DE1446262B2 - Hochvakuum bedampfungsanlage - Google Patents
Hochvakuum bedampfungsanlageInfo
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Hochvakuum- - Gegenstände, aus Holz, Glas, Metall oder Kunststoff,
Bedampfungsanlage zum Aufdampfen- von metalli- bestehend aus zwei durch Leitungen miteinander verschen
Überzügen auf Gegenstände aus Holz, Glas, bundenen und getrennt evakuierbaren Kesseln, und
Metall oder Kunststoff. Metallisierungsanlagen der zeichnet sich dadurch aus, daß zwei gleich ' große
genannten Art sind an sich bekannt. So wird z. B. 5 Kessel vorgesehen sind, von denen einer volumenein
Kessel mit den erforderlichen Bedampfungsein- mäßig durch eine Reihe von kleinen Kesseln ersetzt
richtungen versehen, die aus Heizelementen bestehen, sein kann und die Kessel wahlweise einzeln oder
welche durch sogenannte Schiffchen od. dgl. das gemeinsam über mit Ventilen versehenen Verbin-Metall,
beispielsweise Rein-Aluminium verdampfen, dungsleitungen durch je eine Vor- und Hochvakuumweiches sich dann auf den zu verdampfenden Gegen- io pumpe evakuierbar angeordnet sind. Es stehen also
ständen beliebiger Art, Folie od. dgl., in Form eines ,- erfindungsgemäß /zwei Hochvakuumkessel' miteindünnen
Metallbelages niederschlägt. ■ - 'ander in: Verbindung, die sowohl wahlweise wie
Eine derartige Anlage bestand bisher aus einem gemeinsam mit einer Vorpumpe, wie mit einer
Pumpenaggregat für einen Kessel mit den vor- Diffusionspumpe, über Ventile verbunden' werden
erwähnten Bedampfungseinrichtungen. Der weitaus 15 können. Eine Leitung führt vom Oberteil der Diffugrößte
Teil der Herstellungskosten dieser Anlage sionspumpe zu dem ersten Kessel, und auf die gegenwird
von dem Pumpenaggregat bestritten. Für Stück- überliegende Seite führt eine Verbindungsleitung zu
oder Bandbedampfung ist jedesmal eine. besonder^ dem zweiten Kessel. Zweckmäßigerweise sind diese
Pumpenanlage notwendig. Diese verteuert die Ein- beiden Kessel gleich groß, damit ein Arbeiten unter
richtung wesentlich. 20 gleichartigen Bedingungen gewährleistet ist.
Für den erwähnten Zweck sind bereits Anlagen Der zweite Kessel kann aber auch in verschiedene
zum kontinuierlichen Behandeln, z. B. Imprägnieren kleinere Kessel .unterteilt werden, was dann vorteil-
oder Bedampfen von bandförmigem Material im haft ist, wenn viele' und zum Teil kleinere Teile
Vakuum bekanntgeworden, welche durch baustein- metallisiert werden sollen, bei denen das Einbringen
artig zusammensetzbare, jeweils einer bestimmten 25 in die Halterung etwas zeitraubend ist.
Einzelbehandlung oder Behandlungsstufe zugeord- Die Arbeitsweise;-der-Anlage kann nun ) darin
Einzelbehandlung oder Behandlungsstufe zugeord- Die Arbeitsweise;-der-Anlage kann nun ) darin
nete, unter Abdichtung miteinander kuppelbare bestehen, daß zur Erzielung.eines Druckausgleiches
Anlagenteile oder Kessel arbeiten. Dabei sind die zwischen den beiden Kesseln der eine, der beispielseinzelnen
Anlagenteile, z. B. mittels der entsprechend weise unter Hochvakuum steht, den zweiten Kessel,
ausgebildeten Kupplungen, gegeneinander justierbar. 30 der noch unter Atmosphärendruck steht,.. durch
Das besondere bei solchen Anlagen der bekannten Ventilschaltung ohne Betätigung der Pumpenanlage
Art wird darin gesehen, daß die Dichtungen zwischen"" auf ein Vorvakuüm bringt. Dieser Druckausgleich
den Anlagenteilen, z. B. zwischen den Schüssen eines,,-,;; erfolgt, in kürzester Zeit, worauf dann das Ventil die-Kessels
und gegen den äußeren Haum, z. B. die freie ser Verbindungsleitungen geschlossen wird. Gleich- ,
Atmosphäre, jeweils an den Mantelflächen der 35 zeitig beginnt die Pumpenanlage zu arbeiten und j
Kesselschüsse vorgesehen sind. saugt die Luft aus dem zweiten Kesselsystem und ;
Trotz der für alle Anlagenteile gegebenen Möglich- beginnt also dort ein Hochvakuum zu erzeugen.. j
keit einer Parallelschaltung von Vakuumvor- und In" der Zwischenzeit "kann die erste Kesselanlage !
