Bewegungsrichtung und schräg zur Strichrichtung des Gitters einfällt und nur eine Halbebene des zur Signalgewinnung genutzten Gitterfeldes durch dieses Licht beleuchtet wird.
    11. Fotoelektrischer Schrittgeber nach Anspruch 3 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufspaltrichtung des doppelbrechenden oder chromatisch wirksamen Baugliedes vorzugsweise parallel zur Winkelhalbierenden zwischen den Kreuzgittermarkierungen verläuft.
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US655162A US3482107A (en) 1966-07-26 1967-07-21 Photoelectric position sensing device comprising light diffracting phase gratings using polarizer beam splitters for sensing the time phase position of the gratings
GB34114/67A GB1191336A (en) 1966-07-26 1967-07-25 Improvements in or relating to Photoelectric Sensing Devices
JP42047699A JPS519300B1 (de) 1966-07-26 1967-07-26

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DE1548707B2 DE1548707B2 (de) 1971-08-12
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GB (1) GB1191336A (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5037206A (en) * 1988-07-27 1991-08-06 Horst Etzkorn Optical position transmitter having a movable code element with optical path difference generating structure which is greater than the coherence length of the source

Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL6801683A (de) * 1968-02-06 1969-08-08
US3582635A (en) * 1968-04-16 1971-06-01 Lockheed Aircraft Corp Optical correlation of electronic pulses
NL6811252A (de) * 1968-08-08 1970-02-10
NL157715B (nl) * 1968-12-05 1978-08-15 Philips Nv Inrichting voor het bepalen van de relatieve verplaatsing van een voorwerp met behulp van een met het voorwerp mechanisch star verbonden element.
NL6900491A (de) * 1969-01-11 1970-07-14
US3642375A (en) * 1969-10-02 1972-02-15 Sperry Rand Corp Optical combiner
DE2003492A1 (de) * 1970-01-27 1971-08-12 Leitz Ernst Gmbh Messverfahren fuer Schrittgeber zum Messen von Laengen oder Winkeln sowie Anordnungen zur Durchfuehrung dieses Messverfahrens
US3738753A (en) * 1970-09-21 1973-06-12 Holograf Corp Interferometer utilizing gratings to measure motion
GB1353470A (en) * 1970-10-19 1974-05-15 Post D Position measuring apparatus utilizing moire fringe multiplication
US3989378A (en) * 1971-09-06 1976-11-02 Knut Heitmann Method for no-contact measurement
DE2163200C2 (de) * 1971-12-20 1983-06-09 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Einrichtung zur berührungslosen Messung
US3972621A (en) * 1972-01-18 1976-08-03 Ernst Leitz G.M.B.H. Apparatus for stabilizing a line of sight
DE2209667C3 (de) * 1972-03-01 1980-09-04 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Einrichtung zur beruhrungslosen Messung
DE2237564C3 (de) * 1972-07-31 1981-02-05 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Verfahren zur berührungslosen optischen Messung von Bewegungsgrößen, wie Geschwindigkeiten und Verschiebestrecken und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
GB1443220A (en) * 1972-12-19 1976-07-21 Leitz Ernst Gmbh Photo-electric incremental transducer
DE2401475C2 (de) * 1974-01-12 1982-12-30 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Verfahren und Einrichtung zur Messung von relativen Bewegungsgrößen
US3865483A (en) * 1974-03-21 1975-02-11 Ibm Alignment illumination system
DE2451668A1 (de) * 1974-10-31 1976-05-06 Leitz Ernst Gmbh Anordnung zur geometrischen trennung von lichtfluessen in abbildungssystemen
US4112295A (en) * 1974-12-30 1978-09-05 Instytut Geodezji I Kartograffi Apparatus for direct measurement of displacements with a holographic scale
US4110042A (en) * 1975-04-24 1978-08-29 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh Method and apparatus for photoelectrically determining the position of at least one focal plane of an image
US4025197A (en) * 1975-08-11 1977-05-24 The Bendix Corporation Novel technique for spot position measurement
US4180704A (en) * 1978-06-28 1979-12-25 International Business Machines Corporation Detection circuit for a bi-directional, self-imaging grating detector
US4286871A (en) * 1980-08-11 1981-09-01 Keuffel & Esser Company Photogrammetric measuring system
DE3416864C2 (de) * 1984-05-08 1986-04-10 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Photoelektrische Meßeinrichtung
DE3417176C2 (de) * 1984-05-09 1986-07-31 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Photoelektrische Meßeinrichtung
GB8413955D0 (en) * 1984-05-31 1984-07-04 Pa Consulting Services Displacement measuring apparatus
US5048925A (en) * 1985-05-28 1991-09-17 Advanced Environmental Research Group Quasi volume diffracting structures
DE3541199C1 (de) * 1985-11-21 1987-06-25 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung
DE3543179A1 (de) * 1985-12-06 1987-06-11 Philips Patentverwaltung Optischer weg-sensor mit einem filter
US4699465A (en) * 1986-02-13 1987-10-13 Mcdonnell Douglas Corporation Laser diode array with phase correction
US4808807A (en) * 1986-12-04 1989-02-28 General Signal Corp. Optical focus sensor system
US4850673A (en) * 1987-11-23 1989-07-25 U. S. Philips Corporation Optical scanning apparatus which detects scanning spot focus error
EP0544020B1 (de) * 1991-11-23 1995-03-15 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Interferentielle Messeinrichtung
US6094306A (en) * 1993-04-13 2000-07-25 Anvik Corporation Energy efficient window
US6014845A (en) * 1993-05-24 2000-01-18 Anvik Corporation Energy-efficient solar shade system for skylights
DE9311472U1 (de) * 1993-07-31 1993-12-02 UCS-Industrieelektronik GmbH, 22880 Wedel Drehimpulsgeber mit Laserabtastung
US6480334B1 (en) * 1994-01-18 2002-11-12 Massachusetts Institute Of Technology Agile beam steering using phased-array-like elements
US7728974B2 (en) * 2007-02-07 2010-06-01 Cytopeia, Inc. Enhanced detection system and method
US8467054B2 (en) 2009-01-23 2013-06-18 University Of Washington Virtual core flow cytometry
WO2016112035A1 (en) 2015-01-08 2016-07-14 University Of Washington Systems and methods for immersion flow cytometry

