DE102013113046A1

DE102013113046A1 - Supporting or connecting elements on a heating element of a CVD reactor

Info

Publication number: DE102013113046A1
Application number: DE102013113046.1A
Authority: DE
Inventors: Pierre-Arnaud Bodin; Mark Edlef Oppen; Keith Allen; Fred Michael Andrew Crawley
Original assignee: Aixtron SE
Current assignee: Aixtron SE
Priority date: 2013-11-26
Filing date: 2013-11-26
Publication date: 2015-05-28
Also published as: CN204162789U; TWM512201U; TWI628308B; CN104674194B; CN104674194A; TW201520365A

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Beheizen insbesondere eines Suszeptors (4) eines CVD-Reaktors (1) mit mindestens einem Heizelement (9, 19), wobei Abschnitte des Heizelementes (9, 19) oder verschiedene Heizelemente (9, 19) nebeneinander verlaufen und mittels Stützelementen (10, 20) gegenüber einer Stützplatte lagefixiert sind, wobei die Stützelemente (10, 20) jeweils einen Fuß (15, 16, 17; 25, 26, 27), der formschlüssig gesichert in einer Befestigungsöffnung der Stützplatte (29) steckt, und einen mit einem sich quer zur Erstreckungsebene der Stützplatte (29) erstreckenden Schaft (14, 24) verbundenen Kopf (11, 12, 13; 21, 22, 23), an dem das Heizelement (9, 19) befestigt ist, aufweist. Zur Verbesserung der Befestigung der Stützelemente bzw. die Befestigung der Verbindungselemente an der Heizvorrichtung, wird vorgeschlagen, dass der Fuß (15, 16, 17; 25, 26, 27) mit Formschlussbefestigungsmitteln (15, 16, 17; 25, 26, 27) in einer Befestigungsöffnung (38) der Stützplatte (29) befestigt ist, die das Stützelement (10, 20) in Erstreckungsrichtung des Schaftes (14, 24) an die Stützplatte (29) fesseln.The invention relates to a device for heating in particular a susceptor (4) of a CVD reactor (1) with at least one heating element (9, 19), wherein sections of the heating element (9, 19) or different heating elements (9, 19) run side by side and by means of support elements (10, 20) are fixed in position relative to a support plate, wherein the support elements (10, 20) each have a foot (15, 16, 17; 25, 26, 27), the form-fitting secured in a mounting opening of the support plate (29) inserted and a head (11, 12, 13, 21, 22, 23) connected to a shaft (14, 24) extending transversely to the plane of extension of the support plate (29) to which the heating element (9, 19) is attached , To improve the attachment of the support elements or the attachment of the connecting elements to the heater, it is proposed that the foot (15, 16, 17, 25, 26, 27) with positive locking means (15, 16, 17, 25, 26, 27) in a fastening opening (38) of the support plate (29) is fastened, which tie the support element (10, 20) in the extension direction of the shank (14, 24) to the support plate (29).

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Beheizen insbesondere eines Suszeptors eines CVD-Reaktors mit mindestens einem Heizelement, wobei Abschnitte des Heizelementes oder verschiedene Heizelemente nebeneinander verlaufen und mittels Stützelementen gegenüber einer Stützplatte lagefixiert sind, wobei die Stützelemente jeweils einen Fuß aufweisen, der formschlüssig gesichert in einer Befestigungsöffnung der Stützplatte steckt und wobei ein mit einem sich quer zur Erstreckungsebene der Stützplatte erstreckenden Schaft verbundener Kopf am Halselement befestigt ist.The invention relates to a device for heating, in particular, a susceptor of a CVD reactor with at least one heating element, wherein sections of the heating element or different heating elements run side by side and are fixed in position by means of support elements relative to a support plate, wherein the support elements each have a foot, the form-fitting secured in one Attachment opening of the support plate is inserted and wherein a connected to a transverse to the extension plane of the support plate extending shaft head is attached to the neck member.

Die Erfindung betrifft darüber hinaus eine Vorrichtung zum Beheizen insbesondere eines Suszeptors eines CVD-Reaktors mit mindestens einem Heizelement, welches mit mindestens einer Kontaktplatte verbunden ist, die mittels Verbindungselementen gegenüber einer Stützplatte lagefixiert ist.The invention further relates to a device for heating in particular a susceptor of a CVD reactor with at least one heating element, which is connected to at least one contact plate, which is fixed in position relative to a support plate by means of connecting elements.

Ein CVD-Reaktor besitzt ein Reaktorgehäuse, in dem sich eine Prozesskammer befindet. Das Reaktorgehäuse schließt die Prozesskammer gasdicht von der Umgebung ab. Innerhalb des Reaktorgehäuses befindet sich ein Gaseinlassorgan, mit dem gasförmige Ausgangsstoffe in die Prozesskammer eingeleitet werden. Zu beschichtende Substrate liegen auf einem Suszeptor auf. Der Suszeptor bildet den Boden der Prozesskammer, in die die gasförmigen Ausgangsstoffe eingespeist werden. Um auf den Substraten Schichten abzuscheiden, müssen die Substratoberflächen auf eine Prozesstemperatur aufgeheizt werden, die im Bereich von 1.000°C liegt. Dies erfolgt mit einer unterhalb des Suszeptors angeordneten Heizvorrichtung. Das Gaseinlassorgan, welches sich wenige Zentimeter oberhalb des Suszeptors befindet, wird oftmals beispielsweise mit einer Kühlflüssigkeit gekühlt. Innerhalb der Prozesskammer entsteht so ein steiler vertikaler Temperaturgradient, der zu einem hohen Wärmeabfluss vom Suszeptor zum Gaseinlassorgan führt. Zum Erreichen der Prozesstemperatur ist deshalb die Einspeisung einer hohen Wärmeleitung über die Heizvorrichtung erforderlich. Die Heizelemente der Heizvorrichtung müssen auf Temperaturen von etwa 2.000°C aufgeheizt werden. Zudem ist eine großflächige Beheizung erforderlich.A CVD reactor has a reactor housing in which a process chamber is located. The reactor housing seals the process chamber gas-tight from the environment. Within the reactor housing is a gas inlet member, are introduced with the gaseous starting materials in the process chamber. Substrates to be coated are supported on a susceptor. The susceptor forms the bottom of the process chamber into which the gaseous starting materials are fed. In order to deposit layers on the substrates, the substrate surfaces must be heated to a process temperature that is in the range of 1,000 ° C. This is done with a heater arranged below the susceptor. The gas inlet member, which is located a few centimeters above the susceptor is often cooled, for example, with a cooling liquid. Within the process chamber, a steep vertical temperature gradient thus results, which leads to a high heat flow from the susceptor to the gas inlet element. To achieve the process temperature, therefore, the feeding of a high heat conduction through the heater is required. The heating elements of the heater must be heated to temperatures of about 2,000 ° C. In addition, a large-scale heating is required.

Eine Heizvorrichtung, mit kreisbogenförmig um ein Zentrum angeordneten Heizfilamenten beschreibt die US 7,645,342 B2 . Die Heizfilamente sind mittels Stützelementen mit einer Stützplatte verbunden.A heating device with heating filaments arranged in a circular arc about a center describes the US 7,645,342 B2 , The Heizfilamente are connected by means of support elements with a support plate.

Ein entlang einer Spirallinie verlaufendes Heizelement wird in der DE 26 30 466 A1 oder der US 3,345,498 beschrieben. Auf Kreisbogenlinien verlaufende Heizelemente zeigt auch die US 7,573,004 . Meanderförmig verlaufende Heizelemente sind aus der US 3,567,906 bekannt.A running along a spiral line heating element is in the DE 26 30 466 A1 or the US 3,345,498 described. On circular arcs running heating elements also shows the US 7,573,004 , Meanderförmigende heating elements are from the US 3,567,906 known.

Vorrichtungen zum Aufheizen eines Suszeptors eines CVD-Reaktors zeigen beispielsweise auch die DE 10 2009 043 960 A1 , DE 10 2007 009 145 A1 , DE 103 29 107 A1 , DE 10 2005 056 536 A1 , DE 10 2006 018 515 A1 oder DE 10 2007 027 704 A1 .Devices for heating a susceptor of a CVD reactor, for example, also show the DE 10 2009 043 960 A1 . DE 10 2007 009 145 A1 . DE 103 29 107 A1 . DE 10 2005 056 536 A1 . DE 10 2006 018 515 A1 or DE 10 2007 027 704 A1 ,

Heizelemente einer erfindungsgemäßen Vorrichtung werden durch Durchleiten eines Stroms aufgeheizt. Die beiden Enden eines jeden Heizorgans sind mit Kontaktplatten verbunden. Die Heizelemente sind in zumindest einer Ebene angeordnet. Es ist aber auch möglich, die Heizelemente in voneinander verschiedenen Parallelebenen anzuordnen. Die Heizelemente erstrecken sich auf kreisbogenförmigen oder spiralförmigen Linien in der jeweiligen Ebene. Insbesondere ist vorgesehen, dass die Heizelemente spiralförmig angeordnet sind.Heating elements of a device according to the invention are heated by passing a current. The two ends of each heating element are connected to contact plates. The heating elements are arranged in at least one plane. But it is also possible to arrange the heating elements in mutually different parallel planes. The heating elements extend on arcuate or spiral lines in the respective plane. In particular, it is provided that the heating elements are arranged spirally.

Dies hat zur Folge, dass voneinander verschiedene Heizelemente oder Abschnitte desselben Heizelementes nebeneinander verlaufen. Um die nebeneinander verlaufenden Abschnitte der Heizelemente derart Lage zu fixieren, dass Sie sich trotz erheblicher mechanischer Bewegungen der Bestandteile der Heizvorrichtung beim Aufheizen und Abkühlen nicht berühren, sind Stützelemente vorgesehen, die die Heizelemente an einer Vielzahl von Stellen, insbesondere an gleichmäßig beabstandet voneinander liegenden Stellen mit der Stützplatte verbinden. Es sind ferner Verbindungselemente vorgesehen mit denen eine oder mehrere Kontaktplatten mit der Stützplatte verbunden sind. Auch die Verbindungselemente haben die Aufgabe, ein sich Berühren voneinander verschiedener Kontaktplatten beim Aufheizen und Abkühlen der Heizvorrichtung zu verhindern.This has the consequence that mutually different heating elements or sections of the same heating element run side by side. In order to fix the juxtaposed portions of the heating elements in such a position that you do not touch despite considerable mechanical movements of the components of the heater during heating and cooling, support elements are provided, the heating elements at a plurality of points, in particular evenly spaced locations connect with the support plate. There are also provided connecting elements with which one or more contact plates are connected to the support plate. The connecting elements have the task of preventing each other from touching different contact plates during heating and cooling of the heater.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Befestigung der Stützelemente bzw. die Befestigung der Verbindungselemente an der Heizvorrichtung zu verbessern.The invention has for its object to improve the attachment of the support elements or the attachment of the connecting elements to the heater.

