DE10259443A1 - Verfahren und Anordnung zur optischen Untersuchung und/oder Bearbeitung einer Probe - Google Patents
Verfahren und Anordnung zur optischen Untersuchung und/oder Bearbeitung einer Probe Download PDFInfo
- Publication number
- DE10259443A1 DE10259443A1 DE10259443A DE10259443A DE10259443A1 DE 10259443 A1 DE10259443 A1 DE 10259443A1 DE 10259443 A DE10259443 A DE 10259443A DE 10259443 A DE10259443 A DE 10259443A DE 10259443 A1 DE10259443 A1 DE 10259443A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sample
- arrangement according
- spectral components
- light
- pulse
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 49
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 11
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 claims description 11
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 7
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 210000004087 cornea Anatomy 0.000 claims 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 claims 1
- 238000004621 scanning probe microscopy Methods 0.000 claims 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 18
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 15
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 9
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 6
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000009931 harmful effect Effects 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 2
- 101100183260 Schizosaccharomyces pombe (strain 972 / ATCC 24843) mdb1 gene Proteins 0.000 description 1
- 229910003069 TeO2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000000799 fluorescence microscopy Methods 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 239000005337 ground glass Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000002372 labelling Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000009022 nonlinear effect Effects 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000007017 scission Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- LAJZODKXOMJMPK-UHFFFAOYSA-N tellurium dioxide Chemical compound O=[Te]=O LAJZODKXOMJMPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0052—Optical details of the image generation
- G02B21/0076—Optical details of the image generation arrangements using fluorescence or luminescence
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0032—Optical details of illumination, e.g. light-sources, pinholes, beam splitters, slits, fibers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
Verfahren und Anordnung zur optischen Untersuchung und/oder Bearbeitung einer Probe, mit Mitteln zur Erzeugung eines Beleuchtungslichtes, diesen nachgeordneten Mitteln zur spektralen Aufspaltung des Beleuchtungslichtes zur Erzeugung räumlich getrennter Spektralkomponenten, Mitteln zur Parallelisierung des aufgespaltenen Beleuchtungslichtes, Mitteln zur Fokussierung des Beleuchtungslichtes auf oder in die Probe, wobei die Spektralkomponenten überlagert werden, sowie Mittel zur Detektion des Probenlichtes, vorteilhaft mit Mitteln zur Erzeugung eines kurzpulsigen Beleuchtungslichtes, diesen nachgeordneten Mitteln zur spektralen Aufspaltung des Beleuchtungslichtes zur Erzeugung räumlich getrennter Spektralkomponenten mit Pulslängen, die größer sind als die Pulslänge der Beleuchtungslichtquelle, wobei diese in der Probe wieder vereinigt werden.
Description
- Stand der Technik:
- In der Mikroskopie zur Untersuchung von z.B. biologischen Präparaten werden heutzutage immer häufiger nichtlineare Kontraste, wie die Multi-Photonen Absorption oder die Erzeugung der zweiten Harmonischen (SHG) eingesetzt. Um die zur Anregung von nichtlinearen Effekten nötige Energie bereitzustellen, ist es vorteilhaft Kurzpulslaser einzusetzen. Dabei sollte die Pulsspitzenleistung möglichst groß und damit die Pulslänge am Ort der Probe möglichst klein sein, um eine gleichzeitige Schädigung der Präparate zu verhindern. Kurzpulslaser liefern beispielsweise Lichtimpulse mit einer Pulslänge von einigen 10fs bei einer Repetitionsrate von mehreren 10 MHz. Sie haben dadurch den Vorteil äußerst hohe Pulsspitzenenergien bei gleichzeitig geringer mittlerer Leistung zu emittieren.
- Nachteilig ist, dass sich die kurzen Pulse auf dem Weg durch das Mikroskop zur Probe durch die Gruppengeschwindigkeitsdispersion (GVD) verändern – im Normalfall werden sie länger.
- Zur Kompensation der Pulsverlängerung wurden in entsprechende Anordnungen vorgeschlagen (
DE19827139A1 ,DE19744302A1 ,DE19930532A1 ). - Die beschriebenen Vorrichtungen sind im wesentlichen nur zur Kompensation der Dispersion 2. Ordnung geeignet. Somit sind sie nicht ausreichend falls auch Dispersionen höherer Ordnungen auftreten, d.h. die Pulsverlängerung kann dann nicht komplett kompensiert werden. In den z.B. biologischen Präparaten ist jedoch mit nicht vorher bestimmbaren Dispersionen höherer Ordnungen zu rechnen. Weiterhin treten in den optischen Komponenten in einem Mikroskop Dispersionen höherer Ordnung auf. Somit ist es mit den herkömmlichen Techniken nicht möglich, optimale Bedingungen zur Anregung der nichtlinearen Kontraste schaffen.
- Ein weiterer Nachteil ist, dass durch die hohen Pulsspitzenleistungen bzw. Pulsspitzenintensitäten die Proben außerhalb des Bereichs in dem eine Probenwechselwirkung gewünscht ist geschädigt bzw. die Optiken der Mikroskopanordnung beschädigt werden können.
- In konventionellen Fluoreszenzmikroskopie werden verschiedene Farbstoffe zur spezifischen Markierung von biologischen Präparaten eingesetzt. Diese Farbstoffe werden anschließend mit unterschiedlichen Lichtwellenlängen angeregt. Durch den Einsatz der Multiphotonen-Anregung erfolgt bei solchen Präparaten meist eine simultane Anregung der verschiedenen Farbstoffe. Dies ist einerseits ein Vorteil, da man nur noch eine Lichtwellenlänge zur Anregung benötigt. Andererseits ist es von Nachteil, wenn sich die Emissionswellenlängenbänder der einzelnen Farbstoffe überlagern, da die Farbstoffe dann nicht mehr spektral getrennt werden können.
- Die Nachteile sollen durch die Erfindung behoben werden.
- Dies erfolgt durch die in den unabhängigen Ansprüchen angegebenen Mittel und Verfahrensschritte.
- Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der Unteransprüche.
