DE112018005835T5

DE112018005835T5 - Verfahren zum auswerten eines oberflächenzustands eines überprüfungsziels, auswertungseinrichtung, verfahren zum steuern einer auswertungseinrichtung, sowie steuerungsprogramm für eine auswertungseinrichtung

Info

Publication number: DE112018005835T5
Application number: DE112018005835.2T
Authority: DE
Inventors: Toshiya Tsuji; Shoichi Yamamoto; Yuji Kobayashi; Toshio Sugibayashi; Shun Yoshida
Original assignee: Sintokogio Ltd
Current assignee: Sintokogio Ltd
Priority date: 2017-11-14
Filing date: 2018-10-25
Publication date: 2020-08-06
Also published as: US20210190678A1; JPWO2019097981A1; TW201923333A; CN111094949A; JP7184048B2; WO2019097981A1

Abstract

Ein Punkt auf einer Oberfläche eines qualifizierten Artikels wird im Voraus von einem Farbsensor (32) ohne Kontakt gemessen, und ein Qualifikations-Referenzwert wird auf der Basis eines Ausgabewerts daraus vorgegeben. Danach wird ein Punkt auf einer Oberfläche eines Überprüfungsziels, das die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie der qualifizierte Artikel aufweist, mittels des Farbsensors (32) ohne Kontakt bzw. Berührung gemessen, und ein Ausgabewert daraus wird mit dem Qualifikations-Referenzwert verglichen, und der Status Qualifikation/Defekt wird beurteilt. Da auf diese Weise eine Einschätzung hinsichtlich des Status Qualifikation bzw. Defekt ausgeführt werden kann, ohne dass das Überprüfungsziel berührt wird, ist eine Verwendung bei einer Hochgeschwindigkeits-Fertigungslinie möglich.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels, eine Auswertungseinrichtung, ein Verfahren zum Steuern einer Auswertungseinrichtung sowie ein Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung.
Stand der Technik
Eine Technik, die ein Verfahren zum Bestimmen eines basisbearbeiteten Zustands einer Metalloberfläche betrifft, ist in der internationalen Patentanmeldungs-Veröffentlichung WO 2015/044591 A1 beschrieben. Bei dieser Technik wird eine kolorimetrische Analyse durchgeführt, um den basisbearbeiteten Zustand der Metalloberfläche zu bestimmen. Eine Farbmesseinrichtung wird bei dieser kolorimetrischen Analyse verwendet, und die Farbmesseinrichtung ist mit einem Endstopfen zum Blockieren von externen Lichtquellen ausgestattet. Es wird nämlich eine kolorimetrische Analyse unter Verwendung einer Farbmesseinrichtung in einem Zustand durchgeführt, in welchem der Endstopfen in Kontakt mit der Metalloberfläche gebracht ist, die der Basisbearbeitung unterzogen worden ist.
Dokumente zum Stand der Technik
P atentdokumente
Patentdokument 1: Internationale Veröffentlichung WO 2015/044591 A1
Zusammenfassung der Erfindung
Technisches Problem
Eine Struktur, bei der ein Endstopfen mit einer Oberfläche in Kontakt gebracht wird, kann jedoch nicht bei einer Hochgeschwindigkeits-Fertigungslinie verwendet werden.
In Anbetracht der oben beschriebenen Umstände ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels, eine Auswertungseinrichtung, ein Verfahren zum Steuern einer Auswertungseinrichtung sowie ein Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung anzugeben, die bei einer Hochgeschwindigkeits-Fertigungslinie verwendet werden können.
Lösung des Problems
Ein Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels, das sich auf einen ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung bezieht, ist ein Verfahren, bei welchem ein Farbsensor verwendet wird, der einen Licht-Projektionsbereich und einen Licht-Empfangsbereich aufweist. Der Farbsensor ist so konfiguriert, dass Licht vom Licht-Projektionsbereich ausgestrahlt wird, an einer Messzielfläche reflektiert wird und am Licht-Empfangsbereich empfangen wird. Der Farbsensor berechnet einen Ausgabewert entsprechend der Farbe des Messziels aus Lichtintensitäten von Rot, Blau und Grün, die am Licht-Empfangsbereich empfangen werden.
Das Verfahren weist Folgendes auf: Messen - im Voraus und mittels eines Farbsensors - eines Punkts auf einer Oberfläche eines qualifizierten Artikels, ohne die Oberfläche zu kontaktieren, und - auf der Basis eines Ausgabewerts aus dem Farbsensor - Vorgeben eines Qualifikations-Referenzwerts mittels eines Computers. Danach: Messen - mittels des Farbsensors ohne Kontakt - eines Punkts auf einer Oberfläche eines Überprüfungsziels mit den gleichen Konstruktionsspezifikationen wie der qualifizierte Artikel. Nachdem der Qualifikations-Referenzwert vorgegeben ist, vergleicht der Computer den Ausgabewert des Überprüfungsziels oder einen korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert.
Der Ausgabewert des Überprüfungsziels wird aus dem Farbsensor ausgegeben. Der korrigierte Wert wird erhalten, indem der Ausgabewert des Überprüfungsziels gemäß Messbedingungen zur Zeit der Messung mittels des Farbsensors und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird und die Qualifikation oder der Defekt des Überprüfungsziels bestimmt wird.
Es sei angemerkt, dass „qualifizierter Artikel“ ein Produkt bezeichnet, für das bestimmt wird, dass es bis zu einem Oberflächenzustand fertiggestellt worden ist, der eine vorgegebene Referenz erfüllt oder besser als diese ist (im Folgenden gilt das gleiche für die gesamte vorliegende Beschreibung). Zusätzlich zu den Spezifikationen betreffend das Material und die Ausmaße des Überprüfungsziels sind auch Spezifikationen betreffend Oberflächenbearbeitungen, die an dem Überprüfungsziel durchgeführt worden sind, in den „Konstruktionsspezifikationen“ enthalten (im Folgenden gilt das gleiche für die vorliegende Beschreibung).
Gemäß der oben beschriebenen Struktur wird ein Punkt auf der Oberfläche eines qualifizierten Artikels im Voraus ohne Kontakt mittels des Farbsensors gemessen, und ein Computer gibt einen Qualifikations-Referenzwert auf der Basis von dessen Ausgabewert vor. Danach wird ein Punkt auf der Oberfläche eines Überprüfungsziels mit den gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das qualifizierte Ziel ohne Kontakt mittels des Farbsensors gemessen. Der Computer vergleicht den Ausgabewert, der aus dem Farbsensor ausgegeben wird, nachdem der Qualifikations-Referenzwert vorgegeben worden ist, oder einen korrigierten Wert, der erhalten wird, indem der Ausgabewert gemäß den Messbedingungen zur Zeit von dessen Messung und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird, mit dem Qualifikations-Referenzwert, und er bestimmt den Status „Qualifikation“ oder „Defekt“.
Da auf diese Weise „Qualifikation“ oder „Defekt“ bestimmt werden kann, ohne dass das Überprüfungsziel kontaktiert bzw. berührt wird, kann die Verarbeitungszeit kurz gehalten werden, und es ist eine Anwendung bzw. Verwendung bei einer Hochgeschwindigkeits-Fertigungslinie möglich.
Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird in dem Verfahren gemäß dem ersten Aspekt - bevor ein Punkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels vom Farbsensor gemessen wird - ein Punkt auf der Oberfläche des qualifizierten Artikels vom Farbsensor in einer Mehrzahl von Mustern gemessen, die jeweils einen unterschiedlichen Freiraum oder Zwischenraum oder Intervall haben, und zwar entlang der Richtung einer Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen der Oberfläche des qualifizierten Artikels und einem vorbestimmten Bereich des Farbsensors, der der Messzielseite zugewandt ist, und der Freiraum wird mittels eines Abstandsmessgeräts gemessen, das in den Farbsensor eingebaut ist.
Der Computer berechnet einen Korrekturfaktor, der den Freiräumen entspricht, auf der Basis eines Zusammenhangs zwischen Ausgabewerten aus dem Abstandsmessgerät und Ausgabewerten betreffend die Farbe aus dem Farbsensor, und zwar in den mehreren Mustern. Danach wird ein Freiraum entlang der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen der Oberfläche des Überprüfungsziels und einem vorbestimmten Bereich des Farbsensors, der der Messzielseite zugewandt ist, wobei der Farbsensor an einer Position zum Messen des Überprüfungsziels angeordnet ist, mittels des Abstandsmessgeräts gemessen, ohne dass das Überprüfungsziel kontaktiert wird.
Der Computer korrigiert einen Ausgabewert, der sich auf die Farbe zu einem Zeitpunkt bezieht, wenn ein Punkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels ohne Kontakt mittels des Farbsensors gemessen wird, und zwar um einen Korrekturfaktor, der einem Wert entspricht, der vom Abstandsmessgerät gemessen wird, nachdem der Korrekturfaktor berechnet wird. Er vergleicht den korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert und bestimmt Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels.
Gemäß der oben beschriebenen Struktur gilt Folgendes: Bevor ein Punkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels mittels des Farbsensors gemessen wird, wird ein Punkt auf der Oberfläche eines qualifizierten Artikels mittels des Farbsensors in mehreren Mustern gemessen, die die Freiräume variieren, und zwar entlang der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen der Oberfläche des qualifizierten Artikels und einem vorbestimmten Bereich des Farbsensors, und der Freiraum wird mittels eines Abstandsmessgeräts gemessen, das in den Farbsensor eingebaut ist.
Der Computer berechnet einen Korrekturfaktor, der den jeweiligen Freiräumen entspricht, auf der Basis des Zusammenhangs zwischen Ausgabewerten aus dem Abstandsmessgerät und den Ausgabewerten betreffend die Farbe aus dem Farbsensor, und zwar in den mehreren Mustern. Danach wird ein Freiraum entlang der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen der Oberfläche des Überprüfungsziels und einem vorbestimmten Bereich, der der Messzielseite zugewandt ist, wobei der der Farbsensor an einer Position zum Messen des Überprüfungsziels angeordnet ist, mittels des Abstandsmessgeräts gemessen, ohne dass das Überprüfungsziel kontaktiert wird.
Der Computer korrigiert den Ausgabewert, der sich auf die Farbe zu einem Zeitpunkt bezieht, wenn ein Punkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels ohne Kontakt mittels des Farbsensors gemessen wird, und zwar um den Korrekturfaktor, der einem Wert entspricht, der vom Abstandsmessgerät gemessen wird, nachdem der Korrekturfaktor berechnet wird. Er vergleicht den korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert und bestimmt Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels. Infolgedessen kann Qualifikation oder Defekt genau bestimmt werden, und zwar selbst dann, wenn eine Dispersion im Freiraum zwischen dem Licht-Projektionsbereich des Farbsensors und dem Messpunkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels auftritt.
Gemäß einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird in dem Verfahren gemäß dem ersten Aspekt - bevor ein Punkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels vom Farbsensor gemessen wird - ein Punkt auf der Oberfläche des qualifizierten Artikels vom Farbsensor in mehreren Mustern gemessen, die jeweils unterschiedliche Zustände haben, wobei die Zustände ein Freiraum oder Zwischenraum oder Intervall entlang der Richtung einer Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereich zwischen der Oberfläche des qualifizierten Artikels und einem vorbestimmten Bereich des Farbsensors, der der Messzielseite zugewandt ist, und die Neigung der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs bezogen auf die Richtung senkrecht zu einem gemessenen Bereich der Oberfläche des qualifizierten Artikels sind, und wobei der Freiraum jeweils mittels zweier Abstandsmessgeräte gemessen wird, das in den Farbsensor auf jeweiligen Seiten in der Richtung eingebaut sind, in welcher der Licht-Projektionsbereich und der Licht-Empfangsbereich ausgerichtet sind.
Der Computer berechnet die Neigung und einen Durchschnittswert der Freiräume als erste Daten aus den Ergebnissen der Messung mittels der zwei Abstandsmessgeräte, und er berechnet im Voraus einen Korrekturfaktor, der der Neigung und dem durchschnittlichen Freiraum entspricht, auf der Basis eines Zusammenhangs zwischen den ersten Daten und Ausgabewerten, die sich auf die Farbe des Farbsensors in den mehreren Mustern beziehen. Danach werden Freiräume entlang der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen der Oberfläche des Überprüfungsziels und einem vorbestimmten Bereich des Farbsensors, der der Messzielseite zugewandt ist, wobei der Farbsensor an einer Position zum Messen des Überprüfungsobjekts angeordnet ist, jeweils mittels der zwei Abstandsmessgeräte gemessen, ohne dass das Überprüfungsziel kontaktiert wird.
Der Computer berechnet einen Durchschnittswert der Freiräume und die Neigung der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs bezogen auf die Richtung senkrecht zu einem gemessenen Bereich der Oberfläche des Überprüfungsziels als zweite Daten aus den zwei Ergebnissen der Messung, und der Computer korrigiert den Ausgabewert, der sich auf die Farbe zu der Zeit bezieht, wenn ein Punkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels ohne Kontakt durch den Farbsensor gemessen wird, um den Korrekturfaktor, der den zweiten Daten entspricht, und er vergleicht den korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert und bestimmt Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels.
Gemäß dem oben beschriebenen Aspekt wird - bevor ein Punkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels vom Farbsensor gemessen wird - ein Punkt auf der Oberfläche eines qualifizierten Artikels vom Farbsensor in mehreren Mustern mit variierenden Zuständen gemessen. Einer der Zustände sind die Freiräume entlang der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen der Oberfläche des qualifizierten Artikels und einem vorbestimmten Bereich des Farbsensors, der der Messzielseite zugewandt ist. Die Freiräume werden mittels zweier Abstandsmessgeräte gemessen, die in den Farbsensor eingebaut sind.
Ein weiterer der Zustände ist die Neigung der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs bezogen auf die Richtung senkrecht zum gemessenen Bereich der Oberfläche des qualifizierten Artikels. Außerdem berechnet der Computer den Durchschnittswert der Freiräume aus den Messergebnissen von den zwei Abstandsmessgeräten und der Neigung als erste Daten, und er berechnet einen Korrekturfaktor, der der Neigung und dem durchschnittlichen Freiraum entspricht, aus dem Zusammenhang zwischen den ersten Daten und dem Ausgabewert, der sich auf die Farbe des Farbsensors in den mehreren Mustern bezieht.
Danach werden Freiräume, die entlang der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs verlaufen, zwischen der Oberfläche des Überprüfungsziels und einem vorbestimmten Bereich, der der Messzielseite zugewandt ist, am Farbsensor, der an der Position zur Zeit der Messung des Überprüfungsziels angeordnet ist, jeweils mittels der zwei Abstandsmessgeräte gemessen, ohne dass das Überprüfungsziel kontaktiert wird.
Außerdem berechnet der Computer aus den zwei Ergebnissen der Messungen den Durchschnittswert der Freiräume und die Neigung der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs bezogen auf die Richtung senkrecht zum gemessenen Bereich der Oberfläche des Überprüfungsziels als die zweiten Daten. Außerdem korrigiert der Computer den Ausgabewert, der sich auf die Farbe zu der Zeit bezieht, als ein Punkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels ohne Kontakt mittels des Farbsensors gemessen worden ist, um den Korrekturfaktor, der dem zweiten Daten entspricht, und er vergleicht den korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert und bestimmt Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels. Infolgedessen kann Qualifikation oder Defekt genau bestimmt werden, selbst wenn es eine Dispersion in beiden oder einem von dem Freiraum zwischen dem Licht-Projektionsbereich des Farbsensors und dem Messpunkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels und der Neigung der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs gibt.
Gemäß einem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird in dem Verfahren gemäß dem ersten Aspekt ein Punkt auf einer Oberfläche eines qualifizierten Artikels mit den gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Überprüfungsziel im Voraus mittels des Farbsensors gemessen, und der Computer gibt den Ausgabewert des einen qualifizierten Artikels als den Qualifikations-Referenzwert vor.
Gemäß der oben beschriebenen Struktur kann der Qualifikations-Referenzwert aus dem einen qualifizierten Artikel vorgegeben werden, der die gleichen Konstruktionsspezifikationen hat.
Gemäß einem fünften Aspekt der vorliegenden Erfindung werden in dem Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels, das sich auf einen der ersten bis dritten Aspekte bezieht, jeweilige einzelne Punkte auf einer Oberfläche einer Mehrzahl von qualifizierten Artikeln der gleichen Konstruktionsspezifikationen als das Überprüfungsziel im Voraus mittels des Farbsensors gemessen, und der Computer gibt den niedrigsten Ausgabewert unter den Ausgabewerten der mehreren qualifizierten Artikel als Qualifikations-Referenzwert aus.
Gemäß der oben beschriebenen Struktur kann der Qualifikations-Referenzwert aus mehreren qualifizierten Artikeln mit den gleichen Konstruktionsspezifikationen vorgegeben werden.
Bei einer Auswertungseinrichtung gemäß einem sechsten Aspekt der vorliegenden Erfindung wertet die Auswertungseinrichtung einen Oberflächenzustand eines Überprüfungsziels aus, das ein Produkt mit spezifischen Konstruktionsspezifikationen ist, wobei die Auswertungseinrichtung Folgendes aufweist: eine Farbmesseinheit, die Folgendes aufweist: einen Licht-Projektionsbereich, der eine Messzielfläche beleuchtet, einen Licht-Empfangsbereich, der Licht vom Licht-Projektionsbereich empfängt und das von der Messzielfläche reflektiert wird, und eine Berechnungseinheit, die einen Ausgabewert entsprechend einer Farbe eines Messziels mit Lichtintensitäten von Rot, Blau und Grün berechnet, die am Licht-Empfangsbereich empfangen werden, und wobei die Farbmesseinheit das Messziel zur Zeit der Messung nicht kontaktiert; eine Modus-Auswahleinheit, die einen ersten Modus im Fall einer Messung eines Oberflächenzustands eines qualifizierten Artikels mit den spezifischen Konstruktionsspezifikationen und einen zweiten Modus im Fall einer Bestimmung eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels auswählen kann; und eine Datenverarbeitungseinheit, die eine Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit aufweist, die einen Qualifikations-Referenzwert auf der Basis eines Ausgabewerts vorgibt, der aus der Farbmesseinheit ausgegeben wird, und zwar in einem Zustand, in dem der erste Modus ausgewählt ist, und eine Bestimmungseinheit aufweist, die den Ausgangswert oder einen korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert vergleicht, wobei der Ausgabewert aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und wobei der korrigierte Wert erhalten wird, indem der Ausgabewert gemäß Messbedingungen zur Zeit der Messung mittels der Farbmesseinheit und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird und Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels bestimmt.
Gemäß der oben beschriebenen Struktur wertet die Auswertungseinrichtung den Oberflächenzustand eines Produkts aus, das spezifische Konstruktionsspezifikationen aufweist, und zwar als ein Überprüfungsziel, und sie hat eine Farbmesseinheit, eine Modus-Auswahleinheit und eine Datenverarbeitungseinheit. Die Farbmesseinrichtung kontaktiert das Messziel zur Zeit der Messung nicht und empfängt am Licht-Empfangsbereich Licht, das vom Licht-Projektionsbereich kommt und von der Messzielfläche reflektiert wird.
Die Berechnungseinheit berechnet einen Ausgabewert entsprechend der Farbe des Messziels aus den Lichtintensitäten von Rot, Blau und Grün, die am Licht-Empfangsbereich empfangen werden. Die Modus-Auswahleinheit kann einen ersten Modus, der im Fall einer Messung des Oberflächenzustands eines qualifizierten Artikels mit den spezifischen Konstruktionsspezifikationen ausgewählt wird, und einen zweiten Modus auswählen, der im Falle einer Bestimmung des Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels ausgewählt wird.
Hierbei hat die Auswertungseinrichtung des vorliegenden Aspekts eine Datenverarbeitungseinheit mit einer Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit und einer Bestimmungseinheit. Die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit gibt einen Qualifikations-Referenzwert auf der Basis des Ausgabewerts vor, der aus der Farbmesseinheit ausgegeben wird, und zwar in einem Zustand, in welchem der erste Modus ausgewählt ist. Außerdem vergleicht die Bestimmungseinheit den Ausgabewert oder einen korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert und bestimmt Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels.
Der Ausgabewert wird aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist. Der korrigierte Wert wird erhalten, indem der Ausgabewert gemäß den Messbedingungen zur Zeit der Messung und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird. Da auf diese Weise Qualifikation oder Defekt bestimmt werden kann, ohne dass das Überprüfungsziel kontaktiert wird, kann die Verarbeitungszeit kurz gehalten werden, und eine Verwendung der vorliegenden Auswertungseinrichtung bei einer Hochgeschwindigkeits-Fertigungslinie ist möglich.
Gemäß einem siebten Aspekt der vorliegenden Erfindung weist die Auswertungseinrichtung des sechsten Aspekts einen Abstandsmessbereich auf, der mit der Farbmesseinheit integriert ist und ein Messinstrument bildet, und der Abstandsmessbereich misst - ohne dass das Messziel kontaktiert wird - einen Freiraum entlang der Richtung einer Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen dem Messziel und einem vorbestimmten Bereich des Messinstruments, der einer Messzielseite zugewandt ist. Die Datenverarbeitungseinheit hat eine Korrekturfaktor-Berechnungseinheit, die einen Korrekturfaktor gemäß dem Freiraum auf der Basis des Zusammenhangs zwischen einem Ausgabewert, der aus der Farbmesseinrichtung in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, und einem Ausgabewert, der aus der Datenverarbeitungseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, wobei der Ausgabewert der Farbmesseinrichtung und der Ausgabewert des Abstandsmessbereichs einander zugeordnet gespeichert werden.
