DE10258844A1

DE10258844A1 - Magnetfeldsensorelement und dessen Verwendung

Info

Publication number: DE10258844A1
Application number: DE2002158844
Authority: DE
Inventors: Ingo Herrmann; Ulrich May
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2002-12-17
Filing date: 2002-12-17
Publication date: 2004-03-25

Abstract

Es wird ein Magnetfeldsensorelement (5) mit einer Magnetfelderzeugungseinrichtung (11), einem magnetisch sensitiven Bauelement (12) und einer von dem magnetisch sensitiven Bauelement (12) beabstandet angeordneten Magnetfeldveränderungseinrichtung (10) vorgeschlagen. Dabei weist das magnetisch sensitive Bauelement (12) innerhalb einer Sensierebene (13) einen ersten und einen zweiten Sensierbereich (14, 15) auf, und die Magnetfelderzeugungseinrichtung (11) erzeugt ein Magnetfeld (B) mit einer zu der Sensierebene (13) senkrecht gerichteten Magnetfeldkomponente, der der erste Sensierbereich (14) und der zweite Sensierbereich (15) ausgesetzt ist. Weiter wird bei einer Bewegung der Magnetfeldveränderungseinrichtung (10) relativ zu dem magnetisch sensitiven Bauelement (12) das Magnetfeld (B) derart verändert, dass der erste Sensierbereich (14) einer innerhalb der Sensierebene (13) liegenden ersten Magnetfeldkomponente und der zweite Sensierbereich (15) einer innerhalb der Sensierebene (13) liegenden zweiten Magnetfeldkomponente ausgesetzt ist, die sich hinsichtlich ihres Betrages und/oder ihrer Richtung unterscheiden. Schließlich ist vorgesehen, dass die Magnetfelderzeugungseinrichtung (11) auch bei einem Ruhen der Magnetfeldveränderungseinrichtung (10) relativ zu dem magnetisch sensitiven Bauelement (12) oder in Abwesenheit der Magnetfeldveränderungseinrichtung (10) eine innerhalb der Sensierebene (13) liegende Magnetkomponente erzeugt, der der erste und zweite Sensierbereich ...

Description

Die Erfindung betrifft ein Magnetfeldsensorelement nach der Gattung des Hauptanspruches, sowie dessen Verwendung zur Erfassung einer Drehzahl, insbesondere in einem Kraftfahrzeug.

Wegen ihrer gegenüber induktiven Sensorelementen oder Hall-Sensoren oder AMR-Sensoren (AMR = Anisotropic Magneto-Resistance) verbesserten Empfindlichkeit und ihres größeren Messbereiches werden zunehmend Magnetfeldsensorelemente auf der Grundlage des GMR-Effektes (GMR = Giant Magneto-Resistance) zur Drehzahlerfassung in Kraftfahrzeugen eingesetzt, wie dies in DE 196 47 420 A1 oder weiterentwickelt in DE 198 51 323 A1 beschrieben ist.

Das Magnetfeldsensorelement besteht dabei aus einem Geberrad in Form eines Zahnrades oder eines magnetischen Polrades, einem magnetisch sensitiven Bauelement in Form einer Wheatstone'schen Brückenschaltung mit magnetoresistiven Schichtsystemen auf der Grundlage des GMR-Effektes als Widerstandselemente der Wheatstone'schen Brückenschaltung, wobei das magnetisch sensitive Bauelement gleichzeitig als Gradiometer ausgelegt ist, und im Fall eines Zahnrades als Geberrad weiter einem magnetfelderzeugenden Magneten. Bei Betrieb wird dabei über das sich drehende Zahnrad oder Polrad ein Magnetfeld derart erzeugt oder verändert, dass sich die magnetoresistiven Schichtsysteme in den beiden Halbbrücken der Wheatstone'schen Brückenschaltung in unterschiedlichen Magnetfeldern befinden, so dass eine Differenzspannung als Brückenausgangssignal der Wheatstone'schen Brückenschaltung zur Verfügung steht.

Damit sich bei einem derartigen Magnetfeldsensorelement der elektrische Widerstand in einem äußeren Magnetfeld möglichst stark bzw. maximal ändert, benötigen die einzelnen magnetoresistiven Schichtsysteme auf der Grundlage des GMR-Effektes eine möglichst konstante Vormagnetisierung oder einen magnetischen Offset mit einer Magnetfeldkomponente in der Ebene des magnetisch sensitiven Bauelementes.

