DE102013210854A1 - Vacuum pump and method for operating a vacuum pump - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Drehschieberpumpe, mit einem Pumpengehäuse (10), die in einem Schöpfraum (12) angeordnet ist. In dem Schöpfraum (12) ist eine Förderelement (14, 16) angeordnet. An einem Einlass (22) des Schöpfraums (12) ist eine Rückschlagventil (28) vorgesehen. Zum Schließen des Rückschlagventils (28) bei im Bereich des Einlasses (22) herrschenden, niedrigen Drücken ist neben einer Spiralfeder (34), eine Fluideinrichtung (36) angeordnet. Beim Ausschalten der Vakuumpumpe erfolgt ein Verschieben eines Schaltkolbens (40) in eine Stellung, in der durch den Zuführkanal (42) in den Verbindungskanal (38) Fluid strömt, das sodann durch Einströmen in den Einlasskanal (42) das Rückschlagventil (28) schließt.The invention relates to a vacuum pump, in particular a rotary vane pump, with a pump housing (10), which is arranged in a pumping chamber (12). A conveying element (14, 16) is arranged in the scooping chamber (12). A check valve (28) is provided at an inlet (22) of the scooping chamber (12). A fluid device (36) is arranged next to a spiral spring (34) to close the check valve (28) when the low pressures prevail in the area of the inlet (22). When the vacuum pump is switched off, a switching piston (40) is moved into a position in which fluid flows through the feed channel (42) into the connecting channel (38), which then closes the check valve (28) by flowing into the inlet channel (42).

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe sowie ein Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe.The invention relates to a vacuum pump and a method for operating a vacuum pump.

Vakuumpumpen wie bspw. Drehschieberpumpen weisen in einem Pumpengehäuse einen Schöpfraum auf. In dem Schöpfraum ist zum Fördern eines gasförmigen Mediums ein Förderelement angeordnet. Bei einer Drehschieberpumpe weist das Förderelement ein exzentrisch in dem zylindrischen Schöpfraum angeordnetes Rotorelement auf, in dem mehrere Schieber angeordnet sind. Die Schieber sind in Schlitzen des Rotorelements verschiebbar gehalten und liegen an der Innenseite des Schöpfraums an. Durch Rotation des exzentrisch angeordneten Rotorelements erfolgt ein Fördern des Mediums mit Hilfe der sich in ihrer Größe durch die Rotation verändernden, zwischen benachbarten Schiebern angeordneten Kammern von einem Einlass des Schöpfraums zu einem Auslass. Um beim Ausschalten der Vakuumpumpe ein Zurückströmen von Medium in den von der Vakuumpumpe zu evakuierenden Raum zu vermeiden, ist im Bereich des Einlasses ein Rückschlagventil angeordnet. In einer mechanischen Ausführungsform des Rückschlagventils ist dies über eine Feder eingestellt. Um ein sicheres Schließen des Saugstutzenventils zu gewährleisten, muss dieses nah an dessen Dichtungsfläche eingestellt sein. Bei geringen Drücken von insbesondere weniger als 1 mbar am Pumpeneinlass besteht der Nachteil, dass die Förderleistung der Pumpe bei geringen Drücken abnimmt.Vacuum pumps, such as, for example, rotary vane pumps, have a suction chamber in a pump housing. In the pumping chamber for conveying a gaseous medium, a conveying element is arranged. In a rotary vane pump, the conveying element has an eccentrically arranged in the cylindrical suction chamber rotor element in which a plurality of slides are arranged. The slides are slidably held in slots of the rotor element and abut against the inside of the pump chamber. By rotating the eccentrically arranged rotor element, the medium is conveyed by means of the chambers, which change in size through the rotation and are arranged between adjacent slides, from an inlet of the pump chamber to an outlet. In order to avoid a backflow of medium into the space to be evacuated by the vacuum pump when switching off the vacuum pump, a check valve is arranged in the region of the inlet. In a mechanical embodiment of the check valve, this is adjusted via a spring. To ensure a safe closing of the suction nozzle valve, it must be set close to its sealing surface. At low pressures, in particular less than 1 mbar at the pump inlet, there is the disadvantage that the delivery rate of the pump decreases at low pressures.