- Durch die Erfindung ist es vorteilhaft möglich, über einen Rückkopplungsprozess die Amplituden- und/oder Phasenmodulation der Lichtpulse in einer Fourierebene so zu variieren, dass eine entsprechende Messgröße (z.B. das Zweiphotonen-Fluoreszenzsignal) in einem Mikroskop optimiert wird. Weiterhin ist es mit den erfindungsgemäßen Anordnungen möglich, hohe Pulsspitzenleistungen am Ort der Probe zu erzielen ohne hierdurch schädliche Effekte, in der Mikroskopanordnung bzw. in Schichten außerhalb des Fokalbereiches in dem die Messgröße angeregt werden soll, verursacht werden. Durch die Anordnung kann auch eine variable Anpassung des Strahlquerschnitts zur optimalen Füllung der in die Probe fokussierenden Optik erfolgen.
- Beschreibung der Erfindung
- In
1 ist das Grundprinzip der Erfindung schematisch dargestellt. - Eine Kurzpulslichtquelle LQ sendet kohärentes (Kurzpulslaser) oder zeitlich inkohärentes Licht (Breitband oder Weißlichtquelle) aus, das, vorteilhaft kollimiert, auf ein erstes dispersives Element D1, beispielsweise ein Prisma oder Gitter gelangt.
- Das dispersive Element zerlegt die ankommende Strahlung um ihre Mittenwellenlänge spektral, so dass die spektralen Komponenten, hier als I1-I5 dargestellt, jedes Lichtpulses räumlich getrennt werden.
- Ein zweites dispersives Element D2 weist eine im wesentlichen gleiche Charakteristik bezüglich der spektralen Zerlegung auf, ist aber zum ersten Element D1 räumlich entgegengesetzt angeordnet.
- Hierdurch verläuft das Licht wieder parallel (kollimiert), jedoch immer noch spektral räumlich zerlegt und durchläuft eine Anordnung zur scannenden optischen Abtastung einer Probe T (
1 ), die hier nur schematisch mit einem X/Y Scanner SC und einer Objektivlinse O angedeutet ist. Die Scanner X/Y liegen hierbei in der Nähe der rückwärtigen Pupille des Objektivs O. Dies ist durch die Bezeichnung der Brennweite f der Objektivs schematisch angedeutet. - Über das Objektiv wird die Strahlung wieder in Richtung der Probe T gebündelt. Das heißt, dass die spektrale Zerlegung im Fokus des Objektives O wieder aufgehoben wird und der Lichtpuls der Lichtquelle LQ dadurch rekonstruiert wird.
- Zwischen dem Element D1 und dem Objekt T liegen somit keine kurzen Pulse vor, da die Spektralkomponenten nicht räumlich überlappen. Die Länge der Lichtpulse im Bereich zwischen D1 und O hängt von der räumlich spektralen Auflösung der Aufspaltung der Lichtpulse ab.
- Ein Vorteil einer derartigen Anordnung ist es, dass die von den Lichtpulsen durchlaufene Optik zumindest im Bereich
3 nicht vor Beschädigung durch sehr kurze Pulse bzw. durch sehr hohe Pulsspitzenleistungen geschützt werden muss Es treten die hohen Pulsspitzenleistungen erst unmittelbar am Ort der Probenwechselwirkung, d.h. im Fokalbereich, in dem auch beispielsweise eine nichtlineare Probenwechselwirkung (z.B. Zweiphotonen-Fluoreszenzanregung) mit einem Farbstoff durchgeführt wird, auf. Hierdurch werden die Proben vor Schädigung zumindest außerhalb des Bereich in dem die Probenwechselwirkung durchgeführt werden soll geschützt. Zum anderen kann eine bessere Korrektur der optischen Anordnung zur Abbildung in die Probe erzielt werden, da eine größere Vielfalt der verwendbaren Materialien und optischen Schichten vorhanden ist. Somit können auch Kosten gespart werden. - Ein weiterer Vorteil ist, dass Mittel zur räumlich unterschiedlichen Beeinflussung der Lichtpulse wie beispielsweise Phasenplatten PP im kollimierten Strahlengang, beispielsweise vor dem Scanner SC eingefügt werden können. Die Phasenplatten weisen in bestimmten Bereichen eine unterschiedliche Dicke entlang ihres Querschnitts zur Änderung der optischen Brechzahl auf, so dass bestimmte Spektralkomponenten in Bezug zu anderen Spektralkomponenten zeitlich verzögert werden. Hierdurch können die Gruppengeschwindigkeitsdispersion GVD der Optiken im gesamten Strahlgang von der Lichtquelle LQ bis zur Probe T einschließlich zusätzlicher Glasmaterialen OM kompensiert werden.
- Durch Verwendung mehrerer derartiger Phasenplatten unterschiedlicher Form, können die Lichtpulse bezüglich ihrer Form beeinflusst werden. Die Einstellung der Phasen der räumlich separierten Anteile zueinander kann auch flexibel beispielsweise mit einem Spatial Light Modulator SLM erfolgen, der einzeln ansteuerbare Elemente (vorteilhaft in Matrixform) aufweist und anstatt oder zusätzlich in der Nähe von PP im Strahlengang angeordnet wird.
- Ein weiterer Vorteil ist, dass die Elemente D1 und D2 zur variablen Strahlaufweitung verwendet werden können. Hierzu wird der Abstand der Elemente D1 und D2 verändert, wodurch sich eine vom Abstand der Elemente (siehe auch
3a ,4a ,6a – S1 und S2) je nach Ausführung der Elemente D1 und D2 zumindest in einer Raumrichtung abhängige Strahlaufweitung ergibt. - Vorzugsweise im parallelen Strahlengang, vorteilhaft zwischen D2 und Scanner SC Kann über einen Strahlteiler mindestens eine weitere Lichtquelle, beispielsweise zur parallelen Erfassung des Reflektionslichtes der Probe durch unten beschriebene weitere Detektoren, eingekoppelt werden.
