DE10311286A1 - Beleuchtungsvorrichtung für ein optisches System - Google Patents

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Abstract

Es ist eine Beleuchtungsvorrichtung für ein optisches System offenbart, wobei die Beleuchtungsvorrichtung (1) eine einzige Lichtquelle (2) umfasst, die breitbandiges Licht in einen Beleuchtungsstrahlengang (2a) emitiert. Der Lichtquelle (2) ist in erfindungsgemäßer Weise ein Filtersystem (4) nachgeschaltet, mit dem mehrere Wellenlängen beziehungsweise Wellenlängenbereiche trennbar sind und durch ein Lichtleitmittel (22) an ein optisches System (5) geführt werden. Das Filtersystem besitzt mehrere Reflektionsfilter (8a, 8b, 8c, 8d), die derart angeordnet sind, dass eine ausgewählte Wellenlänge über diese Reflektionsfilter führbar ist und das Filtersystem (4) parallel zum Beleuchtungsstrahlengang (2a) verlässt.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Beleuchtungsvorrichtung für ein optisches System.
  • Insbesondere betrifft die Erfindung eine Beleuchtungsvorrichtung für ein optisches System mit einer Lichtquelle, die breitbandiges Licht emittiert, einem der Lichtquelle nachgeschaltetes Filtersystem, mit dem mehrere Wellenlängen beziehungsweise Wellenlängenbereiche trennbar sind.
  • An einem optischen System (zum Beispiel Mikroskop) werden Optiken eingesetzt, die für verschiedene Wellenlängen (Spektrallinien wie zum Beispiel 193 nm, 284 nm, 365 nm und 414 nm oder Wellenlängenbereiche (ultraviolettes Licht, sichtbares Licht und Infrarotlicht) ausgelegt sind. Um all der verschiedenen Beleuchtungen dem optischen System zur Verfügung zu stellen, ist der Betrieb von mehreren Lampenhäusern erforderlich. Das Einkoppeln erfolgt über bewegbare Spiegel sowie über Notch- und Spektralfilter. Ebenso werden spezielle Notchfilter für den umschaltbaren Betrieb zwischen den Wellenlängen von 284 nm und 265 nm eingesetzt.
  • Die deutsche Offenlegungsschrift DE 100 42 140 offenbart eine Beleuchtungs- und Abbildungseinrichtung für mehrere Spektralbereiche. Für die bei der Messung benötigten Spektralbereiche sind mehrere Lichtquellen vorgesehen. Die Lichtquellen werden mittels eines Strahlteilermoduls zu einem einzelnen Strahlengang zusammengefasst. Je nach gewünschter Wellenlänge oder gewünschtem Wellenlängenbereich werden die entsprechenden Lichtquellen geschaltet. Ein entscheidender Nachteil dieser Beleuchtungs- und Abbildungseinrichtung ist, dass mehrere Lichtquellen erforderlich sind. Dies führt zu erhöhten Kosten für die Beleuchtungseinrichtung. Hinzu kommt, dass bei einer defekten Beleuchtungseinrichtung eine Justage erforderlich ist, was zusätzlich die Servicekosten für das gesamte optische System und auch der Beleuchtungs- und Abbildungseinrichtung erhöht.
  • Die deutsche Offenlegungsschrift DE 43 38 531 offenbart eine Vorrichtung zur Mehrfachbeleuchtung von Präparaten. Mehrfachbeleuchtung von Präparaten bedeutet, dass Messungen an dem Präparat nacheinander mit Licht unterschiedlicher, definierter Wellenlänge durchgeführt werden. Ferner ist die Vorrichtung derart ausgestaltet, dass die Modulation des von einer Lichtquelle der Vorrichtung ausgesandten Lichtes ohne mechanische Hilfsmittel erfolgt. Als Modulationsmittel sollen also keine mechanisch bewegbaren Teile verwendet werden, die in der Messapparatur eventuell Vibrationen hervorrufen. Die vorgeschlagene Vorrichtung hatte jedoch den entscheidenden Nachteil, das hier ebenfalls für die Mehrfachbeleuchtung mehrere Lichtquellen verwendet werden, was wiederum zu erhöhten Kosten für die gesamte Vorrichtung führt.