Gelöst wird die Aufgabe zunächst durch die in den Ansprüchen angegebene Erfindung.The object is achieved first by the invention specified in the claims.

Zunächst und im Wesentlichen wird vorgeschlagen, dass die Stützelemente einen Fuß aufweisen, der formschlüssig gesichert in einer Befestigungsöffnung der Stützplatte steckt. Das Stützelement besitzt einen Schaft, der sich quer zur Erstreckungsebene der Stützplatte erstreckt. Am Ende des Schaftes sitzt ein Kopf, an dem das Heizelement befestigt ist. Es sind Formschlussbefestigungsmittel vorgesehen, mit denen der Fuß an der Stützplatte befestigt ist. Die Formschlussbefestigungsmittel fesseln das Stützelement in Erstreckungsrichtung des Schaftes an die Stützplatte. Die Stützelemente haben dadurch ein minimales, bevorzugt auf Null reduziertes Bewegungsspiel in Erstreckungsrichtung des Schaftes. Es sind dabei Formschlussbefestigungsmittel vorgesehen, die die Stützplatte übergreifen und Formschlussbefestigungsmittel, die die Stützplatte untergreifen. Diese können von quer zur Erstreckungsrichtung des Schaftes vom Stützelement abragenden Haltevorsprüngen bzw. Befestigungsvorsprüngen gebildet sein. Mindestens ein Haltevorsprung ist bevorzugt so ausgebildet, dass er durch die Befestigungsöffnung der Stützplatte hindurch steckbar ist. Durch eine Dreh- und/oder Biegebetätigung kann der mindestens eine Befestigungsvorsprung in eine gefesselte Lage gebracht werden. Dies kann beispielsweise dadurch erfolgen, dass das Stützelement nach dem Einstecken in die Befestigungsöffnung um 90° gedreht wird. Es ist aber auch möglich, lediglich den mindestens einen Haltevorsprung zu verbiegen, so dass ein Abschnitt des Haltevorsprungs sich an der Unterseite der Stützplatte abstützen kann. Der Befestigungsvorsprung liegt auf der Oberseite der Stützplatte auf. Es sind bevorzugt jeweils zwei Haltevorsprünge und jeweils zwei Befestigungsvorsprünge vorgesehen. Die beiden Vorsprungspaare können von seitlich vom Schaft abragenden Stegen ausgebildet sein. Zwischen den Haltevorsprüngen und den Befestigungsvorsprüngen erstreckt sich ein Hals, der im befestigten Zustand des Stützelementes in der Befestigungsöffnung liegt. Der Befestigungsvorsprung und/oder Haltevorsprung kann sich auch an einem Einsatzstück abstützen. Das Einsatzstück kann ein Isolierkörper sein. In diesem Fall kann die Stützplatte aus einem metallischen Werkstoff gefertigt sein. Sie kann insbesondere aus Wolfram oder Molybdän bestehen. Es ist aber auch vorgesehen, dass die Stützplatte aus einem keramischen Material besteht. Die Stützplatte ist insbesondere isolierend. Zumindest der Fuß des Stützelementes kann als Flachstück ausgebildet sein. Die Befestigungsöffnung kann ein Langloch sein. Dieses Langloch kann einen schmalen Öffnungsabschnitt aufweisen, dessen Breite der Materialstärke des Stützelementes bzw. des Fußes entspricht. Das Stützelement kann von einem metallischen Flachstück beispielsweise aus Wolfram oder Molybdän gefertigt sein. Es kann sich um ein Stanzteil handeln. Die Befestigungsöffnung kann darüber hinaus einen breiten Öffnungsabschnitt aufweisen, dessen Breite der Breite des Halses entspricht, so dass der Hals innerhalb des breiten Befestigungsöffnungsabschnittes um 90° gedreht werden kann, so dass die seitlichen abragenden Haltevorsprünge in eine Untergriffslage unter die Unterseite der Stützplatte gebracht werden können. Der Kopf des Stützelementes kann mindestens eine bogenförmig verlaufende Anlagefläche aufweisen. Die Anlagefläche kann von seitlichen Armen flankiert sein. Die Anlagefläche kann von einer bogenförmigen Mulde ausgebildet sein. Es ist aber auch vorgesehen, dass die Anlagefläche vom Rand einer ringsum geschlossenen Öffnung ausgebildet ist. Die Öffnung kann einen kreisrunden Querschnitt aufweisen. Die Anlagefläche kann bevorzugt geriffelt sein. An der Anlagefläche liegt das Heizelement in berührender Anlage an. Bei dem Heizelement kann es sich um einen gewendelten Draht handeln. Bevorzugt verlaufen zwei Drähte nebeneinander, die eine Zwillingswendel ausbilden. Mit einem Befestigungsdraht kann der das Heizelement ausbildende Draht am Stützelement befestigt sein. Zur Befestigung des Befestigungsdrahtes besitzt das Stützelement und insbesondere der Kopf des Stützelementes zumindest eine Nische. Es können aber auch mehrere Nischen vorgesehen sein, in die im befestigten Zustand der Befestigungsdraht einliegt.First and foremost, it is proposed that the support elements have a foot which is positively secured in a mounting opening of the support plate inserted. The support member has a shank which extends transversely to the plane of extension of the support plate. At the end of the shaft sits a head to which the heating element is attached. There are provided positive locking means, with which the foot is attached to the support plate. The form-fitting fastening means tie the support element in the extension direction of the shaft to the support plate. The Support elements thereby have a minimal, preferably reduced to zero movement play in the extension direction of the shaft. There are provided positive locking means which engage over the support plate and positive locking means which engage under the support plate. These can be formed by retaining projections or fastening projections projecting from the support element transversely to the extension direction of the shaft. At least one retaining projection is preferably formed such that it can be inserted through the fastening opening of the support plate. By a turning and / or bending operation, the at least one fastening projection can be brought into a tethered position. This can be done, for example, that the support element is rotated by 90 ° after insertion into the mounting opening. But it is also possible to bend only the at least one retaining projection, so that a portion of the retaining projection can be supported on the underside of the support plate. The fastening projection rests on the upper side of the support plate. There are preferably two holding projections and two fastening projections each provided. The two projection pairs may be formed by webs protruding laterally from the shaft. Between the retaining projections and the fastening projections, there extends a neck which lies in the fastening opening in the fastened state of the supporting element. The fastening projection and / or retaining projection can also be supported on an insert. The insert may be an insulating body. In this case, the support plate may be made of a metallic material. It may consist in particular of tungsten or molybdenum. But it is also envisaged that the support plate consists of a ceramic material. The support plate is in particular insulating. At least the foot of the support element may be formed as a flat piece. The attachment opening may be a slot. This slot may have a narrow opening portion whose width corresponds to the thickness of the support element or the foot. The support member may be made of a metallic sheet such as tungsten or molybdenum. It can be a stamped part. The attachment opening may also have a wide opening portion, the width of which corresponds to the width of the neck, so that the neck can be rotated through 90 ° within the wide attachment opening portion so that the side projecting retention projections can be brought into a recessed position below the bottom of the support panel , The head of the support element may have at least one arcuate bearing surface. The contact surface can be flanked by lateral arms. The contact surface may be formed by an arcuate trough. But it is also envisaged that the contact surface is formed by the edge of a closed around opening. The opening may have a circular cross-section. The contact surface may preferably be corrugated. At the contact surface, the heating element is in touching contact. The heating element may be a coiled wire. Preferably, two wires run side by side, forming a twin helix. With a fastening wire of the heating element forming wire may be attached to the support element. For fastening the fastening wire, the support element and in particular the head of the support element has at least one niche. But it can also be provided several niches, rests in the fastened state of the fastening wire.

Die Erfindung betrifft darüber hinaus eine Weiterbildung eines Verbindungselementes, mit dem eine oder mehrere Kontaktplatten mit einer Stützplatte verbunden sind. Die Kontaktplatte wird mit dem Verbindungselement lagefixiert. Mit dem Verbindungselement können auch zwei in Parallelebenen liegende Kontaktplatten miteinander verbunden sein. Das Verbindungselement kann somit auch in der Lage sein, insgesamt drei in Parallelebenen liegende Platten, nämlich die Stützplatte und zwei Kontaktplatten miteinander zu verbinden.The invention further relates to a development of a connecting element, with which one or more contact plates are connected to a support plate. The contact plate is fixed in position with the connecting element. With the connecting element and two lying in parallel planes contact plates can be interconnected. The connecting element may thus also be able to connect a total of three plates lying in parallel planes, namely the support plate and two contact plates with each other.