- In
2 ist eine Anordnung wie in einem Laser- Scanning- Mikroskop dargestellt, mit Pinholeoptik PO, Pinhole PH, Detektoren DE1 und DE2 sowie einem ersten dichroitischen Strahlteiler (Hauptfarbteiler) MDB 1 zur Auskopplung des Detektionslichts aus dem Beleuchtungsstrahlengang nach den Scannern SC (descannte Detektion), einer Scanoptik SO, einem Zwischenbild ZB, einer Tubuslinse sowie einem weiteren Detektionsstrahlengang zur nicht- descannten Detektion DE3. Die Ausspiegelung des nicht descannten Detektionslichts erfolgt hierbei über einen weiteren dichroitischen Strahlteiler MDB2. Die zusätzliche Aufteilung des Detektionslichts in mehrere Detektionskanäle kann durch die Verwendung eines weiteren dichroitischen Strahlteilers beispielsweise für zwei Kanäle DE1 und DE2 mit MDB3 erfolgen. Vor den Detektoren werden zur Messung eines Fluoreszenzsignals entsprechende Filter vorteilhaft zwischen den MDB und den DE eingeschwenkt. - P ist hierbei die Pupille des Mikroskopobjektivs O. In einer zu dieser Ebene konjugierten weiteren Pupillenebene der Mikroskopanordnung befinden sich die Scanner SC zum Abrastern der Probe.
- Die Einheit zur spektral räumlichen Aufspaltung der Spektralkomponenten der Lichtquelle DISP besteht aus den bereits oben erläuterten Elementen D1 und D2. Sie befindet sich im kollimierten Strahlengang vorteilhaft zwischen Lichtquelle und dem MDB1 und bewirkt neben der spektral räumlichen Aufspaltung der Spektralkomponenten der Lichtpulse eine Strahlaufweitung der Lichtquelle zur optimalen Füllung der Pupille P. Die Einheit DISP wirkt im allgemeinen zusätzlich wie eine Prechirpeinheit, d.h. sie kann zur Kompensation zumindest eines Anteils der GVD der Mikroskopoptik eingesetzt werden. Die Einstellbarkeit der Kompensation ist anhand von
11 dargestellt. - Eine Kompensation der verbleibenden GVD kann mit Hilfe der Phasenplatte PP ( siehe auch weiter oben) im kollimierten Strahlengang, beispielsweise vor dem Scanner SC, erfolgen, die unterschiedliche Dicke über ihren Querschnitt aufweist, z.B. eine Krümmung mindestens einer Seitenfläche der Platte oder beider Seitenflächen oder eine Keilform aufweist.
- Die Krümmung ist so eingestellt, dass die verbleibende GVD der Optiken im Strahlengang von Lichtquelle LQ bis Probe T kompensiert wird und somit bandbreitenbegrenzte Pulslängen durch zeitliche Verzögerung einzelner Spektralkomponenten der Lichtpulse, d.h. die kürzest möglichen Pulslängen am Ort der Probe auftreten.
- Durch Verwendung mehrerer derartiger Phasenplatten, mit unterschiedlichen Krümmungen, kann der Puls bezüglich seiner Form weiter beeinflusst werden. In einem Mikroskop ist die Beeinflussung aufgrund der Wirkung der folgenden Faktoren nötig, wodurch die Pulslänge durch der Einfluss am Ort der Probe meist nicht mehr bandbreitenbegrenzt ist, d.h. längere Pulse auftreten:
Durch die Glasmaterialien aus denen die optischen Elemente im Mikroskop gefertigt sind. Eine Kompensation kann hier stationär erfolgen. - Durch das Präparat an sich. Die Pulsverlängerung ist hier abhängig von der Eindringtiefe in das Präparat. Weiterhin wird die Pulsverbreiterung durch Dispersionen höherer Ordnung erzeugt. Deshalb muss hier die Kompensation für jede spektrale Komponente einzeln und in Echtzeit erfolgen.
– Durch die Änderung der Wellenlänge
– Durch die Änderung der mittleren Leistung, falls zusätzliche nichtlineare Prozesse wie Selbstphasen Modulation in Glasfasern auftreten. - Die Verwendung eines SLM ist deshalb besonders vorteilhaft und es kann wie bereits oben beschrieben die Einstellung der Phasen der räumlich separierten Anteile zueinander flexibel durch einzeln ansteuerbare Elemente (vorteilhaft in Matrixform) erfolgen. Die Ansteuerung der Elemente erfolgt in Abhängigkeit von den o.g. Größen durch die Regelung vorteilhaft in Echtzeit, wobei als Messgröße beispielsweise ein Zweiphotonen-Fluoreszenzsignal, das in der Probe T angeregt wird, fungiert. Durch die entsprechende Regelung wird in den meisten Fällen eine Optimierung der Pulslänge am Ort der Probenwechselwirkung erreicht.
- Weiterhin sind die Wechselwirkungsquerschnitte der verwendeten Farbstoffe abhängig von dem zeitlichen Verhalten der Lichtpulse. Somit ist es möglich das Fluoreszenzsignal für einzelne Farbstoffe zu optimieren, wobei die Fluoreszenz anderer Farbstoffe gleichzeitig unterdrückt wird. Es besteht also die Möglichkeit durch die Rückkopplung der Messgröße (hier das Zweiphotonen-Fluoreszenzsignal) das zeitliche Verhalten der Lichtpulse durch Phasen- oder Amplitudenmodulation so einzustellen, dass die entsprechende Messgröße optimiert wird.
- In
3a und4a sind beispielhaft Anordnungen für die Einheit zur spektral räumlichen Aufspaltung der Spektralkomponenten der Lichtquelle DISP, d.h. für D1 und D2 beschrieben.3 zeigt zwei Axicons A1, A2, wobei A1 beispielsweise von der Spitze her beleuchtet wird. Die Axicons sind so angeordnet und ausgebildet, dass das erste Axicon eine Winkeldispersion einführt, die vom zweiten Axicon wieder kompensiert wird, so dass in Strahlrichtung nach dem zweiten Axicon wieder ein Parallelstrahl vorliegt. - Das heißt vorzugsweise, daß D2 so aufgebaut ist, daß es mit D1 zusammen eine Planplattenwirkung hat, im konkreten Fall heißt das, daß D1 eine Planplatte mit einer prismatischen oder axiconförmigen Ausnehmung aufweist, in die D2 (theoretisch) hineinpaßt und mit D1 eine Planplatte bildet.
