DE112004001261T5 - Bauelementbestückungsvorrichtung und -Verfahren - Google Patents

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Abstract

Bauelementbestückungsvorrichtung (1), die mit wenigstens zwei Bauelementbestückungseinheiten (13) versehen ist, welche mit einem beweglichen Rahmen (2) verbunden sind, und wenigstens zwei Bauelementzubringvorrichtungen (7), wobei die Bauelementbestückungsvorrichtung (1) geeignet ist zum gleichzeitigen Aufnehmen von Bauelementen, die durch die Bauelementzubringvorrichtungen (7) zugeführt werden, mit Hilfe der Bauelementbestückungseinheiten (13), dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Bauelementbestückungseinheit (13) relativ zu dem Rahmen (2) bewegt werden kann, wobei die gegenseitigen Positionen der Bauelementbestückungseinheiten (13) eingestellt werden können.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Bauelementbestückungsvorrichtung, die mit wenigstens zwei Bauelementbestückungseinheiten versehen ist, welche mit einem beweglichen Rahmen verbunden sind, und wenigstens zwei Bauelementzubringvorrichtungen, wobei die Bauelementbestückungsvorrichtung dafür geeignet ist, mit Hilfe der Bauelementbestückungseinheiten Bauelemente, die durch die Bauelementzubringvorrichtungen zugeführt werden, gleichzeitig aufzunehmen.
  • Die Erfindung bezieht sich auch auf ein Verfahren zum Aufnehmen von Bauelementen mit Hilfe von einer solchen Bauelementbestückungsvorrichtung.
  • In einer Bauelementbestückungsvorrichtung der Art, wie sie in der europäischen Patentanmeldung EP-A1-0092292 offenbart ist, kann eine Anzahl von Bauelementbestückungseinheiten kollektiv in X- und Y-Richtung zwischen einer Anzahl von benachbarten Bauelementzubringvorrichtungen und einem durch einen Subtratträger abgestützten Substrat bewegt werden. Die Bauelementbestückungseinheiten sind in einer gewissen Teilungsdistanz beabstandet, die gleich der Distanz zwischen den benachbarten Bauelementzubringvorrichtungen ist.
  • Um Bauelemente auf dem Substrat zu platzieren, wird der Rahmen über die Bauelementzubringvorrichtungen bewegt, woraufhin die Bauelemente aus den Bauelementzubringvorrichtungen mit Hilfe der benachbarten Bauelementbestückungseinheiten gleichzeitig aufgenommen werden. Da die Bauelemente gleichzeitig aufgenommen werden, ist die Zeit, die mit dem Aufnehmen der Bauelemente verbracht wird, für jedes Bauelement relativ kurz. Nachdem die Bauelemente durch die Bauelementbestückungseinheiten aufgenommen wor den sind, wird der Rahmen über das Substrat bewegt, woran anschließend die Bauelemente gleichzeitig oder sequentiell in den geeigneten Positionen auf dem Substrat platziert werden.
  • Ein Nachteil der bekannten Bauelementbestückungsvorrichtung ist, dass die Bauelemente mit Hilfe der Bauelementzubringvorrichtungen relativ akkurat zugeführt werden müssen, um sicherzustellen, dass die Bauelemente durch die Bauelementbestückungseinheiten gleichzeitig aufgenommen werden können.
  • Es hat in den gerade zurückliegenden Jahren eine Tendenz gegeben, dass die Größe der Bauelemente immer kleiner geworden ist, wobei die Abmessungen der Bauelemente, die mit Hilfe von Bauelementbestückungseinheiten aufzunehmen sind, in der Größenordnung von 1 mm × 1/2 mm oder darunter liegt. Wenn die Bauelemente nicht akkurat zugeführt werden, können die Bauelemente mit Hilfe der Bauelementbestückungseinheiten nicht korrekt gleichzeitig aufgenommen werden.
  • Es ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Bauelementbestückungsvorrichtung zu schaffen, die benutzt werden kann, um Bauelemente gleichzeitig und zuverlässig aufzunehmen.
  • Dieses Ziel wird mit Hilfe einer Bauelementbestückungsvorrichtung nach der Erfindung dadurch erreicht, dass wenigstens eine Bauelementbestückungseinheit relativ zu dem Rahmen bewegt werden kann, wobei die gegenseitigen Positionen der Bauelementbestückungseinheiten eingestellt werden können.
