DE102013102797A1 - Tunnel furnace for heat treatment of material to be treated, has transport element lubricants and turnable and/or transferable stocks or supporting items or rolling elements are provided between carrier and furnace main portion - Google Patents

Tunnel furnace for heat treatment of material to be treated, has transport element lubricants and turnable and/or transferable stocks or supporting items or rolling elements are provided between carrier and furnace main portion Download PDF

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Abstract

The tunnel furnace has housing (5) with heater that is provided to heat a furnace chamber (5.1). A carrier (6) is provided with transport element (9) which transports material to be treated (1.1) to the furnace chamber in transport direction (A). The transport element lubricants and turnable and/or transferable stocks or supporting items or rolling elements are provided between the carrier and furnace main portion (4). The transport element is provided with planar or entire surface support for supporting the material to be treated.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Tunnelofen gemäß Oberbegriff Patentanspruch 1 oder 13.The invention relates to a tunnel kiln according to the preamble of claim 1 or 13.

Bekannt ist das sogenannten „DCB-Verfahrens” (Direct-Copper-Bond-Technology) beispielsweise zum Verbinden von Metallschichten oder -blechen (z. B. Kupferblechen oder -folien) mit einander und/oder mit Keramik oder Keramikschichten, und zwar unter Verwendung von Metallblechen oder -folien, insbesondere auch solchen aus Kupfer oder Kupferlegierungen, die an ihren Oberflächenseiten eine Schicht oder einen Überzug aus einer chemischen Verbindung aus dem Metall und einem reaktiven Gas, bevorzugt Sauerstoff aufweisen. Bei diesem beispielsweise in der US-PS 37 44 120 oder in der DE-PS 23 19 854 beschriebenen Verfahren bildet diese Schicht oder dieser Überzug zusammen mit dem angrenzenden Metall ein Eutektikum (Aufschmelzschicht) mit einer Schmelztemperatur unter der Schmelztemperatur des Metalls (z. B. Kupfers), so dass durch Auflegen der Folie auf die Keramik und durch Erhitzen sämtlicher Schichten diese miteinander verbunden werden können, und zwar durch Aufschmelzen des Metalls bzw. Kupfers im wesentlichen nur im Bereich der Aufschmelzschicht bzw. Oxidschicht.For example, the so-called "DCB method" (Direct Copper Bond Technology) is known for connecting metal layers or sheets (eg, copper sheets or sheets) to each other and / or to ceramic or ceramic sheets using of metal sheets or foils, in particular also those of copper or copper alloys, which have on their surface sides a layer or a coating of a chemical compound of the metal and a reactive gas, preferably oxygen. In this example, in the US-PS 37 44 120 or in the DE-PS 23 19 854 As described, this layer or coating forms together with the adjacent metal a eutectic (melting layer) with a melting temperature below the melting temperature of the metal (eg copper), so that by placing the film on the ceramic and by heating all the layers together can be connected, by melting the metal or copper substantially only in the region of the reflow layer or oxide layer.

Dieses DCB-Verfahren weist dann z. B. folgende Verfahrensschritte auf:

  • • Oxidieren einer Metallfolie, z. B. Kupferfolie derart, das sich eine gleichmäßige Metall- oder Kupferoxidschicht ergibt;
  • • Auflegen der Metallfolie, beispielsweise Kupferfolie auf die Keramikschicht;
  • • Erhitzen des Verbundes auf eine Prozesstemperatur zwischen etwa 1025 bis 1083°C, z. B. auf ca. 1071°C;
  • • Abkühlen auf Raumtemperatur.
This DCB method then has z. B. the following steps:
  • • Oxidizing a metal foil, eg. B. copper foil such that gives a uniform metal or copper oxide layer;
  • • placing the metal foil, for example copper foil on the ceramic layer;
  • • Heating the composite to a process temperature between about 1025 to 1083 ° C, z. B. to about 1071 ° C;
  • • Cool to room temperature.

