DE1295727B

DE1295727B - Elektronenlinse mit veraenderbarer Vergroesserung fuer Bildwandler

Info

Publication number: DE1295727B
Application number: DEG41488A
Authority: DE
Inventors: Schlesinger Kurt
Original assignee: General Electric Co
Current assignee: General Electric Co
Priority date: 1963-09-16
Filing date: 1964-09-11
Publication date: 1969-05-22
Also published as: NL6410635A; GB1055670A; US3286114A

Description

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Bildwandlerröhren zur Umformung einer unsicht- ändert gemäß der Erfindung die Größe des durch die baren Strahlung in ein sichtbares Bild oder eines Elektronenverteilung gebildeten Elektronenbildes, optischen Bildes in ein Ladungsbild müssen häufig Im Abschnitt 3 werden die Elektronen in Richtung derart ausgebildet sein, daß sich die Bildgröße ver- auf die Gegenelektrode beschleunigt, auf der zur ändern läßt. Fernsehkameras besitzen beispielsweise 5 Wiedererzeugung des Bildes die Elektronen in der eine veränderbare Brennweite, damit das Blickfeld vorgegebenen Verteilung auftreffen. Die Abschnitte 1 den gegebenen Verhältnissen angepaßt werden kann. bis 3 sind in einer Hülle 4 eingeschlossen und zu Bisher ist es üblich, die Brennweite und damit die einer Achse 4' der Röhre koaxial. Vergrößerung dadurch zu variieren, daß man zwei Der Katodenlinsenabschnitt 1 enthält eine ebene

oder mehrere Linsen bzw. Linsengruppen eines opti- io Katode 5, eine ebene Netzelektrode 6, eine stark konschen Linsensystems relativ zueinander verschiebt vexe Netzelektrode 7 und zwischen den Netzelektro- und gleichzeitig die Bildebene konstant hält. Der- den 6 und 7 angeordnete elektrisch leitende Ringe 8 artige Linsensysteme weisen den Nachteil auf, daß und 9. Die ebene Katode 5 kann eine Fotokatode eine große Anzahl von Linsen und komplizierte Füh- sein, die gegenüber sichtbarer oder unsichtbarer rungsglieder für die verschiebbaren Linsen notwen- 15 Strahlung, beispielsweise gegenüber infraroter Strahdig sind. lung, empfindlich ist. Entsprechend der Strahlungs-

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, diese intensität des auf die vordere Oberfläche 12 der Ka-Nachteile durch eine Elektronenlinse mit veränder- tode 5 projizierten Bildes werden aus den Elementarbarer Brennweite zu beseitigen, d. h. die Bildgröße bereichen der Katode 5 Elektronen emittiert, deren auf elektrischem Wege anstatt auf optomechanischem 20 Verteilung somit dem projizierten Bild entspricht. Wege zu verändern. Die Bildgröße soll dabei über Die Netzelektrode 6 dient als erste Anode im Katoeinen Bereich von mehr als 4:1 veränderbar sein. denlinsenabschnitt 1, während die Netzelektrode 7 als

Eine Elektronenlinse mit veränderbarer Vergröße- zweite Anode wirkt. Zur Einstellung der Potentialrung für Bildwandler ist erfindungsgemäß dadurch verteilung im Katodenlinsenabschnitt dienen die leigekennzeichnet, daß zwei koaxiale, in Achsrichtung 25 tenden Ringe 8 und 9. Mit Hilfe des Abschnitts 1 hintereinanderliegende Linsen vorgesehen sind, die je kann das elektronische Bild zwischen zwei ebenen zwei durch einen koaxialen, leitenden Ring getrennte, Flächen erzeugt werden, wodurch die Anwendung schraubenlinienförmig verlaufende Elektroden ent- einer gekrümmten Katode vermieden wird, halten, daß jeweils an jedem Außenende jeder außen- Im elektrostatischen Linsenabschnitt 2 kann erfin-

liegenden Elektrode, am gemeinsamen Innenende der 30 dungsgemäß die Bildgröße verändert werden. Der innenliegenden Elektroden und an jedem Ring eine Abschnitt 2 enthält dazu zwei zylindrische koaxiale Spannungsanschlußklemme vorhanden ist und daß Linsen 15 und 16, die zwischen dem Katodenlinsenzur Änderung der von den Linsen längs der Elektro- abschnitt 1 und dem Nachbeschleunigungsabschnitt 3 nenlinsenachse erzeugten quadratischen Verteilung in Achsrichtung hintereinanderliegen. Durch die Lindes elektrischen Feldes und damit zur Änderung der 35 sen 15 und 16 werden elektrische Fokussierungsfel-Vergrößerung mimndestens die Spannung an einer der aufgebaut, deren Potentiale sich in der Achse 4' der Anschlußklemmen veränderbar ist. annnähernd quadratisch mit dem Abstand ändern.

