DE10234172A1 - Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften eines flächigen Prüflings und Verfahren zur Messung von Schichteneigenschaften eines flächigen Prüflings - Google Patents
Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften eines flächigen Prüflings und Verfahren zur Messung von Schichteneigenschaften eines flächigen PrüflingsInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften eines flächigen Prüflings (3), wobei der Prüfling mit einer vorgewählten konstanten Kraft oder mit einer vorgewählten Kraftprogression beaufschlagt werden kann, wobei die Trägerplatten (1a, 1b) Sensorplatten (2a, 2b) aufweisen, welche Sensorplatten wenigstens zwei gegenüber dem Prüfling wirkende Elektrodenflächen zur Bestimmung der elektrischen Eigenschaften des Prüflings aufweisen, und dass ein Temperatursensor (9a, 9b) vorgesehen ist, mittels welchem die Temperatur des Prüflings bestimmt werden kann und das ein den Trägerplatten zugeordneter ortsauflösender Sensor (10) vorgesehen ist, vermittels welchem eine Orts- bzw. Abstandsmessung der beiden Trägerplatten vorgenommen werden kann, und dass ein Kraftsensor (13) vorgesehen ist, mit dem die auf den Prüfling durch die Bewegung der Trägerplatten ausgeübte Kraft aufgenommen werden kann. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Messung von Schichteneigenschaften eines flächigen Prüflings.
Description
- Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften eines flächigen Prüflings, mit zwei Trägerplatten zur Aufnahme des flächigen Prüfling zwischen denselben, wobei eine Bewegungseinrichtung vorgesehen ist, vermittels welcher die Trägerplatten mit einer vorgewählten konstanten Kraft oder mit einer vorgewählten Kraftprogression aufeinander zu und/oder voneinander weg bewegt werden können. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Messung von Schichteneigenschaften eines flächigen Prüflings, wobei der Prüfling zwischen zwei Trägerplatten aufgenommen wird.
- Derartige Testanordnungen kommen bei der Bestimmung von Materialeigenschaften von Prüflingen schon länger zum Einsatz. Hierbei wird in mehreren Testreihen der Prüfling Kräften ausgesetzt und dabei werden aussagekräftige Messwerte des Prüflings erfasst.
- Nachteilig hierbei ist, dass unterschiedliche Messgrößen, beispielsweise Temperaturverhalten und elektrische Eigenschaften, nacheinander gemessen werden müssen, was einen hohen Präparations- und Messaufwand darstellt. Weiterhin nachteilig ist, dass nicht alle Eigenschaften simultan gemessen werden können, was ein geschlosseneres Gesamtbild über die Materialbeschaffenheit liefert.
- Aufgabe der Erfindung ist es eine Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften eines flächigen Prüflings und ein Verfahren zur Messung von Schichteneigenschaften eines flächigen Prüflings zur Verfügung zu stellen, bei dem mehrere Messgrößen bezüglich des Prüflings erfasst werden können, um so schneller und einfacher zu Ergebnissen zu gelangen.
- Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften eines flächigen Prüflings nach Anspruch 1 und ein Verfahren zur Messung von Schichteneigenschaften eines flächigen Prüflings nach Anspruch 15 gelöst.
- Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Trägerplatten Sensorplatten aufweisen, welche Sensorplatten wenigstens zwei gegenüber dem Prüfling wirkende Elektrodenflächen zur Bestimmung der elektrischen Eigenschaften des Prüflings aufweisen, und dass ein Temperatursensor vorgesehen ist, mittels welchem die Temperatur des Prüflings bestimmt werden kann und dass ein den Trägerplatten zugeordneter ortsauflösender Sensor vorgesehen ist, vermittels welchem eine Orts- bzw. Abstandsmessung der beiden Trägerplatten vorgenommen werden kann, und dass ein Kraftsensor vorgesehen ist, mit dem die auf den Prüfling durch die Bewegung der Trägerplatten ausgeübte Kraft aufgenommen werden kann.