  • Durch Verschieben von wenigstens einer Bauelementbestückungseinheit relativ zu dem Rahmen können die gegenseitigen Positionen der Bauelementbestückungseinheiten eingerichtet und auf die erwarteten oder tatsächlichen gegenseitigen Positionen der aufzunehmenden Bauelemente eingestellt werden, so dass die Bauelemente gleichzeitig und akkurat aufgenommen werden können.
  • Die gegenseitigen Positionen der aufzunehmenden Bauelemente können vor dem Aufnehmen bestimmt werden oder können mit Hilfe von Bauelementen, die durch die Bauelementbestückungsvorrichtung bereits aufgenommen worden sind, statistisch geschätzt werden, und die Abweichungen zwischen den geschätzten Positionen der Bauelemente relativ zu den zugeordneten Bauelementbestückungseinheiten und die tatsächlichen Positionen der Bauelemente relativ zu den entsprechenden Bauelementbestückungseinheiten können festgelegt werden, indem beispielsweise eine Kamera benutzt wird.
  • Eine Ausführungsform der Bauelementbestückungsvorrichtung nach der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass jede Bestückungseinheit relativ zu dem Rahmen bewegt werden kann.
  • Auf diese Weise kann jede Bauelementbestückungseinheit relativ zu dem Rahmen einzeln bewegt werden, so dass es beispielsweise möglich ist, den Rahmen als eine Referenz für alle Bauelementbestückungseinheiten zu verwenden.
  • Eine weitere Ausführungsform der Bauelementbestückungsvorrichtung nach der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass eine Bauelementbestückungseinheit relativ zu einer weiteren Bauelementbestückungseinheit in einer ersten Richtung bewegt werden kann, wobei die Bauelemente, die mit Hilfe der Bauelementzubringvorrichtungen zuzuführen sind, relativ zu einander in einer zweiten Richtung bewegt werden können, die sich quer zu der ersten Richtung erstreckt.
  • Durch Bewegen der Bestückungseinheiten relativ zu einander, z. B. in einer ersten horizontalen Richtung, und durch Bewegen der Bauelemente relativ zueinander in einer zweiten horizontalen Richtung ist es möglich, die Bauelemente und die Bestückungseinheiten relativ zu einander derart zu verlagern, dass die Bauelemente mit Hilfe der Bauelementbestückungseinheiten gleichzeitig und akkurat aus den Bauelementzubringvorichtungen aufgenommen werden können.
  • Es ist auch ein Ziel der Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen zum Aufnehmen von Bauelementen mit Hilfe einer Bauelementbestückungsvorrichtung, wobei die Bauelemente aus Bauelementzubringvorrichtungen akkurat und gleichzeitig aufgenommen werden können.
  • Dieses Ziel wird erreicht durch das Verfahren nach der Erfindung dadurch, dass die Bauelemente und die Bauelementbestückungseinheiten vor dem gleichzeitigen Aufnehmen der Bauelemente relativ zu einander eingestellt werden.
  • Durch Einstellen der Bauelemente und der Bauelementbestückungseinheiten relativ zu einander ist es möglich, die Bauelemente mit Hilfe der Bauelementbestückungseinheiten korrekt und akkurat aufzunehmen.
  • Eine Ausführungsform des Verfahrens nach der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Bauelementbestückungseinheit relativ zu dem Rahmen bewegt wird, so dass die gegenseitigen Positionen der Bauelementbestückungseinheiten eingestellt werden.
  • Durch Bewegen von wenigstens einer Bauelementbestückungseinheit relativ zu dem Rahmen ist es möglich, die gegenseitigen Positionen der Bauelementbestückungseinheiten derart einzustellen, dass die Bauelemente durch die Bauelementbestückungseinheiten aus den Bauelementzubringvorrichtungen akkurat und gleichzeitig aufgenommen werden können.
  • Eine weitere Ausführungsform des Verfahrens nach der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Positionen der Bauelemente, die aus den Zuführvorrichtungen aufzunehmen sind, durch eine Kamera erfasst werden, woran anschließend die gegenseitigen Positionen der Bauelementbestückungseinheiten auf der Basis der gegenseitigen Positionen der aufzunehmenden Bauelemente eingestellt werden, wonach die Bauelemente mit Hilfe der Bauelementbestückungseinheiten gleichzeitig und auf gewünschte Art und Weise aufgenommen werden.
