DE10352820A1 - Flanschbaugruppe eines optischen Systems - Google Patents

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Martin Dipl.-Ing. Mahlmann
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Abstract

Eine Flanschbaugruppe (1) eines optischen Systems weist einen ersten Flansch (2), ein Ausgleichselement (4) und einen zweiten Flansch (2') auf. Die Flansche (2, 2') und das Ausgleichselement (4) sind im wesentlichen axialsymmetrisch, wobei beide Flansche (2, 2') geeignet sind, zerstörungsfrei axial trennbar kraftschlüssig mit anderen Bauteilen (10, 11) des optischen Systems verbunden zu werden. Beide Flansche (2, 2') bestehen aus verschiedenen Werkstoffen mit verschiedenen linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten. Das Ausgleichselement (4) ist radial weich, verbindet die beiden Flansche (2, 2') aber in ihrer relativen räumlichen Lage steif.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Flanschbaugruppe eines optischen Systems. Des weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Verbinden von zwei Flanschen. Die Erfindung betrifft ebenfalls ein Objektiv, insbesondere ein Projektionsobjektiv in der Halbleiter-Lithographie.
  • Bei der Verbindung von zwei Bauteilen mit unterschiedlichen thermischen Wärmeausdehnungskoeffizienten ergeben sich durch die temperaturbedingten Durchmesseränderungen der Bauteile Spannungen, welche in präzisen Systemen zu unzulässigen Verformungen, irreversiblen Veränderungen von Reibschlussverbindungen oder Zerstörung von Bauteilen führen können.
  • Insbesondere bei Projektionsbelichtungsanlagen mit Projektionsobjektiven zur Herstellung von Halbleitern können bereits minimale Veränderungen zu einer Dejustage des Projektionsobjektivs führen, wenn aufgrund von unterschiedlichen thermischen Ausdehnungen zwischen den Fassungen der Linsen und dem Gehäuse des Projektionsobjektivs als Tragstruktur Spannungen in der oben genannten Art auftreten.
  • Deshalb werden bei derartigen Konstruktionen wie aus der US 6,166,868 elastisch federnde Elemente, oftmals Blattfederelemente, welche die unterschiedliche Wärmeausdehnung ausgleichen sollen, eingesetzt, wobei diese zwischen den beiden Bauteilen mit den unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten angeordnet sind, wodurch jedoch die Verbindung häufig nicht in der gewünschten Steifigkeit realisiert werden kann. Um die einzelnen Blattfederelemente zu erzeugen, muss ein Verbindungselement mit Aussparungen durch Aufsägen des Verbindungselementes im Randbereich versehen werden oder die Federelemente einzeln befestigt werden. Ebenso nachteilig ist dabei der hohe Bearbeitungsaufwand, um eine ausreichende Ebenheit eines aufgeschnittenen Verbindungselementes zu erreichen (Störung der Eigen spannungsverhältnisse beim Aufsägen eines Drehteils und Nachgeben der Blattfedern durch Bearbeitungskräfte) bzw. der Justageaufwand bei Einzelelementen. Weiterhin ist eine Gasdichtigkeit nicht vorhanden.
  • Zum weiteren Stand der Technik wird auf die US 6,229,657 B1 , US 6, 097, 553 A , US 5, 781, 355 A und die US 2002/176094 A1 verwiesen.
    •
  • Demgemäß ist es Aufgabe der Erfindung, eine Flanschbaugruppe zum Ausgleich von unterschiedlichen thermischen Ausdehnungen zwischen zwei Bauteilen zu schaffen, welche die eingangs erwähnten Nachteile des Standes der Technik vermeidet und die Bauteile sehr steif untereinander verbindet.
  • Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch die Merkmale des Anspruches 1 gelöst. Anspruch 24 ist die Aufgabe für eine Einsatzart in einem Objektiv gelöst.
  • Zwei Bauteile, insbesondere eine optische Baugruppe, wie z.B. eine Linsenfassung, und eine Tragstruktur, z.B. ein Objektivgehäuse, sollen erfindungsgemäß derart miteinander verbunden werden, dass deren unterschiedliche lineare thermische Wärmeausdehnungskoeffizienten bzw. deren thermische Ausdehnungen möglichst keine Linsenverschiebung und keine Linsendeformation bewirken. Die Verbindung zwischen den Flanschen erfolgt erfindungsgemäß über ein Ausgleichselement, welches radial weich ist und die beiden Flansche in ihrer räumlichen Lage steif verbindet, wobei in vorteilhafter Weise das Ausgleichselement einen dünnwandigen, insbesondere geschlossenen Querschnitt aufweist.
