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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung
zum Einstellen der Fokuslage eines auf ein Werkstück gerichteten
Laserstrahls.
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Aus
der
DE 198 57 694
C2 ist bereits ein derartiges Verfahren sowie eine zur
Durchführung
dieses Verfahrens geeignete Vorrichtung bekannt. Gemäß diesem
bekannten Verfahren werden in die Oberfläche eines Werkstücks mit
Hilfe eines Laserstrahls nacheinander mehrere voneinander getrennte
Spuren bei jeweils unterschiedlichen Abständen zwischen Bearbeitungskopf
und Werkstück
und ansonsten unter gleichen Bedingungen eingebrannt, wobei alle
Spuren gleichlang sind. Während
des Einbrennens der Bearbeitungspuren wird die Stärke eines
dabei enstehenden Plasmas für
jede Spur getrennt gemessen, indem die jeweils pro Spur gemessene
Plasmastärke über die
Länge der
Spur integriert wird. Nach Beendigung der Plasmastärkemessungen
aller Spuren werden die für
jede Spur gemessenen, gespeicherten Plasmastärken untereinander verglichen,
um als Abstand zwischen Bearbeitungskopf und Werkstück denjenigen
herauszusuchen, für den
die maximale Plasmastärke
gemessen worden ist.
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Dieses
Verfahren ermöglicht
zwar eine geeignete Einstellung der Fokuslage relativ zum Werkstück bei einem
Bearbeitungskopf für
die Laserbearbeitung, bei dem die Fokussieroptik fest eingebaut ist,
bei dem sich also die Relativlage von Fokussieroptik und Laseraustrittsöffnung nicht
verändert.
Das Verfahren ist jedoch relativ zeitaufwendig, da eine Mehrzahl
von Bearbeitungspuren auf einem Werkstück eingebrannt werden müssen.
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Aus
der
DE 44 07 682 C2 ist
ein weiteres Verfahren zum Einstellen des Brennpunktes eines Laserstrahls
in einer Laserbearbeitungsvorrichtung mit einem Bearbeitungskopf
bekannt, in dem eine Fokussierlinse beweglich angeordnet ist, so
dass die Fokuslage relativ zum Bearbeitungskopf verstellt werden
kann, während
zur Regelung des Abstands zwischen dem Bearbeitungskopf und dem
Werkstück ein
Abstandssensor vorgesehen ist.
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Um
die Fokuslage relativ zum Werkstück
einzustellen, wird bei konstant gehaltenem Abstand zwischen Werkstück und Bearbeitungskopf
das Ausgangssignal des Abstandssensors überwacht, während gleichzeitig bei eingeschalte tem
Arbeitslaserstrahl dessen Fokussieroptik verschoben wird. Erreicht
der Fokus aufgrund der Verschiebung der Fokussieroptik den Bereich
der Werkstückoberfläche, so
daß im
Bereich einer Wechselwirkungszone zwischen Laserstrahl und Werkstück ein leuchtendes Plasma
entsteht, so stört
dieses Plasma die Abstandsmessung was als erhebliches Rauschen im Ausgangssignal
des Abstandssensor festzustellen ist. Wird die Fokussierlinse weiter
verschoben, so daß der
Arbeitsfokus des Laserstrahls theoretisch unter der Oberfläche des
zu bearbeitenden Werkstücks
liegt, so erlischt das Plasma, da die Energiedichte des Lasers auf
der Werkstückoberfläche zu gering
wird. In Folge dessen ist das Abstandssensorsignal wieder im wesentlichen
rauschfrei.
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Die
der Mitte des verrauschten Bereichs des Abstandssensorsignals zugeordnete
Linsenposition wird dann als diejenige gewählt, auf die die Fokussieroptik
eingestellt wird, um den Arbeitslaserfokus gegenüber dem Werkstück für eine entsprechende
Laserbearbeitung einzustellen.
