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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Technisches Gebiet
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Die vorliegende Erfindung betrifft einen ringförmigen Schleifstein zur Verwendung als Schneidklinge in einer Schneidvorrichtung.
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Beschreibung des Stands der Technik
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Wafer jeweils im Wesentlichen in der Form einer kreisförmigen Platte, die aus Halbleitern ausgebildet sind, weisen eine Flächenseite auf, die in mehrere Bereiche durch ein Gitter aus projizierten Teilungslinien aufgeteilt ist, und Bauelemente wie integrierte Schaltungen (ICs) oder der gleichen sind in den jeweiligen aufgeteilten Bereichen ausgebildet. Die Wafer werden schließlich entlang der projizierten Teilungslinien in einzelne Bauelementchips geschnitten, die in elektronischen Ausstattungen verwendet werden. In der vergangenen Zeit, während Anstrengungen unternommen wurden, um elektronische Ausstattungen, welche solche Bauelementchips beinhalten, kleiner und dünner zu machen, existierte ein wachsender Bedarf an kleineren und dünneren Bauelementchips zur Verwendung in elektronischer Ausstattung. Zum Herstellen dünner Bauelementchips aus einem Wafer wird die hintere Seite des Wafers mit mehreren Bauelementen, die an seiner Flächenseite ausgebildet sind, geschliffen, um den Wafer auf eine vorbestimmte Dicke dünn auszugestalten, wonach der Wafer in Bauelementchips entlang projizierter Teilungslinien an der Flächenseite des Wafers geteilt wird.
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Der Wafer wird in Bauelementchips an einer Schneidvorrichtung geteilt, die mit einem ringförmigen Schleifstein oder einer ringförmigen Schneidklinge ausgestattet ist, der/die eine ringförmige Schneidkante aufweist. Der ringförmige Schleifstein kann eine Nabenklinge sein, die eine Nickelschicht, in der Diamantpartikel dispergiert sind und die galvanisch an einer Aluminiumbasis abgeschieden ist, zum Beispiel aufweisen (siehe
japanische Offenlegungsschrift Nr. 2000-87282 ). Der ringförmige Schleifstein kann mehrere Schlitze aufweisen, die in dem äußeren Umfang der Schneidkante ausgebildet sind, um Späne, die aus dem Werkstück wie einem Wafer oder dergleichen ausgebildet werden, auszustoßen, wenn dieses durch den ringförmigen Schleifstein bearbeitet wird, und auch um ein Schneidfluid zu einem Bearbeitungspunkt, an dem das Werkstück durch den ringförmigen Schleifstein bearbeitet wird, für einen hohen Kühleffekt zuzuführen.
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DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
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Die Schlitze werden durch Entfernen von Abschnitten der äußeren umfänglichen Schneidkante des ringförmigen Schleifsteins ausgebildet. Falls mehr Abschnitte des äußeren Umfangs der Schneidkante entfernt werden, um die Schlitze auszubilden, wird der Abschnitt der Bereiche des vollständigen äußeren Umfangs des ringförmigen Schleifsteins, die beim Durchführen der Schleifbetätigung des ringförmigen Schleifsteins sind, reduziert, was in einer Reduktion der Bearbeitungseffizienz resultiert. Darüber hinaus kann der Schneidkantenbereich, der entfernt wird, so groß sein, dass die mechanische Festigkeit des ringförmigen Schleifsteins zu gering wird, um einen geeigneten Schneidprozess durchzuführen. Zum Beispiel falls die mechanische Festigkeit des ringförmigen Schleifsteins nicht groß genug ist, tendiert der ringförmige Schleifstein dazu, sich bei einer Drehung zu winden oder verbiegen und bewegt sich wahrscheinlich entlang eines wellenförmigen Pfades in dem Werkstück.
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Es ist darum ein Ziel der vorliegenden Erfindung einen ringförmigen Schleifstein bereitzustellen, der einen erhöhte Auswurf von Spänen aufweist, die von dem Werkstück ausgebildet werden, das dadurch geschnitten wird, und welcher einen erhöhten Kühleffekt an einem Bearbeitungspunkt, an welchen das Werkstück durch den ringförmigen Schleifstein bearbeitet wird, aufweist, während die Bearbeitungseffizienz eines Schneidprozesses, der durch die ringförmigen Schleifsteine durchgeführt wird, und die mechanische Festigkeit des ringförmigen Schleifstein hochgehalten wird.
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In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein ringförmiger Schleifstein zur Verwendung in einer Schneidvorrichtung bereitgestellt, der eine ringförmige Schneidkante beinhaltet, die aus abrasiven Körnern, die in ihrer Position durch ein Metall fixiert sind, hergestellt ist. Die ringförmige Schneidkante weist mehrere v-förmige Schlitze auf, die an einem äußeren umfänglichen Abschnitt ausgebildet sind, wobei sich jeder der v-förmigen Schlitze kontinuierlich von einer Seitenoberfläche der ringförmigen Schneidkante zu einer anderen Seitenoberfläche erstreckt. Jeder der v-förmigen Schlitze ist durch eine erste Oberfläche und eine zweite Oberfläche der ringförmigen Schneidkante ausgebildet und die erste Oberfläche ist hinter der zweiten Oberfläche bezüglich einer Richtung, entlang welcher sich der ringförmige Schleifstein in der Schneidvorrichtung dreht, positioniert und die zweite Oberfläche ist vor der ersten Oberfläche bezüglich der Richtung, entlang welcher sich der ringförmige Schleifstein in der Schneidvorrichtung dreht, positioniert. Die erste Oberfläche liegt senkrecht zu der Richtung, entlang welcher sich der ringförmige Schleifstein dreht, an einem äußeren Ende und parallel zu der Dickenrichtung der ringförmigen Schneidkante. Die zweite Oberfläche ist bezüglich der ersten Oberfläche in einem Winkel in einem Bereich von 30-60° geneigt.
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Der ringförmige Schleifstein entsprechend der vorliegenden Erfindung weist die v-förmigen Schlitze, die in dem äußeren umfänglichen Abschnitt davon ausgebildet sind, auf. Jeder der v-förmigen Schlitze ist durch die erste Oberfläche und die zweite Oberfläche der ringförmigen Schneidkante ausgebildet, wobei die erste Oberfläche hinter der zweiten Oberfläche bezüglich einer Richtung, entlang welcher sich der ringförmige Schleifstein in der Schneidvorrichtung dreht, positioniert ist und die zweite Oberfläche vor der ersten Oberfläche bezüglich der Richtung, entlang welcher der ringförmige Schleifstein sich in der Schneidvorrichtung dreht, positioniert ist. Die erste Oberfläche liegt senkrecht zu der Richtung, entlang welcher der ringförmige Schleifstein sich dreht, an einem radial äußeren Ende und parallel zu der Dickenrichtung der ringförmigen Schneidkante. Die zweite Oberfläche ist bezüglich der ersten Oberfläche mit einem Winkel in einem Bereich von 30° bis 60° geneigt. Die erste Oberfläche ist in einer solchen Richtung orientiert, dass sie ermöglicht, dass die Schneidkante effektiv das Werkstück kontaktiert und in dieses schneidet, wenn der ringförmige Schleifstein das Werkstück schneidet. Die zweite Oberfläche ist in einer solchen Richtung bezüglich der ersten Oberfläche orientiert, dass ein geeigneter Raum zum Auswerfen von Spänen und Zuführen eines Schneidfluides zwischen der Schneidkante und dem Werkstück bereitgestellt ist und auch dass dem ringförmigen Schleifstein eine ausreichende Schneideigenschaft und benötigte mechanische Festigkeit gegeben wird. Entsprechend dem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist darum ein ringförmiger Schleifstein bereitgestellt, der eine erhöhte Eigenschaft aufweist, Späne, die von einem Werkstück ausgebildet werden, dass durch diesen geschnitten wird, auszuwerfen, und einen erhöhten Kühleffekt an einem Bearbeitungspunkt bereitstellt, an dem das Werkstück durch den ringförmigen Schleifstein bearbeitet wird, während die Bearbeitungseffizienz eines Schneidprozesses, der durch den ringförmigen Schleifstein durchgeführt wird, und die mechanische Festigkeit des ringförmigen Schleifsteins hochgehalten wird.