  • Durch Erfassen der Positionen der Bauelemente, die aus den Bauelementzubringvorrichtungen aufzunehmen sind, mit Hilfe einer Kamera können die gewünschten gegenseitigen Positionen der Bauelementbestückungseinheiten bestimmt werden. Dann ist es durch Bewegen der Bauelementbestückungseinhei ten relativ zu dem Rahmen in die verlangten Positionen anschließend möglich, die Bauelemente aus den Bauelementzuführvorrichtungen akkurat und gleichzeitig aufzunehmen.
  • Eine weitere Ausführungsform des Verfahrens nach der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Positionen der Bauelemente, die durch die Bauelementbestückungseinheiten aufgenommen werden, relativ zu den Bauelementbestückungseinheiten bestimmt werden, wobei Abweichungen zwischen den Sollpositionen und den tatsächlich bestimmten Positionen der Bauelemente relativ zu den Bauelementbestückungseinheiten bestimmt werden, wonach auf der Basis der Abweichungen die Bauelementbestückungseinheiten relativ zu einander bewegt werden, bevor anschließende Bauelemente aufgenommen werden.
  • Durch Verwenden von Information bezüglich der Position der Bauelemente relativ zu den Bauelementbestückungseinheiten, die z. B. notwendig ist, um die Bauelemente auf einem Substrat akkurat zu platzieren, brauchen keine zusätzlichen Messungen ausgeführt zu werden. Zum Beispiel auf der Basis der Abweichungen zwischen der Sollposition und der tatsächlich gefundenen Position einer Anzahl von Bauelementen, die einzeln nacheinander durch eine Bauelementbestückungseinheit aufgenommen werden, ist es z. B. möglich, die mittlere Abweichung einer Serie von Bauelementen statistisch zu bestimmen, die durch eine bestimmte Bauelementzuführvorrichtung zugeführt werden, wobei auf dieser Basis die zugeordnete Bauelementbestückungseinheit relativ zu dem Rahmen verlagert werden kann, bevor anschließend ein Bauelement aufgenommen wird.
  • Dieses Verfahren hat den Vorteil, dass keine Zeit benötigt wird, um die Istpositionen der Bauelemente mit Hilfe einer Kamera zu messen. Der Vorteil des Erfassens der Positionen der aus der Bauelementzuführvorrichtung aufzunehmenden Bauelemente mit Hilfe einer Kamera besteht darin, dass dadurch die Genauigkeit erhöht wird, mit welcher die Bauelemente aufgenommen werden können.
  • Die Erfindung wird unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert, in welchen:
  • 1 eine Draufsicht auf eine erste Ausführungsform einer Bauelementbestückungsvorrichtung nach der Erfindung zeigt,
  • 2 eine Draufsicht auf einen Teil der in 1 gezeigten Bauelementbestückungsvorrichtung zeigt,
  • 3 eine Draufsicht auf einen Teil einer zweiten Ausführungsform einer Bauelementbestückungsvorrichtung nach der Erfindung zeigt, und
  • 4 eine Draufsicht auf einen weiteren Teil der zweiten Ausführungsform einer Bauelementbestückungsvorrichtung nach der Erfindung zeigt.
  • In den Figuren sind gleiche Teile mit gleichen Bezugszahlen versehen.
  • 1 zeigt eine Bauelementbestückungsvorrichtung 1 nach der Erfindung, die mit einem Rahmen 2 versehen ist, der relativ zu einer Führung 3 in einer Richtung bewegt werden kann, die gleich und entgegengesetzt zu der Richtung ist, die durch den Pfeil X gezeigt ist. Die Führung 3 ist mit einem Schieber 4 starr verbunden, der in einer Richtung bewegt werden kann, die gleich und entgegengesetzt zu einem Pfeil Y ist, und der, mit einem von dem Rahmen 2 abgewandten Ende, in Lagern in einem Träger 5 läuft. Die Bauelementbestückungsvorrichtung 1 ist weiter mit einem Bauelementzubringsystem 6 versehen, das mehrere Bauelementzubringvorrichtungen 7 umfasst, die einander benachbart sind. Jede Bauelementzubringvorrichtung 7 umfasst eine Rolle 8, auf die ein Band 9 gewickelt ist. Das Band 9 hat eine Anzahl von Kammern, die in einer Reihe angeordnet sind, wobei in jeder Kammer ein Bauelement untergebracht ist. Die Kammern sind mit einer entfernbaren Folie bedeckt. Eine solche Bauelementzubringvorrichtung und solche Bänder sind an sich bekannt und werden deshalb nicht weiter ins Einzelne gehend erläutert. Jede Bauelementzubringvorrichtung umfasst eine Bauelementaufnahmestelle 10, von welcher aus ein Bau element, das mit Hilfe einer Bauelementzubringvorrichtung zu dieser Stelle überführt worden ist, aufgenommen werden kann.
