-
Die
Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Verhinderung des Kriechens
eines optischen Elements, insbesondere einer Linse oder eines Spiegels,
wobei das optische Element mit einer Fassung über am Umfang des optischen
Elements angeordnete Verbindungsglieder verbunden ist, und wobei das
optische Element in seiner Lage in einem Objektiv von der vertikalen
Achslage abweicht.
-
In
der Halbleiterlithographie werden optische Elemente bisher durch
verschiedene Klemmtechniken, Klemmungen in Kombination mit Formschluss und über stoffschlüssige Verbindungen,
beispielsweise über
Kleben, in einer Fassung gehalten. Es ist allgemein bekannt, dass
bei Schraubverbindungen durch Gestaltung der Schraube die Elastizität des Schraubschaftes
möglichst
klein zu halten ist, um den Vorspannkraftverlust durch Setz- und
Relaxationseffekte des Schaftes in einem tolerierbaren Bereich zu
halten. Bei Klemmverbindungen oder mechanischen Koppelstellen werden
Elemente mit großer
Elastizität
eingesetzt, um so die Auswirkungen von Toleranzen beim Einbau und
zeitliche Änderungen
beim Betrieb auf die funktionsbestimmenden Teile zu minimieren.
-
Des
weiteren ist aus der älteren
DE 102 11 791.8 bekannt,
dass bei vertikaler optischer Achse das optische Element auf elastische
Verbindungsglieder bzw. Federelemente geklebt wird. Vor dem Einkleben
des optischen Elements wird das optische Element auf die elastischen
Verbindungsglieder aufgelegt und die optische Achse des optischen
Elements parallel zur Fassungsachse ausgerichtet. Dabei wirkt die
Schwerkraft annähernd
entlang der optischen Achse des optischen Elements. Dann kann das
optische Element mit den elastischen Verbindungsgliedern verbunden
bzw. verklebt werden.
-
In
Projektionsobjektiven kann eine Fassung mitsamt dem optischen Element
so angeordnet werden, dass die optische Achse des optischen Elements
horizontal oder in einem bestimmten Winkel zur Vertikalen geneigt
ist. Dadurch wirkt die Schwerkraft nicht nur entlang der optischen
Achse des optischen Elements, sondern auch quer dazu. Durch die quer
zur optischen Achse wirkende Schwerkraft kommt es nun wegen der
Lagerung des optischen Elements auf den elastischen Verbindungsgliedern im
Allgemeinen zu einer Verschiebung der optischen Achse des optischen
Elements quer zur Fassungsachse gegebenenfalls und zu einer Verkippung
der optischen Achse des optischen Elements gegenüber der Fassungsachse. Die
elastischen Verbindungsglieder werden durch die quer zur optischen
Achse wirkende Gewichtskraft des optischen Elements derart deformiert,
dass das optische Element gegenüber seiner
Ursprungslage in lateraler Richtung verschoben und verkippt wird.
-
Eine
laterale bzw. seitliche Verschiebung des optischen Elements kann
beim Einbau in das Projektionsobjektiv durch ein entsprechendes
Verschieben der Fassung korrigiert werden, wobei eine Kippkorrektur
nicht durch ein Verschieben der Fassung beim Einbau in das Objektiv
möglich
ist. Es ist möglich
mit den üblichen
Methoden der Elastizitätstheorie,
z.B. bekannt aus Stuart. T-Smith: Flexures; Gordon and Breach Science
Publishers, 2000., die elastischen Verbindungsglieder so zu gestalten
und auszulegen, dass sie bei einer Belastung durch die Schwerkraft des
optischen Elements quer zur optischen Achse nicht zu einer Verkippung
des optischen Elements, sondern nur zu einer lateralen Verschiebung
führen. Die
Lage des Schwerpunktes des optischen Elements spielt eine bedeutende
Rolle bei der Auslegung der elastischen Verbindungsglieder gegen
das Verkippen des optischen Elementes. Die sich bei seitlichem Versatz
des optischen Elements ohne Verkippen ergebenden Schnittlasten der
elastischen Verbindungsglieder zwischen Verbindungsglieder und optischem
Element sollten zusammengefasst als resultierende Kraft eine Kraft
durch den Schwerpunkt des optischen Elements bilden, welche den
gleichen Betrag wie die Schwerkraft besitzt und ihr entgegen wirkt.