- Die Axicons können aus prismatisch geschliffenen Glasplatten (refraktive Elemente) oder zur Erhöhung der Winkeldispersion aus diffraktiven Elementen z.B. ringförmigen Gitterstrukturen bestehen. Zur Definition des Axicon wird insbesondere auf http://www.sciner.com/Opticsland/axicon.htm verwiesen.
-
4 zeigt eine Anordnung mit zwei Prismen P1, P2, wobei P1 beispielsweise von der Spitze her beleuchtet wird. ausgebildet, dass das erste Prisma wiederum eine Winkeldispersion einführt, die vom zweiten Prisma kompensiert wird, so dass in Strahlrichtung nach dem zweiten Prisma wieder ein Parallelstrahl vorliegt. - Zum Aufbau siehe Bemerkungen zu
3 . - In
3b ,4b ist jeweils die Strahlverteilung vor dem ersten Element und in3c ,4c nach dem zweiten Element dargestellt. - Bei Verwendung von Prismen liegen die Spektralanteile I1, I2.... aufgespaltet nebeneinander in einer Zeile, bei Verwendung von Axicons ringförmig in mehreren Ebenen, wobei jede Spektralkomponente einen bestimmten Ring ausfüllt.
- Mit den Pfeilen S1, S2 ist eine über eine nicht dargestellte Steuereinheit angesteuerte ggf. auch gekoppelte Bewegung der beiden dispersiven Elemente zueinander bzw. voneinander weg angedeutet. Diese Verschiebung bewirkt neben der bereits erläuterten Anpassung der Strahlaufweitung zusätzlich eine Änderung der Pulslänge am Ort der Probe T (siehe z.B.
DE 19744302A1 ,DE19930532A1 , ohne Aufhebung der räumlichen Separierung). - Erfindungsgemäß kann die beschriebene Einstellung der Pulsform zusätzlich auch in Verbindung mit anderen Steuerfunktionen des Mikroskops, beispielsweise zur Veränderung der spektralen Zusammensetzung der Beleuchtung und/oder der Intensität (
DE19829981 A1 ) während der Bildaufnahme für bestimmte Probenbereiche, erfolgen. Die Steuerung erfolgt über die zentrale Ansteuereinheit des Mikroskops. - Bei einer Änderung der Mittenwellenlänge der Lichtquelle kann eine vorgespeicherte Neueinstellung der Elemente D1 und D2 zueinander erfolgen.
- In
5 ist eine weitere Ausbildung der Einheit DISP mit Geradsichtprismen GP, die auch Amici-Prismen genannt werden, dargestellt. Das Geradsichtprisma erzeugt hierbei eine feste nicht einstellbare räumliche Aufspaltung der Spektralkomponenten der Lichtquelle und damit auch eine feste Strahlaufweitung. Die Spektralkomponenten der Lichtpulse sind im Anschluss wieder räumlich parallel ausgerichtet. - Vorteilhaft bei dieser Anordnung der DISP ist, dass eine hohe Transmission und ein mechanisch stabiler Aufbau besonders einfach realisiert werden kann.
-
6 zeigt einer weitere Anordnung mit zwei Transmissionsgittern. Der Strahlverlauf ist im wesentlichen äquivalent der Anordnung aus4 . Durch den Einsatz der Gitter kann jedoch die Winkeldispersion erhöht werden. Bei Verwendung von Gittern ergibt sich zusätzlich auf der optischen Achse die nullte Beugungsordnung des Gitters, die in der Abbildungen mit 0 bezeichnet ist. - Die erste Beugungsordnung nach dem ersten Transmissionsgitter geht in die negative Beugungsordnung des zweiten Gitters ein. Die Winkeldispersion wird dadurch aufgehoben, die Strahlen bleiben aber räumlich getrennt.
- Neben den in den
3 bis6 gezeigten Anordnungen zur beispielhaften Ausbildung der Elemente D1 und D2 können prinzipiell auch reflektierende Elemente wie Reflexionsgitter oder Elemente die neben der Winkeldispersion auch eine Ablenkung einführen (wie z.B. Dispersionsprismen – Teilbild A oder Reflexionsgitter – Teilbild B) eingesetzt werden (siehe auchDE19744302A1 ). -
11 zeigt solche Anordnungen schematisch. Bei diesen Anordnungen muss, bei einer Änderung der Mittenwellenlänge nicht nur die dispersiven Elemente selbst D1 und D2 relativ zueinander bewegt werden sondern entweder der Strahlengang ab der Lichtquelle LQ bis einschließlich D1 oder D2 bis einschließlich der Probe T. Die Bewegung B erfolgt wie durch Pfeile angedeutet, hierbei senkrecht zur optischen Achse, die ausgehend von der Lichtquelle gebildet wird. -
7 zeigt die auf eins normierte laterale Intensitätsverteilung im Fokus, d.h. am Ort der Probe T. Eingezeichnet ist die Referenzverteilung (1 ) für eine Beleuchtung nach dem Stand der Technik, wobei alle Spektralkomponenten der Lichtquelle die Pupille der in die Probe fokussierenden Optik gleichmäßig ausleuchten. - Zum Vergleich ist die Intensitätsverteilung für eine Beleuchtung der Pupille mit einer erfindungsgemäßen Anordnung nach
3 eingezeichnet (2 ). Zu erkennen ist, dass die Kurve (2 ) nur unwesentlich von der Referenzkurve (1 ) abweicht und somit insbesondere in einem Multiphotonenmikroskopie eine vergleichbare optische Auflösung erzielbar ist. -
