DE1541005A1 - Elektronenentladungsvorrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung befaßt sich mit Elektronenentladungsvorrichtungen und bezieht sich besonders, aber nicht ausschließlich, auf Klystrons.·

In einem Klystron werden die Elektronen von der Kathode zu einem Strahl fokussiert, der durch hintereinanderfolgende Kammern verlauft_fund von einer Sammelelektrode aufgefangen wird. Die lOkussiervorrichtungen sind gewöhnlüi elektromagnetisch, jedoch wird dadurch das Klystron schwer und unhandlich. Daher wurde vorgeschlagen, die elektromagnetischen Fokussiervorrichtungen gegen elektrostatische auszuwechseln. Dieser Vorschlag brachte jedoch Isolationsprobleme, die dadurch entstanden, daß zwisäien den Elektroden,die die elektrostatische Fokussierung bewirken, hohe Potentialunterschiede erforderlich sind. Das Isolationsproblem besteht zum Beispiel darin, die Fokussierelektroden

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in eine genaue isolierte Stellung zu den Wänden der Kammern zu bringen, wobei ein hoher Potentialunterschied zwischen der Fokussierelektrode und den Kananerwänden erforderlich ist. Es besteht ebenfalls für den Pail der Zuleitung zu solch einer Polussierelektrode. Diese Zuleitung kann von außen durch einen Metallteil des Mantels ragen, der das gleiche Potential wie die Kammerwände hat,und daher ist die Zuleitung ebenfalls zu isolieren.

Bei der Konstruktion des Kathodenstrahlerzeugers können sich ebenfalls Schwierigkeiten ergeben. In.einem Beispiel einer Kathodenstrahlerzeugerkonstruktion sind die Kathode, die Gitterelektrode und die Modulatorelektrode genau zueinander und genau zu einem Metallteil des Mantels befestigt und müssen gut gegeneinander isoliert sein.

Es hat sich herausgestellt, daß leitende Teilchen auf der Oberfläche des Isolators innerhalb des Mantels des Klystrons haften können und einen Nebenschluß über den Isolator hervorrufen.

Solch eine Ablagerung von Teilchen tritt besonders während des

ι auf Entgasungs- und Sinterungsvorganges', der bei der Herstellung der Röhre die letzte Phase bildet. Es hat sich ferner herausgestellt, daß ein Nebenschluß auch auf der isolierenden Oberfläche an der Außenseite des Klystrons auftreten kann.

Ähnliche Probleme können auch in anderen Elektronenentladungsvorrichtungen auftreten, die elektrostatische lOkussiervorrichtungen zur Bündelung der Elektronen einschließen, wobei die Elektronen als

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Strahl aufeinanderfolgende Energieumwandler passieren. Es ist daher das Ziel der Erfindung, die Schwierigkeiten "bei der Isolierung, die in solchen Torriohtungen in einer oder mehreren Arten auftreten, zu vermindern.

Das Ziel der Erfindung wird dadurch erreicht, daß die Fokussiervorrichtung wenigstens eine Fokussierelektrode mit einer Zentralöffnung für den Strahl und eine angrenzende leitende Oberfläche enthält, wobei die lOkussierelektrode durch einen Isolator befestigt ist, der an der Fokussierelektrode und an der leitenden Oberfläche anliegt und als Mäander ausgebildet ist, so daß auf der Oberfläche des Isolators kein direkter Weg von einem Berührungspunkt mit der Fokussierelektrode zu einem Berührungspunkt mit der leitenden Oberfläche besteht.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, daß die Fokussierelektrode und der Isolator in einer Ebene liegen und der Isolator mehrere Bögen in Zick-Zack-Form hat, und daß das Außenende jedes Bogens mit einem Fuß versehen ist, der eine kreisförmige Oberfläche besitzt, die an der inneren Kreisoberfläche eines leitenden Teiles des Mantels der Vorrichtung anliegt, und der wenigstens eine Oberfläche in Axialrichtung besitzt, die an einer leitenden Fläche der benachbarten Energieumwandler liegt.