Hauptpumpe handelt es sich hierbei lediglich um ein geöffnet, entleert und neu .mit zu metallisierenden ;
Gesamtgefäß, welches bei einem durchaus gegebenen 40 Gegenständen bestückt werden. Nach erfolgter
Ausfall des einen Anlageteiles in der Gesamtheit nicht. ,. Füllung des ersten Kesseln wird dieser geschlossen,
mehr funktionsfähig ist. .-— "'λ:'''! und nach Abschluß des Metällisierungsvorgangs im
Bei einer weiteren bekannten. Einrichtung zum zweiten Kessel wird in umgekehrter Reihenfolge ver-Evakuieren
einer größeren Anzahl von Gefäßen mit- fahren.
tels derselben Vakuumpumpe, wobei in etwa gleichem 45 Neben dem wirtschaftlichen Vorteil, daß nur die
Zeitmaß fertiggepumpte und abgeschlossene Gefäße Anschaffungskosten für eine Pumpenanlage erfordernacheinander
entnommen und ebenso viele neue lieh sind, ergibt sich ein wesentlicher Zeitgewinn für !
Gefäße angeschlossen werden, arbeitet man in der die Erzeugung des Vakuums. Dadurch ist es in vielen
Weise, daß eine Vakuumpumpe so hoher Saug-ι.·: : 1.Fällen möglich,;reine.Verdoppelung der Proiduktion ,
geschwindigkeit verwendet wird, die in der Zeit vom 50 zu erzielen.
Anschließen eines neuen Gefäßes bis zur Abnahme Ein weiterer Vorteil ist dadurch gegeben, daß die
des nächsten fertigen Gefäßes wieder das gewünschte beiden getrennten Kesselsysteme für zwei verschie-Endvakuum-
erreicht. Dabei ist je ein Vakuum- denartige'Metallisier ungsvorgänge "ausgenützt wersammelraum
für Vor- und Hochvakuum vorgesehen^ , den. Es, kann.,beispielsweise...der erste Kessel für
und die zu evakuierenden Gefäßesind mittels jedem' '55- Stückbedämpfüng und der zweite Kessel für'Bandvon
ihnen zugeordneten Ventilen wahlweise an den bedampfung eingesetzt-werden, was bisher mit einer
einen oder anderen Sammelraum anschließbar. Aller- Pumpenanlage nicht mögßch.war.
dings ist ein solches Gerät lediglich dazu bestimmt, ^Einzelheiten; der::Erfindung süid an Hand eines eine größere Anzahl von kleineren Gefäßen, wie bevorzugten Äusführungsbeispieles in der Zeichnung Glühlampen, Radioröhren od. dgl., mittels derselben 60 und in der nachfolgenden Beschreibung näher erVakuumpumpe zu evakuieren. Solche Lampen bzw. läutert, wobei der Gegenstand der Erfindung nicht Röhren werden bekanntlich nach dem Evakuieren ver- auf das dargestellte Beispiel beschränkt ist. Es zeigt schlossen, so daß eine Mehrzweckanwendung eines Fig. 1 eine Anlage mit zwei gleich großen Kesseln
dings ist ein solches Gerät lediglich dazu bestimmt, ^Einzelheiten; der::Erfindung süid an Hand eines eine größere Anzahl von kleineren Gefäßen, wie bevorzugten Äusführungsbeispieles in der Zeichnung Glühlampen, Radioröhren od. dgl., mittels derselben 60 und in der nachfolgenden Beschreibung näher erVakuumpumpe zu evakuieren. Solche Lampen bzw. läutert, wobei der Gegenstand der Erfindung nicht Röhren werden bekanntlich nach dem Evakuieren ver- auf das dargestellte Beispiel beschränkt ist. Es zeigt schlossen, so daß eine Mehrzweckanwendung eines Fig. 1 eine Anlage mit zwei gleich großen Kesseln
erreichten Vakuums, etwa des Vorvakuums, mittels und
Druckausgleichs von vornherein ausscheidet. 65 F i g. 2 eine Anlage, bei welcher der eine der
Druckausgleichs von vornherein ausscheidet. 65 F i g. 2 eine Anlage, bei welcher der eine der
Der Gegenstand der vorliegenden Erfindung be- Kessel durch eine Reihe kleinerer Kessel ersetzt ist.
trifft daher eine Hochvakuum-Bedampfungsanlage Mit 1 und 2 sind die beiden korrespondierenden
zum Aufdampfen von metallischen Überzügen auf Kessel der Pumpenanlage bezeichnet, die an einer
Vorpumpe (Rotationspumpe) liegen, die von einem Motor 8 angetrieben und in einer ersten Stufe durch
eine Haltepumpe 9 ergänzt wird. Weiter hängen die Kessel 1 und 2 an einer gemeinsamen Hauptpumpe
(Diffusionspumpe) 5, die durch einen Leitungsstrang mit der Vorpumpe 6 über ein Ventil 19 verbunden
sind.