  • Die deutsche Offenlegungsschrift DE 42 21 063 offenbart ein optisches System für die Auflicht – Fluoreszenz – Mikroskopie. Das optische System erzeugt von einer einzelnen Lichtquelle zwei oder mehr als zwei Strahlenbündel, die voneinander unabhängig verändert werden können. Strahlenbündel von unterschiedlichen, spezifischen Wellenlängen, zum Beispiel aus weit auseinanderliegenden Spektralbereichen, werden von der primären Lichtquelle herausgefiltert. Die Strahlenbündel werden dann ineinander überführt und fast vollständig von einem dichroitischen Doppelspiegel oder einem Reflektionsbandfilter, der durch drei oder mehr Reflektionsbanden charakterisiert ist, in das Mikroskopobjektiv eines Auflicht – Fluoreszenz – Mikroskops reflektiert. Die verschiedenen Anregungslichtbündel beleuchten die selbe Region des Objekts. Das Fluoreszenzlicht unterschiedlicher Wellenlängen, von zum Beispiel biologischen Zellen, die mit zwei oder mehr als zwei Fluoreszenzfarbstoffen gefärbt sind, passieren den dichroitischen Doppelspiegel oder den Reflektionsbandfilter, die eine hohe Transmission in den Spektralbereichen der Fluoreszenzlichtstrahlen haben, formen in der Bildebene des Mikroskops das Bild des Objekts und können beobachtet und gemessen werden. Dieses optische System ermöglicht es Fluoreszenzlicht verschiedener Wellenlängen und unterschiedlicher Farbstoffe quantitativ zu messen. Wobei der Effekt von chromatischen Aberrationen im Anregungslichtweg, von Energietransfer zwischen Farbstoffen und von Überlappungen der Farbstoffemissionsspektra minimiert ist. Der Nachteil dieses vorgeschlagenen optischen Systems ist, dass die Wellenlängen bzw. Wellenlängenbereiche zwar getrennt werden, dann aber entsprechend modifiziert und wieder zur Beleuchtung der Probe im Mikroskop zusammengeführt werden.
  • Die deutsche Offenlegungsschrift DE 199 31 954 offenbart eine Beleuchtungseinrichtung für ein DUV-Mikroskop. Die Beleuchtungseinrichtung für das DUV-Mikroskop weist eine DUV-Lichtquelle auf, der ein Kollektor zugeordnet ist. Der Lichtquelle und dem Kollektor ist ein Reflektionsfilter-System nachgeordnet, welches ein UV-Wellenlängenband erzeugt und aus vier Reflektionsfiltern besteht. Für die sichtbare Beleuchtung ist eine. zusätzliche Lichtquelle vorgesehen, die mittels einer schaltbaren Spiegelanordnung in dem Beleuchtungsstrahlengang des Mikroskops beziehungsweise des optischen Systems einkoppelbar ist. Der entscheidende Nachteil dieser Vorrichtung ist ebenfalls, dass mehr als eine Lichtquelle an das Mikroskop beziehungsweise optische System angekoppelt werden muss, um eine möglichst große Variationsmöglichkeit in den Beleuchtungsbedingungen zur Verfügung zu stellen.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, eine Beleuchtungsvorrichtung für ein optisches System zu schaffen, die das Lichtspektrum einer Lichtquelle optimal ausnutzt und dabei eine deutliche Reduzierung der Kosten hinsichtlich der Wartung und des Stromverbrauchs erzielt. Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Beleuchtungsvorrichtung für ein optisches System, dass die Merkmale des Anspruchs 1 umfasst.