  • Die Dünnwandigkeit des Ausgleichselements, insbesondere in Zylinderform, stellt sicher, dass sich die beiden Flansche unabhängig voneinander ausdehnen können und dabei die Ebenheit, Rundheit und Koaxialität der Flansche erhalten bleibt. Im Unterschied zum Stand der Technik beruht der Entkopplungseffekt nicht auf einer Biegeweichheit von Federelementen, die in den nicht bewusst freigegebenen Freiheitsgraden nur eine sehr begrenzte Steifigkeit haben. Durch die erfindungsgemäße Ausgestaltung kann die Steifigkeit der Flanschbaugruppe in allen Richtungen wesentlich größer sein, als dies bei Vorrichtungen nach dem Stand der Technik der Fall wäre. Weiterhin können die Flansche in einem nicht unterbrochenen Schnitt bearbeitet werden, was zu sauberen und präziseren Oberflächen führt. Ebenfalls werden die Eigenspannungsverhältnisse in der erfindungsgemäßen Flanschbaugruppe nicht gestört, da kein Aufsägen, wie es beim Stand der Technik mit Verwendung der Blattfedern nötig ist, erforderlich wird.
  • Durch die erfindungsgemäße Ausgestaltung der Flanschbaugruppe kann ein CTE-Sprung (Ort, an dem der thermische Wärmeausdehnungskoeffizient des einen Materials mit dem thermischen Wärmeausdehnungskoeffizienten des anderen Materials in Berührung kommt) an eine stabile Fügestelle zu wenigstens einem Flansch innerhalb des Ausgleichselements bzw. Kopplungselements gelegt werden. Dies bedeutet, dass der CTE-Sprung an die Stelle gelegt wird, wo das Ausgleichselement mit dem Flansch stabil, beispielsweise durch Klebung oder Schweißen, verbunden ist. Die Fügestelle kann dabei so stabil ausgebildet werden, dass die Verbindung bei Ausdehnungsunterschieden nicht beeinträchtigt wird. Die im Bereich des CTE-Sprunges entstehenden Spannungen können insbesondere durch die Dünnwandigkeit des Ausgleichselements klein gehalten werden. Zusätzlich bewirken die Spannungen entsprechend des Steifigkeitsverhältnisses Ausgleichselement/Flansch vorwiegend eine unschädliche Verformung des Ausgleichselements, während der Flansch nur geringste Verformungen erfährt.
  • Weitere wichtige Vorteile der Flanschbaugruppe sind, dass die z.B. durch das Fügen entstandenen Spannungsverhältnisse keine Auswirkungen auf die Geometrie bzw. deren Genauigkeit haben, und dass die Eigenspannungen und deren Veränderungen über die Zeit (Relaxation) für die Genauigkeit der Flanschbaugruppe im Vergleich zu den Einzelblattfedern beim Stand der Technik eine eher untergeordnete Rolle spielen. Ein kleiner radialer Platz bedarf und ein einfacher Aufbau der Flanschbaugruppe sind ebenfalls weitere Vorteile. Eine Einbringung einer Dreiwelligkeit auf eine Linse, welche in der Linsenfassung gelagert ist, kann vorteilhaft mittels der erfindungsgemäßen Flanschbaugruppe verhindert werden.
  • In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass das Ausgleichselement monolithisch mit wenigstens einem Flansch ist, wodurch das Ausgleichselement den thermischen Wärmeausdehnungskoeffizienten des einen Flansches, mit welchem es monolithisch ausgeführt wird, aufweist. Vorteil der monolithischen Ausgestaltung ist die einfache Herstellung der Flanschbaugruppe, da der eine Flansch und das Ausgleichselement z.B. gemeinsam konzentrisch ausgebildet sein können, wobei das Ausgleichselement annähernd maßhaltig hergestellt werden kann.
    •
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnungen näher erläutert.
