DE1220152B - Vorrichtung zum verkantungsfehlerfreien Messen von Laengen - Google Patents

Vorrichtung zum verkantungsfehlerfreien Messen von Laengen

Info

Publication number
DE1220152B
DE1220152B DEW35153A DEW0035153A DE1220152B DE 1220152 B DE1220152 B DE 1220152B DE W35153 A DEW35153 A DE W35153A DE W0035153 A DEW0035153 A DE W0035153A DE 1220152 B DE1220152 B DE 1220152B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
signal
lengths
phase
sampling points
reticle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEW35153A
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Horst Burkhardt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Firma Wenczler and Heidenhain
Original Assignee
Firma Wenczler and Heidenhain
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Firma Wenczler and Heidenhain filed Critical Firma Wenczler and Heidenhain
Priority to DEW35153A priority Critical patent/DE1220152B/de
Priority to GB3454464A priority patent/GB1065975A/en
Publication of DE1220152B publication Critical patent/DE1220152B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36Forming the light into pulses
    • G01D5/38Forming the light into pulses by diffraction gratings
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/06Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness specially adapted for measuring length or width of objects while moving
    • G01B21/065Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness specially adapted for measuring length or width of objects while moving for stretchable materials

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

  • Vorrichtung zum verkantungsfehlerfreien Messen von Längen Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum verkantungsfehlerfreien Messen von Längen mit wenigstens drei senkrecht zur Teilungsrichtung eines Maßstabes nebeneinanderliegenden Abtaststellen, deren Ausgangssignale in ihrer gegenseitigen Beziehung ein Maß für die zu messende Länge darstellen.
  • Die nebeneinanderliegenden Abtaststellen können z. B. dazu dienen, gleichartige, zueinander phasenversetzte Impulszüge zu erzeugen, welche durch bekannte Schaltungsanordnungen gezählt werden. Dabei kann auf Grund der beabsichtigten Phasenversetzung auch die Bewegungsrichtung festgestellt werden.
  • Mehrere nebeneinanderliegende Abtaststellen sind aber auch bei binär codierten Maßstäben bekannt, bei denen mehrere Teilungen unterschiedlicher Gitterkonstante nebeneinander abgetastet werden.
  • Bei diesen bekannten Einrichtungen hat es sich als nachteilig erwiesen, daß Fehler in der Führung desjenigen Teiles, dessen Verschiebung gemessen werden soll, eine zusätzliche gegenseitige Phasenverlagerung der Signale zur Folge haben. Eine gleichbleibende Phasenlage ist aber Voraussetzung für eine einwandfreie Messung.
  • Die Erfindung löst diese Aufgabe bei einer Vorrichtung der eingangs genannten Art dadurch, daß die beiden äußeren Abtaststellen symmetrisch zu der Teilungsrichtung parallelen Symmetrieachse der Abtastplatte liegen, gleichen Rastern zugeordnet und, zur Bildung eines verkantungsfehlerfreien Signals zusammengeschaltet sind und daß die innere versetzte Abtaststelle ein zu diesem Signal phasenbezogenes Signal liefert. Überraschenderweise genügt bereits eine durch bekannte Schaltungen vorzunehmende additive Mischung, um eine exakt gleichbleibende Phasenlage des resultierenden Signals zu erhalten.
  • In den Zeichnungen ist die Erfindung an Hand eines Ausführungsbeispiels und dessen Wirkungsweise erläutert, wobei auch der bekannte Stand der Technik dargestellt ist.
  • F i g. 1 zeigt schematisch eine lichtelektrische Vorrichtung zum Messen von Längen. Ein Gittermaßstab 1 sowie eine darübergleitende Strichplatte 2 werden von einem Lichtbündel durchsetzt, das durch eine Lampe 3 und einen Kondensor 4 erzeugt wird.
  • Anschließend werden die beiden Hälften des Lichtbündels durch zwei Linsen 5 und 6 auf zwei lichtempfindliche Elemente7 und 8 geworfen, die elektrische Ausgangssignale 11 und 12 abgeben.
  • Auf Grund der Ausbildung der Strichplatte 2 in Form von um eine halbe Strichbreite (=1/4 der Gitterkonstante) gegeneinander versetzten Strichgruppen ergeben sich die Signale und 12 um 900 phasenversetzt zueinander. In F i g. 5 a sind die beiden Signale 11 und 12 in Abhängigkeit vom zurückgelegtenWeg dargestellt. Durch zwei Impulsformerstufen 9 und 10 (F i g. 1), welche bei dem Signalniveau N1, N2 (Fig. 5a) ansprechen, werden die Signale und 12 in Rechteckimpulszüge T1 und T2 umgeformt. Mit Hilfe bekannter Schaltungsanordnungen kann nun aus diesen Impulszügen T1 und T2 die jeweilige Position durch Zählung ermittelt werden, wobei infolge der gegenseitigen Versetzung um 900 auch der Richtungssinn festgelegt ist.
  • Die bisher beschriebene Anordnung und ihraWirkungsweise ist wohl bekannt und bedarf deshalb keiner weiteren Erläuterung.