8 zeigt die auf eins normierte Intensitätsverteilung im Fokus und auf der optischen Achse in Abhängigkeit von der Zeit (Pulsverteilung) beispielhaft für die Ausbildung der Elemente D1 und D2 nach3 . P1 stellt die Pulsverteilung am Laserausgang dar. P2 ist die Pulslänge zwischen dem dispersiven Element D1 und der Probe T. In der Kurve P3 ist die Pulsverteilung am Ort der Probe T dargestellt. Man erkennt, dass zwischen dem Element D1 und der Probe T eine (im gezeigten Zeitfenster) nahezu konstante Laserintensität mit folglich geringer Spitzenintensität vorliegt. Somit sind in diesem Bereich die Pulsspitzenleistungen gering. Jedoch am Ort der Probe, d.h. nach der räumlichen Überlagerung der Spektralkomponenten ergibt sich eine Pulsverteilung, die nahezu identisch der Pulsverteilung am Laserausgang ist. -
9 zeigt schematisch eine weitere Anordnung in einem Laser Scanning Mikroskop. Sie ist im wesentlichen identisch zur Anordnung gemäß2 . Jedoch ist zwischen der Lichtquelle LQ und dem ersten dispersiven Element D1 eine single mode Glasfaser (FIBER) mit zwei Optiken zur Einkopplung in die Glasfaser und ein zusätzliches dispersives Element D vorgesehen. Das dispersive Element kann im einfachsten Falle ein Block mit einem hoch dispersiven Glasmaterial oder Kristall wie TeO2 sein. In diesem Falle ist jedoch beispielsweise am Ort PP eine entsprechende Kompensation der Gesamtdispersion GVD der optischen Anordnung zwischen Lichtquelle LQ und Probe T vorzusehen. Die dispersive Einheit D kann auch einstellbar gemäßDE19744302A1 ,DE19930532A1 , ausgebildet werden. Hierbei kann dann die Phasenplatte bzw. flexible Einheit am Ort PP entfallen, da dann die Einheit D die gesamte Kompensation der GVD vornehmen kann. Vorteilhaft bei den Anordnungen gemäß9 ist, dass die durch die Elemente D1 und D2 eingefügte GVD entsprechend zur Kompensation der Selbstphasenmodulation SPM, die bei hohen Intensitäten in der Glasfaser auftreten kann, genutzt werden kann. Besonders vorteilhaft bei der hier beschriebenen Anordnung ist, dass die Dispersion verursacht durch die Elemente D1 und D2 wesentlich höher gewählt werden kann. Hierdurch erhöht sich die durch die Glasfaser koppelbare mittlere Leistung und damit die am Ort der Probe T erzielbare Spitzenintensität. Für eine Beschreibung des Zusammenspiels der Wirkungen von D, FIBER und D1/D2 wird aufDE19827239A1 verwiesen. -
10 zeigt einen weiteren Aufbau eines Laser Scanning Mikroskops mit einer Glasfaser. Hierbei befindet sich im Gegensatz zu9 ein Glasfaserbündel FB zwischen den Elementen D1 und D2. In die Glasfasern wird das Licht mit Hilfe von 2 Linsen L1 und L2 ein- bzw. ausgekoppelt. Im einem Brennpunkt der Linsen L1 und L2 befinden sich jeweils die Glasfasen und im verbleibenden die dispersiven Elemente D1 und D2. Die Brennweiten der Linsen müssen nicht identisch sein. Jedoch muss bei ungleicher Wahl der Brennweite das Gitter D2 entsprechend angepasst werden. Die Geometrie des Faserbündels ergibt sich aus der Wahl der dispersiven Elemente D1 und D2. Wird beispielsweise ein Element entsprechend3 verwendet, dann muss das Faserbündel einen kreisförmigen Querschnitt entsprechend10a ausweisen. Bei Verwendung von Elementen entsprechend4 bis6 müssen die einzelnen Fasern in einer Reihe im Faserbündel angeordnet werden.10a /b zeigt schematisch Faserbündel, wobei beispielhaft einzelne Fasern schwarz eingezeichnet sind. Vor den einzelnen Fasern können auch Mikrolinsen zu effizienteren Einkopplung in die Faser angeordnet werden. - Aufgrund der Wirkung von D1 werden in jede Faser nur bestimmte Spektralbereiche eingekoppelt, so dass die Faser keine oder nur sehr lange Pulse und damit nur geringe Pulsspitzenleistungen bzw. Pulsspitzenintensitäten sieht, die sonst zu schädlichen Effekten insbesondere in den Glasfasern führen können. Somit können durch die Fasern wesentlich höhere mittlere Leistungen ohne Veränderung der Pulsform geleitet werden.
- Die aus dem Glasfaserbündel ausgekoppelten Spektralkomponenten werden mit L2 kollimiert, wobei sich die einzelnen Spektralanteile als Parallelbündel schneiden. Die verbleibende Winkeldispersion wird mit D2 wieder aufgehoben, wobei die Spektralkomponenten noch räumlich separiert bleiben. Die folgenden Optiken entsprechen den bereits anhand von
2 erläuterten Komponenten. Mit Hilfe der Verschiebung S2 entlang der optischen Achse kann wiederum die Ausleuchtung der in die Probe fokussierenden Optik angepasst werden. - Die Kompensation der Laufzeitunterschiede der einzelnen Spektralkomponenten und der Gruppengeschwindigkeitsdispersion GVD der Lichtpulse erfolgt mit Hilfe von PP vorzugsweise mit einer flexiblen Einheit (SLM) mit ansteuerbaren Elementen in linienförmiger oder matrixförmiger Anordnung.
- Durch die beschriebene Anordnung eines Glasfaserbündels entsteht eine neuartige vorteilhafte Anordnung mit einem Modul, bestehend aus der Lichtquelle, der spektralen Aufspaltung D1 und der Einkopplung in die Fasern und hinter dem Faserbündel dem Mikroskopmodul mit dem zweiten dispersiven Element D2, die auf diese Weise voneinander entkoppelt sind und einzeln austauschbar gestaltet werden können.
