DE1256909B - Kalorischer Massenstrommesser - Google Patents

Kalorischer Massenstrommesser

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DE1256909B
DE1256909B DER33477A DER0033477A DE1256909B DE 1256909 B DE1256909 B DE 1256909B DE R33477 A DER33477 A DE R33477A DE R0033477 A DER0033477 A DE R0033477A DE 1256909 B DE1256909 B DE 1256909B
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Johannes Los
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Reactor Centrum Nederland
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Reactor Centrum Nederland
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6847Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow where sensing or heating elements are not disturbing the fluid flow, e.g. elements mounted outside the flow duct

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Description

  • Kalorischer Massenstrommesser Die Erfindung betrifft einen kalorischen Massenstrommesser zur Gasmessung mit je zur Führung eines Massenstromes dienenden Rohrteilen und an den Enden dieser Rohrteile angeordneten Mitteln, wie Joche oder Mäntel, zum Erzeugen gleicher Temperaturunterschiede über diese Rohrteile und in guter thermischer Berührung mit diesen Rohrteilen angebrachten elektrischen Widerständen, die in einer elektrischen Vergleichsschaltung, z. B. einer Wheatstone-Bnicke, geschaltet sind.
  • Bei einem bekannten Massenstrommesser, der für das Messen kleiner Massenströme sehr korrosiver Gase, wie , HF und UF; sehr geeignet ist, sind zwei Rohrteile koaxial in Reihe geschaltet, so daß sie Teile eines einzigen geraden Rohres bilden, das in der Mitte geheizt und an den Enden auf Zimmertemperatur gehalten wird. Das Gleichhalten der Temperatur der verhältnismäßig weit voneinander entfernten Enden dieses Rohres erfordert lange schwere Joche oder einen langen schweren Mantel aus die Wärme gut leitendem Material für die gegenseitige thermische Verbindung der Rohrenden, wodurch die Abmessungen und das Gewicht des Massenstrommessers verhältnismäßig groß werden.
  • Außerdem eignet sich dieser Massenstrommesser nur zum Messen der Stärke eines einzigen Massenstromes (Artikel von A.F.lBrown und H. Kronberger im »Journal of Scientific Instruments«, S. 151 bis 155, Vol. 24, Juni 1947).
  • Des weiteren ist ein Massenstrommesser bekannt, bei dem das zu messende Gas ein etwa U-förmig gebogenes Konstantanrohr durchströmt, dessen Steg durch einen elektrischen Heizdraht erwärmt wird.
  • Die beiden Schenkel des Konstantanrohres sind durch eine Thermosäule miteinander verbunden.
  • Durch zwei Kupferdrähte, von denen einer mit dem beheizten Steg des Konstantanrohres und der andere mit einem unbeheizten Schenkel des Konstantanrohres verbunden ist, wird ein weiteres Thermoelement gebildet. Vom Sockel des Geräts gehen sechs Kontakte aus, die paarweise zu dem Heizdraht, der Thermosäule oder dem Thermoelement führen und wahlweise mit einem Meßgerät verbunden werden können. Auch mit diesem Massenstrommesser kann nur die Stärke eines einzigen Massenstromes gemessen werden (USA.-Patentschrift 2594618).
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, diese bekannten Massenstrommesser dahingehend zu verbessern, daß es möglich wird, sowohl die thermische Verbindung zwischen den einen Enden als auch diejenige zwischen den anderen Enden der Rohrteile auf ein Mindestmaß herabzusetzen, mehrere parallel arbeitende Massenstrommesser zu einem Gerät verhältnismäßig kleiner Abmessungen zusammenzubauen und nicht nur die Größe eines Massenstromes, sondern auch das Verhältnis zwischen verschiedenen Massenströmen zu messen.
  • Die Erfindung besteht darin, daß die Rohrteile sich alle parallel zueinander und dicht nebeneinander zwischen zwei je auf verschiedene Temperaturen gebrachten Blöcken großen Wärmeinhaltes aus gut wärmeleitendem Material erstrecken und mit ihren Endteilen derart in den Blöcken gefaßt sind, daß die durch jeden Rohrteil hindurchströmende Masse in gutem thermischem Kontakt mit den zwei Blöcken auch durch letztere hindurchgeleitet wird.
  • Zum Messen der Größe eines Massenstromes können die Rohrteile in an sich bekannter Weise (USA.-Patentschrift 2 954 618) die Schenkel eines U-förmig gebogenen Rohres bilden, und zum Messen des Verhältnisses zwischen mehreren verschiedenen Massenströmen können sie in gesonderten Leitungskreisen geschaltet sein. Sowohl die einen Enden als auch die anderen Enden der Rohrteile können verhältnismäßig dicht nebeneinander in einem gemeinsamen Block aus die Wärme gut leitendem Material gefaßt sein. Ein solcher Block hat geringe Abmessungen, und er kann leicht in allen Teilen auf dieselbe Temperatur gebracht und gehalten werden.
