DE10232670B4 - Method and device for cleaning lapping disks - Google Patents

Abstract

Reinigungsvorrichtung, umfassend zwei parallel zueinander angeordnete Platten mit jeweils wenigstens einer in die Platte integrierten, nach außen gerichteten Hochdruckdüse mit Flüssigkeitszuführung zum Erzeugen eines Flüssigkeitsstrahls und jeweils einer ringförmig um jede Hochdruckdüse angebrachten Absaugöffnung mit einer Flüssigkeitsabführung, die mit einer Saugpumpe verbunden ist.Cleaning device, comprising two plates arranged in parallel to one another, each with at least one outwardly directed high-pressure nozzle with liquid supply integrated in the plate for generating a liquid jet and in each case one suction opening, which is arranged in a ring around each high-pressure nozzle and has a liquid discharge which is connected to a suction pump.

Description

Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Reinigung von Läppscheiben.The invention relates to a Method and device for cleaning lapping disks.

Läppscheiben werden als Bearbeitungswerkzeug in Läppmaschinen eingesetzt, um Oberflächen scheibenförmiger Werkstücke zu bearbeiten. Während des Läppvorgangs wird das Werkstück, beispielsweise eine Halbleiterscheibe, zwischen zwei entgegengesetzt rotierenden Läppscheiben unter Zuführung einer Läppsuspension (auch als „Slurry" bezeichnet) abrasiv bearbeitet.lapping are used as a machining tool in lapping machines to surfaces disc-shaped workpieces to edit. While of the lapping process the workpiece, for example a semiconductor wafer, between two rotating in opposite directions lapping under feed a lapping suspension (also called "slurry") abrasive processed.

Die Läppscheiben sind an ihren Oberflächen mit schmalen und tiefen Nuten und Bohrungen versehen, in denen sich während des Läppvorgangs Slurry, Korrosionsprodukte und abgetragenes Material vom Werkstück ablagern. Außerdem bilden sich an den Kanten der Nuten durch Verschleiß der Läppscheiben Grate. Die Ablagerungen bilden Konglomerate, die sich während des Läppvorgangs lösen und Kratzer auf der Werkstückoberfläche verursachen. Aus diesem Grund müssen die Läppscheiben regelmäßig gereinigt werden. Eine manuelle mechanische Reinigung mit anschließender Spülung ist nicht zielführend, da sich die Ablagerungen bei der Spülung zum Teil lediglich in dem System von Nuten räumlich umverteilen, aber nicht vollständig entfernt werden.The lapping discs are on their surfaces narrow and deep grooves and holes in which while of the lapping process Deposit slurry, corrosion products and removed material from the workpiece. Moreover form on the edges of the grooves due to wear of the lapping discs Bone. The deposits form conglomerates that form during the lapping loosen and scratches cause on the workpiece surface. Out because of this the lapping disks cleaned regularly become. A manual mechanical cleaning with subsequent rinsing is not effective, because some of the deposits during rinsing only spatially redistribute the system of grooves, but not completely be removed.

In den JP 20021178258 A und der JP 07009342 wird jeweils das das Reinigen von zwei Schleif- bzw. Polierscheiben mittels eines Hochdruck-Flüssigkeitsstrahl beschrieben, wobei die Flüssigkeit nur aufgebracht wird.In the JP 20021178258 A and the JP 07009342 the cleaning of two grinding or polishing disks by means of a high-pressure liquid jet is described in each case, the liquid only being applied.

Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe bestand somit darin, eine wirksame Reinigung von Läppscheiben zu ermöglichen.The basis of the invention The task was therefore to effectively clean lapping disks to enable.

Die Aufgabe wird gelöst durch eine Reinigungsvorrichtung, umfassend zwei parallel zueinander angeordnete Platten mit jeweils wenigstens einer in die Platte integrierten, nach außen gerichteten Hochdruckdüse mit Flüssigkeitszuführung zum Erzeugen eines Flüssigkeitsstrahls und jeweils einer ringförmig um jede Hochdruckdüse angebrachten Absaugöffnung mit einer Flüssigkeitsabführung, die mit einer Saugpumpe verbunden ist.The task is solved by a cleaning device comprising two arranged parallel to each other Plates with at least one integrated into the plate, outward directed high pressure nozzle with liquid supply to the Generate a jet of liquid and one ring each around every high pressure nozzle attached suction opening with a liquid drain that with a suction pump is connected.

