DE10244636B4 - Lineare Wegmessvorrichtung - Google Patents

Lineare Wegmessvorrichtung Download PDF

Info

Publication number
DE10244636B4
DE10244636B4 DE10244636A DE10244636A DE10244636B4 DE 10244636 B4 DE10244636 B4 DE 10244636B4 DE 10244636 A DE10244636 A DE 10244636A DE 10244636 A DE10244636 A DE 10244636A DE 10244636 B4 DE10244636 B4 DE 10244636B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
frame body
leaf spring
spring mechanism
thermal expansion
bending
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE10244636A
Other languages
English (en)
Other versions
DE10244636A1 (de
Inventor
Hiroaki Kawasaki Kawada
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp filed Critical Mitutoyo Corp
Publication of DE10244636A1 publication Critical patent/DE10244636A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10244636B4 publication Critical patent/DE10244636B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D11/00Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
    • G01D11/30Supports specially adapted for an instrument; Supports specially adapted for a set of instruments
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D3/00Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
    • G01D3/028Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Connection Of Plates (AREA)

Abstract

Als Einheit ausgebildeter Linearwegaufnehmer, umfassend:
einen Rahmenkörper (10), der sich in einer Längenmeßrichtung (Z) erstreckt und einen Hauptmaßstab beherbergt; und
eine erste Endbefestigung (22), die an einem Ende in Längenmeßrichtung des Rahmenkörpers (10) befestigt ist und einen Parallel-Blattfedermechanismus (24) aufweist, der in der Lage ist, eine thermische Dehnung des Rahmenkörpers (10) zu absorbieren,
dadurch gekennzeichnet, daß der Rahmenkörper (10) einen Blattfedermechanismus (11) aufweist, der an dem einen Ende des Rahmenkörpers (10), welcher mittels der ersten Endbefestigung (22) befestigt ist, vorgesehen und in der Lage ist, eine Verbiegung dieses Endes des Rahmenkörpers (10) in einer Richtung (Y) senkrecht zu der Richtung (Z) zu absorbieren, in der die thermische Dehnung auftritt, und daß der Parallel-Blattfedermechanismus (24) und der Blattfedermechanismus (11) miteinander gekoppelt sind derart, daß das besagte Ende des Rahmenkörpers (10) über die Reihenschaltung aus Blattfedermechanismus (11) und Parallel-Blattfedermechanismus (24) befestigt ist.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine als Einheit ausgebildete lineare Versatz- bzw. Wegmeßvorrichtung (nachfolgend als Wegaufnehmer bezeichnet) mit einem Meßkopf, der integral mit einem einen Hauptmaßstab beherbergenden Rahmenkörper ausgebildet ist, wobei der Meßkopf eine Bewegungsstrecke in Längsrichtung auf der Basis des Ausmaßes einer relativen Bewegung eines Indexmaßstabs mißt, welcher sich längs des Hauptmaßstabs bewegt.
  • Bei einer Werkzeugmaschine, einer industriellen Maschine oder dergleichen wird, etwa zur Steuerung oder Regelung, eine Vorrichtung zum Messen einer linearen Bewegungsstrecke von Meßobjekten (bewegten Elementen) eingesetzt, die sich relativ zueinander bewegen. Als solcher Linearwegaufnehmer wird allgemein ein als Einheit ausgebildeter linearer Maßstab verwendet, bei dem ein länglicher Rahmenkörper, der einen Hauptmaßstab beherbergt, und ein Meßkopfgehäuse, welches einen Meßabschnitt, etwa einen Indexmaßstab, beherbergt, der relativ zum Rahmenkörper beweglich ist, integral ausgebildet sind.
  • Bei dem als Einheit ausgebildeten linearen Maßstab ist der Hauptstab üblicherweise in einem Rahmenkörper aus Aluminium enthalten. Wie in 6 gezeigt, ist der Rahmenkörper 10 direkt hauptsächlich an einem Schlittengleitteil der Werkzeugmaschine, industriellen Maschine oder dergleichen mit Hilfe von Schrauben 12 an mehreren Stellen befestigt (dies wird als Mehrpositionsbefestigung bezeichnet). Alternativ ist der Rahmenkörper 10 gemäß Darstellung in 7 an dem Schlittengleitteil mittels Schrauben 12 hauptsächlich an seinen beiden Enden mit Hilfe von Befestigungsblöcken 14 befestigt (dies wird als Doppelendenbefestigung bezeichnet).
  • Da jedoch hierbei der Rahmenkörper 10 aus Aluminium besteht, während das Teil, an dem dieser Rahmenkörper befestigt wird, hauptsächlich aus Eisen besteht, ergeben sich Probleme bei einer Änderung der Umgebungstemperatur.