Auch hier sind Formschlussbefestigungsmittel vorgesehen, die Abschnitte des Verbindungselementes jeweils in einer Öffnung des Stützelementes oder in einer Öffnung der Kontaktplatte halten. Die Formschlussbefestigungsmittel können auch an einem in der Öffnung einsteckendem Isolierkörper angreifen. Dies ist insbesondere dann von Vorteil, wenn die Stützplatte aus Metall besteht oder wenn zwei Kontaktplatten miteinander verbunden werden sollen. Die Formschlussbefestigungsmittel sind so ausgebildet, dass sie die Stützplatte bzw. die mindestens eine Kontaktplatte in Erstreckungsrichtung der Verbindungselemente, also quer zur Erstreckungsebene der Kontaktplatte bzw. Stützplatte an das Verbindungselement fesseln. Das Verbindungselement ist erfindungsgemäß mit einem minimalen Bewegungsspiel an die Kontaktplatte bzw. Stützplatte gefesselt. Zur Verbindung zweier Kontaktplatten miteinander ist ein Distanzkörper vorgesehen. Es kann sich dabei um einen hülsenförmigen Körper handeln, der von dem Verbindungselement durchgriffen ist. Die Formschlussbefestigungsmittel können Stützvorsprünge sein, die sich an der Stützplatte oder der Kontaktplatte oder an in den Öffnungen steckenden Isolierkörpern angreifen. Es ist aber auch vorgesehen, dass ein Formschlussbefestigungsmittel von einer Queröffnung des Verbindungselementes ausgebildet ist, in der ein Stift eines Befestigungselementes steckt. Bei dem Befestigungselement kann es sich um einen scheibenförmigen Körper handeln, der mit einer Zunge einen Befestigungsstift ausbildet, der in einer Öffnung des Verbindungselementes steckt. Insbesondere besitzen die beiden Enden des Verbindungselementes jeweils Queröffnungen, in der die Stifte eingesteckt sind. Die Montage des Verbindungselementes erfolgt durch Einstecken bzw. Durchstecken durch Öffnungen hindurch. Die Öffnungen haben eine ausreichende Öffnungsweite, so dass die Stützvorsprünge dort hindurch gesteckt werden können. Um dennoch eine Abstützung der Stützelemente zu ermöglichen, können sich die Stützelemente auf Unterlegscheiben abstützen. Die Unterlegscheiben können einen Schlitz aufweisen, so dass sie nachträglich unter die Stützvorsprünge bringbar sind. Die Einsatzteile, insbesondere die Isolierkörper können zweigeteilt sein, so dass sie ebenfalls nach dem Durchstecken der Verbindungselemente durch die Öffnungen montiert werden können. Der insbesondere zweigeteilte Isolierkörper besitzt einen durchmessergeringeren Abschnitt, der in die Öffnung einer Kontaktplatte eingreifen kann. Ein durchmessergrößerer Abschnitt des Einsatzteiles stützt sich auf der Oberfläche der Kontaktplatte ab.Again, positive locking means are provided which hold portions of the connecting element respectively in an opening of the support member or in an opening of the contact plate. The form-fitting fastening means can also act on an insulating body which can be inserted into the opening. This is particularly advantageous if the support plate is made of metal or if two contact plates are to be connected to each other. The form-fitting fastening means are designed so that they tie the support plate or the at least one contact plate in the extension direction of the connecting elements, ie transversely to the extension plane of the contact plate or support plate to the connecting element. The connecting element is tied according to the invention with a minimal movement play on the contact plate or support plate. To connect two contact plates with each other, a spacer body is provided. It may be a sleeve-shaped body, which is penetrated by the connecting element. The form-fitting fastening means may be supporting projections which engage the supporting plate or the contact plate or insulating bodies inserted in the openings. However, it is also provided that a form-fitting fastening means is formed by a transverse opening of the connecting element in which a pin of a fastening element is inserted. The fastening element can be a disk-shaped body which forms a fastening pin with a tongue which is inserted in an opening of the connecting element. In particular, the two ends of the Connecting element each transverse openings in which the pins are inserted. The assembly of the connecting element takes place by inserting or passing through openings. The openings have a sufficient opening width, so that the support projections can be inserted therethrough. In order to still allow a support of the support elements, the support elements can be supported on washers. The washers may have a slot, so that they can be brought later under the support projections. The insert parts, in particular the insulating body may be divided into two, so that they can also be mounted after the passage of the connecting elements through the openings. The particular two-part insulating body has a smaller diameter portion which can engage in the opening of a contact plate. A larger diameter portion of the insert part is supported on the surface of the contact plate.

Die zuvor beschriebenen Stützelemente können nicht nur aus einem leitenden Werkstoff gefertigt sein. Es ist auch vorgesehen, die Stützelemente oder die Verbindungselemente aus einem keramischen Werkstoff zu fertigen oder sie mit einer isolierenden Schicht, bspw. mit einer Schichtdicke von 30 bis 40 μm zu beschichten. Es können sowohl isolierende Stützelemente/Verbindungselemente beschichtet werden, als auch elektrisch leitende Stützelemente/Verbindungselemente. Die Verwendung von isolierenden Stützelementen oder Verbindungselementen hat den Vorteil, dass die Stützplatte aus einem elektrisch leitenden Werkstoff, bspw. Molybdän, gefertigt werden kann und dass zur Verbindung der Kontaktplatten keine Isolationskörper erforderlich sind.The support elements described above can be made not only of a conductive material. It is also provided to manufacture the support elements or the connecting elements of a ceramic material or to coat them with an insulating layer, for example. With a layer thickness of 30 to 40 microns. Both insulating support elements / connecting elements can be coated, as well as electrically conductive support elements / connecting elements. The use of insulating support elements or connecting elements has the advantage that the support plate can be manufactured from an electrically conductive material, for example molybdenum, and that no insulation bodies are required for connecting the contact plates.

Ferner wird vorgeschlagen, dass die Stützplatte aus Metall gefertigt ist und mit einer Beschichtung von 30 bis 40 μm versehen ist. Bei den zuvor genannten Beschichtungen der Stützplatte, der Stützelemente oder der Verbindungselemente kann es sich um Siliziumcarbid handeln. Metallische Stützelemente bzw. Verbindungselemente werden bevorzugt mit einer Siliziumcarbidschicht beschichtet, da diese Schutzschicht eine Reaktion zwischen einer Stützplatte aus einem Keramikmaterial, bspw. Bohrnitrit und dem metallischen Stützelement oder Verbindungselement, welches aus Molybdän bestehen kann, verhindert.It is also proposed that the support plate is made of metal and provided with a coating of 30 to 40 microns. The aforementioned coatings of the support plate, the support elements or the connecting elements may be silicon carbide. Metallic support elements or connecting elements are preferably coated with a silicon carbide layer, since this protective layer prevents a reaction between a support plate made of a ceramic material, for example. Bohrnitrit and the metallic support element or connecting element, which may consist of molybdenum.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand beigefügter Zeichnungen erläutert. Es zeigen:Embodiments of the invention are explained below with reference to accompanying drawings. Show it:

1 schematisch den Aufbau eines CVD-Reaktors, 1 schematically the structure of a CVD reactor,

2 eine Seitenansicht auf einen Mehrzonenheizer, 2 a side view on a multi-zone heater,

3 die Draufsicht auf den Mehrzonenheizer, 3 the top view of the multi-zone heater,

4 den Schnitt gemäß der Linie IV-IV durch ein erstes Ausführungsbeispiel eines Stützelementes, 4 the section along the line IV-IV through a first embodiment of a support element,

5 das erste Stützelement in einer perspektivischen Darstellung in einer ersten Phase des Einsetzens in eine Einstecköffnung, 5 the first support element in a perspective view in a first phase of insertion into an insertion opening,

6 eine Darstellung gemäß 5 in einer zweiten Phase der Befestigung des Einsteckelementes in der Einstecköffnung, 6 a representation according to 5 in a second phase of the attachment of the male member in the insertion,

7 eine Darstellung gemäß 5 nach der Formschlussfesselung des Stützelementes 10 an der Stützplatte 29, 7 a representation according to 5 after the positive locking of the support element 10 on the support plate 29 .

8 die Befestigung eines Heizelementes 9 an einem Stützelement 10 mittels eines Befestigungsdrahtes 14, 8th the attachment of a heating element 9 on a support element 10 by means of a fastening wire 14 .

9 ein zweites Ausführungsbeispiel eines Stützelementes 10, 9 a second embodiment of a support element 10 .

10 ein drittes Ausführungsbeispiel eines Stützelementes 10, 10 a third embodiment of a support element 10 .

11 ein viertes Ausführungsbeispiel eines Stützelementes 10, 11 A fourth embodiment of a support element 10 .

12 ein fünftes Ausführungsbeispiel eines Stützelementes 10, 12 a fifth embodiment of a support element 10 .

13 die Befestigung eines Stützelementes in einer Darstellung gemäß 5, jedoch mit einer Variante einer Einstecköffnung 38, 13 the attachment of a support element in a representation according to 5 but with a variant of an insertion opening 38 .

14 ein sechstes Ausführungsbeispiel eines Stützelementes 10, 14 a sixth embodiment of a support element 10 .

15 ein siebtes Ausführungsbeispiel eines Stützelementes in einer Darstellung gemäß der Schnittlinie XV-XV in 3, 15 a seventh embodiment of a support member in a representation along the section line XV-XV in 3 .

16 das in der 15 dargestellte Stützelement 20 in einer perspektivischen Darstellung, 16 that in the 15 illustrated support element 20 in a perspective view,

17 den Schnitt gemäß der Linie XVII-XVII in 3, 17 the section according to the line XVII-XVII in 3 .

18 eine perspektivische Darstellung des in 17 als Schnitt dargestellten Bereichs, 18 a perspective view of the in 17 section shown as section,

19 eine Darstellung gemäß 18, jedoch mit vervollständigtem Distanzkörper 37, Isolierkörper 35 und Befestigungselement 36, 19 a representation according to 18 , but with completed spacer 37 , Insulating body 35 and fastener 36 .

20 den Schnitt gemäß der Linie XX-XX in 17, und 20 the section according to the line XX-XX in 17 , and

21 ein zweites Ausführungsbeispiel eines Verbindungselementes 30. 21 A second embodiment of a connecting element 30 ,

Die 1 zeigt schematisch den groben Aufbau eines CVD-Reaktors. Er besitzt ein nach außen gasdichtes Gehäuse, bspw. aus Edelstahl, in das nicht dargestellte Gaszuleitungen münden. Die Gaszuleitungen münden in einen Hohlraum eines Gaseinlassorgans 3, welches eine Gasaustrittsfläche aufweist, die die Decke einer Prozesskammer 2 ausbildet. Durch die Gasaustrittsöffnung in der Gasauslassplatte strömen die Prozessgase in die Prozesskammer 2. Der Boden der Prozesskammer 2 wird von einem Suszeptor 4 gebildet, auf dem die zu beschichtenden Substrate, bspw. Siliziumsubstrate, aber auch Substrate aus Elementen der III. und IV. Hauptgruppe aufliegen. Der aus Graphit gefertigte Suszeptor 4 wird von unten mittels einer Heizvorrichtung 5 beheizt.The 1 schematically shows the rough structure of a CVD reactor. He has a gas-tight housing to the outside, eg. Of stainless steel, open into the gas supply lines, not shown. The gas supply lines open into a cavity of a gas inlet member 3 , which has a gas outlet surface, the ceiling of a process chamber 2 formed. The process gases flow through the gas outlet opening in the gas outlet plate into the process chamber 2 , The bottom of the process chamber 2 is from a susceptor 4 formed on which the substrates to be coated, for example. Silicon substrates, but also substrates of elements of III. and IV. Main group lie. The graphite-made susceptor 4 is from below by means of a heater 5 heated.

Eine Seitenansicht auf eine erfindungsgemäße Heizvorrichtung zeigt die 2. Die 3 zeigt eine Draufsicht. Die Heizvorrichtung 5 wird von drei voneinander getrennten Heizungen 6, 7, 8 ausgebildet. Eine zentrale Heizung 6 liegt in der Mitte und bildet eine erste Heizzone. Die erste Heizzone wird von einem die zentrale Heizung 6 umgebende ringförmige Heizung 7 umgeben, die eine zweite Heizzone ausbildet. Eine dritte Heizzone wird von einem peripheren Ring ausgebildet, der die äußere Heizung 8 ausbildet. Jede der drei Heizungen 6, 7, 8 besitzt auf einer Spiralbogenlinie angeordnete Heizelemente 9, 19. Es liegen mehrere Heizelemente auf einer Spiralbogenlinie hintereinander. Die Heizelemente einer Heizung 6, 7, 8 sind elektrisch parallel geschaltet. Jedes Heizelement 9, 19 ist mittels Anschlusskontakten mit Kontaktplatten 39, 40 verbunden. In den beiden inneren Heizungen 6, 7 liegen die beiden Kontaktplatten 39, 40 in einer gemeinsamen Ebene. In der äußeren Heizung 8 liegen die Kontaktplatten 39, 40 auf zwei verschiedenen Niveaus, also in zwei voneinander beabstandeten Ebenen. Eine Bestromung der Kontaktplatten 39, 40, bzw. der Heizelemente 9, 19 erfolgt mit nach unten abragenden Kontaktstiften 45.A side view of a heating device according to the invention shows the 2 , The 3 shows a plan view. The heater 5 is made up of three separate heaters 6 . 7 . 8th educated. A central heating 6 lies in the middle and forms a first heating zone. The first heating zone is from a central heating 6 surrounding annular heating 7 surrounded, which forms a second heating zone. A third heating zone is formed by a peripheral ring, which is the outer heater 8th formed. Each of the three heaters 6 . 7 . 8th has arranged on a spiral arc line heating elements 9 . 19 , There are several heating elements on a spiral arc line behind each other. The heating elements of a heater 6 . 7 . 8th are electrically connected in parallel. Every heating element 9 . 19 is by means of connection contacts with contact plates 39 . 40 connected. In the two internal heaters 6 . 7 are the two contact plates 39 . 40 in a common plane. In the outer heating 8th lie the contact plates 39 . 40 at two different levels, that is, at two spaced levels. An energization of the contact plates 39 . 40 , or the heating elements 9 . 19 done with downwardly projecting pins 45 ,

Die Heizelemente 9, 19 sind der Übersicht halber in den 2 bis 7 als vollzylindrische Körper dargestellt, die auf einer Spiralbogenlinie verlaufen. Eine detaillierte Darstellung eines Heizelementes zeigt die 8. Jedes der Heizelemente 9, 19 wird von einem gewendelten Heizdraht ausgebildet. Ein derartiges Filament besteht aus Wolfram. Das in der 8 dargestellte Heizelement 9 besteht aus einem einzelnen, gewendelten Wolframdraht. Es können aber auch zwei oder mehr Drähte zu einer Wendel geformt sein. Die Drähte laufen dann nebeneinander.The heating elements 9 . 19 are for the sake of clarity in the 2 to 7 represented as fully cylindrical bodies which run on a spiral arc line. A detailed illustration of a heating element shows the 8th , Each of the heating elements 9 . 19 is formed by a coiled heating wire. Such a filament consists of tungsten. That in the 8th illustrated heating element 9 consists of a single, coiled tungsten wire. But it can also be formed into a helix two or more wires. The wires then run side by side.

Die 4 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel eines Stützelementes 10, mit dem ein Heizelement 9, also insbesondere eine Heizwendel in einem definierten Abstand zu einer Stützplatte 29 gehalten wird. Die Stützplatte 29 besteht aus einem nicht leitenden Werkstoff, bspw. einer Keramik, und erstreckt sich über die gesamte Fläche, die von der Heizung 6, 7, 8 eingenommen wird. Die Stützplatte der zentralen Heizung 6 besitzt eine Kreisscheibenform. Die Stützplatte der beiden äußeren Heizungen 7, 8, besitzt eine Kreisringform. Die Stützplatte 29 kann auch aus mehreren einzelnen Platten zusammengesetzt sein.The 4 shows a first embodiment of a support element 10 with which a heating element 9 , ie in particular a heating coil at a defined distance from a support plate 29 is held. The support plate 29 consists of a non-conductive material, for example. A ceramic, and extends over the entire area, that of the heater 6 . 7 . 8th is taken. The support plate of the central heating 6 has a circular disk shape. The support plate of the two outer heaters 7 . 8th , has a circular ring shape. The support plate 29 can also be composed of several individual plates.

Das Stützelement 10 besitzt einen Kopf, der von zwei Armen 11, 12 gebildet ist, zwischen denen sich eine bogenförmige Anlagefläche 13 erstreckt. Das Stützelement 10 ist aus einem flachen Metallstück, bspw. einem Wolfram- oder Molybdänstück gefertigt. Die Anlagefläche 13 besitzt eine Riffelung, die durch in die bogenförmige Anlagefläche eingearbeitete Kerben gefertigt ist. Der Bogenverlauf der Anlagefläche 13 entspricht dem Krümmungsverlauf der Wendel des Heizelementes 9.The support element 10 owns a head of two arms 11 . 12 is formed between which an arcuate contact surface 13 extends. The support element 10 is made of a flat metal piece, for example. A tungsten or molybdenum piece. The contact surface 13 has a corrugation, which is made by incorporated in the arcuate contact surface notches. The curve of the contact surface 13 corresponds to the curvature of the helix of the heating element 9 ,

Im Bereich des Kopfes sind hakenförmige Nischen 18, 18' vorgesehen. Diese Nischen sind dafür vorgesehen, um das Heizelement 9 mittels eines Befestigungsdrahtes am Kopf des Stützelementes 10 zu befestigen.In the area of the head are hook-shaped niches 18 . 18 ' intended. These niches are meant to be the heating element 9 by means of a fastening wire at the head of the support element 10 to fix.

Das Stützelement 10 besitzt einen Schaft 14, der an einem Ende in den Kopf ausläuft und der an seinem anderen Ende in einen Fuß ausläuft. Der Fuß des Stützelementes 10 ist formschlüssig mit der Stützplatte 29 befestigt. Hierzu sind Formschlussbefestigungsmittel vorgesehen. Die Formschlussbefestigungsmittel beinhalten zwei voneinander wegweisende Stützvorsprünge 15. Die Stützvorsprünge 15 ragen quer zur Erstreckungsrichtung des Schaftes 14 vom Stützelement 10 ab, um sich auf der Oberseite der Stützplatte 29 abzustützen. Das dem Kopfe gegenüberliegende Ende des Stützelementes 10 wird von zwei voneinander wegweisenden Haltevorsprüngen 16 ausgebildet. Die Haltevorsprünge 16 sind ebenfalls quer zur Erstreckungsrichtung des Schaftes 14 vom Stützelement 10 abragende Stege. Zwischen den beiden Haltevorsprüngen 16 und dem Stützvorsprung 15 erstreckt sich ein Hals 17, dessen Länge der Materialstärke der Stützplatte 29 entspricht, so dass im montierten Zustand die Stützplatte 29 von Haltevorsprüngen 16 untergriffen und von den Stützvorsprüngen 15 übergriffen wird.The support element 10 has a shaft 14 which runs out of the head at one end and runs out into a foot at the other end. The foot of the support element 10 is form-fitting with the support plate 29 attached. For this purpose, form-fitting fastening means are provided. The positive lock fastening means comprise two mutually pioneering support projections 15 , The supporting projections 15 protrude transversely to the extension direction of the shaft 14 from the support element 10 starting to get on top of the support plate 29 support. The head opposite the head of the support element 10 is made of two mutually pioneering retaining projections 16 educated. The retaining projections 16 are also transverse to the direction of extension of the shaft 14 from the support element 10 protruding footbridges. Between the two retaining projections 16 and the supporting projection 15 a neck extends 17 whose length of the material thickness of the support plate 29 corresponds, so that in the assembled state, the support plate 29 of retaining projections 16 under attack and from the supporting projections 15 is overruled.

Aus der 4 ist zusätzlich erkennbar, dass die Stützplatte 29 in einer Parallelebene zu einer Abdeckplatte 47 und einer darunter liegenden Kontaktplatte 40 verläuft.From the 4 is additionally recognizable that the support plate 29 in a parallel plane to a cover plate 47 and an underlying contact plate 40 runs.

Die 5 bis 7 zeigen eine erste Variante einer Einstecköffnung 38, wie sie in der Stützplatte 29 vorgesehen ist, um ein Stützelement 10 zu fesseln. In der Stützplatte 29 sind eine Vielzahl derartiger Einstecköffnungen 38 vorgesehen, die jeweils mit einem Stützelement 10 bestückt sind, so dass ein Heizelement 9, 10 an einer Vielzahl von Umfangspositionen an die Stützplatte 29 gefesselt werden kann.The 5 to 7 show a first variant of an insertion 38 as they are in the support plate 29 is provided to a support element 10 to tie up. In the support plate 29 are a variety of such insertion 38 provided, each with a support element 10 are fitted, leaving a heating element 9 . 10 at a plurality of circumferential positions on the support plate 29 can be tied up.