Claims (21)
- Verfahren zur optischen Untersuchung und/oder Bearbeitung einer Probe, mit einer Erzeugung eines kurzpulsigen Beleuchtungslichtes, einer spektralen Aufspaltung des Beleuchtungslichtes zur Erzeugung räumlich getrennter Spektralkomponenten mit Pulslängen, die größer sind als die Pulslänge der Beleuchtungslichtquelle, dem Durchlaufen der Spektralkomponenten durch eine Übertragungsoptik in Richtung der Probe, der Fokussierung des Beleuchtungslichtes auf oder in die Probe, wobei die Spektralkomponenten überlagert werden sowie der Detektion des Probenlichtes
2 .Verfahren nach Anspruch 1, wobei die räumlich getrennten Spektralkomponenten in ein Parallelstrahlbündel überführt werden. - Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Pulslänge der auf oder in die Probe fokussierten Spektralkomponenten kleiner ist als die Pulslänge der räumlich separierten Spektralkomponenten.
- Anordnung zur optischen Untersuchung und/oder Bearbeitung einer Probe bestehend aus: Mitteln zur Erzeugung eines Beleuchtungslichtes, diesen nachgeordnete Mittel zur spektralen Aufspaltung des Beleuchtungslichtes zur Erzeugung räumlich getrennter Spektralkomponenten, Mittel zur Parallelisierung des aufgespaltenen Beleuchtungslichtes, Mittel zur Fokussierung des Beleuchtungslichtes auf oder in die Probe, wobei die Spektralkomponenten überlagert werden sowie Mitteln zur Detektion des Probenlichtes.
- Anordnung zur optischen Untersuchung und/oder Bearbeitung einer Probe. bestehend aus: Mitteln zur Erzeugung eines kurzpulsigen Beleuchtungslichtes, diesen nachgeordneten Mitteln zur spektralen Aufspaltung des Beleuchtungslichtes zur Erzeugung räumlich getrennter Spektralkomponenten mit Pulslängen, die größer sind als die Pulslänge der Beleuchtungslichtquelle, einer Übertragungsoptik zur Übertragung der Spektralkomponenten in Richtung der Probe, Mitteln zur Fokussierung des Beleuchtungslichtes auf oder in die Probe, wobei die Spektralkomponenten überlagert werden. Mitteln zur Detektion des Probenlichtes.
- Anordnung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, wobei Mittel zur Überführung der räumlich getrennten Spektralkomponenten in ein Parallelstrahlbündel vorgesehen sind.
- Anordnung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Pulslänge der auf oder in die Probe fokussierten Spektralkomponenten kleiner ist als die Pulslänge der räumlich separierten Spektralkomponenten.
- Anordnung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, wobei zwischen der Lichtquelle und den Mitteln zur spektralen Aufspaltung vorzugsweise einstellbare Dispersionsmittel vorgesehen sind.
- Anordnung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, wobei eine Ein- und Auskopplung der Parallelstrahlbündel in ein Glasfaserbündel erfolgt.
- Anordnung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, wobei eine die spektrale Aufspaltung durch mindestens ein Prisma und/oder Axicon und/oder Transmissionsgitter und/oder Reflektionsgitter erfolgt.
- Anordnung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Überführung in ein Parallelstrahlbündel durch ein weiteres Prisma, oder ein weiteres Axicon oder ein weiteres Gitter erfolgt.
- Anordnung nach Anspruch 11, wobei wobei ein erstes und zweites Prisma oder Axicon so aufgebaut sind, daß sie gemeinsam eine Planplattenwirkung aufweisen.
- Anordnung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, wobei ein Geradsichtprisma zur Aufspaltung und Parallelisierung vorgesehen ist
- Anordnung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, wobei vorzugsweise im parallelen Strahlengang ein Kompensationselement zur Beeinflussung der Komponenten vorgesehen ist
- Anordnung nach Anspruch 14, wobei eine einstellbare Beeinflussung der Komponenten durch wechselbare optische Elemente mit unterschiedlichem Querschnittsverlauf und/oder einen Spatial Light Modulator (SLM) erfolgt.
- Verwendung einer Anordnung gemäß mindestens einem der vorangehenden Ansprüche in einem Fluoreszenzmikroskop.
- Verwendung einer Anordnung gemäß mindestens einem der vorangehenden Ansprüche in einem Multiphotonenmikroskop.
- Verwendung einer Anordnung gemäß mindestens einem der vorangehenden Ansprüche in einem Laser Scanning Mikroskop.
- Verwendung einer Anordnung gemäß mindestens einem der vorangehenden Ansprüche in der nichtlinearen Laserrastermikroskopie.
- Verwendung einer Anordnung gemäß mindestens einem der vorangehenden Ansprüche bei der Materialbearbeitung.
- Verwendung einer Anordnung gemäß mindestens einem der vorangehenden Ansprüche bei der Bearbeitung biologischen Gewebes.