  • Der lineare Ausdehnungskoeffizient von Eisen beträgt etwa 11 × 10–6, während der entsprechende Wert für Aluminium etwa 23 × 10–6 beträgt. Wenn Aluminium an Eisen befestigt ist, unterliegt die Dehnung des Aluminiums infolge der unterschiedlichen linearen Ausdehnungskoeffizienten einer Beschränkung, so daß thermisch bedingte Spannungen auftreten. Dies kann zu einem Verbiegen oder einer Torsion des Rahmenkörpers infolge der Spannungen führen und die Genauigkeit des Hauptmaßstabs im Rahmenkörper beeinträchtigen, der sich diesem anpaßt.
  • Insbesondere bei der in 7 gezeigten Doppelendbefestigung besteht eine gewisse Wahrscheinlichkeit, daß es zu einer Verbiegung oder Torsion des Rahmenskörpers 10 mit den damit verbundenen, gerade erwähnten Problemen kommt.
  • 8 zeigt einen Befestigungsmechanismus der in 7 gezeigten Doppelendbefestigungsart und ein Beispiel, wie sich der Rahmenkörper verbiegt, wenn die Umgebungstemperatur ansteigt. In 8 sind der Rahmenkörper 10 und die Befestigungsblöcke 14 vollständig mittels Schrauben 16 verbunden, und die Befestigungsblöcke 14 sind an einer dazu passenden (Montage-)Fläche 8 (aus Eisen) mit Hilfe der Schrauben 12 fixiert (siehe 7).
  • Wenn hierbei die Umgebungstemperatur ansteigt, dehnt sich der Rahmenkörper 10 in Längsrichtung, d. h. in der in der Figur mit Z bezeichneten Links-Rechts-Richtung, und der Dehnungsbetrag ist größer als der der Montagefläche 8. Hierbei kann sich der Rahmenkörper 10 relativ leicht in der Zeichnung nach oben, d. h. in einer +Y-Richtung, im Querschnitt des Rahmenkörpers 10 dehnen. Dagegen ist die Dehnung des Rahmenkörpers 10 in der Zeichnung nach unten, d. h. in der –Y-Richtung, durch die Befestigungsblöcke 14 beschränkt, und es tritt eine thermisch bedingte Spannung auf. Da die thermische Spannung keine gleichförmig in der Y-Richtung des Querschnitts verteilte Kraft ist, wird die thermische Spannung zu einem Biegemoment bezüglich des Querschnitts, so daß der Rahmenkörper 10 sich in +Y-Richtung bogenförmig verbiegt. Wenn die Umgebungstemperatur abfällt, krümmt sich der Rahmenkörper 10 aus gleichem Grund in der –Y-Richtung.
  • Wenn der Rahmenkörper 10 in dieser Weise gekrümmt ist, ist auch der Hauptmaßstab innerhalb des Rahmenkörpers gekrümmt, was die Genauigkeit beeinträchtigt. Wenn die thermische Spannung die Befestigungskraft übersteigt, mit der der Rahmenkörper 10 und die Befestigungsblöcke 14 befestigt sind, tritt ein Versatz an der Verbindungsstelle auf, so daß sich die relative Lage gegenüber der Montagefläche 8 ändert. Dies stellt einen Faktor der Unsicherheit des Ursprungs dar und führt zu dem Problem einer mangelnden Wiederholbarkeit von Meßwerten bezüglich der Temperatur.
  • Als Mechanismus zu Vermeidung solcher Verlängerung des Rahmenkörpers offenbart die JP 8-14819 A eine Technik, bei der eine Endbefestigung 18, wie sie in 9 gezeigt ist, an beiden Enden vorgesehen ist. Bei dieser Endbefestigung 18 sind wichtige Abmessungen, die die Steifigkeit in der Z-Richtung bestimmen, t und L. L muß entsprechend der in den vergangenen Jahren gewachsenen Forderung nach kompakter Größe klein sein, und um dabei das Auftreten thermischer Spannung zu vermindern, muß auch t klein sein. Deshalb ist es unmöglich, eine ausreichende Steifigkeit zu erzielen, die externen Kräften, etwa Vibrationen, standhält.
  • Aus der DE 28 53 771 C3 ist ein Linearwegaufnehmer nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 bekannt. Bei diesem Stand der Technik ist der Rahmenkörper über den Blattfedermechanismus nur in der Richtung, in der die thermische Dehnung auftritt, beweglich, in dazu querliegenden Richtungen aber starr. Da der Blattfedermechanismus das über ihn befestigte Ende des Rahmenkörpers bei Längsbewegungen in einem Kreisbogen führt, kann sich der Rahmenkörper trotz des Blattfedermechanismus verbiegen.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, unter Vermeidung der oben beschriebenen Probleme des Standes der Technik einen als Einheit ausgebildeten Linearwegaufnehmer zu schaffen, bei dem das Auftreten thermischer Spannung durch positives Absorbieren einer Dehnung des Rahmenkörpers infolge einer Temperaturänderung unter Sicherstellung der Steifigkeit verringert ist.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Linearwegaufnehmer gemäß Patentanspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
  • Weitere Vorteile und Merkmale der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden detaillierten Beschreibung von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen. Es zeigen:
