DE1446262B2

DE1446262B2 - Hochvakuum bedampfungsanlage

Info

Publication number: DE1446262B2
Application number: DE19601446262
Authority: DE
Inventors: Der Anmelder Ist
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1960-12-10
Filing date: 1960-12-10
Publication date: 1971-02-25
Also published as: DE1446262A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Hochvakuum- - Gegenstände, aus Holz, Glas, Metall oder Kunststoff, Bedampfungsanlage zum Aufdampfen- von metalli- bestehend aus zwei durch Leitungen miteinander verschen Überzügen auf Gegenstände aus Holz, Glas, bundenen und getrennt evakuierbaren Kesseln, und Metall oder Kunststoff. Metallisierungsanlagen der zeichnet sich dadurch aus, daß zwei gleich ' große genannten Art sind an sich bekannt. So wird z. B. 5 Kessel vorgesehen sind, von denen einer volumenein Kessel mit den erforderlichen Bedampfungsein- mäßig durch eine Reihe von kleinen Kesseln ersetzt richtungen versehen, die aus Heizelementen bestehen, sein kann und die Kessel wahlweise einzeln oder welche durch sogenannte Schiffchen od. dgl. das gemeinsam über mit Ventilen versehenen Verbin-Metall, beispielsweise Rein-Aluminium verdampfen, dungsleitungen durch je eine Vor- und Hochvakuumweiches sich dann auf den zu verdampfenden Gegen- io pumpe evakuierbar angeordnet sind. Es stehen also ständen beliebiger Art, Folie od. dgl., in Form eines ,- erfindungsgemäß /zwei Hochvakuumkessel' miteindünnen Metallbelages niederschlägt. ■ - 'ander in^: Verbindung, die sowohl wahlweise wie

Eine derartige Anlage bestand bisher aus einem gemeinsam mit einer Vorpumpe, wie mit einer Pumpenaggregat für einen Kessel mit den vor- Diffusionspumpe, über Ventile verbunden' werden erwähnten Bedampfungseinrichtungen. Der weitaus 15 können. Eine Leitung führt vom Oberteil der Diffugrößte Teil der Herstellungskosten dieser Anlage sionspumpe zu dem ersten Kessel, und auf die gegenwird von dem Pumpenaggregat bestritten. Für Stück- überliegende Seite führt eine Verbindungsleitung zu oder Bandbedampfung ist jedesmal eine. besonder^ dem zweiten Kessel. Zweckmäßigerweise sind diese Pumpenanlage notwendig. Diese verteuert die Ein- beiden Kessel gleich groß, damit ein Arbeiten unter richtung wesentlich. 20 gleichartigen Bedingungen gewährleistet ist.

Für den erwähnten Zweck sind bereits Anlagen Der zweite Kessel kann aber auch in verschiedene

zum kontinuierlichen Behandeln, z. B. Imprägnieren kleinere Kessel .unterteilt werden, was dann vorteil- oder Bedampfen von bandförmigem Material im haft ist, wenn viele' und zum Teil kleinere Teile Vakuum bekanntgeworden, welche durch baustein- metallisiert werden sollen, bei denen das Einbringen artig zusammensetzbare, jeweils einer bestimmten 25 in die Halterung etwas zeitraubend ist.
Einzelbehandlung oder Behandlungsstufe zugeord- Die Arbeitsweise;-der-Anlage kann nun ) darin