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Eine andere Weiterbildung der Erfindung bewirkt, daß der fuß an jedem Bogen gegenüberliegende Flächen in Axialrichtung hat, die an den leitenden Flächen ssveier aufeinanderfolgender Energieumwandler anliegen, wobei die Fokussierelektrode von dem Isolator in einem Abstand zu den beiden Energieumwandlern gehalten ist, und daß der Isolator eine Zentralöffnung besitzt, in der die Fokuseierelektrode befestigt ist, wobei die Fokussierelektrode und der Isolator mit ineinandergreifenden Teilen versehen sind, derart, daß die Fokussierelektrode durch Drehung der Elektrode aus der Zentralöffnung abnehmbar ist.

/Vorzugsweise Bas Anlegen der Spannung an die Elektrode wird/dadurch

erreicht, daß die Fokussierelektrode mit einem Leiter versehen ist, der durch den leitenden Teil der Vorrichtung verläuft und von dem leitenden Teil durch einen Bistanzisolator getrennt ist, der mit einer oder mehreren innenliegenden Hohlräumen versehen ist, die in Richtung auf den Hantel geneigt sind, und daß der Mantel mit einem Kathodenstrahlerzeuger versehen ist, und ein Teil des Mantels ein Isolierstück enthält, an dem die Elektroden des Kathodenstrahlerzeugers befestigt sind, wobei das Isolieretück Wände hat, um den Nebenschlußweg auf der Oberfläche des Isolierstücke θ zwischen den entsprechenden Elektroden zu verlängern.

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Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung werden nachfolgend in einem Ausführungsbeispiel anhand von Zeichnungen näher erläutert. Dabei stellen dar:

Fig. 1 einen Längsschnitt durch ein Klystron gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung, ·

Fig. 2 einen Schnitt in der Ebene II/II der Fig. 1,

Fig. 3 einen Schnitt durch einen abgewandelten Abstandsisolator, der in einem Klystron benutzt werden kann,

Fig. 4 einen Schnitt durch den Elektronenstrahlerzeuger des in Fig. 1 dargestellten Klystrons,

Fig. 5 einen Schnitt durch ein anderes Ausführungsbeispiel eines Elektronstrahlerzeugers.

Das in Figur 1 dargestellte Klystron enthält einen Kathodenstrahlerzeuger 1 mit einer thermischen Kathode, vier Resonanzkammern 2, 3, 4 und 5 und eine Sammelelektrode 6, die in dieser Reihenfolge entlang der Achse des Klystrons angeordnet sind. Jede der Resonanzkammern wird.durch zwei transversale Kupferwände 7 und 8 und durch einen Teil des Kupfermantels 9 des Klystrons gebildet. Die Kupferwände 7 und 8 sind mit Laufzeitröhren to und 11 in der bekannten Art versehen und besitzen koaxiale Zentralöffnungen. Alle Resonanzkamaern besitzen

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Stempel 12, die zürn Abstimmen innerhalb der Kammern radial bewegt werden können. Die Resonanzkammer 2 ist äle Eingangskammer, und Hochfrequenzsignale werden über einen Eupplungsbügel 13 in die Kammer eingespeist. Die Resonanzkaamer 5, auf der anderen Seite, ist die Ausgangskamsaer und durch ein dielektrisches Fenster 15 mit einem Ausgangswellenleiter 14 verbunden.

Zwischen jedem Paar Resonanzkammern sind elektrostatische

" Fokussierelektroden 16,17 und 18 angebracht, um die Elektronen von dem Kathodenstrahlerzeuger 1 zu fokussieren und somit einen konzentrierten Axialstrahl zu erhalten, der durch die Resonanzkammern 2, 3t 4 und 5 läuft und schließlich von der Sammelelektrode 6 aufgefangen wird. Während des Betriebs des Klystrons liegt gegenüber den Kupferwänden 7 und 8 und dem Kupfermantel 9 an den Fokussierelektroden 16,17 und 18 eine relativ hohe Spannung an, wobei die Fokussierelektroden 16,17 und 18 mit den geöffneten Kupferwänden 7 und 8 konvergierende elektrostatische Linsen bilden. Jede der Fokussierelektroden. 16,17 und 18 wird dünn einen keramischen Isolator 19 in einem bestimmten Abstand zu den entsprechenden Kupferwänden 7 und 8 der beiden benachbarten Resonanzkammern gehalten. Jede Fokussierelektrode und der Isolator sind gleich konstruiert, so daß die folgende Beschreibung der Fokussierelektrode 17 und ihres entsprechenden Isolators für alle anderen anwendbar ist. Wie aus Fig. 1 und 2 hervorgeht, besitzt die Fokussierelektrode 17 eine Ebene vorn