Substrate, die nach diesem Verfahren (nachstehend auch als „DCB-Bonden” bezeichnet) hergestellt wurden, werden nachfolgend als „DCB-Substrate” bezeichnet, und zwar unabhängig von dem für die Metallschichten oder -folien verwendeten Metall. Das Verfahren selbst wird nachfolgend als „DCB-Bonden” bezeichnet, und zwar unabhängig von dem für die Metallschichten oder -folien verwendeten Metall.Substrates prepared by this method (hereinafter also referred to as "DCB bonding") are hereinafter referred to as "DCB substrates", regardless of the metal used for the metal layers or foils. The process itself is hereinafter referred to as "DCB bonding", regardless of the metal used for the metal layers or foils.

Bekannt ist weiterhin das sogenannte Aktivlot-Verfahren ( DE 22 13 115 ; EP-A-153 618 ) z. B. zum Verbinden von Metallisierungen bildenden Metallschichten oder Metallfolien, insbesondere auch von Kupferschichten oder Kupferfolien mit Keramikmaterial. Bei diesem Verfahren, welches speziell auch zum Herstellen von Metall-Keramik-Substraten verwendet wird, wird bei einer Temperatur zwischen ca. 800–1000°C eine Verbindung zwischen einer Metallfolie, beispielsweise Kupferfolie, und einem Keramiksubstrat, beispielsweise Aluminiumnitrid-Keramik, unter Verwendung eines Hartlots hergestellt, welches zusätzlich zu einer Hauptkomponente, wie Kupfer, Silber und/oder Gold auch ein Aktivmetall enthält. Dieses Aktivmetall, welches beispielsweise wenigstens ein Element der Gruppe Hf, Ti, Zr, Nb, Ce ist, stellt durch chemische Reaktion eine Verbindung zwischen dem Lot und der Keramik her, während die Verbindung zwischen dem Lot und dem Metall eine metallische Hartlöt-Verbindung ist.Also known is the so-called active soldering method ( DE 22 13 115 ; EP-A-153 618 ) z. B. for joining metallizations forming metal layers or metal foils, in particular also of copper layers or copper foils with ceramic material. In this method, which is also used especially for the production of metal-ceramic substrates, at a temperature between about 800-1000 ° C, a connection between a metal foil, such as copper foil, and a ceramic substrate, such as aluminum nitride ceramic, using a brazing filler metal, which also contains an active metal in addition to a main component such as copper, silver and / or gold. This active metal, which is, for example, at least one element of the group Hf, Ti, Zr, Nb, Ce, establishes a chemical bond between the solder and the ceramic, while the bond between the solder and the metal is a metallic braze joint ,

Insbesondere für das Herstellen von Mehrschicht-Produkten bzw. für das dabei notwendige DCB-Bonden von Metall auf Metall und/oder Metall auf Keramik, aber auch für das Aktivlöten von Metall auf Keramik sowie zum Einbrennen von Dickfilm- oder Metalldickfilmpasten auf Substraten, insbesondere Keramiksubstraten werden üblicherweise Tunnelöfen verwendet. Dies umfassen u. a. ein einen langgestreckten tunnelartigen Ofenraum bildendes Ofengehäuse (auch Muffel genannt) sowie einen Transporteur mit einem Transportelement in Form eines flexiblen und hitzebeständigen Transportbandes zum transportieren des Behandlungsgutes durch den mit wenigstens einer Heizeinrichtung beheizten Ofenraum aufweisen. Das Transportband, welches aus einem hochtemperaturfesten metallischen Material besteht, bildet eine in sich geschlossene und umlaufend angetriebene Schlaufe und ist mit einer beispielsweise oberen Schlaufenlänge durch den Ofenraum hindurchgeführt und liegt mit dieser Schlaufenlänge gleitend auf innerhalb des Ofenraumes vorgesehenen Führungen auf. Der Antrieb des Transportbandes erfolgt derart, dass dieses mit seiner oberen Schlaufenlänge durch den Ofenraum gezogen wird. Hierbei wirken auf das Transportband allein schon zur Überwindung der Gleitreibung zwischen Transportband und Gleitführung erhebliche Zugkräfte ein. Diese führen u. a. zu einer ständigen Verlängerung oder Längung des Transportbandes, und zwar bei gleichzeitiger Verringerung der Breite dieses Bandes. Aus diesem Grund ist bei bekannten Tunnelöfen, insbesondere auch bei solchen, die für das DCB-Bonden oder Aktivlöten oder zum Einbrennen von Dickfilm- oder Metalldickfilmpasten verwendet werden, für das Transportband nur eine relativ kurze Standzeit erreichbar, d. h. es ist ein relativ häufiger Wechsel des Transportbandes erforderlich, was nicht nur durch den eigentlichen Austausch des Transportbandes, sondern auch durch die für das Abkühlen und wieder Aufheizen des Tunnelofens sowie für die Wiedereinstellung der benötigten Tunnelofenatmosphäre einen erheblichen Produktionsstillstand bedeutet. Hierbei ist zu berücksichtigen, dass speziell auch für das DCB-Bonden, Aktivlöten und Einbrennen von Dickfilm- oder Metalldickfilmpasten im Tunnelraum eine Schutzgasatmosphäre mit einem exakt eingestellten Sauerstoffanteil erforderlich ist, um die jeweilige Behandlung, d. h. das Bonden zu erreichen, insbesondere auch mit der angestrebten Qualität. Ein weiterer wesentlicher Nachteil bekannter Tunnelöfen besteht darin, dass durch die Gleitreibung zwischen dem Transportband und den Führungen des Tunnelofens sich eine nicht unerhebliche Belastung des Ofeninnenraumes und damit der dortigen Atmosphäre durch Abrieb erzeugter Partikel ergibt.In particular, for the production of multi-layer products or for the necessary DCB bonding of metal to metal and / or metal on ceramics, but also for the active soldering of metal on ceramic as well as for burning thick film or metal thick film pastes on substrates, in particular ceramic substrates usually tunnel ovens are used. These include, inter alia, an oven housing (also called a muffle) forming an elongated tunnel-like oven space and a conveyor having a transport element in the form of a flexible and heat-resistant conveyor belt for transporting the material to be treated through the furnace space heated by at least one heating device. The conveyor belt, which consists of a high-temperature-resistant metallic material, forms a self-contained and circumferentially driven loop and is passed with an example upper loop length through the furnace chamber and lies with this loop length slidably provided on within the furnace chamber guides. The drive of the conveyor belt is such that it is pulled with its upper loop length through the furnace chamber. In this case, considerable tensile forces act on the conveyor belt alone to overcome the sliding friction between conveyor belt and sliding guide. These lead inter alia to a continuous extension or elongation of the conveyor belt, while reducing the width of this band. For this reason, in known tunnel ovens, especially those used for DCB bonding or active soldering or for burning thick film or metal thick film pastes, for the conveyor belt only a relatively short life can be achieved, ie it is a relatively frequent change of Conveyor belt required, which means not only by the actual replacement of the conveyor belt, but also by the cooling and reheating of the tunnel kiln and for the reinstatement of the required tunnel kiln atmosphere a significant production downtime. It should be noted that especially for the DCB bonding, active soldering and burning of Dickfilm- or Metalldickfilmpasten in the tunnel room, a protective gas atmosphere with a precisely adjusted oxygen content is required to achieve the respective treatment, ie the bonding, especially with the desired Quality. One Another major disadvantage of known tunnel kilns is that due to the sliding friction between the conveyor belt and the guides of the tunnel kiln results in a significant burden of the furnace interior and thus the local atmosphere caused by abrasion particles.