Da allerdings die Elastizität
der Verbindungsglieder durch Fertigungsungenauigkeiten schwanken kann,
kann es trotz einer theoretisch richtigen Auslegung der Verbindungsglieder
gegen Verkippen zu einer Verschiebung der resultierenden Kraft und
damit zu einem unzulässig
großen
Kipp des optischen Elements kommen. Die oben erwähnte Korrektur des Lateralversatzes
ist allerdings nur dann möglich, wenn
der Versatz sich zeitlich nicht ändert.
Bei einer bevorzugten Befestigung des optischen Elements über Kleben
kann es aber infolge von Schubspannungen zu einem Kriechen des Klebers
kommen und damit wieder zu einem zeitlich veränderlichen Lateralversatz.
-
Aus
der älteren
DE 102 11 791.8 ist ebenfalls bekannt,
zwischen den elastischen Verbindungsgliedern und dem optischen Element
Einlegeteile, wie beispielsweise Winkel oder Keile, einzusetzen,
die über
entsprechende Verbindungen zwischen dem optischen Element und den
Verbindungsgliedern zusätzliche
Klebestellen schaffen. Auch durch eine dadurch entstehende Senkung
der Kleberspannung und Erhöhung
der Stabilität
können
die Belastungsänderungen
hervorgerufen durch Relaxations-, Setz- und Kriecherscheinungen des optischen
Elements an den Verbindungsstellen nicht grundsätzlich verringert werden. Die
Einlegeteile verzögern
lediglich die Problematik. Ebenso sind kriechfreie Kleber bisher nicht
bekannt.
-
Aus
Paul. R. Yoder: Design and Mounting of Precision and Small Mirrors
in Optical Instruments, Spie Volume TT32, Seite 154, sind ebenfalls
Laterallagerungen für
das optische Element über
zwei „harte" Lager bekannt. Bei
jeder Befestigungsart, beispielsweise beim Anschrauben oder Kleben
eines optischen Elements, ergeben sich dabei große lokale Störungen im
Bereich der Befestigungspunkte an dem optischen Element. Außerdem ist
eine einfache Montagetechnik durch Einkugeln, wie aus der
US 4,733,945 bekannt, nicht
möglich.
-
Aus
Untersuchungen zur Laterallagerung von großen Spiegeln ist ebenfalls
bekannt, die lateralen Lager tangential oder in einem bestimmten
Winkel zur Tangente angreifen zu lassen und da durch die Verbiegung
des optischen Elements möglichst
zu minimieren. Derartige Untersuchungen sind im Journal of modern
Optics, 1988, von Schwesinger, G.: Lateral support of very large
telescope mirrors by edge forces only, beschrieben. Werden die tangentialen Lager
am optischen Element angeklebt, so ergibt sich ebenfalls ein Kriechen
der Linse durch deren Schwerkraft.
-
Eine
Befestigung des optischen Elements über Löten, wie aus der
DE 197 35 760 A1 bekannt, bringt
keine vorteilhafte Verbesserung, da sich bei Temperaturausdehnung
das optische Element verzerrt bzw. verzieht. Eine Befestigung über Klemmen erzeugt
lokale Spannungen und erfordert einen größeren optisch ungenutzten Überlauf
des optischen Elements.
-
Auch
aktive Lagerungen, beispielsweise bekannt aus der
DE 100 51 706 A1 , wie das
Nachstellen der Kriechbewegung des optischen Elements mit Hilfe
eines XY-Manipulators und/oder eines Kipp-Manipulators stellen nur
unbefriedigende Lösungen
dar. Bei derartigen Lösungen
würde zwar
die Starrkörperbewegung
ausgeglichen werden können,
nicht jedoch die durch Spannungsumlagerung in den Klebestellen entstehenden
Deformationen des optischen Elements. Außerdem erfordern derartige
Lagerungen eine aufwändige
Konstruktion, welche hohe Kosten verursacht und eine elektronische
Ansteuerung notwendig macht.
-
Es
ist daher Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung zur Verhinderung
des Kriechens von in Fassungen angeordneten und eingeklebten optischen Elementen
zu schaffen, wobei optische Achsen der optischen Elemente nicht
vertikal sind.