  • Durch Einflüsse verschiedenster Art, z. B. durch fehlerhafte Führungen, ist eine Verkantung der Strichplatte 2 gegenüber dem Maßstab 1 möglich.
  • Hieraus ergeben sich aber Phasenverschiebungen der Ausgangssignale 11 und 12 und der davon abgeleiteten Rechteckimpulszüge Tt, T2. Fig. 4 zeigt den Zusammenhang zwischen dem Verkantungswinkel zur der Gitterkonstante a, dem Abstand d zwischen den Mitten der nebeneinanderliegenden Abtastfelder und dem Phasenfehler w. Fig. 3 veranschaulicht die Größen a, a und d.
  • Wie aus F i g. 4 ersichtlich, genügen bereits geringe Verkantungswinkel x, um große Phasenfehler w hervorzurufen. In Fig. 5b ist die Wirkung eines Phasenfehlers m von nicht einmal ganz 900 dargestellt. Die aus den Signalen 11 und 12 abgeleiteten Rechteckimpulszüge T; und T2 ergeben zumindest eine fehlerhafte Anzeige, wenn nicht unter Umständen das Funktionieren der nachgeschalteten Zähleinrichtung bei derart groben Phasenversetzungen überhaupt in Frage gestellt ist.
  • Fig. 2 zeigt im Prinzip eine fotoelektrische Vorrichtung zum Messen von Längen, welche gemäß der Erfindung ausgebildet ist und deshalb die vorgenann- ten Nachteile nicht mehr aufweist. Ein Gittermaßstab 11 sowie eine Strichplatte 12, deren Relativlage zum Maßstab 11 gemessen werden soll, werden von einem Lichtbündel durchsetzt, welches von der Lampe 13 und dem Kondensor 14 erzeugt wird. Anschließend wird das Lichtbündel durch drei Linsen 15, 16 und 17 auf drei foto empfindliche Elementel8, 19, 20 geworfen, welche elektrische Ausgangssignale 13, 1 und 14 abgeben.
  • Die Strichplatte 12 besitzt drei Reihen unter sich und mit dem Gittermaßstab 11 gleichartiger Teilungen. Die Striche der beiden äußeren Reihen liegen in Linie, während die mittlere Reihe um eine halbe Strichbreite (= t/4 der Gitterkonstante) dazu versetzt ist. In entsprechender Versetzung entstehen auch die Ausgangssignale 1l, Ig und 14, sofern die Strichplatte 12 nicht verkantet ist Tritt eine Verkantung der Strichplatte 12 ein, so ändert sich die gegenseitige Phasenlage der Signale I 13, 14. In F i g. 5 c und 5d sind zwei Beispiele für mögliche gegenseitige Phasenlagen unter verschiedenen Verkantungswinkeln dargestellt. Aus dem Vergleich der F i g. S c und 5 d ist aber auch ersichtlich, daß solche Veränderungen keine Phasenversetzung der Rechteckimpulszüge T1 und T2 hervorrufen, wenn nur der Impulszug T2 von einem Signal 12 abgeleitet ist, welches durch additive Mischung aus den Signalen 13 und 14 hervorgegangen ist. Die Fig. 2 zeigt schematisch die Anordnung.
  • Die Signale 13 und 14 werden einer bekannten Schaltung 21 zur additiven Mischung zugeführt, welche das Signal 12 an die Impulsformerstufe 22 weitergibt, welche auf das Signalniveau N2 (gleichbleibend in F i g. 5 c und 5 d) eingestellt ist. Das Signal Ii dagegen wird unverändert der Impulsformerstufe 23 mit dem Niveau Nl zugeführt. Die gegenseitige Phasenlage von Tal und T2 ist, wie die Figuren veranschaulichen, bei der enindungsgemäßen Anordnung unabhängig da; von, wie groß der Phasenfehlr zwischen den Sign'a len I 3 und 14 durch-V rk ntung der Strichplatte 12 ist.
  • Die Erfindung ist selbs.tverständlich nicht auf Einrichtungen beschränkt, bei denen die Signale auf lichtelektrischemWege genommen werden. Sie läßt sich mit gleichem Vorteil auch bei Einrichtungen mit z. B. kapazitiver oder induktiver Signalerzeugung anwenden.

Claims (2)

  1. Patentansprüche: 1. Vorrichtung zum verkantungsfehlerfreien Messen von Längen mit wenigstens drei senkrecht zur Teilungsrichtung eines Maßstabes nebeneinanderliegenden Abtaststellen, deren Ausgangssignale in ihrer gegenseitigen Beziehung ein Maß für die zu messende Länge darstellen, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden äußeren Abtaststellen (15, 18 und 17, 20) symmetrisch zur der Teilungsrichtung parallelen Symmetrieachse der Abtastplatte liegen, gleichen Rastern zugeordnet und zur Bildung eines verkantungsfehlerfreien Signals (12) zusammengeschaltet sind und daß die innere versetzte Abtaststelle (16, 19) ein zu die sem Signal (12) phasenbezogenes Signal(ll) liefert.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildung eines gemeinsamen Signals (12) aus den symmetrisch liegenden Abtaststellen (15, 18 und- 17, 20) durch additive Mischung erfolgt. ~~~~~~~ In Betracht gezogene Druckschriften: Zeitschrift »Werkstattstechnik«, H. 12 (1961), S. 697.
DEW35153A 1963-08-23 1963-08-23 Vorrichtung zum verkantungsfehlerfreien Messen von Laengen Pending DE1220152B (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEW35153A DE1220152B (de) 1963-08-23 1963-08-23 Vorrichtung zum verkantungsfehlerfreien Messen von Laengen
GB3454464A GB1065975A (en) 1963-08-23 1964-08-24 Apparatus for measuring lengths