- Verwendung einer Anordnung gemäß mindestens einem der vorangehenden Ansprüche bei der Bearbeitung der Augenhornhaut.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2002159443 DE10259443B4 (de) | 2002-12-19 | 2002-12-19 | Verfahren und Anordnung zur optischen Untersuchung und/oder Bearbeitung einer Probe |
JP2004561194A JP5228168B2 (ja) | 2002-12-19 | 2003-11-29 | 試料の光学的検査のための方法および装置 |
PCT/EP2003/013476 WO2004057401A1 (de) | 2002-12-19 | 2003-11-29 | Verfahren und anordnung zur optischen untersuchung und/oder bearbeitung einer probe |
US10/539,491 US7612884B2 (en) | 2002-12-19 | 2003-11-29 | Method and arrangement for optical examination or processing of a sample |
EP03767713A EP1573378A1 (de) | 2002-12-19 | 2003-11-29 | Verfahren und anordnung zur optischen untersuchung und/oder bearbeitung einer probe |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2002159443 DE10259443B4 (de) | 2002-12-19 | 2002-12-19 | Verfahren und Anordnung zur optischen Untersuchung und/oder Bearbeitung einer Probe |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10259443A1 true DE10259443A1 (de) | 2004-07-01 |
DE10259443B4 DE10259443B4 (de) | 2015-01-22 |
Family
ID=32403940
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2002159443 Expired - Fee Related DE10259443B4 (de) | 2002-12-19 | 2002-12-19 | Verfahren und Anordnung zur optischen Untersuchung und/oder Bearbeitung einer Probe |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7612884B2 (de) |
EP (1) | EP1573378A1 (de) |
JP (1) | JP5228168B2 (de) |
DE (1) | DE10259443B4 (de) |
WO (1) | WO2004057401A1 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011085766A1 (de) | 2009-12-22 | 2011-07-21 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Hochauflösendes mikroskop und verfahren zur zwei- oder dreidimensionalen positionsbestimmung von objekten |
CN102681157A (zh) * | 2011-02-24 | 2012-09-19 | 徕卡显微***复合显微镜有限公司 | 用于超连续谱激光脉冲的多种光谱颜色的脉冲组合器 |
DE102012200858A1 (de) * | 2012-01-20 | 2013-07-25 | Freie Universität Berlin | Laserpulsformungsverfahren |
DE102013004869A1 (de) * | 2013-03-21 | 2014-09-25 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Anordnung zur Ausbildung einer Strukturierung an Oberflächen von Bauteilen mit einem Laserstrahl sowie Verwendungen |
DE202016104447U1 (de) | 2016-07-21 | 2016-08-22 | Fibro Gmbh | Vorrichtung zum Ausführen eines Verfahrens zur Erzeugung und Detektieren einer fälschungssicheren Identifikation |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4869734B2 (ja) * | 2005-04-25 | 2012-02-08 | オリンパス株式会社 | 多光子励起走査型レーザ顕微鏡 |
DE102008041821A1 (de) * | 2008-09-04 | 2010-03-11 | Leica Microsystems (Schweiz) Ag | Videoadapter für eine Mikroskopkamera |
DE102008049878A1 (de) * | 2008-09-30 | 2010-04-01 | Carl Zeiss Microlmaging Gmbh | Verbesserte Verfahren und Vorrichtungen für die Mikroskopie mit strukturierter Beleuchtung |
US10551604B2 (en) * | 2016-05-27 | 2020-02-04 | Verily Life Sciences Llc | Spatial light modulator based hyperspectral confocal microscopes and methods of use |
CN109580582B (zh) * | 2018-12-12 | 2021-06-22 | 哈尔滨工业大学(威海) | 一种基于复合阿米西棱镜组的激光拉曼光谱仪 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19744302A1 (de) * | 1996-06-04 | 1999-04-15 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang |
DE19827139A1 (de) * | 1998-06-18 | 1999-12-23 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Mikroskop mit einem über eine Lichtleitfaser eingekoppelten Kurzpulslaser |
DE19829981A1 (de) * | 1998-07-04 | 2000-01-05 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Verfahren und Anordnung zur konfokalen Mikroskopie |
DE19835072A1 (de) * | 1998-08-04 | 2000-02-10 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Anordnung zur Beleuchtung und/oder Detektion in einem Mikroskop |
DE19930532A1 (de) * | 1999-06-30 | 2001-01-11 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Anordnung zur Optimierung der Pulsform in einem Laser-Scanning-Mikroskop |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1439519A1 (ru) | 1987-04-29 | 1988-11-23 | Войсковая часть 15644 | Устройство дл оптической фильтрации |
JPH05172741A (ja) * | 1991-12-26 | 1993-07-09 | Hitachi Ltd | 分光型走査顕微鏡 |
DE69418248T2 (de) * | 1993-06-03 | 1999-10-14 | Hamamatsu Photonics Kk | Optisches Laser-Abtastsystem mit Axikon |
WO1996023197A1 (en) * | 1995-01-24 | 1996-08-01 | Massachusetts Institute Of Technology | Device and method for time-resolved optical measurements |
JPH08334701A (ja) * | 1995-06-09 | 1996-12-17 | Olympus Optical Co Ltd | 照明光学系 |
US5648866A (en) | 1995-06-12 | 1997-07-15 | Sandia Corporation | Optimized achromatic phase-matching system and method |
DE19622359B4 (de) * | 1996-06-04 | 2007-11-22 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang |
US5995281A (en) | 1997-04-09 | 1999-11-30 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Device for coupling the radiation of short-pulse lasers in an optical beam path of a microscope |
JPH11101944A (ja) * | 1997-09-26 | 1999-04-13 | Satoru Toyooka | 光源装置 |
JP3779119B2 (ja) * | 2000-02-29 | 2006-05-24 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 高強度超短パルスレーザー加工方法 |
DE10016361B4 (de) | 2000-04-03 | 2010-08-26 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Optische Anordnung |
JP2002090638A (ja) * | 2000-09-20 | 2002-03-27 | Olympus Optical Co Ltd | レーザ走査型光学顕微鏡 |
JP4693972B2 (ja) * | 2000-09-29 | 2011-06-01 | オリンパス株式会社 | レーザ顕微鏡 |
JP2002158157A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Nikon Corp | 照明光学装置および露光装置並びにマイクロデバイスの製造方法 |
-
2002
- 2002-12-19 DE DE2002159443 patent/DE10259443B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-11-29 JP JP2004561194A patent/JP5228168B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-11-29 WO PCT/EP2003/013476 patent/WO2004057401A1/de active Application Filing
- 2003-11-29 US US10/539,491 patent/US7612884B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-11-29 EP EP03767713A patent/EP1573378A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19744302A1 (de) * | 1996-06-04 | 1999-04-15 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang |
DE19827139A1 (de) * | 1998-06-18 | 1999-12-23 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Mikroskop mit einem über eine Lichtleitfaser eingekoppelten Kurzpulslaser |
DE19829981A1 (de) * | 1998-07-04 | 2000-01-05 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Verfahren und Anordnung zur konfokalen Mikroskopie |
DE19835072A1 (de) * | 1998-08-04 | 2000-02-10 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Anordnung zur Beleuchtung und/oder Detektion in einem Mikroskop |
DE19930532A1 (de) * | 1999-06-30 | 2001-01-11 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Anordnung zur Optimierung der Pulsform in einem Laser-Scanning-Mikroskop |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011085766A1 (de) | 2009-12-22 | 2011-07-21 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Hochauflösendes mikroskop und verfahren zur zwei- oder dreidimensionalen positionsbestimmung von objekten |
DE102009060793A1 (de) | 2009-12-22 | 2011-07-28 | Carl Zeiss Microlmaging GmbH, 07745 | Hochauflösendes Mikroskop und Verfahren zur zwei- oder dreidimensionalen Positionsbestimmung von Objekten |
US9234846B2 (en) | 2009-12-22 | 2016-01-12 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | High-resolution microscope and method for determining the two- or three-dimensional positions of objects |
US8879148B2 (en) | 2011-02-24 | 2014-11-04 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Pulse combiner for the various spectral colors of a supercontinuum laser pulse |
EP2492737A3 (de) * | 2011-02-24 | 2012-12-05 | Leica Microsystems CMS GmbH | Pulsvereiniger für die verschiedenen Spektralfarben eines Superkontinuum-Lasers |
CN102681157A (zh) * | 2011-02-24 | 2012-09-19 | 徕卡显微***复合显微镜有限公司 | 用于超连续谱激光脉冲的多种光谱颜色的脉冲组合器 |
CN102681157B (zh) * | 2011-02-24 | 2016-09-21 | 徕卡显微***复合显微镜有限公司 | 用于超连续谱激光脉冲的多种光谱颜色的脉冲组合器 |
DE102012200858A1 (de) * | 2012-01-20 | 2013-07-25 | Freie Universität Berlin | Laserpulsformungsverfahren |
DE102013004869A1 (de) * | 2013-03-21 | 2014-09-25 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Anordnung zur Ausbildung einer Strukturierung an Oberflächen von Bauteilen mit einem Laserstrahl sowie Verwendungen |
DE102013004869B4 (de) * | 2013-03-21 | 2016-06-09 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zur Ausbildung einer Strukturierung an Oberflächen von Bauteilen mit einem Laserstrahl |
US9764424B2 (en) | 2013-03-21 | 2017-09-19 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Method and arrangement for forming a structuring on surfaces of components by means of a laser beam |
DE202016104447U1 (de) | 2016-07-21 | 2016-08-22 | Fibro Gmbh | Vorrichtung zum Ausführen eines Verfahrens zur Erzeugung und Detektieren einer fälschungssicheren Identifikation |
DE102016113513A1 (de) | 2016-07-21 | 2018-01-25 | Fibro Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung und Detektieren einer fälschungssicheren Identifikation |
WO2018015037A1 (de) | 2016-07-21 | 2018-01-25 | Fibro Gmbh | Vorrichtung und verfahren zur erzeugung und detektieren einer fälschungssicheren identifikation |
US11036950B2 (en) | 2016-07-21 | 2021-06-15 | Fibro Gmbh | Device and method for producing and detecting a forgery-proof identification |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060152791A1 (en) | 2006-07-13 |
DE10259443B4 (de) | 2015-01-22 |
WO2004057401A1 (de) | 2004-07-08 |
JP2006510886A (ja) | 2006-03-30 |
US7612884B2 (en) | 2009-11-03 |
JP5228168B2 (ja) | 2013-07-03 |
EP1573378A1 (de) | 2005-09-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19622359B4 (de) | Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang | |
EP2235577B1 (de) | Mikroskop | |
EP2860566B1 (de) | Hochauflösende Scanning-Mikroskopie | |
DE19733193B4 (de) | Mikroskop mit adaptiver Optik | |
DE19906757B4 (de) | Mikroskop | |
DE19930532C2 (de) | Anordnung zur Optimierung der Pulsform in einem Laser-Scanning-Mikroskop | |
EP3271772B1 (de) | Verfahren und anordnung zur lichtblattmikroskopischen untersuchung einer probe | |
EP1248132B1 (de) | Verfahren und Anordnung zur tiefenaufgelösten optischen Erfassung einer Probe | |
WO2013007591A1 (de) | Konfokales auflicht-rastermikroskop | |
EP1714187A1 (de) | Lichtquelle mit einem mikrostrukturierten optischen element | |
DE102006047913B4 (de) | Hochempfindliche spektralanalytische Einheit | |
EP1141763B2 (de) | Anordnung zur separierung von anregungs- und emissionslicht in einem mikroskop | |
DE102013227104A1 (de) | Scanmikroskop und akustooptischer Hauptstrahlteiler für ein Scanmikroskop | |
EP3290983A1 (de) | Verfahren zum justieren eines laserscanning-fluoreszenzmikroskops und laserscanning-fluoreszenzmikroskop mit einer automatischen justiervorrichtung | |
DE10259443B4 (de) | Verfahren und Anordnung zur optischen Untersuchung und/oder Bearbeitung einer Probe | |
EP3740802B1 (de) | Akustooptische vorrichtung und verfahren | |
EP1617272A1 (de) | Beleuchtungsvorrichtung für ein Lichtrastermikroskop mit Einheit zur Transformation der Beleuchtungsintensitätsverteilung | |
DE102022117536A1 (de) | Vorrichtung zur chromatisch konfokalen Messung von Abständen | |
EP1672404A1 (de) | Beleuchtungsvorrichtung für ein Lichtrastermikroskop mit linienförmiger Abtastung und ihre Verwendung | |
DE19744302B4 (de) | Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang | |
DE29609850U1 (de) | Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang | |
EP3997509B1 (de) | Mehrkanalige optomechanische adressiereinheit | |
DE10250014B4 (de) | Hochleistungspulsformer in Kompaktbauweise | |
WO2005059595A2 (de) | Vorrichtung zur erzeugung eines mehrere wellenlängen umfassenden lichtstrahls | |
DE20122785U1 (de) | Vorrichtung zur Beleuchtung eines Objekts |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH, DE Free format text: FORMER OWNER: CARL ZEISS JENA GMBH, 07745 JENA, DE Effective date: 20130206 |
|
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |