DE10224395A1 - Method and device for the plasma treatment of workpieces - Google Patents

Method and device for the plasma treatment of workpieces

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DE10224395A1
DE10224395A1 DE10224395A DE10224395A DE10224395A1 DE 10224395 A1 DE10224395 A1 DE 10224395A1 DE 10224395 A DE10224395 A DE 10224395A DE 10224395 A DE10224395 A DE 10224395A DE 10224395 A1 DE10224395 A1 DE 10224395A1
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Michael Litzenberg
Stephan Behle
Frank Lewin
Andreas Luettringhaus-Henkel
Hartwig Mueller
Matthias Bicker
Klaus Vogel
Juergen Klein
Gregor Arnold
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Abstract

Das Verfahren und die Vorrichtung dienen zur Plasmabehandlung von Werkstücken. Das Werkstück wird in eine zumindest teilweise evakuierbare Kammer einer Behandlungsstation eingesetzt und zur Unterstützung einer Handhabung der Werkstücke wird mindestens ein Teil der Behandlungsstation relativ zu einem weiteren Teil bewegt. Die Bewegung wird derart durchgeführt, daß eine hülsenförmige Kammerwandung relativ zu einem Kammerboden sowie relativ zu einem Kammerdeckel positioniert wird.The method and the device are used for the plasma treatment of workpieces. The workpiece is inserted into an at least partially evacuable chamber of a treatment station and at least part of the treatment station is moved relative to another part to support handling of the workpieces. The movement is carried out in such a way that a sleeve-shaped chamber wall is positioned relative to a chamber bottom and relative to a chamber cover.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Plasmabehandlung von Werkstücken, bei dem das Werkstück in eine zumindest teilweise evakuierbare Plasmakammer einer Behandlungsstation eingesetzt wird und bei dem zur Unterstützung einer Handhabung der Werkstücke mindestens ein Teil der Behandlungsstation relativ zu mindestens einem weiteren Teil bewegt wird. The invention relates to a method for plasma treatment of workpieces in which the workpiece is at least in one partially evacuable plasma chamber Treatment station is used and at the Support for handling the workpieces at least part of the treatment station relative to at least one another part is moved.

Die Erfindung betrifft darüber hinaus eine Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken, die mindestens eine evakuierbare Plasmakammer zur Aufnahme der Werkstücke aufweist und bei der die Plasmakammer im Bereich einer Behandlungsstation angeordnet ist, sowie bei der die Plasmakammer von einem Kammerboden, einem Kammerdeckel sowie einer seitlichen Kammerwandung begrenzt ist. The invention also relates to a device for Plasma treatment of workpieces that have at least one evacuable plasma chamber for receiving the workpieces and in which the plasma chamber in the area of a Treatment station is arranged, as well as at which the Plasma chamber from a chamber floor, a chamber lid and a lateral chamber wall is limited.

Derartige Verfahren und Vorrichtungen werden beispielsweise eingesetzt, um Kunststoffe mit Oberflächenbeschichtungen zu versehen. Insbesondere sind auch bereits derartige Verfahren und Vorrichtungen bekannt, um innere oder äußere Oberflächen von Behältern zu beschichten, die zur Verpackung von Flüssigkeiten vorgesehen sind. Darüber hinaus sind Einrichtungen zur Plasmasterilisation bekannt. Such methods and devices are, for example used to make plastics with surface coatings Mistake. In particular, there are already such Methods and devices known to make inner or outer To coat surfaces of containers used for Packing of liquids are provided. About that devices for plasma sterilization are also known.

In der PCT-WO 95/22413 wird eine Plasmakammer zur Innenbeschichtung von Flaschen aus PET beschrieben. Die zu beschichtenden Flaschen werden durch einen beweglichen Boden in eine Plasmakammer hineingehoben und im Bereich einer Flaschenmündung mit einem Adapter in Verbindung gebracht. Durch den Adapter hindurch kann eine Evakuierung des Flascheninnenraumes erfolgen. Darüber hinaus wird durch den Adapter hindurch eine hohle Lanze in den Innenraum der Flaschen eingeführt, um Prozeßgas zuzuführen. Eine Zündung des Plasmas erfolgt unter Verwendung einer Mikrowelle. In PCT-WO 95/22413 a plasma chamber is used Inside coating of bottles made of PET described. The too coating bottles are made by a movable Floor lifted into a plasma chamber and in the area a bottle mouth with an adapter brought. Evacuation can occur through the adapter of the bottle interior. In addition, by a hollow lance into the interior of the adapter Bottles introduced to supply process gas. An ignition of the plasma is done using a microwave.

Aus dieser Veröffentlichung ist es auch bereits bekannt, eine Mehrzahl von Plasmakammern auf einem rotierenden Rad anzuordnen. Hierdurch wird eine hohe Produktionsrate von Flaschen je Zeiteinheit unterstützt. From this publication it is already known a plurality of plasma chambers on a rotating wheel to arrange. This will result in a high production rate of Bottles supported per unit of time.

In der EP-OS 10 10 773 wird eine Zuführeinrichtung erläutert, um einen Flascheninnenraum zu evakuieren und mit Prozeßgas zu versorgen. In der PCT-WO 01/31680 wird eine Plasmakammer beschrieben, in die die Flaschen von einem beweglichen Deckel eingeführt werden, der zuvor mit einem Mündungsbereich der Flaschen verbunden wurde. In EP-OS 10 10 773 a feed device explained to evacuate a bottle interior and with To supply process gas. In PCT-WO 01/31680 a Plasma chamber described, in which the bottles of one movable lid that was previously introduced with a Mouth area of the bottles was connected.

Die PCT-WO 00/58631 zeigt ebenfalls bereits die Anordnung von Plasmastationen auf einem rotierenden Rad und beschreibt für eine derartige Anordnung eine gruppenweise Zuordnung von Unterdruckpumpen und Plasmastationen, um eine günstige Evakuierung der Kammern sowie der Innenräume der Flaschen zu unterstützen. Darüber hinaus wird die Beschichtung von mehreren Behältern in einer gemeinsamen Plasmastation bzw. einer gemeinsamen Kavität erwähnt. PCT-WO 00/58631 also already shows the arrangement of plasma stations on a rotating wheel and describes a group for such an arrangement Assignment of vacuum pumps and plasma stations to one favorable evacuation of the chambers and the interior of the Support bottles. In addition, the Coating of several containers in one Plasma station or a common cavity mentioned.

Eine weitere Anordnung zur Durchführung einer Innenbeschichtung von Flaschen wird in der PCT-WO 99/17334 beschrieben. Es wird hier insbesondere eine Anordnung eines Mikrowellengenerators oberhalb der Plasmakammer sowie eine Vakuum- und Betriebsmittelzuleitung durch einen Boden der Plasmakammer hindurch beschrieben. Another arrangement for performing a Internal coating of bottles is described in PCT-WO 99/17334 described. In particular, an arrangement of a Microwave generator above the plasma chamber and a Vacuum and equipment supply through a bottom of the Plasma chamber described through.

Bei der überwiegenden Anzahl der bekannten Verfahren werden zur Verbesserung von Barriereeigenschaften des thermoplastischen Kunststoffmaterials durch das Plasma erzeugte Behälterschichten aus Siliziumoxiden mit der allgemeinen chemischen Formel SiOx verwendet. Derartige Barriereschichten verhindern ein Eindringen von Sauerstoff in die verpackten Flüssigkeiten sowie ein Austreten von Kohlendioxid bei CO2-haltigen Flüssigkeiten. In the vast majority of the known methods, container layers made of silicon oxides with the general chemical formula SiO x are used to improve the barrier properties of the thermoplastic plastic material. Barrier layers of this type prevent oxygen from entering the packaged liquids and escape of carbon dioxide in the case of liquids containing CO 2 .