  • Die erfindungsgemäße Ausgestaltung der Beleuchtungsvorrichtung für ein optisches System ist besonders vorteilhaft, da mit einer einzelnen Lichtquelle, die breitbandiges Licht emittiert, selektiv bestimmte Wellenlängen beziehungsweise Wellenlängenbereiche trennbar und aus der Beleuchtungsvorrichtung getrennt auskoppelbar sind, so dass je nach Wunsch des Benutzers eine bestimmte Wellenlänge beziehungsweise ein bestimmter Wellenlängenbereich für die Beleuchtung einer Probe im optischen System verwendet werden kann. Um dies zu erreichen ist in der Beleuchtungsvorrichtung ein Filtersystem derart angeordnet, dass alle getrennten Wellenlängen beziehungsweise Wellenlängenbereiche für eine spätere gleichzeitige oder serielle Nutzung im optischen System zur Verfügung stehen. Ferner ist das Filtersystem derart angeordnet, dass eine ausgewählte Wellenlänge über mehrere Reflektionsfilter führbar ist, so dass die Wellenlänge das Filtersystem parallel zum Beleuchtungsstrahlengang der Beleuchtungsvorrichtung verlässt. Die mehreren Reflektionsfilter für die ausgewählte Wellenlänge bestehen aus einem ersten, einem zweiten, einem dritten und einem vierten Single-Line-Notch-Filter. Diese Filter sind derart angeordnet, dass die ausgewählte Wellenlänge das Filtersystem co-linear zum Beleuchtungsstrahlengang verlässt.
  • Es ist ferner von besonderem Vorteil, dass die mehreren Reflektionsfilter als Single-Line-Notch-Filter für eine Wellenlänge von 248 nm ausgestaltet sind. Hinzu kommt, dass dem ersten Single-Line-Notch-Filter für die Wellenlänge von 248 nm im Beleuchtungsstrahlengang ein weiteres Single-Line-Notch-Filter nachgeschaltet ist. Dieser weitere Single-Line-Notch-Filter ist für eine Wellenlänge von 365 nm ausgestaltet. Alle in der Beleuchtungsvorrichtung verwendeten Single-Line-Notch-Filter sind derart ausgestaltet, dass sie 99% des Lichts der Wellenlänge für die sie ausgestaltet sind, reflektieren und das jeweils länger wellige Licht ungehindert durchlassen.
  • Zur Einhaltung der Justage beziehungsweise Ausrichtung der Filter ist es von Vorteil, dass das Filtersystem in einem Gehäuse angeordnet ist. Das Gehäuse ist mit mehreren Auskoppelfenstern versehen, die jeweils den verschiedenen Wellenlängen beziehungsweise Wellenlängenbereichen zugeordnet sind, so dass aus jedem Auskoppelfenster jeweils eine Wellenlänge beziehungsweise ein Wellenlängenbereich austritt.
  • Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung können den Unteransprüchen entnommen werden.
  • In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und wird anhand der nachfolgenden Figuren beschrieben. Dabei zeigen:
  • 1 eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Beleuchtungsvorrichtung; und
  • 2 eine schematische Darstellung der Beleuchtungsvorrichtung in Verbindung mit einem optischen System.
  • 1 zeigt eine schematische Darstellung einer Beleuchtungsvorrichtung 1, die im Wesentlichen aus einem Filtersystem 4 und einer Lichtquelle 2 besteht. Das Filtersystem 4 ist in einem Gehäuse 12 angeordnet. Die Lichtquelle 2 ist an das Gehäuse 12 angeflanscht und definiert einen Beleuchtungsstrahlengang 2a, der in 1 als gestrichelt gepunktete Linie dargestellt ist. Das von der Lichtquelle 2 ausgehende breitbandige Licht trifft zunächst auf einen ersten im Beleuchtungsstrahlengang 2a angeordneten Reflektionsfilter 8a. Der