  • 1 eine perspektivische Ansicht zur Erläuterung eines Befestigungsverfahrens gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung,
  • 2 eine vergrößerte Vorderansicht, die die Anordnung wesentlicher Teile des Ausführungsbeispiels zeigt,
  • 3 eine vergrößerte Vorderansicht, die die Funktionsweise des Ausführungsbeispiels verdeutlicht,
  • 4 eine graphische Darstellung, die Beispiele von Änderungen der Verbiegung eines Rahmenkörpers bei Temperaturänderungen für den Fall eines herkömmlichen Befestigungsmechanismus zeigt,
  • 5 eine graphische Darstellung von Beispielen der Änderung der Verbiegung des Rahmenkörpers bei Temperaturänderungen bei Verwendung des Ausführungsbeispiels der Erfindung,
  • 6 eine perspektivische Ansicht einer Mehrpositionsbefestigung als einem Beispiel einer herkömmlichen Methode zur Befestigung eines als Einheit ausgebildeten linearen Maßstabs,
  • 7 eine perspektivische Ansicht einer Doppelendbefestigung als anderes Beispiel einer herkömmlichen Methode zur Befestigung eines als Einheit ausgebildeten linearen Maßstabs,
  • 8 eine Frontansicht zur Erläuterung eines beim Stand der Technik auftretenden Problems, und
  • 9 eine Frontansicht einer bekannten Endbefestigung.
  • Gemäß Darstellung in 1 ist ein Rahmenkörper 10 in seinem Mittelabschnitt an einer zugehörigen (in der Figur nicht dargestellten) Montagefläche mit Hilfe eines Mittelabschnitt-Befestigungsblocks 20 hoher Steifigkeit befestigt, während seine beiden Enden in Längenmeßrichtung an der Montagefläche mittels eines Paars Endbefestigungsblöcke 22 befestigt sind.
  • Wie im einzelnen in 2 gezeigt, weist jeder der Endbefestigungsblöcke 22 einen Parallel-Blattfedermechanismus 24 auf, der in der Lage ist, eine thermische Dehnung des Rahmenkörpers 10 in der Z-Richtung zu absorbieren, die durch das in der Figur gezeigte Z-Y-Koordinatensystem definiert ist und der Längenmeßrichtung entspricht. An einem Ende des Rahmenkörpers 10, wo ein solcher Endbefestigungsblock befestigt ist, weist der Rahmenkörper 10 einen Blattfedermechanismus 11 auf, der in der Lage ist, eine Verbiegung eines Endes des Rahmenkörpers in der Y-Richtung senkrecht zur Z-Richtung, in welcher die thermische Dehnung auftritt, zu absorbieren. Die Länge des Rahmenkörpers 10 in Z-Richtung sei mit L0 bezeichnet.
  • Der Parallel-Blattfedermechanismus 24 des Endbefestigungsblocks 22 ist aus zwei Blattfedern 24A und 248 gebildet, die sich vertikal erstrecken, indem ein Einschnitt 22A und eine Aushöhlung 228 in dem Endbefestigungsblock 22 ausgebildet sind. Es sei hier angenommen, daß die Breite jeder der Blattfedern 24A und 248 in der Z-Richtung T2 betrage. Es wird ferner angenommen, daß die Länge der Aushöhlung 228 in der Y-Richtung, d. h. die jeweilige Länge der Blattfedern 24A und 246 in der Y-Richtung 12 sei.
  • Der Blattfedermechanismus 11 des Rahmenkörpers 10 ist von einer Blattfeder 11A gebildet, die sich in Z-Richtung erstreckt, indem die Höhe des Endes des Rahmenkörpers 10 in der Y-Richtung verkürzt ist. Die Breite der Blattfeder 11A in der Y-Richtung sei mit T1 bezeichnet. Der Abstand in Z-Richtung zwischen dem Ende des Rahmenkörpers 10 und der Mitte (in Z-Richtung) der Aushöhlung 228 des Befestigungsblocks 22 an diesem Ende betrage L1.
  • Der Zwischenabschnitt-Befestigungsblock 20 hat eine deutlich höhere Steifigkeit als die des Blattfedermechanismus 24 des Endbefestigungsblocks 22 oder die des Blattfedermechanismus 11 des Rahmenkörpers 10.
  • Die Endbefestigungsblöcke 22 sind an beiden Enden des Rahmenkörpers 10 mit Schrauben befestigt, und der Zwischenabschnitt-Befestigungsblock 20 ist an der Mitte des Rahmenkörpers 10 mittels einer Schraube fixiert. Der Rahmenkörper 10 ist durch Befestigung der drei Blöcke 20 und 22 an der nicht gezeigten Montagefläche fixiert.
  • Unter Bezugnahme auf 3 soll nachfolgend die Wirkungsweise des beschriebenen Ausführungsbeispiels erläutert werden.
  • Wenn die Umgebungstemperatur gestiegen ist, tritt folgendes mechanische Verhalten auf. Da die Steifigkeit im mittleren Abschnitt verglichen mit beiden Enden sehr viel höher ist, dehnt sich der Rahmenkörper 10 gleichförmig von der Mitte nach links und rechts aus. Folglich ist der Ursprung der Dehnung des Rahmenkörpers 10 fest vorgegeben und die Stabilität des Ursprungs bezüglich der Temperaturänderung gegenüber dem Stand der Technik verbessert, so daß auch die Wiederholbarkeit des Verhaltens verbessert ist. Dies gilt auch für den Fall, wo die relative Steifigkeit zwischen dem linken und dem rechten Ende unterschiedlich ist, etwa in Folge von Schwankungen der Federkonstanten der Blattfedermechanismen 11 und 24 am linken bzw. am rechten Ende.