Die Aufgabe wird ebenfalls gelöst durch ein Verfahren zum gleichzeitigen Reinigen beider Läppscheiben einer Läppmaschine, The task is also solved by a process for cleaning both lapping disks at the same time a lapping machine,

wobei die Läppscheiben in einen geeigneten Abstand zueinander gebracht werden und anschließend auf den Arbeitsflächen anhaftende Ablagerungen mit jeweils zumindest einem Hochdruck-Flüssigkeitsstrahl von beiden Läppscheiben gleichzeitig abgelöst werden, die Flüssigkeit unmittelbar nach ihrem Auftreffen auf die Arbeitsfläche einer Läppscheibe gemeinsam mit abgelösten Verunreinigungen in unmittelbarer Nähe des Flüssigkeitsstrahls mit Vakuum abgesaugt wird und wobei durch eine geeignete Relativbewegung zwischen Hochdruck-Flüssigkeitsstrahlen und Läppscheiben die gesamte Arbeitsfläche der beiden Läppscheiben abgerastert wird.with the lapping discs at a suitable distance brought together and then adhered to the work surfaces Deposits with at least one high pressure liquid jet from both lapping disks replaced at the same time be the liquid immediately after hitting the work surface of a Lapping wheel together with detached Contaminants in the immediate vicinity of the liquid jet are vacuumed off and and by a suitable relative movement between high pressure liquid jets and lapping disks the entire work surface of the two lapping disks is scanned.

Erfindungsgemäß werden die Arbeitsflächen beider Läppscheiben einer Läppmaschine gleichzeitig mit jeweils mindestens einem Hochdruck-Flüssigkeitsstrahl gereinigt, wobei durch den hohen Druck auch festsitzende Ablagerungen von der Oberfläche der Arbeitsscheibe gelöst werden. Mittels Hochdruckdüsen, die zwischen den Läppscheiben geführt werden, wird gleichzeitig an beiden Läppscheiben die Nutung mit einer Flüssigkeit, vorzugsweise Wasser, freigestrahlt. Die Flüssigkeit wird sofort, gemeinsam mit abgelösten Partikeln, abgesaugt, bevor sie sich über größere Bereiche der teilweise bereits gereinigten Läppscheiben verteilen und diese erneut mit Partikeln verunreinigen kann.According to the work surfaces of both lapping a lapping machine simultaneously with at least one high pressure liquid jet cleaned, due to the high pressure also stuck deposits from the surface of the Working disc released become. Using high pressure nozzles, between the lapping disks be led is applied to both lapping disks at the same time Use with a liquid, preferably water, blasted. The liquid becomes common immediately with detached Particles, suctioned off before spreading over larger areas of the part already cleaned lapping disks distribute and contaminate them again with particles.

1 zeigt eine der Erfindung entsprechende Reinigungsvorrichtung. 1 shows a cleaning device according to the invention.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst zwei parallel zueinander angeordnete Platten, eine obere Platte 1 und eine untere Platte 2. Die Platten dienen der Führung der Reinigungsvorrichtung zwischen den beiden Läppscheiben (obere Läppscheibe 3 und untere Läppscheibe 4) sowie der Abschirmung gegen Spritzwasser. Die Platten weisen vorzugsweise glatte Oberflächen auf, die auf der Arbeitsfläche der Läppscheiben gleiten können. Vorzugsweise sind die Oberflächen der Platten mit einer Kunststofffolie beschichtet. Falls ein direktes Gleiten der Platten auf den Arbeitsflächen der Läppscheiben vermieden werden soll, sind in jede Platte wenigstens drei Rollen 8 integriert, die über die Arbeitsfläche einer Läppscheibe rollen und einen definierten Abstand zwischen Platte und Läppscheibe gewährleisten.The device according to the invention comprises two plates arranged parallel to one another, an upper plate 1 and a lower plate 2 , The plates serve to guide the cleaning device between the two lapping disks (upper lapping disk 3 and lower lapping disk 4 ) and the shield against splash water. The plates preferably have smooth surfaces that can slide on the working surface of the lapping disks. The surfaces of the plates are preferably coated with a plastic film. If a direct sliding of the plates on the working surfaces of the lapping disks should be avoided, there are at least three rollers in each plate 8th integrated, which roll over the working surface of a lapping disk and ensure a defined distance between the plate and lapping disk.