Die Bestimmungseinheit korrigiert den Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, um den Korrekturfaktor, der einem Ausgabewert entspricht, der aus dem Abstandsmessbereich in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und vergleicht den korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert, und bestimmt Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels.
Gemäß der oben beschriebenen Struktur ist der Abstandsmessbereich mit der Farbmesseinheit integriert und bildet das Messinstrument, und er misst - ohne dass das Messziel kontaktiert wird - den Freiraum entlang der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen dem Messziel und einem vorbestimmten Bereich des Messinstruments, der der Messzielseite zugewandt ist. Außerdem hat die Datenverarbeitungseinheit die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit. Die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit berechnet einen Korrekturfaktor entsprechend dem Freiraum auf der Basis des Zusammenhangs zwischen einem Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, und einem Ausgabewert, der aus dem Abstandsmessbereich in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist.
Der Ausgabewert, der von der Farbmesseinheit ausgegeben wird, und der Ausgabewert, der vom Abstandsmessbereich ausgegeben wird, werden einander zugeordnet gespeichert. Die Bestimmungseinheit korrigiert außerdem einen Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, um den Korrekturfaktor, der einem Ausgabewert entspricht, der aus dem Abstandsmessbereich in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und vergleicht den korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert, und bestimmt Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels. Infolgedessen kann der Status Qualifikation oder Defekt genau bestimmt werden, und zwar selbst dann, wenn eine Dispersion im Freiraum zwischen dem Licht-Projektionsbereich des Farbmessbereichs und dem Messziel auftritt.
Gemäß einem achten Aspekt der vorliegenden Erfindung weist die Auswertungseinrichtung des sechsten Aspekts Folgendes auf: zwei Abstandsmessbereiche, die an jeweiligen Seiten angeordnet sind, und zwar in der Richtung, in welcher der Licht-Projektionsbereich und der Licht-Empfangsbereich an der Farbmesseinheit ausgerichtet sind, wobei die zwei Abstandsmessbereiche mit der Farbmesseinheit integriert sind und ein Messinstrument bilden, und wobei die zwei Abstandsmessbereiche jeweils - ohne, dass das Messziel kontaktiert wird - Freiräume entlang einer Richtung einer Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen dem Messziel und einem vorbestimmten Bereich des Messinstruments messen, der der Messzielseite zugewandt ist.
Die Datenverarbeitungseinheit weist Folgendes auf: eine Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit, die, auf der Basis von Ausgabewerten, die jeweils aus den zwei Abstandsmessbereichen ausgegeben werden, einen Durchschnittswert der Freiräume berechnet und eine Neigung der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs bezogen auf eine Richtung senkrecht zur Messzielfläche berechnet; und eine Korrekturfaktor-Berechnungseinheit, die einen Korrekturfaktor berechnet, der der Neigung und dem durchschnittlichen Freiraum entspricht, und zwar auf der Basis eines Zusammenhangs zwischen dem Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgegeben wird, und dem berechneten Wert, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit auf der Basis von Ausgabewerten berechnet wird, die jeweils aus den zwei Abstandsmessbereichen in einem Zustand ausgegeben werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, wobei der Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit ausgegeben wird, und der berechnete Wert, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit berechnet wird, einander zugeordnet gespeichert werden.
Die Bestimmungseinheit korrigiert einen Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, um den Korrekturfaktor, der einem berechneten Wert entspricht, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit berechnet wird, und zwar auf der Basis von Ausgabewerten, die jeweils aus den zwei Abstandsmessbereichen in einem Zustand ausgegeben werden, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und den korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert vergleicht und Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels bestimmt.
Gemäß der oben beschriebenen Struktur sind die zwei Abstandsmessbereiche auf jeweiligen Seiten in der Richtung angeordnet, in welcher der Licht-Projektionsbereich und der Licht-Empfangsbereich ausgerichtet sind, und zwar an der Farbmesseinheit, und sie sind mit der Farbmesseinheit integriert und bilden ein Messinstrument, und sie messen jeweils - ohne dass das Messziel kontaktiert wird - Freiräume entlang der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen dem Messziel und einem vorbestimmten Bereich des Messinstruments, der der Messzielseite zugewandt ist.
Die Datenverarbeitungseinheit hat eine Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit und eine Korrekturfaktor-Berechnungseinheit. Aus den Ausgabewerten, die jeweils aus den zwei Abstandsmessbereichen ausgegeben werden, berechnet die Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit den Durchschnittswert der Freiräume, und sie berechnet die Neigung der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs in Bezug auf die Richtung senkrecht zur Messzielfläche.
Die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit berechnet einen Korrekturfaktor, der der Neigung und dem durchschnittlichen Freiraum entspricht, und zwar auf der Basis des Zusammenhangs zwischen dem Ausgabewert, der aus der Farbmesseinrichtung in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, sowie einen berechneten Wert, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit auf der Basis der Ausgabewerte berechnet wird, die jeweils aus den zwei Abstandsmessbereichen in einem Zustand ausgegeben werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist.
Der Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit ausgegeben wird, und der berechnete Wert, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit berechnet wird, werden einander zugeordnet gespeichert. Außerdem korrigiert die Bestimmungseinheit den Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, um den Korrekturfaktor, der einem berechneten Wert entspricht, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit auf der Basis von Ausgabewerten berechnet wird, die jeweils aus den zwei Abstandsmessbereichen in einem Zustand ausgegeben werden, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und er vergleicht den korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert und bestimmt Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels.
Infolgedessen kann Qualifikation oder Defekt genau bestimmt werden, selbst wenn es eine Dispersion in beiden oder einem von dem Freiraum zwischen dem Licht-Projektionsbereich der Farbmesseinheit und dem Messpunkt und der Neigung der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs gibt.
Gemäß einem neunten Aspekt der vorliegenden Erfindung gilt in der Auswertungseinrichtung, die sich auf einen vom sechsten Aspekt bis achten Aspekt bezieht, in einem Fall, in welchem Daten eines Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, ein einzelnes Datenelement darstellen, Folgendes: Die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit gibt den Ausgabewert als den Qualifikations-Referenzwert vor.
Gemäß der oben beschriebenen Struktur kann der Qualifikations-Referenzwert aus dem einzelnen qualifizierten Artikel vorgegeben werden.
Gemäß einem zehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung gilt in der Auswertungseinrichtung, die sich auf einen vom sechsten Aspekt bis neunten Aspekt bezieht, in einem Fall, in welchem Daten eines Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, mehrere Datenelemente darstellen, Folgendes: Die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit gibt den niedrigsten Wert der Ausgabewerte als den Qualifikations-Referenzwert vor.
Gemäß der oben beschriebenen Struktur kann der Qualifikations-Referenzwert aus dem mehreren qualifizierten Artikeln vorgegeben werden.
Eine Auswertungseinrichtung gemäß einem elften Aspekt der vorliegenden Erfindung weist Folgendes auf:

eine Farbmesseinheit, die einen Licht-Projektionsbereich aufweist, der eine Messzielfläche beleuchtet, einen Licht-Empfangsbereich, der Licht empfängt, das vom Licht-Projektionsbereich kommt und von der Messzielfläche reflektiert wird, und eine Berechnungseinheit, die einen Ausgabewert entsprechend einer Farbe eines Messziels aus Lichtintensitäten von Rot, Blau und Grün berechnet, die am Licht-Empfangsbereich empfangen werden, und wobei die Farbmesseinheit das Messziel zur Zeit der Messung nicht kontaktiert;
einen Informations-Eingabebereich, der Informationen eingibt, die sich auf Konstruktionsspezifikationen eines Messziels beziehen; eine Modus-Auswahleinheit, die einen ersten Modus im Fall einer Messung eines Oberflächenzustands eines qualifizierten Artikels und einen zweiten Modus im Fall einer Bestimmung eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels auswählt; und
eine Datenverarbeitungseinheit, die eine Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit aufweist, die einen Qualifikations-Referenzwert für jede Konstruktionsspezifikation des Messziels auf der Basis von Informationen aus dem Informations-Eingabebereich und eines Ausgabewerts vorgibt, der aus der Farbmesseinheit ausgegeben wird, und zwar in einem Zustand, in dem der erste Modus ausgewählt ist, und eine Bestimmungseinheit, die einen Ausgabewert oder einen korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert für ein Produkt vergleicht, das die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Messziel hat, wobei der Ausgabewert aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, wobei der korrigierte Wert erhalten wird, indem der Ausgabewert gemäß Messbedingungen zur Zeit der Messung des Messziels und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird, und die Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels bestimmt.

Gemäß der oben beschriebenen Struktur kontaktiert die Farbmesseinheit das Messziel zur Zeit der Messung nicht, und sie empfängt am Licht-Empfangsbereich Licht, das vom Licht-Projektionsbereich kommt und von der Messzielfläche reflektiert wird. Die Berechnungseinheit berechnet einen Ausgabewert entsprechend der Farbe des Messziels aus den Lichtintensitäten von Rot, Blau und Grün, die am Licht-Empfangsbereich empfangen werden. Am Informations-Eingabebereich können Informationen der Konstruktionsspezifikationen eines Messziels eingegeben werden. Mit der Modus-Auswahleinheit kann ein erster Modus, der im Fall der Messung des Oberflächenzustands eines qualifizierten Artikels ausgewählt wird, und ein zweiter Modus ausgewählt werden, der im Fall einer Bestimmung des Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels ausgewählt wird.
Die Auswertungseinrichtung des vorliegenden Aspekts hat eine Datenverarbeitungseinheit mit einer Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit und einer Bestimmungseinheit. Die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit gibt einen Qualifikations-Referenzwert für jede Konstruktionsspezifikation des Messziels auf der Basis von Informationen aus dem Informations-Eingabebereich und dem Ausgabewert vor, der von der Farbmesseinheit ausgegeben wird, und zwar in einem Zustand, in welchem der erste Modus ausgewählt ist. Die Bestimmungseinheit vergleicht einen Ausgabewert oder einen korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert für ein Produkt, das die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Messziel aufweist, und sie bestimmt Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels.
Der Ausgabewert wird aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und der korrigierte Wert wird erhalten, indem der Ausgabewert gemäß den Messbedingungen zur Zeit der Messung im zweiten Modus und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird. Da auf diese Weise Qualifikation oder Defekt bestimmt werden kann, ohne dass das Überprüfungsziel kontaktiert wird, kann die Verarbeitungszeit kurz gehalten werden, und eine Anwendung der Auswertungseinrichtung auf eine Hochgeschwindigkeits-Fertigungslinie ist möglich.
Gemäß einem zwölften Aspekt der vorliegenden Erfindung weist die Auswertungseinrichtung des elften Aspekts einen Abstandsmessbereich auf, der mit der Farbmesseinheit integriert ist und ein Messinstrument bildet, und der - ohne dass das Messziel kontaktiert wird - einen Freiraum entlang der Richtung einer Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen dem Messziel und einem vorbestimmten Bereich des Messinstruments misst, der einer Messzielseite zugewandt ist. Die Datenverarbeitungseinheit weist eine Korrekturfaktor-Berechnungseinheit auf, die einen Korrekturfaktor berechnet, der einem Freiraum für jede Konstruktionsspezifikation des Messziels entspricht, und zwar auf der Basis von Informationen aus dem Informations-Eingabebereich und dem Zusammenhang zwischen einem Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, und einem Ausgabewert, der aus dem Abstandsmessbereich in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist.
Der Ausgabewert, der von der Farbmesseinheit ausgegeben wird, und der Ausgabewert, der vom Abstandsmessbereich ausgegeben wird, werden einander zugeordnet gespeichert. Die Bestimmungseinheit korrigiert einen Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, um den Korrekturfaktor, der einem Ausgabewert, der aus dem Abstandsmessbereich in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und den Informationen der Konstruktionsspezifikationen des Messziels entspricht, und vergleicht den korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert für ein qualifiziertes Produkt, das die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Messziel aufweist, und bestimmt Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels.
Gemäß der oben beschriebenen Struktur ist der Abstandsmessbereich mit der Farbmesseinheit integriert und bildet das Messinstrument, und er misst - ohne dass das Messziel kontaktiert wird - den Freiraum entlang der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen dem Messziel und einem vorbestimmten Bereich am Messinstrument, der der Messzielseite zugewandt ist. Die Datenverarbeitungseinheit weist eine Korrekturfaktor-Berechnungseinheit auf. Die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit berechnet einen Korrekturfaktor entsprechend dem Freiraum für jede Konstruktionsspezifikation des Messziels auf der Basis von Informationen aus dem Informations-Eingabebereich und dem Zusammenhang zwischen dem Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, und dem Ausgabewert, der aus dem Abstandsmessbereich in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist.
Außerdem korrigiert die Bestimmungseinheit den Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, um den Korrekturfaktor, der dem Ausgabewert, der aus dem Abstandsmessbereich in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt wird, und den Informationen der Konstruktionsspezifikationen des Messziels entspricht, und er vergleicht den korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert für ein qualifiziertes Produkt, das die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Messziel aufweist, und bestimmt Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels. Infolgedessen kann Qualifikation oder Defekt genau bestimmt werden, und zwar selbst dann, wenn eine Dispersion im Freiraum zwischen dem Licht-Projektionsbereich der Farbmesseinheit und dem Messziel auftritt.
Gemäß einem dreizehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung weist die Auswertungseinrichtung gemäß dem elften Aspekt zwei Abstandsmessbereiche auf, die auf jeweiligen Seiten der Farbmesseinheit in der Richtung angeordnet sind, in welcher der Licht-Projektionsbereich und der Licht-Empfangsbereich ausgerichtet sind, und die mit der Farbmesseinheit integriert sind und ein Messinstrument bilden, und die jeweils - ohne dass das Messziel kontaktiert wird - Freiräume entlang der Richtung einer Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen dem Messziel und einem vorbestimmten Bereich des Messinstruments messen, der der Messzielseite zugewandt ist.
Die Datenverarbeitungseinheit weist Folgendes auf: eine Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit, die, auf der Basis von Ausgabewerten, die jeweils aus den zwei Abstandsmessbereichen ausgegeben werden, einen Durchschnittswert der Freiräume berechnet und eine Neigung der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs bezogen auf eine Richtung senkrecht zur Messzielfläche berechnet; und eine Korrekturfaktor-Berechnungseinheit, die einen Korrekturfaktor berechnet, der der Neigung und einem durchschnittlichen Freiraum des Freiraums für jede Konstruktionsspezifikation des Messziels entspricht, und zwar auf der Basis von Informationen aus dem Informations-Eingabebereich und eines Zusammenhangs zwischen einem Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgegeben wird, und einem berechneten Wert, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit auf der Basis von Ausgabewerten berechnet wird, die jeweils aus den zwei Abstandsmessbereichen in einem Zustand ausgegeben werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist.
Der Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit ausgegeben wird, und der berechnete Wert, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit berechnet wird, werden einander zugeordnet gespeichert. Die Bestimmungseinheit korrigiert einen Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, um den Korrekturfaktor, der den Informationen der Konstruktionsspezifikationen des Messziels und einem berechneten Wert entspricht, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit ausgegeben wird, und zwar auf der Basis von Ausgabewerten, die jeweils aus den zwei Abstandsmessbereichen in einem Zustand ausgegeben werden, in welchem der zweite Modus ausgewählt wird, und er vergleicht den korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert für ein qualifiziertes Produkt, das die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Messziel aufweist, und bestimmt Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels.
Gemäß der oben beschriebenen Struktur sind die zwei Abstandsmessbereiche auf jeweiligen Seiten in der Richtung angeordnet, in welcher der Licht-Projektionsbereich und der Licht-Empfangsbereich ausgerichtet sind, und zwar an der Farbmesseinheit, und sie sind mit der Farbmesseinheit integriert und bilden ein Messinstrument, und sie messen jeweils - ohne dass das Messziel kontaktiert wird - Freiräume entlang der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen dem Messziel und einem vorbestimmten Bereich des Messinstruments, der der Messzielseite zugewandt ist.
Die Datenverarbeitungseinheit hat eine Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit und eine Korrekturfaktor-Berechnungseinheit. Aus den Ausgabewerten, die jeweils aus den zwei Abstandsmessbereichen ausgegeben werden, berechnet die Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit den Durchschnittswert der Freiräume, und sie berechnet die Neigung der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs in Bezug auf die Richtung senkrecht zur Messzielfläche.
Die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit berechnet einen Korrekturfaktor, der der Neigung und einem durchschnittlichen Freiraum des Freiraums für jede Konstruktionsspezifikation des Messziels entspricht, und zwar auf der Basis von Informationen aus dem Informations-Eingabebereich und des Zusammenhangs zwischen dem Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgegeben wird, und einem berechneten Wert, den die Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit auf der Basis von Ausgabewerten berechnet, die jeweils aus den zwei Abstandsmessbereichen in einem Zustand ausgegeben werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist.
Der Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit ausgegeben wird, und der berechnete Wert, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit berechnet wird, werden einander zugeordnet gespeichert. Außerdem korrigiert die Bestimmungseinheit den Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, um den Korrekturfaktor, der den Informationen der Konstruktionsspezifikationen des Messziels und einem berechneten Wert entspricht, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit berechnet wird, und zwar auf der Basis von Ausgabewerten, die jeweils aus den zwei Abstandsmessbereichen in einem Zustand ausgegeben werden, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und vergleicht den korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert für ein qualifiziertes Produkt, das die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Messziel aufweist, und bestimmt den Status Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels.
Infolgedessen kann Qualifikation oder Defekt genau bestimmt werden, selbst wenn es eine Dispersion in beiden oder einem von dem Freiraum zwischen dem Licht-Projektionsbereich der Farbmesseinheit und dem Messpunkt und der Neigung der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs gibt.
Gemäß einem vierzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung gilt bei der Auswertungseinrichtung, die sich auf einen vom elften Aspekt bis dreizehnten Aspekt bezieht, Folgendes: Für den Fall, dass Daten eines Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, ein einzelnes Datenelement innerhalb einer Pro-Konstruktionsspezifikations-Kategorie ist, die auf der Basis der Informationen der Konstruktionsspezifikationen des Messziels klassifiziert worden ist, gibt die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit den Ausgabewert als den Qualifikations-Referenzwert für ein Produkt mit den Konstruktionsspezifikationen vor.
Gemäß der oben beschriebenen Struktur kann der Qualifikations-Referenzwert aus einem qualifizierten Artikel innerhalb der Pro-Konstruktionsspezifikations-Kategorie vorgegeben werden.
Gemäß einem fünfzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung gilt bei der Auswertungseinrichtung, die sich auf einen vom elften bis vierzehnten Aspekt bezieht, Folgendes: Für den Fall, dass Daten eines Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, mehrere Datenelemente innerhalb einer Pro-Konstruktionsspezifikations-Kategorie darstellt, die auf der Basis von Informationen über die Konstruktionsspezifikationen des Messziels klassifiziert worden ist, gibt die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit den niedrigsten Wert der Ausgabewerte als den Qualifikations-Referenzwert für ein Produkt mit den Konstruktionsspezifikationen vor.
Gemäß der oben beschriebenen Struktur kann der Qualifikations-Referenzwert aus mehreren qualifizierten Artikeln innerhalb der Pro-Konstruktionsspezifikations-Kategorie vorgegeben werden.
Gemäß einem sechzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung speichert bei der Auswertungseinrichtung, die sich auf einen vom elften Aspekt bis fünfzehnten Aspekt bezieht, die Datenverarbeitungseinheit die Eingabeinformationen, die die Konstruktionsspezifikationen des qualifizierten Artikels spezifizieren und die beim Vorgeben der Qualifikations-Referenzwerte verwendet werden, und die Qualifikations-Referenzwerte, die von der Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit vorgegeben werden, in einer Tabelle einander zugeordnet, und die Bestimmungseinheit bestimmt Qualifikation oder Defekt unter Bezugnahme auf die Tabelle.
Bei der oben beschriebenen Struktur gilt Folgendes: Da die Bestimmungseinheit Qualifikation oder Defekt bestimmt, wobei sie sich auf eine Tabelle bezieht, in welcher Qualifikations-Referenzwerte und Eingabeinformationen, die die Konstruktionsspezifikationen spezifizieren, einander zugeordnet gespeichert sind, kann die Beurteilung von Qualifikation oder Defekt effizient durchgeführt werden.
Ein siebzehnter Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Steuern einer Auswertungseinrichtung, die einen Oberflächenzustand eines Überprüfungsziels auswertet, das ein Produkt mit spezifischen Konstruktionsspezifikationen ist, wobei die Auswertungseinrichtung Folgendes aufweist: eine Farbmesseinheit, die einen Licht-Projektionsbereich aufweist, der eine Messzielfläche beleuchtet, einen Licht-Empfangsbereich, der Licht vom Licht-Projektionsbereich empfängt und das von der Messzielfläche reflektiert wird, und eine Berechnungseinheit, die einen Ausgabewert entsprechend einer Farbe eines Messziels aus Lichtintensitäten von Rot, Blau und Grün berechnet, die am Licht-Empfangsbereich empfangen werden, und wobei die Farbmesseinheit das Messziel zur Zeit der Messung nicht kontaktiert; und eine Modus-Auswahleinheit, die einen ersten Modus im Fall einer Messung eines Oberflächenzustands eines qualifizierten Artikels mit den spezifischen Konstruktionsspezifikationen und einen zweiten Modus im Fall einer Bestimmung eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels auswählt.