  • Da die Verlängerung des Rahmenkörpers 10 von der Biegung der Blattfedern 24A und 24B des Parallel-Blattfedermechanismus 24 im jeweiligen Endbefestigungsblock 22 aufgefangen wird, kann das Auftreten thermischer Spannung verringert werden. Da der Blattfedermechanismus 24 der Endbefestigungsblöcke 22 parallele Blattfedern aufweist, tritt bei Verlängerung des Rahmenkörpers 10 ein Versatz auch in einer anderen Richtung als der Z-Richtung auf, nämlich nach oben in 3. Da jedoch dieser Versatz durch die Biegung der Blattfeder 11A des Blattfedermechanismus 11 an beiden Enden des Rahmenkörpers 10 absorbiert wird, tritt keine Verbiegung gegenüber der Mitte des Rahmenkörpers 10 als Ursprung auf. Demgemäß sind ein Verbiegen und das Auftreten von Spannung im Rahmenkörper infolge der Temperaturänderung reduziert, und die Beeinträchtigung der Genauigkeit und des Versatzes des Rahmenkörpers infolge der Temperaturänderung ebenfalls reduziert, wodurch die Stabilität des Ursprungs verbessert wird.
  • Da außerdem die Blattfedern 24A und 246 der Endbefestigungsblöcke 22 einen Parallel-Blattfederaufbau aufweisen, ist es möglich, eine Abnahme der Steifigkeit bezüglich anderer Richtungen als der Längenmeßrichtung (Z) zu minimieren. Nachdem somit die Eigenschaften bezüglich externer Kräfte, wie etwa der Vibrationsbeständigkeit, beibehalten werden, ist es weiter möglich, das Temperaturverhalten zu verbessern.
  • Es ist anzumerken, daß die Position, an der der Zwischenabschnitt-Befestigungsblock 20 angeordnet ist, nicht auf die Mitte des Rahmenkörpers 10 beschränkt ist, sondern eine beliebige Position sein kann und seine Position an den Ursprung der Verlängerung des Rahmenkörpers 10 gesetzt werden kann.
  • Nachfolgend wird ein Beispiel erläutert.
  • Eisen wurde als Material der Montagefläche verwendet, während Aluminium als das Material der Endbefestigungsblöcke 22 des Rahmens 10 benutzt wurde, um die Verlängerung des Rahmenkörpers 10 mit einer Länge von L0 = 530 mm zu absorbieren und seine Verbiegung bei einer Temperaturänderung von 20°C auf 40°C zu reduzieren. Die jeweiligen Abmessungen in 2 waren L1 = 4,5 mm, T1 = 2 mm, 12 = 13 mm und T2 = 1,2 mm.
  • Die 4 und 5 zeigen die Ergebnisse von Untersuchungen der Änderung der Verbiegung des Rahmenkörpers 10 bei Temperaturänderung von 20°C auf 30°C und weiter auf 40°C für den Fall der Befestigung des Wegaufnehmers an der Montagefläche 8 des zugehörigen aus Eisen bestehenden Teils. 4 zeigt die Ergebnisse für den Fall der Verwendung des herkömmlichen Befestigungsmechanismus. Dabei zeigt sich, daß eine Auslenkung in +Y-Richtung (siehe 8) um 80 bis 90 μm infolge des Temperaturanstiegs auftrat. Im Gegensatz dazu zeigt 5 die Ergebnisse beim beschriebenen Ausführungsbeispiel der Erfindung, für das sich eine Auslenkung in der Nähe von nur 10 bis 20 μm ergab; dies bestätigt, daß durch die Erfindung eine Verbesserung auf ¼ der Auslenkung beim Stand der Technik erreicht wird.
  • Im Rahmen der vorliegenden Erfindung kann das voranstehende Ausführungsbeispiel in vielfältiger Weise abgewandelt werden. Beispielsweise ist das Material des Rahmenkörpers und der Befestigungsblöcke nicht auf Aluminium beschränkt. Statt den mittleren Abschnitt des Rahmenkörpers mit Hilfe des Zwischenabschnitt-Befestigungsblocks 20 mit hoher Steifigkeit zu befestigen und beide Enden mittels Endbefestigungsblöcken 22 gemäß der Erfindung zu befestigen, kann ein Ende durch einen Befestigungsblock mit hoher Steifigkeit und das andere Ende mit einem Befestigungsblock gemäß der Erfindung befestigt werden.
  • Durch die Erfindung wird es möglich, das Auftreten einer Auslenkung oder Verbiegung des Rahmenkörpers bzw. Spannungen in dem Rahmenkörper infolge einer Umgebungstemperaturänderung zu verringern und den Versatz der relativen Position bezüglich der Montagefläche zu reduzieren. Damit ergeben sich hervorragende Vorteile, weil es möglich ist, die Beeinträchtigung der Genauigkeit infolge von Temperaturänderungen zu verringern und die Zuverlässigkeit bezüglich des mechanischen Verhaltens zu verbessern.