Die Einstecköffnung 38 besitzt einen schmalen Abschnitt 38' und einen breiten Abschnitt 38''. Der schmale Abschnitt 38' besitzt eine Schlitzweite, die in etwa der Materialstärke des Fußes des Stützelementes 10 entspricht. Die Länge der Einstecköffnung 38 ist so ausreichend bemessen, dass der Fuß des Stützelementes 10 mit seinen Haltevorsprüngen 16 durch die Einstecköffnung 38 hindurch gesteckt werden kann. Dies verdeutlicht die 5. Ist der Haltevorsprung 16 durch die Einstecköffnung 38 hindurch gesteckt, so kann das Stützelement 10 seitlich in die in 6 dargestellte Stellung verschoben werden, in der der Hals 17 im breiten, einen runden Grundriss aufweisenden Abschnitt 38'' der Einstecköffnung 38 liegt. Der Durchmesser des breiten, gerundeten Abschnittes 38'' entspricht der Breite des Halses 17, so dass der Hals 17 in dem Öffnungsabschnitt 38'' gedreht werden kann, bis die in der 7 dargestellte Stellung erreicht ist, in der sich die Stützvorsprünge 15, bzw. Haltevorsprünge 16 quer zur Erstreckungsrichtung des schmalen Abschnittes der Einstecköffnung 38 erstrecken. Die Einstecköffnung 38 hat jetzt die Funktion einer Befestigungsöffnung 38, da sie das Stützelement 10 ortsfest und quer zur Erstreckungsrichtung des Schaftes 14 an die Stützplatte 29 fesselt. Die Drehstellung des Stützelementes 10 wird durch das von ihm getragene Heizelement 9 fixiert.The insertion opening 38 has a narrow section 38 ' and a wide section 38 '' , The narrow section 38 ' has a slot width which is approximately the material thickness of the foot of the support element 10 equivalent. The length of the insertion opening 38 is sufficiently dimensioned that the foot of the support element 10 with its retaining projections 16 through the insertion opening 38 can be inserted through it. This clarifies the 5 , Is the retaining projection 16 through the insertion opening 38 inserted through, so can the support element 10 laterally in the in 6 shown position, in which the neck 17 in the broad, round ground plan section 38 '' the insertion opening 38 lies. The diameter of the wide, rounded section 38 '' corresponds to the width of the neck 17 so the neck 17 in the opening section 38 '' can be turned until the in the 7 shown position is reached, in which the support projections 15 , or retaining projections 16 transverse to the direction of extension of the narrow portion of the insertion 38 extend. The insertion opening 38 now has the function of a mounting hole 38 as it is the support element 10 stationary and transverse to the extension direction of the shaft 14 to the support plate 29 captivates. The rotational position of the support element 10 is due to the heating element carried by him 9 fixed.

Die 8 zeigt ein Fesselungsmittel in Form eines Drahtes 44, mit dem die Heizwendel 9 an den Kopf des Stützelementes 10 gefesselt ist. Das Stützelement 10 besitzt zwei unterschiedlich lange Arme 11, 12. Der kurze Arm 12 ist zudem etwas schmaler gestaltet, als der lange Arm 11. Durch diese verminderte Quererstreckung lässt sich der Radialabstand zweier nebeneinander verlaufender Heizelemente 9 minimieren.The 8th shows a captive in the form of a wire 44 with which the heating coil 9 to the head of the support element 10 is tied up. The support element 10 has two arms of different lengths 11 . 12 , The short arm 12 is also a bit narrower than the long arm 11 , By this reduced transverse extent, the radial distance between two adjacent heating elements can be 9 minimize.

Bei dem in der 9 dargestellten Ausführungsbeispiel wird die Anlagefläche 13 von einer ringförmigen Öffnungsrandfläche einer ringsum geschlossenen Öffnung im Kopf des Stützelementes 10 ausgebildet. Die 9 zeigt darüber hinaus, dass durch eine Verbiegung der Stützvorsprünge 15 bzw. der Haltevorsprünge 16 aus der Erstreckungsebene des Stützelementes 10 heraus eine zusätzliche Formschlussfesselung möglich ist.In the in the 9 illustrated embodiment, the contact surface 13 from an annular opening edge surface of a circumferentially closed opening in the head of the support element 10 educated. The 9 moreover shows that by a bending of the supporting projections 15 or the retaining projections 16 from the extension plane of the support element 10 out an additional Formschlussfesselung is possible.

Die 10 zeigt ein drittes Ausführungsbeispiel eines Stützelementes 10, bei dem die beiden Arme 11 gleich lang ausgebildet sind. Die Anlagefläche 13, die auch hier von einzelnen Rippen, die voneinander durch Nuten getrennt sind, gebildet ist, den Boden einer U-förmigen Öffnung ausbildet.The 10 shows a third embodiment of a support element 10 in which the two arms 11 are formed the same length. The contact surface 13 , which is also formed here of individual ribs, which are separated from each other by grooves, forming the bottom of a U-shaped opening.

Die 11 zeigt ein viertes Ausführungsbeispiel eines Stützelementes, und die 12 ein fünftes Ausführungsbeispiel eines Stützelementes. Auch hier sind die Stützelemente von Flachstücken gebildet und unterscheiden sich von den zuvor beschriebenen Stützelementes im Wesentlichen durch die Ausgestaltung des kürzeren Armes 12.The 11 shows a fourth embodiment of a support element, and the 12 a fifth embodiment of a support element. Again, the support elements are formed by flat pieces and differ from the support element described above essentially by the configuration of the shorter arm 12 ,

Die 13 zeigt eine Variante einer Befestigungs- bzw. Einstecköffnung 38. Die Befestigungsöffnung 38 besitzt hier zwei Schmalabschnitte 38', die bezogen auf den breiten Öffnungsabschnitt 38'' einander gegenüberliegen. Auch hier ist eine bajonettartige Verbindung des Stützelementes 10 mit der die Einstecköffnung 38 aufweisenden Stützplatte 29 möglich. Hier ist allerdings keine seitliche Verlagerung des Stützelementes 10 nach dem Einstecken erforderlich.The 13 shows a variant of a mounting or insertion opening 38 , The mounting hole 38 owns here two narrow sections 38 ' related to the wide opening section 38 '' opposite each other. Again, a bayonet-type connection of the support element 10 with the insertion opening 38 having support plate 29 possible. However, here is no lateral displacement of the support element 10 required after insertion.

Die 14 zeigt ein sechstes Ausführungsbeispiel eines Stützelementes, bei dem die Haltevorsprünge 16 von Federarmen ausgebildet sind, die nach Einstecken des Fußes des Stützelementes 10 in eine Stützstellung ausfedern können. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist die Stützplatte 29 aus Metall gefertigt. In der Einstecköffnung 38 liegen Isolierkörper 35 ein. Die Isolierkörper 35 besitzen jeweils einen Kragen, der auf der Oberseite bzw. der Unterseite der Stützplatte 29 anliegen. Auf diesem Kragen stützen sich die Stützvorsprünge 15 bzw. die Haltevorsprünge 16 ab. Das aus Metall bestehende Stützelement 10 ist somit gegenüber der Stützplatte 29 isoliert.The 14 shows a sixth embodiment of a support element, wherein the holding projections 16 are formed by spring arms, after insertion of the foot of the support element 10 can rebound into a support position. In this embodiment, the support plate 29 made of metal. In the insertion opening 38 lie insulating body 35 one. The insulator 35 each have a collar on the top or the bottom of the support plate 29 issue. On this collar, the support projections are based 15 or the retaining projections 16 from. The metal support element 10 is thus opposite the support plate 29 isolated.

Die 15 zeigt ein siebtes Ausführungsbeispiel eines Stützelementes 20 und im Hintergrund ein Verbindungselement 30, mit dem die Stützplatte 29 mit zwei Kontaktplatten 39, 40 verbunden ist. Während die in den 1 bis 14 dargestellten Stützelemente der inneren Heizungen 6, 7 zugeordnet sind, ist das in der 15 dargestellte Stützelement 20 der äußeren Heizung 8 zugeordnet. Die Heizelemente 19 sind auch hier als zylinderförmige Körper dargestellt. Ihre tatsächliche Ausgestaltung entspricht jedoch derjenigen der 8. Es handelt sich um gewendelte Wolframdrähte. Auch hier kann die Wendel aus einem Wolframdraht oder aus mehreren parallel zueinander verlaufenden Drähten bestehen. Ein Stützelement 20 trägt hier insgesamt 5 Heizelemente 19. Die Heizelemente 19 können sich gegenseitig berühren. Die Heizelemente 19 liegen in verschiedenen, voneinander beabstandeten Ebenen, die parallel zur Ebene der Stützplatte 29 verlaufen. Demzufolge bildet der Kopf des Stützelementes 20 mehrere übereinander angeordnete Mulden 23 aus, die jeweils ein Heizelement 19 aufnehmen. Auch hier kann die Befestigung des Heizelementes 19 innerhalb der Mulde 23 über einen Befestigungsdraht erfolgen. Zur Fesselung des Befestigungsdrahtes besitzt das Stützelement 20 Nischen 28.The 15 shows a seventh embodiment of a support element 20 and in the background a connector 30 with which the support plate 29 with two contact plates 39 . 40 connected is. While in the 1 to 14 illustrated supporting elements of the internal heaters 6 . 7 that is in the 15 illustrated support element 20 the outer heating 8th assigned. The heating elements 19 are also shown here as a cylindrical body. Their actual configuration, however, corresponds to that of the 8th , These are coiled tungsten wires. Again, the helix may consist of a tungsten wire or of several parallel wires. A support element 20 carries here a total of 5 heating elements 19 , The heating elements 19 can touch each other. The heating elements 19 lie in different, spaced apart planes parallel to the plane of the support plate 29 run. Consequently, the head of the support element forms 20 several troughs arranged one above the other 23 out, each one a heating element 19 take up. Again, the attachment of the heating element 19 inside the hollow 23 via a fastening wire respectively. To bond the fastening wire has the support element 20 American 28 ,

Die Befestigung des Fußes des Stützelementes 20 erfolgt auch hier in einer Öffnung 38 der Stützplatte 29, die gemäß einem der zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiele ausgebildet sein kann. Von einem Schaft 24 des Stützelementes 20 ragen Stützvorsprünge 25 und Haltevorsprünge 26 ab. Die Stützvorsprünge 25 entsprechen den Stützvorsprüngen 15 der zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiele. Die Haltevorsprünge 26 entsprechen den Haltevorsprüngen 16 der zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiele, so dass auf die diesbezüglichen Ausführungen zur Befestigung des Fußes des Stützelementes 20 in der Einstecköffnung 38 verwiesen wird. Auch hier erfolgt die Befestigung durch eine Steck-Drehbetätigung.The attachment of the foot of the support element 20 takes place here in an opening 38 the support plate 29 , which may be formed according to one of the embodiments described above. From a shaft 24 of the support element 20 protrude support tabs 25 and retaining projections 26 from. The supporting projections 25 correspond to the supporting projections 15 the embodiments described above. The retaining projections 26 correspond to the retaining projections 16 the embodiments described above, so that on the relevant embodiments for fastening the foot of the support element 20 in the insertion opening 38 is referenced. Again, the attachment is done by a plug-in rotary actuator.