-
Erfindungsgemäß wird die
Aufgabe dadurch gelöst,
dass zur Kompensation des Eigengewichts wenigstens des optischen
Elements zusätzlich
zu den Verbindungsgliedern wenigstens ein Halteelement vorgesehen
ist, wobei in vorteilhafter Weise wenigstens ein Halteelement als
weiches Federelement ausgebildet ist, über das das optische Element
an einem Gehäuseteil
des Objektivs gehalten ist.
-
Das
optische Element, welches mit einer Fassung über Verbindungsglieder durch
Kleben verbunden ist, weist wenigstens ein Halteelement zur Eigengewichtskompensation
bzw. zum Ausgleich des Kippfehlers auf. Das Kriechen kann nun dadurch
verhindert werden, dass das Eigengewicht des optischen Elements
durch das wenigstens eine Halteelement, welches als weiches, vorgespanntes
Federelement ausgebildet sein kann, aufgenommen wird. Die Vorspannungskraft
des Federelements sollte dabei der Gewichtskraft des optischen Elements
entsprechen. Durch eine derartige Vorrichtung können die Klebestellen zwischen
den Verbindungsgliedern und dem optischen Element nahezu spannungslos
hinsichtlich der das Kriechen auslösenden Schubspannung sein.
-
In
einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen,
dass das wenigstens eine Halteelement als pneumatisches Federelement
ausgebildet ist, welches mit dem optischen Element verbunden ist.
-
Erfindungsgemäß kann auch
das Halteelement als pneumatisches Federelement ausgebildet sein,
was eine sehr einfache Variation der Federsteifigkeit des Federelements
durch einen an einer anderen Stelle befindlichen Gasspeicher ermöglicht.
Hierbei kann auch vorgesehen sein, dass die stützenden Kräfte verteilt werden können, und
somit die Deformation des optischen Elementes in Folge der Federkräfte minimiert
wird.
-
In
einer erfindungsgemäßen Ausgestaltung der
Erfindung ist ferner vorgesehen, dass die Wirkungsgerade der resultierenden
Kraft der Federelemente durch einen Verstellmechanismus in den Schwerpunkt
des optischen Elements verschiebbar ist.
-
Bei
Einsatz eines Verstellmechanismus, mit dem die Wirkungsgerade der
resultierenden Kraft aus den Federelementen bzw. Gewichtskompensationsfederelementen
verschoben werden kann, kann die Wirkungsgerade derart verschoben
werden, dass ein der Verkippung entgegenwirkendes Drehmoment um
den Schwerpunkt des optischen Elements übertragen werden kann, um somit
eine unzulässig
große Verkippung
des optischen Elements auszugleichen.
-
Ausführungsbeispiele
der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnungen näher erläutert.
-
Es
zeigt:
-
1 eine prinzipmäßige Darstellung
der erfindungsgemäßen Vorrichtung
in Verbindung mit einem optischen Element;
-
2 eine prinzipmäßige Darstellung
einer Möglichkeit
der Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung;
-
3 eine prinzipmäßige Darstellung
einer weiteren alternativen Möglichkeit
der Ausgestaltung der Vorrichtung;
-
4a und 4b Darstellung einer möglichen Variante
der Anbringung von Halteelementen an das optische Element und der
Kräfteverteilung;
und
-
5a und 5b eine prinzipmäßige Darstellung eines Verstellmecha
nismus zur Verschiebung der Wirkungsgerade der resultierenden Kraft
der Halteelemente, wobei in 5a die
Draufsicht und in 5b die
Seitenansicht dargestellt ist.
-
1 zeigt eine Vorrichtung 1 in
einem prinzipmäßig und
ausschnittsweise dargestellten Projektionsobjektiv PL für die Halbleiterlithographie,
wobei die Vorrichtung 1 in Verbindung mit einem optischen Element 2,
insbesondere einer Linse oder eines Spiegels, dargestellt ist. Das
optische Element 2, welches von seiner Lage von einer vertikalen
Achslage abweicht, ist mit einer Fassung 3 über am Umfang des
optischen Elements 2 angeordnete Verbindungsglieder 4 verbunden.
Die Verbindung des optischen Elements 2 mit den Verbindungsgliedern 4 erfolgt über Klebemittel 5.