Claims (3)

  1. Als Einheit ausgebildeter Linearwegaufnehmer, umfassend: einen Rahmenkörper (10), der sich in einer Längenmeßrichtung (Z) erstreckt und einen Hauptmaßstab beherbergt; und eine erste Endbefestigung (22), die an einem Ende in Längenmeßrichtung des Rahmenkörpers (10) befestigt ist und einen Parallel-Blattfedermechanismus (24) aufweist, der in der Lage ist, eine thermische Dehnung des Rahmenkörpers (10) zu absorbieren, dadurch gekennzeichnet, daß der Rahmenkörper (10) einen Blattfedermechanismus (11) aufweist, der an dem einen Ende des Rahmenkörpers (10), welcher mittels der ersten Endbefestigung (22) befestigt ist, vorgesehen und in der Lage ist, eine Verbiegung dieses Endes des Rahmenkörpers (10) in einer Richtung (Y) senkrecht zu der Richtung (Z) zu absorbieren, in der die thermische Dehnung auftritt, und daß der Parallel-Blattfedermechanismus (24) und der Blattfedermechanismus (11) miteinander gekoppelt sind derart, daß das besagte Ende des Rahmenkörpers (10) über die Reihenschaltung aus Blattfedermechanismus (11) und Parallel-Blattfedermechanismus (24) befestigt ist.
  2. Linearwegaufnehmer nach Anspruch 1, ferner umfassend: eine zweite Endbefestigung (22), die am, in Längenmeßrichtung (Z), anderen Ende des Rahmenkörpers (10) fixiert ist und einen Parallel-Blattfedermechanismus (24) aufweist, der in der Lage ist, die thermische Dehnung des Rahmenkörpers (10) zu absorbieren.
  3. Linearwegaufnehmer nach Anspruch 1 oder 2, ferner umfassend: einen Zwischenabschnitt-Befestigungsblock (20), der an einem im wesentlichen in der Mitte in Längenmeßrichtung (Z) liegenden Abschnitt des Rahmenkörpers (10) fixiert ist und eine Steifigkeit aufweist, die höher ist als die der ersten Endbefestigung (22).
DE10244636A 2001-09-27 2002-09-25 Lineare Wegmessvorrichtung Expired - Lifetime DE10244636B4 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001/295683 2001-09-27
JP2001295683A JP3806328B2 (ja) 2001-09-27 2001-09-27 ユニット型直線変位測定装置、及び、その端部固定具