Reflektionsfilter 8a ist als Single-Line-Notch-Filter ausgestattet, der im wesentlichen 99% des Lichts einer Wellenlänge reflektiert und den Rest des länger welligen Lichts durchlässt. Der Single-Line-Notch-Filter ist für eine Wellenlänge von 248 nm ausgestaltet. Dies bedeutet, dass diese Single-Line-Notch-Filter Licht einer Wellenlänge von 248 nm reflektieren und das gesamte Licht größer als die Wellenlänge von 248 nm ungehindert passieren lassen. Dem ersten Reflektionsfilter 8a sind ein zweiter, ein dritter und ein vierter Reflektionsfilter 8b, 8c, 8d derart zugeordnet, dass die ausgewählte Wellenlänge 7 das Gehäuse 12 des Filtersystems 4 in Richtung des Beleuchtungsstrahlenganges 2a verlässt. Da in dem hier beschriebenen Ausführungsbeispiel der Single-Line-Notch-Filter für eine Wellenlänge von 248 nm ausgestaltet ist, entspricht die ausgewählte Wellenlänge somit ebenfalls 248 nm. Es ist jedoch für einen Fachmann selbstverständlich, dass je nach Wunsch des Benutzers entsprechende Reflektionsfilter mit entsprechenden Eigenschaften in das Filtersystem 4 eingesetzt werden können. Im Filtersystem 4 ist der erste und der zweite Reflektionsfilter 8a, 8b unter einem spitzen Winkel α gegen den Beleuchtungsstrahlengang 2a geneigt. Der dritte und der vierte Reflektionsfilter 8c, 8d sind unter einem stumpfen Winkel β gegen den Beleuchtungsstrahlengang 2a geneigt, wobei β dem Wert 180° – α entspricht. Der zweite Reflektionsfilter 8b und der dritte Reflektionsfilter 8c sind außerhalb des Beleuchtungsstrahlenganges 2a im Gehäuse 12 angeordnet. Zunächst wird das Licht durch den ersten Reflektionsfilter 8a aus dem Beleuchtungsstrahlengang 2a herausgespiegelt und trifft auf den zweiten Reflektionsfilter 8b. Vom zweiten Reflektionsfilter 8b wird das Licht auf den dritten Reflektionsfilter 8c und von diesem auf den vierten Reflektionsfilter 8d reflektiert, so dass die ausgewählte Wellenlänge 7 das Gehäuse 12 in Richtung des Beleuchtungsstrahlenganges 2a verlässt. Durch die Anordnung von vier Reflektionsfiltern 8a, 8b, 8c, 8d erreicht man eine besonders saubere Selektion hinsichtlich der ausgewählten Wellenlänge 7. Da die Reflektionsfilter als Single-Line-Notch-Filter ausgestattet sind, welche die Eigenschaft haben, 99% der ausgewählten Wellenlänge zu reflektieren und den Rest an länger welligeren Licht ungehindert durch zu lassen, erzielt man hier eine besonders saubere Auswahl nach einer bestimmten Wellenlänge 7. In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist es nun so, dass am ersten Reflektionsfilter 8a 99% der ausgewählten Wellenlänge 7 von 248 nm reflektiert werden. Dieses Licht enthält jedoch noch immer langwelligere Anteile, die nun an einem zweiten Reflektionsfilter 8b, der die gleichen Eigenschaften wie der erste Reflektionsfilter 8a aufweist, weiter „gereinigt" wird. Dieser Prozess der fortschreitenden Reinigung der ausgewählten Wellenlänge vollzieht sich logischerweise auch an dem dritten Reflektionsfilter 8c und dem vierten Reflektionsfilter 8d. Somit erhält man mit der Anordnung der vier Reflektionsfilter 8a, 8b, 8c, 8d eine sehr gute Reinigung des ausgewählten Lichts hinsichtlich einer Wellenlänge. Wie bereits oben erwähnt, verlässt die ausgewählte Wellenlänge 7 das Gehäuse 12 des Filtersystems 4 durch einen Auskoppelport 13 derart, dass das Licht parallel zum Beleuchtungsstrahlengang 2a ist.