- Die Erfindung schlägt vor, Temperaturmessvorrichtungen und elektrische Messvorrichtungen so am Prüfling vorzusehen, dass diese simultan mit den ortsauflösenden und kraftauflösenden Sensoren zum Einsatz kommen können. Dadurch ist permanent eine Aussage über die Schichtdicke des Prüflings, dessen Leitfähigkeit an der Oberfläche und im Innern desselben, sowie über dessen Temperatur bei jeweils anderer Kraftbeaufschlagung zu treffen. Durch diese simultane Erfassung von Dicke des Prüflings, dessen Kraftaufnahme, seiner elektrischen Leitfähigkeit - und damit seines elektrischen Widerstandes - und seiner Temperatur lässt sich eine eindeutigere Aussage hinsichtlich der Wechselwirkungen dieser Faktoren untereinander treffen, die sonst so nicht möglich ist. So lässt sich beispielsweise die Kompressibilität simultan berechnen. Der Prüfling kann dabei ein System aus mehreren dünnen Schichten sein, die als kompakte Platte als Prüfling in die Vorrichtung gegeben werden. So sind beispielsweise auch Schichtensysteme insbesondere einer Brennstoffzelle geeignet.
- Eine vorteilhafte und daher bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass jeweils Paare von sich an den Trägerplatten gegenüberliegenden Sensoren mit entsprechenden Elektrodenflächen vorgesehen sind.
- Vorteilhafterweise sind die Trägerplatten so ausgestaltet, dass diese verschiedene Sensoren mit unterschiedlichen geometrischen Abmessungen aufnehmen können, die mit der Trägerplatte lösbar verbunden werden können.
- Bevorzugterweise sind die Sensoren in Form von Quadern oder Zylindern ausgestaltet, wobei eine flächige Sensorfläche insbesondere als Elektrodenfläche vorhanden ist. Hierdurch kann das System modular und kostengünstig an die gewünschten Messergebnisse, die zur Erlangung einer Aussage über den Prüfling notwendig sind, angepasst werden.
- Bevorzugterweise ist die zu messenden elektrischen Eigenschaften des Prüflings dessen elektrischer Widerstand. Mit dem elektrischen Widerstand lässt sich besonders gut die Eigenschaft des Prüflings charakterisieren.
- Dem folgend sind nach einer Ausgestaltung der Erfindung die Elektrodenflächen so angeordnet, dass der Widerstand des Prüflings zwischen den Trägerplatten oder entlang einer Trägerplatte bestimmt wird. Dadurch lässt sich der Oberflächenwiderstand und der Widerstand des vollen Materials bestimmen.
- Eine besonders vorteilhafte und daher ebenso bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass in oder an den Sensoren ein Temperaturelement vorgesehen ist, vermittels welchem der Prüfling auf eine bestimmte Messtemperatur gebracht werden kann. Hierdurch lässt sich der Einfluss der Umgebungstemperatur auf den Prüfling unter einer Reihe von weiteren Randbedingungen wie bestimmte mechanische Belastungen simulieren und entsprechend Auswerten. Dies ist ebenfalls sehr vorteilhaft um gleichwertige, reproduzierbare Messergebnisse in mehreren Testreihen zu erhalten. Auch kann so das Temperaturverhalten des Prüflings bezüglich seines Widerstandes über der Temperatur ermittelt werden.
- Bevorzugterweise ist das Temperaturelement so ausgelegt, dass es sowohl Heizen als auch Kühlen kann. Damit können jederzeit fast beliebige Messsituationen hergestellt werden.
- Das erfindungsgemäße Verfahren zur Messung von Schichteneigenschaften eines flächigen Prüflings, wobei der Prüfling zwischen zwei Trägerplatten aufgenommen wird, sieht vor, dass der Prüfling mittels einer an die Trägerplatten gekoppelten Bewegungseinrichtung, welche die Trägerplatten aufeinander zu und/oder voneinander weg bewegt, mit einer vorgewählten konstanten Kraft oder mit einer vorgewählten Kraftprogression dergestalt beaufschlagt wird, dass diese Kraft zunächst durch den Prüfling aufgenommen wird, worauf der Prüfling mit einer weiter ansteigenden Kraft bis zu einer Maximalkraft beaufschlagt wird und dabei mittels Sensoren elektrische Eigenschaften des Prüflings gemessen werden.
- Eine vorteilhafte Ausgestaltung des Verfahrens sieht vor, dass die Sensoren und/oder der Prüfling auf einer vorgewählten Temperatur gehalten wird. Hierdurch werden gleichbleibende Messbedingungen für reproduzierbare Ergebnisse bereitgestellt.
