DE1491385A1 - Magnetron with built-in magnetic pole pieces - Google Patents

Description

Anmelder:N.V. PHiLKS'GLODUIiPENFAERr^"^ "* -*"^^% * "Applicant: NV PHiLKS'GLODUIiPENFAERr ^ "^" * - * "^ ^% *"

Magnetron rait eingebauten magnetischen Polschuhen.Magnetron has built-in magnetic pole pieces.

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Die Erfindung besieht sich auf ein üagnetron mit eingebauten, im wesentlichen keglichen, durchbohrten PoI-schuhen, mit einem inneren itesonatorsystem, bei dem die Enden der Krtt:.n.1e sich big in diese Polpchuhe erstrecken.The invention relates to a üagnetron with built-in, essentially smooth, pierced PoI shoes, with an internal itesonator system, in which the ends der Krtt: .n.1e extend big into these pole shoes.

Die sich bis in die Pol3chuhe erstreckenden Enden der Kathode müeser. durch Leitung und Strahlung die Härme von der Kathode nbführen, die d )rt beim Schwingbetrieb durch >iuftreffende Elektronen entsteht.The ends of the cathode which extend into the pole shoes. Remove the heat from the cathode by conduction and radiation, which d) rt arises during oscillation operation by the impinging electrons.

Obwohl durch Eindringen *uf der Kathode und emissionsfeindliche Schichten auf den Kathodeteilen ausserhalb dieser Hinge die Emission der Kathode soviel wie möglich auf den zwischen dem üesonatorsystem im Anodenblock und der Kathode liegenden Teil beschränkt wird, treten infolge der Pore des elektrischer. Feldes UeberschlJiije zwischen den Enden der Pol schuhe und der Kathode auf. Dies ist insbesondere beim Ein-Drenaen der üöhre der Fall, aber auch später im Betrieb. Infolge dieser üeberechläge werden insbesondere .gröbere Teilchen von den Pol schuh« in Klchtung -uif das Resonator sy st em und die Kathode zerstäubt.Although through penetration on the cathode and anti-emission layers on the cathode parts outside As a result of this, the emission of the cathode is restricted as much as possible to the part lying between the resonator system in the anode block and the cathode, occur as a result of the pore of the electrical. Field overlap between the ends of the Pole shoes and the cathode on. This is particularly the case when drenging the tube, but also later during operation. As a result of these overlaps, coarser particles in particular are produced von den Pol Schuh ”in Klchtung -uif the resonator system and the Sputtered cathode.

Das auf die Kathode gelangende Eisen der Polschuh·The iron that reaches the cathode, the pole piece

verdampft teilweise wieder in Mchtung auf das Kesonntorsys-partially evaporates again in effect on the Kesonntorsystem-

"κ> ^em und kondensiert dort. Dies ist insbesondere der Fall, wenn"κ> ^ em and condenses there. This is especially the case when

ν* die Kathode aus einem porösen WolframkBrper mit iariu* al·ν * the cathode made of a porous tungsten body with iariu * al

*·" aktivierendem Material besteht. Solch· Kathoden weisen näalloh "^ eine höhere Betriebstemperatur als (Jbliche Oxydkathoden.au?^ die höchsten Temperaturen betrafen 135O⁰O. Dae über die Kathode in die Henon.ttiren gelangende und <3ort Aonieneierende Eisen* · "Activating material. Such · cathode have näalloh" the highest temperatures concerned 135o ⁰ O. Dae on the cathode in the Henon.ttiren reaching and <3ort Aonieneierende iron ^ a higher operating temperature than (Jbliche Oxydkathoden.au?^

BAD ORIGINALBATH ORIGINAL

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PH.16.634PH.16.634

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verringert in erheblichem Masse deren Gütefaktor, wodurch dl· Schwingbedingungen des Magnetrone verschlechtert werden. Di· gröberen Eiaenteilchen, die unmittelbar indi· üeeonatoren gelangen, können im wesentlichen zu Kurzschlüssen führen.reduced to a considerable extent their merit, which dl · oscillating conditions of the magnetrons are deteriorated. The coarser egg particles that get directly into the inductor can essentially lead to short circuits.