Bekannt ist ein Transportsystem bzw. ein Transporteur für Tunnelöfen ( DE 20 2010 014 461 U1 ), dessen Transportelemente von einem Rollen-Adapter-System mit einer Vielzahl von aus einem keramischen Werkstoff gefertigten Rollen besteht. Die in einer Transportrichtung des Transporteurs aufeinander folgenden und voneinander beabstandeten Rollen bilden die Transportfläche, auf der das Behandlungsgut aufliegend durch den Tunnelofen bewegt wird. Nachteilig hierbei ist u. a., dass mit dem bekannten System eine vollflächige Auflage des Behandlungsgutes nicht möglich ist, sich dieses vielmehr durch räumlich versetzt an den Rollen abstützt. Keramische Gleitbahnen dienen zur Abstützung der Rollen.A transport system or a conveyor for tunnel kilns ( DE 20 2010 014 461 U1 ), whose transport elements consists of a roller adapter system with a plurality of rolls made of a ceramic material. The successive in a transport direction of the conveyor and spaced from each other rollers form the transport surface on which the material to be treated is moved lying on the tunnel kiln. The disadvantage here is, inter alia, that with the known system a full-surface edition of the material to be treated is not possible, this is supported by spatially offset on the rollers. Ceramic slideways serve to support the rollers.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen Tunnelofen aufzuzeigen, der die vorgenannten Nachteile vermeidet und insbesondere auch für das „Hochtemperatur-Bonden” von Mehrschichtprodukten geeignet ist. Zur Lösung dieser Aufgabe ist ein Tunnelofen entsprechend dem Patentanspruch 1 oder 13 ausgebildet.The object of the invention is to show a tunnel furnace, which avoids the aforementioned disadvantages and is particularly suitable for the "high-temperature bonding" of multi-layer products. To solve this problem, a tunnel furnace according to the patent claim 1 or 13 is formed.

Der Ausdruck „im Wesentlichen” bzw. „etwa” bedeutet im Sinne der Erfindung Abweichungen vom jeweils exakten Wert um +/–10%, bevorzugt um +/–5% und/oder Abweichungen in Form von für die Funktion unbedeutenden Änderungen.The expression "essentially" or "approximately" in the sense of the invention means deviations from the exact value by +/- 10%, preferably by +/- 5% and / or deviations in the form of changes that are insignificant for the function.

„Hochtemperatur-Bonden” bedeutet im Sinne der Erfindung ein Bonden oder Verbinden bei hoher Temperatur, d. h. bei einer Temperatur über 600°C."High-temperature bonding" in the context of the invention means a bonding or bonding at high temperature, d. H. at a temperature above 600 ° C.

„Mehrschichtprodukte” sind im Sinne der Erfindung solche Produkte, die aus wenigstens einem ersten Element aus Metall oder Keramik, beispielsweise in Form einer Metall- oder Keramikschicht oder Metall- oder Keramikplatte, und aus wenigsten einem zweiten Element aus Metall, beispielsweise in Form einer Metallschicht oder Metallplatte bestehen, wobei diese Elemente durch Hochtemperatur-Bonden mit einander verbunden sind."Multilayer products" in the sense of the invention are those products which consist of at least one first element made of metal or ceramic, for example in the form of a metal or ceramic layer or metal or ceramic plate, and at least one second element made of metal, for example in the form of a metal layer or metal plate, wherein these elements are connected by high-temperature bonding with each other.

„Vollflächige oder im Wesentlichen vollflächige Auflage” bedeutet im Sinne der Erfindung, dass das jeweilige Behandlungsgut mit seiner dem Transportelement unmittelbar benachbarten Seite vollflächig oder im Wesentlichen vollflächig auf dem Transportelement aufliegt."Full-surface or essentially full-surface support" in the sense of the invention means that the respective item to be treated, with its side immediately adjacent to the transport element, rests on the transport element over the entire surface or essentially over the entire surface.