  • Es zeigt:
  • 1 eine prinzipmäßige Darstellung einer erfindungsgemäßen Flanschbaugruppe in perspektivischer Ansicht (ausschnittsweise);
  • 2a bis 2i prinzipmäßige Darstellungen von verschiedenen Fügearten der in 1 aufgezeigten Flanschbaugruppe; und
  • 3 eine alternative Ausführungsform der erfindungsgemäßen Flanschbaugruppe nach 1 mit zwei Verbindungselementen
  • 1 zeigt eine Vorrichtung bzw. Flanschbaugruppe 1, welche zwei Flansche 2 und 2' aufweist, welche vorzugsweise als ring förmige Flansche ausgeführt sind. Die Flansche 2 und 2' dienen zur Verbindung von zwei Bauteilen, wie z.B. einer Linse mit einer Linsenfassung als optische Baugruppe und einer Tragstruktur, z.B. einem Objektivgehäuse, wie in 3 prinzipmäßig dargestellt. Die beiden Flansche 2 und 2' besitzen jeweils zueinander unterschiedliche lineare thermische Wärmeausdehnungskoeffizienten α1 und α2, wobei die Flansche 2 und 2' jeweils einen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen können, welcher annähernd dem des jeweils angrenzenden Bauteiles entsprechen kann. Die Flansche 2 und 2' sind mit Bohrungen 3 und 3' versehen, wobei die Bauteile, insbesondere die Linsenfassung und die Tragstruktur, über Schraubverbindungen mit den Flanschen 2 und 2' verbunden werden können. Die Flansche 2 und 2' werden über ein Ausgleichselement bzw. Verbindungselement 4 miteinander verbunden. Das Ausgleichselement 4 weist vorzugsweise einen dünnwandigen geschlossenen Querschnitt in Zylinderform bzw. Rohrform auf, wobei der Querschnitt vorzugsweise kreisförmig, oval oder auch polyederförmig, mit einer Wandstärke von ca. 0,01 mm bis 3 mm, insbesondere 0,1 mm bis 1 mm, ausgeführt sein kann.
  • Von besonderem Vorteil ist, dass das Ausgleichselement 4 einstückig bzw. monolithisch mit dem Flansch 2' ist, wobei durch die Einstückigkeit das Ausgleichselement 4 den selben linearen thermischen Wärmeausdehnungskoeffizienten α2 aufweist wie der mit ihm einstückige Flansch 2'.
  • Ist das Ausgleichselement 4 nicht monolithisch mit dem Flansch 2', kann der lineare thermische Wärmeausdehnungskoeffizient des Ausgleichselements 4 einen Wert aufweisen, welcher zwischen den Werten der linearen thermischen Wärmeausdehnungskoeffizienten α1 und α2 der beiden Flansche 2 und 2' liegt, um damit bei Temperaturänderungen nur minimale Ausdehnungsunterschiede der gepaarten Flansche 2 und 2' mit dem Ausgleichselement 4 zu erzeugen. Dadurch wird die jeweilige Fügestelle zu dem Flansch 2 bzw. 2' nur minimal belastet.
  • Die 2a bis 2i stellen verschiedene Möglichkeiten der Fügearten des Ausgleichselements 4 mit den Flanschen 2 und 2' dar.
  • Die 2a bis 2c zeigen die zwei Flansche 2 und 2', wobei der erste Flansch 2 beispielsweise aus INVAR oder Keramik und der zweite Flansch 2' beispielsweise aus Stahl hergestellt ist. Hierbei ist jeweils das Ausgleichselement 4 monolithisch mit einem Flansch. Eine Verbindungsstelle 5 zwischen dem Ausgleichselement 4 und dem Flansch 2 kann über Löten, Schweißen, Einpressen, Aufschrumpfen oder Kleben erzeugt werden. Der Teil des Ausgleichselements 4, welcher mit dem Flansch 2 verbunden werden soll, kann eine etwas größere Wanddicke aufweisen.
  • 2d zeigt eine weitere Möglichkeit der Verbindung des Ausgleichselements 4 mit dem Flansch 2, nämlich über eine Schraubverbindung 6. Hierbei weist das Ausgleichselement 4 ein Außengewinde und der Flansch 2 ein Innengewinde auf. Somit kann der Flansch 2 durch Aufschrauben mit dem Ausgleichselement 4 bzw. mit dem weiteren Flansch 2' verbunden werden. Durch zusätzliches Kleben oder Schweißen der Schraubverbindung 6 kann weiterhin eine noch sicherere Verbindung gewährleistet werden.