Die bislang bekannten Verfahren und Vorrichtungen sind noch nicht in ausreichender Weise dafür geeignet, für eine Massenproduktion eingesetzt zu werden, bei der sowohl ein geringer Beschichtungspreis je Werkstück als auch eine hohe Produktionsgeschwindigkeit erreicht werden muß. The previously known methods and devices are still not adequate for one Mass production to be used in both low coating price per workpiece as well as a high one Production speed must be achieved.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Verfahren der einleitend genannten Art derart anzugeben, daß eine Handhabung der zu behandelnden Werkstücke mit hoher Geschwindigkeit und großer Zuverlässigkeit unterstützt wird. The object of the present invention is therefore a To specify methods of the type mentioned in the introduction, that handling the workpieces to be treated with high speed and great reliability is supported.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß eine hülsenförmige Kammerwandung relativ zu einem Kammerboden sowie relativ zu einem Kammerdeckel positioniert wird. This object is achieved in that a sleeve-shaped chamber wall relative to a chamber floor and positioned relative to a chamber lid.

Weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung der einleitend genannten Art derart zu konstruieren, daß eine einfache Bewegungskinematik der zu behandelnden Werkstücke unterstützt wird. Another object of the present invention is a Device of the type mentioned in the introduction construct a simple kinematics of motion to treating workpieces is supported.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Kammerwandung hülsenförmig ausgebildet und sowohl relativ zum Kammerboden als auch relativ zum Kammerdeckel bewegLich angeordnet ist. This object is achieved in that the Chamber wall is sleeve-shaped and both relative movable to the chamber floor as well as relative to the chamber cover is arranged.

Durch die relativ zum Kammerboden und zum Kammerdeckel positionierbare Anordnung der hülsenförmigen Kammerwandung ist es möglich, die zu behandelnden Werkstücke auf einem im wesentlichen gleichbleibenden Höhenniveau zu transportieren. Es wird hierdurch die Zeit für eine gemäß dem Stand der Technik durchzuführende Höhenpositionierung der Werkstücke sowie der hierfür erforderliche konstruktive Aufwand eingespart. Der Kammerboden sowie der Kammerdeckel bleiben auf einem gleichen Höhenniveau angeordnet, so daß mit konstruktiv einfachen Mitteln im Bereich des Kammerdeckels ein Mikrowellengenerator zur Zündung des Plasmas und im Bereich des Kammerbodens Zuführeinrichtungen für das Vakuum sowie das Prozeßgas angeordnet werden können. Alle Betriebsmittelzuführungen sowie Energieversorgungen können somit über feste Leitungen erfolgen und es werden Kupplungen oder im Hinblick auf ihre Lebensdauer kritische flexible Leitungen vermieden. Through the relative to the chamber floor and the chamber lid positionable arrangement of the sleeve-shaped chamber wall it is possible to workpieces to be treated on an in substantially constant height level transport. This will make the time for an according height positioning to be carried out according to the prior art of the workpieces as well as the design required for this Saved effort. The chamber floor and the chamber lid remain at the same level, so that with constructively simple means in the area of Chamber cover a microwave generator for ignition of the Plasmas and in the area of the chamber floor feed devices be arranged for the vacuum and the process gas can. All resource supplies as well Energy supplies can thus be via fixed lines take place and there will be couplings or with regard to their Critical flexible cables avoided.

Der verfahrenstechnische Ablauf bei der Handhabung der Werkstücke erfolgt derart, daß die verschiebliche Hülse zunächst derart verschoben wird, daß ein Einsetzen des zu beschichtenden Werkstückes in die Kammer ermöglicht wird. Nach einem Einsetzen des Werkstückes wird die hülsenförmige Kammerwandung in die Arbeitspositionierung verschoben und nach einer ausreichenden Evakuierung sowie Zuführung des Prozeßgases kann nach einer Mikrowellenzündung die Plasmabeschichtung oder eine andere Plasmabehandlung durchgeführt werden. Nach einem Abschluß der Behandlung wird die hülsenförmige Kammerwandung erneut verschoben und das behandelte Werkstück kann entnommen sowie ein neues zu behandelndes Werkstück eingesetzt werden. The procedural process for handling the Workpieces are made such that the sliding sleeve is initially shifted such that an onset of the coating workpiece into the chamber. After inserting the workpiece, the sleeve becomes Chamber wall moved into the working position and after sufficient evacuation and supply of the Process gas can after a microwave ignition Plasma coating or other plasma treatment be performed. After completing the treatment the sleeve-shaped chamber wall is moved again and the treated workpiece can be removed and a new one closed treating workpiece are used.

Eine günstige Schwerkrafteinleitung wird dadurch unterstützt, daß die Positionierung in einer vertikalen Richtung durchgeführt wird. This creates a favorable introduction of gravity supports positioning in a vertical Direction is carried out.

Eine Betriebsmittelzuführung sowie eine Energieversorgung bei einfacher konstruktiver Gestaltung wird dadurch unterstützt, daß der Kammerboden und der Kammerdeckel relativ zu einem Stationsrahmen der Plasmastation in einer statischen Positionierung belassen werden. An equipment supply and an energy supply with simple constructive design supports that the chamber bottom and the chamber lid relative to a station frame of the plasma station in one static positioning.

Bei einer Beschichtung von hohlen Werkstücken, die mit ihrer Mündung nach unten angeordnet sind, erweist es sich als vorteilhaft, daß eine Evakuierung einer Kavität der Plasmastation durch den Kammerboden hindurch erfolgt. When coating hollow workpieces with their mouth are arranged downwards, it turns out as advantageous that an evacuation of a cavity of the Plasma station takes place through the chamber floor.

Eine gerätetechnisch einfache Realisierung wird ebenfalls dadurch unterstützt, daß durch den Kammerboden hindurch Prozeßgas zugeführt wird. A simple technical implementation is also supported by that through the chamber floor Process gas is supplied.

Eine schnelle und gleichmäßige Verteilung des Prozeßgases in einem Innenraum des Werkstückes kann dadurch erreicht werden, daß das Prozeßgas durch eine Lanze hindurch in einen Innenraum des Werkstückes zugeführt wird. A quick and even distribution of the process gas can be achieved in an interior of the workpiece be that the process gas through a lance in an interior of the workpiece is supplied.

Zur Vermeidung eines Eindringens eines Umgebungsdruckes in die evakuierte Plasmakammer wird vorgeschlagen, daß die Kammerwandung relativ zum Kammerboden abgedichtet wird. To avoid the penetration of an ambient pressure in the evacuated plasma chamber is proposed that the Chamber wall is sealed relative to the chamber floor.

Eine verschleißarme Durchführung einer Vielzahl von Öffnungs- und Schließvorgängen der Plasmakammer wird dadurch unterstützt, daß die Abdichtung von einer mit der Kammerwandung verbundenen Dichtung durchgeführt wird. Alternativ kann die Dichtung aber auch im Bereich des Kammerbodens angeordnet sein. A low-wear implementation of a variety of The plasma chamber is opened and closed supported by the fact that the seal of one with the Chamber wall connected seal is performed. Alternatively, the seal can also in the area of Be arranged chamber bottom.

Ebenfalls wird zur Gewährleistung einer ausreichenden Abdichtung der Plasmakammer vorgeschlagen, daß die Kammerwandung relativ zum Kammerdeckel abgedichtet wird. It will also ensure adequate Sealing the plasma chamber suggested that the Chamber wall is sealed relative to the chamber cover.

Auch bei der oberen Abdichtung der Plasmakammer kann eine hohe Abdichtungsqualität sowie ein geringer Verschleiß dadurch erreicht werden, daß die Abdichtung von einer im Bereich des Kammerdeckels angeordneten Dichtung durchgeführt wird. Even with the upper seal of the plasma chamber, a high sealing quality and low wear can be achieved in that the seal of a in Area of the chamber cover arranged seal is carried out.

Eine nochmals verbesserte Abdichtungsqualität kann dadurch erreicht werden, daß die Abdichtung zwischen einem Innenflansch der Kammerwandung und einem Flansch des Kammerdeckels durchgeführt wird. This can result in a further improved sealing quality be achieved that the seal between a Inner flange of the chamber wall and a flange of the Chamber lid is carried out.