Durch diese Vormagnetisierung, die eine Magnetfeldkomponente mit einer Stärke von typischerweise 10 m Tesla aufweist, wird erreicht, dass sich die einzelnen magnetoresistiven Schichtsysteme in einem Magnetfeld befinden, in dem ihre Sensitivität möglichst hoch bzw. maximal ist.

In DE 198 51 323 A1 oder in DE 198 50 460 A1 wird vorgeschlagen, ein solches Offset-Magnetfeld oder "Bias-Feld" durch einen an dem magnetisch sensitiven Bauelement angebrachten Permanentmagneten zu realisieren, der dieses Bauelement mit einem Magnetfeld beaufschlagt, das lediglich eine Komponente senkrecht zu der Ebene des magnetisch sensitiven Bauelementes aufweist.

In DE 191 28 135 .8 wurde weiter vorgeschlagen, in die einzelnen magnetoresistiven Schichtsysteme des magnetisch sensitiven Bauelementes eine hartmagnetische Schicht zu integrieren, die eine in der Ebene des magnetisch sensitiven Bauelementes orientierte Magnetfeldkomponente erzeugt.

Vorteile der Erfindung

Das erfindungsgemäße Magnetfeldsensorelement hat gegenüber dem Stand der Technik den Vorteil, dass beispielsweise zur Realisierung eines GMR-Drehzahlsensors für eine Stahlradapplikation an einem Kraftfahrzeug auf die Integration einer hartmagnetischen Schicht in das magnetisch sensitive Bauelement, wie dies in DE 101 28 135 .8 vorgeschlagen worden ist, verzichtet werden kann, und dass auch zusätzlich in der Umgebung des magnetisch sensitiven Bauelementes neben dem Gebermagneten angebrachte weitere Magnete zur Realisierung des erforderlichen Bias-Feldes mit einer Magnetfeldkomponente in der Sensierebene des magnetisch sensitiven Bauelementes entbehrlich sind.

Auf diese Weise spart man einerseits Kosten durch Ersparnis von weiteren Bauelementen und andererseits ergibt sich eine vereinfachte Fertigung.

Insbesondere ist vorteilhaft, dass dadurch, dass die Magnetfelderzeugungseinrichtung auch bei einem Ruhen der Magnetfeldveränderungseinrichtung relativ zu den magnetisch sensitiven Bauteilen oder in Abwesenheit der Magnetfeldveränderungseinrichtung eine innerhalb der Sensierebene liegenden Magnetfeldkomponente erzeugt, der der erste und der zweite Sensierbereich ausgesetzt ist, das von der Magnetfelderzeugungseinrichtung erzeugte Magnetfeld, insbesondere auch bei Stahlradanwendungen, zum Einstellen der Vormagnetisierung des magnetisch sensitiven Bauelementes, d.h. des Bias-Feldes, eingesetzt werden kann.

Somit entfallen ansonsten übliche, beispielsweise auf das magnetisch sensitive Bauelement seitlich aufgeklebte Magnete oder eine integrierte hartmagnetische Schicht, und man umgeht die technologischen Probleme, die entstehen, wenn dieser Bias-Magnet oder die integrierte hartmagnetische Schicht einem Magnetfeld ausgesetzt werden, das senkrecht zu ihrer Magnetisierung orientiert ist.

Überdies wird bisher durch das vergleichsweise starke Magnetfeld der neben diesem zusätzlichen Bias-Magneten bzw. dieser zusätzlichen hartmagnetischen Schicht stets erforderlichen Magnetfelderzeugungseinrichtung, insbesondere in Form eines Permanentmagneten, die Magnetisierung in dein Bias-Magneten bzw. in der hartmagnetischen Schicht verzerrt und deren Einfluss auf das magnetisch sensitive Bauelement unerwünscht geschwächt.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den in den Unteranspruchen genannten Maßnahmen.