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Problematisch
bei diesem Verfahren ist es, daß eine
Konstanthaltung des Abstandes zwischen Bearbeitungskopf und Werkstück nicht
mehr möglich ist,
so bald das Abstandssensorsignal bei Auftreten des Plasmas stark
verrauscht ist. Tritt beispielsweise eine Verkleinerung des Abstandes
zwischen Bearbeitungskopf und Werkstück auf, während ein Plasma vorliegt,
so tritt eine Verkürzung
des verrauschten Bereichs auf, da der Arbeitsfokus schneller verschoben
wird als durch eine Bewegung der Fokussieroptik allein. Umgekehrt
tritt bei einer unerwünschten,
aber nicht erkannten Vergrößerung des
Abstandes zwischen Bearbeitungskopf und Werkstück eine Verlängerung
des verrauschten Bereichs des Abstandssensorsignals auf, da sich
die Fokussieroptik langsamer auf die Werkstückoberfläche zubewegt als bei konstantem
Abstand.
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Eine
zuverlässige
Einstellung der Fokuslage ist hier ohne zusätzliche Abstandssensoren, die
vom Plasma nicht beeinflußt
werden, praktisch nicht möglich.
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Aus
der JP 57-159285 A ist ein Verfahren bekannt, bei dem der Abstand
zwischen einem Laserbearbeitungskopf und einem Werkstück konstant
gehalten wird, bei dem die aus einem Bereich einer Wechselwirkungszone
zwischen Laserstrahl und Werkstück
kommende Strahlung erfaßt
wird und bei dem die Fokussieroptik so verschoben wird, daß ein der
erfaßten
Strahlung entsprechendes Signal einen größten Wert annimmt.
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Die
Vorrichtung weist hierfür
einen Fotosensor auf, der außerhalb
des Laserbearbeitungskopfes neben dem Austrittsbereich der Arbeitsdüse angeordnet
ist und der die Plasmastrahlung aus dem Bereich der Wechselwirkungszone
erfaßt,
um deren Helligkeit zu messen. Ein Ausgangssignal des Fotosensors
ist an eine Steuereinrichtung angelegt, die eine Verstelleinrichtung
zur Verschiebung der Fokussierlinse beaufschlagt.
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Die
US 6,355,908 B1 betrifft
ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Fokussieren eines Lasers, bei
dem die vom Plasma im Fokus des Lasers seitlich abgestrahlte Strahlung
von einer entsprechenden, seitlich neben einem nicht näher dargestellten
Laserbearbeitungskopf angeordneten Fotodetektoranordnung erfaßt wird.
Die dabei erfaßte
Plasmastrahlung weist eine konstante maximale Intensität auf, solange
der Laserfokus über
dem Werkstück
liegt. Sobald der Laserfokus in das Werkstück eintaucht, nimmt die gemessene
Plasmaintensität
ab, um einen in etwa konstanten, kleinsten Wert anzunehmen, wenn
der Abstand zwischen Fokussieroptik und Werkstück um die Dicke des Plasmas
in Z-Richtung kleiner als die Brennweite der Fokussieroptik ist.
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Die
Fokuslage wird hier also aus der Änderung der Intensität in Abhängigkeit
vom Abstand zwischen Linse und Werkstück ermittelt, wenn die Fokussierlinse
in Richtung der optischen Achse verschoben wird. Zur Bestimmung
der Fokuslage wird also die Ableitung der Intensität nach dem
Weg bestimmt.
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Die
DE 40 28 974 A1 beschreibt
ein weiteres Verfahren zur Bestimmung der Fokuslage, bei dem die
Amplitude (oder Intensität)
des Bearbeitungsleuchtens für
unterschiedliche Abstände
zwischen Werkstück
und Fokussieroptik über
die Zeit gemessen wird. Aus der Zeit, die bis zum Erreichen des
ersten Hauptmaximums vergeht, wird dann die Fokuslage ermittelt,
wobei davon ausgegangen wird, daß das erste Hauptmaximum des
Bearbeitungsleuchtens dann am schnellsten erreicht wird, wenn der
Bearbeitungsfokus in seiner optimalen Position zum Werkstück liegt.
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Die
DE 196 44 101 C1 beschreibt
ein Verfahren, bei dem die Strahlungsintensität einer aus einem Bereich der
Wechselwirkungszone zwischen einem Laserstrahl und einem Werkstück kommenden
Strahlung erfaßt
wird, um beispielsweise beim Laserschneiden das Einstechen zu überwachen.
Zum Detektieren der von der Bearbeitungsstelle ausgehenden Strahlung
können
sich ein oder mehr entsprechende Sensoren im Innern des Laserbearbeitungskopfes
befinden oder außen
an diesem angebracht sein, wobei die Detektorfläche der Sensoren wenigstens
annähernd
auf die Bearbeitungsstelle auszurichten ist.
