DE1200442B - Verfahren zur Herstellung einer Spitzenkathode hoher Feldemission - Google Patents
Verfahren zur Herstellung einer Spitzenkathode hoher FeldemissionInfo
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Description
BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND
DEUTSCHES
PATENTAMT
AUSLEGESCHRIFT
Int. α.:
HOIj
Nummer: 1200 442
Aktenzeichen: C 28356 VIII c/21 g
Anmeldetag: 7. November 1962
Auslegetag: 9. September 1965
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Spitzenkathode hoher Feldemission,
die aus dem Karbid eines hochschmelzenden Metalls besteht, wobei das Karbid auf einen Metallträger
aufgebracht wird.
Spitzenkathoden hoher Feldemission mit hinreichend geringem Krümmungsradius aus dem Karbid
eines hochschmelzenden Metalls sind bekannt. Bei den Herstellungsverfahren dieser Kathoden geht man
entweder von einem Zirkonkarbidblock, der nach üblichen Verfahren vorgefertigt ist, sich jedoch für
ein Spitzenfertigungsverfahren nicht von selbst anbietet, aus, oder man erzeugt Einkristalle ausZirkonkarbid,
die zwar für ein Spitzenfertigungsverfahren unter elektrochemischer Einwirkung innerhalb von
Lösungen, wie z. B. Kaliumfluorid in Schwefelsäure, prädestiniert sind, jedoch technisch nur schwierig
herzustellen sind.
Ziel der Erfindung ist ein Verfahren der eingangs genannten Gattung, das auf einfache Weise ao
die Herstellung von Spitzen der gewünschten Feinheit gestattet, die Schwierigkeiten der bekannten
Verfahren jedoch vermeidet. Das Verfahren soll besonders für die gleichzeitige Herstellung
einer großen Menge derartiger Spitzen geeignet sein.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß die Spitze der Kathode an dem Metallträger
gebildet wird, daß auf diese Spitze das hochschmelzende Metall aufgedampft wird und daß dann
das aufgedampfte Metall in das Karbid übergeführt wird.
Es ist zwar bereits eine Spitzenkathode bekannt, bei der eine aus Siliziumkarbid bestehende Spitze auf
einem Träger aus Wolfram befestigt ist. Die aus Siliziumkarbid bestehende Spitze ist an dem Wolframträger
beispielsweise durch Löten befestigt. Bei der bekannten Spitzenkathode wird also die Spitze
nach den bekannten Herstellungsverfahren direkt aus Siliziumkarbid hergestellt. Das beschriebene Verfahren
hat demgegenüber den Vorteil, daß die eigentliche Spitze aus einem leicht zu einer Spitze
verformbaren Metall gefertigt werden kann und daß erst danach durch Aufdampfen eines hochschmelzenden
Metalls und Überführung des Metalls in Karbid die gewünschte Oberfläche der Spitzenkathode
hergestellt wird.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform des beschriebenen Verfahrens wird das hochschmelzende
Metall in einer Naphthalin- oder Benzolatmosphäre in das Karbid übergeführt. Als Metallträger können
Wolfram, Molybdän, Platin oder Rhenium verwendet Verfahren zur Herstellung einer Spitzenkathode
hoher Feldemission
Anmelder:
CSF Compagnie Generale de Telegraphic sans FiI,
Paris
Vertreter:
Dr. W. Müller-Bore und Dipl.-Ing. H. Gralfs,
Patentanwälte, Braunschweig, Am Bürgerpark 8
Patentanwälte, Braunschweig, Am Bürgerpark 8
Als Erfinder benannt:
Arvind Shroff, Paris
Arvind Shroff, Paris
Beanspruchte Priorität:
Frankreich vom 8. November 1961 (878 265) - -
werden. Bevorzugt wird als hochschmelzendes Metall Zirkon verwendet.
Bei der Herstellung einer Zirkonkarbidspitze wird zunächst aus einem Basismetall, wie z. B. Wolfram,
eine Spitze der gewünschten Größe und mit dem gewünschten Krümmungsradius durch ein bekanntes
Herstellungsverfahren angefertigt. Anschließend wird auf dieses Basismetall das Zirkon aufgedampft.
Anschließend wird das Zirkon durch ein bekanntes Verfahren in Zirkonkarbid übergeführt, was vorzugsweise
in einer Atmosphäre eines organischen Stoffes, wie Naphthalin oder Benzol, geschieht.
Das beschriebene Verfahren eignet sich besonders dazu, gleichzeitig mehrere Spitzen anzufertigen.
Claims (3)
1. Verfahren zur Herstellung einer Spitzenkathode hoher Feldemission, die aus dem Karbid
eines hochschmelzenden Metalls besteht, wobei das Karbid auf einen Metallträger aufgebracht
wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Spitze der Kathode an dem Metallträger gebildet
wird, daß auf diese Spitze das hochschmelzende Metall aufgedampft wird und daß dann das aufgedampfte
Metall in das Karbid übergeführt wird.
509 660/359
.-- ■'-■■■ .-"■ "::' 1200
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- 4. Verfahren nach Anspruch l;oster 2, dadurch
kennzeichnet, daß das hochschmelzende Metall gekennzeichnet, daß als hochschmelzendes Metall
in einer Naphthalin- oder Benzolatmosphäre in Zirkon verwendet wird. -
das Karbid übergeführt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- 5
ih dß l ll Wlf
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß als Metallträger Wolfram, ... "; JnBetrachtgföojeneDruckschriften:
Molybdän, Platin oder Rhenium verwendet wird. Britische Patentschrift Nr. 230 183.
509 660/359 8.65 © Bundesdruckerei Berlin
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