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10244636A1 DE10244636A1 (de) 2003-05-22
DE10244636B4 true DE10244636B4 (de) 2009-04-02

Family

ID=19117071

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10244636A Expired - Lifetime DE10244636B4 (de) 2001-09-27 2002-09-25 Lineare Wegmessvorrichtung

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6742274B2 (de)
JP (1) JP3806328B2 (de)
CN (1) CN1257381C (de)
DE (1) DE10244636B4 (de)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006030086A (ja) 2004-07-20 2006-02-02 Mitsutoyo Corp 長さ測定装置の弾性固定具及び固定方法
DE102005027025B4 (de) * 2005-06-11 2015-04-30 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Halterung für einen Maßstab
DE102006004898A1 (de) * 2006-02-03 2007-08-09 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Abtastsystem einer Positionsmesseinrichtung
JP2009180525A (ja) * 2008-01-29 2009-08-13 Mitsutoyo Corp 測定装置
DE102008043353A1 (de) * 2008-10-31 2010-05-06 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Längenmesseinrichtung
DE102009044917A1 (de) * 2009-09-23 2011-04-07 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Längenmesseinrichtung
DE102011079464A1 (de) * 2011-07-20 2013-01-24 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Längenmesseinrichtung
CN104006842A (zh) * 2013-02-27 2014-08-27 苏州工业园区欧霸动力设备有限公司 测量仪器固定座
JP5752221B2 (ja) * 2013-12-19 2015-07-22 ファナック株式会社 弾性構造部を備えた固定スリットを有する光学式エンコーダ
US9021853B1 (en) * 2014-05-27 2015-05-05 Micro Surface Engineering, Inc. Dimensionally stable long, calibration device
EP3276310B1 (de) * 2016-07-27 2018-09-19 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Längenmesseinrichtung
JP6909567B2 (ja) * 2016-09-26 2021-07-28 株式会社ミツトヨ 直線変位測定装置の取付け具
CN106482769B (zh) * 2016-11-23 2018-12-28 广州市精谷智能科技有限公司 一种直线编码器外壳在热胀冷缩条件下保持直线度的结构
JP6895332B2 (ja) * 2017-07-05 2021-06-30 株式会社ミツトヨ リニアスケール
CN107655450A (zh) * 2017-10-23 2018-02-02 沈阳建筑大学 一种高精度光纤光栅位错计
DE102018100516B4 (de) * 2018-01-11 2022-01-20 Turck Holding Gmbh Messgerät, insbesondere linearwegmessgerät
JP7510259B2 (ja) * 2020-02-25 2024-07-03 三井精機工業株式会社 工作機械の送り軸の熱変位対策構造
CN112629579B (zh) * 2020-12-15 2022-08-09 深圳中科飞测科技股份有限公司 校准机构及检测***