Bei dieser Elektronenlinse ist weiterhin Vorzugs- Beide Linsen bilden zusammen eine elektrostatische weise quer zum Eingangsende oder jeweils quer zum Linse.

Eingangs- und Ausgangsende eine an das betreffende 40 Die Linse 15 enthält eine schraubenlinienförmig Elektrodenaußenende angeschlossene Netzelektrode verlaufende Elektrode 17, einen elektrisch leitenden angeordnet. Ring 18 und eine schraubenlinienförmig verlaufende

Die Erfindung wird nun in Verbindung mit der Elektrode 19. Bei einer möglichen Ausführungsform Zeichnung an einigen Ausführungsbeispielen näher sind die Elektroden 17 und 19 als elektrische Widererläutert. 45 Standsüberzüge auf der Innenwand eines Glaszylin-F i g. 1 ist ein Längsschnitt durch eine Bildwand- ders 20 ausgebildet. Der leitende Ring 18 besteht lerröhre mit einer Elektrodenlinse veränderbarer ebenfalls aus einem leitenden Überzug auf der Innen-Vergrößerung; wand des Glaszylinders. Das Außenende der Elek-Fig.2A bis 2 C zeigen die Potentialverteilung trode 17 und die Netzelektrode 7 sind mit einer längs der Linsenachse der Bildwandlerröhre für drei 50 gemeinsamen Spannungsanschlußklemme 22 verBetriebsarten der in Fig. 1 gezeigten Elektronen- sehen, während das Innenende der Elektrode 17 mit linse veränderbarer Vergrößerung; dem leitenden Ring 18 verbunden ist, an dem eine F i g. 3 ist ein Längsschnitt durch eine weitere Aus- Spannungsanschlußklemme 23 angebracht ist. Das führungsform einer Bildwandlerröhre, deren Elek- eine Ende der Elektrode 19 ist mit dem leitenden tronenlinse eine veränderbare Vergrößerung aufweist; 55 Ring 18 verbunden, während das entgegengesetzte Fig. 4 A bis 4 C zeigen drei Arbeitsweisen der Ende dieser Elektrode 19 an eine Spannungsanschluß-Ausführunngsform nach Fig. 4. klemme24 angeschlossen ist.

Die in F i g. 1 dargestellte Bildwandlerröhre ent- Die Linse 16 enthält in ähnlicher Weise zwei durch

hält einen Katodenlinsenabschnitt 1, einen Linsen- einen elektrisch leitenden Ring 28 verbundene schrauabschnitt2 mit veränderbarer Vergrößerung und 60 benlinienförmig verlaufende Elektroden 26 und 27, einen Nachbeschleunigungsabschnitt 3 mit der Gegen- wobei das eine Ende der Elektrode 26 an die Spanelektrode. Der Abschnitt 1 erzeugt auf Grund eines nungsanschlußklemnie 24 angeschlossen ist, während von außen projizierten sichtbaren oder unsichtbaren der Ring 28 eine Spannungsanschlußklemme 30 und Strahlungsbildes 11 einen Elektronenstrom, dessen das äußere Ende der Elektrode 27 eine Spannungs-Verteilung dem projizierten Bild entspricht. Durch 65 anschlußklemme 31 aufweisen. Zwischen dem Ende den Linsenabschnitt 2 läuft der Elektronenstrom zum der Linse 16 und demNachbeschleunigungsabschnitt3 Abschnitt 3. Der Linsenabschnitt 2 fokussiert den ist eine mit der Spannungsanschlußklemme 31 vervom Abschnitt 1 erzeugten Elektronenstrom und ver- bundene Netzelektrode 33 angeordnet.

Der Nachbeschleunigungsabschnitt 3 der Bildwandlerröhre nach F i g. 1 enthält einen mit der Achse 4' koaxialen Glaszylinder 34, dessen Innenwand mit einem halbleitenden, einen hohen elektrischen Widerstand aufweisenden Film 35 überzogen ist, der beispielsweise aus Titanoxid besteht. Das eine Ende des halbleitenden Films 35 ist an die Spannungsanschlußklemme 31 angeschlossen, während sein anderes Ende nahe einer Gegenelektrode 37 mit einer

und 27 durch zwei schraubenlinienförmig verlaufende Teile mit konstanter, aber unter sich verschiedener Ganghöhe und mit gleichem Widerstand ersetzt werden.

