DE117717T1 - Betrieb fuer vierpol-messenspektrometer im "rf only"-breitbandmodus. - Google Patents
Betrieb fuer vierpol-messenspektrometer im "rf only"-breitbandmodus.Info
- Publication number
- DE117717T1 DE117717T1 DE198484301140T DE84301140T DE117717T1 DE 117717 T1 DE117717 T1 DE 117717T1 DE 198484301140 T DE198484301140 T DE 198484301140T DE 84301140 T DE84301140 T DE 84301140T DE 117717 T1 DE117717 T1 DE 117717T1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- potential
- potentials
- values
- ions
- mass spectrometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 21
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 claims 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910001868 water Inorganic materials 0.000 claims 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
- H01J41/02—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas
- H01J41/10—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas of particle spectrometer type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/42—Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
- H01J49/4205—Device types
- H01J49/421—Mass filters, i.e. deviating unwanted ions without trapping
- H01J49/4215—Quadrupole mass filters
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Claims (11)
1. Verfahren zur Bestimmung des Gesamtdrucks einer Gasmischung, die in der Quelle eines im Breitband-Nur-HF-Modus
betriebenen Quadrupol-Massenspektrometers vorhanden ist, wenn die Gasmischung Bestandteile enthält, für die der
maximale Übertragungswirkungsgrad bei unterschiedlichen angelegten HF-Potentialen auftritt, wobei das Verfahren
umfaßt, daß der Ionenstrom bei einem ersten der HF-Potentiale und später bei einem oder mehreren weiteren HF-Potentialen
bestimmt wird und Signale, die sämtliche so bestimmte Ionenströme erzeugen, kombiniert werden, um eine
Anzeige des Gesamtdrucks der Gasmischung zu erzeugen.
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem zwei Potentiale so ausgewählt werden, daß bei dem niedrigeren angelegten HF-Potential
Ionen des niedrigsten Bereiches von m/e-Werten wirksam übertragen werden und beim höheren angelegten HF-Potential
Ionen mit höheren m/e-Werten wirksam übertragen werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei dem die Potentiale weiter ausgewählt werden, um die Übertragung von
Ionen mit m/e außerhalb des Bereiches, den ein jedes dieser Potentiale primär übertragen soll, auf ein Minimum
herabzusetzen.
*■
4. Verfahren zur Verwendung eines Quadrupol-Massenspektrometers
zum Messen des Gesamtdrucks der Restgase in einem Vakuumsystem dadurch, daß wenigstens die Ionenquelle des
Spektrometers im Vakuumsystem positioniert wird und das Massehfilter des Spektrometers im Breitband-Nur-HF-Modus
betrieben wird, der Ionenstrom bei einem an die Filterelektroden angelegten ersten HF-Potential bestimmt wird,
das zur Sicherstellung einer wirksamen Übertragung von von Wasserstoff und Helium abstammenden Ionen durch das Massenfilter
ausgewählt wurde, und in einem separaten Arbeitsgang der Ionenstrom bei einem zweiten HF-Potential bestimmt
wird, das zur Sicherstellung einer wirksamen Übertragung schwererer Ionen wie z.B. von Stickstoff, Sauerstoff,
Wasser und Kohlendioxid abstammenden Ionen durch das Filter
!5 ausgewählt wurde, und die so bestimmten Ionenströme
anzeigenden Signale kombiniert werden, um eine Anzeige des Gesamtdrucks der Restgase im Vakuumsystem zu erzeugen.
5. Massenspektrometer, enthaltend eine Ionenquelle (1),
ein Massenfilter (4) vom Quadrupoltyp, das im Breitband-Nur-HF-Modus
betätigbar ist, wodurch die gleichzeitige Übertragung von Ionen über einen weiten Bereich von m/e-Werten
gestattet wird, und einen Ionendetektor (5), der zur Erzeugung eines die Intensität des aus dem Massenfilter
austretenden Ionenstrahls anzeigenden Signals angeordnet ist, wobei das Massenfilter eine Einrichtung (11, 12) zum
Schalten des an die Filterstäbe angelegten HF-Potentials zwischen einer Anzahl von Werten, von denen jeder so
ausgewählt ist, daß Ionen aus unterschiedlichen Bereichen von m/e-Werten wirksam durch das Filter übertragen werden,
und eine Einrichtung (13) zum Kombinieren der Signale aus dem Detektor enthält, die bei zwei oder mehr der HF-Potentialwerte
erzeugt wurden, um ein die Gesamtzahl von durch die Quelle erzeugten Ionen, unabhängig von ihren m/e-Werten,
anzeigendes Signal zu erzeugen.