Das optische Element 2 wird wie bei Vor handensein einer
vertikalen optischen Achse gelagert, wobei Kräfte in Richtung einer optischen Achse 6 des
optischen Elements 2 wie bisher aufgenommen werden. Die
Vorrichtung 1 weist Halteelemente 7 auf, welche
jeweils an ihren gegenüberliegenden
Endpunkten tangential mit dem optischen Element 2 verbunden
sind.
-
In 1 ist aufgrund der Darstellung
in Seitenansicht nur ein Halteelement 7 aufgezeigt, wobei das
zweite Halteelement 7 von dem ersten Halteelement 7 verdeckt
wird. Die Halteelemente 7 sind als weiche vorgespannte
Federelemente ausgebildet. Die Vorspannung der Federelemente 7 entspricht
dabei dem Eigengewicht des optischen Elements 2. Dies ergibt
eine gegenüber
kleinen Verschiebungen der Befestigungspunkte der Federelemente 7 an dem
optischen Element 2 unempfindliche Lagerung. Dadurch, dass
die Federelemente 7 das Eigengewicht des optischen Elements 2 kompensieren,
werden die Befestigungspunkte (Endpunkte) bzw. die Klebstellen 5 nahezu
spannungslos hinsichtlich der das Kriechen auslösenden Schubspannung. Wird der
Befestigungspunkt für
das weiche Federelement 7 an dem optischen Element 2 angeklebt,
so ist ein Kriechen hier ungefährlich,
da dies die Vorspannkraft des Federelements 7 nur unwesentlich ändern würde. Da
die weichen Federelemente 7 das Gewicht des optischen Elements 2 aufnehmen,
was geometrische Veränderungen
im Laufe der Zeit während
des Einsatzes des Projektionsobjektivs PL, wie beispielsweise Setzen
oder Kriechen, hervorruft, verursachen diese aber durch ihre Weichheit
keine Belastungsänderungen
am optischen Element 2, welche Deformationen oder Starrkörperbewegungen
verursachen können.
-
Der
Kraftangriff, die Kraftrichtung und der Kraftbetrag der Federelemente 7 können so
optimiert werden, dass der Einfluss auf die Linsen- oder Spiegeldeformation
sehr gering ist. Derartige Lösungen sind
bereits aus dem Stand der Technik bekannt und können beispielsweise aus der
Theorie von Schwesinger, G. (1954): Optical Effect of Flexure in
Vertically Mounted Precision Mirrors, f. Opt. Soc. Am 44:417 abgeleitet
werden. Des weiteren kann die Verstellung der Kräfte in Betrag und Rich tung
durch Stellelemente 8, wie beispielsweise Stellschrauben,
piezoelektrische, elektromagnetische oder pneumatische Antriebe,
vorgenommen werden. Diese dienen zu Justagezwecken bei der Deformationseinstellung
des optischen Elements 2. Die Gewichtskraft ist in 1 durch einen Pfeil mit
dem Bezugszeichen FG dargestellt.
-
2 zeigt eine weitere konstruktive
Ausgestaltung der Vorrichtung 1, wobei in dieser Ausgestaltung
nur ein Halteelement 7 vorgesehen ist, welches ebenfalls
als Federelement ausgebildet ist. Das Federelement 7 ist
dabei mit einem Verbindungselement 9 über Befestigungselemente 10,
die ebenso wie die Federelemente 7 gemäß 1 auf gegenüberliegenden Seiten tangential
an dem optischen Element 2 angreifen, mit dem optischen
Element 2 verbunden. Wenn die optische Achse 6 in
horizontaler Richtung verläuft,
bedeutet dies, dass die Federelemente 7 bzw. Befestigungselemente 10 seitlich
in der horizontalen Ebene angreifen. Die Befestigungselemente 10 können als
Bänder,
Drähte
oder Seile ausgebildet sein, welche wiederum an das optische Element 2 angeklebt
oder auch angeschraubt werden können.
In 2 ist seitlich neben
der Darstellung der Vorrichtung 1 die Wirkungslinie durch
den Schwerpunkt des optischen Elements 2 dargestellt. Somit
kann auch hier das Kriechen des optischen Elements 2 dadurch
behindert werden, dass das Eigengewicht des optischen Elements 2 durch
die Befestigungselemente 10 und dem weichen Federelement 7 aufgenommen
wird.