In Weiterbildung der Erfindung ist der Tunnelofen beispielsweise so ausgebildet,
dass das Ofengehäuse den wenigstens einen Ofenraum zumindest an sämtlichen, sich in Transportrichtung erstreckenden Umfangsseiten gasdicht zu einer Umgebung hin verschließt,
und/oder
dass der Tunnelofen für ein DCB-Bonden von Metall mit Metall, beispielsweise von Metall- oder Kupferfolien mit Metall- oder Kupferfolien, oder für ein DCB-Bonden oder Aktivlöten von Metall mit Keramik, beispielsweise von Metall- oder Kupferfolien mit Keramik oder für das Einbrennen von Dickfilm- oder Metalldickfilmpasten ausgebildet ist,
und/oder
dass die Wälzkörper sowie vorzugsweise auch Lager und/oder Lagerwälzkörper und/oder Führungen für die Wälzkörper und/oder Lagerwälzkörper aus keramischem Werkstoff bestehen,
und/oder
dass die Transportelementgleitmittel von einer Vielzahl von Wälzkörpern in Form von Walzen gebildet sind, die in Transportrichtung aufeinander folgend eine Walzen- oder Rollenbahn für den Transporteur oder für das wenigstens eine Transportelement bilden,
und/oder
dass die Rollen oder Walzen aus dem keramischen Werkstoff in dem wenigstens einen Ofenraum an ebenfalls in dem wenigstens einen Ofenraum angeordneten Lagern, vorzugsweise mit Wälz- oder Kugellagern aus dem keramischen Werkstoff frei drehbar gelagert sind,
und/oder
dass die Wälz- oder Kugellager Lagerwälzkörper aufweisen, die unmittelbar gegen von den Walzen gebildete Lager- oder Laufflächen anliegen,
und/oder
dass die Wälz- oder Kugellager Lagerwälzkörper aufweisen, die frei, d. h. ohne einen Kugel- oder Wälzkörperkäfig zwischen der jeweiligen Walze und einer Lager- oder Lauffläche eines Lagerkörpers angeordnet sind,
und/oder
dass die Transportelementgleitmittel, insbesondere die Rollenbahn aus mehreren in Transportrichtung des Transporteurs an einander anschließenden Segmenten besteht, von denen jedes mehrere Wälzkörper, vorzugsweise Walzen und zugehörigen Lager mit Lagerwälzkörpern aufweist,
und/oder
dass die an zwei gegenüber liegenden Seiten eines Segments angeordneten Lagerkörper durch wenigstens eine vorzugsweise lösbare Halteklammer mit einander verbunden sind,
und/oder
dass die Transportelementgleitmittel von Rollen oder Walzen gebildet sind, die am Transporteur oder an dessen Transportelementen frei drehbar gelagert sind, und dass die Walzen oder Rollen aus dem keramischen Werkstoff bestehen und vorzugsweise mit ebenfalls aus dem keramischen Werkstoff gefertigten Führungen des Tunnelofens zusammenwirken,
und/oder
dass die Transportelemente Gleitmittel in Kugelführungen geführte Kugeln sind, auf denen sich der Transporteur oder das wenigstens eine Transportelement abstützt, und dass die Kugeln sowie vorzugsweise auch die Kugelführungen aus dem keramischen Werkstoff bestehen,
und/oder
dass Düsenöffnungen zum Einbringen eines gasförmigen Mediums vorgesehen sind, beispielsweise in Form eines Schutzgases und/oder in Form von Sauerstoff, in den wenigstens einen Ofenraum, wobei die Düsenöffnungen zumindest zum Teil an Führungen für die Transportelementgleitmittel bildenden Verteilerrohren, beispielsweise an die Kugelführungen bildenden Verteilerrohren vorgesehen sind,
und/oder
dass das Transportelement ein Transportband ist, welches eine in sich geschlossene und umlaufend antreibbare Schlaufe bildet und mit einer Schlaufenlänge durch den wenigstens einen Tunnelraum hindurchreicht,
und/oder
dass der Transporteur von mehreren aneinander anschließenden Transportelementen oder Aufnahmen gebildet ist, dass die Aufnahmen als nicht miteinander verbundene Einzelelemente von einem Tunnelofeneinlass an einen Tunnelofenauslass bewegt und vom Tunnelofenauslass an den Tunnelofeneinlass zurückgeführt werden, oder dass die Aufnahmen kettengliederartig miteinander zu einem umlaufenden Transportelement miteinander verbunden sind,
und/oder
dass die mit dem Transporteur oder mit dessen Transportelementen oder Aufnahmen von einem Tunnelofeneinlass an einen Tunnelofenauslass in den Kugelbahnen mitgeführten Kugeln von dem Tunnelofenauslass an den Tunnelofeneinlass zurückgeführt werden,
und/oder
dass die Düsen an wenigstens einem Verteilerrohr aus einem keramischen Werkstoff vorgesehen sind,
und/oder