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2849912A (en) * 1954-11-20 1958-09-02 Zeiss Carl Optical arrangement for determining the ratio of two light fluxes
US2986066A (en) * 1957-10-15 1961-05-30 Daystrom Inc Polarimetric apparatus
US3098186A (en) * 1958-06-11 1963-07-16 Ferranti Ltd Control apparatus for positioning an object
DE1136834B (de) * 1959-04-09 1962-09-20 Leitz Ernst Gmbh Vorrichtung zum Messen von Lageaenderungen
US2998746A (en) * 1959-10-13 1961-09-05 Gievers John George Angular measurement system
GB991710A (en) * 1961-01-04 1965-05-12 Philips Electronic Associated Improvements in or relating to devices for measuring displacements
DE1548703B2 (de) * 1966-07-16 1971-04-15 Ernst Leitz Gmbh, 6330 Wetzlar Fotoelektrischer schrittgeber fuer vierphasen signale

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5037206A (en) * 1988-07-27 1991-08-06 Horst Etzkorn Optical position transmitter having a movable code element with optical path difference generating structure which is greater than the coherence length of the source

Also Published As

Publication number Publication date
JPS519300B1 (de) 1976-03-25
DE1548707B2 (de) 1971-08-12
US3482107A (en) 1969-12-02
DE1548707C3 (de) 1979-02-15
CH489778A (de) 1970-04-30
GB1191336A (en) 1970-05-13

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