  • Die Bauelementbestückungsvorrichtung 1 umfasst weiter einen Substratträger 11 zum Tragen und Transportieren des Substrats 12, auf welchem die Bauelemente zu platzieren sind, in der durch den Pfeil X gezeigten Richtung.
  • Der Rahmen 2 ist mit einer Anzahl von benachbarten Bauelementbestückungseinheiten 13 versehen, die jeweils mit einer Saugdüse (nicht dargestellt) versehen sind, welche benutzt wird, um ein Bauelement unter Vakuum aufzunehmen. Die Saugdüse kann relativ zu dem Rahmen 2 in einer Richtung Z verlagert werden, die sich quer zu der Ebene der Zeichnung erstreckt.
  • Die Bauelementbestückungseinheiten 13 können zusammen mit dem Rahmen 2 in einer Richtung bewegt werden, die gleich und entgegengesetzt zu dem Pfeil X ist, und in einer Richtung, die gleich und entgegengesetzt zu dem Pfeil Y ist. Darüber hinaus können die Bauelementbestückungseinheiten 13 unabhängig von einander relativ zu dem Rahmen 2 in einer Richtung bewegt werden, die gleich und entgegengesetzt zu der Richtung ist, die durch den Pfeil X gezeigt ist, und in einer Richtung, die gleich und entgegengesetzt zu der Richtung ist, die durch den Pfeil Y gezeigt ist.
  • 2 zeigt einen Teil des Schiebers 2 der Bauelementbestückungsvorrichtung 1, die in 1 dargestellt ist.
  • Der Schieber 2 umfasst einen langgestreckten Balken 21, der mit Trägern 22 versehen ist, die sich quer zu dem Balken erstrecken. Eine Bauelementbestückungseinheit 13 ist an jeden Träger 22 angepasst, wobei die Einheit 13 mit einer L-förmige Führung 23 und einem Halter 24 versehen ist, der durch die L-förmige Führung abgestützt ist, wobei in dem Halter 24 eine Pipette 25 angeordnet ist, die mit einer Vakuumquelle (nicht dargestellt) verbunden werden kann. Jede Pipette 25 kann in einer Z-Richtung bewegt werden, die sich quer zu der Ebene der Zeichnung erstreckt. Die Halter 24 können relativ zu der zugeordneten L-förmigen Führung 23 mit Hilfe eines Stellantriebs 26 in den Richtungen, die durch einen Doppelpfeil X1, X2, X3 bzw. X4 gezeigt sind, einzeln bewegt werden. Jede L-förmige Führung 23 kann relativ zu dem Rahmen 2 mit Hilfe ihres eigenen Stellantriebs 27 in den Richtungen bewegt werden, die durch einen Doppelpfeil Y1, Y2, Y3 bzw. Y4 gezeigt sind. Mit Hilfe der Stellantriebe 26, 27, die z. B. Lorenz-Stellantriebe, Gewindespindelstellantriebe, Zahnstangenstellantriebe, Piezostellantriebe und ähnliche Stellantriebe umfassen können, kann die Pipette 25 jeder Bauelementbestückungseinheit 13 unabhängig von den andern Pipetten 25 relativ zu dem Rahmen 2 eingestellt werden.
