DE1209041B - Process for the production of an inner hole saw for sawing crystals, half-citer material u. like - Google Patents

Description

Verfahren zur Herstellung einer Innenlochsäge zum Sägen von Kristallen, Halbleitermaterial u. dgl. Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung einer Innenlochsäge, deren Sägeblatt zwischen zwei Spannringen einer Sägevorrichtung eingespannt ist, deren Schneidkante mit Diamantstaub belegt ist, zum Sägen von Kristallen, Halbleitermaterial u. dgl.Process for the production of an inner diameter saw for sawing crystals, Semiconductor material and the like The invention relates to a method of manufacturing an inner diameter saw with a saw blade between two clamping rings of a sawing device is clamped, the cutting edge of which is covered with diamond dust, for sawing crystals, Semiconductor material and the like

Bei bekannten Sägevorrichtungen besteht das Sägeblatt aus einem Stammblatt, auf das ein Schneidkranz überlappend aufgesetzt ist. Nach einem bekannten Verfahren werden die Schneidzähne am Schneidkranz erst nach dessen Befestigung am Sägeblatt hergestellt. Die Herstellung der Schneidzähne soll jedoch nicht in der Sägemaschine selbst erfolgen, sondern durch eine selbsttätige Zahnfräsmaschine, bei der das Fräsen gleichzeitig an mehreren Sägeblättern durchgeführt werden kann. Die Sägeblätter sind außerdem auch nicht mit einem Spannring versehen.In known sawing devices, the saw blade consists of a master blade, on which a cutting ring is placed in an overlapping manner. According to a known method the cutting teeth on the cutting ring only become after it has been attached to the saw blade manufactured. However, the cutting teeth should not be produced in the sawing machine take place themselves, but by an automatic tooth milling machine, in which the milling can be carried out on several saw blades at the same time. The saw blades are also not provided with a clamping ring.

Weiterhin ist es bei Schleifwerkzeugen bekanntgeworden, an Stelle der üblichen Schleifscheiben ringförmige Schleifscheiben zu verwenden und das Schleifen an der Innenfläche dieser ringförmigen Schleifscheiben vorzunehmen. Die Verwendung rinb förmiger Schleifscheiben wurde vorgeschlagen, um den relativ großen Zentrifugalkräften bei Schleifscheiben durch Einspannen der Schleifscheiben in einen Träger entgegenwirken zu können. Um zu verhindern, daß die Schleiffläche bei der Herstellung von Gevliiden an Schärfe verliert, ist ein Diamant vorgesehen, der während der Schleifbehandlung die beanspruchten Schleifflächen gleichzeitig schärft. Das ursprüngliche Abrichten des Schleifwerkzeuges erfolgt jedoch bei dem bekannten Verfahren nicht auf der Schleifmaschine.It has also become known in place of grinding tools the usual grinding wheels to use ring-shaped grinding wheels and the grinding on the inner surface of these annular grinding wheels. The usage Rinb shaped grinding wheels have been suggested to cope with the relatively large centrifugal forces counteract this in the case of grinding wheels by clamping the grinding wheels in a carrier to be able to. To prevent the grinding surface in the manufacture of Gevliiden loses its sharpness, a diamond is provided that during the grinding treatment sharpens the stressed grinding surfaces at the same time. The original dressing However, the grinding tool does not take place on the grinding machine in the known method.