- Eine besonders vorteilhafte und daher bevorzugte Ausgestaltung des Verfahrend sieht vor, dass vermittels eines Temperatursensors die Temperatur des Prüflings und/oder der Trägerplatte mit den Sensoren aufgenommen wird, um diesen und/oder diese mit einem Temperaturelement auf einer gewünschten Temperatur zu halten oder auf eine gewünschte Temperatur zu bringen. Hierdurch werden wiederum gleichbleibende Messbedingungen für reproduzierbare Ergebnisse bereitgestellt, und andererseits kann durch geeignete Wahl der Temperatur oder auch eines Temperaturgradienten während einer Messreihe weitere Information über die Materialeigenschaft des Prüflings gewonnen werden.
- Ein bevorzugter Verfahrensschritt sieht vor, dass über Elektrodenflächen der sich an den Trägerplatten befindlichen Sensoren die zu messenden elektrischen Eigenschaften des Prüflings gemessen werden.
- Ein weiterer vorteilhafter Verfahrensschritt sieht vor, dass die gemessenen elektrischen Eigenschaften der elektrische Materialwiderstand des Prüflings senkrecht und/oder parallel zu dessen Oberfläche ist.
- Dem folgend ist in einem weiteren vorteilhaften Verfahrensschritt vorgesehen, dass die Elektrodenflächen der sich an den Trägerplatten befindlichen Sensoren zeitgleich oder zeitversetzt während der Kraftbeaufschlagung des Prüflings angesteuert werden um verschiedene Messgrößen, insbesondere senkrecht und/oder parallel zu der Oberfläche des Prüflings, zu bestimmen.
- Eine vorteilhafte Ausgestaltung des Verfahrens sieht vor, dass vermittels einem den Trägerplatten zugeordneten ortsauflösenden Sensors eine Orts- bzw. Abstandsmessung der beiden Trägerplatten vorgenommen wird.
- Von Vorteil wird vermittels eines Kraftsensors die auf den Prüfling durch die Bewegung der Trägerplatten ausgeübte Kraft aufgenommen.
- Eine vorteilhafte Ausgestaltung des Verfahrens sieht vor, dass das Verfahren zyklisch mehrmals durchgeführt wird. Hierdurch kann das Setzverhalten eines insbesondere in Schichten aufgebauten Prüflings beobachtet werden.
- Weitere Vorteile, Besonderheiten und zweckmäßige Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den weiteren Unteransprüchen oder deren Unterkombinationen.
- Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnung weiter erläutert.
- Dabei zeigt:
- Fig. 1 einen schematischen Aufbau einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften,
- Fig. 2 eine detailliertere Ansicht der Trägerplatten mit den Sensoren und dem Temperaturelement,
- Fig. 3 eine Möglichkeit der Beschaltung der Elektrodenflächen zur Erlangung von Messdaten,
- Fig. 4 eine weitere Möglichkeit der Beschaltung der Elektrodenflächen zur Erlangung von Messdaten, und
- Fig. 5 eine weitere Möglichkeit der Beschaltung der Elektrodenflächen zur Erlangung von Messdaten.
- Die in den Figuren gleichen Bezugszeichen bezeichnen gleiche oder gleich wirkende Elemente.
- Die Fig. 1 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung 1 zur Messung von Schichteneigenschaften eines flächigen Prüflings 3. An der oberen 1a und unteren 1b Trägerplatte sind jeweils Sensorplatten 2a und 2b angebracht. Der aus einem Schichtensystem bestehende Prüfling 3 befindet sich zwischen den Sensorplatten.
- Die Trägerplatten sind über ein Gestell 20 und 21 mit einer Bewegungseinrichtung 11 und 12 mechanisch verbunden. Vermittels der Bewegungseinrichtung werden die Trägerplatten mit einer vorgewählten konstanten Kraft oder mit einer vorgewählten Kraftprogression - je nach Messschritt - aufeinander zu und voneinander weg bewegt, wodurch eine entsprechende Kraft auf den Prüfling 3 ausgeübt wird.
- Der zur Bestimmung der Prüflingsdicke notwendige ortsauflösende Sensor 10, vermittels welchem eine Orts- bzw. Abstandsmessung der beiden Trägerplatten vorgenommen wird, ist im Beispiel mit dem Gestell gekoppelt.
- Ein Kraftsensor 13 ist auch am Gestell vorgesehen. Er kann auch - wie der ortsauflösende Sensor an einer anderen Stelle angebracht sein. Mit dem Kraftsensor wird die auf den Prüfling durch die Bewegung der Trägerplatten ausgeübte Kraft aufgenommen werden.