*
6. Massenspektrometer nach Anspruch 5, bei dem die Einrichtung
(11, 12) zum Schalten des HF-Potentials in der Lage ist, das HF-Potential zwischen ausgewählten Werten bei
einer ausgewählten Schaltfrequenz wiederholt zu schalten,
° und die Einrichtung (13) zum Kombinieren der Signale aus
dem Detektor geeignet ist, die bei den ausgewählten HF-Potentialen erzeugten Signale so zu addieren, daß ein
resultierendes Signal gleich der Summe der übertragenen
Ionenintensitäten bei jedem HF-Potentialwert erzeugt wird. 10
7. Massenspektrometer nach Anspruch 5, bei dem die Einrichtung (11, 12) zum Schalten des HF-Potentials zu einem
Betrieb bei einer ausgewählten Frequenz auf eine solche Weise in der Lage ist, daß jedes der HF-Potentiale für im
wesentlichen dieselbe Zeit ausgewählt wird, und die Einrichtung (13) zum Kombinieren der bei jedem der HF-Potentiale
erzeugten Signale geeignet ist, ein resultierendes Signal zu erzeugen, daß das Mittel der beim Detektor erzeugten
Signale für jeden HF-Potentialwert ist.
8. Massenspektrometer nach den Ansprüchen 5, 6 oder 7, bei dem das an die Filterstäbe angelegte HF-Potential zwischen
zwei Werten geschaltet werden kann, wobei einer der Werte so ausgewählt ist, daß er zu einer wirksamen Übertragung
von von Wasserstoff und Helium abstammenden Ionen führt, und der andere der Werte ausgewählt ist, um zu einer wirksamen
Übertragung von Ionen mit höherer Masse wie denjenigen führt, die von Stickstoff, Wasserstoff, Wasser und
Kohlendioxid abstammen.
9. Massenspektrometer nach einem beliebigen der Ansprüche 5 bis 8, das eine Einrichtung (8) zur Erzeugung der HF-Potentiale,
deren Ausgangspotential durch ein an einen Steuereingang angelegtes Gleichstrompotential gesteuert
wird, und eine Einrichtung (11, 12) enthält, um ein Potential mit wiederholender Wellenform zu erzeugen und den
Steuereingang anzulegen, wobei das Potential Perioden mit
konstantem Potential besitzt, ausgewählt um zu bewirken, daß die Einrichtung zum Erzeugen der HF-Potentiale die
gewünschte Anzahl von HF-Potentialwerten erzeugt.
10. Massenspektrometer nach einem beliebigen der Ansprüche 5 bis 9, das weiter eine Computersteuereinrichtung (11)
aufweist* die zum Steuern der Funktion der Einrichtung (8) zur Erzeugung der HF-Potentiale und des Ionendetektors (5)
angeordnet ist, wobei die Einrichtung zum Schalten die mit einem ersten Programm arbeitende Computersteuereinrichtung
aufweist und die Einrichtung zum Kombinieren die mit einem zweiten Programm, zusammenwirkend mit dem ersten Programm
arbeitende Computersteuereinrichtung aufweist.