Die 17 bis 20 zeigen ein erstes Ausführungsbeispiel eine Verbindungselementes 30, mit dem die Stützplatte 29 mit einer Kontaktplatte 39 bzw. 40 verbunden ist. Es sind eine Vielzahl von Verbindungselementen 30 vorgesehen, die sich an voneinander verschiedenen Orten auf der Grundfläche der Heizung 8 erstrecken. Die äußere Heizung 8 besitzt auf zwei verschiedenen Ebenen angeordnete Kontaktplatten 39, 40. Um die beiden Kontaktplatten 39, 40 in einem konstanten Abstand zu halten, sind hülsenförmige, aus keramischem Material gefertigte Distanzkörper 37 vorgesehen. In den Höhlungen der hülsenförmigen Distanzkörper 37 erstreckt sich jeweils ein Verbindungselement 30. Die Fesselung des Verbindungselementes 30 an die beiden Kontaktplatten 39, 40 erfolgt über Formschlussbefestigungsmittel. Zwei voneinander wegweisende Stützvorsprünge 31 stützen sich auf einem Isolierkörper 35 ab, der auf der dem Distanzkörper 37 gegenüberliegenden Seite bereichsweise in eine Öffnung 42 der Kontaktplatte 39 hineinragt. Der Isolierkörper 35 kann von zwei Hälften ausgebildet sein, die sich zu einem zylinderförmigen Körper ergänzen. Die Stützvorsprünge 31 können sich auf einer Unterlegscheibe 46 abstützen, die entweder seitlich auf das Verbindungselement 30 aufgeschoben ist oder die durch die Öffnung 42 hindurch steckbar ist.The 17 to 20 show a first embodiment of a connecting element 30 with which the support plate 29 with a contact plate 39 respectively. 40 connected is. There are a variety of fasteners 30 provided, which are located at mutually different locations on the base of the heating 8th extend. The external heating 8th has contact plates arranged on two different levels 39 . 40 , To the two contact plates 39 . 40 To keep at a constant distance, are sleeve-shaped, made of ceramic material spacers 37 intended. In the cavities of the sleeve-shaped spacers 37 each extends a connecting element 30 , The bondage of the connecting element 30 to the two contact plates 39 . 40 via form fit fastener. Two mutually pioneering support projections 31 rely on an insulating body 35 starting on the the spacer body 37 in some areas in an opening opposite side 42 the contact plate 39 protrudes. The insulator 35 can be formed by two halves, which complement each other to form a cylindrical body. The supporting projections 31 can get on a washer 46 support, either side of the connecting element 30 is pushed or the through the opening 42 can be plugged through.

Die axiale Länge des hülsenförmigen Distanzkörpers 37 definiert den Abstand der beiden Kontaktplatten 39, 40. Der Stirnrand des Distanzkörpers 37 stützt sich auf der Oberseite der unteren Kontaktplatte 40 ab. Der obere Stirnrand des Distanzkörpers 37 trägt die obere Kontaktplatte 39.The axial length of the sleeve-shaped spacer 37 defines the distance between the two contact plates 39 . 40 , The front edge of the spacer 37 rests on the top of the lower contact plate 40 from. The upper end edge of the spacer 37 carries the upper contact plate 39 ,

Von dem Abschnitt des Verbindungselementes 30, das in der Höhlung des Distanzkörpers 37 einliegt, ragen zwei Flügel 32 ab, die den Distanzkörper in einer koaxialen Lage zur Öffnung 42 zentriert.From the section of the connecting element 30 that is in the cavity of the spacer 37 rests, two wings protrude 32 starting from the spacer body in a coaxial position to the opening 42 centered.

Ein Endabschnitt des Verbindungselementes 30 durchragt eine Öffnung 43 der unteren Kontaktplatte 40. In der Öffnung 43 der Kontaktplatte 40 steckt ein Isolierkörper 35 ein. Er ragt dabei bereichsweise aus der dem Distanzkörper 37 gegenüberliegenden Öffnungsseite heraus. Auf der Stirnseite des Isolierkörpers 35 liegt eine Unterlegscheibe 46, auf der sich ein Befestigungselement 36 abstützt. Das Befestigungselement 36 besitzt eine Zunge, die einen Stift ausbildet, der eine Queröffnung 34 des Verbindungselementes 30 durchragt. Mittels der Stützvorsprünge 31 und des Befestigungselementes 36 ist das Verbindungselement 30 axial an die beiden Kontaktplatten 40 gefesselt.An end portion of the connecting element 30 protrudes through an opening 43 the lower contact plate 40 , In the opening 43 the contact plate 40 puts an insulating body 35 one. It protrudes partially from the spacers 37 out opposite opening side. On the front side of the insulator 35 lies a washer 46 on which a fastener 36 supported. The fastener 36 has a tongue which forms a pin having a transverse opening 34 of the connecting element 30 projects through. By means of the supporting projections 31 and the fastener 36 is the connecting element 30 axially to the two contact plates 40 tied up.

In einem Abstand zur oberen Kontaktplatte 39 erstreckt sich die Stützplatte 29. Sie besitzt eine Öffnung 41, durch die ein Endabschnitt des Verbindungselementes 30 hindurchragt. Im Bereich der Unterseite der Stützplatte 29 befinden sich Stützvorsprünge 31 des Verbindungselementes 30, auf denen sich die Stützplatte 29 unter Zwischenlage einer Unterlegscheibe abstützt.At a distance to the upper contact plate 39 extends the support plate 29 , It has an opening 41 through which an end portion of the connecting element 30 protrudes. In the area of the underside of the support plate 29 are support projections 31 of the connecting element 30 on which the support plate 29 supported with the interposition of a washer.

Das über die Oberseite der Stützplatte 29 hinausragende Ende des Verbindungselementes 30 ist mit einem Befestigungselement 36 an die Stützplatte 29 gefesselt. Das Befestigungselement 36 bildet eine Zunge aus, die durch eine Queröffnung 33 des Verbindungselementes 30 hindurchragt. Zwischen Oberseite der Stützplatte 29 und Befestigungselement 36 befindet sich auch hier eine Unterlegscheibe 46.The over the top of the support plate 29 protruding end of the connecting element 30 is with a fastener 36 to the support plate 29 tied up. The fastener 36 forms a tongue through a transverse opening 33 of the connecting element 30 protrudes. Between top of the support plate 29 and fastener 36 There is also a washer here 46 ,

Eine dauerhafte Fixierung des Befestigungselementes 36 kann dadurch erreicht werden, dass das durch die Öffnung 33 bzw. 34 gesteckte Ende der Zunge verbogen wird.A permanent fixation of the fastener 36 can be achieved by that through the opening 33 respectively. 34 plugged end of the tongue is bent.

Die 21 zeigt den Schnitt durch ein Verbindungselement 30, wie es bei den beiden inneren Heizungen 6, 7 verwendet wird. Da bei diesem Ausführungsbeispiel die beiden Kontaktplatten 39, 40 in einer Ebene verlaufen, ist das Verbindungselement 30 nur dazu vorgesehen, eine Kontaktplatte 40 mit der Stützplatte 29 zu verbinden. Auch hier stützt sich die Unterseite der Stützplatte 29 auf Stützvorsprüngen 31 ab, wobei auch hier eine Unterlegscheibe 46 vorgesehen ist. Die Fixierung des Verbindungselementes 30 mit der Oberseite der Stützplatte 29 erfolgt auch hier über die Zunge eines Befestigungselementes 36, das eine Queröffnung des Verbindungselementes 30 durchragt.The 21 shows the section through a connecting element 30 as with the two internal heaters 6 . 7 is used. As in this embodiment, the two contact plates 39 . 40 Run in a plane, is the connecting element 30 only provided a contact plate 40 with the support plate 29 connect to. Again, the bottom of the support plate is supported 29 on support tabs 31 but here too a washer 46 is provided. The fixation of the connecting element 30 with the top of the support plate 29 also takes place here via the tongue of a fastener 36 that has a transverse opening of the connecting element 30 projects through.

Nach unten weisende Stützvorsprünge stützen sich auf einer Unterlegscheibe 46 ab, die auf einem Isolierkörper 35 liegt, der eine Öffnung einer Abdeckplatte 47 durchgreift. Der durch die Öffnung der Abdeckplatte hindurchragende Isolierkörper 35 hat auch die Funktion eines Distanzelementes, da der Isolierkörper 35 die Abdeckplatte 47 in einer definierten Distanz zur Kontaktplatte 40 hält. Von der Unterseite her ist in die Öffnung der Kontaktplatte 40 ein weiterer Isolierkörper 35 gesteckt, der mittels eines Befestigungselementes 36 gehalten ist. Auch hier durchgreift eine Zunge des Befestigungselementes 36 eine Queröffnung des Verbindungselementes 30.Downwardly facing support projections are supported on a washer 46 starting on an insulating body 35 which is an opening of a cover plate 47 be upheld. The protruding through the opening of the cover insulator 35 also has the function of a spacer element, since the insulating body 35 the cover plate 47 in a defined distance to the contact plate 40 holds. From the bottom is in the opening of the contact plate 40 another insulator 35 inserted, by means of a fastener 36 is held. Again, a tongue of the fastener passes through 36 a transverse opening of the connecting element 30 ,