So ist besonders vorteilhaft, wenn die Magnetfelderzeugungseinrichtung eine innerhalb der Sensierebene des Bauelementes liegende Magnetfeldkomponente erzeugt, die auch bei einem Ruhen der Magnetfeldveränderungseinrichtung relativ zu dem magnetisch sensitiven Bauelement oder auch in Abwesenheit der Magnetfeldveränderungseinrichtung eine innerhalb der Sensierebene liegende Magnetfeldkomponente erzeugt, die hinsichtlich Betrag und Richtung zumindest näherungsweise in gleicher Weise auf den ersten und den zweiten Sensierbereich des magnetisch sensitiven Bauelementes einwirkt.

Weiter ist vorteilhaft, wenn die Magnetfeldveränderungseinrichtung als ein in einem vorgegebenen Abstand von einem Punkt der Sensierebene angeordnetes rotierbares Bauteil, vorzugsweise in Form eines Zahnrades aus einem magnetischen Material wie Stahl, oder als entsprechendes magnetisches Polrad ausgeführt ist.

Als Magnetfelderzeugungseinrichtung eignet sich besonders ein Permanentmagnet sowie gegebenenfalls auch ein Elektromagnet, der eine parallel zu der Sensierebene gerichtete Magnetfeldkomponente mit einer Stärke von 5 mTesla bis 30 mTesla, insbesondere 5 mTesla bis 15 mTesla, erzeugt.

Das magnetisch sensitive Bauelement ist überdies vorteilhaft auf einer Stirnfläche der Magnetfelderzeugungseinrichtung aufgeklebt oder auf eine andere Weise mit dieser verbunden.

Die auch bei einem Ruhen der Magnetfeldveränderungseinrichtung relativ zu dem magnetisch sensitiven Bauelement oder in Abwesenheit der Magnetfeldveränderungseinrichtung innerhalb der Sensierebene liegende Magnetfeldkomponente wird vorteilhaft bereits durch die Formgebung der Magnetfelderzeugungseinrichtung hervorgerufen.

Dabei ist besonders vorteilhaft, wenn die Magnetfelderzeugungseinrichtung im Querschnitt trapezartig mit einer gegenüber einer Referenzebene mit der Abstandslinie Magnetfelderzeugungseinrichtung-Magnetfeldveränderungseinrichtung als Normalenvektor geneigten Stirnfläche ausgebildet ist. Insbesondere ist diese Stirnfläche eine der Magnetfeldveränderungseinrichtung zugewandte Oberfläche der Magnetfelderzeugungseinrichtung. Sie weist besonders vorteilhaft einen Neigungswinkel gegenüber der Referenzebene zwischen 2° und 45°, insbesondere 5° bis 20°, auf.

Das magnetisch sensitive Bauelement ist vorteilhaft ein übliches magnetoresistives Bauelement auf der Grundlage des GMR-Effektes mit einem ersten magnetoresistiven Schichtsystem auf der Grundlage des GMR-Effektes in dem ersten Sensierbereich und einem zweiten magnetoresistiven Schichtsystem auf der Grundlage des GMR-Effekts in dem zweiten Sensierbereich.

Zudem ist vorteilhaft, wenn das erste Schichtsystem des magnetisch sensitiven Bauelementes in einer ersten Halbbrücke einer Wheatstone'schen Brückenschaltung und das zweite Schichtsystem des magnetisch sensitiven Bauelementes in der zweiten Halbbrücke der Wheatstone'schen Brückenschaltung verschaltet ist, so dass bei einer Bewegung der Magnetfeldveränderungseinrichtung relativ zu dein magnetisch sensitiven Bauelement die in der Sensierebene liegenden Magnetfeldkomponenten in dem ersten und dem zweiten Sensierbereich voneinander verschieden sind. Insofern ist das Magnetfeldsensorelement bevorzugt als Gradiometer ausgelegt.