- Zur Steuerung der Anlage ist eine Steuereinrichtung 30 zur Steuerung der Bewegung der Trägerplatten vorgesehen.
- Zur Messwertaufnahme ist eine Auswerteeinrichtung 40 vorgesehen, vermittels welcher die Messwerte der Sensoren während eines Messlaufs insbesondere kontinuierlich ausgewertet werden.
- Die Sensorplatten 2a und 2b weisen dabei die Messvorrichtungen auf, diese werden in der nächsten, vergrößerten Figur näher erläutert.
- Fig. 2 zeigt ein schematisches Querschnittsbild durch ein System aus oberer 1a und unterer 1b Trägerplatte, an denen jeweils eine Sensorplatte 2a und 2b befestigt ist. Die Sensorplatten haben dabei jeweils ein Temperaturelement 4a, 4b in sich integriert, um die Sensoren und den Prüfling 3 auf einer gewünschten Temperatur zu halten oder ihn auf eine solche zu Heizen bzw. zu Kühlen. Um die Temperatur der Sensoren und vor allem des Prüflings zu ermitteln ist an beiden Sensorplatten jeweils ein Temperatursensor 9a und 9b vorgesehen.
- An den dem Prüfling zugewandten Stirnseiten weisen die Sensorplatten die eigentlichen Sensoren auf. Diese sind durch einander zugeordnete Paare von Sensoren (5a, 5b; 6a, 6b; 7a, 7b; 8a, 8b) angeordnet, wobei die Sensoren mit entsprechenden Elektrodenflächen am Prüfling versehen sind.
- Die Elektrodenflächen dienen im Beispiel zur Bestimmung der elektrischen Eigenschaften des Prüflings. Die Elektrodenflächen sind so angeordnet, dass der Widerstand des Prüflings zwischen den Trägerplatten (Materialwiderstand) oder entlang einer Trägerplatte (Oberflächenwiderstand) bestimmbar ist.
- Die Trägerplatten 1a, 1b sind so ausgestaltet, dass diese verschiedene Sensoren mit unterschiedlichen geometrischen Abmessungen aufnehmen können, die mit der Trägerplatte lösbar verbunden werden können. Dadurch bleibt der Messtand variabel für alle zum Messen notwendigen Aufbauten.
- Ein Messverfahren kann dabei wie folgt ablaufen:
Der Prüfling wird zunächst mittels der an die Trägerplatten gekoppelten Bewegungseinrichtung 11, 12, welche die Trägerplatten aufeinander zu und voneinander weg bewegt, mit einer vorgewählten konstanten Kraft dergestalt beaufschlagt, dass diese Kraft zunächst durch den Prüfling aufgenommen wird. - Im nächsten Schritt wird der Prüfling mit einer weiter ansteigenden Kraft bis zu einer Maximalkraft beaufschlagt.
- Die dabei durch die Sensoren 5a bis 8b gewonnenen Messdaten ergeben die elektrischen Eigenschaften des Prüflings. Die Sensoren und der Prüfling werden dabei auf einer vorgewählten Temperatur gehalten oder auch auf verschiedene Temperaturen geheizt, um so die Veränderung der gemessenen Eigenschaften mit der Temperatur bestimmen zu können.
- Die Elektrodenflächen der sich an den Trägerplatten befindlichen Sensoren (5a, 5b, 6a, 6b, 7a, 7b, 8a, 8b) werden zur Messung dabei zeitgleich oder zeitversetzt während der Kraftbeaufschlagung des Prüflings angesteuert.
- Dies ist in den Fig. 3 bis 5 beispielhaft gezeigt.
- In Fig. 3 ist dargestellt wie vermittels der Sensoren 8a und 8b senkrecht durch den Prüfling 3 dessen Widerstand (Through Plane) bestimmt wird.
- Fig. 4 zeigt eine Messung quer durch den Prüfling 3 vermittels der Sensoren 5a und 8b.