Zur Unterstützung einer steuerbaren Zündung des Plasmas wird vorgeschlagen, daß im Bereich des Kammerdeckels von einem Mikrowellengenerator erzeugte Mikrowellen in die Kavität eingeleitet werden. To support controllable ignition of the plasma it is proposed that in the area of the chamber lid of a microwave generator generated microwaves in the Cavity are initiated.

Eine Anpassung der Mikrowellenzuführung an konkret vorliegende Einsatzbedingungen wird dadurch erleichtert, daß der Mikrowellengenerator von einem Kopplungskanal mit dem Innenraum der Kavität verbunden wird. An adjustment of the microwave supply to concrete existing operating conditions are facilitated that the microwave generator with a coupling channel the interior of the cavity is connected.

Eine typische Anwendung besteht darin, daß ein Werkstück aus einem thermoplastischen Kunststoff behandelt wird. A typical application is that a workpiece is treated from a thermoplastic.

Insbesondere ist daran gedacht daß ein Innenraum des Werkstückes behandelt wird. In particular, it is thought that an interior of the Workpiece is treated.

Ein umfangreiches Anwendungsgebiet wird dadurch erschlossen, daß als Werkstück ein Behälter behandelt wird. This makes it an extensive area of application concluded that a container is treated as a workpiece.

Insbesondere ist dabei daran gedacht, daß als Werkstück eine Getränkeflasche behandelt wird. In particular, it is thought that as a workpiece a bottle of beverage is being treated.

Eine hohe Produktionsrate bei großer Zuverlässigkeit und hoher Produktqualität kann dadurch erreicht werden, daß die Plasmastation von einem rotierenden Plasmarad von einer Eingabepositionierung in eine Ausgabepositionierung überführt wird. A high production rate with great reliability and high product quality can be achieved in that the Plasma station from a rotating plasma wheel from one Input positioning in an output positioning is transferred.

Eine Vergrößerung der Produktionskapazität bei nur geringfügig gesteigertem gerätetechnischen Aufwand kann dadurch erreicht werden, daß von einer Plasmastation mehrere Kavitäten bereitgestellt werden. An increase in production capacity at only slightly increased equipment costs can be achieved by a plasma station multiple cavities are provided.

Bei einer gleichzeitigen Beschichtung von mehreren Werkstücken ist insbesondere daran gedacht, daß eine zur Bereitstellung von mindestens zwei Kavitäten vorgesehene Kammerwandung positioniert wird. With a simultaneous coating of several Workpieces are particularly thought that a for Provision of at least two cavities provided Chamber wall is positioned.

Eine typische Anwendung wird dadurch definiert, daß als Plasmabehandlung eine Plasmabeschichtung durchgeführt wird. A typical application is defined as: Plasma treatment a plasma coating is carried out.

Insbesondere ist daran gedacht, daß die Plasmabehandlung unter Verwendung eines Niederdruckplasmas durchgeführt wird. In particular, it is thought that the plasma treatment performed using a low pressure plasma becomes.

Bei einer Beschichtung von Werkstücken aus Kunststoff erweist es sich als vorteilhaft, daß eine Plasmapolymerisation durchgeführt wird. When coating plastic workpieces it proves advantageous that a Plasma polymerization is carried out.

Eine gute Oberflächenhaftung wird dadurch unterstützt, daß durch das Plasma mindestens zum Teil organische Substanzen abgeschieden werden. A good surface adhesion is supported by the fact that through the plasma at least partially organic substances be deposited.

Besonders vorteilhafte Verwendungseigenschaften bei Werkstücken zur Verpackung von Lebensmitteln können dadurch erreicht werden, daß durch das Plasma mindestens zum Teil anorganische Substanzen abgeschieden werden. Particularly advantageous use properties This allows workpieces for packaging food be achieved by the plasma at least in part inorganic substances are separated.

Bei der Behandlung von Verpackungen ist insbesondere daran gedacht, daß durch das Plasma eine Substanz zur Verbesserung von Barriereeigenschaften des Werkstückes abgeschieden wird. When it comes to the treatment of packaging, this is particularly important thought that through the plasma a substance for Improvement of the barrier properties of the workpiece is deposited.

Zur Unterstützung einer hohen Gebrauchsqualität wird vorgeschlagen, daß zusätzlich ein Haftvermittler zur Verbesserung eines Anhaftens der Substanz auf einer Oberfläche des Werkstückes abgeschieden wird. To support a high quality of use proposed that in addition an adhesion promoter to Improving adherence of the substance on one Surface of the workpiece is deposited.

Eine hohe Produktivität kann dadurch unterstützt werden, daß in einer gemeinsamen Kavität mindestens zwei Werkstücke gleichzeitig behandelt werden. High productivity can be supported that at least two workpieces in a common cavity be treated at the same time.

Ein weiteres Anwendungsgebiet besteht darin, daß als Plasmabehandlung eine Plasmasterilisation durchgeführt wird. Another area of application is that as Plasma treatment performed a plasma sterilization becomes.

Ebenfalls ist daran gedacht, daß als Plasmabehandlung eine Oberflächenaktivierung des Werkstückes durchgeführt wird. It is also contemplated that as a plasma treatment Surface activation of the workpiece is carried out.

In den Zeichnungen sind Ausführungsbeispiele der Erfindung schematisch dargestellt. Es zeigen: Exemplary embodiments of the invention are shown in the drawings shown schematically. Show it:

Fig. 1 Eine Prinzipskizze einer Mehrzahl von Plasmakammern, die auf einem rotierenden Plasmarad angeordnet sind und bei der das Plasmarad mit Eingabe- und Ausgaberädern gekoppelt ist. Fig. 1 is a schematic diagram of a plurality of plasma chambers, which are arranged on a rotating plasma wheel and in which the plasma wheel is coupled to input and output wheels.

Fig. 2 eine Anordnung ähnlich zu Fig. 1, bei der die Plasmastation jeweils mit zwei Plasmakammern ausgestattet sind, Fig. 2 shows an arrangement similar to Fig. 1, wherein the plasma station are each equipped with two plasma chambers,

Fig. 3 eine perspektivische Darstellung eines Plasmarades mit einer Vielzahl von Plasmakammern, Fig. 3 is a perspective view of a plasma wheel having a plurality of plasma chambers,

Fig. 4 eine perspektivische Darstellung einer Plasmastation mit einer Kavität, Fig. 4 is a perspective view of a plasma station with a cavity,

Fig. 5 eine Vorderansicht der Vorrichtung gemäß Fig. 4 mit geschlossener Plasmakammer, Fig. 5 is a front view of the device of FIG. 4 with a closed plasma chamber,

Fig. 6 einen Querschnitt gemäß Schnittlinie VI-VI in Fig. 5, Fig. 6 shows a cross section according to section line VI-VI in Fig. 5,

Fig. 7 eine Darstellung entsprechend Fig. 5 mit geöffneter Plasmakammer, Fig. 7 is a view corresponding to Fig. 5 with an open plasma chamber,

Fig. 8 einen Vertikalschnitt gemäß Schnittlinie VIII-VIII in Fig. 7, Fig. 8 is a vertical section according to section line VIII-VIII in Fig. 7,

Fig. 9 eine vergrößerte Darstellung der Plasmakammer mit zu beschichtender Flasche gemäß Fig. 6 und Fig. 9 is an enlarged representation of the plasma chamber to be coated bottle according to Figs. 6 and

Fig. 10 eine nochmals vergrößerte Darstellung eines Anschlußelementes zur Halterung des Werkstückes in der Plasmakammer. Fig. 10 is a further enlarged view of a connecting element for holding the workpiece in the plasma chamber.