Das Verfahren umfasst Folgendes: für den Fall, dass der erste Modus ausgewählt ist, Vorgeben eines Qualifikations-Referenzwerts auf der Basis eines Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit ausgegeben wird; und für den Fall, dass der zweite Modus ausgewählt ist, Vergleichen eines Ausgabewerts oder eines korrigierten Werts mit dem Qualifikations-Referenzwert, wobei der Ausgabewert aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, wobei der korrigierte Wert erhalten wird, indem der Ausgabewert gemäß Messbedingungen zur Zeit der Messung im zweiten Modus und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird, und Bestimmen von Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels.
Auf die gleiche Weise wie beim sechsten Aspekt der vorliegenden Erfindung gilt daher Folgendes: Da Qualifikation oder Defekt bestimmt werden kann, ohne dass das Überprüfungsziel kontaktiert wird, ist die Anwendung des Verfahrens auf eine Hochgeschwindigkeits-Fertigungslinie möglich.
Ein achtzehnter Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Steuern einer Auswertungseinrichtung, wobei die Auswertungseinrichtung Folgendes aufweist: eine Farbmesseinheit, die einen Licht-Projektionsbereich aufweist, der eine Messzielfläche beleuchtet, einen Licht-Empfangsbereich, der Licht vom Licht-Projektionsbereich empfängt und das von der Messzielfläche reflektiert wird, und eine Berechnungseinheit, die einen Ausgabewert entsprechend einer Farbe eines Messziels aus Lichtintensitäten von Rot, Blau und Grün berechnet, die am Licht-Empfangsbereich empfangen werden, und wobei die Farbmesseinheit das Messziel zur Zeit der Messung nicht kontaktiert; einen Informations-Eingabebereich, der Informationen eingibt, die sich auf Konstruktionsspezifikationen des Messziels beziehen; und eine Modus-Auswahleinheit, die einen ersten Modus im Fall einer Messung eines Oberflächenzustands eines qualifizierten Artikels und einen zweiten Modus im Fall einer Bestimmung eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels auswählt.
Das Verfahren umfasst Folgendes: für den Fall, dass der erste Modus ausgewählt ist, Vorgeben eines Qualifikations-Referenzwerts für jede Konstruktionsspezifikation des Messziels auf der Basis eines Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit ausgegeben wird, und der Informationen aus dem Informations-Eingabebereich; und für den Fall, dass der zweite Modus ausgewählt ist, Vergleichen eines Ausgabewerts oder eines korrigierten Werts mit dem Qualifikations-Referenzwert für ein Produkt, das die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Messziel aufweist, wobei der Ausgabewert aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, wobei der korrigierte Wert erhalten wird, indem der Ausgabewert gemäß Messbedingungen zur Zeit der Messung des Messziels im zweiten Modus und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird, und wobei Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels bestimmt wird. Auf die gleiche Weise wie beim sechsten Aspekt der vorliegenden Erfindung gilt daher Folgendes: Da Qualifikation oder Defekt bestimmt werden kann, ohne dass das Überprüfungsziel kontaktiert wird, ist die Verwendung des Verfahrens zum Steuern der Auswertungseinrichtung bei einer Hochgeschwindigkeits-Fertigungslinie möglich.
Ein neunzehnter Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung, die einen Oberflächenzustand eines Überprüfungsziels auswertet, das ein Produkt mit spezifischen Konstruktionsspezifikationen ist, wobei die Auswertungseinrichtung Folgendes aufweist: eine Farbmesseinheit, die einen Licht-Projektionsbereich aufweist, der eine Messzielfläche beleuchtet, einen Licht-Empfangsbereich, der Licht vom Licht-Projektionsbereich empfängt und das von der Messzielfläche reflektiert wird, und eine Berechnungseinheit, die einen Ausgabewert entsprechend einer Farbe eines Messziels aus Lichtintensitäten von Rot, Blau und Grün berechnet, die am Licht-Empfangsbereich empfangen werden, und wobei die Farbmesseinheit das Messziel zur Zeit der Messung nicht kontaktiert; und eine Modus-Auswahleinheit, die einen ersten Modus im Fall einer Messung eines Oberflächenzustands eines qualifizierten Artikels mit den spezifischen Konstruktionsspezifikationen und einen zweiten Modus im Fall einer Bestimmung eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels auswählt.
Das Steuerungsprogramm veranlasst einen Computer, der in der Auswertungseinrichtung enthalten ist, eine Verarbeitung auszuführen, die Folgendes aufweist: Für den Fall, dass der erste Modus ausgewählt ist, Vorgeben eines Qualifikations-Referenzwerts auf der Basis eines Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit ausgegeben wird; und, für den Fall, dass der zweite Modus ausgewählt ist, Vergleichen eines Ausgabewerts oder eines korrigierten Werts mit dem Qualifikations-Referenzwert, wobei der Ausgabewert aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, wobei der korrigierte Wert erhalten wird, indem der Ausgabewert gemäß Messbedingungen zur Zeit der Messung im zweiten Modus und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird, und Bestimmen von Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels.
Infolgedessen, dass ein Computer das Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung ausführt, die sich auf den neunzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung bezieht, wird das Verfahren zum Steuern einer Auswertungseinrichtung, die sich auf den siebzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung bezieht, mittels eines Computers implementiert. Auf die gleiche Weise wie beim sechsten Aspekt der vorliegenden Erfindung und beim siebzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung gilt nämlich Folgendes: Da Qualifikation oder Defekt bestimmt werden kann, ohne dass das Überprüfungsziel kontaktiert wird, ist die Anwendung des Steuerungsprogramms auf eine Hochgeschwindigkeits-Fertigungslinie möglich.
Ein zwanzigster Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung, das Folgendes aufweist: eine Farbmesseinheit, die einen Licht-Projektionsbereich aufweist, der eine Messzielfläche beleuchtet, einen Licht-Empfangsbereich, der Licht vom Licht-Projektionsbereich empfängt und das von der Messzielfläche reflektiert wird, und eine Berechnungseinheit, die einen Ausgabewert entsprechend einer Farbe eines Messziels aus Lichtintensitäten von Rot, Blau und Grün berechnet, die am Licht-Empfangsbereich empfangen werden, und wobei die Farbmesseinheit das Messziel zur Zeit der Messung nicht kontaktiert; einen Informations-Eingabebereich, der Informationen eingibt, die sich auf Konstruktionsspezifikationen des Messziels beziehen; und eine Modus-Auswahleinheit, die einen ersten Modus im Fall einer Messung eines Oberflächenzustands eines qualifizierten Artikels und einen zweiten Modus im Fall einer Bestimmung eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels auswählt.
Das Steuerungsprogramm veranlasst einen Computer, der in der Auswertungseinrichtung enthalten ist, eine Verarbeitung auszuführen, die Folgendes umfasst: für den Fall, dass der erste Modus ausgewählt ist, Vorgeben eines Qualifikations-Referenzwerts für jede Konstruktionsspezifikation des Messziels auf der Basis eines Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit ausgegeben wird, und der Informationen aus dem Informations-Eingabebereich, und für den Fall, dass der zweite Modus ausgewählt ist, Vergleichen eines Ausgabewerts oder eines korrigierten Werts mit dem Qualifikations-Referenzwert für ein Produkt, das die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Messziel aufweist, wobei der Ausgabewert aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, wobei der korrigierte Wert erhalten wird, indem der Ausgabewert gemäß Messbedingungen zur Zeit der Messung des Messziels im zweiten Modus und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird, und wobei die Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels bestimmt wird.
In Folge dessen, dass ein Computer das Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung ausführt, die sich auf den zwanzigsten Aspekt der vorliegenden Erfindung bezieht, wird das Verfahren zum Steuern einer Auswertungseinrichtung, die sich auf den achtzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung bezieht, mittels eines Computers implementiert. Auf die gleiche Weise wie beim elften Aspekt der vorliegenden Erfindung und beim achtzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung gilt nämlich Folgendes: Da Qualifikation oder Defekt bestimmt werden kann, ohne dass das Überprüfungsziel kontaktiert wird, ist die Anwendung des Steuerungsprogramms auf eine Hochgeschwindigkeits-Fertigungslinie möglich.
Vorteilhafte Wirkungen der Erfindung
Wie oben beschrieben, zeigt sich gemäß der vorliegenden Erfindung eine ausgezeichnete Wirkung, so dass eine Verwendung bei einer Hochgeschwindigkeits-Fertigungslinie möglich ist.
Figurenliste

1 ist ein Blockdiagramm, das die schematische Struktur einer Auswertungseinrichtung zeigt, die sich auf eine erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bezieht.
2 ist ein Blockdiagramm, das die schematische Struktur einer Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung der Auswertungseinrichtung zeigt, die sich auf die erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bezieht.
3A ist eine schematische vertikale Schnittansicht, die die schematische Struktur eines Farbsensors (einer Farbmesseinheit) zeigt, und zwar in einem Zustand bei Betrachtung von der Lateralseite, und sie zeigt einen Fall, in welchem es Vertiefungen auf der Oberfläche eines Messziels zeigt.
3A ist eine schematische vertikale Schnittansicht, die die schematische Struktur des Farbsensors (der Farbmesseinheit) zeigt, und zwar in einem Zustand bei Betrachtung von der Lateralseite, und sie zeigt einen Fall, in welchem die Oberfläche des Messziels eben ist.
4 ist ein Ablaufdiagramm, das ein Beispiel des Verlaufs der Steuerungsverarbeitung zeigt, die von einer Datenverarbeitungseinheit gemäß 1 ausgeführt wird.
5 ist eine Seitenansicht, die schematisch einen Zustand zeigt, in welchem ein Überprüfungsziel einer Oberflächenbearbeitung unterzogen wird, und zwar in einer Stufe vor der Auswertung.
6A ist ein Graph, der Testergebnisse zeigt.
6B ist ein Graph, der Testergebnisse zeigt.
7 ist ein Blockdiagramm, das die schematische Struktur einer Auswertungseinrichtung zeigt, die sich auf eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bezieht.
8 ist ein Blockdiagramm, das die schematische Struktur einer Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung der Auswertungseinrichtung zeigt, die sich auf die zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bezieht.
9 ist ein Ablaufdiagramm, das ein Beispiel des Verlaufs der Steuerungsverarbeitung zeigt, die von einer Datenverarbeitungseinheit gemäß 7 ausgeführt wird.
10 ist ein Blockdiagramm, das die schematische Struktur einer Auswertungseinrichtung zeigt, die sich auf eine dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bezieht.
11 ist ein Blockdiagramm, das die schematische Struktur einer Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung der Auswertungseinrichtung zeigt, die sich auf die dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bezieht.
12 ist eine schematische Schnittansicht, die eine Struktur zeigt, in welcher ein Abstandsmessbereich in einen Farbsensor (eine Farbmesseinheit) eingebaut ist, und zwar in einem Zustand bei Betrachtung von der Lateralseite.
13 ist ein Ablaufdiagramm, das ein Beispiel des Verlaufs der Steuerungsverarbeitung zeigt, die von einer Datenverarbeitungseinheit gemäß 10 ausgeführt wird.
14 ist ein Blockdiagramm, das die schematische Struktur einer Auswertungseinrichtung zeigt, die sich auf eine vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bezieht.
15 ist ein Blockdiagramm, das die schematische Struktur einer Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung der Auswertungseinrichtung zeigt, die sich auf die vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bezieht.
16 ist ein Ablaufdiagramm, das ein Beispiel des Verlaufs der Steuerungsverarbeitung zeigt, die von einer Datenverarbeitungseinheit gemäß 14 ausgeführt wird.
17 ist ein Blockdiagramm, das die schematische Struktur einer Auswertungseinrichtung zeigt, die sich auf eine fünfte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bezieht.
18 ist ein Blockdiagramm, das die schematische Struktur einer Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung der Auswertungseinrichtung zeigt, die sich auf die fünfte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bezieht.
19 ist eine schematische Schnittansicht, die eine Struktur zeigt, in welcher ein erster Abstandsmessbereich und ein zweiter Abstandsmessbereich in einen Farbsensor (eine Farbmesseinheit) eingebaut sind, und zwar in einem Zustand bei Betrachtung von einer Lateralseite.
20 ist ein Ablaufdiagramm, das ein Beispiel des Verlaufs der Steuerungsverarbeitung zeigt, die von einer Datenverarbeitungseinheit gemäß 17 ausgeführt wird.
21 ist ein Blockdiagramm, das die schematische Struktur einer Auswertungseinrichtung zeigt, die sich auf eine sechste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bezieht.
22 ist ein Blockdiagramm, das die schematische Struktur einer Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung der Auswertungseinrichtung zeigt, die sich auf die sechste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung bezieht.
23 ist ein Ablaufdiagramm, das ein Beispiel des Verlaufs der Steuerungsverarbeitung zeigt, die von einer Datenverarbeitungseinheit gemäß 21 ausgeführt wird.

Beschreibung von Ausführungsformen
Erste Ausführungsform
Ein Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels, eine Auswertungseinrichtung, ein Verfahren zum Steuern einer Auswertungseinrichtung und ein Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung, die sich auf eine erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beziehen, werden unter Verwendung von 1 bis 6B beschrieben.
Es sei angemerkt, dass das Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels, die Auswertungseinrichtung, das Verfahren zum Steuern einer Auswertungseinrichtung und das Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung, die sich auf die vorliegende Ausführungsform beziehen, als ein Beispiel verwendet werden, um zu bestimmen, ob oder ob nicht das Entfernen von Rost oder Kalk gut auf der Oberfläche eines Überprüfungsziels ausgeführt worden ist, das kugelbestrahlt worden ist, um Rost oder Kalk zu entfernen.
Die schematische Struktur einer Auswertungseinrichtung 10 der vorliegenden Ausführungsform ist in einem Blockdiagramm in 1 gezeigt. Wie in 1 gezeigt, weist die Auswertungseinrichtung 10 Folgendes auf: eine Farbmesseinheit 12, einen Informations-Eingabebereich 20, eine Modus-Auswahleinheit 22, eine Datenverarbeitungseinheit 24 und einen Ausgabebereich 30.
Die Farbmesseinrichtung 12 führt die Verarbeitung der Farbmessung mittels eines Farbsensors 32 aus (siehe 3A und 3B). Die schematische Struktur des Farbsensors 32 ist in 3A und 3B in vertikalen Schnittansichten bei Betrachtung von der Lateralseite gezeigt. Es sei angemerkt, dass ein Sensor einer Struktur ähnlich derjenigen von beispielsweise dem E3NX-CA, hergestellt von Omron Corporation, als Farbsensor 32 verwendet werden kann.
Wie in 1 gezeigt, hat die Farbmesseinheit 12 einen Licht-Projektionsbereich 14, einen Licht-Empfangsbereich 16 und eine Berechnungseinheit 18. Wie in 3A und 3B gezeigt, ist der Licht-Projektionsbereich 14 ein funktionaler Bereich, der eine Messzielfläche 60, 62 beleuchtet, und Licht wird an der Messzielfläche 60, 62 reflektiert. Außerdem ist der Licht-Empfangsbereich 16 ein funktionaler Bereich, der Licht empfängt, das vom Licht-Projektionsbereich 14 kommt und von der Messzielfläche 60, 62 reflektiert wird. Es sei angemerkt, dass 3A einen Fall zeigt, in welchem es Vertiefungen auf einer Oberfläche (der Messzielfläche 60) des Messziels T1 gibt, und dass 3B einen Fall zeigt, in welchem eine Oberfläche (die Messzielfläche 62) des Messziels T2 eben ist.
Die Farbmesseinheit 12 (siehe 1) kontaktiert bzw. berührt die Messziele T1, T2 zur Zeit der Messung nicht. Die Berechnungseinheit 18, die in 1 gezeigt ist, ist eine funktionale Einheit, die einen Ausgabewert berechnet, der der Farbe des Messziels entspricht, und zwar aus Lichtintensitäten von Rot, Blau und Grün, die am Licht-Empfangsbereich 16 empfangen werden. Die Farbmesseinheit 12 ist mit der Datenverarbeitungseinheit 24 verbunden.
Der Informations-Eingabebereich 20, die Modus-Auswahleinheit 22 und der Ausgabebereich 30 sind mit der Datenverarbeitungseinheit 24 verbunden. Der Informations-Eingabebereich 20 weist einen Eingabebereich, wie z. B. eine Maus und eine Tastatur, einen berührungsempfindlichen Bildschirm oder dergleichen auf. Am Informations-Eingabebereich 20 kann ein Benutzer Informationen über die Konstruktionsspezifikationen des Messziels in beispielsweise Eingabespalten eines vorbestimmten Eingabebildschirms unter Verwendung des Eingabebereichs eingeben.
Als ein Beispiel hat der Informations-Eingabebereich 20 eine Datenkopierfunktion (eine Funktion, mit welcher Daten kopiert werden, die bereits eingegeben worden sind). Es sei angemerkt, dass zusätzlich zu den Spezifikationen, die sich auf Material und Ausmaße des Zielartikels beziehen, auch Spezifikationen bezüglich der Oberflächenbearbeitung, die auf dem Zielartikel ausgeführt worden sind, in den „Konstruktionsspezifikationen“ enthalten sind.
Hinsichtlich der Artikel, die durch Kugelstrahl-Bearbeitung oberflächenbearbeitet worden sind, schließen die Spezifikationen bezüglich der Oberflächenbearbeitung Folgendes ein: den Typ des gestrahlten Materials, den Partikeldurchmesser des gestrahlten Materials, den Wert des gestrahlten Materials pro Zeiteinheit, die Strahldauer des gestrahlten Materials, die Strahlgeschwindigkeit des gestrahlten Materials, den Luftdruck im Fall, in welchem das gestrahlte Material durch Luft ausgestoßen wird, die Drehzahl pro Zeiteinheit eines Impellers bzw. Schaufelrads, in welchem das gestrahlte Material mittels Zentrifugalkraft durch die Rotation des Impellers beschleunigt wird und gestrahlt wird, und der Abstand zwischen dem Ziel, das oberflächenbearbeitet wird, und der Strahlöffnung der Strahlmaschine.
Außerdem können ein erster Modus, der in einem Fall ausgewählt wird, in dem der Oberflächenzustand eines qualifizierten Artikels gemessen wird, und ein zweiter Modus, der in einem Fall ausgewählt wird, in welchem der Oberflächenzustand eines Überprüfungsziels bestimmt wird, an der Modus-Auswahleinheit 22 ausgewählt werden. Für die Auswertungseinrichtung 10 wird angenommen, dass an der Modus-Auswahleinheit 22 der zweite Modus ausgewählt wird, nachdem der erste Modus ausgewählt ist und der Oberflächenzustand eines qualifizierten Artikels gemessen wird.
Es sei angemerkt, dass für einen „qualifizierten Artikel“ - als ein Beispiel - von einem Experten bestimmt wird, dass er bis zu einem Oberflächenzustand fertiggestellt worden ist, der einen vorgegebenen Standard erfüllt oder besser als dieser ist.
Die Modus-Auswahleinheit 22 ist - als ein Beispiel - ein Schalter zur Modus-Auswahl, den der Benutzer betätigen kann. Es sei angemerkt, dass - als ein modifiziertes Beispiel - die Modus-Auswahleinheit 22 ein Knopf oder ein Eingabebereich zur Modus-Auswahl sein kann, den der Benutzer betätigen kann. Der Ausgabebereich 30 schließt beispielsweise eine Anzeige oder dergleichen ein und kann die Ergebnisse der Verarbeitung der Datenverarbeitungseinheit 24 anzeigen und ausgeben.
Die Datenverarbeitungseinheit 24 hat eine Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 26 und eine Bestimmungseinheit 28. Die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 26 ist eine funktionale Einheit, die - auf der Basis des Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit 12 in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, und Informationen aus dem Informations-Eingabebereich 20 - einen Qualifikations-Referenzwert für jede Konstruktionsspezifikation des Messziels vorgibt bzw. einstellt.
Außerdem ist die Bestimmungseinheit 28 eine funktionale Einheit, die einen Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, mit einem Qualifikations-Referenzwert für ein Produkt der gleichen Konstruktionsspezifikationen wie diejenigen des Messziels vergleicht und bestimmt Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels.
Für den Fall, dass die Daten des Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit 12 ausgegeben wird, wenn der erste Modus ausgewählt ist, ein Datum innerhalb einer Pro-Konstruktionsspezifikations-Kategorie sind, die von Informationen über die Konstruktionsspezifikationen des Messziels klassifiziert worden sind, gibt die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 26 jenen Ausgabewert als Qualifikations-Referenzwert für ein Produkt dieser Konstruktionsspezifikationen vor.
Für den Fall, dass die Daten des Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, mehrere Daten innerhalb einer Pro-Konstruktionsspezifikations-Kategorie sind, die von Informationen über die Konstruktionsspezifikationen des Messziels klassifiziert worden sind, gibt die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 26 ferner den niedrigsten Wert dieser Ausgabewerte als den Qualifikations-Referenzwert für ein Produkt dieser Konstruktionsspezifikationen vor.
Bei der vorliegenden Ausführungsform speichert die Datenverarbeitungseinheit 24 Eingabeinformationen, die die Konstruktionsspezifikationen der Produkte spezifiziert und die beim Vorgeben der Qualifikations-Referenzwerte verwendet werden, sowie Qualifikations-Referenzwerte, die von der Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 26 vorgegeben worden sind, einander zugeordnet in einer Tabelle, und die Bestimmungseinheit 28 bestimmt Qualifikation oder Defekt, indem sie sich auf diese Tabelle bezieht.