  • Im Beleuchtungsstrahlengang 2a ist dem ersten Reflektionsfilter 8a ein weiterer Reflektionsfilter 10 unter einem stumpfen Winkel zum Beleuchtungsstrahlengang 2a nachgeordnet. Der weitere Reflektionsfilter 10 ist ebenfalls als Single-Line-Notch-Filter ausgestattet. Dieser Single-Line-Notch-Filter ist für eine Wellenlänge von 365 nm ausgestattet. Das von dem weiteren Reflektionsfilter 10 reflektierte Licht verlässt das Gehäuse 12 durch einen Auskoppelport 13, der parallel zum Beleuchtungsstrahlengang 2a angeordnet ist. Den weiteren Reflektionsfilter passiert das Licht mit einer Wellenlänge oberhalb von 365 nm. Dieses Licht breitet sich weiter im Beleuchtungsstrahlengang 2a innerhalb des Gehäuses 12 des Filtersystems 4 aus. Im Beleuchtungsstrahlengang 2a ist dem weiteren Reflektionsfilter 10 ein Reflektor 15 für sichtbares Licht nachgeschaltet. Der Reflektor 15 ist ebenfalls unter einem stumpfen Winkel gegen den Beleuchtungsstrahlengang 2a geneigt und reflektiert somit den noch im Beleuchtungslicht vorhandenen Anteil von sichtbarem Licht aus einem weiteren Auskoppelport 13, der ebenfalls parallel zum Beleuchtungsstrahlengang 2a im Gehäuse 12 angeordnet ist. Der Reflektor 15 für sichtbares Licht lässt nur noch den Infrarotanteil des Beleuchtungslichts in Richtung des Beleuchtungsstrahlengangs 2a innerhalb des Gehäuses 12 des Filtersystems 4 passieren. Dem Reflektor 15 für sichtbares Licht ist ein Spiegel 16 nachgeordnet, der für Infrarotlicht tauglich ausgestaltet ist. Der Spiegel 16 ist ebenfalls unter einem stumpfen Winkel bezüglich des Beleuchtungsstrahlengangs 2a angeordnet, und reflektiert somit den Rest des Beleuchtungslichts auf einen weiteren Auskoppelport 13, der ebenfalls parallel zum Beleuchtungsstrahlengang 2a im Gehäuse 12 vorgesehen ist.
  • Die Reflektionsfilter 8a, 8b, 8c, 8d sowie der weitere Reflektionsfilter 10, der Reflektor 15 und der Spiegel 16 sind derart im Gehäuse 12 des Filtersystems 4 angeordnet, dass die ausgewählten Wellenlängen jeweils an verschiedenen Orten das Gehäuse 12 des Filtersystems 4 verlassen. Dadurch erzielt man eine räumliche Auftrennung der Wellenlängen beziehungsweise Wellenlängenbereiche und kann diese einem weiteren System zur Verarbeitung beziehungsweise Beleuchtung zuführen.
  • 2 zeigt eine schematische Darstellung der Beleuchtungsvorrichtung 1 in Verbindung mit einem optischen System 5. Wie in 1 beschrieben ist, wird das Licht der Lichtquelle 2 im Gehäuse 12 des Filtersystems 4 in entsprechender Weise in Wellenlängen beziehungsweise Wellenlängenbereiche aufgespaltet und räumlich von einander getrennt. Das Gehäuse 12 des Filtersystems 4 besitzt mehrere Ausgangsports 13. Von der Beleuchtungsvorrichtung 1 wird das hinsichtlich der Wellenlängen beziehungsweise Wellenlängenbereiche räumlich getrennte Licht von der Beleuchtungsvorrichtung 1 zum optischen System 5 jeweils mittels eines Lichtleitmittels 22 transportiert. Das Lichtleitmittel 22 kann als Lichtleitfaser ausgestaltet sein. Ferner kann das Lichtleitmittel in Form einer Spiegelanordnung realisiert sein. Dem optischen System 5 ist ein Kombinationsmittel 28 zugeordnet, dass die räumlich getrennt transportierten Wellenlängen beziehungsweise Wellenlängenbereiche in einen Beleuchtungsstrahlengang des optischen Systems zusammenfasst. Dabei besitzt das Kombinationsmittel entsprechende Auswahlmittel, mit denen beliebige Kombinationen der Wellenlängen beziehungsweise Wellenlängenbereiche für die Beleuchtung einer Probe 26 im optischen System durchgeführt werden können. Das optische System umfasst mindestens ein Mikroskopobjektiv 24, über das die Probe beobachtet beziehungsweise untersucht werden kann. In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist das optische System 5 als Mikroskop ausgebildet.