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Davon
ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein weiteres
Verfahren und eine weitere Vorrichtung der eingangs genannten Art
bereitzustellen, mit dem bzw. der es auf einfache Weise zuverlässig möglich ist,
die Fo kuslage eines Laserstrahls relativ zum Werkstück und zum
Bearbeitungskopf mit hoher Genauigkeit einzustellen.
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Diese
Aufgabe wird durch das Verfahren nach Anspruch 1 sowie durch die
Vorrichtung nach Anspruch 9 gelöst.
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Erfindungsgemäß wird also
zum Einstellen der Fokuslage eines auf ein Werkstück gerichteten Laserstrahls
im Inneren des Bearbeitungskopfes mit wenigstens einem Strahlungsdetektor
der Anteil einer aus einem Bereich einer Wechselwirkungszone zwischen
Laserstrahl und Werkstück
kommenden Strahlung erfaßt,
der im Bearbeitungskopf reflektiert, insbesondere diffus reflektiert
wird, während
gleichzeitig der Abstand zwischen Bearbeitungskopf und Werkstück konstant
gehalten wird. Die Fokussieroptik wird dann so verschoben, daß ein der
erfaßten Strahlung
entsprechendes Signal einen größten Wert annimmt.
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Erfindungsgemäß wird also
die aus dem Wechselwirkungsbereich zwischen Laserstrahl und Werkstück kommende
Strahlung erfaßt,
die dann am intensivsten ist, wenn die Fokuslage des Laserfokus relativ
zum Werkstück
für die
Bearbeitung optimal ist. Die direkte Erfassung der Strahlung aus
dem Bereich der Wechselwirkungszone, also die Erfassung der Strahlung
ohne Integration ermöglicht überraschenderweise
eine zuverlässige
Fokuslageneinstellung bei der Laserbearbeitung mittels verschiedener
Bearbeitungslaser.
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Die
Erfassung der aus der Wechselwirkungszone zwischen Laserstrahl und
Werkstück
kommenden Strahlung im Inneren des Bearbeitungskopfes und vorzugsweise
in Laserstrahlrichtung vor der Fokussieroptik hat dabei den Vorteil,
daß der
für die Messung
benötigte
Strahlungsdetektor nicht nur vor ihn verunreinigenden Umwelteinflüssen, wie
Spritzern aus der Bearbeitungszone und dergleichen, sondern auch
vor Störlicht
geschützt
ist, wodurch eine präzise
und zuverlässige
Messung der Strahlung aus der Wechselwirkungszone ermöglicht wird.
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Bei
einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen,
daß das
der Strahlung entsprechende Signal in Abhängigkeit von der Verschiebeposition
der Fokussieroptik aufgezeichnet wird, und daß die Fokussieroptik in die
Position verschoben wird, der der größte Signalwert oder, falls
eine Mehrzahl größter Signalwerte
vorliegt, der Zentralwert der größten Signalwerte
zugeordnet ist.
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Hierdurch
läßt sich
die Einstellgenauigkeit erhöhen,
da sich der größte Signalwert
aus dem gesamten Signalverlauf zuverlässiger ermitteln läßt. Ferner
können
bei einem Signalverlauf, bei dem das Maximum plateauförmig ist,
das Zentrum des Plateaubereichs genau festgestellt werden, das die bestmögliche Fokuslage
darstellt, da dann geringe Schwankungen der Fokuslage praktisch
keinen Einfluß auf
die Bearbeitungsqualität
haben.
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Um
die Meßgenauigkeit
zu verbessern, ist nach einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung vorgesehen,
daß mehrere
Strahlungsdetektoren im Bearbeitungskopf vorgesehen sind, die um
den Laserstrahl herum angeordnet sind.
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Dabei
ist es möglich,
entweder Strahlung aus einem gewünschten
Wellenlängenbereich
oder aus zwei oder mehr Wellenlängenbereichen
zu erfassen, je nachdem, welche Art von Laser verwendet wird und/oder
für welche
Laserbearbeitung die Fokussierung vorgenommen werden soll.
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Bei
der Fokussierung eines von einem CO2-Laser
gelieferten Laserstrahls ist es zweckmäßig, wenn Plasmaleuchten erfaßt wird.