  • In 2e wird die Verbindung des Ausgleichselements 4 mit dem Flansch 2 über einen Konus 7 realisiert. Diese Verbindung kann eventuell mit einem Kleber gesichert werden. Ebenfalls kann der Konusteil 7, welcher speziell in der Ausschnittsvergrößerung gemäß X dargestellt ist, an der Verbindungsfläche zu dem Flansch 2 mit einer Nut 8 versehen sein. Somit kann beim Einbringen des Klebers der Kleber ausweichen und eine optimale Sicherung gewährleistet werden. Durch den Konus 7 können Rundheitstoleranzen und Durchmessertoleranzen des Ausgleichselements 4 ausgeglichen werden. Die Verbindung kann auch ohne eine stoffschlüssige Verbindung, wie Kleben, erfolgen. Zur Si cherheit, wie bereits schon erwähnt, könnte dennoch eine Klebung oder Schweißung erfolgen.
  • In 2f ist eine ähnliche Möglichkeit wie in 2e zum Verbinden dargestellt. Hierbei wird das dünnwandige, vorzugsweise zylindrische Ausgleichselement 4 durch Pressen (reibschlüssiges Fügeverfahren) in den Flansch 2 eingebracht (elastische bis plastische Verjüngung des Ausgleichselements 4). Es kann eventuell mit Kleber geschmiert und gesichert werden. Zur Sicherung und Abdichtung kann auch geschweißt werden.
  • Die Verbindung des Ausgleichselements 4 mit dem Flansch 2 erfolgt in 2g durch Schweißen. Hierbei ist wie in den 2a bis 2c der Teil des Ausgleichselements 4, welcher mit dem Flansch 2 verbunden werden soll, in seiner Wanddicke stärker ausgeführt, damit der dünnwandige Teil des Ausgleichselements 4 durch die Schweißung nicht geschädigt wird. Das stoffschlüssige Fügeverfahren Schweißen ist dahingehend von Vorteil, dass keine Kleber eingesetzt werden müssen und somit Ausgasungen verhindert werden.
  • Denkbar ist auch die Herstellung beider Flansche 2 und 2' mit jeweils einem Teilstück des Ausgleichselements 4 als monolithische Teile, wie in 2h dargestellt, wodurch die Fügestelle annähernd in der Mitte des Gesamtausgleichselements 4 vorliegt. Damit wäre der Einfluss der Fügestelle kleiner. Das bedeutet, dass die Verbindungsstelle nicht so steif ausgebildet ist, so dass sie nach beiden Seiten nachgeben kann. Auf diese Weise erhält man eine sehr kleine Belastung auf die Fügestelle.
  • Für kleinste Spannungen innerhalb der Flanschbaugruppe 1 kann das Ausgleichselement 4 aus einem dritten Material mit einem linearen thermischen Wärmeausdehnungskoeffizienten α3, der zwischen dem des ersten und des zweiten Flansches 2 und 2' liegen sollte, hergestellt werden (2i). Der Vorteil hier liegt darin, dass sich der Übergang von α1 zu α2 auf zwei Stellen verteilt. Vorteilhaft für die Minimierung der axialen Längenänderung ist die Herstellung des Ausgleichselements 4 aus einem dritten Material mit sehr kleinem linearen thermischen Wärmeausdehnungskoeffizienten α3 < 2 ppm/K, beispielsweise INVAR, ungeachtet der Ausdehnungskoeffizienten der beiden Flansche 2 und 2', beispielsweise Aluminium, INVAR oder Stahl.
  • 3 zeigt eine Alternativausführung der in den 1 und 2 dargestellten Flanschbaugruppe 1. Die Verbindung der beiden Flansche 2 und 2' erfolgt hierbei über zwei koaxiale dünnwandige Ausgleichselemente 4 und 4'. Der Flansch 2, welcher mit den Ausgleichselementen 4 und 4' verbunden werden soll, kann wie in diesem Ausführungsbeispiel dargestellt, konisch ausgeführt sein. Diese Verbindung des Flansches 2 mit den Ausgleichselementen 4 und 4' kann, wie bereits in den vorhergehenden Ausführungsbeispielen beschrieben, mit verschiedenen Verbindungsverfahren vorgenommen werden. Die Flansche 2 und 2' weisen, wie schon erwähnt, Bohrungen 3 und 3' zur Aufnahme von Schrauben 9 auf, um die Flanschbaugruppe 1 mit den Bauteilen 10 und 11 zu verbinden, wobei das Bauteil 10 die Tragstruktur, z.B. das Objektivgehäuse, eines nicht näher dargestellten Objektives 12 für die Halbleiter-Lithographie und das Bauteil 11 die Linsenfassung mit einer Linse 11a darstellen. Wenn die Flanschbaugruppe 1 mit zwei Ausgleichselementen 4 und 4' ausgeführt ist, kann die Bohrung 3 eine größere Öffnung aufweisen, um die Schraube 9 mitsamt dem Schraubenkopf durchführen zu können. Dadurch kann die Schraube 9 in die Bohrung 3' eingeführt werden, um so den Flansch 2 mit dem Bauteil 10 zu verbinden.