Bei den bekannten Innenlochsägen besteht die Schwierigkeit einer genauen Ausrichtung des Sägeblattes in der Säge; denn bei der Innenlochsäge kommt es darauf an, daß die Schneidkante des Sägeblattes während der Drehung des Sägeblattes fortlaufend am Material bleibt, so daß eine gleichmäßige Reibun- zwischen dem zu sägenden Material und der Schneidkante der Säge entsteht. Bei nicht genauer Ausrichtung des Sägeblattes in der Säge ist dies nicht der Fall, weil dann die Schneidkante während einer vollen Umdrehung des Sägeblattes stets nur während eines Teiles des Sägeblattumfanges mit dem zu schneidenden Material in Berührung kommt. -Diese Ungleichmäßigkeit führt dann sehr schnell zu Spannungen innerhalb des Sägeblattes und zu seiner mechanischen Beschädigung.In the case of the known inner diameter saws, there is the difficulty of an accurate one Alignment of the saw blade in the saw; because with the inner diameter saw it depends indicates that the cutting edge of the saw blade is continuous during the rotation of the saw blade remains on the material so that there is even friction between the material to be sawed and the cutting edge of the saw is created. If the saw blade is not precisely aligned in the saw this is not the case, because then the cutting edge during a full Rotation of the saw blade always only during part of the saw blade circumference comes into contact with the material to be cut. -This leads to unevenness then very quickly to tension within the saw blade and to its mechanical Damage.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung derartiger Sägen anzugeben, bei dem die erwähnten Ungenauigkeiten bei der Umdrehung des Sägeblattes nicht zu befürchten sind.The invention is based on the object of a method for production to indicate such saws, in which the mentioned inaccuracies in the rotation of the saw blade are not to be feared.

Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung einer entsprechenden Innenlochsäge besteht darin, daß das Sägeblatt als vorgefertigter Rohling in die Spannringe eingespannt wird, der hierin eingespannte Sägeblattrohling anschließend an der Schneidkante in der Sägevorrichtung zentrisch ab- oder ausgedreht und nach Herausnahme der aus Spannring und Sägeblatt bestehenden Einheit auf die Schneidkante des Sägeblattes noch Diamantstaub aufgebracht wird.The inventive method for producing a corresponding Inner diameter saw consists in that the saw blade as a prefabricated blank in the Clamping rings is clamped, the saw blade blank clamped therein then at the cutting edge in the sawing device centrically turned off or out and after Removal of the unit consisting of clamping ring and saw blade on the cutting edge diamond dust is still applied to the saw blade.

Das Verfahren besteht also insgesamt aus drei Schritten: Zunächst wird das kreisförmige Sägeblatt, das aus dem dafür vorgesehenen Blechmaterial herausgeschnitten wird, in dem gleichen Spannring festgespannt, in dem es einmal in der Säge verwendet werden soll. Anschließend wird die Schneidkante in der Säge selbst, z. B. durch Ab- oder Ausdrehen des Sägeblattes, bearbeitet, so daß diese Schneidkante, also das Loch einer Innenlochsäge, genau zentrisch in der Säge läuft. Schließlich wird die aus Spannring und Sägeblatt bestehende Einheit herausgenommen, und zu beiden Seiten der Schneidkante des Sägeblattes wird der Diamantstaub aufgebracht.The process therefore consists of three steps in total: First the circular saw blade is cut out of the sheet material provided for it is clamped in the same clamping ring in which it was used once in the saw shall be. Then the cutting edge in the saw itself, for. B. by Turning off or turning out the saw blade, processed so that this cutting edge, so the hole of an inner diameter saw runs exactly centered in the saw. Finally will the unit consisting of clamping ring and saw blade removed, and to both The diamond dust is applied to the sides of the cutting edge of the saw blade.

Diamantäsgen, welche nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt sind, besitzen nicht die eingangs geschilderten Mängel, sie laufen vielmehr genau zentrisch, so daß während eines vollen Umlaufs des Sägeblattes eine gleichmäßige Reibung zwischen der Schneidkante des Sägeblattes und dem zu schneidenden Material besteht. Eine Beschädigung des Sägeblattes ist nun nicht mehr möglich, und auch seine einseitige Abnutzung wird vermieden. Ein weiterer Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, daß man wegen des genau zentrischen Laufes der Sägeblätter nunmehr dünne Sägeblätter verwenden kann, was zu einer großen Materialeinsparung während des Sägens führt. Ungleichmäßigkeiten während des Laufes des Sägeblattes wirken sich um so mehr nachteilig aus, je dünner das Sägeblatt ist. Dünne Sägeblätter ergeben aber einen wesentlich geringeren Abfall während des Schneidvorganges als dickere Sägeblätter. Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren ist es möglich, Kristallsägen mit einer Stärke des Sägeblattes von 0,1 mm und darunter herzustellen.Diamond saws produced by the method according to the invention are, do not have the deficiencies described at the beginning, they rather run exactly centrically, so that during a full revolution of the saw blade a uniform Friction between the cutting edge of the saw blade and the material to be cut consists. Damage to the saw blade is no longer possible, and also its one-sided wear is avoided. Another advantage of the method according to the invention is that because of the exactly centric The run of the saw blades can now use thin saw blades, resulting in a large one Material savings during sawing leads to. Irregularities during the run of the saw blade are all the more disadvantageous, the thinner the saw blade. However, thin saw blades result in much less waste during the cutting process than thicker saw blades. According to the method according to the invention, it is possible to use crystal saws with a saw blade thickness of 0.1 mm and below.