Die Datenverarbeitungseinheit 24 führt eine Datenverarbeitungssteuerung für die Bewertung von Qualifikation oder Defekt mittels einer Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 40 aus, die als ein Computer dient und in 2 gezeigt ist. Die schematische Struktur der Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 40 ist in einem Blockdiagramm in 2 gezeigt. Die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 40 weist eine CPU 42, ein RAM 44, ein ROM 46 und eine Eingabe-/Ausgabe-Schnittstelleneinheit (I/O) 50 auf, und diese sind miteinander über einen Bus 52 verbunden. Das ROM 46 ist ein nichtflüchtiger Speicher, und ein Datenverarbeitungs-Steuerungsprogramm 48 (ein Beispiel für das Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung, die sich auf den zwanzigsten Aspekt der vorliegenden Erfindung bezieht) ist im ROM 46 gespeichert.
Die I/O 50 führt eine Kommunikation mit Einrichtungen außerhalb durch. Der Farbsensor 32 (siehe 3A und 3A) ist mit der I/O 50 verbunden. Die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 40 fungiert als die Datenverarbeitungseinheit 24 (siehe 1), und zwar in Folge dessen, dass das Datenverarbeitungs-Steuerungsprogramm 48 aus dem ROM 46 ausgelesen wird und im RAM 44 expandiert wird, und dass das Datenverarbeitungs-Steuerungsprogramm 48, das im RAM 44 expandiert wird, von der CPU 42 ausgeführt wird.
Als Nächstes wird ein Beispiel für den Ablauf der Steuerungsverarbeitung (das Steuerungsverfahren der Auswertungseinrichtung 10), die in der Datenverarbeitungseinheit 24 (der Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 40 (siehe 2)) an der Auswertungseinrichtung 10 ausgeführt wird, gezeigt in 1, als der Betrieb der vorliegenden Ausführungsform und unter Bezugnahme auf das in 4 gezeigte Ablaufdiagramm beschrieben. In der vorliegenden Ausführungsform gilt als ein Beispiel Folgendes: Wenn die Energiequelle der Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 40, die in 2 gezeigt ist, eingeschaltet wird, so wird die Ausführung der in 4 gezeigten Steuerungsverarbeitung gestartet.
Im Schritt 100 der in 4 gezeigten Steuerungsverarbeitung erfasst die Datenverarbeitungseinheit 24 die Modusinformationen, die an der Modus-Auswahleinheit 22 ausgewählt sind.
Im Schritt 102 nach dem Schritt 100 bestimmt auf der Basis der im vorherigen Schritt 100 erfassten Modusinformationen die Datenverarbeitungseinheit 24, ob oder ob nicht der erste Modus ausgewählt ist. Falls die Beurteilung im Schritt 102 negativ ist, fährt die Routine mit Schritt 106 fort, und falls die Beurteilung im Schritt 102 bestätigend bzw. positiv ist, fährt die Routine mit Schritt 104 fort.
Im Schritt 104 erfasst die Datenverarbeitungseinheit 24 die Ausgabewerte und die Messergebnisse aus der Farbmesseinheit 12, und sie erfasst Informationen über die Konstruktionsspezifikationen des Messziels, die am Informations-Eingabebereich 20 eingegeben worden sind. Im Schritt 108 nach dem Schritt 104 gibt - auf Grundlage der Ausgabewerte, die aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchen der erste Modus ausgewählt ist, und der Informationen aus dem Informations-Eingabebereich 20 - die Datenverarbeitungseinheit 24 einen Qualifikations-Referenzwert für jede Konstruktionsspezifikation des Messziels vor. Die Routine fährt mit Schritt 114 nach dem Schritt 108 fort. Schritt 114 wird später noch beschrieben.
Im Schritt 106 bestimmt - auf der Basis der im Schritt 100 erfassten Modusinformationen - die Datenverarbeitungseinheit 24, ob oder ob nicht der zweite Modus ausgewählt ist. Falls die Beurteilung im Schritt 106 negativ ist, fährt die Routine mit Schritt 114 fort, und falls die Beurteilung im Schritt 106 positiv ist, fährt die Routine mit Schritt 110 fort.
Im Schritt 110 erfasst die Datenverarbeitungseinheit 24 den Ausgabewert, der das Messergebnis aus der Farbmesseinheit 12 ist, und sie erfasst Informationen über die Konstruktionsspezifikationen des Messziels, die am Informations-Eingabebereich 20 eingegeben worden sind. Im Schritt 112 nach dem Schritt 110 vergleicht die Datenverarbeitungseinheit 24 den Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, mit dem Qualifikations-Referenzwert für ein Produkt, das die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Messziel aufweist, und bestimmt Qualifikation oder Defekt.
In der Datenverarbeitungseinheit 24 bestimmt hier die Bestimmungseinheit 28 Qualifikation oder Defekt, indem sie sich auf eine Tabelle bezieht, in welcher die Eingabeinformationen, die Konstruktionsspezifikationen spezifizeren, und die Qualifikations-Referenzwerte einander zugeordnet gespeichert sind. Daher kann die Bestimmung bezüglich Qualifikation oder Defekt effizient durchgeführt werden. Die Routine fährt mit Schritt 114 nach dem Schritt 112 fort.
Im Schritt 114 bestimmt die Datenverarbeitungseinheit 24, ob oder ob nicht die Energiequelle der Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 40 (siehe 2) ausgeschaltet worden ist. Falls die Beurteilung im Schritt 114 negativ ist, kehrt die Routine zum Schritt 100 zurück, und die Schritte 100 bis 114 werden wiederholt, bis die Beurteilung im Schritt 114 positiv ist. Wenn die Beurteilung im Schritt 114 positiv ist, endet die in 4 gezeigte Steuerungsverarbeitung.
Das Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels, indem der Farbsensor 32, der in 3A und 3B gezeigt ist, und die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 40 genutzt werden, die in 2 gezeigt sind, wird als Nächstes beschrieben.
In dem Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels wird ein Punkt auf der Oberfläche eines qualifizierten Artikels im Voraus ohne Kontakt mittels des Farbsensors 32 gemessen, der in 3A und 3B gezeigt ist, und auf der Basis von dessen Ausgabewert gibt die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 40 (siehe 2) einen Qualifikations-Referenzwert vor. Danach wird ein Punkt auf der Oberfläche eines Überprüfungsziels, das die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie diejenigen des qualifizierte Artikels aufweist, ohne Kontakt mittels des Farbsensors 32 gemessen, und die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 40 vergleicht den Ausgabewert mit dem Qualifikations-Referenzwert und bestimmt Qualifikation/Defekt.
Konkret bedeutet das: Falls der Ausgabewert des Farbsensors 32 größer als oder gleich groß wie der Qualifikations-Referenzwert ist, bestimmt die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 40, dass sich der Artikel qualifiziert hat, und falls der Ausgabewert des Farbsensors 32 kleiner ist als der Qualifikations-Referenzwert, bestimmt die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 40, dass der Artikel durchgefallen ist bzw. einen Fehler aufweist.
Bei dem Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels kann ein Punkt auf der Oberfläche eines qualifizierten Artikels, der die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Überprüfungsziel hat, im Voraus mittels des Farbsensors 32 gemessen werden, und dessen Ausgabewert kann als der Qualifikations-Referenzwert vorgegeben werden. Oder die jeweiligen einzelnen Punkte auf den Oberflächen von mehreren qualifizierten Artikeln mit den gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Überprüfungsziel können im Voraus mittels des Farbsensors 32 gemessen werden, und es kann der Ausgabewert als der Qualifikations-Referenzwert vorgegeben werden, der unter diesen Ausgabewerten am kleinsten ist.
Testbeispiele, die sich auf die Beurteilung von Qualifikation/Defekt beziehen, werden als Nächstes unter Bezugnahme auf 5, 6A und 6A beschrieben. Ein Zustand, in welchem ein Überprüfungsziel durch Kugelstrahlen oberflächenbearbeitet worden ist, und zwar in dem Zustand vor der Auswertung, ist in einer schematischen Seitenansicht in 5 gezeigt. Graphen der Testergebnisse sind in 6A und 6B gezeigt.
Zunächst werden die Testbedingungen zusammengefasst. Das Ziel vor der Oberflächenbearbeitung des Überprüfungsziels ist ein schwarzes Material (ein Material, das auf dessen Oberfläche eine Oxidschicht aufweist) von SS400 (ein Walzstahlmaterial für allgemeine Strukturen bzw. Bauwerke), und es ist ein Teststück, das ein Quadrat ist, wobei jede Seite 50 mm hat, und das eine Dicke von 6 mm hat. Wie in 5 gezeigt, wird eine Kugelstrahl-Bearbeitung auf einem Ziel W ausgeführt.
Die ersten Kugelstrahlbedingungen dieses Tests, dessen Ergebnisse in 6A gezeigt sind, sind, dass Gussstahlsand, der sphärisch ist und einen Partikeldurchmesser von 0,8 mm hat, als das Strahlmaterial verwendet wird, und dass der Luftdruck zur Zeit des Kugelstrahlens 0,1 MPa beträgt, und außerdem, dass zur Zeit der Kugelstrahl-Bearbeitung das Ziel mit den Zuführungsgeschwindigkeiten bewegt wird, die in den Testergebnissen in 6A gezeigt sind.
Die zweiten Kugelstrahlbedingungen des Tests, dessen Ergebnisse in 6B gezeigt sind, sind, dass Gussstahlkies, der eine spitzwinklige Form und einen Partikeldurchmesser von 0,7 mm hat, als das Strahlmaterial verwendet wird, und dass der Luftdruck zur Zeit des Kugelstrahlens 0,08 MPa beträgt, und außerdem, dass zur Zeit der Kugelstrahl-Bearbeitung das Ziel mit den Zuführungsgeschwindigkeiten bewegt wird, die in den Testergebnissen in 6B gezeigt sind.
Zur weiteren Beschreibung dessen unter Verwendung von 5 wird das Ziel W in Richtung des Pfeils X mittels einer Bewegungseinrichtung S2 bewegt, und zwar in einem Zustand, in welchem eine Luftdüse S1 zum Kugelstrahlen, die das Strahlmaterial ausbringt, fixiert ist. Außerdem wird die Strahldichte variiert, indem die Zuführungsgeschwindigkeit des Ziels W variiert wird.
Bei der Auswertung der Entfernung von Rost nach dem Kugelstrahlen wird außerdem eine Qualifikations-/Defekt-Beurteilung von einem Experten ausgeführt, und die Ergebnisse der Qualifikations-/Defekt-Beurteilung (d. h. die Ergebnisse von Qualifikation, Versagen) sind in 6A und 6B dargestellt. Andererseits ist der Messmodus zur Zeit des Messens unter Verwendung des Farbsensors ein Modus, bei dem der Kontrast betont wird (Kontrastmodus).
In 6A und 6B sind die Ausgabewerte des Farbsensors auf der vertikalen Achse dargestellt, und die Zuführungsgeschwindigkeiten sind auf der horizontalen Achse dargestellt. Wie in 6A und 6B gezeigt, versteht es sich, dass durch die Linien (gepunktete Linien) L1, L2, die durch die niedrigsten Werte der Ausgabewerte der qualifizierten Artikel gehen, sich sämtliche Artikel mit Defekt in den Bereichen unterhalb dieser Linien L1, L2 befinden.
Daraus ergibt sich, dass dann, wenn der niedrigste Wert der Ausgabewerte der qualifizierten Artikel zum Qualifikations-Referenzwert gemacht wird, Qualifikation/Defekt gut bestimmt werden kann. Aus 6A und 6B zeigt sich ferner, dass sich dann, wenn sich die Konstruktionsspezifikationen für die Kugelstrahl-Bearbeitung (allgemein gesagt: eine Oberflächenbearbeitung) unterscheiden, der Qualifikations-Referenzwert ebenfalls ändert.
Wie oben beschrieben, kann gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Bewertung bezüglich Qualifikation/Defekt ausgeführt werden, ohne dass der Farbsensor 32 (die Farbmesseinrichtung in 1) das Überprüfungsziel kontaktiert bzw. berührt. Daher kann die Verarbeitungszeit kurz gehalten werden, und es ist eine Verwendung bei einer Hochgeschwindigkeits-Fertigungslinie möglich. Es sei angemerkt, dass Hochgeschwindigkeits-Fertigungslinien in den Herstellungsebenen beispielsweise in der Automobilindustrie, in der Schiffbauindustrie, in der Stahlindustrie und dergleichen verwendet werden.
Außerdem ist bei der vorliegenden Ausführungsform eine objektive Beurteilung von Qualifikation/Defekt des Oberflächenzustands möglich, und außerdem kann die vorliegende Ausführungsform auch auf schmale Bereiche und Teile angewendet werden, die komplizierte Formen haben, wie z. B. Pleuelstangen von Motorteilen.
Zweite Ausführungsform
Ein Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels, eine Auswertungseinrichtung, ein Verfahren zum Steuern einer Auswertungseinrichtung und ein Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung, die sich auf eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beziehen, werden nun unter Verwendung von 7 bis 9 beschrieben. Die vorliegende Ausführungsform ist im Wesentlichen ähnlich wie die erste Ausführungsform, mit Ausnahme der Aspekte, die nachfolgend beschrieben werden. Demzufolge sind strukturelle Bestandteile, die im Wesentlichen ähnlich wie diejenigen der ersten Ausführungsform sind, mit den gleichen Bezugszeichen versehen, und deren Beschreibung wird weggelassen.
Die schematische Struktur einer Auswertungseinrichtung 70 gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist in einem Blockdiagramm in 7 gezeigt. Wie in 7 gezeigt, gilt Folgendes: Eine funktionale Einheit, die dem Informations-Eingabebereich 20 (siehe 1) der ersten Ausführungsform entspricht, gibt es in der Auswertungseinrichtung 70 nicht, und es ist eine Datenverarbeitungseinheit 72 anstelle der Datenverarbeitungseinheit 24 vorgesehen.
Die Auswertungseinrichtung 70 der vorliegenden Ausführungsform wertet einen Oberflächenzustand eines Produkts von spezifischen Konstruktionsspezifikationen als das Überprüfungsziel aus. Als ein Beispiel ist die Auswertungseinrichtung 70 als Hilfsausrüstung bei einer Kugelstrahl-Bearbeitungseinrichtung ausgebildet, die exklusiv für ein spezifisches Produkt verwendet wird. Da die Modus-Auswahleinheit 22 im Wesentlichen ähnlich zu der Modus-Auswahleinheit 22 der ersten Ausführungsform ist, sind dieser die gleichen Bezugszeichen zugewiesen. Unter dem ersten Modus und dem zweiten Modus, die an der Modus-Auswahleinheit 22 ausgewählt werden können, wird jedoch der erste Modus in einem Fall ausgewählt, in welchem - im Betrieb - der Oberflächenzustand eines qualifizierten Artikels der spezifischen Konstruktionsspezifikationen in der ersten Ausführungsform gemessen werden soll.
Die Datenverarbeitungseinheit 72 hat eine Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 74 und eine Bestimmungseinheit 76. Die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 74 ist eine funktionale Einheit, die einen Qualifikations-Referenzwert auf der Basis eines Ausgabewerts vorgibt, der aus der Farbmesseinheit 12 in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist. Außerdem ist die Bestimmungseinheit 76 eine funktionale Einheit, die den Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, mit dem Qualifikations-Referenzwert vergleicht und Qualifikation/Defekt bestimmt.
Für den Fall, dass es ein einzelnes Datum des Ausgabewerts gibt, der aus der Farbmesseinheit 12 im ersten Modus ausgegeben wird, gibt die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 74 den Ausgabewert als den Qualifikations-Referenzwert vor. Für den Fall, dass es mehrere Daten des Ausgabewerts gibt, der aus der Farbmesseinheit 12 im ersten Modus ausgegeben wird, gibt die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 74 den niedrigsten Wert dieser Ausgabewerte als den Qualifikations-Referenzwert vor.
Die Datenverarbeitungseinheit 72 führt eine Datenverarbeitungssteuerung für die Bewertung von Qualifikation/Defekt mittels einer Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 80 aus, die als ein Computer dient und in 8 gezeigt ist. Die schematische Struktur der Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 80 ist in einem Blockdiagramm in 8 gezeigt.
Wie in 8 gezeigt, hat die Datenverarbeitungseinheit 80 anstelle des ROM 46 (siehe 2) der ersten Ausführungsform ein ROM 47, in welchem ein Datenverarbeitungs-Steuerungsprogramm 78 (ein Beispiel für das Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung, die sich auf den neunzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung bezieht) gespeichert ist.
Es sei angemerkt, dass auf die gleiche Weise wie das ROM 46 (siehe 2) der ersten Ausführungsform auch das ROM 47 ein nichtflüchtiger Speicher ist. Die CPU 42, das RAM 44, die Eingabe-/Ausgabe-Schnittstelleneinheit (I/O) 50 und der Bus 52, die weitere strukturelle Komponenten der Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 80 sind, sind ähnlich denjenigen der ersten Ausführungsform.
Die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 80 fungiert als Datenverarbeitungseinheit 72 (siehe 7) der vorliegenden Ausführungsform, und zwar infolge dessen, dass das Datenverarbeitungs-Steuerungsprogramm 78 aus dem ROM 47 ausgelesen wird und im RAM 44 expandiert wird, und dass das Datenverarbeitungs-Steuerungsprogramm 78, das im RAM 44 expandiert wird, von der CPU 42 ausgeführt wird.
Als Nächstes wird ein Beispiel für den Ablauf der Steuerungsverarbeitung, die in der Datenverarbeitungseinheit 72 (der Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 80 (siehe 8)) an der Auswertungseinrichtung 70 ausgeführt wird, als Betrieb der vorliegenden Ausführungsform und unter Bezugnahme auf das in 9 gezeigte Ablaufdiagramm beschrieben.
Wie in 9 gezeigt, sind bei der Steuerungsverarbeitung der vorliegenden Ausführungsform anstelle der Schritte 104, 108 (siehe 4) der Steuerungsverarbeitung der ersten Ausführungsform die Schritte 124, 128 vorgegeben, und anstelle der Schritte 110, 112 (siehe 4) der Steuerungsverarbeitung der ersten Ausführungsform sind die Schritte 130, 132 vorgegeben. Nachfolgend werden die Bestandteile beschrieben, die sich von der Steuerungsverarbeitung der ersten Ausführungsform unterscheiden.
Im Schritt 124, mit dem die Routine fortfährt für den Fall, dass Schritt 102 positiv ist, oder - mit anderen Worten - in einem Fall, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, bezieht die Datenverarbeitungseinheit 72 den Ausgabewert, der die Messergebnisse darstellt, von der Farbmesseinheit 12. Im Schritt 128 nach dem Schritt 124 gibt die Datenverarbeitungseinheit 72 den Qualifikations-Referenzwert auf der Basis des Ausgabewerts t vor, der von der Farbmesseinrichtung 12 im ersten Modus ausgegeben wird. Die Routine fährt mit dem Schritt 114 nach dem Schritt 128 fort.
Außerdem gilt Folgendes: Im Schritt 130, mit dem die Routine fortfährt für den Fall, dass Schritt 106 positiv ist, oder - mit anderen Worten - in einem Fall, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, bezieht die Datenverarbeitungseinheit 72 die Messergebnisse der Farbmesseinheit 12, d. h. den Ausgabewert von der Farbmesseinheit 12. Im Schritt 132 nach dem Schritt 130 vergleicht die Datenverarbeitungseinheit 72 den Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, mit dem Qualifikations-Referenzwert und bestimmt Qualifikation/Defekt. Die Routine fährt mit dem Schritt 114 nach dem Schritt 132 fort.
Auch bei der Struktur der oben beschriebenen vorliegenden Ausführungsform gilt Folgendes: Da die Beurteilung von Qualifikation/Defekt ausgeführt werden kann, ohne dass das Überprüfungsziel kontaktiert bzw. berührt wird, ist die Verwendung des Verfahrens bei einer Hochgeschwindigkeits-Fertigungslinie möglich.
Dritte Ausführungsform
Ein Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels, eine Auswertungseinrichtung, ein Verfahren zum Steuern einer Auswertungseinrichtung und ein Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung, die sich auf eine dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beziehen, werden nun unter Verwendung von 10 bis 13 beschrieben. Die vorliegende Ausführungsform ist im Wesentlichen ähnlich wie die erste Ausführungsform, mit Ausnahme der Aspekte, die nachfolgend beschrieben werden. Demzufolge sind strukturelle Bestandteile, die im Wesentlichen ähnlich wie diejenigen der ersten Ausführungsform sind, mit den gleichen Bezugszeichen versehen, und deren Beschreibung wird weggelassen.
Die schematische Struktur einer Auswertungseinrichtung 200 gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist in einem Blockdiagramm in 10 gezeigt. Wie in 10 gezeigt, ist an der Auswertungseinrichtung 200 ein Abstandsmessbereich 202 bereitgestellt, und anstelle der Datenverarbeitungseinheit 24 (siehe 1) der ersten Ausführungsform ist eine Datenverarbeitungseinheit 204 vorgesehen.
Der Abstandsmessbereich 202 ist mit der Farbmesseinheit 12 integriert und bildet einen Farbsensor 32A, der als die in 12 gezeigte Messausrüstung dient. Der Abstandsmessbereich 202 misst - ohne Kontakt bzw. Berührung und in Bezug auf das Messziel T2 - den Freiraum L, der entlang der Richtung 14X der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs 14 verläuft, zwischen dem Messziel T2 und einem vorbestimmten Bereich, der der Messzielseite zugewandt ist, und zwar am Farbsensor 32A. Der Abstandsmessbereich 202 wird von einem Abstandsmessgerät gebildet, und es können ein Laserabstandsmessgerät, ein Wirbelstromabstandsmessgerät oder dergleichen für das Abstandsmessgerät verwendet werden.