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und ist mit eimer Zentralöffnung ausgestattet, durch, die der Strahl hindurchgeht. An beiden Selten der Fokuseierelektrode 17 sind in vier rechtwinklig zueinanderstehenden Stellungen Lippen 21 und 22 (in Pig. 2 gestrichelt dargestellt) angebracht. Dadurch/bilden die Lippen 21 und 22 vier gebogene Aussparungen.» die mit gleichen Winkeln rund um den Umfang der Fokussierelektrode 17 angeordnet sind, wobei das Winkelmaß jeder Aussparung weniger als 45° beträgt.

Der Isolator 19 hat eine Mittelöffnung, in der mit gleichen Winkelabständen vier Einigen 23 angeordnet sind,ergänzend zu den vier Aussparungen, die durch die lippen 21 und 22 gebildet werden. Die Abmessung der Fokussierelektrode 17 in Bezug auf die öffnung in dem Isolator 19 1st so, daß die Fokusslerelektrode 17 in axialer Richtung in die öffnung eingesetzt werden kann, wobei die umgebenden Aussparungen zwischen den Zungen 23 liegen. Die Fokussierelektrode 17 kann um annähernd 90° gedreht werden, so daß die Zungen 23 in die Aussparungen eingreifen und die Fokussierelektrode 17 gegen axiale Bewegung absichern. Die Fokussierelektrode 17 ist so in der Öffnung des Isolators 19 angebracht, daß eine konische BadiaXbohrung 51 in der FokusBierelektrode mit einer Radialbohrung 52 in dem Isolator 19 übereinstimmt. Die Zuleitung verläuft durch die Radialborhung 52 und durch eine angereihte Mantelbohrung 53 in dem Kupfermantel 9 und endet in einem Terahlufideckel 54· Die Zuleitung ist zwischen dem Isolator und dem Yerscnlufideckel 54 von einer Keramikhülse 55 umgeben,

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die eine Hülsenspitze 56 mit reduziertem Surohmesser besitzt, die in die Radialbohrung 52 in dem Isolator 19 hineinragt, um den Versehlußdeekel 54 gegen den Kupfermantel 9 zu isolieren, ist es an einem Ende eines Distanzisolators 57 befestigt, dessen anderes Ende an einem flanschartigen Metallansatz 58 befestigt ist. Der Metallansatz 58 ist an einen anderen flanschartigen Metallansatz 59 verschweißt, dessen Inneres Ende mit dem Kupfermantel 9 in der Kante der Mantelbohrung 53 rundherum verschweißt ist. Der Verschlußdeckel 54 und der flanschartige Mgtallansatz sind mittels eines Vielschritthartlötverfahrens an den Isolator befestigt. Dieses Verfahren ist z.B. in der brit. PS 8917o5 beschrieben.

Der Isolator 57 besitzt eine geriefte, zylindrische Form, und ist auf der Innenseite mit drei ringförmigen Auskehlungen versehen, die mit ihren Rändern in Richtung auf den Kupfermantel 9 weisen, wie aus Pig. 2 ersichtlich ist. Es hat sich herausgestellt, daß diese Konstruktion des Isolators die Gefahr von leitenden Partikeln verringert, die sich auf der Innenseite des Isolators befinden, und dadurch einen elektrischen Nebenschluß von dem Kupfermantel 9 zu dem Verschlußdeckel 54 bewirken.

