DE10232768A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Vorschubregelung an einer Drahtsäge - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Vorschubregelung an einer Drahtsäge Download PDF

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    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0064—Devices for the automatic drive or the program control of the machines
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

Verfahren zum Sägen von Hartstoffen mit dem Drahtsägeverfahren,dadurch gekennzeichnet dass die Durchbiegung des Drahtfeldes erfasst und der Sägevorschub in Abhängigkeit von der wählbaren Drahtfelddurchbiegung so gesteuert wird dass die gewählte Durchbiegung während des gesamten Sägevorgangs eingehalten wird.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Sägen von Harten Werkstoffen.
  • Bei der Herstellung sogenannter Wafer aus Silizium in der Elektronik oder Solar Industrie werden sogenannte Drahtsägen eingesetzt. Dabei werden 160–200 μm dicke Metalldrähte mit einer Schleifmittelsuspension beaufschlagt und mit Geschwindigkeiten von 3–20 m/min über das Werkstück geführt.
  • Der Sägevorschub wird dabei ausschließlich geschwindigkeits- gesteuert. Beim Sägen von zylindrischen Werkstücken wie z.B. Einkristalle aus Silizium wird die Vorschubgeschwindigkeit dem variablen Durchmesser des Werkstücks angepasst.
  • Das Werkstück wird dabei nach dem Trenn-läpp-verfahren getrennt.
  • Dabei werden üblicherweise Schleifmittelsuspensionen aus Polyethylenglykol oder Öl als Trägerflüssigkeit und Siliziumkarbid als Schleifkorn eingesetzt. Die Korngröße des Schleifmittels liegt im Bereich von 5–30 μm der Siliziumabrieb hat Korngrößen im Bereich von 0,1–6 μm.
  • Beim Sägen mit vorgegebener Geschwindigkeit verändert sich die Durchbiegung der Sägedrähte bei veränderlicher Eingriffslänge der Sägedrähte, oder bei sich ändernder Härte des zu sägenden Werkstücks.
  • Während die veränderliche Eingriffslänge in der Regel auf einfache Weise durch veränderlich programmierte Vorschubgeschwindigkeit berücksichtigt werden kann, ist die veränderliche Härte nicht vorhersehbar.
  • Es zeigt sich in der Praxis dass die Sägeschnittqualität mit zunehmender Durchbiegung schlechter wird.
  • Beim Vorhandensein von harten Einschlüssen, z.B. aus SiC kommt es häufig zum Drahtbruch.
  • Erfindungsgemäß wird deshalb ein Verfahren vorgeschlagen das es ermöglicht die Durchbiegung der Sägedrähte während des Sägeprozesses zu messen und mit Hilfe eines geschlossenen Regelkreises konstant zu halten.
  • Gelöst wird die Aufgabe dadurch dass die Durchbiegung des Drahtfeldes nach dem Austritt aus dem Werkstück gemessen wird. Die gemessene Durchbiegung wird elektronisch mit einem vorgegebenen Sollwert verglichen. Mit der aus dem Vergleich errechneten Stellgröße wird die Vorschubgeschwindigkeit so eingestellt dass die Durchbiegung unabhängig von Härte oder Querschnittsänderungen konstant gehalten werden kann.
  • Zum Messen der Durchbiegung kommen verschiedene Verfahren in Frage. Eine Möglichkeit ist der Einsatz einer Videokamera mit Bildauswertung. Besonders vorteilhaft ist der Einsatz einer Thermokamera. Da die Sägedrähte beim Austritt aus dem Werkstück eine vom Werkstück verschiedene Temperatur annehmen.
    • 1
    Messwert Erfassung (Videokamera)
    2
    Auswertelektronik
    3
    Regler
    4
    Sägevorschubantrieb
    5
    Werkstück
    6
    Sägetisch
    7
    Referenzdrähte nicht im Sägeeingriff
    8
    Sägedrähte im Sägeeingriff
    9
    Drahtführungsrollen
    10
    Draht auf bzw. Abwickelspulen
    11
    Gemessene Drahtfelddurchbiegung

Claims (6)