Die vorstehenden Ausführungen dienen der Erläuterung der von der Anmeldung insgesamt umfassten Erfindungen, die den Stand der Technik durch die folgenden Merkmalskombinationen jeweils eigenständig weiterbilden, nämlich:
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der Fuß 15, 16, 17; 25, 26, 27 mit Formschlussbefestigungsmitteln 15, 16, 17; 25, 26, 27 in einer Befestigungsöffnung 38 der Stützplatte 29 befestigt ist, die das Stützelement 10, 20 in Erstreckungsrichtung des Schaftes 14, 24 an die Stützplatte 29 fesseln;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Formschlussbefestigungsmittel 15, 16, 17; 25, 26, 27 mindestens einen sich quer zur Erstreckungsrichtung des Schaftes 14, 24 erstreckenden Haltevorsprung 16, 26 aufweisen, der bei der Montage des Stützelementes 10, 20 durch die Befestigungsöffnung 38 hindurch steckbar ist und nach einer Drehung des Stützelementes 10, 20 und/oder einer Verformung des Haltevorsprungs 16, 26 die Stützplatte 29 oder ein in die Befestigungsöffnung 38 eingestecktes Einsatzteil 35 untergreift und zumindest einen sich quer zur Erstreckungsrichtung des Schaftes 14, 24 sich erstreckenden Befestigungsvorsprung 15, 25 aufweist;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass das Einsteckteil 25 ein Isolierkörper ist und die Stützplatte 29 aus Metall besteht;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass zumindest der Fuß 15, 16, 17; 25, 26, 27 als Flachstück ausgebildet ist und die Befestigungsöffnung 38 ein Langloch ist, welches einen schmalen Öffnungsabschnitt 38' aufweist, dessen Breite im Wesentlichen der Materialstärke des Haltevorsprungs 16 entspricht und einem breiten Öffnungsabschnitt 38'', der im Wesentlichen der Breite eines sich zwischen Stützvorsprung 15 und Haltevorsprung 16 erstreckenden Halses 17 entspricht;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der Kopf 15, 16, 17; 25, 26, 27 mindestens eine bogenförmig verlaufende Anlagefläche 13, 23 aufweist, an der das insbesondere von einem gewendelten Draht ausgebildete Heizelement 9, 19 anliegt, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass die Anlagefläche 13 von einer Mulde 23 oder einer ringsum geschlossenen Öffnung ausgebildet ist und insbesondere eine geriffelte Oberfläche aufweist, die am Heizelement 9, 19 anliegt;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass das Stützelement 10, 20 mindestens eine Nische 18, 18', 28, 28' aufweist, in der ein Draht 44 einliegt, mit der das Heizelement 9, 19 am Stützelement 10, 20 befestigt ist;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass das Stützelement 10, 20 von einem flachen, insbesondere aus Wolfram oder Molybdän bestehenden Metallteil besteht und insbesondere als Stanzteil ausgebildet ist;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Verbindungselemente 30 jeweils in einer Öffnung 41 der Stützplatte 29 und in einer Öffnung 42, 43 der Kontaktplatte 39, 40 stecken und dort mit Formschlussbefestigungsmitteln 31, 32, 34, 36 befestigt sind;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Formschlussbefestigungsmittel 32, 34, 36 an einen in der Öffnung 42, 43 steckenden Isolierkörper 35 befestigt sind;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die mindestens eine Kontaktplatte 39, 40, die Stützplatte 29 und das mindestens eine Heizelement 9, 10 in drei parallel zueinander verlaufenden Ebenen sich erstrecken und die Stützplatte 29 Stützelemente 10, 20 trägt, mit denen das mindestens eine Heizelement 9, 19 gegenüber der Stützplatte 29 lagefixiert ist;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass das Verbindungselement 30 zwei in Parallelebenen mit Abstand zueinander angeordnete Kontaktplatten 39, 40 miteinander verbindet, wobei das Verbindungselement 30 insbesondere eine aus einem isolierenden Material gefertigten Distanzkörper 37 durchgreift;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass das Verbindungselement 30 ein aus Metall, insbesondere Wolfram oder Molybdän bestehender Flachkörper ist und die Formschlussmittel 31, 32 von Vorsprüngen ausgebildet sind, die sich an der Oberfläche der Stützplatte 29 oder den der Kontaktplatte 39, 40 oder an einem in einer der Öffnungen 41, 42, 43 steckenden Einsatzteil 35 abstützen und/oder dass die Formschlussbefestigungsmittel von einer Queröffnung 33, 34 des Verbindungselementes 30 und einem darin steckenden Stift eines Befestigungselementes 36 ausgebildet sind.The above explanations serve to explain the inventions encompassed by the application as a whole, which independently develop the state of the art by the following combinations of features, namely:
A device characterized in that the foot 15 . 16 . 17 ; 25 . 26 . 27 with positive locking fasteners 15 . 16 . 17 ; 25 . 26 . 27 in a mounting hole 38 the support plate 29 is attached, which is the support element 10 . 20 in the extension direction of the shaft 14 . 24 to the support plate 29 tie up;
A device characterized in that the positive lock fasteners 15 . 16 . 17 ; 25 . 26 . 27 at least one transverse to the direction of extension of the shaft 14 . 24 extending retaining projection 16 . 26 have, in the assembly of the support element 10 . 20 through the mounting hole 38 is pluggable and after rotation of the support element 10 . 20 and / or a deformation of the retaining projection 16 . 26 the support plate 29 or one in the mounting hole 38 inserted insert 35 engages and at least one transverse to the direction of extension of the shaft 14 . 24 extending attachment projection 15 . 25 having;
A device characterized in that the male part 25 an insulating body is and the support plate 29 made of metal;
A device characterized in that at least the foot 15 . 16 . 17 ; 25 . 26 . 27 is designed as a flat piece and the attachment opening 38 a slot is, which has a narrow opening section 38 ' whose width is substantially the material thickness of the retaining projection 16 corresponds and a wide opening section 38 '' , which is essentially the width of one between support projection 15 and retaining projection 16 extending neck 17 corresponds;
A device characterized in that the head 15 . 16 . 17 ; 25 . 26 . 27 at least one arcuate bearing surface 13 . 23 has, at which in particular formed by a coiled wire heating element 9 . 19 is present, in particular provided that the contact surface 13 from a hollow 23 or an all-round closed opening is formed and in particular has a corrugated surface on the heating element 9 . 19 bears;
A device characterized in that the support element 10 . 20 at least one niche 18 . 18 ' . 28 . 28 ' has, in which a wire 44 rests, with the heating element 9 . 19 on the support element 10 . 20 is attached;
A device characterized in that the support element 10 . 20 consists of a flat, in particular consisting of tungsten or molybdenum metal part and is formed in particular as a stamped part;
A device characterized in that the connecting elements 30 each in an opening 41 the support plate 29 and in an opening 42 . 43 the contact plate 39 . 40 stuck and there with positive locking fasteners 31 . 32 . 34 . 36 are attached;
A device characterized in that the positive lock fasteners 32 . 34 . 36 to one in the opening 42 . 43 stuck insulating body 35 are attached;
A device characterized in that the at least one contact plate 39 . 40 , the support plate 29 and the at least one heating element 9 . 10 extend in three mutually parallel planes and the support plate 29 support elements 10 . 20 carries, with which the at least one heating element 9 . 19 opposite the support plate 29 is fixed in position;
A device characterized in that the connecting element 30 two in parallel planes with spaced contact plates 39 . 40 connects to each other, wherein the connecting element 30 in particular a spacer made of an insulating material 37 passes through;
A device characterized in that the connecting element 30 is a metal, in particular tungsten or molybdenum existing flat body and the positive locking means 31 . 32 are formed by projections, which are located on the surface of the support plate 29 or the contact plate 39 . 40 or at one in one of the openings 41 . 42 . 43 plug-in insert 35 support and / or that the positive locking means of a transverse opening 33 . 34 of the connecting element 30 and a pin of a fastener inserted therein 36 are formed.

Alle offenbarten Merkmale sind (für sich, aber auch in Kombination untereinander) erfindungswesentlich. In die Offenbarung der Anmeldung wird hiermit auch der Offenbarungsgehalt der zugehörigen/beigefügten Prioritätsunterlagen (Abschrift der Voranmeldung) vollinhaltlich mit einbezogen, auch zu dem Zweck, Merkmale dieser Unterlagen in Ansprüche vorliegender Anmeldung mit aufzunehmen. Die Unteransprüche charakterisieren mit ihren Merkmalen eigenständige erfinderische Weiterbildungen des Standes der Technik, insbesondere um auf der Basis dieser Ansprüche Teilanmeldungen vorzunehmen.All disclosed features are essential to the invention (individually, but also in combination with one another). The disclosure of the associated / attached priority documents (copy of the prior application) is hereby also incorporated in full in the disclosure of the application, also for the purpose of including features of these documents in claims of the present application. The subclaims characterize with their features independent inventive developments of the prior art, in particular to make on the basis of these claims divisional applications.

Bezugszeichenliste LIST OF REFERENCE NUMBERS

11: CVD-ReaktorCVD reactor
22: Prozesskammerprocess chamber
33: GaseinlassorganGas inlet element
44: Suszeptorsusceptor
55: Heizvorrichtungheater
66: Heizungheater
77: Heizungheater
88th: Heizungheater
99: Heizelementheating element
1010: Stützelementsupport element
1111: Armpoor
1212: Armpoor
1313: Anlageflächecontact surface
1414: Schaftshaft
1515: Stützvorsprungsupporting projection
1616: Haltevorsprungretaining projection
1717: Halsneck
1818: Nischeniche
18'18 ': Nischeniche
1919: Heizelementheating element
2020: Stützelementsupport element
2121: Armpoor
2222: Armpoor
2323: Muldetrough
2424: Schaftshaft
2525: Stützvorsprungsupporting projection
2626: Haltevorsprungretaining projection
2727: Halsneck
2828: Nischeniche
28'28 ': Nischeniche
2929: Stützplattesupport plate
3030: Verbindungselementconnecting element
3131: Stützvorsprungsupporting projection
3232: Flügelwing
3333: Queröffnungtransverse opening
3434: Queröffnungtransverse opening
3535: Isolierkörperinsulator
3636: Befestigungselementfastener
3737: Distanzkörperspacers
3838: Einstecköffnunginsertion
38'38 ': schmalenarrow
38''38 '': breitewidth
3939: Kontaktplattecontact plate
4040: Kontaktplattecontact plate
4141: Öffnungopening
4242: Öffnungopening
4343: Öffnungopening
4444: Drahtwire
4545: Kontaktstiftecontact pins
4646: Unterlegscheibewasher
4747: Abdeckplattecover

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list of the documents listed by the applicant has been generated automatically and is included solely for the better information of the reader. The list is not part of the German patent or utility model application. The DPMA assumes no liability for any errors or omissions.