Der Isolator 19, der die Fokussieiäektrode 17 hält, ist aus einem Stück hochwertiger Keramik hergestellt, und der mit der öffnung versehene Mittelteil hat drei Bögen 33, die in Form eines Zick-Zacks oder Mäanders ausgebildet sind. Das Außenende eines jeden Bogens 33 ist erweitert und bildet einen Fuß34* der, in axialer Richtung gemessen, stärker ist als der Rest des

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Isolators 19. Nachdem der Keramikisolator gebrannt worden ist, werden die Umfangs- und die Seitenflächen der Füße 34 "bezüglich der Mittelöffnung des Isolators 19 und den Zungen 23 genau zugeschliffen. Die Seitenflächen der Füße 34 liegen an den Kupferwänden 7 und 8 der angrenzenden Resonanzkammern an, während die Ümfangsflache der Füße 34 an der Innenfläche des Kupfermantels 9 anliegt. Dadurch ist die Stellung der Fokussierelektrode genau bestimmt. Ferner gibt es, wie aus Fig. 1 und 2 ersichtlich ist, keinen direkten Weg auf der Oberfläche des Isolators 19 von der Fokussieaä-ektrode 17 zu einer der angrenzenden Kupferwände 7 und 8 oder dem Kupfermantel 9. Jeder Pfad auf der Oberfläche des Isolators 19 ist relativ lang, verglichen mit dem kürzesten Abstand von einem Berührungspunkt mit der Fokussierelektrode 17 und einem Berührungspunkt mit den leitenden Flächen der Kupferwände 7 und und des Kupfermantels 9. Diese Eigenschaft dient dazu, die Gefahr zu verringern, daß das Klystron durch Leitendwerden der Oberfläche des Isolators unwirksam wird. Andere Mäanderformen des Isolators 17 können ein ähnliches Ergebnis erzielen wie die dargestellten Zickzackmä-ander. ■ .

Der Isolator 57 kann auch eine andere Form haben als die in Fig. 2 dargestellte, und die Hohlräume 6o können eine abweichende Form aufweisen, so daß sie in Richtung auf den Mantel der Röhre weisen. Ferner kann die Anzahl der Hohlräume 6ο τοη der dargestellten abweichen, und bei dem in Fig. 3 dargestellten Isolator ist die Anzahl der Hohlräume 6ο auf neun angewachsen. Figur 4 zeigt den

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Aufbau des Kathodenstrahlerzeugers 1 des in der Fig. 1 dargestellten Klystrons. Ein Keramikbecher 71 , der eine Kopfwand des Mantels 9 bildet, trägt eine Kathode 72 mittels eines Flansches 73. Die Kathode 72 wird durch einen Strahler 74 aufgeheizt, der mit einer Anschlußschraube 75 verbunden ist, die durch den Keramikbecher 71 ragt. Die Kathode 72 ist von einer tubusförmigen Gitterelektrode 76 umgeben, die einen nach außen gerichteten ringförmigen Plansch zur Befestigung an der Bodenfläche des Keramikbechers 71 besitzt. Die Kathode 72 und die Gitterelektrode 76 sind mit einer öffnung versehen, durch die ein leitungsdraht 78 hindurchragt, der den Strahler 74 mit der Anschlußschraube 75 verbindet. Die Elektronenemission von der Kathode 72 wird von einer Modulatorelektrode 79 geregelt, die mit einem Flansch 8o versehen ist und an dem Eeramikbecher 71 anliegt. Durch den Keramikbecher 71 ragt eine Anschlußsehraube 81, die ermöglicht, daß an die Modulatorelektrode 79 Spannung angelegt wird. Die äußerhalb des Mantels liegenden Teile der Anschlußschrauben 75 und 81 sind wie Keramik an Metalldichtungen ausgebildet, in die die Gewindebolzen der Anschlußschrauben eingeschraubt sind. Der Keramikbecher 71 ist an dem Xupfermantel 9 mittels eines Ringes 83 angebracht. Drei Flanschringe 84»85 und 86 aus Metall bilden die Vakuumdichtung zwischen dem Keramikbecher 71 und der Kupferwand 9, wobei der Flanschring 84 an der Kupferwand 9 befestigt ist, der Flanschring 86 an dem Eeramikbecher71. Der Flanschring 85, der an den Flansc&ringen 84 und

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angeschweißt ist, überbrückt den Spalt zwischen den Flanschringen 84 und 86. In FIg. 1 ist die Darstellung der Verbindung zwischen der Kupferwani. 9 und dem Kpramikbeoher 71 vereinfacht.