- Fig. 5 zeigt beispielhaft eine temporäre Beschaltung der Sensoren und ihrer mit dem Prüfling wirken den Elektrodenflächen, bei der der Oberflächenwiderstand bestimmt werden kann (In Plane). Bezugszeichenliste 1 Messvorrichtung
1a, 1b obere und untere Trägerplatte
2a, 2b obere und untere Sensorplatte
3 Prüfling
4a, 4b Temperaturelemente
5a-8b Sensoren mit Elektrodenflächen
9a, 9b Temperatursensoren
10 ortsauflösender Sensor
11, 12 Bewegungseinrichtung
13 Kraftsensor
20, 21 Gestell
30 Steuereinrichtung
40 Auswerteeinrichtung
Claims (23)
1. Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften eines
flächigen Prüflings (3), mit zwei Trägerplatten (1a; 1b)
zur Aufnahme des flächigen Prüfling zwischen denselben,
wobei eine Bewegungseinrichtung (11, 12) vorgesehen ist,
vermittels welcher die Trägerplatten mit einer
vorgewählten konstanten Kraft oder mit einer vorgewählten
Kraftprogression aufeinander zu und/oder voneinander weg
bewegt werden können,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Trägerplatten (1a, 1b) Sensorplatten (2a, 2b)
aufweisen, welche Sensorplatten wenigstens zwei gegenüber
dem Prüfling wirkende Elektrodenflächen zur Bestimmung
der elektrischen Eigenschaften des Prüflings aufweisen,
und dass ein Temperatursensor (9a, 9b) vorgesehen ist,
mittels welchem die Temperatur des Prüflings bestimmt
werden kann, und dass ein den Trägerplatten zugeordneter
ortsauflösender Sensor (10) vorgesehen ist, vermittels
welchem eine Orts- bzw. Abstandsmessung der beiden
Trägerplatten vorgenommen werden kann, und dass ein
Kraftsensor (13) vorgesehen ist, mit dem die auf den
Prüfling durch die Bewegung der Trägerplatten ausgeübte
Kraft aufgenommen werden kann.
2. Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften nach
Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Prüfling ein Plattenförmiger Prüfkörper ist, der
insbesondere in aufeinanderliegenden Schichten aufgebaut
ist.
3. Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften nach
Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
dass jeweils Paare (5a, 5b; 6a, 6b; 7a, 7b; 8a, 8b) von
sich an den Trägerplatten gegenüberliegenden Sensoren mit
entsprechenden Elektrodenflächen vorgesehen sind.
4. Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften nach
einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet,
dass die gegenüber dem Prüfling wirkenden
Elektrodenflächen im wesentlichen die gleichen Abmessungen aufweisen.
5. Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften nach
einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Trägerplatten (1a, 1b) gegenüber dem Prüfling im
wesentlichen die gleiche geometrische Form aufweisen.
6. Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften nach
einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Trägerplatten (1a, 1b) so ausgestaltet sind,
dass diese verschiedene Sensoren mit unterschiedlichen
geometrischen Abmessungen aufnehmen können, die mit der
Trägerplatte lösbar verbunden werden können.
7. Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften nach
einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet,
dass eine Steuereinrichtung (30) zur Steuerung der
Bewegung der Trägerplatten vorgesehen ist.
8. Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften nach
einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet,
dass eine Auswerteeinrichtung (40) vorgesehen ist,
vermittels welcher die Messwerte der Sensoren während eines
Messlaufs insbesondere kontinuierlich ausgewertet werden.
9. Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften nach
einem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Sensoren in Form von Quadern oder Zylindern
ausgestaltet sind, wobei eine flächige Sensorfläche
insbesondere als Elektrodenfläche vorhanden ist.
10. Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften nach
einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet,
dass die zu messenden elektrischen Eigenschaften des
Prüflings (3) dessen elektrischer Widerstand ist.
11. Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften nach
einem der Ansprüche 1 bis 10,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Elektrodenflächen so angeordnet sind, dass der
Widerstand des Prüflings zwischen den Trägerplatten oder
entlang einer Trägerplatte bestimmbar ist.
12. Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften nach
einem der Ansprüche 1 bis 11,
dadurch gekennzeichnet,
dass in oder an den Sensoren ein Temperaturelement (4a,
4b) vorgesehen ist, vermittels welchem der Prüfling (3)
auf eine bestimmte Messtemperatur gebracht werden kann.
13. Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften nach
Anspruch 12,
dadurch gekennzeichnet,
dass das Temperaturelement (4a, 4b) sowohl Heizen als
auch Kühlen kann.
14. Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften nach
Anspruch 11 oder 12,
dadurch gekennzeichnet,
dass das Temperaturelement (4a, 4b) zwischen der
Trägerplatte und den Sensoren angeordnet ist.