Ein Kurvenabschnitt 42 gibt die Potentialverteilung im NachbeschleunigungsabschnittS an. Bei der Arbeitsweise nach Fig. 2A ist wegen der Unstetigkeit 43 des elektrischen Feldes eine Netzelektrode 33 am Ausgangsende des Linsenabschnitts 2 notwendig, an

Spannungsanschlußklemme 36 verbunden ist, an der io der die elektrischen Feldlinien der Abschnitte 2 und eine Hochspannung von größenordnungsmäßig 6 bis und 3 endigen. Die Arbeitsweise nach Fig. 2A bie-16 kV liegt. Hierdurch wird ein elektrisches Be- tet die größte Vergrößerung. Auf der Gegenelektrode schleunigungsfeld innerhalb des Glaszylinders 34 ge- 37 entsteht ein Bild 44, das annähernd 50% größer bildet, durch das die Elektronen zwischen dem Lin- als das auf die Katode 5 fokussierte Bild ist. Da bei senabschnitt 2 und der Gegenelektrode 37 beschleu- 15 dieser Arbeitsweise an den Netzelektroden 7 und 33 nigt werden. In dem halbleitenden Film 35 sind Ringe am Eingangs- bzw. Ausgangsende des Linsen-38 aus Silber od. dgl. eingesetzt, die dasjenige Poten- abschnitts 2 dasselbe Potential liegt, wird der Elektial annehmen, das auf Grund der Potentialdifferenz tronenstrahl im Linsenabschnitt 2 nicht beschleunigt, zwischen den Spannungsanschlußklemmen 31 und 36 Bei der Arbeitsweise nach Fig. 2B wird an den

an ihren Berührungslinien mit dem Film 35 aufgebaut ao Spannungsanschlußklemmen 22 und 31 dasselbe Poist. Die Ringe sorgen für eine symmetrische Vertei- tential V_a aufrechterhalten, während an der Spanlung des elektrischen Beschleunigungsfeldes inner- nungsanschlußklemme 24 ein niedrigeres Potential halb des Glaszylinders 34. Die Gegenelektrode 37 liegt. Die Spannungsanschlußklemmen 23 und 30 kann aus einem Fluoreszenzschirm bestehen, durch können potentialfrei bleiben, so daß die leitenden den das Ladungsbild sichtbar gemacht wird oder die 25 Bänder 18 und 28 Potentiale annehmen, die zwi-Gegenelektrode eines Zwischenbildorthikons sein. sehen dem Potential V₀ und dem Potential der Spanin der Elektronenlinse gemäß der Erfindung kann nungsanschlußklemme 24 liegen. Die sich ergebende die variable Vergrößerung z. B. dadurch erreicht Potentialverteilung im Abschnitt 2 ist längs der Röhwerden, daß die Potentiale an den Spannungs- renachse stetig und nähert sich einer Verteilung an, anschlußklemmen 22 bis 24, 30 und 31 mit Hilfe 30 die in Fig. 2B als Kurve 45 angegeben ist. Bei diemechanisch gekuppelter Spannungsteiler oder Schei- ser Arbeitsweise besteht zwischen dem Linsenbenschalter gesteuert werden. Da die Spannungs- abschnitt 2 und dem Nachbeschleunigungsabschnitt 3 anschlußklemmen in gewissen Abständen an die bei- keine Unstetigkeit des elektrischen Feldes, so daß die den Linsen 15 und 16 angeschlossen sind, kann durch Netzelektrode 33 überflüssig ist. Die Größe des Bildes richtige Wahl der an sie gelegten Potentiale die Po- 35 46 auf der Gegenelektrode 37 beträgt etwa 75 % der tentialverteilung längs der Achse so beeinflußt wer- Größe des die Katode 5 fokussierenden Bildes. Bei den, daß sich die gewünschte Art und Größe der
Linsenwirkung und somit eine vorgegebene Vergrößerung ergeben.