Bei der vorliegenden Ausführungsform ist der Abstandsmessbereich 202 auf einer Seite des Licht-Projektionsbereichs 14 angeordnet. Es sei angemerkt, dass die Farbmesseinheit 12 und der Abstandsmessbereich 202 jeweils Werte in einem Zustand messen und ausgeben, in welchem sich die Position des Farbsensors 32A bezogen auf das Messziel T2 nicht ändert. Die Ausgabewerte werden von der Datenverarbeitungseinheit 204 einander zugeordnet gespeichert (siehe 10), und zwar automatisch oder auf der Basis von Eingabeinformationen vom Benutzer.
Wie in 10 besitzt die Datenverarbeitungseinheit 204 die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 26, eine Korrekturfaktor-Berechnungseinheit 206 und eine Bestimmungseinheit 208. Die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit 206 ist eine funktionale Einheit, die einen Korrekturfaktor berechnet, der einem Freiraum L entlang der Richtung 14X der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs 14 zwischen dem Messziel T2 und einem vorbestimmten Bereich entspricht, der der Messzielseite zugewandt ist, am Farbsensor 32A, der in 12 gezeigt ist, und zwar für jede Konstruktionsspezifikation des Messziels.
Der Korrekturfaktor wird auf der Basis von Informationen aus dem Informations-Eingabebereich 20 und dem Zusammenhang zwischen den Ausgabewerten, die aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, und den Ausgabewerten berechnet, die aus dem Abstandsmessbereich 202 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist.
Die Ausgabewerte, die aus der Farbmesseinheit 12 ausgegeben werden, und die Ausgabewerte, die aus dem Abstandsmessbereich 202 ausgegeben werden, werden einander zugeordnet gespeichert. Es sei angemerkt, dass der Korrekturfaktor akkurat berechnet wird, indem die Abhängigkeit vom Abstand der Farbmesseinheit 12 erfasst wird, die in 10 gezeigt ist.
Die Bestimmungseinheit 208 ist eine funktionale Einheit, die einen Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, um den Korrekturfaktor korrigiert, der einem Ausgabewert, der aus dem Abstandsmessbereich 202 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und Informationen über die Konstruktionsspezifikationen des Messziel entspricht.
Die Bestimmungseinheit 208 vergleicht den korrigierten Wert (mit anderen Worten: den korrigierten Wert, der erhalten wird, indem der Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 ausgegeben wird, gemäß den Messbedingungen zur Zeit der Messung davon und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird) mit dem Qualifikations-Referenzwert für ein Produkt, das die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Messziel aufweist, und sie bestimmt Qualifikation/Defekt.
Die Datenverarbeitungseinheit 204 führt eine Datenverarbeitungssteuerung für die Bewertung von Qualifikation/Defekt mittels einer Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 210 aus, die als ein Computer dient und in 11 gezeigt ist. Die schematische Struktur der Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 210 ist in einem Blockdiagramm in 11 gezeigt.
Wie in 11 gezeigt, hat die Datenverarbeitungseinheit 210 anstelle des ROM 46 (siehe 2) der ersten Ausführungsform ein ROM 212, in welchem ein Datenverarbeitungs-Steuerungsprogramm 214 (ein Beispiel für das Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung, die sich auf den zwanzigsten Aspekt der vorliegenden Erfindung bezieht) gespeichert ist. Es sei angemerkt, dass auf die gleiche Weise wie das ROM 46 (siehe 2) der ersten Ausführungsform auch das ROM 212 ein nichtflüchtiger Speicher ist.
Die CPU 42, das RAM 44, die Eingabe-/Ausgabe-Schnittstelleneinheit (I/O) 50 und der Bus 52, die weitere strukturelle Komponenten der Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 210 sind, sind ähnlich denjenigen der ersten Ausführungsform. Es sei angemerkt, dass der Abstandsmessbereich 202 (siehe 12) auch mit der I/O 50 der vorliegenden Ausführungsform verbunden ist. Die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 210 fungiert als Datenverarbeitungseinheit 204 (siehe 10), und zwar in Folge dessen, dass das Datenverarbeitungs-Steuerungsprogramm 214 aus dem ROM 212 ausgelesen wird und im RAM 44 expandiert wird, und dass das Datenverarbeitungs-Steuerungsprogramm 214, das im RAM 44 expandiert wird, von der CPU 42 ausgeführt wird.
Als Nächstes wird ein Beispiel für den Ablauf der Steuerungsverarbeitung, die in der Datenverarbeitungseinheit 204 (der Datenverarbeitungseinheit 210 (siehe 11)) an der Auswertungseinrichtung 200 ausgeführt wird, als Betrieb der vorliegenden Ausführungsform und unter Bezugnahme auf das in 13 gezeigte Ablaufdiagramm beschrieben.
Wie in 13 gezeigt, sind bei der Steuerungsverarbeitung der vorliegenden Ausführungsform anstelle der Schritte 104, 108 (siehe 4) der Steuerungsverarbeitung der ersten Ausführungsform die Schritte 134, 136 vorgegeben, und anstelle der Schritte 110, 112 (siehe 4) der Steuerungsverarbeitung der ersten Ausführungsform sind die Schritte 138, 140, 142 vorgegeben. Nachfolgend werden die Bestandteile beschrieben, die sich von der Steuerungsverarbeitung der ersten Ausführungsform unterscheiden.
Im Schritt 134, mit dem die Routine fortfährt für den Fall, dass Schritt 102 positiv ist, oder - mit anderen Worten - in einem Fall, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, bezieht die Datenverarbeitungseinheit 204 Ausgabewerte, die die Messergebnisse darstellen, die jeweils von der Farbmesseinheit 12 und der Abstandsmessbereich 202 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, und sie bezieht Informationen über die Konstruktionsspezifikationen des Messziels, die am Informations-Eingabebereich 20 eingegeben worden sind.
Im Schritt 136 nach dem Schritt 134 gibt an der Datenverarbeitungseinheit 204 die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 26 einen Qualifikations-Referenzwert für jede Konstruktionsspezifikation des Messziels vor, und die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit 206 berechnet für jede Konstruktionsspezifikation des Messziels einen Korrekturfaktor, der dem Freiraum L zwischen dem Messziel T2 und einem vorbestimmten Bereich entspricht, der der Messzielseite zugewandt ist, und zwar am Farbsensor 32A.
Zu diesem Zeitpunkt berechnet die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit 206 den Korrekturfaktor, der dem Freiraum L entspricht, auf der Basis der Informationen aus der Informations-Eingabebereich 20 und des Zusammenhangs zwischen dem Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 ausgegeben wird, und dem Ausgabewert, der aus dem Abstandsmessbereich 202 ausgegeben wird, und zwar in dem Zustand, in welchem der erste Modus ausgewählt ist. Der Ausgabewert der Farbmesseinheit 12 und der Ausgabewert des Abstandsmessbereichs 202 werden einander zugeordnet gespeichert. Die Routine fährt mit dem Schritt 114 nach dem Schritt 136 fort.
Im Schritt 138, mit dem die Routine fortfährt für den Fall, dass Schritt 106 positiv ist, oder - mit anderen Worten - in einem Fall, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, bezieht die Datenverarbeitungseinheit 204 Ausgabewerte, die die Messergebnisse darstellen, die jeweils von der Farbmesseinheit 12 und der Abstandsmessbereich 202 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und sie bezieht Informationen über die Konstruktionsspezifikationen des Messziels, die am Informations-Eingabebereich 20 eingegeben worden sind.
Im Schritt 140 nach dem Schritt 138 korrigiert die Bestimmungseinheit 208 der Datenverarbeitungseinheit 204 den Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 ausgegeben wird, um den Korrekturfaktor, der dem Ausgabewert, der aus dem Abstandsmessbereich 202 ausgegeben wird, und den Informationen der Konstruktionsspezifikationen des Messziels entspricht. Im Schritt 142 nach dem Schritt 140 vergleicht die Bestimmungseinheit 208 den korrigierten Wert, der im Schritt 140 bestimmt wird (mit anderen Worten: den korrigierten Wert, der erhalten wird, indem der Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 ausgegeben wird, gemäß den Messbedingungen zur Zeit der Messung davon und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird) mit dem Qualifikations-Referenzwert für ein Produkt, das die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Messziel aufweist, und sie bestimmt Qualifikation/Defekt. Die Routine fährt mit dem Schritt 114 nach dem Schritt 142 fort.
Das Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels, indem der Farbsensor 32A und der Abstandsmessbereich 202, die in 12 gezeigt sind, und die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 210 genutzt werden, die in 11 gezeigt ist, wird als Nächstes beschrieben.
Bei dem Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels gilt Folgendes: Bevor ein Punkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels vom Farbsensor 32A gemessen wird, wird ein Punkt auf der Oberfläche eines qualifizierten Artikels von der Farbmesseinheit 12 gemessen, und zwar in mehreren Mustern, bei denen der Freiraum L zwischen der Oberfläche des qualifizierten Artikels und einem vorbestimmten Bereich variiert, der der Messzielseite zugewandt ist, am Farbsensor 32A. Der Freiraum L wird mittels des Abstandsmessbereichs 202 am Farbsensor 32A gemessen.
Die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 210 (genauer gesagt: Die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit 206, die in 10 gezeigt ist) berechnet einen Korrekturfaktor, der dem jeweiligen Freiraum L entspricht, aus dem Zusammenhang zwischen den Ausgabewerten des Abstandsmessbereichs 202 und den Ausgabewerten, die sich auf die Farbe des Farbsensors 32A beziehen, und zwar in den mehreren Mustern. Außerdem gibt die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 210 (genauer gesagt: die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 26 gemäß 10) die Qualifikations-Referenzwerte auf der Basis von Ausgabewerten vor, die sich auf die Farbe des Farbsensors 32A beziehen.
Danach wird ein Punkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels, der die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie der qualifizierte Artikel hat, ohne Kontakt bzw. Berührung mittels der Farbmesseinheit 12 des Farbsensors 32A gemessen. Außerdem wird der Freiraum L zwischen der Oberfläche des Überprüfungsziels und einem vorbestimmten Bereich, der der Messzielseite zugewandt ist, am Farbsensor 32A gemessen, ohne dass das Überprüfungsziel kontaktiert bzw. berührt wird, und zwar mittels des Abstandsmessbereichs 202.
Außerdem korrigiert die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 210 (siehe 11 und insbesondere die Bestimmungseinheit 208 gemäß 10) den Ausgabewert, der sich auf die Farbe zur Zeit der Messung des einen Punktes auf der Oberfläche des Überprüfungsziels mittels der Farbmesseinheit 12 ohne Kontakt bezieht, um den Korrekturfaktor, der dem Wert entspricht, der vom Abstandsmessbereich 202 gemessen wird, und vergleicht den korrigierten Wert (mit anderen Worten: den korrigierten Wert, der erhalten wird, indem der Ausgabewert, der sich auf die Farbe bezieht und aus der Farbmesseinheit 12 ausgegeben wird, gemäß den Messbedingungen zur Zeit der Messung davon und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird) mit dem Qualifikations-Referenzwert, und sie bestimmt Qualifikation/Defekt.
Auch bei der Struktur der oben beschriebenen vorliegenden Ausführungsform gilt Folgendes: Da die Bestimmung von Qualifikation oder Defekt ausgeführt werden kann, ohne dass das Überprüfungsziel kontaktiert bzw. berührt wird, ist die Verwendung des Verfahrens bei einer Hochgeschwindigkeits-Fertigungslinie möglich. Außerdem kann bei der vorliegenden Ausführungsform Qualifikation oder Defekt genau bestimmt werden, und zwar selbst dann, wenn eine Dispersion im Freiraum zwischen dem Licht-Projektionsbereich 14 des Farbsensors 32A und dem Messpunkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels auftritt.
Vierte Ausführungsform
Ein Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels, eine Auswertungseinrichtung, ein Verfahren zum Steuern einer Auswertungseinrichtung und ein Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung, die sich auf eine vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beziehen, werden nun unter Verwendung von 14 bis 16 beschrieben.Die vorliegende Ausführungsform ist im Wesentlichen ähnlich wie die dritte Ausführungsform, mit Ausnahme der Aspekte, die nachfolgend beschrieben werden. Demzufolge sind strukturelle Bestandteile, die im Wesentlichen ähnlich wie diejenigen der dritten Ausführungsform sind, mit den gleichen Bezugszeichen versehen, und deren Beschreibung wird weggelassen.
Die schematische Struktur einer Auswertungseinrichtung 220 gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist in einem Blockdiagramm in 14 gezeigt. Wie in 14 gezeigt, gilt bei der Auswertungseinrichtung 220 Folgendes: Eine funktionale Einheit, die dem Informations-Eingabebereich 20 (siehe 10) der dritten Ausführungsform entspricht, gibt es nicht, und es ist eine Datenverarbeitungseinheit 222 anstelle der Datenverarbeitungseinheit 204 vorgesehen.
Auf die gleiche Weise wie die Datenverarbeitungseinheit 204 der dritten Ausführungsform speichert die Datenverarbeitungseinheit 222 die Ausgabewerte, die jeweils von der Farbmesseinheit 12 und dem Abstandsmessbereich 202 in einem Zustand gemessen und ausgegeben werden, in welchem die Position des Farbsensors 32A in Bezug auf das Messziel T2 (siehe 12) nicht geändert wird, einander zugeordnet und automatisch oder auf der Basis von Eingabeinformationen vom Benutzer.
Auf die gleiche Weise wie in der zweiten Ausführungsform wertet die Auswertungseinrichtung 220 der vorliegenden Ausführungsform einen Oberflächenzustand eines Produkts mit spezifischen Konstruktionsspezifikationen als das Überprüfungsziel aus. Da die Modus-Auswahleinheit 22 im Wesentlichen ähnlich zu der Modus-Auswahleinheit 22 der dritten Ausführungsform ist, sind dieser die gleichen Bezugszeichen zugewiesen. Unter dem ersten Modus und dem zweiten Modus, die an der Modus-Auswahleinheit 22 ausgewählt werden können, wird jedoch der erste Modus in einem Fall ausgewählt, in welchem - im Betrieb - der Oberflächenzustand eines qualifizierten Artikels der spezifischen Konstruktionsspezifikationen gemessen werden soll.
Die Datenverarbeitungseinheit 222 hat die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 74, eine Korrekturfaktor-Berechnungseinheit 224 und eine Bestimmungseinheit 226. Da die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 74 eine funktionale Einheit ist, die ähnlich derjenigen der Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 74 der zweiten Ausführungsform ist, wird deren detaillierte Beschreibung weggelassen.
Die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit 224 ist eine funktionale Einheit, die einen Korrekturfaktor berechnet, der einem Freiraum L (siehe 12) entspricht, der entlang der Richtung 14X der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse (siehe 12) des Licht-Projektionsbereichs 14 verläuft, und zwar zwischen dem Messziel T2 (siehe 12) und einem vorbestimmten Bereich, der der Messzielseite zugewandt ist, an der Farbmesseinheit 12. Der Korrekturfaktor wird auf der Basis des Zusammenhangs zwischen einem Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, und einem Ausgabewert berechnet, der aus dem Abstandsmessbereich 202 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist. Die Ausgabewerte werden einander zugeordnet gespeichert.
Außerdem ist die Bestimmungseinheit 226 eine funktionale Einheit, die einen Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, um den Korrekturfaktor, der einem Ausgabewert entspricht, der aus dem Abstandsmessbereich 202 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und vergleicht den korrigierten Wert (mit anderen Worten: den korrigierten Wert, der erhalten wird, indem der Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 ausgegeben wird, gemäß den Messbedingungen zur Zeit der Messung davon und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird) mit dem Qualifikations-Referenzwert und bestimmt Qualifikation/Defekt.
Die Datenverarbeitungseinheit 222 führt eine Datenverarbeitungssteuerung für die Bewertung von Qualifikation/Defekt mittels einer Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 230 aus, die als ein Computer dient und in 15 gezeigt ist. Die schematische Struktur der Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 230 ist in einem Blockdiagramm in 15 gezeigt.
Wie in 15 gezeigt, hat die Datenverarbeitungseinheit 230 anstelle des ROM 212 (siehe 11) der dritten Ausführungsform ein ROM 232, in welchem ein Datenverarbeitungs-Steuerungsprogramm 234 (ein Beispiel für das Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung, die sich auf den neunzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung bezieht) gespeichert ist. Es sei angemerkt, dass auf die gleiche Weise wie das ROM 212 (siehe 11) der dritten Ausführungsform auch das ROM 232 ein nichtflüchtiger Speicher ist.
Die CPU 42, das RAM 44, die Eingabe-/Ausgabe-Schnittstelleneinheit (I/O) 50 und der Bus 52, die weitere strukturelle Bestandteile der Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 230 sind, sind ähnlich denjenigen der dritten Ausführungsform. Die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 230 fungiert als die Datenverarbeitungseinheit 222 (siehe 14), und zwar infolge dessen, dass das Datenverarbeitungs-Steuerungsprogramm 234 aus dem ROM 232 ausgelesen wird und im RAM 44 expandiert wird, und dass das Datenverarbeitungs-Steuerungsprogramm 234, das im RAM 44 expandiert wird, von der CPU 42 ausgeführt wird.
Als Nächstes wird ein Beispiel für den Ablauf der Steuerungsverarbeitung, die in der Datenverarbeitungseinheit 222 (der Datenverarbeitungseinheit 230 (siehe 15)) an der Auswertungseinrichtung 220 ausgeführt wird, die in 14 gezeigt ist, als der Betrieb der vorliegenden Ausführungsform und unter Bezugnahme auf das in 16 gezeigte Ablaufdiagramm beschrieben.
Wie in 16 gezeigt, sind bei der Steuerungsverarbeitung der vorliegenden Ausführungsform anstelle der Schritte 134, 136 (siehe 13) der Steuerungsverarbeitung der dritten Ausführungsform die Schritte 144, 146 vorgegeben, und anstelle der Schritte 138, 140, 142 (siehe 13) der Steuerungsverarbeitung der dritten Ausführungsform sind die Schritte 148, 150, 152 vorgegeben. Nachfolgend werden die Bestandteile beschrieben, die sich von der Steuerungsverarbeitung der dritten Ausführungsform unterscheiden.
Im Schritt 144, mit dem die Routine fortfährt für den Fall, dass Schritt 102 positiv ist, oder - mit anderen Worten - in einem Fall, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, bezieht die Datenverarbeitungseinheit 222 Ausgabewerte, die die Messergebnisse darstellen, die jeweils von der Farbmesseinheit 12 und dem Abstandsmessbereich 202 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist.
Im Schritt 146 nach dem Schritt 144 gibt an der Datenverarbeitungseinheit 222 die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 74 Qualifikations-Referenzwerte vor, und die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit 224 berechnet Korrekturfaktoren, die dem jeweiligen Freiraum L zwischen einem Messziel T2 und dem vorbestimmten Bereich entsprechen, der der Messzielseite zugewandt ist, und zwar an der Farbmesseinheit 12.
Zu diesem Zeitpunkt berechnet die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit 224 den Korrekturfaktor, der dem jeweiligen Freiraum L entspricht, auf der Basis des Zusammenhangs zwischen den Ausgabewerten, die aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, und den Ausgabewerten, die aus dem Abstandsmessbereich 202 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist. Die Ausgabewerte, die aus der Farbmesseinheit 12 ausgegeben werden, und die Ausgabewerte, die aus dem Abstandsmessbereich 202 ausgegeben werden, werden einander zugeordnet gespeichert. Die Routine fährt mit dem Schritt 114 nach dem Schritt 146 fort.
Im Schritt 148, mit dem die Routine fortfährt für den Fall, dass Schritt 106 positiv ist, oder - mit anderen Worten - in einem Fall, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, bezieht die Datenverarbeitungseinheit 222 die Ausgabewerte, die die Messergebnisse darstellen, die jeweils von der Farbmesseinheit 12 und der Abstandsmessbereich 202 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist. Im Schritt 150 nach dem Schritt 148 korrigiert die Bestimmungseinheit 226 der Datenverarbeitungseinheit 222 den Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 im zweiten Modus ausgegeben wird, um den Korrekturfaktor, der dem Ausgabewert entspricht, der aus dem Abstandsmessbereich 202 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist.
Im Schritt 152 nach dem Schritt 150 vergleicht die Bestimmungseinheit 226 den korrigierten Wert, der im Schritt 150 bestimmt wird (mit anderen Worten: den korrigierten Wert, der erhalten wird, indem der Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 ausgegeben wird, gemäß den Messbedingungen zur Zeit der Messung davon und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird) mit dem Qualifikations-Referenzwert, und sie bestimmt Qualifikation/Defekt. Die Routine fährt mit dem Schritt 114 nach dem Schritt 152 fort.
Wenn die Auswertungseinrichtung 220 verwendet wird, die in 14 gezeigt ist, kann ein Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels auf die gleiche Weise wie bei der dritten Ausführungsform implementiert werden.
Auch bei der Struktur der oben beschriebenen vorliegenden Ausführungsform gilt Folgendes: Da die Bestimmung von Qualifikation oder Defekt ausgeführt werden kann, ohne dass das Überprüfungsziel kontaktiert bzw. berührt wird, ist die Anwendung des Verfahrens auf eine Hochgeschwindigkeits-Fertigungslinie möglich. Außerdem kann bei der vorliegenden Ausführungsform auf die gleiche Weise wie bei der dritten Ausführungsform der Status Qualifikation/Defekt akkurat bestimmt werden, selbst wenn es eine Dispersion im Freiraum zwischen dem Licht-Projektionsbereich 14 und dem Messpunkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels gibt.