In jede der beiden Platten ist zumindest eine Hochdruckdüse 6 integriert, die einen Hochdruck-Flüssigkeitsstrahl erzeugt. Die Hochdruckdüsen sind mit einer Flüssigkeitszuführung 9, beispielsweise einem Rohr oder einem Schlauch, und mit einer Hochdruckpumpe verbunden, die die Flüssigkeit unter hohem Druck in die Flüssigkeitszuführung einspeist (Druck vorzugsweise zwischen 5 und 240 bar). Der in der Hochdruckdüse erzeugte Flüssigkeitsstrahl trifft vorzugsweise etwa senkrecht auf die zu reinigende Arbeitsfläche der Läppscheibe, sodass der Strahl problemlos in die schmalen, tiefen Nuten 5 und Läppmittelzuführungsbohrungen 12 der Läppscheibe eindringen und diese von Ablagerungen befreien kann.There is at least one high pressure nozzle in each of the two plates 6 integrated, which generates a high pressure liquid jet. The high pressure nozzles are with a liquid supply 9 , for example a tube or a hose, and connected to a high-pressure pump which feeds the liquid into the liquid supply under high pressure (pressure preferably between 5 and 240 bar). The liquid jet generated in the high-pressure nozzle preferably strikes the work surface of the lapping disk to be cleaned approximately perpendicularly, so that the jet easily penetrates into the narrow, deep grooves 5 and lapping agent feed holes 12 can penetrate the lapping disk and free it of deposits.

In unmittelbarer Nähe jeder Hochdruckdüse ist eine Absaugöffnung 7 in die Platte integriert, vorzugsweise in Form einer Ringöffnung, die die Hochdruckdüse 6 ringförmig umgibt. Die Absaugöffnung ist mit einer Flüssigkeitsabführung 10, beispielsweise einem Rohr oder einem Schlauch, und mit einer Saugpumpe verbunden, die die mit Partikeln verunreinigte Flüssigkeit absaugt, bevor sie sich über größere Bereiche der zu reinigenden Läppscheibe verteilen kann.There is a suction opening in the immediate vicinity of each high pressure nozzle 7 integrated into the plate, preferably in the form of a ring opening that the high pressure nozzle 6 surrounds in a ring. The suction opening is with a liquid drain 10 , for example a pipe or hose, and with a Suction pump connected, which sucks the liquid contaminated with particles before it can be distributed over larger areas of the lapping disk to be cleaned.

Die Kombination aus Hochdruck-Flüssigkeitsstrahlen, die die Nuten der Läppscheiben freispülen und auch von festsitzenden Ablagerungen befreien, mit einer sofortigen Absaugung der verunreinigten Flüssigkeit gewährleisten eine sehr hohe Reinigungseffizienz.The combination of high pressure liquid jets, the the grooves of the lapping disks flush out and also get rid of stuck deposits with an instant Aspiration of the contaminated liquid guarantee a very high cleaning efficiency.