In gleicher Weise liegen Ventile 19 in den Leitungen, welche die Vorpumpe und die Hauptpumpe mit
den Kesseln verbinden. Mit 3 und 4 sind Transformatorenwagen, mit 11,12 und 13 Beschickungswagen
bezeichnet. Für die Gesamtanlage ist ein kombinierter Schaltschrank 7 vorgesehen. Die Anlage arbeitet,
wie durch die strichpunktierten Linien (Vorpumpen) und die gestrichelte Linie (Feinpumpen) dargestellt
ist. Das Vorpumpen wird durch Schließung des Ventils 19 in dem Leitungsstrang nach der Diffusionspumpe
bewerkstelligt. Ist der Vorgang des Vorpumpes beendet, werden sämtliche Ventile um die
Leitungskreuzung geschlossen und die großen Ventile 19 in der Leitungsführung der Diffusionspumpe
geöffnet. Das Feinpumpen kann damit beginnen.
Soll nur ein Kessel, beispielsweise der Kessel 1, auf Hochvakuum gebracht werden, schließt man
nacheinander unter Öffnung der rechten Ventile 19 erst die Vorpumpe und dann die Feinpumpe an diesen
Kessel an. Steht der Kessel 2 unter Atmosphärendruck und soll in diesem Kessel ein Vorvakuum erzeugt
werden, so läßt sich das dadurch erreichen, daß man die durchgehende Leitung mit ihren beiden
Ventilen 19 öffnet und einen Druckausgleich zwischen dem Atmosphärendruck des Kessels 2 und dem
Hochvakuum des Kessels 1 herbeiführt.
In F i g. 2 ist der Kessel 2 der F i g. 1 durch eine Reihe kleinerer Kessel 14,15,16 und 17 ersetzt.
Diese kleineren Kessel stehen durch eine Verteilerleitung 18 mit der Vorpumpe 6 und der Feinpumpe 5
in Verbindung. Die Funktion, welche mit dieser Anordnung durchgeführt wird, entspricht genau dem
an Hand der Fig. 1 der Zeichnung geschilderten Vorgang.
Claims (1)
- Patentanspruch:Hochvakuum-Bedampfungsanlage zum Aufdampfen von metallischen Überzügen auf Gegenstände aus Holz, Glas, Metall oder Kunststoff, bestehend aus zwei durch Leitungen miteinander verbundenen und getrennt evakuierbaren Kesseln, dadurch gekennzeichnet, daß zwei gleich große Kessel (1, 2) vorgesehen sind, von denen einer volumenmäßig durch eine Reihe von kleinen Kesseln (14,15,16 und 17) ersetzt sein kann und die Kessel wahlweise einzeln oder gemeinsam über mit Ventilen (19) versehenen Verbindungsleitungen durch je eine Vor- und Hochvakuumpumpe (5, 6) evakuierbar angeordnet sind.Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DESC028896 | 1960-12-10 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1446262A1 DE1446262A1 (de) | 1970-03-05 |
DE1446262B2 true DE1446262B2 (de) | 1971-02-25 |
Family
ID=7431254
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19601446262 Pending DE1446262B2 (de) | 1960-12-10 | 1960-12-10 | Hochvakuum bedampfungsanlage |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE1446262B2 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4401718C1 (de) * | 1994-01-21 | 1995-08-17 | Anke Gmbh & Co Kg | Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung von Werkstücken in einer Vakuumatmospähre |
DE10245537A1 (de) * | 2002-09-30 | 2004-04-08 | Infineon Technologies Ag | Verfahren und Prozessreaktor zur sequentiellen Gasphasenabscheidung mittels einer Prozess- und einer Hilfskammer |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BE1011252A3 (nl) * | 1997-07-04 | 1999-06-01 | Burcht Tandtech Lab Bvba | Werkwijze en inrichting voor het aanbrengen van een bekleding op voorwerpen. |
-
1960
- 1960-12-10 DE DE19601446262 patent/DE1446262B2/de active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4401718C1 (de) * | 1994-01-21 | 1995-08-17 | Anke Gmbh & Co Kg | Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung von Werkstücken in einer Vakuumatmospähre |
DE10245537A1 (de) * | 2002-09-30 | 2004-04-08 | Infineon Technologies Ag | Verfahren und Prozessreaktor zur sequentiellen Gasphasenabscheidung mittels einer Prozess- und einer Hilfskammer |
DE10245537B4 (de) * | 2002-09-30 | 2007-04-19 | Infineon Technologies Ag | Verfahren und Prozessreaktor zur sequentiellen Gasphasenabscheidung mittels einer Prozess- und einer Hilfskammer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE1446262A1 (de) | 1970-03-05 |
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