Zitierte PatentliteraturCited patent literature

US 7645342 B2 [0004] US 7645342 B2 [0004]
DE 2630466 A1 [0005] DE 2630466 A1 [0005]
US 3345498 [0005] US 3345498 [0005]
US 7573004 [0005] US 7573004 [0005]
US 3567906 [0005] US 3567906 [0005]
DE 102009043960 A1 [0006] DE 102009043960 A1 [0006]
DE 102007009145 A1 [0006] DE 102007009145 A1 [0006]
DE 10329107 A1 [0006] DE 10329107 A1 [0006]
DE 102005056536 A1 [0006] DE 102005056536 A1 [0006]
DE 102006018515 A1 [0006] DE 102006018515 A1 [0006]
DE 102007027704 A1 [0006] DE 102007027704 A1 [0006]

Claims

Vorrichtung zum Beheizen insbesondere eines Suszeptors (4) eines CVD-Reaktors (1) mit mindestens einem Heizelement (9, 19), wobei Abschnitte des Heizelementes (9, 19) oder verschiedene Heizelemente (9, 19) nebeneinander verlaufen und mittels Stützelementen (10, 20) gegenüber einer Stützplatte lagefixiert sind, wobei die Stützelemente (10, 20) jeweils einen Fuß (15, 16, 17; 25, 26, 27), der formschlüssig gesichert in einer Befestigungsöffnung der Stützplatte (29) steckt, und einen mit einem sich quer zur Erstreckungsebene der Stützplatte (29) erstreckenden Schaft (14, 24) verbundenen Kopf (11, 12, 13; 21, 22, 23), an dem das Heizelement (9, 19) befestigt ist, aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der Fuß (15, 16, 17; 25, 26, 27) mit Formschlussbefestigungsmitteln (15, 16, 17; 25, 26, 27) in einer Befestigungsöffnung (38) der Stützplatte (29) befestigt ist, die das Stützelement (10, 20) in Erstreckungsrichtung des Schaftes (14, 24) an die Stützplatte (29) fesseln.Device for heating in particular a susceptor ( 4 ) of a CVD reactor ( 1 ) with at least one heating element ( 9 . 19 ), wherein sections of the heating element ( 9 . 19 ) or different heating elements ( 9 . 19 ) run side by side and by means of support elements ( 10 . 20 ) are fixed in position relative to a support plate, wherein the support elements ( 10 . 20 ) one foot each ( 15 . 16 . 17 ; 25 . 26 . 27 ), the form-fitting secured in a mounting opening of the support plate ( 29 ), and one with a transverse to the plane of extension of the support plate ( 29 ) extending shaft ( 14 . 24 ) connected head ( 11 . 12 . 13 ; 21 . 22 . 23 ) to which the heating element ( 9 . 19 ), characterized in that the foot ( 15 . 16 . 17 ; 25 . 26 . 27 ) with form-locking fastening means ( 15 . 16 . 17 ; 25 . 26 . 27 ) in a mounting opening ( 38 ) of the support plate ( 29 ), which supports the supporting element ( 10 . 20 ) in the extension direction of the shaft ( 14 . 24 ) to the support plate ( 29 ) tie up.

Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Formschlussbefestigungsmittel (15, 16, 17; 25, 26, 27) mindestens einen sich quer zur Erstreckungsrichtung des Schaftes (14, 24) erstreckenden Haltevorsprung (16, 26) aufweisen, der bei der Montage des Stützelementes (10, 20) durch die Befestigungsöffnung (38) hindurch steckbar ist und nach einer Drehung des Stützelementes (10, 20) und/oder einer Verformung des Haltevorsprungs (16, 26) die Stützplatte (29) oder ein in die Befestigungsöffnung (38) eingestecktes Einsatzteil (35) untergreift und zumindest einen sich quer zur Erstreckungsrichtung des Schaftes (14, 24) sich erstreckenden Befestigungsvorsprung (15, 25) aufweist.Apparatus according to claim 1, characterized in that the form-locking fastening means ( 15 . 16 . 17 ; 25 . 26 . 27 ) at least one transverse to the direction of extension of the shaft ( 14 . 24 ) extending retaining projection ( 16 . 26 ), which during assembly of the support element ( 10 . 20 ) through the attachment opening ( 38 ) is insertable and after a rotation of the support element ( 10 . 20 ) and / or a deformation of the holding projection ( 16 . 26 ) the support plate ( 29 ) or into the mounting opening ( 38 ) inserted insert part ( 35 ) engages under and at least one transverse to the direction of extension of the shaft ( 14 . 24 ) extending fastening projection ( 15 . 25 ) having.

Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Einsteckteil (35) ein Isolierkörper ist und die Stützplatte (29) aus Metall besteht.Device according to claim 2, characterized in that the insertion part ( 35 ) is an insulating body and the support plate ( 29 ) consists of metal.

Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest der Fuß (15, 16, 17; 25, 26, 27) als Flachstück ausgebildet ist und die Befestigungsöffnung (38) ein Langloch ist, welches einen schmalen Öffnungsabschnitt (38') aufweist, dessen Breite im Wesentlichen der Materialstärke des Haltevorsprungs (16) entspricht und einem breiten Öffnungsabschnitt (38''), der im Wesentlichen der Breite eines sich zwischen Stützvorsprung (15) und Haltevorsprung (16) erstreckenden Halses (17) entspricht.Device according to one of claims 2 or 3, characterized in that at least the foot ( 15 . 16 . 17 ; 25 . 26 . 27 ) is formed as a flat piece and the attachment opening ( 38 ) is a slot which has a narrow opening portion ( 38 ' ) whose width is substantially equal to the material thickness of the holding projection ( 16 ) and a wide opening section ( 38 '' ), which is essentially the width of one between support projection ( 15 ) and retaining projection ( 16 ) extending neck ( 17 ) corresponds.

Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Kopf (15, 16, 17; 25, 26, 27) mindestens eine bogenförmig verlaufende Anlagefläche (13, 23) aufweist, an der das insbesondere von einem gewendelten Draht ausgebildete Heizelement (9, 19) anliegt, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass die Anlagefläche (13) von einer Mulde (23) oder einer ringsum geschlossenen Öffnung ausgebildet ist und insbesondere eine geriffelte Oberfläche aufweist, die am Heizelement (9, 19) anliegt.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the head ( 15 . 16 . 17 ; 25 . 26 . 27 ) at least one arcuate bearing surface ( 13 . 23 ), on which the heating element formed in particular by a coiled wire ( 9 . 19 ) is applied, wherein it is provided in particular that the contact surface ( 13 ) from a hollow ( 23 ) or an all-round closed opening and in particular has a corrugated surface which on the heating element ( 9 . 19 ) is present.

Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Stützelement (10, 20) mindestens eine Nische (18, 18', 28, 28') aufweist, in der ein Draht (44) einliegt, mit der das Heizelement (9, 19) am Stützelement (10, 20) befestigt ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the supporting element ( 10 . 20 ) at least one niche ( 18 . 18 ' . 28 . 28 ' ), in which a wire ( 44 ), with which the heating element ( 9 . 19 ) on the support element ( 10 . 20 ) is attached.

Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Stützelement (10, 20) von einem flachen, insbesondere aus Wolfram oder Molybdän bestehenden Metallteil besteht und insbesondere als Stanzteil ausgebildet ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the supporting element ( 10 . 20 ) consists of a flat, in particular consisting of tungsten or molybdenum metal part and in particular is formed as a stamped part.

Vorrichtung zum Beheizen insbesondere eines Suszeptors (4) eines CVD-Reaktors (1) mit mindestens einem Heizelement (9, 19), welches mit mindestens einer Kontaktplatte (39, 40) verbunden ist, die mittels Verbindungselementen (30) gegenüber einer Stützplatte (29) lagefixiert ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindungselemente (30) jeweils in einer Öffnung (41) der Stützplatte (29) und in einer Öffnung (42, 43) der Kontaktplatte (39, 40) stecken und dort mit Formschlussbefestigungsmitteln (31, 32, 34, 36) befestigt sind.Device for heating in particular a susceptor ( 4 ) of a CVD reactor ( 1 ) with at least one heating element ( 9 . 19 ), which with at least one contact plate ( 39 . 40 ) connected by means of connecting elements ( 30 ) with respect to a support plate ( 29 ) is fixed in position, characterized in that the connecting elements ( 30 ) in each case in an opening ( 41 ) of the support plate ( 29 ) and in an opening ( 42 . 43 ) of the contact plate ( 39 . 40 ) and there with form-fitting fasteners ( 31 . 32 . 34 . 36 ) are attached.

Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Formschlussbefestigungsmittel (32, 34, 36) an einen in der Öffnung (42, 43) steckenden Isolierkörper (35) befestigt sind.Apparatus according to claim 8, characterized in that the form-locking fastening means ( 32 . 34 . 36 ) to one in the opening ( 42 . 43 ) insulating body ( 35 ) are attached.

Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Kontaktplatte (39, 40), die Stützplatte (29) und das mindestens eine Heizelement (9, 10) in drei parallel zueinander verlaufenden Ebenen sich erstrecken und die Stützplatte (29) Stützelemente (10, 20) trägt, mit denen das mindestens eine Heizelement (9, 19) gegenüber der Stützplatte (29) lagefixiert ist.Device according to one of claims 8 or 9, characterized in that the at least one contact plate ( 39 . 40 ), the support plate ( 29 ) and the at least one heating element ( 9 . 10 ) extend in three mutually parallel planes and the support plate ( 29 ) Supporting elements ( 10 . 20 ) carrying at least one heating element ( 9 . 19 ) opposite the support plate ( 29 ) is fixed in position.

Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Verbindungselement (30) zwei in Parallelebenen mit Abstand zueinander angeordnete Kontaktplatten (39, 40) miteinander verbindet, wobei das Verbindungselement (30) insbesondere eine aus einem isolierenden Material gefertigten Distanzkörper (37) durchgreift.Device according to one of claims 8 to 10, characterized in that the connecting element ( 30 ) two in parallel planes with spaced contact plates ( 39 . 40 ), wherein the connecting element ( 30 ) in particular a spacer made of an insulating material ( 37 ).

Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Verbindungselement (30) ein aus Metall, insbesondere Wolfram oder Molybdän bestehender Flachkörper ist und die Formschlussmittel (31, 32) von Vorsprüngen ausgebildet sind, die sich an der Oberfläche der Stützplatte (29) oder den der Kontaktplatte (39, 40) oder an einem in einer der Öffnungen (41, 42, 43) steckenden Einsatzteil (35) abstützen und/oder dass die Formschlussbefestigungsmittel von einer Queröffnung (33, 34) des Verbindungselementes (30) und einem darin steckenden Stift eines Befestigungselementes (36) ausgebildet sind.Device according to claim 11, characterized in that the connecting element ( 30 ) is a flat body consisting of metal, in particular tungsten or molybdenum, and the positive-locking means ( 31 . 32 ) are formed by projections which are located on the surface of the support plate ( 29 ) or the the contact plate ( 39 . 40 ) or at one in one of the openings ( 41 . 42 . 43 ) insert insert ( 35 ) and / or that the form-fitting fastening means from a transverse opening ( 33 . 34 ) of the connecting element ( 30 ) and a pin of a fastening element ( 36 ) are formed.

Vorrichtung, gekennzeichnet durch eines oder mehrere der kennzeichnenden Merkmale eines der vorhergehenden Ansprüche.Device characterized by one or more of the characterizing features of one of the preceding claims.