  1. Verfahren zum Sägen von Hartstoffen mit dem Drahtsägeverfahren, dadurch gekennzeichnet dass die Durchbiegung des Drahtfeldes erfasst und der Sägevorschub in Abhängigkeit von der wählbaren Drahtfelddurchbiegung so gesteuert wird dass die gewählte Durchbiegung während des gesamten Sägevorgangs eingehalten wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur Messung der Drahtfelddurchbiegung ein nicht im Sägeeingriff befindlicher Bereich des Drahtfeldes mit einem im Eingriff befindlichen Bereich verglichen wird.
  3. Vorrichtung zum Erfassen und Regeln der Drahtfelddurchbiegung dadurch gekennzeichnet dass zur Erfassung der Drahtfelddurchbiegung eine berührungslose Messwerterfassung eingesetzt wird.
  4. Vorrichtung zum Erfassen und Regeln der Drahtfelddurchbiegung dadurch gekennzeichnet dass zur Erfassung der Drahtfelddurchbiegung eine Videokamern mit Bildauswertung eingesetzt wird.
  5. Vorrichtung zum Erfassen und Regeln der Drahtfelddurchbiegung dadurch gekennzeichnet dass zur Erfassung der Drahtfelddurchbiegung eine Thermokamera mit Bildauswertung eingesetzt wird.
  6. Vorrichtung zum Erfassen und Regeln der Drahtfelddurchbiegung dadurch gekennzeichnet dass zur Erfassung der Drahtfelddurchbiegung ein induktives oder kapazitives arbeitendes Meßsystem eingesetzt wird.
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102794827A (zh) * 2012-07-09 2012-11-28 浙江上城科技有限公司 一种蓝宝石弧片单线切割方法及设备
WO2013185952A1 (de) * 2012-06-14 2013-12-19 Crystal-N Gmbh Verfahren zum schneiden eines einkristalls
WO2014167392A1 (en) 2013-04-09 2014-10-16 Meyer Burger Ag Monitoring device and method for wire web monitoring and wire saw
FR3026035A1 (fr) * 2014-09-23 2016-03-25 Commissariat Energie Atomique Dispositif de decoupe par fil comportant un systeme de detection et de mesure d'une fleche du fil
EP3015238A1 (de) * 2014-10-29 2016-05-04 Applied Materials Switzerland Sàrl Drahtüberwachungssystem
EP3015237A1 (de) * 2014-10-29 2016-05-04 Applied Materials Switzerland Sàrl Drahtüberwachungssystem
CN106696103A (zh) * 2016-12-16 2017-05-24 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 粘棒方法及切割铸造多晶硅棒的方法
EP2389280A4 (de) * 2009-01-26 2017-08-30 Illinois Tool Works Inc. Drahtsäge
DE102016220523A1 (de) * 2016-10-19 2018-04-19 Solarworld Industries Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Analyse optisch erfassbarer Inhomogenitäten auf der Oberfläche von Wafern

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2389280A4 (de) * 2009-01-26 2017-08-30 Illinois Tool Works Inc. Drahtsäge
WO2013185952A1 (de) * 2012-06-14 2013-12-19 Crystal-N Gmbh Verfahren zum schneiden eines einkristalls
CN102794827A (zh) * 2012-07-09 2012-11-28 浙江上城科技有限公司 一种蓝宝石弧片单线切割方法及设备
WO2014167392A1 (en) 2013-04-09 2014-10-16 Meyer Burger Ag Monitoring device and method for wire web monitoring and wire saw
FR3026035A1 (fr) * 2014-09-23 2016-03-25 Commissariat Energie Atomique Dispositif de decoupe par fil comportant un systeme de detection et de mesure d'une fleche du fil
WO2016046107A1 (fr) * 2014-09-23 2016-03-31 Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives Dispositif de decoupe par fil comportant un systeme de detection et de mesure d'une fleche du fil et procédé de mise en oeuvre d'un tel dispositif
EP3015238A1 (de) * 2014-10-29 2016-05-04 Applied Materials Switzerland Sàrl Drahtüberwachungssystem
EP3015237A1 (de) * 2014-10-29 2016-05-04 Applied Materials Switzerland Sàrl Drahtüberwachungssystem
DE102016220523A1 (de) * 2016-10-19 2018-04-19 Solarworld Industries Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Analyse optisch erfassbarer Inhomogenitäten auf der Oberfläche von Wafern
DE102016220523B4 (de) 2016-10-19 2019-02-14 Solarworld Industries Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Analyse optisch erfassbarer Inhomogenitäten auf der Oberfläche von Wafern
CN106696103A (zh) * 2016-12-16 2017-05-24 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 粘棒方法及切割铸造多晶硅棒的方法

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