Anstelle des Vorsehens eines federeingestellten Rückschlagventils ist es ferner bekannt ein elektromagnetisch schaltbares Ventil vorzusehen. Hierdurch kann die Pumpleistung auch bei niedrigen Drücken am Pumpeneinlass aufrechterhalten werden. Das Vorsehen eines elektromagnetischen Ventils weist jedoch den Nachteil auf, dass eine entsprechende Steuereinrichtung sowie eine Stromversorgung vorgesehen sein müssen.Instead of providing a spring-set check valve, it is also known to provide an electromagnetically switchable valve. As a result, the pump power can be maintained even at low pressures at the pump inlet. However, the provision of an electromagnetic valve has the disadvantage that a corresponding control device and a power supply must be provided.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vakuumpumpe sowie ein Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe zu schaffen, wobei auch bei niedrigen Drücken von insbesondere weniger als 1 mbar am Einlass auch ohne Vorsehen eines elektromagnetischen Ventils, eine möglichst hohe Pumpleistung erzielt werden kann.The object of the invention is to provide a vacuum pump and a method for operating a vacuum pump, wherein even at low pressures of in particular less than 1 mbar at the inlet, even without provision of an electromagnetic valve, the highest possible pumping power can be achieved.

Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch eine Vakuumpumpe gemäß Anspruch 1 sowie ein Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe gemäß Anspruch 9.The object is achieved according to the invention by a vacuum pump according to claim 1 and a method for operating a vacuum pump according to claim 9.

Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe, bei der es sich insbesondere um eine Drehschieberpumpe handeln kann, weist in einem Gehäuse einen Schöpfraum auf. In den Schöpfraum ist mindestens ein Förderelement angeordnet. Bei einer Drehschieberpumpe handelt es sich um ein exzentrisch in einem zylindrischen Schöpfraum angeordnetes, zylindrisches Förderelement mit in Schlitzen verschiebbaren Schiebern. Die Schieber liegen an der Innenwand des Schöpfraumes an. Ferner ist der Schöpfraum mit einem Einlass und einem Auslass verbunden. Durch die Rotationsbewegung des Förderelements erfolgt ein Fördern von insbesondere gasförmigem Medium durch den Einlass in Richtung des Auslasses, um einen mit dem Einlass verbundenen Raum zu evakuieren. Im Bereich des Einlasses ist ein Rückschlagventil angeordnet, das den Einlass beim Ausschalten der Vakuumpumpe verschließt. Hierbei kann das Rückschlagventil in einen den Einlass ausbildenden Einlasskanal integriert sein. Durch das Rückschlagventil ist ein Zurückströmen des geförderten Mediums in den evakuierten Raum vermieden. Um auch bei niedrigen Drücken im Einlassbereich von insbesondere weniger als 1 mbar eine hohe Förderleistung der Pumpe zu realisieren, ist erfindungsgemäß eine Fluideinrichtung vorgesehen. Die Fluideinrichtung wirkt beim Ausschalten der Vakuumpumpe zum Verschließen des Rückschlagventils auf dieses ein. Dies hat den Vorteil, dass das Rückschlagventil auch bei geringen Drücken im Einlassbereich weit und insbesondere vollständig geöffnet ist. Hierdurch kann weiterhin auch bei niedrigen Drücken eine große Pumpleistung realisiert werden. Durch Vorsehen der das Rückschlagventil betätigenden Fluideinrichtung ist es möglich, den Spalt zwischen Rückschlagventil und Saugstutzen in Vergleich zu einem mechanischen federeingestellten Rückschlagventil zu vergrößern. Gegebenenfalls kann eine derartige Feder auch vollständig entfallen.The vacuum pump according to the invention, which may in particular be a rotary vane pump, has a suction chamber in a housing. In the pump chamber at least one conveying element is arranged. A rotary vane pump is an eccentrically arranged in a cylindrical suction chamber, cylindrical conveyor element with slidable slides. The slides are located on the inner wall of the pump chamber. Further, the suction space is connected to an inlet and an outlet. Due to the rotational movement of the conveyor element, in particular, a gaseous medium is conveyed through the inlet in the direction of the outlet in order to evacuate a space connected to the inlet. In the area of the inlet, a check valve is arranged, which closes the inlet when the vacuum pump is switched off. In this case, the check valve may be integrated in an inlet channel forming the inlet. By the check valve backflow of the pumped medium is avoided in the evacuated space. In order to realize a high delivery rate of the pump even at low pressures in the inlet region of in particular less than 1 mbar, a fluid device is provided according to the invention. The fluid device acts on turning off the vacuum pump to close the check valve on this. This has the advantage that the check valve is wide and in particular fully opened even at low pressures in the inlet region. As a result, a large pump power can continue to be realized even at low pressures. By providing the check valve actuating fluid device, it is possible to increase the gap between the check valve and the suction port in comparison to a mechanical spring-set check valve. Optionally, such a spring can be completely eliminated.

Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Fluideinrichtung weist diese ein fluidisch betätigtes Schaltelement wie einen Schaltkolben auf. Je nach Stellung des Schaltkolbens wirkt ein Fluid zum Schließen des Rückschlagventils auf das Rückschlagventil ein. Das Vorsehen einer Fluideinrichtung bzw. eines fluidisch betätigbaren Schaltelement, bei dem es sich insbesondere um einen Schaltkolben handelt, weist insbesondere den Vorteil auf, dass die Betätigungen der Fluideinrichtung durch Fluid erfolgt und insofern keine elektrische Steuerung und keine Stromversorgung erforderlich ist.In a particularly preferred embodiment of the fluid device, this has a fluidically actuated switching element such as a control piston. Depending on the position of the control piston, a fluid acts to close the check valve on the check valve. The provision of a fluid device or a fluidically operable switching element, which is in particular a switching piston, in particular has the advantage that the actuations of the fluid device is effected by fluid and insofar as no electrical control and no power supply is required.

Vorzugsweise ist das Schaltelement über einen Verbindungskanal mit dem Rückschlagventil verbunden, wobei der Verbindungskanal entweder unmittelbar mit dem Rückschlagventil oder über den Einlasskanal, durch den das zu fördernde Medium in den Schöpfraum gesaugt wird, verbunden ist. Ferner ist das Schaltelement der Fluideinrichtung mit einem Zuführkanal verbunden, in dem ein unter Druck stehendes Fluid vorgesehen ist. Mit Hilfe des unter Druck stehenden Fluids wird im Betrieb der Vakuumpumpe ein Druck auf den Schaltkolben ausgeübt, so dass dieser in einer Geschlossenstellung gehalten wird. In der Geschlossenstellung ist der Verbindungskanal zwischen dem Schaltelement und dem Rückschlagventil verschlossen. Dies ist insbesondere vorteilhaft, wenn der Verbindungskanal nicht unmittelbar mit dem Rückschlagventil, sondern mittelbar über den Einlasskanal mit dem Rückschlagventil verbunden ist, da ansonsten Fluid aus dem Verbindungskanal in den Schöpfraum der Vakuumpumpe gesaugt würde.Preferably, the switching element is connected via a connecting channel with the check valve, wherein the connecting channel is connected either directly to the check valve or via the inlet channel, through which the medium to be conveyed is sucked into the suction chamber. Further, the switching element of the fluid device is connected to a supply channel in which a pressurized fluid is provided. With the help of under Pressure fluid is exerted during operation of the vacuum pump, a pressure on the switching piston, so that it is held in a closed position. In the closed position, the connecting channel between the switching element and the check valve is closed. This is particularly advantageous if the connecting channel is not connected directly to the check valve, but indirectly via the inlet channel with the check valve, since otherwise fluid would be sucked from the connecting channel into the pump chamber of the vacuum pump.

Beim Ausschalten der Vakuumpumpe erfolgt ein Verbinden des Zuführkanals mit dem Verbindungskanal durch Betätigen des Schaltelements, d. h. insbesondere durch Verschieben des Schaltkolbens. Sodann strömt Fluid aus dem Zuführkanal durch den Verbindungskanal und ggf. durch den Einlasskanal in Richtung des Rückschlagventils und verschließt dieses, so dass nach dem Ausschalten der Vakuumpumpe kein Medium in den evakuieren Raum zurückströmen kannWhen the vacuum pump is switched off, the supply channel is connected to the connecting channel by actuating the switching element, i. H. in particular by moving the control piston. Then, fluid flows from the supply channel through the connecting channel and possibly through the inlet channel in the direction of the check valve and closes it, so that after switching off the vacuum pump no medium can flow back into the evacuated space