nete, unter Abdichtung miteinander kuppelbare bestehen, daß zur Erzielung.eines Druckausgleiches Anlagenteile oder Kessel arbeiten. Dabei sind die zwischen den beiden Kesseln der eine, der beispielseinzelnen Anlagenteile, z. B. mittels der entsprechend weise unter Hochvakuum steht, den zweiten Kessel, ausgebildeten Kupplungen, gegeneinander justierbar. 30 der noch unter Atmosphärendruck steht,.. durch Das besondere bei solchen Anlagen der bekannten Ventilschaltung ohne Betätigung der Pumpenanlage Art wird darin gesehen, daß die Dichtungen zwischen"" auf ein Vorvakuüm bringt. Dieser Druckausgleich den Anlagenteilen, z. B. zwischen den Schüssen eines,,-,;; erfolgt, in kürzester Zeit, worauf dann das Ventil die-Kessels und gegen den äußeren Haum, z. B. die freie ser Verbindungsleitungen geschlossen wird. Gleich- , Atmosphäre, jeweils an den Mantelflächen der 35 zeitig beginnt die Pumpenanlage zu arbeiten und j Kesselschüsse vorgesehen sind. saugt die Luft aus dem zweiten Kesselsystem und ;

Trotz der für alle Anlagenteile gegebenen Möglich- beginnt also dort ein Hochvakuum zu erzeugen.. j

keit einer Parallelschaltung von Vakuumvor- und In" der Zwischenzeit "kann die erste Kesselanlage !

Hauptpumpe handelt es sich hierbei lediglich um ein geöffnet, entleert und neu .mit zu metallisierenden ; Gesamtgefäß, welches bei einem durchaus gegebenen 40 Gegenständen bestückt werden. Nach erfolgter Ausfall des einen Anlageteiles in der Gesamtheit nicht. ,. Füllung des ersten Kesseln wird dieser geschlossen, mehr funktionsfähig ist. .-— "'^λ:'''^! und nach Abschluß des Metällisierungsvorgangs im

Bei einer weiteren bekannten. Einrichtung zum zweiten Kessel wird in umgekehrter Reihenfolge ver-Evakuieren einer größeren Anzahl von Gefäßen mit- fahren.

tels derselben Vakuumpumpe, wobei in etwa gleichem 45 Neben dem wirtschaftlichen Vorteil, daß nur die Zeitmaß fertiggepumpte und abgeschlossene Gefäße Anschaffungskosten für eine Pumpenanlage erfordernacheinander entnommen und ebenso viele neue lieh sind, ergibt sich ein wesentlicher Zeitgewinn für ! Gefäße angeschlossen werden, arbeitet man in der die Erzeugung des Vakuums. Dadurch ist es in vielen Weise, daß eine Vakuumpumpe so hoher Saug-ι.·_: ^: 1.Fällen möglich,;reine.Verdoppelung der Proiduktion , geschwindigkeit verwendet wird, die in der Zeit vom 50 zu erzielen.

Anschließen eines neuen Gefäßes bis zur Abnahme Ein weiterer Vorteil ist dadurch gegeben, daß die

des nächsten fertigen Gefäßes wieder das gewünschte beiden getrennten Kesselsysteme für zwei verschie-Endvakuum- erreicht. Dabei ist je ein Vakuum- denartige'Metallisier ungsvorgänge "ausgenützt wersammelraum für Vor- und Hochvakuum vorgesehen^ , den. Es, kann.,beispielsweise...der erste Kessel für und die zu evakuierenden Gefäßesind mittels jedem' '55- Stückbedämpfüng und der zweite Kessel für'Bandvon ihnen zugeordneten Ventilen wahlweise an den bedampfung eingesetzt-werden, was bisher mit einer einen oder anderen Sammelraum anschließbar. Aller- Pumpenanlage nicht mögßch.war.
dings ist ein solches Gerät lediglich dazu bestimmt, ^Einzelheiten; der_::Erfindung süid an Hand eines eine größere Anzahl von kleineren Gefäßen, wie bevorzugten Äusführungsbeispieles in der Zeichnung Glühlampen, Radioröhren od. dgl., mittels derselben 60 und in der nachfolgenden Beschreibung näher erVakuumpumpe zu evakuieren. Solche Lampen bzw. läutert, wobei der Gegenstand der Erfindung nicht Röhren werden bekanntlich nach dem Evakuieren ver- auf das dargestellte Beispiel beschränkt ist. Es zeigt schlossen, so daß eine Mehrzweckanwendung eines Fig. 1 eine Anlage mit zwei gleich großen Kesseln

erreichten Vakuums, etwa des Vorvakuums, mittels und
Druckausgleichs von vornherein ausscheidet. 65 F i g. 2 eine Anlage, bei welcher der eine der