-
In 3 ist eine weitere Alternativmöglichkeit
der Vorrichtung 1 dargestellt. Als Halteelemente werden
hier pneumatische Federelemente 11 eingesetzt, die eine
Kraft in der durch Pfeile angezeigten Richtung in das optische Element 2 einleiten.
Die pneumatischen Federelemente 11 greifen auf gegenüberliegenden
Seiten an dem optischen Element 2 an und weisen jeweils
ein Kolbenelement auf, welches an dem optischen Element 2 angreift.
Die pneumatischen Federelemente 11 weisen gleichen Druck auf,
wobei die Federelemente 11 mit einem Gasbehälter 12 verbunden
sind, der einen konstanten Druck vorsieht. Dabei ist es wichtig,
dass der Druck so zu wählen
bzw. wählbar
oder einstellbar ist, dass das Eigengewicht des optischen Elements 2 kompensiert
wird. Durch den Gasbehälter 12 ist
es möglich,
sehr einfach die Federsteifigkeit der Federelemente 11 zu
variieren. In 3 ist
ebenfalls seitlich der Vorrichtung 1 die Wirkungslinie
durch den Schwerpunkt des optischen Elements 2 angegeben. Bei
einer pneumatischen Lösung
können
die abstützenden
Kräfte
auf eine größere Fläche verteilt
werden, wie bereits in 3 dargestellt,
und damit die Deformation des optischen Elements 2 in Folge
der Federkräfte
minimiert werden. Somit liegt eine gleichmäßige Kräfteverteilung vor.
-
In 4a ist eine mögliche Variante
der Anbringung der Halteelemente 7 oder der Befestigungselemente 10 an
dem optischen Element 2 dargestellt. Die Halteelemente 7 oder
die Befestigungselemente 10 sind gemäß der 1 und 2 an
dem optischen Element 2 derart angebracht, dass die Halteelemente 7 oder
die Befestigungselemente 10 senkrecht zur optischen Achse 6 des
optischen Elements 2 am optischen Element 2 angebracht
sind und genau entgegengesetzt zu einer Kraft FG', welche zusammen
mit einer Kraft FZ die Gewichtskraft FG ergibt, wirken. Die Kraft FZ wird
wie bisher mittels der Verbindungsglieder 4 kompensiert
bzw. von diesen aufgenommen. Es ist aber auch möglich, wie in 4a dargestellt, die Halteelemente 7 oder
die Befestigungselemente 10 unter einen bestimmten Winkel α zu einer
Achse, welche orthogonal zur optischen Achse 6 steht, am optischen
Element 2 anzubringen.
-
In 4b ist prinzipmäßig die
Kräfteverteilung
in Draufsicht auf das optische Element 2 dargestellt, wobei
die Kräfte
gegenüber
der Zeichenebene auch geneigt sein können.
-
Die
Anbringung von Federelementen, speziell der pneumatischen Federelemente 11,
und deren Aktivierung erfolgt nach der in herkömmlicher Weise durchgeführten Montage
und Justage des optischen Elements 2. Durch die weichen
Federelemente 7 bzw. 11 sind keine kritischen
Montagetoleranzen für die
Befestigung der Federelemente 7 bzw. 11 am optischen
Element 2 vorhanden.
-
Eine
laterale Verschiebung des optischen Elements 2 wird durch
die Vorrichtung 1 in dem in 1 dargestellten
Projektionsobjektiv PL nahezu verhindert, wobei aber eine Verkippung
der optischen Achse 6 des optischen Elements 2 mit
einer Vorrichtung 1 nach der 1 nicht
kompensiert werden kann.
-
Der
Kraftangriff der Halteelemente 7 sollte möglichst
derart erfolgen, dass es auch zu keiner Verkippung der optischen
Achse 6 des optischen Elements 2 gegenüber einer
Fassungsachse der Fassung 3 kommt.
-
Da
die Elastizität
der Verbindungsglieder 4 durch Fertigungsungenauigkeiten
oder auch Materialinhomogenitäten
schwanken kann, kann es trotz der richtigen Auslegung der Verbindungsglieder 4 gegen
einen Kipp zu einer unzulässig
großen
Verkippung des optischen Elements 2 gegenüber der
Fassung 3 kommen.