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Bei
der Verwendung eines YAG-Lasers ist es vorteilhaft, die Strahlung
einer Metalldampfwolke über
der Wechselwirkungszone zu erfassen.
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Eine
Vorrichtung zum Einstellen der Fokuslage eines auf ein Werkstück gerichteten
Laserstrahls enthält
in Übereinstimmung
mit der Erfindung folgendes:
- – einen
Bearbeitungskopf durch den der Laserstrahl hindurchtritt,
- – eine
Fokussieroptik, die mittels einer Verstelleinrichtung im Bearbeitungskopf
verschiebbar angeordnet ist, um die Fokuslage relativ zum Bearbeitungskopf
einzustellen,
- – zumindest
einen im Bearbeitungskopf angeordneten Strahlungsdetektor, der den
Anteil einer aus einem Bereich der Wechselwirkungszone zwischen
Laserstrahl und Werkstück
kommenden Strahlung erfaßt,
der im Bearbeitungskopf reflektiert, insbesondere diffus reflektiert
wird, und der ein der erfaßten Strahlung
entsprechendes Ausgangssignal liefert, sowie
- – eine
Steuereinrichtung, die die Verstelleinrichtung in Abhängigkeit
vom Ausgangssignal des zumindest einen Strahlungsdetektors so steuert, daß das der
erfaßten
Strahlung entsprechende Ausgangssignal einen größten Wert annimmt.
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Zum
Schutz vor Verunreinigungen aus dem Wechselwirkungsbereich ist der
zumindest eine Strahlungsdetektor von der Wechselwirkungszone aus
gesehen hinter der Fokussieroptik angeordnet, wenn diese als Linsenoptik
ausgebildet ist.
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Es
kann ferner eine Mehrzahl von Strahlungsdetektoren vorgesehen sein,
die um den Laserstrahl herum angeordnet sind, wobei der spektrale Empfindlichkeitsbereich
der Strahlungsdetektoren auf die zu erfassende Strahlung abgestimmt
ist.
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Die
Erfindung wird im folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnung beispielsweise
näher beschrieben.
Es zeigen:
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1 ein
schematisches vereinfachtes Blockdiagramm einer erfindungsgemäßen Vorrichtung
zum Einstellen der Fokuslage eines auf ein Werkstück gerichteten
Laserstrahls,
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2 ein
Blockdiagramm ähnlich 1,
bei dem eine Fokussieroptik zum Einstellen der Fokuslage verschoben
ist,
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3 ein
Blockdiagramm ähnlich 1 oder 2,
bei dem eine Fokussieroptik in eine zweite Endposition verschoben
dargestellt ist, und
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4 ein
Diagramm zur Veranschaulichung der Abhängigkeit eines Strahlungssignals
von der Position einer Fokussieroptik bei festem Abstand zwischen
Bearbeitungskopf und Werkstück.
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In
den verschiedenen Figuren der Zeichnung sind einander entsprechende
Bauteile mit gleichen Bezugszeichen versehen.
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Wie
in 1 dargestellt ist, ist im Gehäuse 10 eines Bearbeitungskopfes 11 für die Bearbeitung eines
Werkstücks
mittels eines Laserstrahls eine Fokussieroptik 12 in Richtung
z ihrer optischen Achse mittels einer Verstelleinrichtung 13 verschiebbar
angeordnet. Die nur schematisch dargestellte Verstelleinrichtung 13 umfaßt einen
von einer Steuereinrichtung 14 steuerbaren Stellmotor 15 und
ein von diesem getriebenes Antriebselement 16, mit dem
die Fokussieroptik 12 in geeigneter Weise gekoppelt ist, wie
dies durch die Linie 17 dargestellt ist.
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Die
Fokussieroptik 12, die als Linsenoptik dargestellt ist,
aber auch eine Spiegeloptik sein kann, fokussiert einen Laserstrahl 18 durch
eine Laserdüse 20 mit
einer entsprechenden Austrittsöffnung
hindurch in einen Fokus F, der, wie in 2 dargestellt ist,
zur Bearbeitung eines Werkstücks 18 im
wesentlichen auf dessen Oberfläche
liegt, so dass dort eine Wechselwirkungszone 21 zwischen
Laserstrahl 18 und Werkstück 19 gebildet wird.