In Fig. 2A ist die Veränderung des Raumpoten- 40 tials längs der Achse gemäß einer möglichen Arbeitsweise der Elektronenlinse mit veränderbarer Vergrößerung gezeigt. In diesem Fall liegen die Klemmen 22 und 31 und somit die Netzelektroden 7 und 33 auf

dem gleichen Potential V_a, das auch an der Span- 45 dratische Potentialverteilung, die bei dieser Arbeitsnungsanschlußklemme24 liegt. An den Spannungs- weise angenähert wird, ist als Kurve 48 in Fig. 2C anschlußklemmen23 bzw. 30 liegt ein Potential, das dargestellt. Wie bei der Arbeitsweise nach Fig. 2B kleiner bzw. größer als das Potential V_a ist. Die Po- besteht am Ausgangsende des Linsenabschnitts 2 tentialänderung, die sich längs der Röhrenwand im keine Unstetigkeit des elektrischen Feldes, so daß die Linsenabschnitt 2 ergibt, ist durch eine gestrichelte 50 Netzelektrode 33 überflüssig ist. Bei dieser Arbeits-Linie 40, die sich ergebende annähernd quadratische weise wird auf der Gegenelektrode 37 ein Bild 49 Potentialänderung längs der Achse 4' als durchgezo- erzeugt, dessen Größe etwa einem Drittel der Größe gene Linie 41 dargestellt. Die gewünschte quadrati- des auf die Katode 5 fokussierten Bildes entspricht, sehe Potentialverteilung längs der Achse 4' kann zwar Da die Netzelektroden 7 und 33 sich auf demselben auch mit einer Schraubenlinie mit nicht konstanter 55 Potential befinden, wird der Elektronenstrahl durch Steigung erreicht werden, wird aber leichter durch den Linsenabschnitt 2 wie bei der Arbeitsweise nach die gezeigten Schraubenlinien mit konstanter Steigung den F i g. 2 A und 2 B nicht beschleunigt,
und leitender Ringe angenähert. Die ideale quadrati- Die drei beschriebenen Arbeitsweisen und die dafür

sehe Potentialverteilung kann noch stärker dadurch benötigten Potentiale sind in der folgenden Tabelle angenähert werden, daß die Elektroden 17, 19, 26 60 zusammengefaßt:

dieser Arbeitsweise wirkt der Linsenabschnitt 2 ebenfalls nicht beschleunigend, da sich die Netzelektroden 7 und 33 auf demselben Potential befinden.

Bei einer dritten Arbeitsweise gemäß Fig. 2C liegt das Potential V₀ an den Spannungsanschlußklemmen 22, 24 und 31, während an den Spannungsanschlußklemmen 23 bzw. 30 ein Potential liegt, das größer bzw. kleiner als das Potential V_a ist. Die qua-

Arbeitsweise

22

Potentiale an den Spannungsanschlußklemmen

23 I 24 I 30 I 31

36

Vergrößerung

Relative

Vergrößerung

1500
1500
1500

150
750*)
2650

1500

-260

1500

2650

600*) -210

6 bis 16 kV
6 bis 16 kV
6 bis 16 kV

³/4

4,5

2,25

*) Sich selbst einstellende, durch die Elektrodenwiderstände vorgegebene Potentiale.

5 6

Bei der Arbeitsweise nach Fig. 2B wird an der linse mit einer Vergrößerung von etwa 3. Diese Linse Gegenelektrode 37 ein Bild erzeugt, dessen Größe das dient somit als vergrößerndes Element, durch das die 2,25fache des Bildes beträgt, das nach der Arbeits- Bildverkleinerung im Linsenabschnitt 2 kompensiert weise in Fig. 2C erzeugt wird. Die Bildgröße nach wird. Wenn der Abschnitt2 gemäß Fig. 2C betrieder Arbeitsweise in Fig. 2A ist doppelt so groß wie 5 ben wird, besteht beim Ausführungsbeispiel nach die nach der Arbeitsweise von Fig. 2B und beträgt Fig. 3 zwischen dem auf der Gegenelektrode erscheidas 4,5fache im Vergleich zu der nach der Arbeits- nenden Bild und dem auf die Katode 5 fokussierten weise der Fig. 2C. Bei den drei beschriebenen Ar- Bild ein Größenverhältnis von 1:1. Wenn der Abbeitsweisen bleibt das Bild in der Brennebene der schnitt 2 dagegen von der Arbeitsweise nach Fig. 2C Gegenelektrode, d.h., es braucht beim Umschalten io auf die Arbeitsweise nach Fig. 2A oder 2B umgevon einer Arbeitsweise auf die andere nicht erneut schaltet wird und die angegebenen Vergrößerungen fokussiert zu werden. Die Netzelektrode 33 kann weg- erhalten bleiben, dann fallen die Randgebiete der gelassen werden, wenn die Arbeitsweisen nach den vergrößerten Bilder mehr auf die Gegenelektrode 37. F i g. 2 B und 2C gewählt werden, da dann am Aus- Die Arbeitsweise der Ausführungsform nach F i g. 3

gangsende des Linsenabschnitts 2 keine Unstetigkeit 15 ist in den Fig. 4A bis 4C mit Hilfe von äquivalendes elektrischen Feldes auftritt. ten optischen Linsen dargestellt. In Fig. 4A wird