Um die gesamte Fläche der Läppscheiben zu reinigen, muss – unter Berücksichtigung der Anzahl und Anordnung der Hochdruckdüsen – für eine geeignete Relativbewegung zwischen der Reinigungsvorrichtung und den Läppscheiben gesorgt werden, sodass die gesamte zu reinigende Arbeitsfläche der Läppscheiben im Laufe des Reinigungsvorgangs erfasst wird. Vorzugsweise wird der Antrieb der Läppscheiben zur Erzeugung dieser Relativbewegung benutzt. Dabei werden die Läppscheiben während der Reinigung in eine langsame Rotation versetzt, während die Reinigungsvorrichtung an einer festen Position verbleibt. Auf diese Weise beschreibt jede Hochdruckdüse eine kreisförmige Bahn auf der zu reinigenden Läppscheibe, die nach einer Rotation um 360 ° geschlossen ist.To clean the entire surface of the lapping disks, - under consideration the number and arrangement of the high-pressure nozzles - for a suitable relative movement between the cleaning device and the lapping disks, so that the entire working surface of the lapping discs to be cleaned during the cleaning process is recorded. The lapping disks are preferably driven used to generate this relative movement. The lapping discs are used during the Cleaning rotated slowly while the cleaning device remains in a fixed position. In this way everyone describes high-pressure nozzle a circular Track on the lapping wheel to be cleaned, which closed after a rotation of 360 ° is.

Dabei müssen in jede der beiden Platten der Reinigungsvorrichtung in der gesamten Breite der zu reinigenden Fläche (die Breite der zu reinigenden Fläche ist der Abstand zwischen innerem und äußerem Rand der Läppscheibe) eine Vielzahl von Hochdruckdüsen integriert sein, um die gesamte Breite gleichzeitig zu reinigen. Alternativ kann, was bevorzugt ist, mit einer geringeren Anzahl an Hochdruckdüsen gearbeitet und damit auf eine gleichzeitige Reinigung der gesamten Breite der Läppscheiben verzichtet werden. In diesem Fall muss jedoch zusätzlich zur Rotation der Läppscheiben für eine bezüglich der Läppscheiben radiale Vorschubbewegung der Reinigungsvorrichtung gesorgt werden. Die Reinigungsvorrichtung umfasst in diesem Fall vorzugsweise zusätzlich einen Rahmen, auf dem die obere und untere Platte linear beweglich (beispielsweise mit Führungsstangen) angebracht sind. Die lineare Bewegung kann beispielsweise mit einem Zahnstangen-Gewindespindelantrieb erreicht werden, der die beiden Platten der Reinigungsvorrichtung mit den integrierten Hochdruckdüsen und Absaugöffnungen relativ zum Rahmen und damit radial bezüglich der Läppscheiben bewegt. Der radiale Antrieb ist vorzugsweise regelbar, um die Vorschubgeschwindigkeit und damit die Reinigungsintensität variieren zu können.Do this in each of the two plates the cleaning device in the entire width of the to be cleaned area (the width of the surface to be cleaned is the distance between inner and outer edge the lapping wheel) a variety of high pressure nozzles be integrated to clean the entire width at the same time. Alternatively, what is preferred can be with a smaller number on high pressure nozzles worked and thus on a simultaneous cleaning of the whole No width of the lapping disks become. In this case, however, in addition to the rotation of the lapping disks for one in terms of the lapping disks radial feed movement of the cleaning device can be provided. In this case, the cleaning device preferably additionally comprises one Frame on which the upper and lower plate can move linearly (for example with guide rods) are attached. The linear movement can, for example, with a rack-and-pin screw drive be achieved by the two plates of the cleaning device with the integrated high pressure nozzles and suction openings moved relative to the frame and thus radially with respect to the lapping disks. The radial Drive is preferably adjustable to the feed rate and thus the cleaning intensity to be able to vary.