Der Eerafflücbecher 71 ist in Axialrichtung sySetrlseh und hat an seiner Innenfläche drei Ringwände 87, 88 und 89. Die Innenfläche des Eeramikbeehers 71» die durch die Ringwand 87 begrenzt wird» ist genau bearbeitet,um die Kathode 72 und die Gitterelektrode 76 genau einzurichten, da die Flansche, mit denen sie versehen sind, den gleichen Durchmesser haben wie der Innendurchmesser der Ringwand 87. Die Innenfläche des KBramikbechers zwischen den Bingwänden 88 und 89 ist ebenfalls genau bearbeitet und ermöglicht eine genaue Einrichtung der Modulierelektrode 79,da der Flansch 8o genau zwischen die Ringwände 88 und 89 eingepaßt ist. Die Außenseite des Keramikbechers 71 ist ebenfalls mit zwei Ringwänden 9o und 91 versehen. Die Ringwände an dem Keramikbecher 71 dienen sowohl zur Verlängerung des Hebenschlußpfades auf der Oberfläche des Keramikbechers zwischen den Elektroden und den mit ihnen verbundenen Anschlußschrauben^ls auch zur genauen Einrichtung äer Kathode 72, der (ritteri-ektrode 76 und der Modulierelektrode 79. Ferner schützen die Ringwände 9o und 91 an der Außenseite des Keramikbechers 71 die Änschlußschrauben75 und 81 gegen zufällige Beschädigungen.

Fig. 5 zeigt ein© Alternative zu der in Fig. 4 dargestellten Anordnung, die generell in Klystronen benutzt werden kann. Ähnlich

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zu der Ringwand an der Innenseite des Keramikbechere 7t wird die genaue Einrichtung der Modulatorelektrode 79 durch eine Durehgangssehraube 81 erreicht, die mit der Modulatorelektrode verbunden ist und von der in Pig. 5 nur eine dargestellt ist. In anderen Beziehungen ist die Anordnung der Pig. 5 mit der der Pig. 4 ähnlich, mit Ausnahme, daß die Hingwand 83 von der Kupferwand 7 ersetzt ist, die mit der Laufzeitröhre to der ersten Resonanzkammer versehen ist. Zwischen der Kupferwand 7 und dem Kupfermantel 9 befindet sich eine Vakuumdichtung, eine andere Vakuumdichtung befindet sich zwischen der Kupferwand 1o und dem Keramikbecher 7t.

Es ist ersichtlich, daß die wesentlichen Flächen des Keramikbechers 71 aufgrund der Symmetrie in axialer Richtung genau geschliffen werden können. Wenn man annimmt, daß die Plansche an der Gitterelektrode 76 und an der Modulatorelektrode 79 durch geeignete präzise Arbeltsgänge genau gearbeitet sind, so ist die genaue Montage des Kathodenstrahlerzeugers 1 verhältnismäßig einfach. Ferner ist der so hergestellte Kathodenstrahlerzeuger 1 stabil und nicht so leicht zu beschädigen.

Obwohl die Erfindung in Verbindung mit einem Klystron beschrieben wurde, ist sie auch für andere Hochleistungsröhren, z.B. für die sogenannten "Travelllng-wave-tubei anwendbar.

- Ansprüche -

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Claims (14)

4V Ansprüche

1. Elektronenentladungsvorrichtung mit einem Kathodenstrahlerzeuger mit Elektronenfokussier-yorrichtungen, die die Elektronen zu einem Strahl zusammengefaßt an Energieumwandlern vorbeiführen, und mit Elektronenauffangvorrichtungen, dadurch gekennzeichnet, daß die Fokussiervorrichtung wenigstens eine Fokussierelektrode (16,17 oder 18) mit einer Zentralöffnung für den Strahl und eine angrenzende leitende Oberfläche enthält, wobei die Fokussier- . elektrode (16,17 oder 18) durch einen Isolator (19) befestigt ist, der an der Fokussierelektrode (16, 17 oder 18) und an der leitenden Oberfläche anliegt und als Mäander ausgebildet ist, so daß auf der Oberfläche des Isolators (19) kein direkter Weg von einem Berührungspunkt mit der Fokussierelektrode (16,17 oder 18) zu einem Berührungspunkt mit der leitenden Oberfläche besteht.