  • Das Ausgleichselement 4 kann alternativ auch mit Aussparungen versehen sein, wobei keine spezielle Form der Aussparungen bevorzugt wird.
  • Eine stabile und sehr präzise Verbindung kann durch axiales Zusammenpressen oder Ein- oder Aufschrumpfen ermöglicht wer den. Beim Aufschrumpfverfahren kann das Ausgleichselement 4 mit dem Flansch 2 kraftfrei verbunden werden. Hierbei kann ebenfalls der Flansch 2, wie auch beim Zusammenpressen, mit einem Konus versehen sein.
  • Die Koaxialität der Elemente zueinander bleibt bei beiden Verfahren bestehen.
  • Obwohl die Flansche 2 und 2' in den Ausführungsbeispielen als ringförmige Flansche ausgebildet sind, können diese selbstverständlich auch in einer anderen Form, beispielweise eines drei- oder mehreckigen Flansches, hergestellt werden.
  • Durch die Ausgestaltung der Flanschbaugruppe 1 kann erreicht werden, dass die Ebenheit, Koaxialität und die Parallelität der beiden Flansche 2 und 2' bei Temperaturänderungen erhalten bleiben.

Claims (31)

  1. Flanschbaugruppe eines optischen Systems, mit einem ersten Flansch (2), einem Ausgleichselement (4) und einem zweiten Flansch (2'), wobei die Flansche (2, 2') und das Ausgleichselement (4) im wesentlichen axialsymmetrisch sind, wobei beide Flansche (2, 2') geeignet sind, zerstörungsfrei axial trennbar kraftschlüssig mit anderen Bauteilen (10, 11) des optischen Systems verbunden zu werden, wobei beide Flansche (2, 2') aus verschiedenen Werkstoffen mit verschiedenen linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten bestehen, und wobei das Ausgleichselement (4) radial weich ist, die beiden Flansche (2, 2') aber in ihrer relativen räumlichen Lage steif verbindet.
  2. Flanschbaugruppe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Ausgleichselement (4) einen dünnwandigen Querschnitt aufweist.
  3. Flanschbaugruppe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Ausgleichselement (4) wenigstens annähernd eine Zylinderform aufweist.
  4. Flanschbaugruppe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Ausgleichselement (4) einen polygonalen Querschnitt aufweist.
  5. Flanschbaugruppe nach Anspruch 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Querschnitt geschlossen ist.
  6. Flanschbaugruppe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Ausgleichselement (4) monolithisch mit wenigstens einem Flansch (2 oder 2') ist.
  7. Flanschbaugruppe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Flansche (2, 2') jeweils einen linearen thermischen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen, welcher annähernd dem des jeweils angrenzenden Bauteils (10, 11) entspricht.
  8. Flanschbaugruppe nach einem der Ansprüche 1, 2, 3, 4 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Ausgleichselement (4) eine Wandstärke von 0,01 mm bis 3 mm aufweist.
  9. Flanschbaugruppe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der lineare thermische Wärmeausdehnungskoeffizient des Ausgleichselements (4) einen Wert aufweist, welcher zwischen den Werten der linearen thermischen Wärmeausdehnungskoeffizienten α1 und α2 der beiden Flansche (2, 2') liegt.
  10. Flanschbaugruppe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Ausgleichselement (4) einen niedrigen linearen thermischen Wärmeausdehnungskoeffizienten α3, insbesondere α3 < 2 ppm/K, aufweist.
  11. Flanschbaugruppe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Ausgleichselement (4) mit Aussparungen versehen ist.
  12. Flanschbaugruppe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Flansche (2, 2') als ringförmige Flansche ausgebildet sind.
  13. Flanschbaugruppe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Flansche (2, 2') als polygonale Flansche ausgebildet sind.