Die Rotation der Läppscheiben und die radiale Vorschubbewegung der Reinigungsvorrichtung sind so aufeinander abzustimmen, dass im Laufe der Reinigung die gesamte zu reinigende Arbeitsfläche der Läppscheiben erfasst wird. Beispielsweise kann die langsame Rotation der Läppscheiben mit einer sehr langsamen radialen Vorschubbewegung kombiniert werden, sodass jede einzelne Düse auf der Läppscheibe eine spiralförmige Bahn beschreibt. In diesem Fall ist eine Rotation um deutlich mehr als 360 ° nötig, um die gesamte Fläche zu reinigen. Beispielsweise können im Lauf der Reinigung zwei oder mehr vollständige Rotationen stattfinden. Alternativ kann jedoch auch während einer Läppscheibenrotation um 360 ° eine schnellere oszillierende radiale Bewegung der Reinigungsvorrichtung erfolgen, sodass jede Hochdruckdüse auf der Läppscheibe eine „sternförmige" oder „Zick-Zack"-Bahn beschreibt.The rotation of the lapping disks and the radial feed movement of the cleaning device to be coordinated so that the entire work surface to be cleaned lapping is recorded. For example, the slow rotation of the lapping disks can be combined with a very slow radial feed movement, so every single nozzle on the lapping wheel a spiral Bahn describes. In this case, rotation is much more than 360 ° necessary to the whole area to clean. For example two or more complete rotations take place in the course of cleaning. Alternatively, however, during a lapping disc rotation by 360 ° one faster oscillating radial movement of the cleaning device done so that every high pressure nozzle on the lapping wheel describes a "star-shaped" or "zigzag" orbit.

Anzahl und Anordnung der Hochdruckdüsen, Querschnitt der erzeugten Flüssigkeitsstrahlen, Größe der zu reinigenden Fläche, Geschwindigkeit der radialen Bewegung (der Reinigungsvorrichtung) und der Rotationsbewegung (der Läppscheiben) bestimmen die Reinigungsintensität und sind so aufeinander abgestimmt, dass die gesamte Arbeitsfläche der Läppscheiben zumindest einmal komplett gereinigt wird.Number and arrangement of the high pressure nozzles, cross section of the generated liquid jets, size of the to cleaning surface, Speed of radial movement (of the cleaning device) and the rotational movement (of the lapping disks) determine the cleaning intensity and are coordinated so that the entire work surface of the lapping is completely cleaned at least once.

Um die Reinigungswirkung weiter zu erhöhen, ist es bevorzugt, die Arbeitsflächen in zwei oder mehr aufeinanderfolgenden Durchgängen mehrmals vollständig zu reinigen. Dabei wird vorzugsweise jeweils die Rotationsrichtung der Läppscheiben gewechselt.To further increase the cleaning effect increase, it is preferred the work surfaces several times completely in two or more consecutive runs clean. The direction of rotation is preferred in each case the lapping disks changed.

Um eine optimale Reinigungswirkung zu erreichen, wird der Abstand zwischen den Platten der Reinigungsvorrichtung mit den integrierten Hochdruckdüsen und Absaugöffnungen und den Läppscheiben vorzugsweise möglichst gering gewählt. Vorzugsweise gleiten die Platten, die beispielsweise mit einer Kunststofffolie beschichtet sind, direkt auf den Läppscheiben. Um eine möglichst enge Führung der Platten entlang der Läppscheiben zu erreichen und etwaige Dicken- oder Abstandsinhomogenitäten der Läppscheiben auszugleichen, werden die obere und untere Platte 1 bzw. 2 der Reinigungsvorrichtung vorzugsweise durch eine oder mehrere Federn oder Pneumatik- oder Hydraulikzylinder auseinander und damit gegen die Läppscheiben 3 und 4 gedrückt. Dadurch wird ein bestimmter Düsenabstand zur Läppscheibe gegeben und ein Abheben der Reinigungsvorrichtung verhindert.In order to achieve an optimal cleaning effect, the distance between the plates of the cleaning device with the integrated high-pressure nozzles and suction openings and the lapping disks is preferably chosen to be as small as possible. The plates, which are coated, for example, with a plastic film, preferably slide directly on the lapping disks. In order to achieve the tightest possible guidance of the plates along the lapping disks and to compensate for any thickness or spacing inhomogeneities of the lapping disks, the upper and lower plates are 1 or 2 of the cleaning device preferably by one or more springs or pneumatic or hydraulic cylinders apart and thus against the lapping disks 3 and 4 pressed. This provides a certain distance between the nozzles and the lapping wheel and prevents the cleaning device from lifting off.