-
Ebenso
tritt ein Kipp- bzw. Drehmoment auf, wenn der Kraftangriff der Halteelemente
bzw. Federelemente 7 oder der Befestigungselemente 10 nicht im
Schwerpunkt 13 des optischen Elementes erfolgt.
-
In
den 5a und 5b ist eine Maßnahme dargestellt,
wodurch man die resultierende Kraft von zwei Federelementen 7 so
legen bzw. verschieben kann, dass die resultierende Kraft Fres am Schwerpunkt 13 angreift.
-
Gemäß diesem
Ausführungsbeispiel
sind zwei Paare von Federelementen 7 vorgesehen, wobei
das optische Element 2 seitlich mit jeweils einem Paar
Federelemente 7 verbunden ist. Jedes Paar Federelemente 7 wird
um einen Weg so vorgespannt, so dass die resultierende Kraft Fres des Federelementepaares 7, welche
auf das optische Element 2 übertragen wird, in ihrem Betrag
so eingestellt wird, dass sie die Gewichtskraft des optischen Elementes 2 kompensiert.
Wenn alle Federn bezüglich
der Federkraft gleich ausgebildet sind und auch die aufgebrachte
Vorspannung gleich ist, so beträgt
die resultierende Kraft Fres, die am Schwerpunkt 13 angreift, auf
jeder Seite des optischen Elementes 2 die Hälfte der
Gewichtskraft. Dabei verläuft
die resultierende Kraft Fres' jeweils mittig zwischen
den Federelementen 7 auf jeder Seite, wie dies gestrichelt
dargestellt ist. Befindet sich der Schwerpunkt 13 nicht
in idealer Weise auf der Wirkungsgeraden von Fres', sondern, wie dargestellt,
um einen Abstand e in Richtung auf ein Federelement 7 versetzt,
so würde
ein Kipp- bzw. Drehmoment erzeugt werden. Um dies zu vermeiden,
muss die Wirkungsgerade der resultierenden Kraft Fres' in den Schwerpunkt 13 verschoben
werden, wo sie dann als Fres mit dem gleichen
Betrag der Gewichtskraft FG entgegenwirkt.
-
Die
Verschiebung der Wirkungsgeraden der resultierenden Kraft Fres in den Schwerpunkt 13 wird dadurch
erreicht, dass ein Federelement 7 eines Federelementepaares
unabhängig
von dem anderen Federelement 7 des Federelementepaares
durch eine nur schematisch dargestellte Spanneinrichtung 14 als
Verstellmechanismus um den Weg Δs
mit einer Kraft stärker
gespannt und das andere Federelement 7 um eine Kraft gleicher
Größe entspannt
wird. Dabei ist darauf zu achten, dass Fres gesamt
von beiden Seiten weiterhin der Gewichtskraft FG entspricht, um
die gewünschte
Kompensation der Gewichtskraft zu erreichen und – entsprechend diesem Ausführungsbeispiel – auch einen
Kipp zu vermeiden.
-
Bei
einem Paar Federelemente 7, das um den Weg so vorgespannt
ist und dessen eines Federelement 7 nunmehr um den Weg Δs zusätzlich gespannt
und das andere Federelement 7 um den Weg Δs entspannt
ist, ergibt sich der Betrag der resultierenden Kraft Fres aus
folgender Gleichung, wobei die Federkonstante c für die Federelemente 7 eines
Paares jeweils gleich groß sein
soll: Fres = C (s0 + Δs)
+ C (s0 – Δs) = 2cs0.
-
Der
Abstand e des Schwerpunktes 13 von Fres', d. h. die Mittellinie
zwischen den beiden Federn berechnet sich nach folgender Formel: e = h·Δs/s0 wobei h jeweils der Abstand eines Federelementes 7 von
der Mittellinie zwischen den beiden Federelementen 7 ist.
-
Bei
einer Ausführung
der Vorrichtung 1 mit dem in den 5a und 5b dargestellten
Verstellmechanismus ist die Vorrichtung 1 somit gleichzeitig
als Kipp- und Gewichtskompensator ausgeführt, um so ein Kriechen und
ein Kippen des optischen Elements 2 beim Einbau und im
Betrieb im Projektionsobjektiv PL zu verhindern.