  14. Flanschbaugruppe nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Flansche (2, 2') zur Befestigung an den Bauteilen (10, 11) mit Bohrungen (3, 3') versehen sind.
  15. Flanschbaugruppe nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass eine Verbindung der Flansche (2, 2') mit dem Ausgleichselement (4) über stoffschlüssige Fügever fahren, insbesondere Schweißverbindungen, vorgesehen ist.
  16. Flanschbaugruppe nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass eine Verbindung der Flansche (2, 2') mit dem Ausgleichselement (4) über reibschlüssige Fügeverfahren, insbesondere Konusverbindungen, vorgesehen ist.
  17. Flanschbaugruppe nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein Flansch (2, 2') an wenigstens einer Verbindungsseite, welche mit dem Ausgleichselement (4) verbunden ist, konisch ausgeführt ist.
  18. Flanschbaugruppe nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Verbindungsseite, welche mit dem Konus (7) ausgeführt ist, mit einer Nut (8), insbesondere einer Klebenut, versehen ist.
  19. Verfahren zum Verbinden von zwei Flanschen, die über ein Ausgleichselement miteinander verbunden werden, wobei die Flansche unterschiedliche lineare thermische Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen, dadurch gekennzeichnet, dass das Ausgleichselement (4) einen dritten linearen thermischen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist und durch Ein- oder Aufschrumpfen mit wenigstens einem Flansch (2 oder 2') verbunden wird.
  20. Verfahren zum Verbinden von zwei Flanschen, die über ein Ausgleichselement miteinander verbunden werden, wobei die Flansche unterschiedliche lineare thermische Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen, dadurch gekennzeichnet, dass das Ausgleichselement (4) einen dritten linearen thermischen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist und durch Pressen mit wenigstens einem Flansch (2 oder 2') verbunden wird.
  21. Verfahren nach Anspruch 19 oder 20, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein Flansch (2, 2') an wenigstens einer Ver bindungsseite, welche mit dem Ausgleichselement (4) verbunden wird, konisch ausgeführt wird und die Verbindung über eine Konuspressung erfolgt.
  22. Verfahren nach einem der Ansprüche 19 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass Fügestellen durch ein stoffschlüssiges Fügeverfahren gesichert werden.
  23. Verwendung einer Flanschbaugruppe nach einem der Ansprüche 1 bis 18 in der Halbleiter-Lithographie.
  24. Objektiv, insbesondere Projektionsobjektiv in der Halbleiter-Lithographie, mit einem Objektivgehäuse (10), in welchem wenigstens ein optisches Element (11a) in einer Fassung (11) angeordnet ist und mit einer Flanschbaugruppe (1), welche einen ersten Flansch (2), ein Ausgleichselement (4) und einen zweiten Flansch (2') aufweist, wobei die Flansche (2, 2') und das Ausgleichselement (4) im wesentlichen axialsymmetrisch sind, wobei beide Flansche (2, 2') geeignet sind, zerstörungsfrei axial trennbar kraftschlüssig mit dem Objektivgehäuse (10) und der Fassung (11) verbunden zu werden, wobei beide Flansche (2, 2') aus verschiedenen Werkstoffen mit verschiedenen linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten bestehen, und wobei das Ausgleichselement (4) radial weich ist, die beiden Flansche (2, 2') aber in ihrer relativen räumlichen Lage steif verbindet.
  25. Objektiv nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass das Ausgleichselement (4) einen dünnwandigen Querschnitt aufweist.
  26. Objektiv nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass das Ausgleichselement (4) wenigstens annähernd eine Zylinderform aufweist.
  27. Objektiv nach Anspruch 25 oder 26, dadurch gekennzeichnet, dass der Querschnitt geschlossen ist.
  28. Objektiv nach einem der Ansprüche 24, 25 oder 26, dadurch gekennzeichnet, dass das Ausgleichselement (4) monolithisch mit wenigstens einem Flansch (2 oder 2') ist.
  29. Objektiv nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass die Flansche (2, 2') als ringförmige Flansche ausgebildet sind.
  30. Objektiv nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, dass die Flansche (2, 2') zur Befestigung an dem Objektivgehäuse (10) und der Fassung (11) mit Bohrungen (3, 3') versehen sind.
  31. Objektiv nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass eine Verbindung der Flansche (2, 2') mit dem Ausgleichselement (4) über stoffschlüssige Verbindungsverfahren, insbesondere Klebeverbindungen, vorgesehen ist.
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