dass der keramische Werkstoff Siliziumnitrid, Siliziumkarbid, Aluminiumoxid ist, wobei die vorgenannten Merkmale jeweils einzeln oder in beliebiger Kombination verwendet sein können.In a further development of the invention, the tunnel kiln, for example, is designed
the furnace housing seals the at least one furnace chamber in a gastight manner towards an environment at least at all circumferential sides extending in the transport direction,
and or
that the tunnel kiln for a DCB bonding of metal to metal, for example, metal or copper foils with metal or copper foils, or for a DCB bonding or active brazing of metal with ceramic, for example, metal or copper foils with ceramic or for baking is formed by thick-film or metal thick-film pastes,
and or
that the rolling elements and preferably also bearings and / or Lagerwälzkörper and / or guides for the rolling elements and / or Lagerwälzkörper consist of ceramic material,
and or
that the transport element sliding means are formed by a plurality of rolling elements in the form of rollers, which in the transport direction successively form a roller or roller track for the conveyor or for the at least one transport element,
and or
the rollers or rollers made of the ceramic material are freely rotatably mounted in the at least one furnace chamber on bearings likewise arranged in the at least one furnace chamber, preferably with rolling or ball bearings made of the ceramic material,
and or
that the rolling or ball bearings have bearing rolling bodies which bear directly against bearing or running surfaces formed by the rollers,
and or
that the rolling or ball bearings have bearing rolling bodies which are arranged freely, ie without a ball or roller cage between the respective roller and a bearing or running surface of a bearing body,
and or
that the transport element sliding means, in particular the roller conveyor, consists of a plurality of segments adjoining one another in the transport direction of the conveyor, each of which has a plurality of rolling elements, preferably rollers and associated bearings with bearing rolling elements,
and or
the bearing bodies arranged on two opposite sides of a segment are connected to one another by at least one preferably releasable retaining clip,
and or
that the Transportelementgleitmittel are formed by rollers or rollers which are freely rotatably mounted on the conveyor or on its transport elements, and that the rollers or rollers made of the ceramic material and preferably with also made of the ceramic material guides of the tunnel kiln,
and or
that the transport elements are lubricants guided in ball guides balls, on which the feed dog or the at least one transport element is supported, and that the balls and preferably also the ball guides are made of the ceramic material,
and or
that nozzle openings are provided for introducing a gaseous medium, for example in the form of an inert gas and / or in the form of oxygen, into the at least one furnace chamber, wherein the nozzle openings are provided at least partially on guides for the transport element sliding means forming manifolds, for example on the ball guides forming manifolds are,
and or
that the transport element is a conveyor belt, which forms a self-contained loop which can be driven in rotation and passes through the at least one tunnel space with a loop length,
and or
the conveyor is formed by a plurality of adjoining transport elements or receptacles such that the receptacles are moved as non-interconnected individual elements from a tunnel oven inlet to a tunnel oven outlet and returned from the tunnel oven outlet to the tunnel oven inlet, or the receptacles are connected to one another in a chain-link fashion to form a circulating transport element .
and or
in that the balls carried along with the transporter or with its transport elements or receptacles from a tunnel kiln inlet to a tunnel kiln outlet in the ball tracks are returned from the tunnel kiln outlet to the tunnel kiln inlet,
and or
that the nozzles are provided on at least one distributor tube of a ceramic material,
and or
the ceramic material is silicon nitride, silicon carbide, aluminum oxide, it being possible for the abovementioned features to be used individually or in any desired combination.