Um eine sichere und während des gesamten Reinigungsvorgangs stabile Positionierung der Reinigungsvorrichtung zu gewährleisten, wird die Reinigungsvorrichtung bevorzugt an einem unbeweglichen Teil der Läppmaschine befestigt, besonders bevorzugt am äußeren Stiftkranz 11 der Läppmaschine. Beispielsweise wird die Reinigungsvorrichtung auf den Stiftkranz aufgesteckt oder am Stiftkranz festgeklemmt. Die Reinigungsvorrichtung umfasst daher vorzugsweise zusätzlich eine an den Stiftkranz der Läppmaschine angepasste Steck- oder Klemmvorrichtung.In order to ensure a safe and stable positioning of the cleaning device during the entire cleaning process, the cleaning device is preferably attached to an immovable part of the lapping machine, particularly preferably to the outer pin ring 11 the lapping machine. For example, the cleaning device is plugged onto the pin ring or clamped onto the pin ring. The cleaning device therefore preferably additionally comprises a plug-in or clamping device adapted to the pin ring of the lapping machine.

In einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Reinigungsverfahrens wird zunächst bei geöffneter Läppmaschine (obere Läppscheibe entfernt) die Reinigungsvorrichtung am Stiftkranz festgeklemmt. Anschließend wird die Flüssigkeitszuführung mit einer Hochdruckpumpe sowie die Flüssigkeitsabführung mit einer Saugpumpe verbunden. Nachdem die obere Läppscheibe in Reinigungsstellung, d. h. in einige Zentimeter Abstand zur unteren Läppscheibe (abhängig von der Dicke der Reinigungsvorrichtung), gebracht wurde, werden die Platten der Reinigungsvorrichtung auseinander und damit gegen die Läppscheiben gedrückt (d. h. im Falle von Federn werden diese entriegelt, im Falle von Hydraulik- oder Pneumatikzylindern werden diese mit Druck beaufschlagt). Der Antrieb der oberen und unteren Läppscheibe wird mit geringer Drehzahl aktiviert, die Hochdruckpumpe und die Saugpumpe sowie der radiale lineare Antrieb der Reinigungsvorrichtung werden eingeschaltet. Die Reinigung läuft anschließend in Abhängigkeit von den Prozessparametern (Anzahl und Anordnung der Hochdruckdüsen, Querschnitt der erzeugten Flüssigkeitsstrahlen, Größe der zu reinigenden Fläche, Geschwindigkeit der radialen und der Rotationsbewegung) zumindest so lange, bis die gesamte Arbeitsfläche der Läppscheiben zumindest einmal vollständig gereinigt wurde. Nach der Reinigung werden die zur Vorbereitung ausgeführten Schritte in umgekehrter Reihenfolge und Richtung wiederholt.In a preferred embodiment of the cleaning method according to the invention, the cleaning device on the pin is first opened when the lapping machine is open (upper lapping disk removed) wreath clamped. Then the liquid supply is connected to a high pressure pump and the liquid discharge is connected to a suction pump. After the upper lapping disk has been brought into the cleaning position, i.e. a few centimeters away from the lower lapping disk (depending on the thickness of the cleaning device), the plates of the cleaning device are pressed apart and thus pressed against the lapping disks (ie in the case of springs, these are unlocked in the In the case of hydraulic or pneumatic cylinders, these are pressurized). The drive of the upper and lower lapping disk is activated at low speed, the high pressure pump and the suction pump as well as the radial linear drive of the cleaning device are switched on. Depending on the process parameters (number and arrangement of the high-pressure nozzles, cross section of the liquid jets generated, size of the surface to be cleaned, speed of the radial and rotational movement), the cleaning then continues at least until the entire working surface of the lapping disks has been completely cleaned at least once. After cleaning, the preparatory steps are repeated in reverse order and direction.

Die Erfindung eignet sich zur Reinigung von Läppscheiben, die zum Läppen harter Materialien, beispielsweise Halbleitermateri al wie Silicium, verwendet werden. Sie eignet sich jedoch generell zur Reinigung von gegenüberliegenden rotierenden Scheiben.The invention is suitable for cleaning of lapping disks, the one for lapping hard materials, for example semiconductor materials such as silicon, be used. However, it is generally suitable for cleaning from opposite rotating disks.