11. ■ Massenspektrometer nach einem beliebigen der Ansprüche
5 bis 10, das zusätzlich mit einer Einrichtung, die es zum Arbeiten als herkömmliches Quadrupol-Massenspektrometer
befähigt, und einer Schalteinrichtung (Sl, S2, S3) versehen ist, die die Auswahl des herkömmlichen Modus oder des
Breitband-Nur-HF-Modus ermöglicht.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB838305228A GB8305228D0 (en) | 1983-02-25 | 1983-02-25 | Operating quadrupole mass spectrometers |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE117717T1 true DE117717T1 (de) | 1987-06-11 |
Family
ID=10538580
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE198484301140T Pending DE117717T1 (de) | 1983-02-25 | 1984-02-22 | Betrieb fuer vierpol-messenspektrometer im "rf only"-breitbandmodus. |
DE8484301140T Expired DE3478538D1 (en) | 1983-02-25 | 1984-02-22 | Improvements in operating quadrupole mass spectrometers in the broadband "rf only" mode |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE8484301140T Expired DE3478538D1 (en) | 1983-02-25 | 1984-02-22 | Improvements in operating quadrupole mass spectrometers in the broadband "rf only" mode |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4535236A (de) |
EP (1) | EP0117717B1 (de) |
DE (2) | DE117717T1 (de) |
GB (1) | GB8305228D0 (de) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4650999A (en) * | 1984-10-22 | 1987-03-17 | Finnigan Corporation | Method of mass analyzing a sample over a wide mass range by use of a quadrupole ion trap |
GB8503125D0 (en) * | 1985-02-07 | 1985-03-13 | Sherritt Gordon Mines Ltd | Quadrupole mass spectrometers |
CA1251870A (en) * | 1985-12-11 | 1989-03-28 | Peter H. Dawson | Quadrupole mass spectrometer |
GB8603999D0 (en) * | 1986-02-18 | 1986-03-26 | Vg Instr Group | Vacuum monitoring apparatus |
US4749860A (en) * | 1986-06-05 | 1988-06-07 | Finnigan Corporation | Method of isolating a single mass in a quadrupole ion trap |
US4755670A (en) * | 1986-10-01 | 1988-07-05 | Finnigan Corporation | Fourtier transform quadrupole mass spectrometer and method |
US5089703A (en) * | 1991-05-16 | 1992-02-18 | Finnigan Corporation | Method and apparatus for mass analysis in a multipole mass spectrometer |
US5302827A (en) * | 1993-05-11 | 1994-04-12 | Mks Instruments, Inc. | Quadrupole mass spectrometer |
US5672870A (en) * | 1995-12-18 | 1997-09-30 | Hewlett Packard Company | Mass selective notch filter with quadrupole excision fields |
US5598001A (en) * | 1996-01-30 | 1997-01-28 | Hewlett-Packard Company | Mass selective multinotch filter with orthogonal excision fields |
US6528784B1 (en) | 1999-12-03 | 2003-03-04 | Thermo Finnigan Llc | Mass spectrometer system including a double ion guide interface and method of operation |
SE0002066D0 (sv) * | 2000-05-31 | 2000-05-31 | Amersham Pharm Biotech Ab | Method and device for preforming analyses in parallel |
CN1666317A (zh) * | 2002-05-31 | 2005-09-07 | 萨莫芬尼根有限责任公司 | 具有改进的质量准确性的质谱仪 |
US6897438B2 (en) * | 2002-08-05 | 2005-05-24 | University Of British Columbia | Geometry for generating a two-dimensional substantially quadrupole field |
US7045797B2 (en) * | 2002-08-05 | 2006-05-16 | The University Of British Columbia | Axial ejection with improved geometry for generating a two-dimensional substantially quadrupole field |
GB0327241D0 (en) * | 2003-11-21 | 2003-12-24 | Gv Instr | Ion detector |
EP3147935B1 (de) * | 2008-05-22 | 2020-08-05 | Shimadzu Corporation | Quadrupol-massenspektrometer |
US9490115B2 (en) * | 2014-12-18 | 2016-11-08 | Thermo Finnigan Llc | Varying frequency during a quadrupole scan for improved resolution and mass range |
US10056244B1 (en) * | 2017-07-28 | 2018-08-21 | Thermo Finnigan Llc | Tuning multipole RF amplitude for ions not present in calibrant |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT528250A (de) * | 1953-12-24 | |||
JPS52714B1 (de) * | 1971-06-21 | 1977-01-10 | ||