Weiterbildungen, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung ergeben sich auch aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen und aus den Figuren. Dabei sind alle beschriebenen und/oder bildlich dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination grundsätzlich Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Ansprüchen oder deren Rückbeziehung. Auch wird der Inhalt der Ansprüche zu einem Bestandteil der Beschreibung gemacht.Further developments, advantages and applications of the invention will become apparent from the following description of exemplary embodiments and from the figures. In this case, all described and / or illustrated features alone or in any combination are fundamentally the subject of the invention, regardless of their summary in the claims or their dependency. Also, the content of the claims is made an integral part of the description.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand der Figuren an Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:The invention will be explained in more detail below with reference to the figures of exemplary embodiments. Show it:

1 in vereinfachter Darstellung und im Schnitt ein durch Hochtemperatur-Bonden bzw. DCB-Bonden hergestelltes Metall-Keramik-Substrat; 1 in a simplified representation and in section a produced by high-temperature bonding or DCB bonding metal-ceramic substrate;

2 in schematischer Darstellung und im Längsschnitt einen Tunnelofen zum Herstellen des Metall-Keramik-Substrates; 2 in a schematic representation and in longitudinal section a tunnel furnace for producing the metal-ceramic substrate;

3 in schematischer Schnittdarstellung den Tunnelofen der 2; 3 in a schematic sectional view of the tunnel kiln of 2 ;

4 in vereinfachter Darstellung eine Draufsicht auf eine Rollenbahn zum Führen und Stützen des Transportelementes, zusammen mit einer Teildarstellung dieses Transportelementes; 4 in a simplified representation of a plan view of a roller conveyor for guiding and supporting the transport element, together with a partial view of this transport element;

5 in vergrößerter Darstellung die Lagerung einer der Rollen oder Walzen der Rollenbahn der 4; 5 in an enlarged view, the storage of one of the rollers or rollers of the roller conveyor of the 4 ;

6 eine Darstellung wie 5 bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung; 6 a representation like 5 in another embodiment of the invention;

7 und 8 in schematischer Darstellung ähnlich den 2 und 3 eine weitere Ausführungen des erfindungsgemäßen Behandlungs- oder Tunnelofens; 7 and 8th in a schematic representation similar to the 2 and 3 a further embodiments of the treatment or tunnel furnace according to the invention;

9 in schematischer Darstellung und im Längsschnitt eine weitere Ausführungsform der Erfindung; 9 in a schematic representation and in longitudinal section a further embodiment of the invention;

10 und 11 in vereinfachten Schnittdarstellungen die Transportelementgleitmittel des Tunnelofens der 9; 10 and 11 in simplified sectional views the Transportelementgleitmittel the tunnel kiln of 9 ;

12 in vereinfachter Darstellung eine Draufsicht auf eine Rollenbahn zum Führen und Stützen des Transportelementes entsprechend einer weiteren Ausführungsform der Erfindung; 12 in a simplified representation of a plan view of a roller conveyor for guiding and supporting the transport element according to a further embodiment of the invention;

13 eine Stirnansicht eines Rollenbahnsegmentes der Rollenbahn der 12; 13 an end view of a roller conveyor segment of the roller conveyor of 12 ;

14 in Einzeldarstellung und in Seitenansicht einen der Lagerkörper der Rollenbahn der 12; 14 in an individual view and in side view of the bearing body of the roller conveyor of the 12 ;

15 in vergrößerter Teildarstellung die Lagerung einer Rolle oder Walze der Rollenbahn der 12. 15 in an enlarged partial view, the storage of a roller or roller of the roller conveyor 12 ,

In den Figuren ist 1 ein Produkt in Form eines Metall-Keramik-Substrates, welche in bekannter Weise aus einer Keramikschicht 2, beispielsweise aus Aluminiumoxid, Aluminiumnitrid, Siliziumnitrid oder Aluminiumoxid mit Zirkonoxid sowie aus von Metallfolien 3, beispielsweise Kupferfolien gebildeten Metallisierungen besteht, die durch Hochtemperatur-Bonden, beispielsweise durch DCB-Bonden, an den beiden einander gegenüberliegenden Oberflächenseiten der Keramikschicht 2 vorgesehen sind,.In the figures is 1 a product in the form of a metal-ceramic substrate, which in a known manner from a ceramic layer 2 For example, from alumina, aluminum nitride, silicon nitride or alumina with zirconia and from metal foils 3 For example, formed by copper foils metallizations formed by high-temperature bonding, for example by DCB bonding, on the two opposite surface sides of the ceramic layer 2 are provided.