  • 1
    Beleuchtungsvorrichtung
    2
    Lichtquelle
    2a
    Beleuchtungsstrahlengang
    4
    Filtersystem
    5
    optisches System
    7
    ausgewählte Wellenlänge
    8a
    Reflexionsfilter
    8b
    Reflexionsfilter
    8c
    Reflexionsfilter
    8d
    Reflexionsfilter
    10
    weiterer Reflexionsfilter
    12
    Gehäuse
    13
    Auskoppelport
    15
    Reflektor für sichtbares Licht
    16
    Spiegel
    20
    optisches System
    22
    Lichtleitmittel
    24
    Mikroskopobjektiv
    26
    Probe
    28
    Kombinationsmittel

Claims (12)

  1. Beleuchtungsvorrichtung (1) für ein optisches System (5) mit einer Lichtquelle (2), die breitbandiges Licht in einen Beleuchtungsstrahlengang (2a) emittiert, einem der Lichtquelle nachgeschaltetes Filtersystem (4), mit dem mehrere Wellenlängen bzw. Wellenlängenbereiche trennbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass das Filtersystem (4) derart angeordnet ist, dass alle getrennten Wellenlängen bzw. Wellenlängenbereiche für eine spätere gleichzeitige Nutzung im optischen System (5) zur Verfügung stehen, und dass eine ausgewählte Wellenlänge (7) über mehrere Reflexionsfilter (8a, 8b, 8c, 8d) derart führbar ist, dass sie das Filtersystem (4) parallel zum Beleuchtungsstrahlengang (2a) verlässt.
  2. Beleuchtungsvorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die mehreren Reflexionsfilter (8a, 8b, 8c, 8d) aus einem ersten, einem zweiten, einem dritten und einem vierten Single-Line-Notch-Filter bestehen, die derart angeordnet sind, dass die ausgewählte Wellenlänge (7) das Filtersystem (4) kolinear zum Beleuchtungsstrahlengang (2a) verlässt.
  3. Beleuchtungsvorrichtung (1) nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die mehreren Reflexionsfilter (8a, 8b, 8c, 8d) als Single-Line-Notch-Filter für eine Wellenlänge von 248 nm ausgestaltet sind.
  4. Beleuchtungsvorrichtung (1) nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass im Beleuchtungsstrahlengang (2a) dem ersten Single-Line-Notch-Filter für eine Wellenlänge von 248 nm ein weiterer Single-Line-Notch-Filter (10) nachgeschaltet ist.
  5. Beleuchtungsvorrichtung (1) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der weitere Single-Line-Notch-Filter (10) für die Wellenlänge von 365 nm ausgestaltet ist.
  6. Beleuchtungsvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Single-Line-Notch-Filter derart ausgestaltet sind, dass sie 99% des Lichts der Wellenlänge für die sie ausgestaltet sind reflektieren und das jeweils längerwellige Licht ungehindert durchlassen.
  7. Beleuchtungsvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Filtersystem (4) in einem Gehäuse (12) vorgesehen ist, wobei das Gehäuse (12) mit mehreren Auskoppelports (13) für die jeweils verschiedenen Wellenlängen bzw. Wellenlängenbereiche ausgestattet ist.
  8. Beleuchtungsvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die ausgewählte Wellenlänge bzw. der Wellenlängenbereich vom Gehäuse (12) des Filtersystems (4) zum optischen Systems (5) über Lichtleitmittel (22) transportierbar ist.
  9. Beleuchtungsvorrichtung (1) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Lichtleitmittel (22) für den Transport der ausgewählten Wellenlängen bzw. der Wellenlängenbereiche in Form von Lichtleitfasern ausgestaltet ist.
  10. Beleuchtungsvorrichtung (1) nach Anspruch 8 dadurch gekennzeichnet, dass das Lichtleitmittel (22) für den Transport der ausgewählten Wellenlängen bzw. der Wellenlängenbereiche in Form einer Spiegelanordnung ausgestaltet ist.
  11. Beleuchtungsvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass das optische System (5) zumindest ein Mikroskopobjektiv (24) zur Beobachtung einer Probe (26) umfasst.
  12. Beleuchtungsvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass das optische System (5) ein Mikroskop ist.
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