Claims (7)

Reinigungsvorrichtung, umfassend zwei parallel zueinander angeordnete Platten mit jeweils wenigstens einer in die Platte integrierten, nach außen gerichteten Hochdruckdüse mit Flüssigkeitszuführung zum Erzeugen eines Flüssigkeitsstrahls und jeweils einer ringförmig um jede Hochdruckdüse angebrachten Absaugöffnung mit einer Flüssigkeitsabführung, die mit einer Saugpumpe verbunden ist.Cleaning device comprising two in parallel mutually arranged plates with at least one in each Integrated plate, facing outwards high-pressure nozzle with liquid supply to the Generate a jet of liquid and one ring each around every high pressure nozzle attached suction opening with a liquid drain that is connected to a suction pump. Reinigungsvorrichtung gemäß Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Rahmen, einen linearen Antrieb und eine lineare Führung, wobei der lineare Antrieb die Platten mit den integrierten Hochdruckdüsen und Absaugöffnungen entlang der linearen Führung relativ zum positionsfesten Rahmen linear bewegt.Cleaning device according to claim 1, characterized by a frame, a linear drive and a linear guide, whereby the linear drive the plates with the integrated high pressure nozzles and suction along the linear guide moved linearly relative to the fixed frame. Reinigungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 oder 2, gekennzeichnet durch eine Steck- oder Klemmvorrichtung, mit der die Reinigungsvorrichtung am äußeren Stiftkranz einer Läppmaschine befestigt werden kann.Cleaning device according to one of claims 1 or 2, characterized by a plug or clamping device with which the cleaning device on the outer pin ring attached to a lapping machine can be. Reinigungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch wenigstens eine Vorrichtung zum Auseinanderdrücken der beiden Platten, wobei die Vorrichtung eine Feder oder ein Pneumatik- oder Hydraulikzylinder sein kann.Cleaning device according to one of claims 1 to 3, characterized by at least one device for pushing the two plates, the device being a spring or a pneumatic or can be hydraulic cylinders. Verfahren zum gleichzeitigen Reinigen beider Läppscheiben einer Läppmaschine, wobei die Läppscheiben in einen geeigneten Abstand zueinander gebracht werden und anschließend auf den Arbeitsflächen anhaftende Ablagerungen mit jeweils zumindest einem Hochdruck-Flüssigkeitsstrahl von beiden Läppscheiben gleichzeitig abgelöst werden, die Flüssigkeit unmittelbar nach ihrem Auftreffen auf die Arbeitsfläche einer Läppscheibe gemeinsam mit abgelösten Verunreinigungen in unmittelbarer Nähe des Flüssigkeitsstrahls mit Vakuum abgesaugt wird und wobei durch eine geeignete Relativbewegung zwischen Hochdruck-Flüssigkeitsstrahlen und Läppscheiben die gesamte Ar beitsfläche der beiden Läppscheiben abgerastert wird.Procedure for cleaning both lapping disks at the same time a lapping machine, taking the lapping disks be brought into a suitable distance from each other and then on the work surfaces adhering deposits, each with at least one high-pressure liquid jet from both lapping disks replaced at the same time be the liquid immediately after hitting the work surface of a lapping together with replaced Contamination in the immediate vicinity of the liquid jet with vacuum is sucked off and by a suitable relative movement between High-pressure liquid jets and lapping disks the entire working area of the two lapping disks is scanned. Verfahren gemäß Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Relativbewegung durch die Kombination einer Rotation der Läppscheiben und einer linearen radialen Bewegung der Hochdruck-Flüssigkeitsstrahlen erzielt wird.Method according to claim 5, characterized in that the relative movement by the combination a rotation of the lapping disks and linear radial movement of the high pressure liquid jets is achieved. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochdruck-Flüssigkeitsstrahlen in einem definierten, konstanten Abstand von den Arbeitsflächen der Läppscheiben erzeugt werden.Procedure according to a of claims 5 or 6, characterized in that the high pressure liquid jets at a defined, constant distance from the work surfaces of the lapping be generated.