Anstelle der drei beschriebenen Arbeitsweisen sind der Linsenabschnitt 2 wie nach Fig. 2 C betrieben, auch noch andere Arbeitsweisen möglich. Bei den be- Bei dieser Arbeitsweise kann der Abschnitt 2 als schriebenen Arbeitsweisen wird die Spannungs- dünne, konvergente Linse 60 und die von der Elekanschlußklemme 22 stets auf demselben Potential wie 20 trode 53 und dem Ring 54 gebildete Elektronenlinse die Spannungsanschlußklemme 31 gehalten. Wenn je- als eine dünne, divergente Linse 61 aufgefaßt werden, doch die an diesen Spannungsanschlußklemmen und Durch den nach Fig. 2C arbeitenden Linsenaußerdem die an den Spannungsanschlußklemmen 23, abschnitt 2 wird gemäß Fig. 4 A ein Bild 62 in 24 und 30 liegenden Potentiale geändert werden, steht einem vorgegebenen Abstand hinter dem mit einer ein sehr breiter Variobereich zur Verfugung. 25 Netzelektrode endenden Abschnitt 2 erzeugt. Da die

Wie aus der obigen Tabelle hervorgeht, entsteht, Linse 60 das Bild 62 erzeugt, dessen Größe etwa bei der Arbeitsweise nach den Fi g. 2 B und 2 C auf einem Drittel der Größe des auf die Katode 5 fokusder Gegenelektrode 37 ein Bild, das kleiner als das sierten Bildes 11 entspricht, und die Linse 61 etwa auf die Katode 5 projizierte Bild ist. Der tatsächlich 3f ach vergrößert, ist das auf die Gegenelektrode 37 benutzte Teil der Oberfläche der Gegenelektrode 37 30 fokussierte Bild 63 etwa genauso groß wie das Bild ändert sich daher mit den verschiedenen Arbeitswei- 11 und erstreckt sich über das gesamte auswertbare sen. Mitunter ist ein Bild auf der Gegenelektrode 37 Blickfeld der Gegenelektrode 37. erwünscht, das bei allen Arbeitsweisen den gesamten Wenn der Linsenabschnitt 2 nach Fig. 2B betrie-

ausnutzbaren Oberflächenbereichen der Gegenelek- ben wird, kann man sich gemäß Fig. 4B eine dünne, trode einnimmt. Zu diesem Zweck kann der Nach- 35 konvergente Linse 65 auf der Achse 4' angeordnet beschleunigungsabschnitt3 der Fig. 1 durch einen denken. Da die Größe des vom Linsenabschnitt 2 Abschnitt 50 nach F i g. 3 ersetzt werden. erzeugten Bildes 66 etwa gleich drei Viertel der

Der Abschnitt 50 enthält eine vergrößernde elek- Größe des Bildes 11 ist, entspricht die Größe des aui trostatische Elektronenlinse mit einer konkaven Netz- der Gegenelektrode 37 erscheinenden Bildes 67 anelektrode Sl, mit einem elektrisch isolierenden Halte- 40 nähernd dem 2,25fachen der Größe des Bildes 11. zylinder 52, mit einer schraubenlinienförmig verlau- Bei dieser Arbeitsweise ist der Durchmesser des BiI-fenden Elektrode 53 mit nicht konstanter Steigung des größer als der der Gegenelektrode, so daß die und mit einem elektrisch leitenden Ring 54. Der äußeren Teile des Bildes 67 nicht auf der Gegenelek-Abschnitt 50 ist länger als der Abschnitt 3 der F i g. 1. trode abgebildet werden.