  • Die Bauelementbestückungsvorrichtung 1 nach der Erfindung arbeitet folgendermaßen. Der Rahmen 2 wird in Y- und X-Richtung angetrieben, bis die Pipetten 25 über den Bauelementaufnahmestellen 10 angeordnet sind. Mit Hilfe einer Kamera, die entweder permanent über den Bauelementaufnahmestellen 10 angeordnet oder mit dem Rahmen 2 verbunden ist, werden die Positionen der Bauelemente, die aufzunehmen sind, relativ zu den Bauelementaufnahmestellen 10 bestimmt. Anschließend werden Abweichungen zwischen den erwarteten Positionen der Bauelemente relativ zu den Aufnahmestellen 10 und den Istpositionen relativ zu den Aufnahmestellen 10, welche durch die Kamera erfasst werden, mit Hilfe eines Prozessors erfasst. Auf der Basis der durch den Prozessor erfassten Abweichungen werden die Stellantriebe 25, 26 jeder Bauelementbestückungseinheit 13 unabhängig angetrieben, so dass, nachdem die Pipetten 25 in die Sollpositionen relativ zu dem Rahmen 2 verlagert worden sind, die Bauelemente gleichzeitig an den Stellen 10 mit Hilfe der Pipetten 25 aufgenommen werden können. Anschließend wird der Rahmen 2 zusammen mit allen zugehörigen Bauelementbestückungseinheiten 13 über ein Substrat 12 bewegt, auf welchem die durch die Pipetten 13 gehalterten Bauelemente dann entweder sequentiell oder gleichzeitig platziert werden. Die Pipetten werden in der Z-Richtung relativ zu dem Rahmen 2 bewegt, und zwar wenn die Bauelemente mit Hilfe der Pipetten 25 aufgenommen oder verlagert werden.
  • Die 3 und 4 zeigen Draufsichten auf verschiedene Teile einer zweiten Ausführungsform einer Bauelementbestückungsvorrichtung 31 nach der Erfindung. Die Bauelementbestückungsvorrichtung 31 umfasst ein Bauelementzubringsystem 32, in welchem zwei Bauelementzubringvorrichtungen 33 angeordnet sind. Diese Bauelementzubringvorrichtungen 33 sind durch gestrichelte Linien schematisch dargestellt. Ein Bauelementzubringsystem 32 mit relativ eng beabstan deten Bauelementzubringvorrichtungen 33 ist in der Industrie unter dem Namen Zwillingsbandzubringer (Twin Tape Feeder oder TTF) oder Mehrbandzubringer mit zwei oder drei Bauelementzubringvorrichtungen 33 bekannt. Die Bauelementzubringvorrichtung 31 umfasst weiter einen Laserausrichtmodul (LAM) 34, der benutzt werden kann, um die Position und die Orientierung von durch die Pipetten 35 aufgenommenen Bauelementen 36 zu bestimmen. Mit Hilfe des Laserausrichtmoduls 34 werden Laserstrahlen von einer ersten Seite 37 aus in einer durch den Pfeil X gezeigten Richtung auf eine zweite Seite 38 des Laserausrichtmoduls 34 gerichtet, wobei die Laserstrahlen durch die Bezugszahl 39 schematisch dargestellt sind. In 4 ist klar ersichtlich, dass die Bauelementbestückungsvorrichtung 31 zwei versetzte Pipetten 35 umfasst, mit deren Hilfe die Bauelemente 36 gleichzeitig aufgenommen werden können. Durch Drehen der Pipette 35 in einer Richtung φ, die sich um die Z-Achse erstreckt, während die durch die Pipetten 35 gehalterten Bauelemente 36 in den Laserstrahlen 39 angeordnet sind, werden die Amplitude und die Lage des empfangenen Laserstrahls auf der Seite 38 konstant geändert. Auf der Basis des Laserstrahls, der auf der Seite 38 empfangen wird, und der Orientierung der Pipette 35 ist es möglich, die Position des Bauelements 36 relativ zu der zugeordneten Pipette 35 zu bestimmen. Ein Laserausrichtmodul der genannten Art ist an sich bekannt und wird deshalb nicht weiter ins Einzelne gehend beschrieben. Sobald die Orientierung und die Position der Bauelemente 36 relativ zu den Pipetten 35 bekannt sind, können die Pipetten 35 gemeinsam in der X- und der Y-Richtung zu der Stelle auf dem Substrat bewegt werden, an welcher die Bauelemente 36 platziert werden müssen. Wenn die Positionen der Bauelemente 36 relativ zu den Pipetten 35 von den theoretisch erwarteten korrekten gegenseitigen Ausrichtungen der Komponenten 36 relativ zu den Pipetten 35 abweichen, wird die Abweichung berücksichtigt, wenn das nächste Paar Bauelemente 36 aufgenommen wird. Für diesen Zweck können die Pipetten 35 relativ zu einander und entgegengesetzt zu der Richtung, die durch den Pfeil X gezeigt ist, bewegt werden, weil eine Pipette 35 mit einem Rahmen 41 mit Hilfe einer Führung 40 verbunden ist, wohingegen die andere Pipette 35 mit einem Schieber 43 mit Hilfe einer Führung 42 verbunden ist, wobei der Schieber 43 mit dem Rahmen 41 verbunden ist und mit Hilfe eines Stellantriebs 44 in der Richtung bewegt werden kann, die gleich oder entgegengesetzt zu der Richtung des Pfeils X ist. Der Stellantrieb 44 umfasst eine Welle 46, die mit dem Rahmen 41 exzentrisch verbunden ist, wobei die Welle in einer Ausnehmung 47 des Schiebers 43 angeordnet ist. Durch Drehen der Welle 46 in der Richtung, die gleich oder entgegengesetzt zu der Richtung eines Pfeils P1 ist, können der Schieber 43 und die mit ihm verbundene Pipette 35 in der X-Richtung bewegt werden. Mit Hilfe der Führungen 40, 42 können die Pipetten 35 unabhängig in der Richtung bewegt werden, die gleich oder entgegengesetzt zu der Z-Richtung ist. Für diesen Zweck werden die Pipetten 35 durch Motoren 48, 49 angetrieben.