15. Verfahren zur Messung von Schichteneigenschaften eines
flächigen Prüflings (3), wobei der Prüfling zwischen zwei
Trägerplatten (1a, 1b) aufgenommen wird,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Prüfling mittels einer an die Trägerplatten
gekoppelten Bewegungseinrichtung (11, 12), welche die
Trägerplatten aufeinander zu und/oder voneinander weg
bewegt, mit einer vorgewählten konstanten Kraft oder mit
einer vorgewählten Kraftprogression dergestalt
beaufschlagt wird, dass diese Kraft zunächst durch den
Prüfling aufgenommen wird, worauf der Prüfling mit einer
weiter ansteigenden Kraft bis zu einer Maximalkraft
beaufschlagt wird und dabei mittels Sensoren (5a bis 8b)
elektrische Eigenschaften des Prüflings gemessen werden.
16. Verfahren zur Messung von Schichteneigenschaften nach
Anspruch 15,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Sensoren und/oder der Prüfling auf einer
vorgewählten Temperatur gehalten wird.
17. Verfahren zur Messung von Schichteneigenschaften nach
Anspruch 15 oder 16,
dadurch gekennzeichnet,
dass vermittels eines Temperatursensors die Temperatur
des Prüflings und/oder der Trägerplatte mit den Sensoren
aufgenommen wird, um diesen und/oder diese mit einem
Temperaturelement auf einer gewünschten Temperatur zu halten
oder auf eine gewünschte Temperatur zu bringen.
18. Verfahren zur Messung von Schichteneigenschaften nach
einem der Ansprüche 15 bis 17,
dadurch gekennzeichnet,
dass über Elektrodenflächen der sich an den Trägerplatten
befindlichen Sensoren (5a, 5b, 6a, 6b, 7a, 7b, 8a, 8b)
die zu messenden elektrischen Eigenschaften des Prüflings
(3) gemessen werden.
19. Verfahren zur Messung von Schichteneigenschaften nach
einem der Ansprüche 15 bis 16,
dadurch gekennzeichnet,
dass die gemessenen elektrischen Eigenschaften der
elektrische Materialwiderstand des Prüflings (3) senkrecht
und/oder parallel zu dessen Oberfläche ist.
20. Verfahren zur Messung von Schichteneigenschaften nach
einem der Ansprüche 18 oder 19,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Elektrodenflächen der sich an den Trägerplatten
befindlichen Sensoren (5a, 5b, 6a, 6b, 7a, 7b, 8a, 8b)
zeitgleich oder zeitversetzt während der
Kraftbeaufschlagung des Prüflings angesteuert werden um verschiedene
Messgrößen, insbesondere senkrecht und/oder parallel zu
der Oberfläche des Prüflings (3), zu bestimmen.
21. Verfahren zur Messung von Schichteneigenschaften nach
einem der Ansprüche 15 bis 20,
dadurch gekennzeichnet,
dass vermittels einem den Trägerplatten zugeordneten
ortsauflösenden Sensors eine Orts- bzw. Abstandsmessung
der beiden Trägerplatten vorgenommen wird.
22. Verfahren zur Messung von Schichteneigenschaften nach
einem der Ansprüche 15 bis 21,
dadurch gekennzeichnet,
dass vermittels eines Kraftsensors die auf den Prüfling
durch die Bewegung der Trägerplatten ausgeübte Kraft
aufgenommen wird.
23. Verfahren zur Messung von Schichteneigenschaften nach
einem der Ansprüche 15 bis 22,
dadurch gekennzeichnet,
dass das Verfahren zyklisch mehrmals durchgeführt wird.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE2002134172 DE10234172A1 (de) | 2002-07-26 | 2002-07-26 | Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften eines flächigen Prüflings und Verfahren zur Messung von Schichteneigenschaften eines flächigen Prüflings |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE2002134172 DE10234172A1 (de) | 2002-07-26 | 2002-07-26 | Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften eines flächigen Prüflings und Verfahren zur Messung von Schichteneigenschaften eines flächigen Prüflings |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE10234172A1 true DE10234172A1 (de) | 2003-07-31 |
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ID=7714800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE2002134172 Ceased DE10234172A1 (de) | 2002-07-26 | 2002-07-26 | Vorrichtung zur Messung von Schichteneigenschaften eines flächigen Prüflings und Verfahren zur Messung von Schichteneigenschaften eines flächigen Prüflings |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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