Aus der Darstellung in Fig. 1 ist ein Plasmamodul (1) zu erkennen, das mit einem rotierenden Plasmarad (2) versehen ist. Entlang eines Umfanges des Plasmarades (2) sind eine Mehrzahl von Plasmastationen (3) angeordnet. Die Plasmastationen (3) sind mit Kavitäten (4) bzw. Plasmakammern (17) zur Aufnahme von zu behandelnden Werkstücken (5) versehen. From the illustration in FIG. 1, a plasma module (1) can be seen which is provided with a rotating plasma wheel (2). A plurality of plasma stations ( 3 ) are arranged along a circumference of the plasma wheel ( 2 ). The plasma stations ( 3 ) are provided with cavities ( 4 ) or plasma chambers ( 17 ) for receiving workpieces ( 5 ) to be treated.

Die zu behandelnden Werkstücke (5) werden dem Plasmamodul (1) im Bereich einer Eingabe (6) zugeführt und über ein Vereinzelungsrad (7) an ein Übergaberad (8) weitergeleitet, das mit positionierbaren Tragarmen (9) ausgestattet ist. Die Tragarme (9) sind relativ zu einem Sockel (10) des Übergaberades (8) verschwenkbar angeordnet, so daß eine Abstandsveränderung der Werkstücke (5) relativ zueinander durchgeführt werden kann. Hierdurch erfolgt eine Übergabe der Werkstücke (5) vom Übergaberad (8) an ein Eingaberad (11) mit einem relativ zum Vereinzelungsrad (7) vergrößerten Abstand der Werkstücke (5) relativ zueinander. Das Eingaberad (11) übergibt die zu behandelnden Werkstücke (5) an das Plasmarad (2). Nach einer Durchführung der Behandlung werden die behandelten Werkstücke (5) von einem Ausgaberad (12) aus dem Bereich des Plasmarades (2) entfernt und in den Bereich einer Ausgabestrecke (13) überführt. The workpieces ( 5 ) to be treated are fed to the plasma module ( 1 ) in the area of an input ( 6 ) and forwarded via a separating wheel ( 7 ) to a transfer wheel ( 8 ) which is equipped with positionable support arms ( 9 ). The support arms ( 9 ) are arranged pivotably relative to a base ( 10 ) of the transfer wheel ( 8 ), so that a change in the distance of the workpieces ( 5 ) can be carried out relative to one another. As a result, the workpieces ( 5 ) are transferred from the transfer wheel ( 8 ) to an input wheel ( 11 ) with a greater distance between the workpieces ( 5 ) relative to one another relative to the separating wheel ( 7 ). The input wheel ( 11 ) transfers the workpieces ( 5 ) to be treated to the plasma wheel ( 2 ). After the treatment has been carried out, the treated workpieces ( 5 ) are removed from the area of the plasma wheel ( 2 ) by an output wheel ( 12 ) and transferred to the area of an output section ( 13 ).

Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 2 sind die Plasmastationen (3) jeweils mit zwei Kavitäten (4) bzw. Plasmakammern (17) ausgestattet. Hierdurch können jeweils zwei Werkstücke (5) gleichzeitig behandelt werden. Grundsätzlich ist es hierbei möglich, die Kavitäten (4) vollständig voneinander getrennt auszubilden, grundsätzlich ist es aber auch möglich, in einem gemeinsamen Kavitätenraum lediglich Teilbereiche derart gegeneinander abzugrenzen, daß eine optimale Beschichtung aller Werkstücke (5) gewährleistet ist. Insbesondere ist hierbei daran gedacht, die Teilkavitäten zumindest durch separate Mikrowelleneinkopplungen gegeneinander abzugrenzen. In the embodiment according to FIG. 2, the plasma stations ( 3 ) are each equipped with two cavities ( 4 ) or plasma chambers ( 17 ). As a result, two workpieces ( 5 ) can be treated at the same time. Basically, it is possible to make the cavities ( 4 ) completely separate from one another, but in principle it is also possible to delimit only partial areas from one another in a common cavity space in such a way that an optimal coating of all workpieces ( 5 ) is ensured. In particular, it is contemplated here to separate the partial cavities from one another at least by means of separate microwave couplings.

Fig. 3 zeigt eine perspektivische Darstellung eines Plasmamoduls (1) mit teilweise aufgebautem Plasmarad (2). Die Plasmastationen (3) sind auf einem Tragring (14) angeordnet, der als Teil einer Drehverbindung ausgebildet und im Bereich eines Maschinensockels (15) gelagert ist. Die Plasmastationen (3) weisen jeweils einen Stationsrahmen (16) auf, der Plasmakammern (17) haltert. Die Plasmakammern (17) weisen zylinderförmige Kammerwandungen (18) sowie Mikrowellengeneratoren (19) auf. Fig. 3 shows a perspective view of a plasma module ( 1 ) with a partially constructed plasma wheel ( 2 ). The plasma stations ( 3 ) are arranged on a support ring ( 14 ) which is designed as part of a rotary connection and is mounted in the area of a machine base ( 15 ). The plasma stations ( 3 ) each have a station frame ( 16 ) which holds plasma chambers ( 17 ). The plasma chambers ( 17 ) have cylindrical chamber walls ( 18 ) and microwave generators ( 19 ).

In einem Zentrum des Plasmarades (2) ist ein Drehverteiler (20) angeordnet, über den die Plasmastationen (3) mit Betriebsmitteln sowie Energie versorgt werden. Zur Betriebsmittelverteilung können insbesondere Ringleitungen (21) eingesetzt werden. A rotary distributor ( 20 ) is arranged in a center of the plasma wheel ( 2 ), via which the plasma stations ( 3 ) are supplied with operating resources and energy. Ring lines ( 21 ) can be used in particular for the distribution of operating resources.

Die zu behandelnden Werkstücke (5) sind unterhalb der zylinderförmigen Kammerwandungen (18) dargestellt. Unterteile der Plasmakammern (17) sind zur Vereinfachung jeweils nicht eingezeichnet. The workpieces ( 5 ) to be treated are shown below the cylindrical chamber walls ( 18 ). Lower parts of the plasma chambers ( 17 ) are not shown for the sake of simplicity.

Fig. 4 zeigt eine Plasmastation (3) in perspektivischer Darstellung. Es ist zu erkennen, daß der Stationsrahmen (16) mit Führungsstangen (23) versehen ist, auf denen ein Schlitten (24) zur Halterung der zylinderförmigen Kammerwandung (18) geführt ist. Fig. 4 zeigt den Schlitten (24) mit Kammerwandung (18) in einem angehobenen Zustand, so daß das Werkstück (5) freigegeben ist. Fig. 4 shows a plasma station ( 3 ) in perspective. It can be seen that the station frame ( 16 ) is provided with guide rods ( 23 ) on which a carriage ( 24 ) for holding the cylindrical chamber wall ( 18 ) is guided. Fig. 4 shows the carriage ( 24 ) with the chamber wall ( 18 ) in a raised state, so that the workpiece ( 5 ) is released.

Im oberen Bereich der Plasmastation (3) ist der Mikrowellengenerator (19) angeordnet. Der Mikrowellengenerator (19) ist über eine Umlenkung (25) und einen Adapter (26) an einen Kopplungskanal (27) angeschlossen, der in die Plasmakammer (17) einmündet. Grundsätzlich kann der Mikrowellengenerator (19) sowohl unmittelbar im Bereich des Kammerdeckels (31) als auch über ein Distanzelement an den Kammerdeckel (31) angekoppelt mit einer vorgebbaren Entfernung zum Kammerdeckel (31) und somit in einem größeren Umgebungsbereich des Kammerdeckels (31) angeordnet werden. Der Adapter (26) hat die Funktion eines Übergangselementes und der Kopplungskanal (27) ist als ein Koaxialleiter ausgebildet. Im Bereich einer Einmündung des Kopplungskanals (27) in den Kammerdeckel (31) ist ein Quarzglasfenster angeordnet. Die Umlenkung (25) ist als ein Hohlleiter ausgebildet. The microwave generator ( 19 ) is arranged in the upper region of the plasma station ( 3 ). The microwave generator ( 19 ) is connected via a deflection ( 25 ) and an adapter ( 26 ) to a coupling channel ( 27 ) which opens into the plasma chamber ( 17 ). In principle, the microwave generator ( 19 ) can be coupled both directly in the area of the chamber cover ( 31 ) and via a spacer element to the chamber cover ( 31 ) with a predeterminable distance to the chamber cover ( 31 ) and thus in a larger surrounding area of the chamber cover ( 31 ) , The adapter ( 26 ) has the function of a transition element and the coupling channel ( 27 ) is designed as a coaxial conductor. A quartz glass window is arranged in the region of a junction of the coupling channel ( 27 ) in the chamber cover ( 31 ). The deflection ( 25 ) is designed as a waveguide.

Das Werkstück (5) wird von einem Halteelement (28) positioniert, das im Bereich eines Kammerbodens (29) angeordnet ist. Der Kammerboden (29) ist als Teil eines Kammersockels (30) ausgebildet. Zur Erleichterung einer Justage ist es möglich, den Kammersockel (30) im Bereich der Führungsstangen (23) zu fixieren. Eine andere Variante besteht darin, den Kammersockel (30) direkt am Stationsrahmen (16) zu befestigen. Bei einer derartigen Anordnung ist es beispielsweise auch möglich, die Führungsstangen (23) in vertikaler Richtung zweiteilig auszuführen. The workpiece ( 5 ) is positioned by a holding element ( 28 ) which is arranged in the region of a chamber base ( 29 ). The chamber base ( 29 ) is designed as part of a chamber base ( 30 ). To facilitate adjustment, it is possible to fix the chamber base ( 30 ) in the area of the guide rods ( 23 ). Another variant is to attach the chamber base ( 30 ) directly to the station frame ( 16 ). With such an arrangement, it is also possible, for example, to design the guide rods ( 23 ) in two parts in the vertical direction.

Fig. 5 zeigt eine Vorderansicht der Plasmastation (3) gemäß Fig. 3 in einem geschlossenen Zustand der Plasmakammer (17). Der Schlitten (24) mit der zylinderförmigen Kammerwandung (18) ist hierbei gegenüber der Positionierung in Fig. 4 abgesenkt, so daß die Kammerwandung (18) gegen den Kammerboden (29) gefahren ist. In diesem Positionierzustand kann die Plasmabeschichtung durchgeführt werden. FIG. 5 shows a front view of the plasma station ( 3 ) according to FIG. 3 in a closed state of the plasma chamber ( 17 ). The carriage ( 24 ) with the cylindrical chamber wall ( 18 ) is lowered compared to the positioning in FIG. 4, so that the chamber wall ( 18 ) has moved against the chamber bottom ( 29 ). The plasma coating can be carried out in this positioning state.

Fig. 6 zeigt in einer Vertikalschnittdarstellung die Anordnung gemäß Fig. 5. Es ist insbesondere zu erkennen, daß der Kopplungskanal (27) in einen Kammerdeckel (31) einmündet, der einen seitlich überstehenden Flansch (32) aufweist. Im Bereich des Flansches (32) ist eine Dichtung (33) angeordnet, die von einem Innenflansch (34) der Kammerwandung (18) beaufschlagt wird. In einem abgesenkten Zustand der Kammerwandung (18) erfolgt hierdurch eine Abdichtung der Kammerwandung (18) relativ zum Kammerdeckel (31). Eine weitere Dichtung (35) ist in einem unteren Bereich der Kammerwandung (18) angeordnet, um auch hier eine Abdichtung relativ zum Kammerboden (29) zu gewährleisten. FIG. 6 shows the arrangement according to FIG. 5 in a vertical sectional view. It can be seen in particular that the coupling channel ( 27 ) opens into a chamber cover ( 31 ) which has a laterally projecting flange ( 32 ). A seal ( 33 ) is arranged in the area of the flange ( 32 ) and is acted upon by an inner flange ( 34 ) of the chamber wall ( 18 ). In a lowered state of the chamber wall (18) therethrough, a seal is made of the chamber wall (18) relative to the chamber lid (31). A further seal ( 35 ) is arranged in a lower region of the chamber wall ( 18 ) in order to ensure a seal here also relative to the chamber bottom ( 29 ).

In der in Fig. 6 dargestellten Positionierung umschließt die Kammerwandung (18) die Kavität (4), so daß sowohl ein Innenraum der Kavität (4) als auch ein Innenraum des Werkstückes (5) evakuiert werden können. Zur Unterstützung einer Zuleitung von Prozeßgas ist im Bereich des Kammersockels (30) eine hohle Lanze (36) angeordnet, die in den Innenraum des Werkstückes (5) hineinverfahrbar ist. Zur Durchführung einer Positionierung der Lanze (36) wird diese von einem Lanzenschlitten (37) gehaltert, der entlang der Führungsstangen (23) positionierbar ist. Innerhalb des Lanzenschlittens (37) verläuft ein Prozeßgaskanal (38), der in der in Fig. 6 dargestellten angehobenen Positionierung mit einem Gasanschluß (39) des Kammersockels (30) gekoppelt ist. Durch diese Anordnung werden schlauchartige Verbindungselemente am Lanzenschlitten (37) vermieden. In the positioning shown in FIG. 6, the chamber wall ( 18 ) encloses the cavity ( 4 ), so that both an interior of the cavity ( 4 ) and an interior of the workpiece ( 5 ) can be evacuated. To support a supply of process gas, a hollow lance ( 36 ) is arranged in the area of the chamber base ( 30 ) and can be moved into the interior of the workpiece ( 5 ). The lance ( 36 ) is positioned by a lance slide ( 37 ) which can be positioned along the guide rods ( 23 ). A process gas channel ( 38 ) runs inside the lance slide ( 37 ) and, in the raised position shown in FIG. 6, is coupled to a gas connection ( 39 ) of the chamber base ( 30 ). This arrangement avoids hose-like connecting elements on the lance slide ( 37 ).

Fig. 7 und Fig. 8 zeigen die Anordnung gemäß Fig. 5 und Fig. 6 in einem angehobenen Zustand der Kammerwandung (18). In diesem Positionierungszustand der Kammerwandung (18) ist es problemlos möglich, das behandelte Werkstück (5) aus dem Bereich der Plasmastation (3) zu entfernen und ein neues zu behandelndes Werkstück (5) einzusetzen. Alternativ zu der in den Zeichnungen dargestellten Positionierung der Kammerwandung (18) in einem durch Verschiebung nach oben erreichten geöffneten Zustand der Plasmakammer (17) ist es auch möglich, den Öffnungsvorgang durch eine Verschiebung einer konstruktiv modifizierten hülsenförmigen Kammerwandung in vertikaler Richtung nach unten durchzuführen. Fig. 7 and Fig. 8 show the arrangement of FIG. 5 and FIG 6 in a raised state of the chamber wall (18).. In this position of the chamber wall ( 18 ), it is possible to remove the treated workpiece ( 5 ) from the area of the plasma station ( 3 ) and to insert a new workpiece ( 5 ) to be treated. As an alternative to the positioning of the chamber wall ( 18 ) shown in the drawings in an open state of the plasma chamber ( 17 ) achieved by displacement upwards, it is also possible to carry out the opening process by displacing a structurally modified sleeve-shaped chamber wall downwards in the vertical direction.

Im dargestellten Ausführungsbeispiel besitzt der Kopplungskanal (27) eine zylinderförmige Gestaltung und ist im wesentlichen koaxial zur Kammerwandung (18) angeordnet. In the exemplary embodiment shown, the coupling channel ( 27 ) has a cylindrical design and is arranged essentially coaxially with the chamber wall ( 18 ).