Fünfte Ausführungsform
Ein Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels, eine Auswertungseinrichtung, ein Verfahren zum Steuern einer Auswertungseinrichtung und ein Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung, die sich auf eine fünfte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beziehen, werden nun unter Verwendung von 17 bis 20 beschrieben. Die vorliegende Ausführungsform ist im Wesentlichen ähnlich wie die erste Ausführungsform, mit Ausnahme der Aspekte, die nachfolgend beschrieben werden. Demzufolge sind strukturelle Bestandteile, die im Wesentlichen ähnlich wie diejenigen der ersten Ausführungsform sind, mit den gleichen Bezugszeichen versehen, und deren Beschreibung wird weggelassen.
Die schematische Struktur einer Auswertungseinrichtung 240 gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist in einem Blockdiagramm in 17 gezeigt. Wie in 17 gezeigt, sind an der Auswertungseinrichtung 240 ein erster Abstandsmessbereich 242 und ein zweiter Abstandsmessbereich 244 bereitgestellt, die als zwei Abstandsmessbereiche dienen, und anstelle der Datenverarbeitungseinheit 24 (siehe 1) der ersten Ausführungsform ist eine Datenverarbeitungseinheit 246 vorgesehen.
Der erste Abstandsmessbereich 242 und der zweite Abstandsmessbereich 244 sind auf beiden Seiten der Farbmesseinheit 12 in einer Richtung angeordnet, in welcher der Licht-Projektionsbereich 14 und der Licht-Empfangsbereich 16 aufgereiht sind, die in 19 gezeigt sind. Der erste Abstandsmessbereich 242 und der zweite Abstandsmessbereich 244 sind mit der Farbmesseinheit 12 integriert und bilden einen Farbsensor 32B, der als Messausrüstung dient. Der erste Abstandsmessbereich 242 und der zweite Abstandsmessbereich 244 messen jeweils - ohne Kontakt bzw. Berührung und in Bezug auf ein Messziel T2 - die Freiräume La, Lb, die entlang der Richtung 14X der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs 14 verlaufen, zwischen dem Messziel T2 und einem vorbestimmten Bereich, der der Messzielseite zugewandt ist, und zwar am Farbsensor 32B.
Auf die gleiche Weise wie der Abstandsmessbereich 202 der dritten Ausführungsform sind der erste Abstandsmessbereich 242 und der zweite Abstandsmessbereich 244 mittels Abstandsmessgeräten strukturiert, und es können Laserabstandsmessgeräte, Wirbelstromabstandsmessgeräte oder dergleichen für die Abstandsmessgeräte verwendet werden. Es sei angemerkt, dass die Ausgabewerte, die die Farbmesseinheit 12, der erste Abstandsmessbereich 242 und der zweite Abstandsmessbereich 244 jeweils in einem Fall messen und ausgeben, in welchem sich die Position des Farbsensors 32B in Bezug auf das Messziel T2 nicht ändert, von der Datenverarbeitungseinheit 246 (siehe 17) einander zugeordnet gespeichert werden, und zwar automatisch oder auf der Basis von Eingabeinformationen vom Benutzer.
Wie in 17 gezeigt, hat die Datenverarbeitungseinheit 246 die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 26, eine Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248, eine Korrekturfaktor-Berechnungseinheit 250 und eine Bestimmungseinheit 252. Die Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 ist eine funktionale Einheit, die aus den Ausgabewerten, die jeweils aus dem ersten Abstandsmessbereich 242 und dem zweiten Abstandsmessbereich 244 ausgegeben werden, einen Durchschnittswert der Freiräume La, Lb entlang der Richtung 14X der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs 14 zwischen dem Messziel T2 und einem vorbestimmten Bereich berechnet, der der Messzielseite zugewandt ist, und zwar am Farbsensor 32B, der in 19 gezeigt ist. Die Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 berechnet die Neigung der Richtung 14X der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs 14 bezogen auf die Richtung orthogonal zur Messzielfläche 62.
Die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit 250, die in 17 gezeigt ist, ist eine funktionale Einheit, die einen Korrekturfaktor berechnet, der einem durchschnittlichen Freiraum, der der Durchschnittswert der Freiräume La, Lb zwischen dem Messziel T2 und einem vorbestimmten Bereich ist, der der Messzielseite zugewandt ist, und zwar am Farbsensor 32B, der in 19 gezeigt ist, und der Neigung der Richtung 14X der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs 14 in Bezug auf die Richtung orthogonal zur Messzielfläche 62 entspricht, und zwar für jede Konstruktionsspezifikation des Messziels.
Der Korrekturfaktor wird auf der Basis von Informationen aus dem Informations-Eingabebereich 20 und dem Zusammenhang zwischen dem Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, und einem berechneten Wert berechnet, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 auf der Basis der Ausgabewerte berechnet wird, die jeweils aus dem ersten Abstandsmessbereich 242 und dem zweiten Abstandsmessbereich 244 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist. Der Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 ausgegeben wird, und der berechnete Wert, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 berechnet wird, werden einander zugeordnet gespeichert.
Außerdem ist die Bestimmungseinheit 252, die in 17 gezeigt ist, eine funktionale Einheit, die den Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, um einen Korrekturfaktor korrigiert, der den Informationen über die Konstruktionsspezifikationen des Messziels und einem berechneten Wert entspricht, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 berechnet wird, und zwar auf der Basis der Ausgabewerte, die jeweils aus dem ersten Abstandsmessbereich 242 und dem zweiten Abstandsmessbereich 244 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist.
Die Bestimmungseinheit 252 vergleicht den korrigierten Wert (mit anderen Worten: den korrigierten Wert, der erhalten wird, indem der Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 ausgegeben wird, gemäß den Messbedingungen zur Zeit der Messung davon und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird) mit dem Qualifikations-Referenzwert für ein Produkt, das die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Messziel aufweist, und sie bestimmt den Status Qualifikation/Defekt.
Die Datenverarbeitungseinheit 246 führt eine Datenverarbeitungssteuerung für die Bewertung von Qualifikation/Defekt mittels einer Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 260 aus, die als ein Computer dient und in 18 gezeigt ist. Die schematische Struktur der Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 260 ist in einem Blockdiagramm in 18 gezeigt.
Wie in 18 gezeigt, hat die Datenverarbeitungseinheit 260 anstelle des ROM 46 (siehe 2) der ersten Ausführungsform ein ROM 262, in welchem ein Datenverarbeitungs-Steuerungsprogramm 264 (ein Beispiel für das Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung, die sich auf den zwanzigsten Aspekt der vorliegenden Erfindung bezieht) gespeichert ist. Es sei angemerkt, dass auf die gleiche Weise wie das ROM 46 (siehe 2) der ersten Ausführungsform auch das ROM 262 ein nichtflüchtiger Speicher ist.
Die CPU 42, das RAM 44, die Eingabe-/Ausgabe-Schnittstelleneinheit (I/O) 50 und der Bus 52, die weitere strukturelle Komponenten der Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 260 sind, sind ähnlich denjenigen der ersten Ausführungsform. Es sei angemerkt, dass der erste Abstandsmessbereich 242 und der zweite Abstandsmessbereich 244 (siehe 19 für beide) auch mit der I/O 50 der vorliegenden Ausführungsform verbunden ist. Die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 260 fungiert als Datenverarbeitungseinheit 246 (siehe 17) der vorliegenden Ausführungsform, und zwar infolge dessen, dass das Datenverarbeitungs-Steuerungsprogramm 264 aus dem ROM 262 ausgelesen wird und im RAM 44 expandiert wird, und dass das Datenverarbeitungs-Steuerungsprogramm 264, das im RAM 44 expandiert wird, von der CPU 42 ausgeführt wird.
Als Nächstes wird ein Beispiel für den Ablauf der Steuerungsverarbeitung, die in der Datenverarbeitungseinheit 246 (der Datenverarbeitungseinheit 260 (siehe 18)) an der Auswertungseinrichtung 240 ausgeführt wird, die in 17 gezeigt ist, als Betrieb der vorliegenden Ausführungsform und unter Bezugnahme auf das in 20 gezeigte Ablaufdiagramm beschrieben.
Wie in 20 gezeigt, sind bei der Steuerungsverarbeitung der vorliegenden Ausführungsform anstelle der Schritte 104, 108 (siehe 4) der Steuerungsverarbeitung der ersten Ausführungsform die Schritte 154, 156 vorgegeben, und anstelle der Schritte 110, 112 (siehe 4) der Steuerungsverarbeitung der ersten Ausführungsform sind die Schritte 158, 160, 162 vorgegeben. Nachfolgend werden die Bestandteile beschrieben, die sich von der Steuerungsverarbeitung der ersten Ausführungsform unterscheiden.
Im Schritt 154, mit dem die Routine fortfährt für den Fall, dass Schritt 102 positiv ist, oder - mit anderen Worten - in einem Fall, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, bezieht die Datenverarbeitungseinheit 246 die Ausgabewerte, die die Messergebnisse darstellen, die jeweils von der Farbmesseinheit 12, dem ersten Abstandsmessbereich 242 und dem zweiten Abstandsmessbereich 244 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, und sie bezieht Informationen über die Konstruktionsspezifikationen des Messziels, die am Informations-Eingabebereich 20 eingegeben worden sind.
Im Schritt 156 nach dem Schritt 154 gibt an der Datenverarbeitungseinheit 246 die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 26 einen Qualifikations-Referenzwert für jede der Konstruktionsspezifikationen der Messziele vor. Außerdem berechnet im Schritt 156 an der Datenverarbeitungseinheit 246, nachdem die Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 die oben beschriebene vorbestimmte Berechnung ausgeführt hat, die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit 250 für jede der Konstruktionsspezifikationen der Messziele einen Korrekturfaktor, der einem durchschnittlichen Freiraum, der der Durchschnittswert der Freiräume La, Lb zwischen dem Messziel T2 und einem vorbestimmten Bereich ist, der der Messzielseite zugewandt ist, und zwar am Farbsensor 32B, und der Neigung der Richtung 14X der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs 14 in Bezug auf die Richtung orthogonal zur Messzielfläche 62 entspricht.
Zur weiteren Beschreibung dessen gilt Folgendes: Bevor die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit 250 den Korrekturfaktor berechnet, berechnet die Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 aus den Ausgabewerten, die jeweils aus dem ersten Abstandsmessbereich 242 und dem zweiten Abstandsmessbereich 244 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, den Durchschnittswert der Freiräume La, Lb und berechnet die Neigung der Richtung 14X der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs 14 in Bezug auf die Richtung orthogonal zur Messzielfläche 62.
Dann berechnet die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit 250 einen Korrekturfaktor, der dem oben beschriebenen durchschnittlichen Freiraum und der oben beschriebenen Neigung entspricht, auf der Basis von Informationen aus dem Informations-Eingabebereich 20 und dem Zusammenhang zwischen dem Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, und einem berechneten Wert, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 auf der Basis von Ausgabewerten berechnet wird, die jeweils aus dem ersten Abstandsmessbereich 242 und dem zweiten Abstandsmessbereich 244 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist.
Die Ausgabewerte, die aus der Farbmesseinheit 12 ausgegeben werden, und der berechnete Wert, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 berechnet wird, werden einander zugeordnet gespeichert. Die Routine fährt mit dem Schritt 114 nach dem Schritt 156 fort.
Im Schritt 158, mit dem die Routine fortfährt für den Fall, dass Schritt 106 positiv ist, oder - mit anderen Worten - in einem Fall, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, bezieht die Datenverarbeitungseinheit 246 Ausgabewerte, die die Messergebnisse darstellen, die jeweils von der Farbmesseinheit 12, dem ersten Abstandsmessbereich 242 und dem zweiten Abstandsmessbereich 244 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und sie bezieht Informationen über die Konstruktionsspezifikationen des Messziels, die am Informations-Eingabebereich 20 eingegeben worden sind.
Im Schritt 160 nach dem Schritt 158 korrigiert die Datenverarbeitungseinheit 246 den Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist. Um die konkreter zu beschreiben, gilt Folgendes: Zunächst berechnet aus den Ausgabewerten, die jeweils aus dem ersten Abstandsmessbereich 242 und dem zweiten Abstandsmessbereich 244 im zweiten Modus ausgegeben werden, die Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 den Durchschnittswert der Freiräume La, Lb an den Farbsensoren 32B, und sie berechnet die Neigung der Richtung 14C der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs 14 in Bezug auf die Richtung orthogonal zur Messzielfläche 62.
Dann korrigiert die Bestimmungseinheit 252 der Datenverarbeitungseinheit 246 den Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 im zweiten Modus ausgegeben wird, um den Korrekturfaktor, der den Informationen der Konstruktionsspezifikationen des Messziels und dem berechneten Wert entspricht, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 auf der Basis der Ausgabewerte berechnet wird, die jeweils aus dem ersten Abstandsmessbereich 242 und dem zweiten Abstandsmessbereich 244 im zweiten Modus ausgegeben werden.
Im Schritt 162 nach dem Schritt 160 vergleicht die Bestimmungseinheit 252 der Datenverarbeitungseinheit 246 den korrigierten Wert, der im Schritt 160 bestimmt wird (mit anderen Worten: den korrigierten Wert, der erhalten wird, indem der Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 ausgegeben wird, gemäß den Messbedingungen zur Zeit der Messung davon und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird) mit dem Qualifikations-Referenzwert für ein Produkt, das die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Messziel aufweist, und sie bestimmt Qualifikation/Defekt. Die Routine fährt mit dem Schritt 114 fort, der der nächste nach dem Schritt 162 ist.
Das Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels, indem der Farbsensor 32B, der erste Abstandsmessbereich 242 und der zweite Abstandsmessbereich 244 genutzt werden, die in 19 gezeigt sind, und die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 260 genutzt werden, die in 18 gezeigt ist, wird als Nächstes beschrieben.
In dem Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels gilt Folgendes: Bevor ein Punkt auf der Oberfläche eines Überprüfungsziels von dem Farbsensor 32B gemessen wird, der in 19 gezeigt ist, wird ein Punkt auf der Oberfläche eines qualifizierten Artikels von dem Farbsensor 32B in mehreren Mustern gemessen, bei denen die Umstände variieren, die die Freiräume La, Lb zwischen der Oberfläche des qualifizierten Artikels und einem vorbestimmten Bereich, der der Messzielseite zugewandt ist, am Farbsensor 32B und die Neigung der Richtung 14X der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs 14 in Bezug auf die Richtung orthogonal zum gemessenen Bereich auf der Oberfläche des qualifizierten Artikels sind. Die Freiräume La, Lb werden jeweils von dem ersten Abstandsmessbereich 242 und dem zweiten Abstandsmessbereich 244 gemessen.
Außerdem berechnet die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 260 (genauer gesagt: Die Abstands-Berechnungseinheit 248 gemäß 17) den Durchschnittswert der Freiräume La, Lb und der vorgenannten Neigung als erste Daten, und zwar aus den Messergebnissen des ersten Abstandsmessbereichs 242 und des zweiten Abstandsmessbereichs 244.
Außerdem berechnet die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 260 (genauer gesagt: die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit 250 gemäß 17) im Voraus einen Korrekturfaktor, der der oben beschriebenen Neigung und dem durchschnittlichen Freiraum entspricht, der der Durchschnittswert der Freiräume La, Lb ist, aus dem Zusammenhang zwischen den oben beschriebenen ersten Daten und dem Ausgabewert, der sich auf die Farbe des Farbsensors 32B in den mehreren Mustern bezieht. Außerdem gibt die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 260 (genauer gesagt: die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 26 gemäß 17) die Qualifikations-Referenzwerte auf der Basis des Ausgabewerts vor, der sich auf die Farbe des Farbsensors 32b bezieht.
Danach wird ein Punkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels, der die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie der qualifizierte Artikel hat, ohne Kontakt bzw. Berührung mittels der Farbmesseinheit 12 des Farbsensors 32B gemessen. Außerdem werden die Freiräume La, Lb zwischen der Oberfläche des Überprüfungsziels und einem vorbestimmten Bereich, der der Messzielseite zugewandt ist, am Farbsensor 32B jeweils gemessen, ohne dass das Überprüfungsziel kontaktiert bzw. berührt wird, und zwar mittels des ersten Abstandsmessbereichs 242 und des zweiten Abstandsmessbereichs 244.
Aus diesen zwei Messergebnissen berechnet die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 260 (genauer gesagt: die Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 gemäß 17) als zweite Daten den Durchschnittswert der Freiräume La, Lb und die Neigung der Richtung 14X der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs 14 in Bezug auf die Richtung orthogonal zum gemessenen Bereich der Oberfläche des Überprüfungsziels.
Dann korrigiert die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 260 (genauer gesagt: die Bestimmungseinheit 252 gemäß 17) um den Korrekturfaktor, der den oben beschriebenen zweiten Daten entspricht, den Ausgabewert, der sich auf die Farbe zu der Zeit bezieht, wenn ein Punkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels ohne Kontakt mittels der Farbmesseinheit 12 des Farbsensors 32B gemessen wird, und sie vergleicht diesen korrigierten Wert (mit anderen Worten: den korrigierten Wert, der erhalten wird, indem der Ausgabewert, der sich auf die Farbe bezieht und aus der Farbmesseinheit 12 des Farbsensors 32B ausgegeben wird, gemäß den Messbedingungen zur Zeit der Messung davon und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird) mit dem Qualifikations-Referenzwert, und sie bestimmt Qualifikation/Defekt.
Auch bei der Struktur der oben beschriebenen vorliegenden Ausführungsform gilt Folgendes: Da die Bestimmung von Qualifikation/Defekt ausgeführt werden kann, ohne dass das Überprüfungsziel kontaktiert bzw. berührt wird, kann das Verfahren bei einer Hochgeschwindigkeits-Fertigungslinie verwendet werden. Außerdem kann bei der vorliegenden Ausführungsform Qualifikation/Defekt akkurat bestimmt werden, und zwar selbst dann, wenn es eine Dispersion in beiden oder einem von dem Freiraum zwischen dem Licht-Projektionsbereich 14 des Farbsensors 32B und dem Messpunkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels und der Neigung der Richtung 14X der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs 14 gibt.
In der vorliegenden Ausführungsform kann daher Qualifikation/Defekt genau bestimmt werden, und zwar sogar in dem Fall, in welchem die Oberfläche des Überprüfungsziels gekrümmt ist, oder in dem Fall, in welchem das Überprüfungsziel beispielsweise als eine zylindrische Stange geformt ist.
Sechste Ausführungsform
Ein Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels, eine Auswertungseinrichtung, ein Verfahren zum Steuern einer Auswertungseinrichtung und ein Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung, die sich auf eine sechste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beziehen, werden nun unter Verwendung von 21 bis 23 beschrieben. Die vorliegende Ausführungsform ist im Wesentlichen ähnlich wie die fünfte Ausführungsform, mit Ausnahme der Aspekte, die nachfolgend beschrieben werden. Demzufolge sind strukturelle Bestandteile, die im Wesentlichen ähnlich wie diejenigen der fünften Ausführungsform sind, mit den gleichen Bezugszeichen versehen, und deren Beschreibung wird weggelassen.
Die schematische Struktur einer Auswertungseinrichtung 270 gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist in einem Blockdiagramm in 21 gezeigt. Wie in 21 gezeigt, gilt bei der Auswertungseinrichtung 270 der vorliegenden Ausführungsform Folgendes: Einen funktionalen Bereich, der dem Informations-Eingabebereich 20 (siehe 17) der fünften Ausführungsform entspricht, gibt es nicht, und es ist eine Datenverarbeitungseinheit 272 anstelle der Datenverarbeitungseinheit 246 bereitgestellt.
Auf die gleiche Weise wie die Datenverarbeitungseinheit 246 der fünften Ausführungsform speichert die Datenverarbeitungseinheit 272 die Ausgabewerte, die jeweils von der Farbmesseinheit 12, dem ersten Abstandsmessbereich 242 und dem zweiten Abstandsmessbereich 244 in einem Zustand gemessen und ausgegeben werden, in welchem die Position des Farbsensors 32B in Bezug auf das Messziel T2 (siehe 19) nicht geändert wird, einander zugeordnet und automatisch oder auf der Basis von Eingabeinformationen vom Benutzer.
Auf die gleiche Weise wie bei der zweiten und vierten Ausführungsform wertet die Auswertungseinrichtung 270 der vorliegenden Ausführungsform einen Oberflächenzustand eines Produkts mit spezifischen Konstruktionsspezifikationen als das Überprüfungsziel aus. Da die Modus-Auswahleinheit 22 im Wesentlichen ähnlich zu der Modus-Auswahleinheit 22 der fünften Ausführungsform ist, sind dieser die gleichen Bezugszeichen zugewiesen. Unter dem ersten Modus und dem zweiten Modus, die mit der Modus-Auswahleinheit 22 ausgewählt werden können, wird jedoch der erste Modus in einem Fall ausgewählt, in welchem - im Betrieb - der Oberflächenzustand eines qualifizierten Artikels der spezifischen Konstruktionsspezifikationen gemessen werden soll.
Die Datenverarbeitungseinheit 272 hat die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 74, die Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248, eine Korrekturfaktor-Berechnungseinheit 274 und eine Bestimmungseinheit 276. Die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 74 ist eine funktionale Einheit, die ähnlich derjenigen der Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 74 der zweiten und vierten Ausführungsform ist. Außerdem ist die Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 eine funktionale Einheit, die ähnlich der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 der fünften Ausführungsform ist.
Die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit 274 ist eine funktionale Einheit, die einen Korrekturfaktor berechnet, der dem durchschnittlichen Freiraum, der der Durchschnittswert der Freiräume La, Lb zwischen dem Messziel T2 und einem vorbestimmten Bereich ist, der der Messzielseite zugewandt ist, am Farbsensor 32B, gezeigt in 19, und der Neigung der Richtung 14X der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs 14 in Bezug auf die Richtung senkrecht zur Messzielfläche 62 entspricht.