2 / Elektronenentladungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Fokussierelektrode (16,17 oder 18) und der Isolator (19) in einer Ebene liegen und der Isolator (19) mehrere Bögen in Zick-Zack-Form hat*

3· Elektronenentladungsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Außenende jedes Bogens (33) mit einem Fuß (34) versehen ist, der eine kreisförmige Oberfläche besitzt, die an

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der inneren Kreisoberfläche eines leitenden Teiles des Mantels der Vorrichtung anliegt, und der wenigstens eine Oberfläche in Axialrichtung besitzt, die an einer leitenden Fläche der benachbarten Energieumwandler liegt.

4. ElektronenentladimgsYorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Fuß (34) «a federn Bogen (33) gegenüberliegende Flächen in Axialrichtung hat, die an den leitenden Flächen zweier aufeinanderfolgender Energieuiawandler anliegen, wobei die Fokussierelektrode (16,17 oder 18) Ton dem Isolator (SJ) in eine» Abstand zu den beiden Energieumwandlern gehalten 1st.

5· Elektronenentladiangsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Isolator(19) eine Zentralöffnung besitzt, in der die Fokussierelektrode (16, 17 oder 18) befestigt ist, wobei die Fokussierelektrode (16,17 oder 18) und der Isolator (19) mit ineinandergreifenden Teilen versehen sind, derart, daß die Fblnissierelektrode (16,17 oder 18) durch Drehung der Elektrode aus der Zentralöffnung abnehmbar ist.

6. Elektronenentladungsvorrichtung naü Anspruch 5, dadurch

/ sie gekennzeichnet» daß die Fokussierelektrpde, wenn/in der Arbeits-

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stellung befestigt Ist, gegen Drehung in der Zentralöffnung durch einen Leiter gesichert ist, der mit der Fokussierelektrode (16,17 oder 18) verbunden ist und durch den Isolator (19) verläuft.

7. Elektronenentladungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet« daß der Isolator (19) aus einem Stück Keramik besteht.

8. Elektronenentladungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Poktissierelektrode (16, 17 oder 18) mit einem Leiter versehen ist, der durch den leitenden Teil der Vorrichtung verläuft und von dem leitenden Teil durch einen Bistanzisolator (57) getrennt 1st, der mit einer oder mehreren innenliegenden Hohlräumen (6o) versehen ist, die in Richtung auf den Hantel (9) geneigt sind..

9. Elektronenentladungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet. daß der Hantel (9) mit einem Kathodenstrahlerzeuger (1) versehen ist, und ein Teil des Mantels (9) ein Isolierstück enthält, an dem die Elektroden des Kathodenstrahlerzeügers (1) befestigt sind, wobei das Isolier-

/vorstehende
stück'Wände hat, um den Hebenschlußweg auf der Oberfläche des Isolierstückes zwischen den entsprechenden Elektroden zu verlängern.

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10. Elektronenentladungsvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet. daß die Wände die Elektrodendes Kathodenstrahlerzeugers (1) genau einrichten.

11. Elektronenentladungsvorrichtung nach Anspruch 1 ο, dadurch gekennzeichnet, daß das Isolierstück mit mindestens zwei Ringwänden ausgebildet ist, die eine Rinne zwischen den Ringwänden bilden, in die eine Elektrode des Kathodenstrahlerzeugers (1) in Berührung mit den Ringwänden gelagert ist.

12» Elektronenentladungsvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß eine andere Elektrode des Kathodenstrahl» erzeugers (1) in der Vertiefung, die die innerste Ringwand (87) bildet, gelagert ist und die Ringwand (87) berührt.

13. Elektronenentladungsvorrichtung nach Anspruch 9 bis 12,

I vorstehende

dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine'Wand an der Außenseite des Isolierstückes gebildet ist und zwischen den Anschluß» schrauben (75 und 81) für die Elektroden des Kathodenstrahlerzeugers (1) gestellt ist.

14. Elektronenentladungsvorrichtung nach einem der Ansprüche

9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Isolierstück aus einem Stück Keramik in Form eines Keramikbechere (71) hergestellt ist.

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