Zeichnungen
Die Erfindung wird anhand der Zeichnungen und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigt 1 eine Prinzipskizze eines Magnetfeldsensorelementes im Schnitt, 2 das magnetisch sensitive Bauelement gemäß 1 vergrößert im Schnitt und 3 ein zu 1 alternatives Ausführungsbeispiel mit einer modifizierten Magnetfelderzeugungseinrichtung.
Ausführungsbeispiele
Die 1 zeigt einen Schnitt durch ein Magnetfeldsensorelement 5 mit einer Magnetfeldveränderungseinrichtung 10 in Form eines Zahnrades aus Stahl, dem gegenüber beabstandet eine Magnetfelderzeugungseinrichtung 11 in Form eines Permanentmagneten mit einer resultierenden Magnetisierung m₁ mit der in 1 eingezeichneten Richtung angeordnet ist. Auf der der Magnetfeldveränderungseinrichtung 10 zugewandten Stirnfläche 16 der Magnetfelderzeugungseinrichtung 11 befindet sich ein magnetisch sensitives Bauelemnt 12. Das magnetisch sensitive Bauelement 12 ist flächig ausgebildet und innerhalb einer Sensierebene 13 angeordnet, die mit einer Referenzebene 17 einen Winkel α einschließt. Die Referenzebene 17 ist definiert über ihren Normalenvektor, der von der Abstandslinie Magnetfelderzeugungseinrichtung 11 zu Magnetfeldveränderungseinrichtung 10 gebildet wird. In 1 ist weiter dargestellt, dass die Magnetfelderzeugungseinrichtung 11 ein Magnetfeld B erzeugt, dessen Feldlinien in 1 angedeutet sind. Die Feldlinien sind dabei so gezeichnet, wie sie in Abwesenheit der Magnetfeldveränderungseinrichtung 10 verlaufen.
Die 2 zeigt in vergrößerter Darstellung das magnetisch sensitive Bauteil 12 innerhalb der Sensierebene 13 mit einem ersten Sensierbereich 14 und einem zweiten Sensierbereich 15.
Im Einzelnen ist das magnetisch sensitive Bauelement 12 ein magnetoresistives Bauelement auf der Grundlage des GMR-Effektes mit einem ersten magnetoresistiven Schichtsystem auf der Grundlage des GMR-Effektes, beispielsweise nach dem Spin-Valve-Prinzip oder dem Prinzip der gekoppelten Multilagen, in dem ersten Sensierbereich 14, und einem zweiten magnetoresistiven Schichtsystem auf der Grundlage des GMR-Effektes, beispielsweise nach dem Spin-Valve-Prinzip oder dem Prinzip der gekoppelten Multilagen, in dem zweiten Sensierbereich 15.
Bevorzugt weist das magnetisch sensitive Bauelement 12 darüber hinaus mindestens zwei weitere magnetoresistive Schichtsysteme auf, die in 2 nicht dargestellt sind.
Daneben ist vorgesehen, dass die magnetoresistiven Schichtsysteme des magnetisch sensitiven Bauelementes 12 in Form einer Wheatstone'schen Brückenschaltung miteinander verschaltet sind. Dabei befindet sich das erste magnetoresistive Schichtsystem in der ersten Halbbrücke und das zweite magnetoresistive Schichtsystem in der zweiten Halbbrücke dieser Wheatstone'schen Brückenschaltung.
Die Magnetfelderzeugungseinrichtung 12 weist bevorzugt eine spezielle Formgebung auf, die dazu führt, dass auch bei einem Ruhen der Magnetfeldveränderungseinrichtung 10 relativ zu dem magnetisch sensitiven Bauteil 12 oder in Abwesenheit der Magnetfeldveränderungseinrichtung 10 eine innerhalb der Sensierebene 13 liegende Magnetfeldkomponente vorliegt, die von der Magnetfelderzeugungseinrichtung 11 hervorgerufen worden ist.