Es ist bereite "bekannt, zur Verbesserung der Vakuumdichtigkeit der Polschuhe letztere mit. einer gesinterten Schicht riUB Kupfer, gegebenenfalls in Kombination mit Nickel, zu aberziehen. Das Kupfer dampft aber schnell ab, so dass wieder eine Verringerung des Gütefaktors der Hohlräume durch ^! Nickel oder Eisen auftritt. jIt is ready for "known to improve vacuum integrity of the pole pieces latter with. A sintered layer riUB copper, optionally in combination with nickel to but draw. However, the copper is evaporated off rapidly, so that again a reduction of the quality factor of the cavities ^by! Nickel or Iron occurs. J

Die Erfindung zielt darauf ab, eine verbesHert·· ', 3au>irt zu schaffen, ιThe invention aims to create an improved ·· ', 3au> irt, ι

In einem Magnetron mit eingebauten, la wesentli- \ chen keglichen, durchbohrten Polschuhen und einem inneren Heaonatorsyatem, bei dem die Enden der Kathode sich bis in dies· Polsohuhe erstrecken, besteht nach der Erfindung die OberfläcJ« deg der Kathode zugekehrten Bandeβ der Polechuhe aus einem hochfichmelzenden, gut leitenden Metall mit einer Dicke von eindestens einigen Zehnteln von Mllxlnetern. Nach der ErfindungIn a magnetron having built-la essential \ chen keglichen pierced pole pieces and an inner Heaonatorsyatem, wherein the ends of the cathode, up to this · Polsohuhe extend, there is according to the invention, the OberfläcJ "° of the cathode facing Bandeβ the Polechuhe from a hochfichmelzenden, highly conductive metal having a thickness of a least a few tenths of Mllxlnetern. According to the invention

to ist das Metall vorzugsweise Molybdän, aber auch Platin und to the metal is preferably molybdenum, but also platinum and

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<° Volfrhin erffillen die nach der Erfindung gestellten Anfordere»*» <° Fully meet the requirements made according to the invention »*»

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£? en. Davei kann der Rand des Polachuhee mit einer Kolybdän*«- r. -ö schicht überzogen sein, die durch falzen einer Folie oder ό durch Sinterung oder durch Auf sprit »en einer Schicht nach d·^'.. Schoonachen Verfahren auf den profilierten Hand erhalten *lr4t, auch kann der Polschuh mit einem verhSltniseaesig starken ^:;;*£? en. The edge of the Polachuhee can be removed with a colybdenum * «- r. -o be coated layer formed by folding a sheet or ό by sintering or by on sprit »s of a layer according to d · ^ '.. Schoon Achen method on the profiled hand obtained * lr4t, and the pole piece can with a verhSltniseaesig ^strong:; ; *

feetgelötetpn Metallring versehen sein, der das -erwünscht· ~ Profil aufweist.feet soldered metal ring, which -desires-~ Has profile.

Infolge der hohen Schmelztemperatur des Polechuh-Due to the high melting temperature of the Polechuh-

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rand«β naoh der Erfindung wird die Zerstäubung verringert und ▼erdeepft das auf dl· Kathode gestäubte Material auch nichtrand «β near the invention, the atomization is reduced and ▼ also does not soil the material dusted on the cathode

wird nachstehend anHand beill«*)nd«r tilohnuag nShtr erläutert, in denwill be referred to in the following by hand tilohnuag nShtr explains in the

PIg. 1 »inen teilweisen Schnitt durch die Kathoden. •oh·· »in·· IU|n*trone nach der Erfindung darstellt, undPIg. 1 »a partial section through the cathodes. • represents oh ·· »in ·· IU | n * trone according to the invention, and

FIf.2 einen Schnitt durch einen Polschuh nach einer anderen Aueführung«form zeigt.FIf.2 shows a section through a pole piece another version «form shows.

In PIg.1 bezeichnet 1 dl« kupferne Auaeenwund •In«· Ki^netrons, dessen An öden segment e mit 2 bezeichnet amd. Kupfern· Begrenzung·» der Endräume sind mit 3 urni die eisernen alt 4 bezeichnet. Innerhalb der Polsohihe befindet · die Kathode,.dl· uuc eine« zentralen Kolybdänkbrper 5,^r In PIg.1 1 dl «copper Auaeenwund • In« · Ki ^ netrons, whose anode segment e denotes with 2 amd. Copper · delimitation · »of the end spaces are marked with 3 urni the iron old 4. The cathode is located within the pole row, a central colybdenum body 5, ^r

^ In dessen Kitt· ein mit Bariuealuninnt porO««r Wolfraakörper 7 ein^eschlo^ee« 1st. lter iet alt Endringen 8 versehen, die. wie die sich bin zwleoh«n dl· Polschuh· · ret reckenden Teile des KolyMänkttrpers 5,< > 94t «in«r gesinterten Ztrkaneohicht 9 ttb«r7-0£«n eind. Die g^ In its putty a with bariuealuninnt porO «« r wolf body 7 a closed one. older iet old end rings 8 provided, the. like they are myself dl · pole shoe · · ret stretching parts of the KolyMänkttrpers 5, < > 94t "in" r sintered Ztrkaneohicht 9 ttb "r7-0 £" n. The g iinttrt· ZirkonechiCht 9 hat kwel funktionen; thermisoh»iinttrt · ZirkonechiCht 9 has many functions; thermisoh »