Ein Ausführungsbeispiel für eine nach dem vorgeschlagenen Verfahren hergestellte Kristallsäge ist in der Zeichnung in F i g. 1 in Ansicht und in F i g. 2 im Schnitt wiedergegeben.An embodiment of one according to the proposed method The crystal saw produced is shown in the drawing in FIG. 1 in view and in F i G. 2 reproduced in section.

Der Spannring, zwischen den das Sägeblatt 3 eingespannt wird, besteht aus den beiden Metallringen 1 und 2. Diese Ringe besitzen einerseits Bohrungen 6, welche das konzentrische Festspannen des Ringes auf der Säge ermöglichen, andererseits Bohrungen 5 zum gegenseitigen Verspannen der beiden Ringe 1 und 2. Nach dem Festspannen des Sägeblattes 3 zwischen den beiden Metallringen 1 und 2 wird bei dieser Innenlochsäge zunächst der Innenrand des Säge-Blattes in der Säge, in der das Sägeblatt verwendet werden soll, ausgedreht. Anschließend wird auf die beiden Seiten dieser Schneidkante Diamantstaub 4 aufgebracht.The clamping ring between which the saw blade 3 is clamped exists from the two metal rings 1 and 2. These rings have holes 6 on the one hand, which allow the concentric clamping of the ring on the saw, on the other hand Bores 5 for mutual tensioning of the two rings 1 and 2. After tightening of the saw blade 3 between the two metal rings 1 and 2 is used in this inner diameter saw first the inside edge of the saw blade in the saw in which the saw blade was used should be turned out. Then it is applied to both sides of this cutting edge Diamond dust 4 applied.

Claims (1)

Patentanspruch: Verfahren zur Herstellung einer Innenlochsäge, deren Sägeblatt zwischen zwei Spannringen einer Sägevorrichtung eingespannt ist und deren Schneidkante mit Diamantstaub belegt ist, zum Sägen von Kristallen, Halbleitermaterial u. dgl., dadurch gekennzeichnet, daß das Sägeblatt als vorgefertigter Rohling in die Spannringe eingespannt wird, der hierin eingespannte Sägeblattrohling anschließend an der Schneidkante in der Sägevorrichtung zentrisch ab- oder ausgedreht und nach Herausnahme der aus Spannring und Sägeblatt bestehenden Einheit auf die Schneidkante der Diamantstaub aufgebracht wird. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 457 928; britische Patentschrift Nr. 728 835; USA.-Patentschriften Nr. 2 721488, 2 713 339, 2173555. Claim: A method for producing an inner diameter saw, the saw blade of which is clamped between two clamping rings of a sawing device and the cutting edge of which is coated with diamond dust, for sawing crystals, semiconductor material and the like, characterized in that the saw blade is clamped as a prefabricated blank in the clamping rings , the saw blade blank clamped therein is then turned off or out centrically at the cutting edge in the sawing device and, after removing the unit consisting of clamping ring and saw blade, the diamond dust is applied to the cutting edge. Documents considered: German Patent No. 457 928; British Patent No. 728,835; U.S. Patent Nos. 2,721,488, 2,713,339, 2173555.