  • Bei kalorischen Massenstrommessern dieser Art sind die elektrischen Widerstandsänderungen der temperaturempfindlichen Widerstände nicht nur propor- tional zu den durch die Rohrteile fließenden Massenströmen, sondern auch umgekehrt proportional zu den Flächen der Querschnitte derWände dieser Rohrteile oder, wenn die Wandstärken in bezug auf die Durchmesser der Rohrteile klein sind, umgekehrt proportional zu diesen Wandstärken. Macht man nun unter übrigens gleichen Umständen das Verhältnis dieser Querflächen der Rohrwände dem erwünschten Verhältnis der durch die Rohrteile fließenden Massenströme gleich, so werden relativ gleiche Änderungen dieser Massenströme die Brückenschaltung in derselben Weise beeinflussen. Man kann dann verschiedene Massenströme sowohl messen als auch miteinander vergleichen. Außerdem kann man die Meßrohre für viele verschiedene Massenströme gesondert oder gruppenweise nacheinander mit ihren temperaturempfindlichen elektrischen Widerständen in eine Vergleichsbrücke mit immer demselben festen Vergleichswiderstand (Vergleichswiderstände) und demselben Meßgerät schalten, so daß man eine große Anzahl von Systemen nacheinander mit demselben Gerät überwachen, registrieren und/oder steuern kann.
  • Ein solches für die Abtastung vieler Svsteme nacheinander geeignetes Gerät kann mit Vorteil zur Überwachung, Registrierung und/oder Steuerung der Gasströme verwendet werden, die vielen gleichzeitig arbeitenden Gaszentrifugen, z.B. Ultrazentrifugen zum Scheiden gasförmiger Isotopengemische, zugeführt und daraus abgeführt werden.
  • Mit Vorteil kann der kalorische Massenstrommesser derart ausgeführt sein, daß zwischen den Mitteln zur Erzeugung gleicher Temperaturunterschiede über die Rohrteile mindestens ein zusätzlicher Wärmeleiter in der Gestalt eines Stabes oder eines Rohres ohne Massenstrom angeordnet ist, welcher Stab bzw. welches Rohr ebenfalls mit einem in der Vergleichsbrücke geschalteten temperaturempfindlichen elektrischen Widerstand versehen ist. Dieser Widerstand oder jeder dieser Widerstände wirkt dann als fester Vergleichswiderstand in der Brückenschaltung und macht diese Schaltung vom über die Rohrteile herrschenden Temperaturunterschied unabhängig. Auch diese Ausführung macht die Abtastung einer großen Anzahl von Massenströmen oder Gruppen von Massenströmen durch ein und dasselbe Gerät in einfacher Weise möglich.
  • Die Erfindung wird an Hand der Zeichnung näher erläutert; darin zeigt F i g. 1 einen Querschnitt des bekannten Massenstrommessers, Fig.2 einen Querschnitt eines Massenstrommessers nach der Erfindung zur Messung der Größe eines Massenstromes, F i g. 3 einen Querschnitt eines Massenstrommessers nach der Erfindung zur Messung des Verhältnisses zwischen zwei Massenströmen und Fig. 4 einen Querschnitt eines Teiles eines für mehrere Gruppen von Meßrohren gemeinsamen Massenstrommessers.
  • Der bekannte Massenstrommesser nach Fig. 1 besteht aus einem Rohr 1 aus z. B. Nickel mit z. B. einem Durchmesser von 2 mm und einer Wandstärke von 0,1 mm. Das Rohr 1 ist in einem Gehäuse oder Mantel 2 aus die Wärme gut leitendem Material, z. B. Kupfer, mit einer verhältnismäßig sehr großen Wandstärke angeordnet. Die Endwände 3 dieses Gehäuses umfassen die Enden des Rohres 1 und sind damit in guter thermischer Berührung. Durch das Gehäuse 2, 3 werden die Enden des Rohres auf gleichen Temperaturen, z. B. Zimmertemperatur, gehalten. Um die Mitte des Rohres 1 ist eine elektrische Heizspirale 4 angeordnet, durch die die Mitte-des Rohres 1 auf eine bestimmte höhere Temperatur, z. B. eine Temperatur, die 1000 C höher als diejenige der Enden des Rohres ist, gebracht wird. Weiter sind in guter thermischer Berührung mit den Rohrteilen la und lb temperaturempfindliche Widerstandsspiralen 5, 6, z. B. Spiralen aus Platin, angeordnet, die in einer Wheatstone-Brücke geschaltet sein können.
  • Im Gehäuse 2, 3 wird ein hohes Vakuum aufrechterhalten.