Φ «lon zu verhindern und 41« VSraeabstrahlung der Kathodene«dttA Φ «lon to prevent and 41« VSra radiation of the cathodes «dttA

M 'M '

Φ su verbessern. Die der Kathode zugekehrten Teile der Spitzem O der Polschuhe 4 und die Tnnenaeite der Bohrung sind mit eine« at . ' Φ su improve. The parts of the tips O of the pole shoes 4 facing the cathode and the inner side of the bore are marked with an . '

J^ aufgewalzten Kolybdänrohr 10 mit einer Stärke von C,J am ver* ••hen. Das liolybdän ist ^egen den Einfluss von 'Jebereohlis«»* die von der Kathode in Hiohtur.g uuf di« Polschuhe ;±uftreten₄ erheblich beatäiüHg-er .ils das Einen der Poiachuhe selbst. In Pig*? ,oezeiohnet 11 einen eisernen PolschuhJ ^ rolled-on Kolybdenum tube 10 with a thickness of C, J am ver * •• hen. The liolybdenum, due to the influence of 'Jebereohlis''* that of the cathode in Hiohtur.g uuf the' pole shoes; occur ₄ considerably beatäiüHg-er .ils the one of the Poiachuhe itself. In Pig *? , oezeiohnet 11 an iron pole piece

OFUÖINALOFUÖINAL

PH.iS.634PH.iS.634

f 14913*5f 14913 * 5

Λ-Λ-

mit einem liolybdänrand 12. Das Molybdän wird in Form ein·« flachen Binges auf dem noch nicht völlig auf Aase Polschuh feetgeltttet und das Gänse durch Abdrehen auf 6*· gewüifeohte Profil gebracht·. with a liolybdänrand 12. The molybdenum is a · "flat binges not feetgeltttet in the form on the completely on Aase pole piece and the geese brought on by twisting 6 * · Profile · gewüifeohte.

909820/0527909820/0527

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Claims (4)

.1S.634.1p.634 -5--5- m -m - Patentansprüche;Claims; (j/ Kasnetron mit eingebauten, in wesentlichen kegliohen durchbohrten Pol schuhen iindt eine* Inneren Hesonatorsysteai bei dem die Enden der Kathode sich bis in die Polschuhe erstrecken, dadurch gekennzeichnet* dasd wenigstens die Ober(j / Kasnetron with built-in pole pieces with essentially conical piercings, forms an internal Hesonatorysteai in which the ends of the cathode extend into the pole shoes, characterized by at least the upper fläche des der Kathode zugekehrten it&ndea der Polsohuhe aus einem hochschmelzenden, ijut leitenden Ketall mit einer Dicke '. von mindestens einigen Zehnteln KlUlmetern besteht.surface of the cathode facing it - ndea of the polo shoe a refractory, ijut conductive ketal with a thickness'. consists of at least a few tenths of a liter. 2. Hohlraunma«3Qetron naoh, Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass dae gut leitend·, hoahecheelsende Kete.ll Kolybdan, Wolfram oder Platin igt«'2. Hohlraunma «3Qetron naoh , claim 1, characterized in that the good conductive ·, high-quality Kete.ll Kolybdenum, tungsten or platinum igt« ' 3. Hohlraumma^etron naeh Anepruoh 1 oder 2, dadurch. gekennzeichnet, dass das hochs«h»eli«nde_f gut leitende Metall ' in Form einer auf gesinterten JMtZ¹IIaOiIdMi Sohoopsohen Verfahren aufgespritzten Schioht öder ein·?' «ufgswalsten* Folie .' angebracht ist. " , -'3. Hohlraumma ^ etron after Anepruoh 1 or 2, thereby. in that the highs "h" eli 'hands _f highly conductive metal' in the form of a sprayed-on sintered JMtZ ¹ IIaOiIdMi Sohoopsohen method Schioht barren a ·? ' «Ufgswalsten * foil. ' is appropriate. ", - ' 4. Holtlrau&B&gnetron naoh Anepruoh 1 oder 2, dadurah ' gekennzeichnet, dass das hochscilieltende Ketall die Form ein«* festgelöteten profilierten Rim*·* hä%· '" ' ' ' \ \ ' ' $jä 4. Holtlrau & B & gnetron naoh Anepruoh 1 or 2, dadurah 'marked that the high-profile ketal has the shape of a «* firmly soldered profiled rim * · * hä% ·'"'''\\''$ yeah BAD ORJGINALBAD ORJGINAL