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Das obige und andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Weise des Realisierens dieser wird klarer und die Erfindung selbst am besten durch ein Studieren der folgenden Beschreibung und beigefügten Ansprüche mit Bezug zu den angehängten Figuren verstanden, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen.
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Figurenliste
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- 1 ist eine perspektivische Ansicht, die schematisch eine Schneidvorrichtung zeigt;
- 2 ist eine perspektivische Explosionsansicht, die schematisch einen Aufbau einer Schneideinheit zeigt;
- 3A ist eine seitliche Aufsicht, die schematisch einen ringförmigen Schleifstein entsprechend einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt; und
- 3B ist eine vergrößerte seitliche Teilansicht, die schematisch den ringförmigen Schleifstein darstellt.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
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Ein ringförmiger Schleifstein entsprechend einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird detailliert im Folgenden mit Bezug zu den Figuren beschrieben. 1 stellt schematisch eine Schneidvorrichtung 2 zum Schneiden eines Werkstücks wie einem Wafer oder dergleichen perspektivische dar, wobei die Schneidvorrichtung 2 den ringförmigen Schleifstein entsprechend der vorliegenden Ausführungsform enthält. Wie in 1 dargestellt beinhaltet die Schneidvorrichtung 2 ein Hauptgehäuse 4, das darin eine Schneideinheit 8 aufnimmt, die mit einem ringförmigen Schleifstein oder einer Schneidklinge ausgestaltet ist, der/die mit 6 gekennzeichnet ist, entsprechend der vorliegenden Ausführungsform. Die Schneidvorrichtung 2 beinhaltet einen Haltetisch 10 zum Halten eines Werkstücks daran, der unterhalb der Schneideinheit 8 angeordnet ist. Das Hauptgehäuse 4 beinhaltet eine äußere Abdeckung 12, die sich um die Schneidvorrichtung 2 erstreckt und die eine vordere Wand mit einer berührungsempfindlichen Anzeige 14 daran befestigt aufweist. Die berührungsempfindliche Anzeige 14 zeigt Details zu einem Betätigungsstatus der Schneidvorrichtung 2 dar. Der Bediener der Schneidvorrichtung 2 kann Befehle für die Schneidvorrichtung 2 durch die berührungsempfindliche Anzeige 14 eingegeben. Ein Ablagetisch 16 zum daran Platzieren einer Kassette 13, die mehrere Werkstücke 11 darin einhaust, ist in einer Ecke des Hauptgehäuses 4 der Schneidvorrichtung 2 angeordnet. Der Ablagetisch 16 kann vertikal auf eine vorbestimmte Höhe bewegt werden, um die Kassette 13 zum Laden eines Werkstücks in und Entnehmen eines Werkstücks aus die/der Schneidvorrichtung 2 zu positionieren.