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4479304A (en) * 1982-05-21 1984-10-30 Johannes Heidenhain Gmbh Fastening element for length measuring device
US4530157A (en) * 1982-11-27 1985-07-23 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Length measuring system
US4776098A (en) * 1986-07-30 1988-10-11 Johannes Heidenhain Gmbh Length measuring apparatus with temperature compensation
US4912856A (en) * 1987-06-11 1990-04-03 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Position measuring device
DE3709220C2 (de) * 1987-03-20 1990-09-27 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De
DE9309310U1 (de) * 1993-06-23 1993-09-30 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 83301 Traunreut Lagemeßeinrichtung
DE4424649C2 (de) * 1994-07-13 1997-11-20 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE19711753A1 (de) * 1996-11-11 1998-05-14 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längenmeßeinrichtung

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2853771C2 (de) * 1978-12-13 1986-08-28 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Längenmeßeinrichtung
DE4406798C2 (de) * 1994-03-02 1997-11-27 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4479304A (en) * 1982-05-21 1984-10-30 Johannes Heidenhain Gmbh Fastening element for length measuring device
US4530157A (en) * 1982-11-27 1985-07-23 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Length measuring system
US4776098A (en) * 1986-07-30 1988-10-11 Johannes Heidenhain Gmbh Length measuring apparatus with temperature compensation
DE3709220C2 (de) * 1987-03-20 1990-09-27 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De
US4912856A (en) * 1987-06-11 1990-04-03 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Position measuring device
DE9309310U1 (de) * 1993-06-23 1993-09-30 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 83301 Traunreut Lagemeßeinrichtung
DE4424649C2 (de) * 1994-07-13 1997-11-20 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE19711753A1 (de) * 1996-11-11 1998-05-14 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längenmeßeinrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
US6742274B2 (en) 2004-06-01
DE10244636A1 (de) 2003-05-22
JP3806328B2 (ja) 2006-08-09
CN1257381C (zh) 2006-05-24
JP2003097936A (ja) 2003-04-03
US20030056387A1 (en) 2003-03-27
CN1409085A (zh) 2003-04-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE10244636B4 (de) Lineare Wegmessvorrichtung
EP0118607B1 (de) Gekapselte Messeinrichtung
DE3316081C2 (de)
DE1698108C3 (de) KrattmeBvorrichtung
DE60205404T2 (de) Versiegelte lastzelle
DE3719409A1 (de) Positionsmesseinrichtung
DE102005003684A1 (de) Feinjustierungsmechanismus zur Rastersondenmikroskopie
DE102018206310B4 (de) Translationsbewegungsvorrichtung mit Riemenantrieb
EP1924828A2 (de) Hebelgetriebe, insbesondere für einen wägeaufnehmer einer nach dem prinzip der elektromagnetischen kraftkompensation arbeitenden waage
DE602005003445T2 (de) Elastische Befestigung und Befestigungsverfahren für eine Längenmesseinrichtung
EP0188997B1 (de) Massen- und Kraftmessgerät
EP3021094A1 (de) Parallelogrammlenkerstruktur für eine waage
DE3312534A1 (de) Laengenskala-wegmessgeraet
DE2910882A1 (de) Baugruppe fuer die praezise und reproduzierbare montage eines mess- oder werkzeugs an einer maschine
EP0555876B1 (de) Kraftmessvorrichtung, insbesondere Waage, mit elektromagnetischem Zeiger
EP0485869A2 (de) Kraftsensor zur Erfassung von Kräften zwischen Bauteilen
DE19913659B4 (de) Positionserfassungsgerät
DE102007060606B4 (de) Koordinatenmessgerät mit Kompensation von thermisch bedingten Längenänderungen für die Koordinatenbestimmung
DE10218480A1 (de) Einstellverfahren und Einstelleinrichtung für Knopfbefestigungsvorrichtung
DE4305425B4 (de) Kraftmeßvorrichtung, insbesondere Waage
DE3441426A1 (de) Koordinatenmessmaschine
DE69601251T2 (de) Tischvorrichtung für Werkzeugmaschinen
DE10050802B4 (de) Halterungsvorrichtung für einen beweglichen Spiegel für Photo-Interferometer
DE102011012886B3 (de) Justierbare Linsenfassung für eine Streifenlinse
EP1643223A1 (de) Kraftübertragungsvorrichtung für eine Waage

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8364 No opposition during term of opposition
R071 Expiry of right