  • Das Bauelementzubringsystem 32 umfasst eine Einrichtung zum Antreiben der entsprechenden Bauelementzubringvorrichtungen derart, dass die Position des aufzunehmenden Bauelements 36 in der Y-Richtung eingestellt werden kann.
  • Wenn, nachdem zwei Bauelemente 36 aufgenommen worden sind, mit Hilfe des Laserausrichtmoduls 34 festgestellt wird, dass es Abweichungen zwischen den gemessenen Positionen der Bauelemente 36 relativ zu den Pipetten 35 sowie den theoretisch erwarteten und Sollpositionen der Bauelemente 36 relativ zu den Pipetten 35 gibt, die ein ΔX, ΔY von der einen Pipette 35 relativ zu der anderen Pipette 35 haben, wird die Pipette 35 mit Hilfe des Stellantriebs 44 über die gewünschte Distanz in der X-Richtung relativ zu der mit dem Rahmen 41 verbundenen Pipette 35 bewegt, wenn Bauelemente 36 durch die Pipetten 35 wieder aufgenommen werden. Darüber hinaus wird das Bauelement, das mit Hilfe von einer Bauelementzubringvorrichtung 33 zuzubringen ist, über eine gewünschte Distanz in der Y-Richtung relativ zu dem anderen zuzuführenden Bauelement verschoben. Nachdem die Bauelemente wieder aufgenommen worden sind, werden die Orientierungen und Positionen der Bauelemente 36 relativ zu den Pipetten 35 wieder durch den Laserausrichtmodul 34 ermittelt. Auf diese Art und Weise ist es nach einer Anzahl von aufeinanderfolgenden Bauelementaufnahmen möglich, einen statistischen Wert zu bestimmen, um den die Bauelemente, die durch die verschiedenen Bauelementzubringvorrichtungen 33 zugeführt werden, Abweichungen relativ zu einander zwischen den theoretisch erwarteten und gewünschten Positionen und den Istpositionen zeigen. Der Vorteil dieses Messens und Korrigierens der Positionen, in welche die Bauelemente zugeführt werden und die Pipetten 35 relativ zueinander positioniert werden, besteht darin, dass die Geschwindigkeit, mit welcher die Bauelemente aufgenommen und auf dem Substrat platziert werden können, relativ hoch ist, während die Genauigkeit, mit welcher die Bauelemente aufgenommen werden, beträchtlich verbessert worden ist im Vergleich zu den bekannten Bauelementbestückungsvorrichtungen, bei denen die Bauelemente gleichzeitig aufgenommen werden.
  • Es ist alternativ möglich, nur die Bauelementzubringvorrichtungen in X- und Y-Richtung relativ zu einander zu bewegen, um ein korrektes gleichzeitiges Aufnehmen mit Hilfe der Bauelementbestückungseinheiten zu erzielen.
  • Es ist auch möglich, zuerst die Bauelemente mit Hilfe von geeigneten Einrichtungen in eine Zwischenposition zu überführen, in welcher die Bauelemente geeignet aufeinander ausgerichtet werden, woran anschließend die Bauelemente gleichzeitig aufgenommen werden.