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEW35153A DE1220152B (de) 1963-08-23 1963-08-23 Vorrichtung zum verkantungsfehlerfreien Messen von Laengen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1220152B true DE1220152B (de) 1966-06-30

Family

ID=7600813

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEW35153A Pending DE1220152B (de) 1963-08-23 1963-08-23 Vorrichtung zum verkantungsfehlerfreien Messen von Laengen

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE1220152B (de)
GB (1) GB1065975A (de)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1773428B1 (de) * 1968-05-14 1971-03-18 Rolls Royce Vorrichtung zur bestimmung der lage eines beweglichen bau teils relativ zu einem festen bezugssystem
DE2550840A1 (de) * 1974-11-25 1976-05-26 Bendix Corp Lagengeber
FR2368012A1 (fr) * 1976-10-15 1978-05-12 Bergkvist Lars A Dispositif d'indication d'angle ou de vitesse angulaire
DE2839880A1 (de) * 1978-06-17 1979-12-20 Marconi Co Ltd Lagecodiergeraet
DE3418798A1 (de) * 1984-05-19 1985-11-21 Mannesmann AG, 4000 Düsseldorf Einrichtung fuer die digitale steuerung einer maschine bzw. eines geraetes, insbesondere eines matrixdruckers

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5534692A (en) * 1992-09-14 1996-07-09 Sony Corporation Method for detecting origin point of position sensor

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
None *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1773428B1 (de) * 1968-05-14 1971-03-18 Rolls Royce Vorrichtung zur bestimmung der lage eines beweglichen bau teils relativ zu einem festen bezugssystem
DE2550840A1 (de) * 1974-11-25 1976-05-26 Bendix Corp Lagengeber
FR2368012A1 (fr) * 1976-10-15 1978-05-12 Bergkvist Lars A Dispositif d'indication d'angle ou de vitesse angulaire
DE2839880A1 (de) * 1978-06-17 1979-12-20 Marconi Co Ltd Lagecodiergeraet
FR2428855A1 (fr) * 1978-06-17 1980-01-11 Marconi Co Ltd Encodeur de position
DE3418798A1 (de) * 1984-05-19 1985-11-21 Mannesmann AG, 4000 Düsseldorf Einrichtung fuer die digitale steuerung einer maschine bzw. eines geraetes, insbesondere eines matrixdruckers

Also Published As

Publication number Publication date
GB1065975A (en) 1967-04-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3239108C2 (de)
DE3325803C2 (de) Inkrementale, lichtelektrische Meßeinrichtung
EP0268558A2 (de) Längen- oder Winkelmesseinrichtung
DE4301971A1 (de)
CH449980A (de) Einrichtung zum Messen von Längen mittels Impulszählung
DE1301916B (de) Einrichtung zum Messen von Laengen oder Winkeln mittels lichtelektrischer Abtastung
DE2914072C2 (de) Schaltungsanordnung zur Ermittlung der Periodendauer und/oder davon abgeleiteten Größen eines im wesentlichen periodischen Signals
DE10028136A1 (de) Positionsmeßsystem
DE2905023A1 (de) Digitalphasendetektor und verfahren zur detektion einer phasendifferenz
AT410485B (de) Positionsmesseinrichtung
CH434776A (de) Einrichtung zum Messen von Längen mittels Impulszählung
EP0390770A1 (de) Verfahren zur elektronischen Korrektur von Positionsfehlern bei einem inkrementalen Messsystem und Messsystem zur Durchführung des Verfahrens
DE1220152B (de) Vorrichtung zum verkantungsfehlerfreien Messen von Laengen
DE8717718U1 (de) Inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
DE2954673C2 (de)
DE2642925C2 (de) Inkrementale Längenmeßeinrichtung
EP0340481B1 (de) Anordnung zur Auswertung von Signalen eines Inkrementalgebers
EP0596535B1 (de) Verfahren zur hochauflösenden Messung von Linear- und Drehpositionen
DE3308841A1 (de) Einrichtung zur messung von verschiebungen und verdrehungen eines koerpers
DE2517440C3 (de) Anordnung zur Ermittlung der Absorption einer Strahlung in einer Ebene eines Körpers
DE2637621B2 (de) Anordnung zum Messen von Flüssigkeits- oder Gasmengen
DE2829292A1 (de) Einrichtung zur messung des drehwinkels einer umlaufenden welle
CH395559A (de) Digitale Winkelmesseinrichtung
DE1955917A1 (de) Impulszaehler
DE2001350C (de) Einrichtung mit einer Photozellenanordnung