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Um
Strahlung zu erfassen, die aus dem Bereich der Wechselwirkungszone 21 in
den Bearbeitungskopf 11 gelangt, ist zumindest ein Strahlungsdetektor 22 im
Gehäuse 10 des
Bearbeitungskopfes 11 außerhalb des Laserstrahls 18 angeordnet.
In der Zeichnung sind zwei Strahlungsdetektoren, die beispielsweise
als Photodioden ausgebildet sein können, dargestellt. Es können aber
auch drei oder mehr Strahlungsdetektoren vorgesehen sein, um einen
höheren
Strahlungsanteil zu erfassen und/oder um unterschiedliche Wellenlängenbereiche
der Strahlung zu messen. Jeder der Strahlungsdetektoren 22 ist, auch
wenn dies der Übersichtlichkeit
halber in der Zeichnung nicht dargestellt ist, mit einer Auswerteschaltung 23 verbunden,
die ihrerseits mit der Steuereinrichtung 14 verbunden ist,
um Signale und/oder Daten auszutauschen.
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Beim
Einsatz eines CO2-Lasers sind der oder die
Strahlungsdetektoren 22 zweckmäßigerweise so ausgelegt, dass
sie Plasmaleuchten erfassen. Bei der Verwendung eines YAG-Lasers
ist es vorteilhaft, den oder die Strahlungsdetektoren 22 auf
die Strahlung einer Metalldampfwolke über der Wechselwirkungszone
abzustimmen. Dabei kann entweder die Wärmestrahlung oder sichtbares
Leuchten oder beides gemessen werden.
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Um
mit der beschriebenen Vorrichtung die Fokuslage des auf das Werkstück 19 gerichteten
Laserstrahls 18 einzustellen, wird zunächst der Vorschub für den Bearbeitungskopf 11 in
bekannter nicht näher
zu erläuternder
Weise gestartet, um daran anschließend den Laserstrahl einzuschalten.
Die Fokussier- optik 12 befindet sich dabei in einer ersten Position,
vorzugsweise in der oberen oder unteren Endstellung des möglichen
Verschiebebereichs.
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Nach
dem Einschalten des Laserstrahls 18 wird die Verstelleinrichtung 13 zum
Einstellen der Fokuslage von der Steuereinrichtung 14 so
gesteuert, dass sie die Fokussieroptik 12 schrittweise
oder kontinuierlich verschiebt, so dass sich auch die Lage des Fokus
F des Laserstrahls 18 relativ zum Bearbeitungskopf 11 verändert. Da
der Bearbeitungskopf 11 unter Einhaltung eines konstanten
Abstands d zum Werkstück 19 verschoben
wird, ändert
sich die Fokuslage relativ zum Werkstück 19 in gleicher
Weise.
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Um
die optimale Fokuslage zu erfassen und einzustellen, wird die aus
dem Bereich der Wechselwirkungszone 21 zwischen Laserstrahl 18 und
Werkstück 19 kommende
Strahlung von dem oder den Strahlungsdetektoren 22 erfaßt, der
bzw. die entsprechende Signale S an die Auswerteschaltung 23 liefern.
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Sobald
die Auswerteschaltung 23 feststellt, dass die von den Strahlungsdetektoren 22 gelieferten
Ausgangssignale einen größten Wert
erreicht haben, wenn also die Signale wieder kleiner werden, kann
ein entsprechendes Steuersignal an die Steuereinrichtung 14 ausgegeben
werden, so dass diese die Verstelleinrichtung 13 so beaufschlagt,
dass die Verschiebebewegung für
die Fokussieroptik 12 zunächst gestoppt und dann umgekehrt
wird, bis die Signale den größten Wert
wieder erreicht haben.
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Diese
Vorgehensweise ergibt ein schnelles Auffinden und Einstellen der
Fokuslage.
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Um
die Genauigkeit der Fokussierung des Laserstrahls 18 auf
das Werkstück 19 zu
erhöhen,
ist es jedoch zweckmäßig, wenn
die Fokussieroptik 12 vollständig über den gesamtmöglichen
Verstellbereich verschoben wird, während eine Bearbeitungsspur
in die Werkstückoberfläche 19 eingebrannt
wird. In diesem Fall werden die Ausgangssignale des oder der Strahlungsdetektoren
in Abhängigkeit
von der Lage der Fokussieroptik 12 in z-Richtung, also
von deren Verschiebestellung erfaßt, so dass sich eine Kurve
S1 oder S2 ergibt, die die Abhängigkeit
der Strahlungssignalwerte von der Verschiebung der Fokussieroptik
in z-Richtung darstellt, wie es in 4 veranschaulicht
ist.