Bevorzugt weist die Magnetfelderzeugungseinrichtung 11 im Querschnitt gemäß 1 eine trapezförmige Formgebung mit einer um den Winkel α gegenüber der Referenzebene 17 geneigten Stirnfläche 16 auf.
Diese spezielle Formgebung der Magnetfelderzeugungseinrichtung führt dazu, dass Magnetfeldkomponenten in der Sensierebene 13 vorliegen, die zu einer Vormagnetisierung des magnetisch sensitiven Bauelementes 10 ("Biasing") ausreichen, und so einen zusätzlichen "Bias-Magneten" oder eine in die magnetoresistiven Schichtsysteme des magnetisch sensitiven Bauelementes 12 integrierten hartmagnetischen Schichten gemäß DE 101 28 125 .8 entbehrlich machen.
Insbesondere treten durch die Trapezform der Magnetfelderzeugunaseinrichtung 11 Querkomponenten des Magnetfeldes B auch ohne die Magnetfeldveränderungseinrichtung 10 auf.
Die magnetische Permeabilität des Materials der magnetoresistiven Schichtsysteme des magnetisch sensitiven Bauelementes 12 führt zusätzlich zu einem "Hineinziehen" dieser Querkomponenten des Magnetfeldes B und damit zu einer weiteren Erhöhung des auf diese Weise bereitgestellten "Bias-Feldes", was durch die leicht abgeknickten Feldlinien in 1 angedeutet ist. Dieser Effekt ist für die prinzipielle Funktion des Magnetfeldsensorelementes 5 gemäß 1 jedoch nicht wesentlich.
Durch Wahl des Winkels α kann gezielt die Feldstärke des über die Magnetfelderzeugungseinrichtung 11 erzeugten Bias-Magnetfeldes bzw. die Magnetfeldkomponente in der Sensierebene gezielt eingestellt werden.
Bei einer Rotation der Magnetfeldveränderungseinrichtung 10 gemäß 1 werden die Feldlinien derart verbogen bzw. das von der Magnetfelderzeugungseinrichtung 11 am Ort des ersten Sensierbereiches 14 erzeugte Magnetfeld gegenüber dem von der Magnetfelderzeugungseinrichtung 11 am Ort des zweiten Sensierbereiches 15 erzeugten Magnetfeldes gezielt unterschiedlich verändert, so dass sich die beiden Halbbrücken der Wheatstone'schen Brücken gemäß 2 in unterschiedlichen Magnetfeldern befinden, was zu einer Differenzspannung am Brückenausgang führt, die detektiert werden kann, und aus der eine Erfassung der Drehzahl der Magnetfeldveränderungseinrichtung 10 möglich ist.
Alternativ zu dem Ausführungsbeispiel gemäß 1 kann die Magnetfelderzeugungseinrichtung 11 auch quaderförmig oder mit im Querschnitt rechteckiger Formgebung ausgeführt sein, wie dies in 3 dargestellt ist. In diesem Fall ist die Richtung der resultierenden Magnetisierung m₁ gegenüber dein Normalenvektor der Sensierebene 17 um den erläuterten Winkel α analog der trapezförmigen Ausgestaltung der Magnetfelderzeugungseinrichtung 11 geneigt. Insbesondere ist bei diesem Ausführungsbeispiel die Magnetfelderzeugungseinrichtung 11 ein quaderförmiger Permanentmagnet, der unter dem Winkel α gegenüber dem Normalenvektor der Sensierebene 17 aufmagnetisiert worden ist. Auf die erneute Darstellung der weiterhin analog 1 vorhandenen Magnetfeldveränderungseinrichtung 10 wurde in 3 im Übrigen verzichtet.