  • Die Wirkung dieses bekannten Massenstrommessers beruht auf der Widerstandsänderung der Spiralen infolge des Unterschiedes der Wärmeförderung in den Rohrteilen la und lb, welcher Unterschied auftritt, wenn Gas oder Flüssigkeit durch das Rohrl hindurchströmt. Ist der Gasstrom gleich an Null, so werden von der Mitte nach jedem der Enden des Rohres 1 gleiche Wärmemengen abgeführt werden. Die Widerstandsänderungen der Widerstandsspiralen 5, 6 infolge der Temperaturerhöhung werden dann gleich groß sein, und das -Meß-? gerät der Wheatstone-Brücke wird dann keinen Ausschlag zeigen. Strömt aber Gas durch das Rohr 1, so wird gleichzeitig eine Wärmeförderung in der Richtung des Gasstromes erfolgen, wodurch die Widerstandsänderungen der Spiralen 5, 6 verschieden sein werden, so daß das Meßgerät der Wheatstone-Brücke einen Ausschlag zeigen wird. Bei richtiger Bemessung der Teile des Massenstrommessers ist dieser Ausschlag dem Gasstrom proportional.
  • Beim Massenstrommesser nach der Erfindung (s. Fig.2 und 3) erstrecken sich die Rohrteilela und lb nebeneinander, und sie sind mit ihren Enden in Blöcken 7, 8 aus die Wärme gut leitendem Ma-Material, z. B. Kupfer, gefaßt. Der Block 7 wird durch eine Wärmequelle 9 auf eine bestimmte höhere Temperatur gebracht und gehalten, und der Block 8 wird auf Zimmertemperatur gebracht oder gekühlt. Die Rohrteile la und lb sind in der Weise nach F i g. 1 mit wärmeempfindlichen Widerstandsspiralen 5, 6 versehen, die in einer Widerstandsbrücke geschaltet sind.
  • In F i g. 2 bilden die Rohrteile 1 a, 1 b die Schenkel eines U-förmig gebogenen durchgehenden Rohres, das mit dem Block 7 und der Wärmequelle 9 in einem Gehäuse 10 mit einer wärmeisolierenden Verkleidung 11 angeordnet ist. Im Raum 12 des Gehäuses 10 wird ein hohes Vakuum aufrechterhalten.
  • In Fig.3 bilden die Rohrteile la und lb die Teile separater Leitungskreise. Der Raum 12 zwischen den Blöcken 7 und 8 ist mit einem isolierenden Mantel 13, 14 umgeben, und darin wird ein hohes Vakuum aufrechterhalten. Mit Hilfe dieses Meßgeräts kann das Verhältnis zwischen zwei gesonderten Massenströmen bestimmt werden. Auch mehr als zwei Massenströme können in dieser Weise miteinander verglichen werden.
  • Der kombinierte Massen strommesser nach F i g. 4 besteht aus mehreren Gruppen A, B, C usw. von drei Rohrteilen 15, 16, 17, die sich alle zwischen einem warmen Blockl8 und einem kühlen Blockl9 aus die Wärme gut leitendem Metall erstrecken. Außerdem ist zwischen den Blöcken 18 und 19 ein zusätzliches Rohr 20 angeordnet, das, wenn erwünscht, durch einen Stab ersetzt werden kann, da das Rohr 20 nicht zum Leiten eines Massenstromes dient. Die Rohrteile 15, 16, 17 und 20 sind alle mit temperaturempfindlichen Widerstandsspiralen 21, 22, 23, 24 versehen. Mittels eines dreipoligen Umschalters 25 können die Widerstandsspiralen 15, 16, 17 einer willkürlichen Gruppe A, B oder C zusammen mit der Widerstandsspirale24 zu einer Wheatstone-Brücke geschaltet werden, in der ein Meß-, Uberwachungs-, Registrier- oder Steuergerät 26 angeordnet ist. Diese Brücke wird bei 27 gespeist.
  • Das Verhältnis zwischen den Flächen der Querschnitte der Rohrteile 15, 16, 17 oder annähernd das Verhältnis zwischen den Wandstärken dieser Rohrteile ist dem erwünschten Verhältnis der im Betrieb durch diese Rohrteile hindurchfließenden Massenströme gleich. Bei der Verwendung des Massenstrommessers mit Ultrazentrifugen wird das zugeführte Gasgemisch durch den Rohrteil 15 mit der größeren Wandstärke und die Scheidungsbestandteile werden durch die Rohrteile 16 und 17 mit den kleineren Wandstärken hindurchgeführt. Das Verhältnis zwischen diesen Wandstärken ist annähernd dem Verhältnis zwischen den Gasströmen gleich, so daß, wenn z. B. die aus der betrachteten Ultrazentrifuge abgeführten Gasströme einander gleich sind, die Wandstärke des Rohrteiles 15 etwa zweimal so groß wie diejenige der Rohrteile 16 und 17 sein wird, weil der der Zentrifuge zugeführte Gasstrom der Summe der aus der Zentrifuge abgeführten Gasströme gleich ist.
  • Ist nicht nur das Verhältnis zwischen den Wandstärken der Rohrteile jeder gesonderten Gruppe, sondern sind auch die Verhältnisse zwischen den verschiedenen Gruppen richtig, d. h. entsprechend den erwünschten Verhältnissen zwischen allen Gasströme men gewählt, so braucht der Widerstand 24 nur einmal eingestellt zu werden, um als Vergleichswiderstand für alle Gruppen A, B, C usw. benutzt werden zu können. Die verschiedenen Gruppen von Meßrohren können dann mit großer Geschwindigkeit nacheinander durch das Gerät 26 abgetastet werden.
  • Enthält jede Gruppe nur zwei Meßrohre, so können zwei Vergleichswiderstände in der Weise des Widerstandes 24 für die Bildung der Brücke verwendet werden.
  • Dadurch, daß der Widerstandswert der Widerstandsspirale 24 in derselben Weise wie derjenige der Widerstandsspiralen 15, 16, 17 vom Temperaturunterschied zwischen den Blöcken 18 und 19 abhängig ist, ist der Ausschlag des Gerätes 26 von diesem Temperaturunterschied unabhängig.