Der Korrekturfaktor wird auf der Basis des Zusammenhangs zwischen dem Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, und einem berechneten Wert berechnet, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 auf der Basis der Ausgabewerte berechnet wird, die jeweils aus dem ersten Abstandsmessbereich 242 und dem zweiten Abstandsmessbereich 244 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist. Der Ausgabewert und der berechnete Wert im ersten Modus werden einander zugeordnet gespeichert.
Die Bestimmungseinheit 276, die in 21 gezeigt ist, ist eine funktionale Einheit, die einen Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, um einen Korrekturfaktor korrigiert wird. Der Korrekturfaktor entspricht einem berechneten Wert, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 auf der Basis von Ausgabewerten berechnet wird, die jeweils aus dem ersten Abstandsmessbereich 242 und dem zweiten Abstandsmessbereich 244 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist.
Die Bestimmungseinheit 276 vergleicht den korrigierten Wert (mit anderen Worten: den korrigierten Wert, der erhalten wird, indem der Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 ausgegeben wird, gemäß den Messbedingungen zur Zeit der Messung davon und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird) mit dem Qualifikations-Referenzwert, und sie bestimmt Qualifikation/Defekt.
Die Datenverarbeitungseinheit 272 führt eine Datenverarbeitungssteuerung für die Bewertung von Qualifikation/Defekt mittels einer Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 280 aus, die als ein Computer dient und in 22 gezeigt ist. Die schematische Struktur der Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 280 ist in einem Blockdiagramm in 22 gezeigt.
Wie in 22 gezeigt, hat die Datenverarbeitungseinheit 280 anstelle des ROM 262 (siehe 18) der fünften Ausführungsform ein ROM 282, in welchem ein Datenverarbeitungs-Steuerungsprogramm 284 (ein Beispiel für das Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung, die sich auf den neunzehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung bezieht) gespeichert ist. Es sei angemerkt, dass auf die gleiche Weise wie das ROM 262 (siehe 18) der fünften Ausführungsform auch das ROM 282 ein nichtflüchtiger Speicher ist.
Die CPU 42, das RAM 44, die Eingabe-/Ausgabe-Schnittstelleneinheit (I/O) 50 und der Bus 52, die weiteren strukturelle Komponenten der Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 280 sind, sind ähnlich denjenigen der fünften Ausführungsform. Die Datenverarbeitungs-Steuereinrichtung 280 fungiert als Datenverarbeitungseinheit 272 (siehe 21), und zwar in Folge dessen, dass das Datenverarbeitungs-Steuerungsprogramm 284 aus dem ROM 282 ausgelesen wird und im RAM 44 expandiert wird, und dass das Datenverarbeitungs-Steuerungsprogramm 284, das im RAM 44 expandiert wird, von der CPU 42 ausgeführt wird.
Als Nächstes wird ein Beispiel für den Ablauf der Steuerungsverarbeitung, die in der Datenverarbeitungseinheit 272 (der Datenverarbeitungseinheit 280 (siehe 22)) an der Auswertungseinrichtung 270 ausgeführt wird, die in 21 gezeigt ist, als der Betrieb der vorliegenden Ausführungsform und unter Bezugnahme auf das in 23 gezeigte Ablaufdiagramm beschrieben.
Wie in 23 gezeigt, sind bei der Steuerungsverarbeitung der vorliegenden Ausführungsform anstelle der Schritte 154, 156 (siehe 20) der Steuerungsverarbeitung der fünften Ausführungsform die Schritte 164, 166 vorgegeben, und anstelle der Schritte 158, 160, 162 (siehe 20) der Steuerungsverarbeitung der fünften Ausführungsform sind die Schritte 168, 170, 172 vorgegeben. Nachfolgend werden die Komponenten beschrieben, die sich von der Steuerungsverarbeitung der fünften Ausführungsform unterscheiden.
Im Schritt 164, mit dem die Routine fortfährt für den Fall, dass Schritt 102 positiv ist, oder - mit anderen Worten - in einem Fall, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, bezieht die Datenverarbeitungseinheit 272 die Ausgabewerte, die die Messergebnisse darstellen, die jeweils von der Farbmesseinheit 12, dem ersten Abstandsmessbereich 242 und dem zweiten Abstandsmessbereich 244 ausgegeben werden.
Im Schritt 166 nach dem Schritt 164 gibt an der Datenverarbeitungseinheit 272 die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 74 den Qualifikations-Referenzwert vor. Im Schritt 166, an der Datenverarbeitungseinheit 272, nachdem die Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 die oben beschriebene vorbestimmte Berechnung ausgeführt hat, berechnet die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit 274 einen Korrekturfaktor, der dem durchschnittlichen Freiraum, der der Durchschnittswert der Freiräume La, Lb zwischen dem Messziel T2 und einem vorbestimmten Bereich, der der Messzielseite zugewandt ist, und zwar am Farbsensor 32B, und der Neigung der Richtung 14X der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs 14 in Bezug auf die Richtung orthogonal zur Messzielfläche 62 entspricht.
Zur weiteren Beschreibung dessen gilt Folgendes: Bevor die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit 274 den Korrekturfaktor berechnet, berechnet die Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 aus den Ausgabewerten, die jeweils aus dem ersten Abstandsmessbereich 242 und dem zweiten Abstandsmessbereich 244 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, den Durchschnittswert der Freiräume La, Lb zwischen dem Messziel T2 und einem vorbestimmten Bereich, der der Messzielseite zugewandt ist, am Farbsensor 32B, und sie berechnet die Neigung der Richtung 14X der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs 14 in Bezug auf die Richtung orthogonal zur Messzielfläche 62.
Dann berechnet die Korrekturfaktor-Berechnungseinheit 274 den Korrekturfaktor, der dem oben beschriebenen durchschnittlichen Freiraum und der oben beschriebenen Neigung entspricht, auf der Basis des Zusammenhangs zwischen dem Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, und dem berechneten Wert, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 auf der Basis der Ausgabewerte berechnet wird, die jeweils aus dem ersten Abstandsmessbereich 242 und dem zweiten Abstandsmessbereich 244 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist.
Der Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 ausgegeben wird, und der berechnete Wert, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 berechnet wird, werden einander zugeordnet gespeichert. Die Routine fährt mit dem Schritt 114 nach dem Schritt 166 fort.
Im Schritt 168, mit dem die Routine fortfährt für den Fall, dass Schritt 106 positiv ist, oder - mit anderen Worten - in einem Fall, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, bezieht die Datenverarbeitungseinheit 272 die Ausgabewerte, die die Messergebnisse darstellen, die jeweils von der Farbmesseinheit 12 und dem ersten Abstandsmessbereich 242 und dem zweiten Abstandsmessbereich 244 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist. Im Schritt 170 nach dem Schritt 168 korrigiert die Datenverarbeitungseinheit 272 den Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 im zweiten Zustand ausgegeben wird.
Zur konkreteren Beschreibung gilt Folgendes: Zunächst berechnet aus den Ausgabewerten, die jeweils aus dem ersten Abstandsmessbereich 242 und dem zweiten Abstandsmessbereich 244 ausgegeben werden, die Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 den Durchschnittswert der Freiräume La, Lb zwischen dem Messziel T2 und einem vorbestimmten Bereich, der der Messzielseite zugewandt ist, am Farbsensor 32B, und sie berechnet die Neigung der Richtung 14X der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs 14 in Bezug auf die Richtung orthogonal zur Messzielfläche 62. Dann korrigiert die Bestimmungseinheit 276 den Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 ausgegeben wird, um den Korrekturfaktor.
Der Korrekturfaktor entspricht dem berechneten Wert, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit 248 auf der Basis der Ausgabewerte berechnet wird, die jeweils aus dem ersten Abstandsmessbereich 242 und dem zweiten Abstandsmessbereich 244 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist.
Im Schritt 172 nach dem Schritt 170 vergleicht die Bestimmungseinheit 276 den korrigierten Wert, der im Schritt 170 bestimmt wird (mit anderen Worten: den korrigierten Wert, der erhalten wird, indem der Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit 12 ausgegeben wird, gemäß den Messbedingungen zur Zeit der Messung davon und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird) mit dem Qualifikations-Referenzwert, und sie bestimmt Qualifikation/Defekt. Die Routine fährt mit dem Schritt 114 nach dem Schritt 172 fort.
Wenn die Auswertungseinrichtung 270 verwendet wird, die in 21 gezeigt ist, kann ein Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels auf die gleiche Weise wie in der fünften Ausführungsform implementiert werden.
Auch bei der Struktur der oben beschriebenen vorliegenden Ausführungsform gilt Folgendes: Da die Bestimmung von Qualifikation/Defekt ausgeführt werden kann, ohne dass das Überprüfungsziel kontaktiert bzw. berührt wird, kann die vorliegende Ausführungsform auf eine Hochgeschwindigkeits-Fertigungslinie angewendet werden. Außerdem kann bei der vorliegenden Ausführungsform auf die gleiche Weise wie in der fünften Ausführungsform Qualifikation/Defekt akkurat bestimmt werden, selbst wenn es eine Dispersion in beiden oder in einem von dem Freiraum zwischen dem Licht-Projektionsbereich 14 und dem Messpunkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels und der Neigung der Richtung 14X der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs 14 gibt.
Ergänzende Erläuterung der Ausführungsformen
Bei der oben beschriebenen ersten Ausführungsform, dritten Ausführungsform und fünften Ausführungsform gibt die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 26, die in 1, 10 und 17 gezeigt ist, den Qualifikations-Referenzwert unterschiedlich für den Fall vor, in welchem die Daten des Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, ein Datum innerhalb einer Pro-Konstruktionsspezifikations-Kategorie sind, die mittels Informationen über die Konstruktionsspezifikationen des Messziels klassifiziert worden sind, und für den Fall, in welchem die Daten mehrere Daten sind.
Für den Fall beispielsweise, für den vorausgesetzt wird, dass die Anzahl von Produkten (qualifizierten Artikeln) pro Konstruktionsspezifikation, die von der Farbmesseinheit 12 in einem Zustand gemessen werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, stets eins beträgt, gibt es keine Notwendigkeit, eine Logik vorzusehen, die einen Fall annimmt, in welchem die Anzahl von Produkten (qualifizierten Artikeln) pro Konstruktionsspezifikation eine Mehrzahl beträgt.
Für den Fall, für den vorausgesetzt wird, dass die Anzahl von Produkten (qualifizierten Artikeln) pro Konstruktionsspezifikation, die von der Farbmesseinheit 12 in einem Zustand gemessen werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, stets eine Mehrzahl beträgt, gibt es außerdem keine Notwendigkeit, eine Logik vorzusehen, die einen Fall annimmt, in welchem die Anzahl von Produkten (qualifizierten Artikeln) pro Konstruktionsspezifikation eins beträgt.
Bei der oben beschriebenen zweiten Ausführungsform, vierten Ausführungsform und sechsten Ausführungsform gibt außerdem die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 26, die in 7, 14 und 21 gezeigt ist, den qualifikations-Referenzwert unterschiedlich für den Fall vor, in welchem die Daten des Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, ein Datum sind, und für den Fall, in welchem die Daten mehrere Daten sind.
Für den Fall beispielsweise, für den vorausgesetzt wird, dass die Anzahl von Produkten (qualifizierten Artikeln), die von der Farbmesseinheit 12 in einem Zustand gemessen werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, stets Eins beträgt, gibt es keine Notwendigkeit, eine Logik vorzusehen, die einen Fall annimmt, in welchem die Anzahl von Produkten (qualifizierten Artikeln) eine Mehrzahl beträgt.
Für den Fall, für den vorausgesetzt wird, dass die Anzahl von Produkten (qualifizierten Artikeln), die von der Farbmesseinheit 12 in einem Zustand gemessen werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, stets eine Mehrzahl beträgt, gibt es außerdem keine Notwendigkeit, eine Logik vorzusehen, die einen Fall annimmt, in welchem die Anzahl von Produkten (qualifizierten Artikeln) eins beträgt.
Außerdem speichert bei der oben beschriebenen ersten Ausführungsform die Datenverarbeitungseinheit 24, die in 1 gezeigt ist, in einer Tabelle und einander zugeordnet die Eingabeinformationen, die die Konstruktionsspezifikationen des Produkts spezifizieren und die beim Vorgeben des Qualifikations-Referenzwerts verwendet werden, sowie den Qualifikations-Referenzwert, der von der Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit 26 vorgegeben wird, und die Bestimmungseinheit 28 bestimmt Qualifikation/Defekt, indem sie sich auf diese Tabelle bezieht. Eine solche Struktur ist unter dem Gesichtspunkt der effizienten (schnellen) Bestimmung von Qualifikation/Defekt bevorzugt, und es kann eine ähnliche Struktur auch bei der oben beschriebenen dritten Ausführungsform und der fünften Ausführungsform verwendet werden.
Es kann jedoch auch eine Struktur verwendet werden, bei welcher beispielsweise die Datenverarbeitungseinheit die oben beschriebene Tabelle nicht aufweist, und sie hat eine Datenbank, in welcher veranlasst wird, dass Ausgabewerte, die aus der Farbmesseinheit 12 in dem Zustand ausgegeben werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, und Informationen aus dem Informations-Eingabebereich 20 einander entsprechen, und zu der Zeit, wenn die Bestimmungseinheit 28 Qualifikation/Defekt bestimmt, bezieht sich die Qualifikationsreferenz-Einstelleinheit auf diese Datenbank und gibt den Qualifikations-Referenzwert vor, und die Bestimmungseinheit 28 bestimmt Qualifikation/Defekt, indem sie diesen Qualifikations-Referenzwert als eine Referenz verwendet.
Außerdem können die Datenverarbeitungs-Steuerungsprogramme 48, 78, 214, 234, 264, 284, die in 2, 8, 11, 15, 18, 22 gezeigt sind, auf einem Speichermedium oder dergleichen gespeichert werden und zum Verteilen verwendet werden.
Außerdem sind bei den oben beschriebenen ersten bis sechsten Ausführungsformen die Auswertungseinrichtungen 10, 70, 200, 220, 240, 270, die in 1, 7, 10, 14, 17, 21 gezeigt sind, Einrichtungen, die annehmen, dass - nachdem an der Modus-Auswahleinheit 22 der erste Modus ausgewählt worden ist und der Oberflächenzustand eines qualifizierten Artikels gemessen worden ist - an der Modus-Auswahleinheit 22 der zweite Modus ausgewählt wird.
Daher ist der Ablauf der Steuerungsverarbeitung für den Fall, dass der zweite Modus ausgewählt ist, bevor der Qualifikations-Referenzwert vorgegeben wird, weggelassen. Beispielsweise kann jedoch ein Schritt, in welchem - bevor der Qualifikations-Referenzwert vorgegeben wird - eine Fehlermeldung auf dem Ausgabebereich 30 angezeigt wird, und zwar in dem Fall, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist und eine Beurteilung von Qualifikation/Defekt nicht ausgeführt werden kann, zu dem Ablauf der Steuerungsverarbeitung hinzugefügt werden.
Auf ähnliche Weise ist bei den oben beschriebenen dritten bis sechsten Ausführungsformen der Ablauf der Steuerungsverarbeitung für den Fall, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, bevor der Korrekturfaktor berechnet wird, weggelassen. Beispielsweise kann ein Schritt, in welchem eine Fehlermeldung auf dem Ausgabebereich 30 angezeigt wird, und zwar in dem Fall, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, bevor der Korrekturfaktor berechnet wird, und eine Beurteilung von Qualifikation/Defekt nicht ausgeführt werden kann, zu dem Ablauf der Steuerungsverarbeitung hinzugefügt werden.
Außerdem sind in den oben beschriebenen Ausführungsformen Fälle der Anwendung bei der Auswertung des Oberflächenzustands nach der Entfernung von Rost oder Kalk mittels Kugelstrahlens beschrieben. Die vorliegende Erfindung kann jedoch auch auf die Auswertung des Oberflächenzustands nach der Entfernung von Rost oder Kalk durch Laserreinung oder dergleichen angewendet werden, oder sie kann auf die Auswertung des Oberflächenzustands nach der Farbentfernung oder nach einem Ablösen einer Beschichtung durch Kugelstrahlen oder dergleichen angewendet werden.
Zusätzlich zu den oben beschriebenen Ausführungsformen kann die vorliegende Erfindung natürlich auch implementiert werden, indem sie auf verschiedene Weisen modifiziert wird, die vom Umfang der vorliegenden Erfindung nicht abweichen.
Es sei angemerkt, dass die Offenbarung der japanischen Patentanmeldung Nr. 2017-219029 in ihrer Gesamtheit durch Bezugnahme in die vorliegende Anmeldung aufgenommen wird.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

WO 2015/044591 A1 [0002, 0003]
JP 2017219029 [0254]

Claims

Verfahren zum Auswerten eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels unter Verwendung eines Farbsensors, wobei der Farbsensor einen Licht-Projektionsbereich und einen Licht-Empfangsbereich aufweist, wobei der Farbsensor so konfiguriert ist, dass Licht vom Licht-Projektionsbereich ausgestrahlt wird, an einer Messzielfläche reflektiert wird und am Licht-Empfangsbereich empfangen wird, und wobei der Farbsensor einen Ausgabewert entsprechend einer Farbe des Überprüfungsziels aus Lichtintensitäten von Rot, Blau und Grün berechnet, die am Licht-Empfangsbereich empfangen werden, wobei das Verfahren Folgendes umfasst: - Messen - im Voraus und mittels des Farbsensors - eines Punkts auf einer Oberfläche eines qualifizierten Artikels, ohne die Oberfläche zu kontaktieren, und - auf der Basis eines Ausgabewerts aus dem Farbsensor - Vorgeben - mittels eines Computers - eines Qualifikations-Referenzwerts; - danach: Messen - mittels des Farbsensors ohne Kontakt - eines Punkts auf einer Oberfläche eines Überprüfungsziels mit den gleichen Konstruktionsspezifikationen wie der qualifizierte Artikel; - nachdem der Qualifikations-Referenzwert vorgegeben ist: Vergleichen, mittels des Computers, des Ausgabewerts des Überprüfungsziels oder eines korrigierten Werts mit dem Qualifikations-Referenzwert, wobei der Ausgabewert des Überprüfungsziels aus dem Farbsensor ausgegeben wird, und wobei der korrigierte Wert erhalten wird, indem der Ausgabewert des Überprüfungsziels gemäß Messbedingungen zur Zeit der Messung mittels des Farbsensors und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird; und - Bestimmen von Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei - bevor ein Punkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels vom Farbsensor gemessen wird, ein Punkt auf der Oberfläche des qualifizierten Artikels vom Farbsensor in einer Mehrzahl von Mustern gemessen wird, die jeweils einen unterschiedlichen Freiraum haben, und zwar entlang der Richtung einer Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen der Oberfläche des qualifizierten Artikels und einem vorbestimmten Bereich des Farbsensors, der der Messzielseite zugewandt ist, und der Freiraum mittels eines Abstandsmessgeräts gemessen wird, das in den Farbsensor eingebaut ist, - der Computer einen Korrekturfaktor, der den jeweiligen Freiräumen entspricht, auf der Basis eines Zusammenhangs zwischen Ausgabewerten aus dem Abstandsmessgerät und Ausgabewerten betreffend die Farbe aus dem Farbsensor berechnet, und zwar in den mehreren Mustern, - danach ein Freiraum entlang der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen der Oberfläche des Überprüfungsziels und einem vorbestimmten Bereich des Farbsensors, der der Messzielseite zugewandt ist, wobei der Farbsensor an einer Position zum Messen des Überprüfungsziels angeordnet ist, mittels des Abstandsmessgeräts gemessen wird, ohne dass das Überprüfungsziel kontaktiert wird, und - der Computer einen Ausgabewert korrigiert, der sich auf die Farbe zu einem Zeitpunkt bezieht, wenn ein Punkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels ohne Kontakt mittels des Farbsensors gemessen wird, und zwar um einen Korrekturfaktor, der einem Wert entspricht, der vom Abstandsmessgerät gemessen wird, nachdem der Korrekturfaktor berechnet wird, den korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert vergleicht und Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels bestimmt.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei - bevor ein Punkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels vom Farbsensor gemessen wird, ein Punkt auf der Oberfläche des qualifizierten Artikels vom Farbsensor in mehreren Mustern gemessen wird, die jeweils unterschiedliche Zustände haben, wobei die Zustände einen Freiraum entlang der Richtung einer Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen der Oberfläche des qualifizierten Artikels und einem vorbestimmten Bereich des Farbsensors, der der Messzielseite zugewandt ist, und die Neigung der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs bezogen auf die Richtung orthogonal zu einem gemessenen Bereich der Oberfläche des qualifizierten Artikels aufweisen, und wobei der Freiraum jeweils mittels zweier Abstandsmessgeräte gemessen wird, die in den Farbsensor auf jeweiligen Seiten in der Richtung eingebaut sind, in welcher der Licht-Projektionsbereich und der Licht-Empfangsbereich ausgerichtet sind, - der Computer die Neigung und einen Durchschnittswert des Freiraums als erste Daten aus Ergebnissen der Messung mittels der zwei Abstandsmessgeräte berechnet und im Voraus einen Korrekturfaktor berechnet, der der Neigung und dem durchschnittlichen Freiraum entspricht, und zwar auf der Basis eines Zusammenhangs zwischen den ersten Daten und Ausgabewerten, die sich auf die Farbe des Farbsensors in den mehreren Mustern beziehen, - danach ein Freiraum entlang der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen der Oberfläche des Überprüfungsziels und einem vorbestimmten Bereich, der der Messzielseite zugewandt ist, wobei der Farbsensor an einer Position zum Messen des Überprüfungsziels angeordnet ist, jeweils mittels des Abstandsmessgeräts gemessen wird, ohne dass das Überprüfungsziel kontaktiert wird, - der Computer einen Durchschnittswert der Freiräume und die Neigung der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs bezogen auf die Richtung senkrecht zu einem gemessenen Bereich der Oberfläche des Überprüfungsziels als zweite Daten aus den zwei Ergebnissen der Messung berechnet, und - der Computer den Ausgabewert, der sich auf die Farbe zu der Zeit bezieht, wenn ein Punkt auf der Oberfläche des Überprüfungsziels ohne Kontakt durch den Farbsensor gemessen wird, um den Korrekturfaktor korrigiert, der den zweiten Daten entspricht, den korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert vergleicht und Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels bestimmt.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei ein Punkt auf einer Oberfläche eines qualifizierten Artikels, der die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Überprüfungsziel hat, im Voraus mittels des Farbsensors gemessen wird und der Computer den Ausgabewert des einen qualifizierten Artikels als den Qualifikations-Referenzwert vorgibt.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei jeweilige einzelne Punkte auf Oberflächen einer Mehrzahl von qualifizierten Artikeln, die die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Überprüfungsziel haben, im Voraus mittels eines Farbsensors gemessen werden und der Computer den niedrigsten Ausgabewert unter den Ausgabewerten der Mehrzahl von qualifizierten Artikeln als den Qualifikations-Referenzwert vorgibt.