US3895231A (en) * | 1973-04-30 | 1975-07-15 | Univ Colorado | Method and inlet control system for controlling a gas flow sample to an evacuated chamber |
US3926209A (en) * | 1973-04-30 | 1975-12-16 | Univ Colorado | Method and inlet control system for controlling a gas flow sample to an evacuated chamber |
US4018241A (en) * | 1974-09-23 | 1977-04-19 | The Regents Of The University Of Colorado | Method and inlet control system for controlling a gas flow sample to an evacuated chamber |
US4234791A (en) * | 1978-11-13 | 1980-11-18 | Research Corporation | Tandem quadrupole mass spectrometer for selected ion fragmentation studies and low energy collision induced dissociator therefor |
CA1134956A (en) * | 1979-08-03 | 1982-11-02 | John B. French | Tandem mass spectrometer with open structure ac-only rod sections, and method of operating a mass spectrometer system |
CA1134957A (en) * | 1979-08-03 | 1982-11-02 | Mds Health Group Limited | Tandem mass spectrometer with synchronized rf fields |
-
1983
- 1983-02-25 GB GB838305228A patent/GB8305228D0/en active Pending
-
1984
- 1984-02-22 DE DE198484301140T patent/DE117717T1/de active Pending
- 1984-02-22 EP EP84301140A patent/EP0117717B1/de not_active Expired
- 1984-02-22 DE DE8484301140T patent/DE3478538D1/de not_active Expired
- 1984-02-23 US US06/582,789 patent/US4535236A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0117717A2 (de) | 1984-09-05 |
GB8305228D0 (en) | 1983-03-30 |
EP0117717A3 (en) | 1986-02-12 |
DE3478538D1 (en) | 1989-07-06 |
EP0117717B1 (de) | 1989-05-31 |
US4535236A (en) | 1985-08-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE117717T1 (de) | Betrieb fuer vierpol-messenspektrometer im "rf only"-breitbandmodus. | |
DE69326681T2 (de) | Verfahren und Apparat zum Erzeugen von linearen Rückführungsschieberegistersequenzen | |
EP0014304B1 (de) | Verfahren und Anordnung zur berührungslosen Potentialmessung an einem elektronischen Bauelement | |
DE2219085C3 (de) | Frequenzanalysator | |
DE2924244C2 (de) | Röntgenfluoreszenz-Verfahren zum Messen des Gehaltes oder der Menge eines bestimmten Elementes in einer Probe mittels einer Röntgenröhre und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
DE1943140B2 (de) | Verfahren zum analysieren des oberflaechenpotentials eines prueflings | |
DE2740272B2 (de) | Verfahren zum Trennen von zwei Isotopen eines Stoffes | |
DE3636954A1 (de) | Massenspektrometer mit atmosphaerendruck-ionisation | |
DE3338544C2 (de) | ||
DE3124465A1 (de) | Verfahren zur ionen-zyklotron-resonanz-spektroskopie | |
DE2221151A1 (de) | Anordnung zur Messung der Strahlungsdosis eines ionisierenden Strahlungsbuendels | |
DE2429955B2 (de) | Schaltungsanordnung zur Verarbeitung physiologischer Meßsignale | |
DE2411841B2 (de) | Auger-Elektronenspektrometer | |
DE4002270A1 (de) | Schaltungsanordnung mit dividierendem analogdigitalwandler | |
DE2912747B2 (de) | Verfahren zur Bestimmung des Widerstands, der Kapazität und der Induktivität einer in einer Meßzelle vorhandenen Flüssigkeit und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens | |
DE19842689A1 (de) | Massenspektrometer | |
DE2939521C2 (de) | Massenspektrometer | |
DE3617044A1 (de) | Messverarbeitungsanordnung fuer korpuskularstrahlung | |
EP0310816A1 (de) | Automatische Frequenznachführung bei Korpuskularstrahlmessverfahren unter Anwendung eines modulierten Primärstrahls | |
DE3309352C2 (de) | Umsetzeranordnung für phasenverkoppelte Trägerfrequenz-Übertragunssysteme | |
DE2159059A1 (de) | Verfahren und Schaltungsanordnung zum Empfang von Signaltönen | |
EP0301254A2 (de) | Spannungsmessung mit einer Elektronensonde durch Messungen im Frequenzbereich mittels eines modulierten Primärstrahls | |
DE1549811B1 (de) | Anordnung zur umwandlung der koordinaten einer ueber eine flaeche bewegten sonde in elektrische signale | |
DE4307817C1 (de) | Meßverfahren und Meßeinrichtung zur Messung des Effektivwerts | |
DE2211227A1 (de) | Massenspektrometer |