Claims (5)

  1. Patentansprüche: 1. Kalorischer Massenstrommesser zur Gasmessung mit je zur Führung eines Massenstromes dienenden Rohrteilen und an den Enden dieser Rohrteile angeordneten Mitteln wie Joche oder Mäntel zum Erzeugen gleicher Temperaturunterschiede über diese Rohrteile und in guter thermischer Berührung mit diesen Rohrteilen angebrachten temperaturempfindlichen elektrischen Widerständen, die in einer elektrischen Vergleichsschaltung, z. B. einer Wheatstone-Brücke, geschaltet sind, dadurch gekennzeichn e t, daß die Rohrteile (1 a, 1 b) sich alle parallel zueinander und dicht nebeneinander zwischen zwei je auf verschiedene Temperaturen gebrachten Blöcken (7, 8) großen Wärmeinhaltes aus gut wärmeleitendem Material erstrecken und mit ihren Endteilen derart in den Blöcken (7, 8) gefaßt sind, daß die durch jeden Rohrteil (1a, 1 b) hindurchströmende Masse in gutem thermischem Kontakt mit den zwei Blöcken auch durch letztere hindurchgeleitet wird.
  2. 2. Kalorischer Massenstrommesser nach Anspruch 1, wobei die Rohrteile in Reihe geschaltet sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Rohrteile (1 a, 1 b) in an sich bekannter Weise die Schenkel eines U-förmig gebogenen Rohres bilden.
  3. 3. Kalorischer Massenstrommesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Rohrteile (15, 16, 17) in zwei oder mehreren gesonderten Leitungskreisen geschaltet sind.
  4. 4. Kalorischer Massenstrommesser nach Anspruch 3 mit Rohrteilen gleicher wirksamer Längen, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis der Flächen der Querschnitte der Wände dieser Rohrteile dem Verhältnis der durch diese Rohrteile fließenden Massenströme gleich ist.
  5. 5. Kalorischer Massenstrommesser nach den Ansprüchen 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Mitteln (21, 22, 23) zur Erzeugung gleicher Temperaturunterschiede über den Rohrteilen(15, 16, 17) mindestens ein zusätzlicher Wärmeleiter (20) in der Gestalt eines Stabes oder eines Rohres ohne Massenstrom angeordnet ist, welcher Stab bzw. welches Rohr ebenfalls mit einem in der Vergleichsbrücke geschalteten temperaturempfindlichen elektrischen Widerstand (24) versehen ist.
    In Betracht gezogene Druckschriften: USA.-Patentschrift Nr. 2 594 618; Journal of Scientific Instruments, Vol. 24, Juni 1947, S. 154 und 155.
DER33477A 1961-09-14 1962-09-10 Kalorischer Massenstrommesser Withdrawn DE1256909B (de)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3302080A1 (de) * 1983-01-22 1984-07-26 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Thermischer massendurchflussmesser, insbesondere fuer gase
US4850714A (en) * 1985-01-25 1989-07-25 Leybold Aktiengesellschaft Apparatus for measuring the thermal conductivity of gases

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2594618A (en) * 1945-08-11 1952-04-29 Atomic Energy Commission Thermal flowmeter

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