Der Gegenstand der vorliegenden Erfindung be- Kessel durch eine Reihe kleinerer Kessel ersetzt ist. trifft daher eine Hochvakuum-Bedampfungsanlage Mit 1 und 2 sind die beiden korrespondierenden

zum Aufdampfen von metallischen Überzügen auf Kessel der Pumpenanlage bezeichnet, die an einer

Vorpumpe (Rotationspumpe) liegen, die von einem Motor 8 angetrieben und in einer ersten Stufe durch eine Haltepumpe 9 ergänzt wird. Weiter hängen die Kessel 1 und 2 an einer gemeinsamen Hauptpumpe (Diffusionspumpe) 5, die durch einen Leitungsstrang mit der Vorpumpe 6 über ein Ventil 19 verbunden sind.

In gleicher Weise liegen Ventile 19 in den Leitungen, welche die Vorpumpe und die Hauptpumpe mit den Kesseln verbinden. Mit 3 und 4 sind Transformatorenwagen, mit 11,12 und 13 Beschickungswagen bezeichnet. Für die Gesamtanlage ist ein kombinierter Schaltschrank 7 vorgesehen. Die Anlage arbeitet, wie durch die strichpunktierten Linien (Vorpumpen) und die gestrichelte Linie (Feinpumpen) dargestellt ist. Das Vorpumpen wird durch Schließung des Ventils 19 in dem Leitungsstrang nach der Diffusionspumpe bewerkstelligt. Ist der Vorgang des Vorpumpes beendet, werden sämtliche Ventile um die Leitungskreuzung geschlossen und die großen Ventile 19 in der Leitungsführung der Diffusionspumpe geöffnet. Das Feinpumpen kann damit beginnen.

Soll nur ein Kessel, beispielsweise der Kessel 1, auf Hochvakuum gebracht werden, schließt man nacheinander unter Öffnung der rechten Ventile 19 erst die Vorpumpe und dann die Feinpumpe an diesen Kessel an. Steht der Kessel 2 unter Atmosphärendruck und soll in diesem Kessel ein Vorvakuum erzeugt werden, so läßt sich das dadurch erreichen, daß man die durchgehende Leitung mit ihren beiden Ventilen 19 öffnet und einen Druckausgleich zwischen dem Atmosphärendruck des Kessels 2 und dem Hochvakuum des Kessels 1 herbeiführt.

In F i g. 2 ist der Kessel 2 der F i g. 1 durch eine Reihe kleinerer Kessel 14,15,16 und 17 ersetzt. Diese kleineren Kessel stehen durch eine Verteilerleitung 18 mit der Vorpumpe 6 und der Feinpumpe 5 in Verbindung. Die Funktion, welche mit dieser Anordnung durchgeführt wird, entspricht genau dem an Hand der Fig. 1 der Zeichnung geschilderten Vorgang.

Claims

Patentanspruch:

Hochvakuum-Bedampfungsanlage zum Aufdampfen von metallischen Überzügen auf Gegenstände aus Holz, Glas, Metall oder Kunststoff, bestehend aus zwei durch Leitungen miteinander verbundenen und getrennt evakuierbaren Kesseln, dadurch gekennzeichnet, daß zwei gleich große Kessel (1, 2) vorgesehen sind, von denen einer volumenmäßig durch eine Reihe von kleinen Kesseln (14,15,16 und 17) ersetzt sein kann und die Kessel wahlweise einzeln oder gemeinsam über mit Ventilen (19) versehenen Verbindungsleitungen durch je eine Vor- und Hochvakuumpumpe (5, 6) evakuierbar angeordnet sind.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen