DE102020130339A1 - Heating device for a CVD reactor - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Beheizen eines Suszeptors (1) eines CVD-Reaktors mit ein oder mehreren länglichen, elektrisch leitenden Heizelementen (2, 12), die jeweils Heizabschnitte (3, 13) mit einer äußeren Breitseite (6, 16) und einer inneren Breitseite (7, 17) sowie an die Heizabschnitte (3, 13) angrenzende Befestigungsabschnitte (4, 14) aufweisen, wobei die Befestigungsabschnitte (4, 14) jeweils eine Befestigungsstelle (5, 15) aufweisen, an der der Befestigungsabschnitt (4) an ein Kontaktelement (10, 20) angeschlossen ist. Um das Auswölben der Heizabschnitte beim Beheizen der Heizeinrichtung zu vermeiden, wird vorgeschlagen, dass die Befestigungsabschnitte (4, 14) in Richtung der inneren Breite (7, 17) vom Heizabschnitt (3, 13) abgewinkelt sind, so dass das Heizelement eine U-Form erhält.The invention relates to a device for heating a susceptor (1) of a CVD reactor with one or more elongated, electrically conductive heating elements (2, 12), each of which has heating sections (3, 13) with an outer broad side (6, 16) and a inner wide side (7, 17) as well as fastening sections (4, 14) adjoining the heating sections (3, 13), the fastening sections (4, 14) each having a fastening point (5, 15) at which the fastening section (4) is connected to a contact element (10, 20). In order to prevent the heating sections from bulging when the heating device is heated, it is proposed that the fastening sections (4, 14) be angled in the direction of the inner width (7, 17) of the heating section (3, 13), so that the heating element has a U- form.
Description
Gebiet der Technikfield of technology
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Beheizen eines Suszeptors eines CVD-Reaktors mit ein oder mehreren länglichen, elektrisch leitenden Heizelementen, die jeweils Heizabschnitte mit einer äußeren Breitseite und einer inneren Breitseite sowie an die Heizabschnitte angrenzende Befestigungsabschnitte aufweisen, wobei die Befestigungsabschnitte jeweils eine Befestigungsstelle aufweisen, an der der Befestigungsabschnitt an ein Kontaktelement angeschlossen istThe invention relates to a device for heating a susceptor of a CVD reactor with one or more elongate, electrically conductive heating elements, each of which has heating sections with an outer broad side and an inner broad side as well as fastening sections adjoining the heating sections, the fastening sections each having a fastening point, at which the fastening section is connected to a contact element
Die Erfindung betrifft darüber hinaus einen mit einer derartigen Heizeinrichtung ausgebildeten CVD-Reaktor.The invention also relates to a CVD reactor designed with such a heating device.
Stand der TechnikState of the art
Ein CVD-Reaktor der gattungsgemäßen Art, wie er beispielsweise in der
Die Erfindung betrifft insbesondere solche Heizeinrichtungen, durch die ein elektrischer Strom fließt, der die Heizeinrichtung zur Abgabe von Wärme veranlasst. Die Heizeinrichtung kann mehrere sich in einer Heizebene erstreckende Heizelemente aufweisen, die die Form eines schmalen Metallstreifens aufweisen. Derartige Heizeinrichtungen werden in der
Zusammenfassung der ErfindungSummary of the Invention
Um optimale Beschichtungsergebnisse zu erzielen, also Schichten insbesondere eines Halbleitermaterials mit über ihre gesamte Fläche gleichen Schichteigenschaften abzuscheiden, muss die Temperatur des Suszeptors insbesondere an den Stellen, an denen die Substrate liegen eine hohe laterale Homogenität besitzen. Bereits geringfügige lokale Unterschiede der Suszeptortemperatur können zu lokalen Abweichungen der Schichtdicke und der Schichtzusammensetzung führenIn order to achieve optimal coating results, ie to deposit layers, in particular of a semiconductor material, with the same layer properties over their entire surface, the temperature of the susceptor must have a high level of lateral homogeneity, particularly at the locations where the substrates are located. Even small local differences in the susceptor temperature can lead to local deviations in the layer thickness and layer composition
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Maßnahmen anzugeben, mit denen ein Suszeptor mit einer hohen lateralen Temperaturhomogenität beheizt werden kann und insbesondere eine gattungsgemäße Heizeinrichtung diesbezüglich zu verbessern.The invention is based on the object of specifying measures with which a susceptor can be heated with a high degree of lateral temperature homogeneity and in particular of improving a generic heating device in this regard.
Gelöst wird die Aufgabe durch die in den Ansprüchen angegebene Erfindung, wobei die Unteransprüche nicht nur vorteilhafte Weiterbildungen der in den Hauptansprüchen angegebenen technischen Lehre sondern auch eigenständige Lösungen der Aufgabe sind.The object is achieved by the invention specified in the claims, with the subclaims not only being advantageous developments of the technical teaching specified in the main claims, but also independent solutions to the problem.
Zunächst und im Wesentlichen werden Maßnahmen vorgeschlagen, mit denen die durch die Wärmeausdehnung verursachte Wölbung der Heizabschnitte der Heizelemente in Richtung der Flächennormalen ihrer Breitseiten vermindert wird. Konstruktief wird hierzu vorgeschlagen, dass eine Heizeinrichtung ein oder mehrere längliche, elektrische Heizelemente aufweist. Das Heizelement kann ein flacher Streifen sein, dessen Heizabschnitt eine äußere Breitseite, die in Richtung des Suszeptors weist, und eine innere Breitseite, die in Richtung weg vom Suszeptor weist, besitzt. Die beiden Enden des flachen Streifens bilden Befestigungsabschnitte, mit denen das Heizelement jeweils an einem Kontaktelement befestigt ist. Hierzu weist der Befestigungsabschnitt eine Befestigungsstelle auf. Gemäß eines Aspekts der Erfindung sind die Befestigungsabschnitte von einem mittleren Heizabschnitt abgewinkelt. Der mittlere Heizabschnitt verläuft in einer Variante bevorzugt geradlinig zwischen zwei Knicklinien. Der Befestigungsabschnitt grenzt jeweils an einer Knicklinie an den Heizabschnitt an.First and foremost, measures are proposed with which the curvature of the heating sections of the heating elements caused by the thermal expansion is reduced in the direction of the surface normal of their broad sides. In terms of design, it is proposed that a heating device has one or more elongated electrical heating elements. The heating element may be a flat strip, the heating portion of which has an outer broad side facing towards the susceptor and an inner broad side facing away from the susceptor. The two ends of the flat strip form fastening sections with which the heating element is fastened to a contact element in each case. For this purpose, the fastening section has a fastening point. According to one aspect of the invention, the attachment sections are angled from a central heating section. In one variant, the central heating section preferably runs in a straight line between two fold lines. The fastening section is adjacent to the heating section at a fold line in each case.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung sind die Heizelemente derart angeordnet bzw. gelagert, dass sich die Heizabschnitte in ihrer Erstreckungsrichtung im Wesentlichen spannungsfrei ausdehnen können, wenn die Heizabschnitte aufgeheizt werden. Daraus resultierend können die Befestigungsabschnitte sich in Erstreckungsrichtung des Heizabschnittes voneinander entfernen, wenn sich der Heizabschnitt aufheizt. Die Heizabschnitte mehrerer Heizelemente, die jeweils von einem flachen Metallstreifen ausgebildet sind, können parallel zueinander angeordnet sein. Mehrere Heizelemente können sich in einer gemeinsamen Heizebene erstrecken. Bevorzugt füllen die mehreren, parallel zueinander sich erstreckenden Heizabschnitte der Heizelemente einen Kreis aus. Es ist aber auch möglich, dass die Heizabschnitte eine Heizfläche mit einem Rechteckgrundriss ausfüllen. Im ersten Fall haben die Heizabschnitte unterschiedliche Längen. Im zweiten Fall können die Heizabschnitte gleich lang sein. In der Seitenansicht können die erfindungsgemäßen Heizelemente eine U-Form haben.According to a further aspect of the invention, the heating elements are arranged or gela This means that the heating sections can expand in their extension direction essentially without stress when the heating sections are heated. As a result, the fixing portions may move away from each other in the direction of extension of the heating portion when the heating portion heats up. The heating portions of a plurality of heating elements each formed by a flat metal strip may be arranged in parallel to each other. Several heating elements can extend in a common heating plane. The plurality of heating sections of the heating elements, which extend parallel to one another, preferably fill a circle. However, it is also possible for the heating sections to fill a heating surface with a rectangular outline. In the first case, the heating sections have different lengths. In the second case, the heating sections can be of equal length. In side view, the heating elements according to the invention can have a U-shape.
Die Heizelemente können aus einer Legierung aus Eisen, Chrom und/Aluminium bestehen die Heizelemente können insbesondere aus Kanthal bestehen. Das Material des Heizelementes ist insbesondere resistent gegen Oxidation es kann in Luft oder in einer oxidierenden Umgebung verwendet werden. Die Breite eines Heizabschnittes bzw. eines Heizelementes, die bevorzugt über die gesamte Längenerstreckung des Heizelementes konstant ist, kann zwischen 8 und 12 mm betragen. Die Materialstärke des Heizabschnittes bzw. des Heizelementes, die eine Schmalseitenbreite definiert, kann ebenfalls über die gesamte Längenerstreckung des Heizelementes konstant sein und im Bereich zwischen 0,6 mm und 2 mm liegen. Der Abstand der Befestigungsstelle, die eine Bohrung im Befestigungsabschnitt sein kann, von der Knicklinie kann zwischen 20 mm und 40 mm oder mehr betragen. Der Abstand kann das zweibis dreifache der Breite des Heizelementes sein.The heating elements can consist of an alloy of iron, chromium and/or aluminum, the heating elements can consist in particular of kanthal. The material of the heating element is particularly resistant to oxidation and can be used in air or in an oxidizing environment. The width of a heating section or a heating element, which is preferably constant over the entire length of the heating element, can be between 8 and 12 mm. The material thickness of the heating section or of the heating element, which defines a narrow side width, can also be constant over the entire length of the heating element and can be in the range between 0.6 mm and 2 mm. The distance between the attachment point, which can be a hole in the attachment section, from the buckling line can be between 20 mm and 40 mm or more. The spacing may be two to three times the width of the heating element.
Mehrere Heizelemente können elektrisch in Serie geschaltet sein. Die Heizabschnitte mehrerer Heizelemente, die in einer Heizebene liegen, können von den elektrischen Zuleitungen beabstandet sein. Der Abstand kann im Bereich zwischen 20 mm und 40 mm liegen oder mindestens 20 oder 40 mm betragen. Wenn mehr als zwei Heizelemente in Serie geschaltet sind, bilden sie bevorzugt einen mäanderförmig verlaufenden Leiter aus. Abwechselnd sind zwei Befestigungsabschnitte verschiedener Heizelemente miteinander verbunden. Die Verbindung zweier benachbarter Heizelemente erfolgt bevorzugt mit einem Kontaktelement. Das Kontaktelement kann ein Z-förmiger Streifen sein. Das Kontaktelement kann aber auch ein geradliniger Streifen sein. Der Streifen bildet an seinen Enden Kontaktflächen, die beispielsweise mit Schrauben mit dem Befestigungsabschnitt verbunden sind. Ein zwischen den Kontaktflächen sich erstreckender Steg kann einen Längenunterschied von zwei nebeneinanderliegenden Heizelementen ausgleichen.Several heating elements can be electrically connected in series. The heating sections of several heating elements, which lie in a heating plane, can be spaced apart from the electrical supply lines. The distance can be in the range between 20 mm and 40 mm or can be at least 20 or 40 mm. If more than two heating elements are connected in series, they preferably form a meandering conductor. Alternately, two fastening sections of different heating elements are connected to one another. Two adjacent heating elements are preferably connected using a contact element. The contact element can be a Z-shaped strip. However, the contact element can also be a straight strip. At its ends, the strip forms contact surfaces which are connected to the fastening section with screws, for example. A web extending between the contact surfaces can compensate for a difference in length between two adjacent heating elements.
Es ist möglich, die Heizelemente mit den Befestigungsabschnitten an einem Träger zu befestigen. Es ist aber auch vorgesehen, die Befestigungsabschnitte lediglich an Befestigungsabschnitten benachbarter Heizelemente zu befestigen.It is possible to attach the heating elements to a carrier with the attachment sections. However, it is also provided for the fastening sections to be fastened only to fastening sections of adjacent heating elements.
Bei einer Erwärmung des Heizabschnittes wird der Heizabschnitt länger und die Befestigungsabschnitte bewegen sich voneinander weg. Indem die Befestigungsabschnitte mit Befestigungsabschnitten benachbarter Heizelemente verbunden sind, deren Heizabschnitte sich ebenfalls durch die Wärmeausdehnung verlängern, entstehen allenfalls nur geringfügige in Erstreckungsrichtung der Heizabschnitte gerichtete Spannungen, die zu einer Auswölbung führen könnten. Es ist deshalb von Vorteil, wenn die Befestigungsabschnitte zweier sich beim Erwärmen ausdehnenden Heizelementen miteinander verbunden sind, ein Heizelement gewissermaßen das ihm benachbarte Heizelement mit dem Kontaktelement hält. Die Heizabschnitte der bevorzugt an ihren beiden Seiten mit jeweils einem anderen benachbarten Heizelement verbundenen Heizelemente können sich dann im Wesentlichen kräftefrei bzw. spannungsfrei ausdehnen.When the heating section is heated, the heating section becomes longer and the fixing sections move away from each other. Because the fastening sections are connected to fastening sections of adjacent heating elements, the heating sections of which also lengthen as a result of thermal expansion, at most only slight stresses directed in the direction of extension of the heating sections arise, which could lead to bulging. It is therefore advantageous if the fastening sections of two heating elements that expand when heated are connected to one another, one heating element to a certain extent holding the heating element adjacent to it with the contact element. The heating sections of the heating elements, which are preferably connected on both sides to another adjacent heating element, can then expand essentially free of forces or stress.
Die Heizelemente können auf einem Fixierelement aufliegen. Das Fixierelement kann ein isolierender und temperaturfester Körper sein. Er kann beispielsweise aus Quarz oder aus einer Keramik bestehen. Das Fixierelement kann ein langgestreckter Körper sein, der quer zu einer Vielzahl von Heizabschnitten bzw. Heizelementen verläuft, die vom Fixierelement getragen werden. Mehrere Fixierelemente können an unterschiedlichen Stellen die Heizelemente bzw. die Heizabschnitte untergreifen. Die Fixierelemente können parallel zueinander verlaufen. Auf ihrer zu den Heizelementen weisenden Breitseite besitzen die Fixierelemente Fixierrippen. Der Abstand zweier Fixierrippen entspricht in etwa der Breite des Heizabschnittes. Zwei benachbarte Heizabschnitte werden somit auf einer Distanz voneinander gehalten, die einer Breite einer Fixierrippe entspricht.The heating elements can rest on a fixing element. The fixing element can be an insulating and temperature-resistant body. It can consist of quartz or a ceramic, for example. The fixing element may be an elongate body which extends transversely to a plurality of heating sections or heating elements carried by the fixing element. Several fixing elements can reach under the heating elements or the heating sections at different points. The fixing elements can run parallel to one another. The fixing elements have fixing ribs on their broad side pointing towards the heating elements. The distance between two fixing ribs corresponds approximately to the width of the heating section. Two adjacent heating sections are thus kept at a distance from one another which corresponds to a width of a fixing rib.
Beim Erwärmen der Heizabschnitte können sich die Heizabschnitte gegenüber den Fixierelementen bewegen. Die Heizabschnitte sind bevorzugt derart auf den Fixierelementen gelagert, dass sie sich in ihrer Erstreckungsrichtung, geführt durch die Fixierrippen gleitend auf den Fixierelementen bewegen können.When heating the heating sections, the heating sections can move relative to the fixing members. The heating sections are preferably mounted on the fixing elements in such a way that they can move in their extension direction, guided by the fixing ribs, sliding on the fixing elements.
Eine Mehrzahl von insbesondere parallel zueinander verlaufenden Heizelementen kann eine Heizzone ausbilden. Die Heizelemente einer Heizzone können in Serie geschaltet sein. Zwei endseitige Befestigungsabschnitte sind jeweils mit Kontaktanschlusselementen verbunden, mit denen die Heizelemente der Heizzone bestromt werden können. Die Kontaktanschlusselemente verbinden elektrische Zuleitungen mit den Heizelementen. Der Abstand zwischen den Heizabschnitten und den elektrischen Zuleitungen kann 20-40 mm oder mehr betragen. Die elektrischen Zuleitungen liegen in einer Zuleitungsebene, die von der Heizebene beabstandet ist.A plurality of heating elements running in particular parallel to one another can form a heating zone. The heating elements of a heater zone can be connected in series. Two end attachment sections are each connected to contact connection elements with which the heating elements of the heating zone can be energized. The contact connection elements connect electrical supply lines to the heating elements. The distance between the heating sections and the electrical leads can be 20-40 mm or more. The electrical supply lines lie in a supply line level that is spaced apart from the heating level.
Mehrere parallel zueinander verlaufende Heizelemente können derart elektrisch leitend miteinander verbunden sein, dass sich eine halbkreisförmige Heizzone ausbildet. Zwei halbkreisförmige individuell beheizbare Heizzonen können nebeneinander angeordnet sein.A plurality of heating elements running parallel to one another can be electrically conductively connected to one another in such a way that a semicircular heating zone is formed. Two semicircular, individually heatable heating zones can be arranged next to one another.
Der Heizabschnitt eines Heizelementes kann nicht nur geradlinig verlaufen. Anders als derartige geradlinige Heizelemente können bogenförmige Heizelemente einen Heizabschnitt aufweisen, der sich auf einer Bogenlinie und insbesondere auf einer Kreisbogenlinie erstreckt. Die Befestigungsabschnitte können zur Bogeninnenseite abragen. Ein gebogenes Heizelement kann eine Heizzone aufweisen, die sich über einen Halbkreis erstrecken kann. Die Heizzone kann sich aber auch über einen Vollkreis oder nur über einen Viertelkreis erstrecken. Erstreckt sich die Heizzone über einen Vollkreis, so kann die Heizzone einen weiteren Befestigungsabschnitt aufweisen, der als U-förmige Einbuchtung ausgebildet sein kann.The heating section of a heating element cannot only run in a straight line. Unlike such linear heating elements, arcuate heating elements may have a heating portion extending on an arc line, and particularly on a circular arc line. The fastening sections can protrude towards the inside of the bend. A curved heating element may have a heating zone which may extend over a semi-circle. However, the heating zone can also extend over a full circle or only over a quarter circle. If the heating zone extends over a full circle, the heating zone can have a further fastening section which can be designed as a U-shaped indentation.
In einer bevorzugten Ausgestaltung einer Heizvorrichtung liegen mehrere geradlinige Heizelemente derart nebeneinander, dass ihre Heizabschnitte einen Kreis ausfüllen. Dieser Kreis kann von einem bogenförmigen Heizelement umgeben sein. Der kreisförmig gebogene Heizabschnitt erstreckt sich bevorzugt um die Befestigungsabschnitte der geradlinigen Heizelemente herum. Dabei kann sich der Heizabschnitt auf einer Zylindermantelfläche erstrecken. Die Achse des die Mantelfläche definierenden Zylinders kann dabei senkrecht zur Heizebene stehen. Die Schmalseitenfläche des Heizabschnitts des gebogenen Heizelementes kann in derselben Ebene verlaufen, in der die Breitseitenflächen der Heizabschnitte der geradlinigen Heizelemente verlaufen. Die Schmalseitenfläche des gebogenen Heizelementes kann aber auch in Achsrichtung versetzt zur Heizebene verlaufen.In a preferred embodiment of a heating device, several linear heating elements are located next to one another in such a way that their heating sections fill out a circle. This circle may be surrounded by an arcuate heating element. The circularly arcuate heating portion preferably extends around the mounting portions of the linear heating elements. In this case, the heating section can extend on a cylinder jacket surface. The axis of the cylinder defining the lateral surface can be perpendicular to the heating plane. The narrow side surface of the heating section of the curved heating element can run in the same plane in which the broad side surfaces of the heating sections of the linear heating elements run. However, the narrow side surface of the curved heating element can also run offset in the axial direction to the heating plane.
Beim Erwärmen des gebogenen Heizelementes kann sich dessen Durchmesser vergrößern. Der Heizabschnitt des gebogenen Heizelementes weicht dann in Radialrichtung von den Befestigungsabschnitten der geradlinigen Heizelemente weg, wobei sich die Befestigungsabschnitte der geradlinigen Heizelemente auch auf den Heizabschnitt des gebogenen Heizelementes zu verlagern können. Die beiden Heizelemente sind jedoch bevorzugt derart angeordnet, dass sie sich bei dieser durch die Erwärmung verursachten Bewegung nicht berühren.When the curved heating element is heated, its diameter can increase. The heating portion of the arcuate heater then radially deviates from the mounting portions of the linear heaters, and the mounting portions of the linear heaters may also move toward the heating portion of the arcuate heater. However, the two heating elements are preferably arranged in such a way that they do not touch during this movement caused by the heating.
Beim Betrieb einer derartigen Heizvorrichtung, die zwei oder mehrere Heizzonen aufweisen kann, werden die Heizabschnitte auf Temperaturen über 1000 °C insbesondere bis auf mindestens 1200 °C aufgeheizt. Bei einem erfindungsgemäß ausgebildeten Heizelement heizen sich nicht nur die Heizabschnitte, sondern auch die Befestigungsabschnitte auf diese Temperaturen auf. Die Längenausdehnung der Heizabschnitte führt zu einer Verlängerung des Heizabschnitts aber auch zu einer Verminderung der Starrheit der Befestigungsabschnitte. Da die Querschnittsfläche der Befestigungsabschnitte dieselbe ist, wie die Querschnittsfläche des Heizabschnitts kann sich der Befestigungsabschnitt verbiegen, umso die Längenausdehnung des Heizabschnittes auszugleichen. Dies ist eine Folge der durch die Erwärmung verursachten Aufweichung des Werkstoffs.When operating such a heating device, which can have two or more heating zones, the heating sections are heated to temperatures above 1000° C., in particular up to at least 1200° C. In the case of a heating element designed according to the invention, not only the heating sections but also the fastening sections heat up to these temperatures. The linear expansion of the heating sections leads to an elongation of the heating section but also to a reduction in the rigidity of the fastening sections. Because the cross-sectional area of the attachment sections is the same as the cross-sectional area of the heating section, the attachment section can flex to accommodate the elongation of the heating section. This is a result of the softening of the material caused by heating.
Figurenlistecharacter list
Im Folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:
-
1 eine perspektivische Darstellung der Heizeinrichtung, -
2 eine Draufsicht auf die Heizeinrichtung, -
3 den Schnitt gemäß der Linie III-III in2 , -
4 eine perspektivische Unteransicht auf dieHeizeinrichtung 1, -
5 eine Unteransicht der Heizeinrichtung 1, -
6 eine Seitenansicht der Heizeinrichtung 1, -
7 die Ansicht eines einzelnen Heizelementes 2einer Heizeinrichtung 1, -
8 eine Seitenansicht aufdas Heizelement 2, -
9 perspektivisch aufgebrochen die Heizeinrichtung und -
10 schematisch einen CVD-Reaktor.
-
1 a perspective view of the heating device, -
2 a plan view of the heater, -
3 the cut according to the line III-III in2 , -
4 a perspective bottom view of theheating device 1, -
5 a bottom view of theheating device 1, -
6 a side view of theheating device 1, -
7 the view of asingle heating element 2 of aheating device 1, -
8th a side view of theheating element 2, -
9 perspective broken open the heating device and -
10 schematic of a CVD reactor.
Beschreibung der AusführungsformenDescription of the embodiments
Das Ausführungsbeispiel ist eine Heizeinrichtung für einen CVD-Reaktor. Derartige CVD-Reaktoren sind dem Stand der Technik bekannt. Die
Die Heizeinrichtung 1 besitzt drei Heizzonen, die jeweils mit Kontaktanschlusselementen 11, 21 an nicht dargestellte elektrische Zuleitungen anschließbar sind. Zwei Heizzonen werden von einer Vielzahl von Heizelementen 2 ausgebildet, die zu einem U gebogene Metallstreifen sind. Ein mittlerer Bereich des Heizelementes 2 bildet einen Heizabschnitt 3 aus. Der Heizabschnitt 3 besitzt eine äußere Breitseite 6, die im eingebauten Zustand in Richtung des Suszeptors 32 weist. Zwei jeweils unter Ausbildung einer Knicklinie 9 an den Heizabschnitt 3 angrenzende Befestigungsabschnitte 4 ragen in Richtung der von der äußeren Breitseite 6 weg weisenden inneren Breitseite 7 vom Heizabschnitt 3 ab.The
Die Befestigungsabschnitte 4 besitzen jeweils eine Befestigungsstelle 5, die als Bohrung ausgebildet sein kann. Ein Abstand A der Befestigungsstelle 5 von der Knicklinie 9 beträgt etwa 20-40 mm. Mehrere parallel nebeneinanderliegende Heizelemente 2 sind mit ihren beiden Nachbarn mit Kontaktelementen 10 miteinander verbunden.The
Ein Befestigungsabschnitt 4 ist beispielsweise mit einem linken Nachbarn und ein anderer Befestigungsabschnitt 5 mit einem rechten Nachbarn verbunden. Die Verbindung mit den benachbarten Heizelementen 2 erfolgt dabei so, dass sich ein in einer Heizebene H mäanderförmig verlaufender Leiter ausbildet, der sich zwischen den beiden Kontaktanschlusselementen 11 erstreckt. Die Kontaktelemente 10 sind Z-förmig ausgebildet. Sie besitzen einen mittleren Steg 10'', der zwei Kontaktflächen 10' miteinander verbindet. Die Kontaktelemente 10 können mit den Befestigungsabschnitten 4 verschraubt sein. Mehrere Heizelemente 2 können zu einer Heizzone zusammengeschaltet sein. Jede der beiden Heizzonen erstreckt sich über eine Halbkreisfläche. Die Befestigungsabschnitte 4 sind von der Heizebene H weg gebogen.For example, one
Es sind drei Fixierelemente 22 vorgesehen, die sich parallel zueinander erstrecken und quer zu den parallel zueinander verlaufenden Heizelementen 2 angeordnet sind. Auf ihren zu den Heizelementen 2 weisenden Breitseiten tragen die Fixierelemente 22 Fixierrippen 23, deren Breite den Abstand zweier benachbarter Heizelemente 2 definiert. Die Fixierelemente 22 sind aus einem isolierenden und temperaturbeständigen Werkstoff, beispielsweise Quarz oder einer Keramik. Es können Träger 27 vorgesehen sein, mit denen die Fixierelemente 22 am Reaktorgehäuse befestigt sind.Three fixing
Die Träger 27 können mit nicht dargestellten Elementen des Reaktorgehäuses 30 verbunden sein. Es können zusätzliche Stützelemente 26 vorgesehen sein, mit denen die Fixierelemente 22 von den Trägern 27 beabstandet sind. Die Fixierelemente 22 können somit Tragelemente ausbilden, die die Heizabschnitte 3 der Heizelemente 2 tragen. Die Heizelemente 2 können somit schwimmend auf den Fixierelementen 22 gelagert sein. Die Fixierelemente 22 können mit Verbindungsstegen 25 miteinander verbunden sein.The supports 27 can be connected to elements of the
Mit der Bezugsziffer H wird eine Heizebene H bezeichnet. Die Heizebene ist die Ebene, in der sich die Heizabschnitte 3 erstrecken. Alle Heizabschnitte 3 erstrecken sich in der Heizebene H. Insbesondere definiert die äußere Breitseitenfläche 6 den Verlauf der Heizebene H. Mit den Bezugsziffern K1 und K2 ist jeweils eine Zuleitungsebene bezeichnet, die von der Heizebene H beabstandet ist. In der Zuleitungsebene K1, K2 können sich nicht dargestellte elektrische Zuleitungen erstrecken, mit denen Kontaktanschlusselemente 11 verbunden sind. An zwei endseitigen Befestigungsstellen 5 einer eine Heizzone ausbildenden Anordnung von Heizelementen 2 können Kontaktstreifen befestigt sein, die die Befestigungsstellen 5 mit einem Kontaktanschlusselement 11 elektrisch leitend verbinden. Die Kontaktstreifen 28 können biegbare Metallstreifen sein. Die beiden zum Bestromen der Heizelemente 2 erforderlichen Zuleitungen können in voneinander verschiedenen Zuleitungsebenen K1, K2 verlaufen, die einen unterschiedlichen Abstand zur Heizebene H besitzen.The reference number H designates a heating level H. The heating plane is the plane in which the
Eine dritte Heizzone erstreckt sich um die beiden zuvor beschriebenen Heizzonen. Die dritte Heizzone wird von einem bogenförmigen Heizelement 12 ausgebildet, das ebenfalls ein Metallstreifen ist. Der Metallstreifen besitzt an seinen beiden Enden jeweils einen zur Bogeninnenseite weisenden Befestigungsabschnitt 14, mit dem das Heizelement 12 an einem Kontaktanschlusselement 21 befestigt ist. Dies erfolgt über Kontaktelemente 20.A third heating zone extends around the two heating zones previously described. The third heating zone is formed by an
Eine Schmalseite 8 des bogenförmigen Heizelementes 12 kann sich in der Heizebene H erstrecken. Sie kann aber auch in Axialrichtung bezogen auf die Kreisfläche, in der sich die Heizabschnitte 3 der Heizelemente 2 erstrecken, gegenüber der Heizebene H um wenige Millimeter versetzt sein. Beim Ausführungsbeispiel weist die innere Breitseite des Heizabschnitts 13 des bogenförmigen Heizelementes 12 in Richtung auf die Befestigungsabschnitte 4 der Heizelemente 2.A
Der Heizabschnitt 13 des bogenförmigen Heizelementes kann sich frei über einen Halbkreis bis zu einem Befestigungsabschnitt 24 erstrecken. Der Befestigungsabschnitt 24 wird von einer U-förmigen Ausbuchtung des bogenförmigen Heizelementes 12 ausgebildet, der an einem der Fixierelemente 22 befestigt sein kann.The
Die Kontaktelemente 20 verbinden die Befestigungsabschnitte 14 mit Kontaktanschlusselementen 21, mit denen das Heizelement 12 mit Zuleitungen verbunden ist.The
Die vorstehenden Ausführungen dienen der Erläuterung der von der Anmeldung insgesamt erfassten Erfindungen, die den Stand der Technik zumindest durch die folgenden Merkmalskombinationen jeweils eigenständig weiterbilden, nämlich:The above explanations serve to explain the inventions covered by the application as a whole, which independently develop the state of the art at least through the following combinations of features, namely:
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Befestigungsabschnitte 4, 14 in Richtung der inneren Breitseite 7, 17 vom mittleren Heizabschnitt 3, 13 abgewinkelt sind.A device characterized in that the
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Befestigungsabschnitte 4 zumindest einige Heizelemente 2 mit den Kontaktelementen 10 derart mit Befestigungsabschnitten 4 benachbarter Heizelemente 2 verbunden sind, dass sich die Heizabschnitte 3 der Heizelemente 2 beim Erwärmen im Wesentlichen spannungsfrei in ihre Erstreckungsrichtung ausdehnen können.A device which is characterized in that the
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der mittlere Heizabschnitt 3 geradlinig verläuft und die Befestigungsabschnitte 4 derart vom Heizabschnitt 3 abgewinkelt sind, dass das Heizelement 2 eine U-Form aufweist.A device characterized in that the
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die ein oder mehreren Heizelemente 2, 12 jeweils von einem flachen Metallstreifen ausgebildet sind, wobei die Breite B der Breitseite 6, 7 des Heizabschnittes 3, 13 mindestens fünf- oder zehnmal größer ist, als dessen Materialstärke D und dessen Länge L mindestens dreimal so groß ist wie die Breite B, wobei die Befestigungsabschnitte 4,14 jeweils unter Ausbildung einer Knickstelle 9, 19 vom Heizabschnitt 3, 13 abragen und wobei der Abstand A der Befestigungsstelle 5, 15 von der Knickstelle 9 größer ist als die Breite B.A device characterized in that the one or
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass das Heizelement 2 eine Legierung aus Eisen, Chrom und/oder Aluminium ist und/oder die Breite B im Bereich zwischen 8 mm und 12 mm liegt und/oder die Materialstärke D im Bereich zwischen 0,6 mm und 2 mm liegt und/oder zwei nebeneinander angeordnete Heizelemente 2, 12 voneinander verschiedene Längen L aufweisen und/oder dass der Abstand A der Befestigungsstelle 5, 15 von der Knickstelle 9 20-40 mm beträgt.A device characterized in that the
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass zwei oder mehr Heizelemente elektrisch in Serie geschaltet sind und/oder dass mehrere Heizabschnitte 3 mehrerer Heizelemente 2 in einer gemeinsamen Heizebene H liegen, die von einer Zuleitungsebene K1, K2, in der sich elektrische Zuleitungen erstrecken, um mindestens 20 mm oder 40 mm beabstandet sind.A device which is characterized in that two or more heating elements are electrically connected in series and/or that
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass mehrere Heizelemente 2 parallel nebeneinander angeordnet sind und/oder dass die in einer gemeinsamen Heizebene H liegenden äußeren Breitseiten 6 der Heizabschnitte 3, 13 mehrerer Heizelemente 2 eine Kreisfläche ausfüllen und/oder dass die unmittelbar einander benachbarten Befestigungsabschnitte 4 zweier nebeneinanderliegender Heizelemente 2 derart mit einem Kontaktelement 10 miteinander verbunden sind, dass die Vielzahl von Heizelementen 2 einen mäanderförmig verlaufenden Leiter ausbilden, der an seinen Enden an Kontaktanschlusselementen 11 verbunden ist.A device which is characterized in that
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der Heizabschnitt 13 mindestens eines bogenförmigen Heizelementes 12 auf einer Kreisbogenlinie verläuft und die Befestigungsabschnitte 14 bezogen auf die Kreisbogenlinie radial einwärtsgerichtet sind und/oder dass ein oder mehrere geradlinige Heizelemente 2, deren äußere Breitseiten 6 der Heizabschnitte 3, 13 sich in einer Heizebene H erstrecken, von ein oder mehreren bogenförmigen Heizelementen 12 umgeben sind und/oder dass sich die Breitseiten 16, 17 der Heizabschnitte 13 ein oder mehrerer bogenförmiger Heizelemente 12 auf einer Zylindermantelfläche erstrecken und die Heizabschnitte 3 der geradlinigen Heizelemente 2 in einer Heizebene H liegen, zu der die Achse der Zylindermantelfläche senkrecht verläuft.A device which is characterized in that the
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Heizebene H, in der sich die äußeren Breitseiten 6 der Heizabschnitte 3 geradliniger Heizelemente 2 erstrecken, in Richtung der Achse versetzt zu dem mindestens einen bogenförmigen Heizelement 12 angeordnet ist.A device which is characterized in that the heating plane H, in which the outer
Einen CVD-Reaktor, der dadurch gekennzeichnet ist, dass die Heizeinrichtung 1 gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche ausgebildet ist.A CVD reactor, characterized in that the
Alle offenbarten Merkmale sind (für sich, aber auch in Kombination untereinander) erfindungswesentlich. In die Offenbarung der Anmeldung wird hiermit auch der Offenbarungsinhalt der zugehörigen/beigefügten Prioritätsunterlagen (Abschrift der Voranmeldung) vollinhaltlich mit einbezogen, auch zu dem Zweck, Merkmale dieser Unterlagen in Ansprüche vorliegender Anmeldung mit aufzunehmen. Die Unteransprüche charakterisieren, auch ohne die Merkmale eines in Bezug genommenen Anspruchs, mit ihren Merkmalen eigenständige erfinderische Weiterbildungen des Standes der Technik, insbesondere um auf Basis dieser Ansprüche Teilanmeldungen vorzunehmen. Die in jedem Anspruch angegebene Erfindung kann zusätzlich ein oder mehrere der in der vorstehenden Beschreibung, insbesondere mit Bezugsziffern versehene und/oder in der Bezugsziffernliste angegebene Merkmale aufweisen. Die Erfindung betrifft auch Gestaltungsformen, bei denen einzelne der in der vorstehenden Beschreibung genannten Merkmale nicht verwirklicht sind, insbesondere soweit sie erkennbar für den jeweiligen Verwendungszweck entbehrlich sind oder durch andere technisch gleichwirkende Mittel ersetzt werden können.All disclosed features are (by themselves, but also in combination with each other) inventive essential. The disclosure of the application also includes the disclosure content of the associated/attached priority documents (copy of the previous application) in full, also for the purpose of including features of these documents in claims of the present application. The subclaims, even without the features of a referenced claim, characterize with their features independent inventive developments of the prior art, in particular for making divisional applications on the basis of these claims. The invention specified in each claim can additionally have one or more of the features specified in the above description, in particular with reference numbers and/or specified in the list of reference numbers. The invention also relates to designs in which individual features mentioned in the above description are not implemented, in particular if they are discernibly unnecessary for the respective application or can be replaced by other technically equivalent means.
BezugszeichenlisteReference List
- 11
- Heizeinrichtungheating device
- 22
- Heizelementheating element
- 33
- Heizabschnittheating section
- 44
- Befestigungsabschnittattachment section
- 55
- Befestigungsstelleattachment point
- 66
- äußere Breitseiteouter broadside
- 77
- innere Breitseiteinner broadside
- 88th
- Schmalseitenarrow side
- 99
- Knickstellekink
- 1010
- Kontaktelementcontact element
- 10'10'
- Kontaktflächecontact surface
- 10"10"
- Stegweb
- 1111
- Kontaktanschlusselementcontact terminal element
- 1212
- bogenförmiges Heizelementarcuate heating element
- 1313
- Heizabschnittheating section
- 1414
- Befestigungsabschnittattachment section
- 1515
- Befestigungsstelleattachment point
- 1616
- äußere Breitseiteouter broadside
- 1717
- innere Breitseiteinner broadside
- 1818
- Schmalseitenarrow side
- 1919
- Knickstellekink
- 2020
- Kontaktelementcontact element
- 2121
- Kontaktanschlusselementcontact terminal element
- 2222
- Fixierelementfixing element
- 2323
- Fixierrippefixing rib
- 2424
- Befestigungsabschnittattachment section
- 2525
- Verbindungssteg connecting bar
- 2626
- Stützelementsupport element
- 2727
- Trägercarrier
- 2828
- Kontaktstreifencontact strips
- 2929
- Kontaktstreifencontact strips
- 3030
- Reaktorgehäusereactor housing
- 3131
- Gaseinlassorgangas inlet element
- 3232
- Suszeptorsusceptor
- 3333
- Gasauslassorgangas outlet organ
- AA
- AbstandDistance
- BB
- BreiteBroad
- DD
- Längelength
- HH
- Heizebeneheating level
- K1K1
- Zuleitungsebenefeeder level
- K2K2
- Zuleitungsebenefeeder level
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN DESCRIPTION
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list of documents cited by the applicant was generated automatically and is included solely for the better information of the reader. The list is not part of the German patent or utility model application. The DPMA assumes no liability for any errors or omissions.
Zitierte PatentliteraturPatent Literature Cited
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- DE 102020107552 A1 [0004]DE 102020107552 A1 [0004]
Claims (11)
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102020130339.4A DE102020130339A1 (en) | 2020-11-17 | 2020-11-17 | Heating device for a CVD reactor |
TW110139173A TW202227665A (en) | 2020-11-17 | 2021-10-22 | Heating apparatus for a CVD reactor |
PCT/EP2021/079952 WO2022106174A1 (en) | 2020-11-17 | 2021-10-28 | Heating apparatus for a cvd reactor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102020130339.4A DE102020130339A1 (en) | 2020-11-17 | 2020-11-17 | Heating device for a CVD reactor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102020130339A1 true DE102020130339A1 (en) | 2022-05-19 |
Family
ID=78402151
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102020130339.4A Pending DE102020130339A1 (en) | 2020-11-17 | 2020-11-17 | Heating device for a CVD reactor |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102020130339A1 (en) |
TW (1) | TW202227665A (en) |
WO (1) | WO2022106174A1 (en) |
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- 2021-10-22 TW TW110139173A patent/TW202227665A/en unknown
- 2021-10-28 WO PCT/EP2021/079952 patent/WO2022106174A1/en active Application Filing
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202227665A (en) | 2022-07-16 |
WO2022106174A1 (en) | 2022-05-27 |
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Legal Events
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