Fig. 9 zeigt den Vertikalschnitt gemäß Fig. 6 in einer vergrößerten teilweisen Darstellung in einer Umgebung der Kammerwandung (18). Zu erkennen ist insbesondere das Übergreifen des Innenflansches (34) der Kammerwandung (18) über den Flansch (32) des Kammerdeckels (31) und die Halterung des Werkstückes (5) durch das Halteelement (28). Darüber hinaus ist zu erkennen, daß die Lanze (36) durch eine Ausnehmung (40) des Halteelementes (28) hindurchgeführt ist. FIG. 9 shows the vertical section according to FIG. 6 in an enlarged partial illustration in the vicinity of the chamber wall ( 18 ). In particular, the overlap of the inner flange ( 34 ) of the chamber wall ( 18 ) over the flange ( 32 ) of the chamber cover ( 31 ) and the holding of the workpiece ( 5 ) by the holding element ( 28 ). In addition, it can be seen that the lance ( 36 ) is guided through a recess ( 40 ) in the holding element ( 28 ).

Die Fixierung des Werkstückes (5) durch das Halteelement (28) ist in der nochmals vergrößerten Darstellung in Fig. 10 zu erkennen. Das Halteelement (28) ist in eine Führungshülse (41) eingesetzt, die mit einer Federkammer (42) versehen ist. In die Federkammer (42) ist eine Druckfeder (43) eingesetzt, die einen Außenflansch (44) des Halteelementes (28) relativ zur Führungshülse (41) verspannt. The fixation of the workpiece ( 5 ) by the holding element ( 28 ) can be seen in the enlarged illustration in FIG. 10. The holding element ( 28 ) is inserted into a guide sleeve ( 41 ) which is provided with a spring chamber ( 42 ). A compression spring ( 43 ) is inserted into the spring chamber ( 42 ) and clamps an outer flange ( 44 ) of the holding element ( 28 ) relative to the guide sleeve ( 41 ).

In der in Fig. 10 dargestellten Positionierung ist ein an der Lanze (36) montierter Schubteller (45) gegen den Außenflansch (44) geführt und drückt das Halteelement (28) in seine obere Endpositionierung. In dieser Positionierung ist ein Innenraum des Werkstückes (5) gegenüber dem Innenraum der Kavität (4) isoliert. In einem abgesenkten Zustand der Lanze (36) verschiebt die Druckfeder (43) das Halteelement (28) relativ zur Führungshülse (41) derart, daß eine Verbindung zwischen dem Innenraum des Werkstückes (5) und dem Innenraum der Kavität (4) geschaffen ist. In the positioning shown in FIG. 10, a thrust plate ( 45 ) mounted on the lance ( 36 ) is guided against the outer flange ( 44 ) and presses the holding element ( 28 ) into its upper end position. In this positioning, an interior of the workpiece ( 5 ) is insulated from the interior of the cavity ( 4 ). In a lowered state of the lance ( 36 ), the compression spring ( 43 ) displaces the holding element ( 28 ) relative to the guide sleeve ( 41 ) in such a way that a connection between the interior of the workpiece ( 5 ) and the interior of the cavity ( 4 ) is created.

Ein typischer Behandlungsvorgang wird im folgenden am Beispiel eines Beschichtungsvorganges erläutert und derart durchgeführt, daß zunächst das Werkstück (5) unter Verwendung des Eingaberades (11) zum Plasmarad (2) transportiert wird und daß in einem hochgeschobenen Zustand der hülsenartigen Kammerwandung (18) das Einsetzen des Werkstückes (5) in die Plasmastation (3) erfolgt. Nach einem Abschluß des Einsetzvorganges wird die Kammerwandung (18) in ihre abgedichtete Positionierung abgesenkt und zunächst gleichzeitig eine Evakuierung sowohl der Kavität (4) als auch eines Innenraumes des Werkstückes (5) durchgeführt. A typical treatment process is explained below using the example of a coating process and carried out in such a way that the workpiece ( 5 ) is first transported to the plasma wheel ( 2 ) using the input wheel ( 11 ) and that the sleeve-like chamber wall ( 18 ) is inserted in a pushed-up state of the workpiece ( 5 ) into the plasma station ( 3 ). After the insertion process has been completed, the chamber wall ( 18 ) is lowered into its sealed position and, at the same time, both the cavity ( 4 ) and an interior of the workpiece ( 5 ) are evacuated at the same time.

Nach einer ausreichenden Evakuierung des Innenraumes der Kavität (4) wird die Lanze (36) in den Innenraum des Werkstückes (5) eingefahren und durch eine Verschiebung des Halteelementes (28) eine Abschottung des Innenraumes des Werkstückes (5) gegenüber dem Innenraum der Kavität (4) durchgeführt. Ebenfalls ist es möglich, die Lanze (36) bereits synchron zur beginnenden Evakuierung des Innenraumes der Kavität in das Werkstück (5) hinein zu verfahren. Der Druck im Innenraum des Werkstückes (5) wird anschließend noch weiter abgesenkt. Darüber hinaus ist auch daran gedacht, die Positionierbewegung der Lanze (36) wenigstens teilweise bereits parallel zur Positionierung der Kammerwandung (18) durchzuführen. Nach Erreichen eines ausreichend tiefen Unterdruckes wird Prozeßgas in den Innenraum des Werkstückes (5) eingeleitet und mit Hilfe des Mikrowellengenerators (19) das Plasma gezündet. Insbesondere ist daran gedacht, mit Hilfe des Plasmas sowohl einen Haftvermittler auf eine innere Oberfläche des Werkstückes (5) als auch die eigentliche Barriereschicht aus Siliziumoxiden abzuscheiden. After sufficient evacuation of the interior of the cavity (4) the lance (36) is retracted into the interior of the workpiece (5) and by a shift of the holding element (28) a partitioning of the interior of the workpiece (5) relative to the interior of the cavity ( 4 ) performed. It is also possible to move the lance ( 36 ) into the workpiece ( 5 ) synchronously with the beginning of the evacuation of the interior of the cavity. The pressure in the interior of the workpiece ( 5 ) is then further reduced. In addition, the positioning movement of the lance ( 36 ) is at least partially already carried out parallel to the positioning of the chamber wall ( 18 ). After reaching a sufficiently low vacuum, process gas is introduced into the interior of the workpiece ( 5 ) and the plasma is ignited with the aid of the microwave generator ( 19 ). In particular, it is intended to use the plasma to deposit both an adhesion promoter on an inner surface of the workpiece ( 5 ) and the actual barrier layer made of silicon oxides.

Nach einem Abschluß des Beschichtungsvorganges wird die Lanze (36) wieder aus dem Innenraum des Werkstückes (5) entfernt und die Plasmakammer (17) sowie der Innenraum des Werkstückes (5) werden belüftet. Nach Erreichen des Umgebungsdruckes innerhalb der Kavität (4) wird die Kammerwandung (18) wieder angehoben, um eine Entnahme des beschichteten Werkstückes (5) sowie eine Eingabe eines neuen zu beschichtenden Werkstückes (5) durchzuführen. After the coating process has been completed, the lance ( 36 ) is removed from the interior of the workpiece ( 5 ) and the plasma chamber ( 17 ) and the interior of the workpiece ( 5 ) are ventilated. After reaching the ambient pressure within the cavity ( 4 ), the chamber wall ( 18 ) is raised again in order to remove the coated workpiece ( 5 ) and to enter a new workpiece ( 5 ) to be coated.

Alternativ zur erläuterten Innenbeschichtung von Werkstücken (5) können auch Außenbeschichtungen, Sterilisationen oder Oberflächenaktivierungen durchgeführt werden. As an alternative to the described inner coating of workpieces ( 5 ), outer coatings, sterilizations or surface activations can also be carried out.

Eine Positionierung der Kammerwandung (18), des Dichtelementes (28) und/oder der Lanze (36) kann unter Verwendung unterschiedlicher Antriebsaggregate erfolgen. Grundsätzlich ist die Verwendung pneumatischer Antriebe und/oder elektrischer Antriebe, insbesondere in einer Ausführungsform als Linearmotor, denkbar. Insbesondere ist aber daran gedacht, zur Unterstützung einer exakten Bewegungskoordinierung mit einer Rotation des Plasmarades (2) eine Kurvensteuerung zu realisieren. Die Kurvensteuerung kann beispielsweise derart ausgeführt sein, daß entlang eines Umfanges des Plasmarades (2) Steuerkurven angeordnet sind, entlang derer Kurvenrollen geführt werden. Die Kurvenrollen sind mit den jeweils zu positionierenden Bauelementen gekoppelt. The chamber wall ( 18 ), the sealing element ( 28 ) and / or the lance ( 36 ) can be positioned using different drive units. In principle, the use of pneumatic drives and / or electrical drives, in particular in one embodiment as a linear motor, is conceivable. In particular, however, it is contemplated to implement curve control to support exact movement coordination by rotating the plasma wheel ( 2 ). The curve control can be carried out, for example, in such a way that control cams are arranged along a circumference of the plasma wheel ( 2 ), along which curve rollers are guided. The cam rollers are coupled to the components to be positioned.

Claims (50)

1. Verfahren zur Plasmabehandlung von Werkstücken, bei dem das Werkstück in eine zumindest teilweise evakuierbare Kammer einer Behandlungsstation eingesetzt wird und bei dem zur Unterstützung einer Handhabung der Werkstücke mindestens ein Teil der Behandlungsstation relativ zu mindestens einem weiteren Teil bewegt wird, dadurch gekennzeichnet, daß eine hülsenförmige Kammerwandung (18) relativ zu einem Kammerboden (29) sowie relativ zu einem Kammerdeckel (31) positioniert wird. 1. A method for plasma treatment of workpieces, in which the workpiece is used in an at least partially evacuable chamber of a treatment station and in which at least part of the treatment station is moved relative to at least one further part to support handling of the workpieces, characterized in that a sleeve-shaped chamber wall ( 18 ) is positioned relative to a chamber bottom ( 29 ) and relative to a chamber cover ( 31 ). 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Positionierung in einer vertikalen Richtung durchgeführt wird. 2. The method according to claim 1, characterized in that positioning in a vertical direction is carried out. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Kammerboden (29) und der Kammerdeckel (31) relativ zu einem Stationsrahmen (16) der Plasmastation (3) in einer statischen Positionierung belassen werden. 3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the chamber bottom ( 29 ) and the chamber cover ( 31 ) relative to a station frame ( 16 ) of the plasma station ( 3 ) are left in a static positioning. 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Evakuierung einer Kavität (4) der Plasmastation (3) durch den Kammerboden (29) hindurch erfolgt. 4. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized in that an evacuation of a cavity ( 4 ) of the plasma station ( 3 ) through the chamber floor ( 29 ) takes place. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß durch den Kammerboden (29) hindurch Prozeßgas zugeführt wird. 5. The method according to any one of claims 1 to 4, characterized in that process gas is supplied through the chamber bottom ( 29 ). 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Prozeßgas durch eine Lanze (36) hindurch in einen Innenraum des Werkstückes (5) zugeführt wird. 6. The method according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the process gas is fed through a lance ( 36 ) into an interior of the workpiece ( 5 ). 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammerwandung (18) relativ zum Kammerboden (29) abgedichtet wird. 7. The method according to any one of claims 1 to 6, characterized in that the chamber wall ( 18 ) is sealed relative to the chamber bottom ( 29 ). 8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdichtung von einer mit der Kammerwandung (18) verbundenen Dichtung (35) durchgeführt wird. 8. The method according to claim 7, characterized in that the seal is carried out by a seal ( 35 ) connected to the chamber wall ( 18 ). 9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammerwandung (18) relativ zum Kammerdeckel (31) abgedichtet wird. 9. The method according to any one of claims 1 to 8, characterized in that the chamber wall ( 18 ) is sealed relative to the chamber cover ( 31 ). 10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdichtung von einer im Bereich des Kammerdeckels (31) angeordneten Dichtung (33) durchgeführt wird. 10. The method according to claim 9, characterized in that the sealing of a in the region of the chamber cover ( 31 ) arranged seal ( 33 ) is carried out. 11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdichtung zwischen einem Innenflansch (34) der Kammerwandung (18) und einem Flansch (32) des Kammerdeckels (31) durchgeführt wird. 11. The method according to claim 9 or 10, characterized in that the seal between an inner flange ( 34 ) of the chamber wall ( 18 ) and a flange ( 32 ) of the chamber cover ( 31 ) is carried out. 12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich des Kammerdeckels (31) von einem Mikrowellengenerator (19) erzeugte Mikrowellen in die Kavität (4) eingeleitet werden. 12. The method according to any one of claims 1 to 11, characterized in that in the region of the chamber cover ( 31 ) from a microwave generator ( 19 ) microwaves are introduced into the cavity ( 4 ). 13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Mikrowellengenerator (19) von einem Kopplungskanal (27) mit dem Innenraum der Kavität (4) verbunden wird. 13. The method according to any one of claims 1 to 12, characterized in that the microwave generator ( 19 ) by a coupling channel ( 27 ) is connected to the interior of the cavity ( 4 ). 14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß ein Werkstück (5) aus einem thermoplastischen Kunststoff behandelt wird. 14. The method according to any one of claims 1 to 13, characterized in that a workpiece ( 5 ) is treated from a thermoplastic. 15. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß ein Innenraum eines hohlkörperartigen Werkstückes (5) behandelt wird. 15. The method according to any one of claims 1 to 14, characterized in that an interior of a hollow workpiece ( 5 ) is treated. 16. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß als Werkstück (5) ein Behälter behandelt wird. 16. The method according to any one of claims 1 to 15, characterized in that a container is treated as the workpiece ( 5 ). 17. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß als Werkstück (5) eine Getränkeflasche behandelt wird. 17. The method according to any one of claims 1 to 16, characterized in that a beverage bottle is treated as the workpiece ( 5 ). 18. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Plasmastation (3) von einem rotierenden Plasmarad (2) von einer Eingabepositionierung in eine Ausgabepositionierung überführt wird. 18. The method according to any one of claims 1 to 17, characterized in that the at least one plasma station ( 3 ) from a rotating plasma wheel ( 2 ) is transferred from an input position to an output position. 19. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß von einer Plasmastation (3) mehrere Kavitäten (4) bereitgestellt werden. 19. The method according to any one of claims 1 to 18, characterized in that a plurality of cavities ( 4 ) are provided by a plasma station ( 3 ). 20. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß eine zur Bereitstellung von mindestens zwei Kavitäten (4) vorgesehene Kammerwandung (18) positioniert wird. 20. The method according to any one of claims 1 to 19, characterized in that a chamber wall ( 18 ) provided for providing at least two cavities ( 4 ) is positioned. 21. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß als Plasmabehandlung eine Plasmabeschichtung durchgeführt wird. 21. The method according to any one of claims 1 to 20, characterized characterized in that as a plasma treatment Plasma coating is carried out. 22. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Plasmabehandlung unter Verwendung eines Niederdruckplasmas durchgeführt wird. 22. The method according to any one of claims 1 to 21, characterized characterized in using the plasma treatment a low pressure plasma is carried out. 23. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß eine Plasmapolymerisation durchgeführt wird. 23. The method according to any one of claims 1 to 22, characterized characterized in that a plasma polymerization was carried out becomes. 24. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß durch das Plasma mindestens zum Teil organische Substanzen abgeschieden werden. 24. The method according to any one of claims 1 to 23, characterized characterized in that at least in part by the plasma organic substances are separated. 25. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß durch das Plasma mindestens zum Teil anorganische Substanzen abgeschieden werden. 25. The method according to any one of claims 1 to 23, characterized characterized in that at least in part by the plasma inorganic substances are separated. 26. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß durch das Plasma eine Substanz zur Verbesserung von Barriereeigenschaften des Werkstückes (5) abgeschieden wird. 26. The method according to any one of claims 1 to 25, characterized in that a substance for improving the barrier properties of the workpiece ( 5 ) is deposited by the plasma. 27. Verfahren nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich ein Haftvermittler zur Verbesserung eines Anhaftens der Substanz auf einer Oberfläche des Werkstückes (5) abgeschieden wird. 27. The method according to claim 26, characterized in that in addition an adhesion promoter for improving an adherence of the substance is deposited on a surface of the workpiece ( 5 ). 28. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 27, dadurch gekennzeichnet, daß in einer gemeinsamen Kavität mindestens zwei Werkstücke (5) gleichzeitig behandelt werden. 28. The method according to any one of claims 1 to 27, characterized in that at least two workpieces ( 5 ) are treated simultaneously in a common cavity. 29. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß als Plasmabehandlung eine Plasmasterilisation durchgeführt wird. 29. The method according to any one of claims 1 to 20, characterized characterized in that as a plasma treatment Plasma sterilization is carried out. 30. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß als Plasmabehandlung eine Oberflächenaktivierung des Werkstückes (5) durchgeführt wird. 30. The method according to any one of claims 1 to 20, characterized in that a surface activation of the workpiece ( 5 ) is carried out as a plasma treatment. 31. Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken, die mindestens eine evakuierbare Plasmakammer zur Aufnahme der Werkstücke aufweist und bei der die Plasmakammer im Bereich einer Behandlungsstation angeordnet ist, sowie bei der die Plasmakammer von einem Kammerboden, einem Kammerdeckel sowie einer seitlichen Kammerwandung begrenzt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammerwandung (18) hülsenförmig ausgebildet und sowohl relativ zum Kammerboden (29) als auch relativ zum Kammerdeckel (31) angeordnet ist. 31.Device for the plasma treatment of workpieces, which has at least one evacuable plasma chamber for receiving the workpieces and in which the plasma chamber is arranged in the region of a treatment station, and in which the plasma chamber is delimited by a chamber bottom, a chamber cover and a lateral chamber wall that the chamber wall ( 18 ) is sleeve-shaped and is arranged both relative to the chamber base ( 29 ) and relative to the chamber cover ( 31 ). 32. Vorrichtung nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammerwandung (18) in einer vertikalen Richtung positionierbar ist. 32. Apparatus according to claim 31, characterized in that the chamber wall ( 18 ) can be positioned in a vertical direction. 33. Vorrichtung nach Anspruch 31 oder 32, dadurch gekennzeichnet, daß der Kammerboden (29) und der Kammerdeckel (31) relativ zu einem Stationsrahmen (16) der Plasmastation (3) in einer statischen Positionier{ing angeordnet sind. 33. Apparatus according to claim 31 or 32, characterized in that the chamber bottom ( 29 ) and the chamber cover ( 31 ) are arranged relative to a station frame ( 16 ) of the plasma station ( 3 ) in a static positioning. 34. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 33, dadurch gekennzeichnet, daß für eine Evakuierung einer Kavität (4) der Plasmastation (3) im Kammerboden (29) mindestens ein Vakuumkanal angeordnet ist. 34. Device according to one of claims 31 to 33, characterized in that for evacuating a cavity ( 4 ) of the plasma station ( 3 ) in the chamber bottom ( 29 ) at least one vacuum channel is arranged. 35. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 34, dadurch gekennzeichnet, daß im Kammerboden (29) mindestens ein Kanal zur Zuführung von Prozeßgas angeordnet ist. 35. Device according to one of claims 31 to 34, characterized in that at least one channel for supplying process gas is arranged in the chamber bottom ( 29 ). 36. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 35, dadurch gekennzeichnet, daß zur Zuführung von Prozeßgas in einen Innenraum des Werkstückes (5) hinein eine Lanze (36) relativ zum Kammerboden (29) positionierbar angeordnet ist. 36. Device according to one of claims 31 to 35, characterized in that for the supply of process gas in an interior of the workpiece ( 5 ) into a lance ( 36 ) is arranged positionable relative to the chamber bottom ( 29 ). 37. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 36, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammerwandung (18) relativ zum Kammerboden (29) abgedichtet ist. 37. Device according to one of claims 31 to 36, characterized in that the chamber wall ( 18 ) is sealed relative to the chamber bottom ( 29 ). 38. Vorrichtung nach Anspruch 37, dadurch gekennzeichnet, daß zur Abdichtung im Bereich der Kammerwandung (18) eine Dichtung (35) angeordnet ist. 38. Apparatus according to claim 37, characterized in that a seal ( 35 ) is arranged for sealing in the region of the chamber wall ( 18 ). 39. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 38, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammerwandung (18) relativ zum Kammerdeckel (31) abgedichtet ist. 39. Device according to one of claims 31 to 38, characterized in that the chamber wall ( 18 ) is sealed relative to the chamber cover ( 31 ). 40. Vorrichtung nach Anspruch 39, dadurch gekennzeichnet, daß zur Abdichtung im Bereich des Kammerdeckels (31) eine Dichtung (33) angeordnet ist. 40. Apparatus according to claim 39, characterized in that a seal ( 33 ) is arranged for sealing in the region of the chamber cover ( 31 ). 41. Vorrichtung nach Anspruch 39 oder 40, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtung (33) zwischen einem Innenflansch (34) der Kammerwandung (18) und einem Flansch (32) des Kammerdeckels (31) angeordnet ist. 41. Apparatus according to claim 39 or 40, characterized in that the seal ( 33 ) between an inner flange ( 34 ) of the chamber wall ( 18 ) and a flange ( 32 ) of the chamber cover ( 31 ) is arranged. 42. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 41, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich des Kammerdeckels (31) ein Mikrowellengenerator (19) angeordnet ist. 42. Device according to one of claims 31 to 41, characterized in that a microwave generator ( 19 ) is arranged in the region of the chamber cover ( 31 ). 43. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 42, dadurch gekennzeichnet, daß der Mikrowellengenerator (19) von einem Kopplungskanal (27) mit dem Innenraum der Kavität (4) verbunden ist. 43. Device according to one of claims 31 to 42, characterized in that the microwave generator ( 19 ) is connected by a coupling channel ( 27 ) to the interior of the cavity ( 4 ). 44. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 43, dadurch gekennzeichnet, daß die Plasmastation (3) zur Beschichtung eines Werkstückes (5) aus einem thermoplastischen Kunststoff ausgebildet ist. 44. Device according to one of claims 31 to 43, characterized in that the plasma station ( 3 ) for coating a workpiece ( 5 ) is made of a thermoplastic material. 45. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 44, dadurch gekennzeichnet, daß die Plasmastation (3) zur Beschichtung eines behälterartigen Werkstückes (5) ausgebildet ist. 45. Device according to one of claims 31 to 44, characterized in that the plasma station ( 3 ) is designed for coating a container-like workpiece ( 5 ). 46. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 45, dadurch gekennzeichnet, daß die Plasmastation (3) zur Beschichtung eines Innenraumes eines hohlkörperartigen Werkstückes (5) ausgebildet ist. 46. Device according to one of claims 31 to 45, characterized in that the plasma station ( 3 ) is designed for coating an interior of a hollow workpiece ( 5 ). 47. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 46, dadurch gekennzeichnet, daß die Plasmastation (3) zur Beschichtung eines Werkstückes (5) in Form einer Getränkeflasche ausgebildet ist. 47. Device according to one of claims 31 to 46, characterized in that the plasma station ( 3 ) for coating a workpiece ( 5 ) is designed in the form of a beverage bottle. 48. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 47, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Plasmastation (3) von einem rotierenden Plasmarad (2) getragen ist. 48. Device according to one of claims 31 to 47, characterized in that the at least one plasma station ( 3 ) is carried by a rotating plasma wheel ( 2 ). 49. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 48, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich der Plasmastation (3) mehrere Kavitäten (4) angeordnet sind. 49. Device according to one of claims 31 to 48, characterized in that a plurality of cavities ( 4 ) are arranged in the region of the plasma station ( 3 ). 50. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 49, dadurch gekennzeichnet, daß eine zur Bereitstellung von mindestens zwei Kavitäten (4) vorgesehene Kammerwandung (18) positionierbar angeordnet ist. 50. Device according to one of claims 31 to 49, characterized in that one for providing at least two cavities ( 4 ) provided chamber wall ( 18 ) is arranged positionable.
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