Des Weiteren ist es bevorzugt, dass das Schaltelement mit einem Schließkanal verbunden ist. Durch Verändern des Drucks eines Fluids in dem Schließkanal kann ein Betätigen des Schaltelements erfolgen. Besonders bevorzugt ist es hierbei, dass zum Schließen des Schaltelements während des Betriebs der Vakuumpumpe an dem Schaltelement über den Schließkanal Druck anliegt. Bei einer entsprechenden Druckreduzierung bzw. einem entsprechenden Druckabfall erfolgt sodann ein Öffnen des Schaltelements, d. h. insbesondere ein Verschieben des Schaltkolbens. Besonders bevorzugt ist es, dass zum Aufbau von Druck in dem Schließkanal dieser mit dem Auslass der Vakuumpumpe verbunden ist. Da am Auslass der Vakuumpumpe ein deutlich höherer Druck als am Einlass der Vakuumpumpe herrscht, ist es möglich diesen Druck zum Verschließen des Schaltelements über den Schließkanal zu dem Schaltelement zu leiten, so dass der Druck insbesondere auf den Schaltkolben einwirkt.Furthermore, it is preferred that the switching element is connected to a closing channel. By varying the pressure of a fluid in the closing channel, actuation of the switching element can take place. In this case, it is particularly preferable for pressure to be applied to the switching element via the closing channel during the operation of the vacuum pump during the operation of the vacuum pump. With a corresponding reduction in pressure or a corresponding pressure drop then takes place opening of the switching element, d. H. in particular, a displacement of the control piston. It is particularly preferred that the construction of pressure in the closing channel, this is connected to the outlet of the vacuum pump. Since there is a significantly higher pressure at the outlet of the vacuum pump than at the inlet of the vacuum pump, it is possible to conduct this pressure for closing the switching element via the closing channel to the switching element, so that the pressure acts in particular on the switching piston.

Bei einer besonderes bevorzugten Ausführungsform ist das Schaltelement derart ausgestaltet, dass der in dem Schaltkanal herrschende Druck und der in dem Zufuhrkanal herrschende Druck in entgegengesetzte Richtung auf das Schaltelement insbesondere auf einander gegenüberliegende Kolbenflächen des Schaltkolbens wirkt. Dies hat den Vorteil, dass, solange während des Betriebs der Druck in dem Schließkanal höher ist als in dem Zuführkanal, der Schaltkolben verschlossen bleibt, sofern die einander gegenüberliegenden Kolbenflächen gleich groß sind. Bei unterschiedlich großen Kolbenflächen sind für den Schaltzustand des Schaltelements, d. h. für die Lage des Schaltkolbens, die einander entgegengerichteten Kräfte ausschlaggebend. Diese hängen von dem Druck und der Größe der wirksamen Kolbenfläche ab. Durch eine entsprechende Anpassung der Kolbengeometrie kann diese somit auf die herrschenden Drücke angepasst werden, so dass einerseits im Betrieb ein sicheres Verschließen des Schaltelemets gewährleistet ist und andererseits beim Ausschalten der Vakuumpumpe ein schnelles Öffnen des Schaltelements sichergestellt ist. Vorzugsweise ist der Zuführkanal mit einer Druckerzeugungseinrichtung der Vakuumpumpe verbunden. Hierbei handelt es sich insbesondere um die Kompressionszone im Vakuumgenerator kurz vor dessen Auslass.In a particularly preferred embodiment, the switching element is designed such that the pressure prevailing in the switching channel and the pressure prevailing in the supply channel in the opposite direction acts on the switching element in particular on opposite piston surfaces of the switching piston. This has the advantage that, as long as during operation, the pressure in the closing channel is higher than in the feed channel, the switching piston remains closed, provided that the opposed piston surfaces are the same size. With differently sized piston surfaces are for the switching state of the switching element, d. H. for the position of the switching piston, the opposing forces crucial. These depend on the pressure and the size of the effective piston area. By a corresponding adjustment of the piston geometry, this can thus be adapted to the prevailing pressures, so that on the one hand in operation a safe closing of the Schaltelemets is ensured and on the other hand, a fast opening of the switching element is ensured when switching off the vacuum pump. Preferably, the feed channel is connected to a pressure generating device of the vacuum pump. This is in particular the compression zone in the vacuum generator just before its outlet.