Auswertungseinrichtung, die einen Oberflächenzustand eines Überprüfungsziels auswertet, das ein Produkt ist, das spezifische Konstruktionsspezifikationen hat, wobei die Auswertungseinrichtung Folgendes aufweist: - eine Farbmesseinheit, die Folgendes aufweist: einen Licht-Projektionsbereich, der eine Messzielfläche beleuchtet, einen Licht-Empfangsbereich, der Licht vom Licht-Projektionsbereich empfängt und das von der Messzielfläche reflektiert wird, und eine Berechnungseinheit, die einen Ausgabewert entsprechend einer Farbe eines Messziels aus Lichtintensitäten von Rot, Blau und Grün berechnet, die am Licht-Empfangsbereich empfangen werden, wobei die Farbmesseinheit das Messziel zur Zeit der Messung nicht kontaktiert; - eine Modus-Auswahleinheit, die konfiguriert ist, einen ersten Modus im Fall einer Messung eines Oberflächenzustands eines qualifizierten Artikels mit den spezifischen Konstruktionsspezifikationen und einen zweiten Modus im Fall einer Bestimmung eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels auszuwählen; und - eine Datenverarbeitungseinheit, die Folgendes aufweist: eine Qualifikationskriterien-Vorgabeeinheit, die einen Qualifikations-Referenzwert auf der Basis des Ausgabewerts vorgibt, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, und eine Bestimmungseinheit, die den Ausgangswert oder einen korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert vergleicht, wobei der Ausgabewert aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und wobei der korrigierte Wert erhalten wird, indem der Ausgabewert gemäß Messbedingungen zur Zeit der Messung mittels der Farbmesseinheit und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird, und die Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels bestimmt.
Auswertungseinrichtung nach Anspruch 6, die ferner einen Abstandsmessbereich aufweist, der mit der Farbmesseinheit integriert ist und so ein Messinstrument bildet, wobei der Abstandsmessbereich - ohne dass das Messziel kontaktiert wird - einen Freiraum entlang der Richtung einer Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen dem Messziel und einem vorbestimmten Bereich des Messinstruments misst, der einer Messzielseite zugewandt ist, wobei: - die Datenverarbeitungseinheit eine Korrekturfaktor-Berechnungseinheit aufweist, die einen Korrekturfaktor gemäß dem Freiraum auf der Basis des Zusammenhangs zwischen dem Ausgabewert, der aus der Farbmesseinrichtung in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, und einem Ausgabewert berechnet, der aus der Datenverarbeitungseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, wobei der Ausgabewert der Farbmesseinrichtung und der Ausgabewert des Abstandsmessbereichs einander zugeordnet gespeichert werden, und - die Bestimmungseinheit den Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, um den Korrekturfaktor korrigiert, der einem Ausgabewert entspricht, der aus dem Abstandsmessbereich in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und den korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert vergleicht und Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels bestimmt.
Auswertungseinrichtung nach Anspruch 6, die ferner zwei Abstandsmessbereiche aufweist, die auf jeweiligen Seiten der Farbmesseinheit in der Richtung angeordnet sind, in welcher der Licht-Projektionsbereich und der Licht-Empfangsbereich ausgerichtet sind, wobei die zwei Abstandsmessbereiche mit der Farbmesseinheit integriert sind und so ein Messinstrument bilden, und wobei die zwei Abstandsmessbereiche jeweils, ohne dass das Messziel kontaktiert wird, einen Freiraum entlang der Richtung einer Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen dem Messziel und einem vorbestimmten Bereich des Messinstruments messen, der der Messzielseite zugewandt ist, wobei die Datenverarbeitungseinheit Folgendes aufweist: eine Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit, die, auf der Basis von Ausgabewerten, die jeweils aus den zwei Abstandsmessbereichen ausgegeben werden, einen Durchschnittswert des Freiraums berechnet und eine Neigung der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs bezogen auf eine Richtung senkrecht zur Messzielfläche berechnet; und eine Korrekturfaktor-Berechnungseinheit, die einen Korrekturfaktor berechnet, der der Neigung und dem durchschnittlichen Freiraum entspricht, und zwar auf der Basis eines Zusammenhangs zwischen einem Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgegeben wird, und einem berechneten Wert, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit auf der Basis von Ausgabewerten berechnet wird, die jeweils aus den zwei Abstandsmessbereichen in einem Zustand ausgegeben werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, wobei der Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit ausgegeben wird, und der berechnete Wert, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit berechnet wird, einander zugeordnet gespeichert werden, und wobei die Bestimmungseinheit den Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, um den Korrekturfaktor korrigiert, der einem berechneten Wert entspricht, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit auf der Basis von Ausgabewerten berechnet wird, die jeweils aus den zwei Abstandsmessbereichen in einem Zustand ausgegeben werden, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und den korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert vergleicht und Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels bestimmt.
Auswertungseinrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, wobei für den Fall, dass Daten des Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, ein einzelnes Datenelement enthält, die Qualifikationskriterien-Einstelleinheit den Ausgabewert als den Qualifikations-Referenzwert vorgibt.
Auswertungseinrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 9, wobei für den Fall, dass Daten des Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, eine Mehrzahl von Datenelementen aufweist, die Qualifikationskriterien-Einstelleinheit den niedrigsten Wert der Ausgabewerte als den Qualifikations-Referenzwert vorgibt.
Auswertungseinrichtung, die Folgendes aufweist: - eine Farbmesseinheit, die Folgendes aufweist: einen Licht-Projektionsbereich, der eine Messzielfläche beleuchtet, einen Licht-Empfangsbereich, der Licht vom Licht-Projektionsbereich empfängt und das von der Messzielfläche reflektiert wird, und eine Berechnungseinheit, die einen Ausgabewert entsprechend einer Farbe eines Messziels aus Lichtintensitäten von Rot, Blau und Grün berechnet, die am Licht-Empfangsbereich empfangen werden, wobei die Farbmesseinheit das Messziel zur Zeit der Messung nicht kontaktiert; - einen Informations-Eingabebereich, der konfiguriert ist zum Eingeben von Informationen, die sich auf Konstruktionsspezifikationen eines Messziels beziehen; - eine Modus-Auswahleinheit, die konfiguriert ist zum Auswählen eines ersten Modus im Fall einer Messung eines Oberflächenzustands eines qualifizierten Artikels und eines zweiten Modus im Fall einer Bestimmung eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels; und - eine Datenverarbeitungseinheit, die Folgendes aufweist: eine Qualifikationskriterien-Einstelleinheit, die einen Qualifikations-Referenzwert für jede Konstruktionsspezifikation des Messziels auf der Basis von Informationen aus dem Informations-Eingabebereich und einem Ausgabewert vorgibt, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, und eine Bestimmungseinheit, die den Ausgabewert oder einen korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert für einen qualifizierten Artikel vergleicht, der die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Messziel aufweist, wobei der Ausgabewert aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und wobei der korrigierte Wert erhalten wird, indem der Ausgabewert gemäß Messbedingungen zur Zeit der Messung des Messziels und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird, und die Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels bestimmt.
Auswertungseinrichtung nach Anspruch 11, die ferner einen Abstandsmessbereich aufweist, der mit der Farbmesseinheit integriert ist und so ein Messinstrument bildet, wobei der Abstandsmessbereich - ohne dass das Messziel kontaktiert wird - einen Freiraum entlang der Richtung einer Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen dem Messziel und einem vorbestimmten Bereich des Messinstruments misst, der einer Messzielseite zugewandt ist, wobei: - die Datenverarbeitungseinheit eine Korrekturfaktor-Berechnungseinheit aufweist, die einen Korrekturfaktor berechnet, der dem Freiraum für jede Konstruktions-spezifikation des Messziels entspricht, und zwar auf der Basis von Informationen aus dem Informations-Eingabebereich und eines Zusammenhangs zwischen dem Ausgabewert, der aus der Farbmesseinrichtung in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, und einem Ausgabewert, der aus der Datenverarbeitungseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, wobei der Ausgabewert, der aus der Farbmesseinrichtung ausgegeben wird, und der Ausgabewert, der aus dem Abstandsmessbereich ausgegeben wird, einander zugeordnet gespeichert werden, und - die Bestimmungseinheit den Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, um den Korrekturfaktor korrigiert, der einem Ausgabewert, der aus dem Abstandsmessbereich in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und den Informationen über die Konstruktionsspezifikationen des Messziels entspricht, und den korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert für einen qualifizierten Artikel vergleicht, der die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Messziel aufweist, und Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels bestimmt.
Auswertungseinrichtung nach Anspruch 11, die ferner zwei Abstandsmessbereiche aufweist, die auf jeweiligen Seiten der Farbmesseinheit in der Richtung angeordnet sind, in welcher der Licht-Projektionsbereich und der Licht-Empfangsbereich ausgerichtet sind, wobei die zwei Abstandsmessbereiche mit der Farbmesseinheit integriert sind und so ein Messinstrument bilden, und wobei die zwei Abstandsmessbereiche jeweils, ohne dass das Messziel kontaktiert wird, einen Freiraum entlang der Richtung einer Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs zwischen dem Messziel und einem vorbestimmten Bereich des Messinstruments messen, der der Messzielseite zugewandt ist, wobei die Datenverarbeitungseinheit Folgendes aufweist: eine Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit, die, auf der Basis von Ausgabewerten, die jeweils aus den zwei Abstandsmessbereichen ausgegeben werden, einen Durchschnittswert des Freiraums berechnet und eine Neigung der Richtung der Lichtbeleuchtungs-Mittelachse des Licht-Projektionsbereichs bezogen auf eine Richtung senkrecht zur Messzielfläche berechnet; und eine Korrekturfaktor-Berechnungseinheit, die einen Korrekturfaktor berechnet, der der Neigung und einem durchschnittlichen Freiraum des Freiraums für jede Konstruktionsspezifikation des Messziels entspricht, und zwar auf der Basis von Informationen aus dem Informations-Eingabebereich und eines Zusammenhangs zwischen einem Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgegeben wird, und einem berechneten Wert, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit auf der Basis von Ausgabewerten berechnet wird, die jeweils aus den zwei Abstandsmessbereichen in einem Zustand ausgegeben werden, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, wobei der Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit ausgegeben wird, und der berechnete Wert, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit berechnet wird, einander zugeordnet gespeichert werden, und die Bestimmungseinheit den Ausgabewert, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, um den Korrekturfaktor korrigiert, der den Informationen über die Konstruktionsspezifikationen des Messziels und einem berechneten Wert entspricht, der von der Abstands-Neigungs-Berechnungseinheit berechnet wird, und zwar auf der Basis von Ausgabewerten, die jeweils aus den zwei Abstandsmessbereichen in einem Zustand ausgegeben werden, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und den korrigierten Wert mit dem Qualifikations-Referenzwert für einen qualifizierten Artikel vergleicht, das die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Messziel aufweist, und Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels bestimmt.
Auswertungseinrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 13, wobei für den Fall, dass Daten eines Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, ein einzelnes Datenelement innerhalb einer Pro-Konstruktionsspezifikations-Kategorie aufweisen, die auf der Basis der Informationen der Konstruktionsspezifikationen des Messziels klassifiziert worden ist, die Qualifikationskriterien-Einstelleinheit den Ausgabewert als den Qualifikations-Referenzwert für ein Produkt vorgibt, das die Konstruktionsspezifikationen aufweist.
Auswertungseinrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 14, wobei für den Fall, dass Daten eines Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der erste Modus ausgewählt ist, eine Mehrzahl von Datenelementen innerhalb einer Pro-Konstruktionsspezifikations-Kategorie aufweisen, die auf der Basis der Informationen der Konstruktionsspezifikationen des Messziels klassifiziert worden ist, die Qualifikationskriterien-Einstelleinheit den niedrigsten Wert der Ausgabewerte als den Qualifikations-Referenzwert für ein Produkt vorgibt, das die Konstruktionsspezifikationen aufweist.
Auswertungseinrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 15, wobei die Datenverarbeitungseinheit die Eingabeinformationen speichert, die die Konstruktionsspezifikationen des qualifizierten Artikels spezifizieren und die beim Vorgeben der Qualifikations-Referenzwerte verwendet werden, und die Qualifikations-Referenzwerte speichert, die von der Qualifikationskriterien-Einstelleinheit vorgegeben werden, und zwar in einer Tabelle einander zugeordnet, und wobei die Bestimmungseinheit Qualifikation oder Defekt unter Bezugnahme auf die Tabelle bestimmt.
Verfahren zum Steuern einer Auswertungseinrichtung, die einen Oberflächenzustand eines Überprüfungsziels auswertet, das ein Produkt ist, das spezifische Konstruktionsspezifikationen hat, wobei die Auswertungseinrichtung Folgendes aufweist: - eine Farbmesseinheit, die Folgendes aufweist: einen Licht-Projektionsbereich, der eine Messzielfläche beleuchtet, einen Licht-Empfangsbereich, der Licht vom Licht-Projektionsbereich empfängt und das von der Messzielfläche reflektiert wird, und eine Berechnungseinheit, die einen Ausgabewert entsprechend einer Farbe eines Messziels mit Lichtintensitäten von Rot, Blau und Grün berechnet, die am Licht-Empfangsbereich empfangen werden, wobei die Farbmesseinheit das Messziel zur Zeit der Messung nicht kontaktiert; und - eine Modus-Auswahleinheit, die konfiguriert ist, einen ersten Modus im Fall einer Messung eines Oberflächenzustands eines qualifizierten Artikels mit den spezifischen Konstruktionsspezifikationen und einen zweiten Modus im Fall einer Bestimmung eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels auszuwählen; wobei das Verfahren Folgendes umfasst: - für den Fall, dass der erste Modus ausgewählt ist, Vorgeben eines Qualifikations-Referenzwerts auf der Basis eines Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit ausgegeben wird; - für den Fall, dass der zweite Modus ausgewählt ist, Vergleichen eines Ausgabewerts oder eines korrigierten Werts mit dem Qualifikations-Referenzwert, wobei der Ausgabewert aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und wobei der korrigierte Wert erhalten wird, indem der Ausgabewert gemäß Messbedingungen zur Zeit der Messung im zweiten Modus und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird, und - Bestimmen von Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels.
Verfahren zum Steuern einer Auswertungseinrichtung, wobei die Auswertungseinrichtung Folgendes aufweist: - eine Farbmesseinheit, die Folgendes aufweist: einen Licht-Projektionsbereich, der eine Messzielfläche beleuchtet, einen Licht-Empfangsbereich, der Licht vom Licht-Projektionsbereich empfängt und das von der Messzielfläche reflektiert wird, und eine Berechnungseinheit, die einen Ausgabewert entsprechend einer Farbe eines Messziels mit Lichtintensitäten von Rot, Blau und Grün berechnet, die am Licht-Empfangsbereich empfangen werden, wobei die Farbmesseinheit das Messziel zur Zeit der Messung nicht kontaktiert; - einen Informations-Eingabebereich, der konfiguriert ist zum Eingeben von Informationen, die sich auf Konstruktionsspezifikationen eines Messziels beziehen; und - eine Modus-Auswahleinheit, die konfiguriert ist zum Auswählen eines ersten Modus im Fall einer Messung eines Oberflächenzustands eines qualifizierten Artikels und eines zweiten Modus im Fall einer Bestimmung eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels, wobei das Verfahren Folgendes umfasst: - für den Fall, dass der erste Modus ausgewählt ist, Vorgeben eines Qualifikations-Referenzwerts für jede Konstruktionsspezifikation des Messziels auf der Basis eines Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit ausgegeben wird, und der Informationen aus dem Informations-Eingabebereich; - für den Fall, dass der zweite Modus ausgewählt ist, Vergleichen eines Ausgabewerts oder eines korrigierten Werts mit dem Qualifikations-Referenzwert für ein Produkt, das die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Messziel aufweist, wobei der Ausgabewert aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und wobei der korrigierte Wert erhalten wird, indem der Ausgabewert gemäß Messbedingungen zur Zeit der Messung des Messziels im zweiten Modus und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird; und - Bestimmen von Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels.
Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung, die einen Oberflächenzustand eines Überprüfungsziels auswertet, das ein Produkt ist, das spezifische Konstruktionsspezifikationen hat, wobei die Auswertungseinrichtung Folgendes aufweist: - eine Farbmesseinheit, die Folgendes aufweist: einen Licht-Projektionsbereich, der eine Messzielfläche beleuchtet, einen Licht-Empfangsbereich, der Licht vom Licht-Projektionsbereich empfängt und das von der Messzielfläche reflektiert wird, und eine Berechnungseinheit, die einen Ausgabewert entsprechend einer Farbe eines Messziels mit Lichtintensitäten von Rot, Blau und Grün berechnet, die am Licht-Empfangsbereich empfangen werden, wobei die Farbmesseinheit das Messziel zur Zeit der Messung nicht kontaktiert; und - eine Modus-Auswahleinheit, die konfiguriert ist, einen ersten Modus im Fall einer Messung eines Oberflächenzustands eines qualifizierten Artikels mit den spezifischen Konstruktionsspezifikationen und einen zweiten Modus im Fall einer Bestimmung eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels auszuwählen; wobei das Steuerungsprogramm einen Computer, der in der Auswertungseinrichtung enthalten ist, veranlasst, eine Verarbeitung auszuführen, die Folgendes umfasst: - für den Fall, dass der erste Modus ausgewählt ist, Vorgeben eines Qualifikations-Referenzwerts auf der Basis eines Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit ausgegeben wird; - für den Fall, dass der zweite Modus ausgewählt ist, Vergleichen eines Ausgabewerts oder eines korrigierten Werts mit dem Qualifikations-Referenzwert, wobei der Ausgabewert aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und wobei der korrigierte Wert erhalten wird, indem der Ausgabewert gemäß Messbedingungen zur Zeit der Messung im zweiten Modus und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird, und - Bestimmen von Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels.
Steuerungsprogramm für eine Auswertungseinrichtung, wobei die Auswertungseinrichtung Folgendes aufweist: - eine Farbmesseinheit, die Folgendes aufweist: einen Licht-Projektionsbereich, der eine Messzielfläche beleuchtet, einen Licht-Empfangsbereich, der Licht vom Licht-Projektionsbereich empfängt und das von der Messzielfläche reflektiert wird, und eine Berechnungseinheit, die einen Ausgabewert entsprechend einer Farbe eines Messziels mit Lichtintensitäten von Rot, Blau und Grün berechnet, die am Licht-Empfangsbereich empfangen werden, wobei die Farbmesseinheit das Messziel zur Zeit der Messung nicht kontaktiert; - einen Informations-Eingabebereich, der konfiguriert ist zum Eingeben von Informationen, die sich auf Konstruktionsspezifikationen eines Messziels beziehen; und - eine Modus-Auswahleinheit, die konfiguriert ist zum Auswählen eines ersten Modus im Fall einer Messung eines Oberflächenzustands eines qualifizierten Artikels und eines zweiten Modus im Fall einer Bestimmung eines Oberflächenzustands eines Überprüfungsziels, wobei das Steuerungsprogramm einen Computer, der in der Auswertungseinrichtung enthalten ist, dazu veranlasst, eine Verarbeitung auszuführen, die Folgendes umfasst: - für den Fall, dass der erste Modus ausgewählt ist, Vorgeben eines Qualifikations-Referenzwerts für jede Konstruktionsspezifikation des Messziels auf der Basis eines Ausgabewerts, der aus der Farbmesseinheit ausgegeben wird, und der Informationen aus dem Informations-Eingabebereich; - für den Fall, dass der zweite Modus ausgewählt ist, Vergleichen eines Ausgabewerts oder eines korrigierten Werts mit dem Qualifikations-Referenzwert für ein Produkt, das die gleichen Konstruktionsspezifikationen wie das Messziel aufweist, wobei der Ausgabewert aus der Farbmesseinheit in einem Zustand ausgegeben wird, in welchem der zweite Modus ausgewählt ist, und wobei der korrigierte Wert erhalten wird, indem der Ausgabewert gemäß Messbedingungen zur Zeit der Messung des Messziels im zweiten Modus und auf der Basis eines vorbestimmten Kriteriums korrigiert wird; und - Bestimmen von Qualifikation oder Defekt des Überprüfungsziels.