  • Zusammenfassung
  • Beschrieben ist eine Bauelementbestückungsvorrichtung (1), die mit wenigstens zwei Bauelementbestückungseinheiten (13) versehen ist, welche mit einem beweglichen Rahmen (2) verbunden sind, und wenigstens zwei Bauelementzubringvorrichtungen (7), wobei die Bauelementbestückungsvorrichtung (1) geeignet ist zum gleichzeitigen Aufnehmen von durch die Bauelementzubringvorrichtungen (7) zugeführten Bauelementen mit Hilfe der Bauelementbestückungseinheit (13). Wenigstens eine Bauelementbestückungseinheit (13) kann relativ zu dem Rahmen (2) bewegt werden, was das Einstellen der Positionen der Bauelementbestückungseinheiten (13) relativ zu einander gestattet.

Claims (8)

  1. Bauelementbestückungsvorrichtung (1), die mit wenigstens zwei Bauelementbestückungseinheiten (13) versehen ist, welche mit einem beweglichen Rahmen (2) verbunden sind, und wenigstens zwei Bauelementzubringvorrichtungen (7), wobei die Bauelementbestückungsvorrichtung (1) geeignet ist zum gleichzeitigen Aufnehmen von Bauelementen, die durch die Bauelementzubringvorrichtungen (7) zugeführt werden, mit Hilfe der Bauelementbestückungseinheiten (13), dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Bauelementbestückungseinheit (13) relativ zu dem Rahmen (2) bewegt werden kann, wobei die gegenseitigen Positionen der Bauelementbestückungseinheiten (13) eingestellt werden können.
  2. Bauelementbestückungsvorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass jede Bauelementbestückungseinheit (13) relativ zu dem Rahmen (2) bewegt werden kann.
  3. Bauelementbestückungsvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Bauelementbestückungseinheit (13) relativ zu einer weiteren Bauelementbestückungseinheit (13) in einer ersten Richtung bewegt werden kann, wobei die Bauelemente, die mit Hilfe der Bauelementzubringvorrichtungen (7) zuzuführen sind, relativ zu einander in einer zweiten Richtung bewegt werden können, die sich quer zu der ersten Richtung erstreckt.
  4. Verfahren zum Aufnehmen von Bauelementen mit Hilfe einer Bauelementbestückungsvorrichtung (1), wobei die Vorrichtung (1) mit wenigstens zwei Bauelementbestückungseinheiten (13) versehen ist, die mit einem beweglichen Rahmen (2) verbunden sind, und wenigstens zwei Bauelementzubringvorrichtungen (7), wobei die Bauelementbestückungsvorrichtung (1) geeignet ist zum gleichzeitigen Aufnehmen von mit Hilfe der Bauelementzubringvorrichtungen (7) zugeführten Bauelementen mit Hilfe der Bauelementbestückungseinheiten (13), dadurch gekennzeichnet, dass die Bauelemente und die Bauelementbestü ckungseinheiten (13) relativ zu einander vor dem gleichzeitigen Aufnehmen der Bauelemente eingestellt werden.
  5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine Bauelementbestückungseinheit (13) relativ zu dem Rahmen (2) bewegt wird, so dass die gegenseitigen Positionen der Bauelementbestückungseinheiten (13) eingestellt werden.
  6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Positionen der aus den Bauelementzubringvorrichtungen (7) aufzunehmenden Bauelemente durch eine Kamera erfasst werden, woran anschließend die gegenseitigen Positionen der Bauelementbestückungseinheiten (13) auf der Basis der gegenseitigen Positionen der aufzunehmenden Bauelemente eingestellt werden, wonach die Bauelemente auf die gewünschte Art und Weise mit Hilfe der Bauelementbestückungseinheiten (13) gleichzeitig aufgenommen werden.
  7. Verfahren nach Anspruch 4, 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Positionen der durch die Bauelementbestückungseinheiten (13) aufgenommenen Bauelemente relativ zu den Bauelementbestückungseinheiten (13) bestimmt werden, wodurch Abweichungen zwischen den Sollpositionen und den tatsächlich aufgefundenen Positionen der Bauelemente relativ zu den Bauelementbestückungseinheiten (13) bestimmt werden, woran anschließend auf der Basis der Abweichungen die Bauelementbestückungseinheiten (13) vor dem Aufnehmen von anschließenden Bauelementen relativ zueinander bewegt werden.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Bestückungseinheiten (13) relativ zu einander in einer ersten Richtung bewegt werden, wobei mit Hilfe der Bauelementzubringvorrichtungen (7) die aufzunehmenden Bauelemente relativ zu einander in einer zweiten Richtung bewegt werden, die sich quer zu der ersten Richtung erstreckt.
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