Das vorstehend beschriebene erfindungsgemäße Prinzip des Einwirkens auf ein Rückschlagventil mit Hilfe einer Fluideinrichtung ist nicht auf Drehschieberpumpen beschränkt, sondern kann auch bei Vakuumpumpen anderer Bauart eingesetzt werden. Unabhängig von der Bauart der Vakuumpumpe ist es besonders bevorzugt, dass als Fluid, das dem Schaltkanal zugeführt wird und zum Schalten des Schaltelements insbesondere des Schaltkolbens dient, das geförderte Medium verwendet wird. Bei einer ölgeschmierten Vakuumpumpe wie einer Drehschieberpumpe handelt es sich um ein Gemisch aus Gas und Öl, da das die Drehschieber gegenüber der Innenwand des Schöpfraums abdichtende Öl in geringen Mengen mitgefördert wird.The above-described inventive principle of the action on a check valve by means of a fluid device is not limited to rotary vane pumps, but can also be used in vacuum pumps of other types. Regardless of the design of the vacuum pump, it is particularly preferred that the conveyed medium is used as the fluid which is supplied to the switching channel and serves to switch the switching element, in particular the switching piston. An oil-lubricated vacuum pump, such as a rotary vane pump, is a mixture of gas and oil since the oil which seals the rotary vane relative to the inner wall of the suction chamber is carried in small quantities.

Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Betreiben der vorstehend beschriebenen Vakuumpumpe. Diese ist wie vorstehend beschrieben vorteilhaft weitergebildet. Das Schalten des Rückschlagventils erfolgt gemäß des erfindungsgemäßen Verfahrens beim Ausschalten Vakuumpumpe durch fluidisches Betätigen des Schaltelements, d. h. insbesondere des Schaltkolbens der Fluideinrichtung, wobei hierdurch das Rückschlagventil verschlossen wird.Furthermore, the invention relates to a method for operating the above-described vacuum pump. This is advantageously developed as described above. The switching of the check valve is carried out according to the inventive method when switching off the vacuum pump by fluidly actuating the switching element, d. H. in particular the switching piston of the fluid device, whereby the check valve is thereby closed.

Insbesondere wird zum Schließen des Rückschlagventils durch den Verbindungskanal Fluid in Richtung des Rückschlagventils gefördert bzw. strömt in Richtung des Rückschlagventils. Ferner strömt das Fluid vorzugsweise durch den Zuführkanal über das Schaltelement in den Verbindungskanal. Des Weiteren ist es bevorzugt, dass zum Schließen des Schaltelements während des Betriebs zum Druckaufbau Fluid dem Schließkanal zugeführt wird, wobei es sich bei diesem Fluid insbesondere um von der Vakuumpumpe gefördertes Fluid handelt. Vorzugsweise ist das Verfahren wie vorstehend anhand der Vorrichtung beschrieben vorteilhaft weitergebildet.In particular, to close the check valve through the connecting channel fluid is conveyed in the direction of the check valve or flows in the direction of the check valve. Furthermore, the fluid preferably flows through the supply channel via the switching element into the connecting channel. Furthermore, it is preferred that fluid is supplied to the closing channel for closing the switching element during the pressure build-up operation, wherein this fluid is, in particular, fluid conveyed by the vacuum pump. Preferably, the method is advantageously developed as described above with reference to the device.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand einer bevorzugten Ausführungsform unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.The invention will be explained in more detail with reference to a preferred embodiment with reference to the accompanying drawings.

Es zeigenShow it

1 eine schematische Schnittansicht einer Drehschieberpumpe, 1 a schematic sectional view of a rotary vane pump,

2 eine schematische Schnittansicht der fluidischen Schalteinrichtung im Betrieb und 2 a schematic sectional view of the fluidic switching device in operation and

3 eine schematische Schnittansicht der fluidischen Schalteinrichtung im Stillstand. 3 a schematic sectional view of the fluidic switching device at a standstill.

In der 1 ist als Beispiel einer Vakuumpumpe eine Drehschieberpumpe dargestellt. Diese weist ein Gehäuse 10 auf, in dem ein Schöpfraum 12 ausgebildet ist. Innerhalb des zylindrischen Schöpfraumes ist ein Rotationselement 14 (Pumpen-Rotor) ausgebildet, dass zusammen mit Schiebern 16 ein Förderelement bildet. Die Schieber 16 sind in Schlitze 18, die in dem Rotorelement 14 angeordnet sind, verschiebbar. Bspw. über eine innenliegende Ölzufuhr erfolgt eine Ölzufuhr in die Schlitze 18, so dass das Öl die Schieber 16 gegenüber der Innenwand 20 des Schöpfraums 12 abdichtet. Da das Rotationselement 14 exzentrisch angeordnet ist, erfolgt durch Drehen des Rotationselements 14 ein Fördern von insbesondere gasförmigem Medium, das durch einen Einlass 22 angesaugt und durch einen Auslass 24 ausgestoßen wird.In the 1 is shown as an example of a vacuum pump, a rotary vane pump. This has a housing 10 in which a scoop space 12 is trained. Within the cylindrical pump chamber is a rotation element 14 (Pump rotor) designed that together with sliders 16 forms a conveying element. The sliders 16 are in slots 18 that in the rotor element 14 are arranged, displaceable. For example. via an internal oil supply is an oil supply into the slots 18 so that the oil is the slider 16 opposite the inner wall 20 the scoop space 12 seals. Because the rotation element 14 is arranged eccentrically, by turning the rotary member 14 conveying gaseous medium, in particular, through an inlet 22 sucked in and through an outlet 24 is ejected.

Der Einlass 22 ist mit einem Einlassstutzen 26 verbunden. In dem Einlassstutzen 26 erfolgt das Ansaugen des zu fördernden Mediums, so dass ein mit dem Einlassstutzen 26 verbundener zu evakuierender Raum evakuiert wird. Innerhalb des Einlasses 22, 26 ist ein Rückschlagventil 28 sowie ggf. ein Filterelement oder Sieb 30 angeordnet.The inlet 22 is with an inlet nozzle 26 connected. In the inlet pipe 26 the suction of the medium to be pumped takes place, so that one with the inlet nozzle 26 connected to be evacuated room is evacuated. Inside the inlet 22 . 26 is a check valve 28 and optionally a filter element or sieve 30 arranged.

Aufgrund des in einer ersten Kammer 32 des Schöpfraums 12 herrschenden Drucks, der niedriger als der Druck in dem zu evakuierenden Raum ist, erfolgt ein Bewegen des Rückschlagventils 28 in 1 nach unten entgegen der Kraft einer im dargestellten Ausführungsbeispiel in dem Einlasskanal 22 angeordneten Spiralfeder 34. Da die Spiralfeder 34 nur eine relativ geringe Kraft erzeugt, die das Rückschlagventil 28 nach oben in eine Verschlussstellung bewegen würde, ist das Rückschlagventil 28 auch bei geringen Drücken im Einlassbereich vorzugsweise vollständig geöffnet.Because of in a first chamber 32 the scoop space 12 prevailing pressure, which is lower than the pressure in the space to be evacuated, carried out a movement of the check valve 28 in 1 down against the force of a in the illustrated embodiment in the inlet channel 22 arranged spiral spring 34 , Because the coil spring 34 only a relatively small force is generated, which is the check valve 28 Move upwards to a closed position is the check valve 28 even at low pressures in the inlet region preferably fully open.

Um ein schnelles und sicheres Verschließen, d. h. Bewegen des Rückschlagventils 28 in 1 nach oben beim Ausschalten der Vakuumpumpe sicherzustellen, ist eine Fluideinrichtung 36 vorgesehen. Diese weist einen Verbindungskanal 38 auf, der im dargestellten Ausführungsbeispiel zwischen einem Schaltelement 40 und dem Verbindungskanal 38 angeordnet ist.For a quick and safe closing, ie moving the check valve 28 in 1 To ensure upward when turning off the vacuum pump is a fluid device 36 intended. This has a connection channel 38 on, in the illustrated embodiment between a switching element 40 and the connection channel 38 is arranged.

Ferner weist die Fluideinrichtung 36 einen mit dem Ölkasten verbundenen Zuführkanal 42 auf, der ebenfalls mit dem Schaltelement 40 verbunden ist. Des Weiteren ist ein Schließkanal 44 mit dem Schaltelement 40 verbunden. Der Schließkanal 44 ist ferner mit dem Auslass 24 des Vakuumgenerators oder im Bereich des Auslasses 24 mit dem Schöpfraum 12 verbunden.Furthermore, the fluid device 36 a feed channel connected to the oil box 42 on, who also with the switching element 40 connected is. Furthermore, there is a closing channel 44 with the switching element 40 connected. The closing channel 44 is also with the outlet 24 the vacuum generator or in the area of the outlet 24 with the scoop space 12 connected.