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Jedes der Werkstücke 11 weist mehrere sich kreuzende projizierte Teilungslinien oder Straßen auf, die an einer Flächenseite davon ausgebildet sind und die Flächenseite in mehrere Bereiche aufteilen, an denen Bauelemente wie ICs oder dergleichen ausgebildet sind. Wenn das Werkstück 11 entlang der projizierten Teilungslinien durch die Schneidvorrichtung 2 geschnitten wird, wird das Werkstück 11 in einzelne Bauelementchips, die jeweilige Bauelement tragen, geteilt. Ein Teilungsband, das an einem ringförmigen Rahmen montiert ist, ist an der hinteren Seite des Werkstücks 11 angebracht. Das Werkstück 11 wird als eine Rahmeneinheit gehandhabt, wobei es integral mit dem ringförmigen Rahmen und Teilungsband verbunden ist. Wenn die Kassette 13, wobei das Werkstück 11 darin eingehaust ist, an dem Ablagetisch 16 platziert ist, lädt ein Zufuhrmechanismus, nicht dargestellt, eines der Werkstücke 11 aus der Kassette 13 in der Schneidvorrichtung 2 und platziert das entnommene Werkstück 11 an dem Haltetisch 10. Der Haltetisch 10 hält das Werkstück 11 unter einem Vakuumdruck, der von einer Saugquelle, die nicht dargestellt ist, aufgebracht wird. Zum Schneiden des Werkstücks 11 wird die Schneideinheit 8 auf eine vorbestimmte vertikale Position gesetzt und der Haltetisch 10 wird in der X-Achsen-Richtung zugeführt. Der ringförmige Schleifstein oder die Schneidklinge 6 an der Schneideinheit 8 wird um seine/ihre eigene Achse gedreht und dazu gebracht, in das Werkstück 11 zu schneiden, wodurch das Werkstück 11 geschnitten wird. Die Schneideinheit 8 ist in einer Y-Achsen-Richtung senkrecht zu der X-Achsen-Richtung beweglich und wird in der Y-Achsen-Richtung Index-geführt, nachdem der ringförmige Schleifstein 6 das Werkstück 11 entlang der gesamten projizierten Teilungslinie geschnitten hat.
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Strukturelle Details der Schneideinheit 8 werden im Folgenden mit Bezug zu 2 beschrieben. 2 stellt den Aufbau der Schneideinheit 8 in einer perspektivischen Explosionsansicht dar. Wie in 2 dargestellt, beinhaltet die Schneideinheit 8 ein Spindelgehäuse 18, zum Beispiel das mit einem Bewegungsmechanismus, der nicht dargestellt ist, in der Schneidvorrichtung 2 fixiert ist. Eine Spindel 20, die sich in den Y-Achsen-Richtungen erstreckt, ist drehbar an dem Spindelgehäuse 18 getragen und weist ein vorderes distales Ende auf, das nach vorne von dem Spindelgehäuse 18 hervorsteht. Das hintere Ende der Spindel 20 ist mit einem elektrischen Motor gekoppelt, der in dem Spindelgehäuse 18 angeordnet ist. Ein hinterer Flanschaufbau 22 ist an dem vorderen distalen Ende der Spindel 20 befestigt. Der hintere Flanschaufbau 22 beinhaltet einen Flansch 24, der sich radial nach außen erstreckt, und eine Nabe 26, die axial nach vorne von einer vorderen Oberfläche des Flansch 24 hervorsteht. Der Flansch 24 weist eine Anlagefläche 24a an einem äußeren umfänglichen Seitenabschnitt davon zur Anlage gegen eine hintere Seitenoberfläche des ringförmigen Schleifsteins 6 auf. Die Anlageoberfläche 24a weist eine ringförmige Form, wenn entlang axialer Richtungen der Spindel 20 betrachtet, d. h. in den Y-Achse-Richtungen auf. Die Nabe 26 weist eine hohle zylindrische Form auf und hat ein Außengewinde an einer äußeren umfänglichen Oberfläche 26a.
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Der ringförmige Schleifstein 6 weist eine kreisförmige Öffnung 6a auf, die zentral darin zum Aufnehmen der Nabe 26, die darin eingeführt ist, ausgebildet ist. Wenn die Nabe 26 in die Öffnung 6a eingeführt ist, wird der ringförmige Schleifstein 6 an dem hinteren Flanschaufbau 22 befestigt. Wenn eine ringförmige Befestigungsmutter 28 über das Außengewinde der äußeren umfänglichen Oberfläche 626a der Nabe 26 geschraubt und angezogen wird, wird der ringförmige Schleifstein 6 zwischen der ringförmigen Befestigungsmutter 28 und dem hinteren Flanschaufbau 22 gegriffen und ist folglich an der ortsfest an der Schneideinheit 8 befestigt. Die Befestigungsmutter 28 weist eine Öffnung 28a, die darin durch eine innere Wandoberfläche davon ausgebildet ist, auf, die ein Innengewinde für einen Schraubeingriff mit dem Außengewinde der äußeren umfänglichen Oberfläche 26a der Nabe 26 aufweist.
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Der ringförmige Schleifstein 6 wird detailliert im Folgenden beschrieben. Wie in 2 dargestellt beinhaltet der ringförmige Schleifstein 6 eine ringförmige Aluminiumbasis 6b mit einer kreisförmigen Öffnung 6a, die zentral darin ausgebildet ist, und eine ringförmige Schneidkante 6c, die aus abrasiven Körnern, die bezüglich ihrer Position durch ein Metall fixiert sind, an einer äußeren umfänglichen Oberfläche der ringförmigen Aluminiumbasis 6b. 3A stellt schematisch in seitlicher Aufsicht den ringförmigen Schleifstein 6 entsprechend der vorliegenden Ausführungsform dar.
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Wie in 3A dargestellt, weist der ringförmige Schleifstein 6 die zentrale kreisförmige Öffnung 6a auf, durch welche die Nabe 26 sich erstreckenden kann. Wie oben beschrieben, beinhaltet der ringförmige Schleifstein 6 die ringförmige Aluminiumbasis 6b mit der kreisförmigen Öffnung 6a, die zentral darin ausgebildet ist, und die ringförmige Schneidkante 6c, die an der äußeren umfänglichen Oberfläche der ringförmigen Aluminiumbasis 6b angeordnet ist. Wenn die Spindel 20 sich um ihre eigene Achse dreht, dreht sich der ringförmige Schleifstein 6, der an der Schneideinheit 8 fest befestigt ist, um seine eigene Achse. Wenn die Schneidkante 6c des sich drehenden ringförmigen Schleifsteins 6 in Kontakt mit dem Werkstück 11 gebracht wird, schneidet die Schneidkante 6c das Werkstück 11. Die Schneidkante 6c weist mehrere v-förmige Schlitze 32 auf, die in gleichmäßigen Abständen in einem äußeren umfänglichen Abschnitt davon ausgebildet sind. Jeder der Schlitze 32 erstreckt sich kontinuierlich von einer Seitenoberfläche der Schneidkante 6c zu der anderen Seitenoberfläche. 3B stellt schematisch die Schneidkante 6c des ringförmigen Schleifsteins 6 in einer vergrößerten Teilansicht dar. Wie in 3A und 3B dargestellt, ist jeder der Schlitze 32 durch und zwischen einer ersten Oberfläche 232a und einer zweiten Oberfläche 32b der Schneidkante 6c ausgebildet, die voneinander in der umfänglichen Richtung der Schneidkante 6c beabstandet sind. Die erste Oberfläche 32a ist hinter der zweiten Oberfläche 32b bezüglich einer Richtung, die durch einen Pfeil 30 angegeben ist, entlang welcher sich der ringförmige Schleifstein 6 in der Schneidvorrichtung 2 dreht, positioniert und die zweite Oberfläche 32b ist vor der ersten Oberfläche 32a bezüglich der Richtung, die durch den Pfeil 30 angegeben ist, positioniert. Anders ausgedrückt sind die erste Oberfläche 32a und die zweite Oberfläche 32b in dem Schlitz 32 freiliegend.
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Die erste Oberfläche 32a liegt senkrecht zu der Richtung, die durch den Pfeil 30 angegeben ist, an einem radial äußeren Ende davon und parallel zu der Dickenrichtung der Schneidkante 6c. Anders ausgedrückt erstreckt sich die erste Oberfläche 32a parallel zu einer radialen Richtung des ringförmigen Schleifsteins 6. Wenn der ringförmige Schleifstein 6 das Werkstück 11 schneidet, ermöglicht die erste Oberfläche 32a der Schneidkante 6c, das Werkstück 11 an der ersten Oberfläche 32a zu kontaktieren und effektiv in dieses zu schneiden, wodurch das Werkstück 11 effizient geschnitten wird. Die zweite Oberfläche 32b ist bezüglich der ersten Oberfläche 32a mit einem Winkel 34 in einem Bereich von 30° bis 60° geneigt. Insbesondere ist die zweite Oberfläche 32b in einer solchen Richtung bezüglich der ersten Oberfläche 32a orientiert, dass ein Raum bereitgestellt wird, der dazu geeignet ist, Späne auszustoßen und Schneidfluid zwischen der Schneidkante 6c und dem Werkstück 11 zuzuführen und auch dem ringförmigen Schleifstein 6 eine ausreichende Schneidstabilität und eine benötigte mechanische Festigkeit zu geben. Falls der Winkel 34 kleiner als 30° ist, kann ein ausreichender Raum zum Ausstoßen von Spänen und zuführen eines Schneidfluides nicht zwischen der Schneidkante 6 und dem Werkstück 11 bereitgestellt werden. Falls der Winkel 34 60° überschreitet, ist die Schneideigenschaft des ringförmigen Schleifsteins 6 unnötig abgesenkt und die mechanische Festigkeit des ringförmigen Schleifsteins 6 ist kleiner als ein benötigtes Maß. Der Winkel 34, der zwischen der ersten Oberfläche und zweiten Oberfläche 32a und 32b eines jeden v-förmigen Schlitzes 32 ausgebildet ist, sollte vorzugsweise im Bereich von 40° bis 60° weiter bevorzugt in dem Bereich von 45° bis 56° sein.
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Zum Beispiel weist die erste Oberfläche 32a von jedem der v-förmigen Schlitze 32 eine Länge von 2 mm in einer radialen Richtung des ringförmigen Schleifsteins 6 auf, wohingegen die zweite Oberfläche 32b mit einem Winkel 34 von 45° bezüglich der ersten Oberfläche 32a geneigt ist. Die Kante der ersten Oberfläche 32a an dem äußeren Umfang der Schneidkante 6c und die Kante der zweiten Oberfläche 32b an dem äußeren Umfang der Schneidkante 6c sind dann voneinander um einen Abstand von 2 mm beabstandet. Die Schneidkante 6c weist 16 v-förmige Schlitze 32 zum Beispiel auf, die so verteilt sind, dass die Schneidkante 6c Rotationssymmetrie aufweist.
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Ein Experiment wurde durchgeführt, um die Beziehung zwischen Winkel 34 der v-förmigen Schlitze 32, die in Schneidkanten 6c von ringförmigen Schleifsteinen 6 ausgebildet sind, und Schneidprozessen zum Schneiden eines Werkstücks 11 mit den ringförmigen Schleifsteinen 6 zu untersuchen. Das Experiment und seine Ergebnisse werden im Folgenden beschrieben. In dem Experiment wurden drei ringförmige Schleifsteine 6, die Schneidkanten 6c mit unterschiedlich geformten v-förmigen Schlitzen 32 aufweisen, vorbereitet, Kunststoffsubstrate wurden durch die ringförmigen Schleifsteine 6 geschnitten und die Größe der Spuren, die in den Schneidnuten, die in dem Substrat ausgebildet wurden, ausgebildet wurden, wurden untersucht. Jeder der ringförmigen Schleifsteine 6 hat 16 v-förmige Schlitze 32, die in der Schneidkante 6c ausgebildet sind. In jedem der ringförmigen Schleifsteine 6 hatte jede der ersten Oberflächen 32a der v-förmigen Schlitze 32 eine Länge von 2 mm in einer radialen Richtung des ringförmigen Schleifsteins 6. Die Kanten der ersten Oberflächen 32a an den äußeren Umfängen der Schneidkanten 6c der drei ringförmigen Schleifsteine 6 und die Kanten der zweiten Oberfläche 32b an den äußeren Umfängen der Schneidkanten 6c waren voneinander mit unterschiedlichen Abständen beabstandet. Insbesondere war der Abstand in dem ersten ringförmigen Schleifstein 6 1 mm, der Abstand in dem zweiten ringförmigen Schleifstein 6 2 mm und der Abstand in dem dritten ringförmigen Schleifstein 6 3 mm. Anders ausgedrückt sind die Winkel 34 in den jeweiligen Schleifsteinen 6 26,6°, 45° und 56,3°.
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Die Kunststoffsubstrat wurde unter Verwendung von drei ringförmigen Schleifsteinen 6 geschnitten und Kunststoffspuren, die in den Schneidnuten überbleiben, die in dem Kunststoffsubstrat ausgebildet sind, wurden unter Verwendung eines optischen Mikroskops untersucht. In dem Schneidprozess, der unter Verwendung des ersten ringförmigen Schleifsteins 6 durchgeführt wurde, wurde bestätigt, dass die Spuren in Abständen in einem Bereich von 0,15-0,2 mm an den Wänden der Schneidnuten angeordnet waren. In dem Schneidprozess, der unter Verwendung des zweiten ringförmigen Schleifsteins 6 durchgeführt wurde, wurde bestimmt, dass die Nuten in Abständen in einem Bereich von 0,05-0,07 mm an den Wänden der geschnittenen Nuten angeordnet wurden. In dem Schneidprozess, der unter Verwendung des dritten ringförmigen Schleifsteins 6 durchgeführt wurde, wurde bestätigt, dass Spuren in Abständen einem Bereich von 0,03-0,05 mm an den Wänden der Schneidnuten angeordnet waren. Entsprechend dem Experiment wurde bestätigt, dass die Kunststoffspuren, die in den bearbeiteten Nuten durch den Schneidprozess überbleiben, der unter Verwendung des zweiten und dritten ringförmigen Schleifsteins 6 durchgeführt wurden, deutlich kleiner als die Kunststoffspuren waren, die in den bearbeiteten Nuten übergeblieben sind, die in dem Schneidprozess unter Verwendung des ersten ringförmigen Schleifsteins 6 ausgebildet wurden. Entsprechend dem Experiment wurde daher bestätigt, dass der ringförmige Schleifstein 6 entsprechend der vorliegenden Ausführungsform dazu in der Lage ist, effizient Späne zu entfernen, die durch einen Schneidprozess ausgebildet werden, und gute Bearbeitungsergebnisse zu erzielen.
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Entsprechend der vorliegenden Ausführungsform wurde die Schneidkante 6c durch Fixieren von abrasiven Körnern aus Diamant an der äußeren umfänglichen Oberfläche der ringförmigen Aluminiumbasis 6b mit einem plattierten Metall zum Beispiel hergestellt und danach wurden mehrere v-förmige Schlitze 32 in den fixierten abrasiven Körnern ausgebildet. Die v-förmigen Schlitze 32 können durch Funkenerodieren gut ausgebildet werden, das durch eine Funkenerodiermaschine, die zum Beispiel einen Kupferdraht aufweist, durchgeführt wird.
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Zum Schneiden eines Werkstücks 11 mit der Schneidvorrichtung 2 (siehe 1), welche die Schneideinheit 8 beinhaltet, welche den ringförmigen Schleifstein 6 entsprechend der vorliegenden Erfindung aufweist, ist die Kassette 13, welche die Werkstücke 11 darin einhaust, an dem Ablagetisch 16 der Schneidvorrichtung 2 platziert. Danach wird eines der Werkstücke 11 aus der Kassette 13 entnommen, an dem Haltetisch 10 platziert und an dem Haltetisch 10 gesichert. Danach wird der elektrische Motor, der in dem Spindelgehäuse 18 eingehaust ist und mit der Spindel 20 gekoppelt ist, mit Energie versorgt, um die Spindel 20 um ihre eigene Achse zu drehen, wodurch der ringförmige Schleifstein 6 gedreht wird. Danach wird der ringförmige Schleifstein 6 an einer vorbestimmten Höhe bezüglich des Haltetisch 10 positioniert. Die Schneidkante 6c des ringförmigen Schleifsteins 6 ist in Ausrichtung mit einer Erstreckungsrichtung einer der projizierten Teilungslinien an dem Werkstück 11 ausgerichtet, sodass die Schneidkante 6c das Werkstück 11 entlang der projizierten Teilungslinie, die mit der Schneidkante 6c ausgerichtet wurde, geschnitten werden kann.
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Als nächstes werden der Haltetisch 10 und die Schneideinheit 8 relativ zueinander in einer Bearbeitungszufuhrrichtung, d. h. der X-Achsen-Richtung bewegt, wodurch die Schneidkante 6c des ringförmigen Schleifsteins 6 dazu gebracht wird, in das Werkstück einzuschneiden und das Werkstück 11 entlang der projizierten Teilungslinie zu schneiden. Nachdem das Werkstück 11 entlang der projizierten Teilungslinien geschnitten wurde, wird der Haltetisch 10 in einer Index Zufuhrrichtung bewegt, d. h. in der Y-Achsen-Richtung, um die Schneidkante 6c des ringförmigen Schleifsteins 6 in Ausrichtung mit einer Erstreckungsrichtung einer nächsten projizierten Teilungslinie an dem Werkstück 11 zu bringen. Danach schneidet die Schneidkante 6c des ringförmigen Schleifsteins 6 in das Werkstück 11 und schneidet dieses entlang der nächsten projizierten Teilungslinie. In dieser Weise schneidet die Schneidkante 6c des ringförmigen Schleifsteins 6 das Werkstück 11 sukzessive entlang der projizierten Teilungslinien, die sich parallel in einer Richtung erstrecken. Danach wird der Haltetisch 10 um 90° gedreht und die Schneidkante 6c des ringförmigen Schleifsteins 6 schneidet das Werkstück 11 sukzessive entlang der überbleibenden projizierten Teilungslinien des Gitters aus projizierten Teilungslinien. Wenn die Schneidkante 6c des ringförmigen Schleifsteins das Werkstück 11 entlang all den projizierten Teilungslinien geschnitten hat, ist das Werkstück 11 in einzelne Bauelementchips geteilt.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die oben beschriebene Ausführungsform beschränkt, sondern verschiedene Änderungen und Modifikationen können in der Ausführungsform gemacht werden. Zum Beispiel, obwohl der ringförmige Schleifstein entsprechend Ausführungsform als einen Nabenklinge dargestellt ist, die eine Aluminiumbasis und eine Schneidkante aufweist, ist die vorliegende Erfindung nicht auf solch einen ringförmigen Schleifstein beschränkt, sondern deckt verschiedene Typen von ringförmigen Schleifsteinen ab, zum Beispiel einen ringförmigen Schleifstein (Schneidklinge) eines Unterlegscheibentyps, der keine Basis beinhaltet, oder einen ringförmigen Schleifstein (Schneidklinge) des Metallklingentyps mit einer Basis.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die beigefügten Ansprüche definiert und alle Änderungen und Modifikationen, die in das äquivalente des Umfangs der Ansprüche fallen, werden dadurch durch die Erfindung umfasst.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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