Claims

Magnetfeldsensorelement mit einer Magnetfelderzeugungseinrichtung (11), einem magnetisch sensitiven Bauelement (12) und einer von dem magnetisch sensitiven Bauelement (12) beabstandet angeordneten, insbesondere bewegbaren Magnetfeldveränderungseinrichtung (10), wobei das magnetisch sensitive Bauelement (12) innerhalb einer Sensierebene (13) einen ersten Sensierbereich (14) und einen zweiten Sensierbereich (15) aufweist, wobei die Magnetfelderzeugungseinrichtung (11) ein Magnetfeld (B) mit einer zu der Sensierebene (13) senkrecht gerichteten Magnetfeldkomponente erzeugt, der der erste Sensierbereich (14) und der zweite Sensierbereich (15) ausgesetzt ist, und wobei bei einer Bewegung der Magnetfeldveränderungseinrichtung (10) relativ zu dem magnetisch sensitiven Bauelement (12) das Magnetfeld (B) derart verändert wird, dass der erste Sensierbereich (14) zumindest zeitweise einer innerhalb der Sensierebene (13) liegenden ersten Magnetfeldkomponente und der zweite Sensierbereich (15) zu dieser Zeit einer innerhalb der Sensierebene (13) liegenden zweiten Magnetfeldkomponente ausgesetzt ist, die sich hinsichtlich ihres Betrages und/oder ihrer Richtung unterscheiden, dadurch gekennzeichnet, dass die Magnetfelderzeugungseinrichtung (11) auch bei einem Ruhen der Magnetfeldveränderungseinrichtung (10) relativ zu dem magnetisch sensitiven Bauelement (12) oder in Abwesenheit der Magnetfeldveränderungseinrichtung (10) eine innerhalb der Sensierebene (13) liegende Magnetkomponente erzeugt, der der erste und der zweite Sensierbereich (14, 15) ausgesetzt ist.
Magnetfeldsensorelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die auch bei einem Ruhen der Magnetfeldveränderungseinrichtung (10) relativ zu dein magnetisch sensitiven Bauelement (12) oder in Abwesenheit der Magnetfeldveränderungseinrichtung (10) erzeugte, innerhalb der Sensierebene (13) liegende Magnetfeldkomponente hinsichtlich Betrag und Richtung zumindest näherungsweise in gleicher Weise auf den ersten und den zweiten Sensierbereich (14, 15) einwirkt.
Magnetfeldsensorelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Magnetfeldveränderungseinrichtung (10) ein in einem vorgegebenen Abstand von der Sensierebene (13) oder einem Punkt der Sensierebene (13) angeordnetes rotierbares Bauteil, insbesondere ein Zahnrad oder ein magnetisches Polrad, ist.
Magnetfeldsensorelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Magnetfelderzeugungseinrichtung (11) ein Magnet, insbesondere ein Permanentmagnet oder ein Elektromagnet, ist, der die parallel zu der Sensierebene (13) gerichtete Magnetfeldkomponente mit einer Stärke von 5 mTesla bis 30 mTesla, insbesondere 5 mTesla bis 15 mTesla, erzeugt.
Magnetfeldsensorelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das magnetisch sensitive Bauelement (12) zwischen der Magnetfeldveränderungseinrichtung (10) und der Magnetfelderzeugungseinrichtung (11) angeordnet ist.
Magnetfeldsensorelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das magnetisch sensitive Bauelement (12) auf einer Stirnfläche (16) der Magnetfelderzeugungseinrichtung (11) angeordnet ist, insbesondere mit dieser verbunden oder verklebt ist.
Magnetfeldsensorelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die auch bei einem Ruhen der Magnetfeldveränderungseinrichtung (10) relativ zu dem magnetisch sensitiven Bauelement (12) oder in Abwesenheit der Magnetfeldveränderungseinrichtung (10) innerhalb der Sensierebene (13) vorliegende Magnetkomponente durch die Formgebung der Magnetfelderzeugungseinrichtung (11) hervorgerufen ist.
Magnetfeldsensorelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Magnetfelderzeugungseinrichtung (11) im Querschnitt trapezförmig mit einer gegenüber einer Referenzebene (17) mit der Abstandslinie Magnetfelderzeugungseinrichtung (11) zu Magnetfeldveränderungseinrichtung (10) als Normalenvektor geneigten Stirnfläche (16) ausgebildet ist.
Magnetfeldsensorelement nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die geneigte Stinfläche (16) eine der Magnetfeldveränderungseinrichtung (10) zugewandte Oberfläche der Magnetfelderzeugungseinrichtung (11) ist, und dass der Neigungswinkel (α) der geneigten Stirnfläche (16) zu der Referenzebene (17) zwischen 2° und 45°, insbesondere 5° bis 20°, liegt.
Magnetfeldsensorelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das magnetisch sensitive Bauelement (12) ein magnetoresistives Bauelement auf der Grundlage des GMR-Effektes mit einem ersten magnetoresistiven Schichtsystem auf der Grundlage des GMR-Effektes in dem ersten Sensierbereich (14) und einem zweiten magnetoresistiven Schichtsystem auf der Grundlage des GMR-Effektes in dein zweiten Sensierbereich (15) ist.
Magnetfeldsensorelement nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Schichtsystem des magnetisch sensitiven Bauelementes (12) in einer ersten Halbbrücke einer Wheatstone'schen Brückenschaltung und das zweite Schichtsystem des magnetisch sensitiven Bauelementes (12) in einer zweiten, von der ersten Halbbrücke verschiedenen Halbbrücke der Wheatstone'schen Brückenschaltung verschaltet ist.
Verwendung des Magnetfeldsensorelementes (5) nach einem der vorangelienden Ansprüche zur Erfassung einer Drehzahl, insbesondere in einem Kraftfahrzeug.