Während des Betriebs der Vakuumpumpe wird das in den Kammern 32 durch den Einlasskanal 22 angesaugte Medium komprimiert, so dass am Auslass 24 ein höherer Druck als am Einlass 22 herrscht. Aufgrund der Verbindung mit dem Schließkanal 44 herrscht dieser Druck auch an dem insbesondere als Schaltkolben ausgebildeten Schaltelement 40. Durch diesen Druck wird das Schaltelement 40 geschlossen, so dass kein Fluid in den Verbindungskanal 38 gelangt. Gleichzeitig liegt an dem Schaltelement 40 über dem Zuführkanal 42 ein Druck an, der jedoch in Abhängigkeit der wirksamen Kolbenflächen eine geringere Kraft auf den Schaltkolben 40 ausübt als der in dem Schließkanal 44 herrschende Druck. Hierdurch ist sichergestellt, dass die Fluideinrichtung 36 während des Betriebs verschlossen bleibt.During operation of the vacuum pump, this will be in the chambers 32 through the inlet channel 22 sucked medium compressed so that at the outlet 24 a higher pressure than at the inlet 22 prevails. Due to the connection with the closing channel 44 This pressure also prevails on the switching element designed in particular as a switching piston 40 , By this pressure, the switching element 40 closed, leaving no fluid in the connection channel 38 arrives. At the same time is due to the switching element 40 above the feed channel 42 a pressure on, however, depending on the effective piston surfaces a lower force on the control piston 40 exerts as in the closing channel 44 prevailing pressure. This ensures that the fluid device 36 remains closed during operation.

Beim Ausschalten der Vakuumpumpe sinkt der Druck am Auslass 24 und somit auch in dem Schließkanal 44. Dies führt dazu, dass der in dem Zuführkanal 42 herrschende Druck eine größere Kraft auf das Schaltelement 40 ausübt und dadurch das Schaltelement 40 in 1 und 2 nach links in die in 3 dargestellte Stellung bewegt wird. Dies bewirkt ein Öffnen des Verbindungskanals 38, so dass Fluid aus dem Zuführkanal 42 in den Verbindungskanal 38 strömt (Pfeil 46). Aus dem Verbindungskanal 38 strömt das Fluid in den Einlasskanal 22 in Richtung des Rückschlagventils 24 und verschließt dieses.When you turn off the vacuum pump, the pressure drops at the outlet 24 and thus also in the closing channel 44 , This results in that in the feed channel 42 prevailing pressure a greater force on the switching element 40 exerts and thereby the switching element 40 in 1 and 2 to the left in the 3 shown position is moved. This causes an opening of the connection channel 38 so that fluid from the feed channel 42 in the connection channel 38 flows (arrow 46 ). From the connection channel 38 the fluid flows into the inlet channel 22 in the direction of the check valve 24 and close this.

Der Kolben 40 weist vorzugsweise einen Hohlraum auf, in den Fluid bei geschlossenem Ventil (3) durch den Zuführkanal 42 strömt, so dass dieses eine Kraft auf den Kolben in 2 nach links ausübt, wobei die Gegenkraft durch den in dem Schaltkanal 44 herrschenden Druck erzeugt wird.The piston 40 preferably has a cavity into the fluid when the valve is closed ( 3 ) through the feed channel 42 flows, giving this a force on the piston in 2 exerts to the left, the counterforce by the in the switching channel 44 prevailing pressure is generated.

Claims (12)