Die konkav gekrümmte Netzelektrode 51 ermöglicht 45 Wenn der Linsenabschnitt 2 schließlich nach eine stärkere Vergrößerung im Abschnitt 50 als eine Fig. 2A betrieben wird, kann man sich den Abebene Netzelektrode. Die konkave Krümmung ist der schnitt 2 durch eine dünne, konvergente Linse 70 auf Katode zugekehrt. Die Elektrode 53 und der Ring 54 der Achse 4' ersetzt denken, durch die gemäß sind an der Innenwand des Haltezylinders 52 ange- Fig. 4C ein Bild 71 erzeugt wird. Bei dieser Arbeitsbracht. Das dem Ring 54 benachbarte Ende der Elek- 50 weise entspricht die Größe eines von der Linse 61 trode 53 ist mit dem Ring verbunden, während das erzeugten Bildes 72 annähernd dem 4,5fachen der andere Ende der Elektrode53 und die Netzelektrode Größe des Bildes U. Wie in Fig. 4B fallen die 51 gemeinsam an die Elektrode 31 des Elektronen- äußeren Teile des Bildes 72 nicht mehr auf die Gegenlinsenabschnitts 2 angeschlossen sind. Der Ring 54 elektrode 37.

ist mit einer Spannungsanschlußklemme55 versehen. 55 Die Ausführungsform nach Fig. 3, bei der eine Beim Betrieb wird der Ring 54 auf einem hohen vergrößernde und beschleunigende Elektronenlinse positiven Potential von beispielsweise 15 000 V in zusätzlich zu der Elektronenlinse mit variabler Verbezug auf das Potential an der Netzelektrode 51 und größerung verwendet wird, liefert ein Bild auf der das mit diesem verbundene Ende der Elektrode 53 Gegenelektrode 37, das sich bei allen beschriebenen gehalten. Von der Elektrode 53 und dem Ring 54 60 Arbeitsweisen über das gesamte Blickfeld erstreckt, wird längs der Röhrenachse 4'in dem Raum zwischen Eine infolge zu starker Ablenkung der Gegenelekder Netzelektrode 51 und der Gegenelektrode 37 ein trode mögliche Rückstreuung und Reflexion der divergierendes hyperbolisches Feld erzeugt. Die in Elektronen von den Wänden des Haltezylinders 52 diesen Raum eintretenden Elektronen werden infolge und eine damit verbundene Störung des Bildes auf des hohen positiven Potentials am Ring 54 be- 65 der Gegenelektrode werden dadurch vermieden, daß schleunigt. die Elektrode 53 auf positives Potential gelegt wird,

Die Elektrode 53 und der Ring 54 bilden eine so daß die schädlichen Elektronen von ihr absorbiert divergierende oder vergrößernde Beschleunigungs- werden. Schwankungen in der Bildhelligkeit bei Um-

schaltung auf eine andere Arbeitsweise können dadurch kompensiert werden, daß das an der Klemme liegende Potential entsprechend verändert wird. Die Erfindung ist nicht auf die beschriebenen Arbeitsweisen und Ausführungsformen beschränkt. Es kann beispielsweise eine Elektronenlinse mit veränderbarer Vergrößerung konstruiert werden, die mehr als zwei aus schraubenlinienförmig verlaufenden Elektroden bestehende Linsen aufweist.

Claims

Patentansprüche: 10

1. Elektronenlinse mit veränderbarer Vergrößerung für Bildwandler, dadurch gekennzeichnet, daß zwei koaxiale, in Achsrichtung hintereinanderliegende Linsen (15,16) vorgesehen sind, die je zwei durch einen koaxialen, leitenden Ring (18, 28) getrennte, schraubenünienförmig verlaufende Elektroden (17, 19 und 26, 27) enthalten, daß jeweils an jedem Außenende jeder

außenliegenden Elektrode (17, 27), am gemeinsamen Innenende der innenliegenden Elektroden (19, 26) und an jedem Ring (18, 28) eine Spannungsanschlußklemme (22 und 31, 24,23 und 30) vorhanden ist und daß zur Änderung der von den Linsen längs der Elektronenlinsenachse (4') erzeugten quadratischen Verteilung des elektrischen Feldes und damit zur Änderung der Vergrößerung mindestens die Spannung an einer der Anschlußklemmen veränderbar ist.

2. Elektronenlinse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß quer zum Eingangs- und Ausgangsende der Elektronenlinse jeweils eine an das betreffende Elektrodenaußenende angeschlossene Netzelektrode (7, 33; 7, 51) angeordnet ist.

3. Elektronenlinse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß quer zum Eingangsende eine an das betreffende Elektrodenaußenende angeschlossene Netzelektrode (7) angeordnet ist.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen 909 521/Π6