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Nachdem
der Verlauf der erfaßten
Strahlungsintensität
in Abhängigkeit
von der Verschiebung über
den gesamten möglichen
Verschiebeweg aufgezeichnet wurde, kann aus dieser Kurve die bestmögliche Position
für die
Fokussieroptik ermittelt werden. In diesem Fall gibt die Auswerteschaltung 23 einen
entsprechenden Steuerbefehl an die Steuereinrichtung 14 aus,
so dass diese die Verstelleinrichtung 13 steuert, um die
Fokussiereinrichtung 12 in die Stellung z0 zu
verfahren, wie in 2 dargestellt ist.
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Die
erfaßte
Strahlungsintensität,
und damit das von den Strahlungsdetektoren 22 gelieferte
Signal S kann einen Verlauf haben, bei dem wie in der Signalkurve
S1 nur ein größter Wert
vorliegt. In diesem Fall wird die Fokuslage entsprechend dem einen größten Wert
gewählt.
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In
der Praxis, insbesondere bei der Verwendung von CO2-Lasern,
bei denen während
der Materialbearbeitung zwischen dem Werkstück 19 und der Laserdüse 20 im
Bereich der Wechselwirkungszone 21 eine Plasmawolke entsteht,
ergibt sich ein Signalverlauf, wie er in 4 durch
die gestrichelt dargestellte Kurve S2 veranschaulicht ist. Hier
liegt also nicht ein einzelner größter Wert sondern ein Plateaubereich
größter Werte
vor. In diesem Fall wird die Fokussieroptik 12 nach dem
Erfassen des Intesitätsverlaufs über den
gesamten Verschiebebereich, so gewählt, dass die Verschiebelage
der Fokussieroptik 12 dem Zentrum des Plateaubereichs des
Intensitätsverlaufs
entspricht.
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Um
die Fokuslage mit dem erfindungsgemäßen Verfahren einzustellen,
wird dabei von dem oder den Strahlungsdetektoren 22 Strahlung
aus dem Wechselwirkungsbereich 21 erfaßt, die innerhalb des Gehäuses 10 des
Bearbeitungskopfes 11 von dessen Seitenwänden und
anderen Oberflächen
reflektiert, insbesondere diffus reflektiert wird. Die Strahlungsdetektoren
sind daher mit ihren strahlungsempfindlichen Oberflächen so
ausgerichtet, dass sie eine Hauptempfangsrichtung quer zur optischen
Achse A des Laserstrahls 18 besitzen. Die Darstellung in
der Zeichnung geht von einer Anordnung aus, bei der die Normale
der Empfangsoberfläche
der Strahlungsdetektoren 22 senkrecht zur optischen Achse
A steht. Die Strahlungsdetektoren 22 können aber auch so angeordnet
sein, dass sie quer zur optischen Achse A des Laserstrahls 18 teilweise
in Laserstrahlrichtung, also zur Austrittsöffnung der Laserdüse 20 hin blicken.
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Obwohl
es grundsätzlich
möglich
ist, die Strahlungsdetektoren 22 auch – vom Werkstück aus gesehen – vor der
Fokussieroptik 12 im Bearbeitungskopf 11 anzuordnen,
ist es in dem Fall, dass eine Linsenoptik verwendet wird, vorteilhaft,
die Strahlungsdetektoren 22 – wie dargestellt – hinter
der Fokussieroptik 12 anzuordnen, da diese dann als eine
Art Schutzglas für
die Detektoren dient.
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Die
beschriebene Vorrichtung läßt sich
aber nicht nur zum Einstellen der Fokuslage vor dem eigentlichen
Bearbeitungsvorgang verwenden, sondern sie kann auch während der
eigentlichen Bearbeitung zur Kontrolle und Überwachung der Fokuslage und
bei entsprechender Auswertung der Ausgangssignale der Strahlungsdetektoren 22 auch
zur Überwachung
des Bearbeitungsvorgangs selbst eingesetzt werden.