Vakuumpumpe, insbesondere Drehschieberpumpe mit einem in einem Pumpengehäuse (10) ausgebildeten Schöpfraum (12), einem in dem Schöpfraum angeordneten Förderelement (14, 16), einen mit dem Schöpfraum (12) verbundenen Einlass (22) und mit dem Schöpfraum (12) verbundenen Auslass (24) und einem den Einlass (22) beim Ausschalten der Vakuumpumpe verschließenden Rückschlagventil (28), gekennzeichnet durch eine beim Ausschalten der Vakuumpumpe zum Verschließen des Rückschlagventils (28) auf das Rückschlagventil (28) einwirkende Fluideinrichtung (36).Vacuum pump, in particular rotary vane pump with one in a pump housing ( 10 ) trained scoop space ( 12 ), a conveying element arranged in the suction chamber ( 14 . 16 ), one with the pump chamber ( 12 ) associated inlet ( 22 ) and with the pump chamber ( 12 ) connected outlet ( 24 ) and one the inlet ( 22 ) when switching off the vacuum pump closing check valve ( 28 ), characterized by a switching off of the vacuum pump for closing the check valve ( 28 ) on the check valve ( 28 ) acting fluid device ( 36 ). Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Fluideinrichtung (36) ein fluidisch betätigtes Schaltelement (40) insbesondere einen Schaltkolben aufweist.Vacuum pump according to claim 1, characterized in that the fluid device ( 36 ) a fluidically actuated switching element ( 40 ) in particular has a switching piston. Vakuumpumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Schaltelement (40) über einen Verbindungskanal (38) mit dem Rückschlagventil (28) und mit einem unter Druck stehendes Fluid aufweisenden Zuführkanal (42) verbunden ist.Vacuum pump according to claim 2, characterized in that the switching element ( 40 ) via a connection channel ( 38 ) with the check valve ( 28 ) and with a pressurized fluid having feed channel ( 42 ) connected is. Vakuumpumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Zuführkanal (42) mit dem Verbindungkanal (38) beim Ausschalten der Vakuumpumpe durch Betätigen des Schaltelements (40) verbunden ist.Vacuum pump according to claim 3, characterized in that the feed channel ( 42 ) with the connection channel ( 38 ) when switching off the vacuum pump by actuating the switching element ( 40 ) connected is. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche zwei bis vier, dadurch gekennzeichnet, dass das Schaltelement (40) mit einem Schließkanal (44) verbunden ist, an dem während des Betriebs der Vakuumpumpe ein das Schaltelement (40) schließender Druck anliegt.Vacuum pump according to one of claims 2 to 4, characterized in that the switching element ( 40 ) with a closing channel ( 44 ) is connected, on which during operation of the vacuum pump, a switching element ( 40 ) is applied closing pressure. Vakuumpumpe nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Schließkanal (44) mit dem Auslass (24) der Vakuumpumpe verbunden ist.Vacuum pump according to claim 5, characterized in that the closing channel ( 44 ) with the outlet ( 24 ) of the vacuum pump is connected. Vakuumpumpe nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass der in dem Schließkanal (44) herrschende Druck und der in dem Zuführkanal (42) herrschende Druck in entgegengesetzte Richtung auf das Schaltelement (40) insbesondere einander gegenüber liegende Kolbenflächen des Schaltkolbens wirken.Vacuum pump according to claim 5 or 6, characterized in that in the closing channel ( 44 ) prevailing pressure and in the feed channel ( 42 ) prevailing pressure in the opposite direction to the switching element ( 40 ) act in particular opposite piston surfaces of the switching piston. Vakuumpumpe nach Anspruch 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Zuführkanal (42) mit einer Druckerzeugungseinrichtung verbunden ist.Vacuum pump according to claim 3 to 7, characterized in that the feed channel ( 42 ) is connected to a pressure generating device. Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 8, bei welchem das Rückschlagventil (28) beim Ausschalten der Vakuumpumpe durch fluidisches Betätigen des Schaltelements (40) der Fluideinrichtung (36) geschlossen wird.Method for operating a vacuum pump according to one of Claims 1 to 8, in which the check valve ( 28 ) when switching off the vacuum pump by fluidly actuating the switching element ( 40 ) the fluid device ( 36 ) is closed. Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe nach Anspruch 9, bei welchem zum Schließen des Rückschlagventils (28) durch den Verbindungskanal (38) Fluid in Richtung des Rückschlagventils (28) strömt.Method for operating a vacuum pump according to Claim 9, in which the closing of the check valve ( 28 ) through the connecting channel ( 38 ) Fluid in the direction of the check valve ( 28 ) flows. Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe nach Anspruch 9 oder 10, bei welchem zum Schließen des Schaltelements (40) während des Betriebs zum Druckaufbau Fluid dem Schließkanal (44) zugeführt wird.Method for operating a vacuum pump according to Claim 9 or 10, in which the closing of the switching element ( 40 ) during operation to build up pressure fluid the closing channel ( 44 ) is supplied. Verfahren zum Betreiben einer Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 9 bis 11 bei welchem der Zuführkanal (42) mit dem Verbindungskanal (38) beim Ausschalten der Vakuumpumpe durch Betätigen des Schaltelements (40) verbunden wird.Method for operating a vacuum pump according to one of Claims 9 to 11, in which the feed channel ( 42 ) with the connection channel ( 38 ) when switching off the vacuum pump by actuating the switching element ( 40 ) is connected.
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