Zur Herstellung des Produktes 1 dient der in den 1–5 schematisch mit 4 bezeichnete Behandlungs- oder Tunnelofen, der u. a. ein beidendig offenes, langgestrecktes Ofengehäuse 5 (Muffel) mit Ofenraum 5.1 sowie einen Transporteur 6 aufweist, welcher bei der in den 2–5 dargestellten Ausführungsform in an sich bekannter Weise von einem eine geschlossene Schlaufe bildenden und hierfür über wenigstens zwei Umlenkungen 7 und 8 geführten Transportband 9 bebildet ist, welches mit seiner in den 2 und 3 oberen Länge durch den in geeigneter Weise, beispielsweise elektrisch oder aber mit einem gas- oder flüssigen Heizmedium beheizten Ofenraum 5.1 hindurchgeführt ist. Die Wandung des Ofengehäuses 5 besteht aus einem hochwärmefesten Stahl oder einer Nickel-Basislegierung. Die zum Beheizen des Ofenraumes 5.1 dienenden Heizelemente 10 sind außerhalb des Ofenraumes 5.1 vorgesehen und durch ihnen zugeordnete Thermosensoren gesteuert.For the production of the product 1 serves in the 1 - 5 schematically with 4 designated treatment or tunnel kiln, including a both-end open, elongated furnace housing 5 (Muffle) with oven room 5.1 as well as a transporter 6 which at the in the 2 - 5 illustrated embodiment in a conventional manner of a closed loop forming and this over at least two deflections 7 and 8th guided conveyor belt 9 is pictured, which with his in the 2 and 3 upper length by the suitably, for example, electrically or heated with a gas or liquid heating medium furnace space 5.1 passed through. The wall of the furnace housing 5 consists of a high heat-resistant steel or a nickel-based alloy. The for heating the oven room 5.1 serving heating elements 10 are outside the oven room 5.1 provided and controlled by them associated thermal sensors.

Das Transportelement 9 besteht aus einer Vielzahl von Kettenelementen oder -gliedern, die sowohl in Transportrichtung A aufeinander folgend als auch quer zur Transportrichtung A nebeneinander angeordnet und gelenkig miteinander verbunden sind, sodass sich das gitterartige, flexible Transportband 9 ergibt. Das Transportband 9, dessen Kettenglieder und Gelenke sind aus einem hochwärmefesten Stahl gefertigt.The transport element 9 consists of a plurality of chain elements or members, which are arranged side by side both in the transport direction A and transverse to the transport direction A and hinged together, so that the lattice-like, flexible conveyor belt 9 results. The conveyor belt 9 , whose links and joints are made of a high heat resistant steel.

Durch einen geeigneten Antrieb wird das Transportband 9 umlaufend so angetrieben, dass sich die jeweils obere Schlaufenlänge 9.1 in der in der 2 mit dem Pfeil A angegebenen Transportrichtung durch den Ofenraum 5.1 bewegt, und zwar von dem Einlass 4.1 an den Auslass 4.2 des Tunnelofens. Der Antrieb des Transportbandes 9 erfolgt über die Umlenkung 8, sodass die obere Schlaufenlänge 9.1 durch den Ofenraum 5.1 gezogen wird.By a suitable drive, the conveyor belt 9 driven in rotation so that the upper loop length 9.1 in the in the 2 indicated by the arrow A transport direction through the furnace chamber 5.1 moved, from the inlet 4.1 to the outlet 4.2 of the tunnel kiln. The drive of the conveyor belt 9 takes place via the diversion 8th so the top loop length 9.1 through the oven room 5.1 is pulled.

In den Ofenraum 5.1 münden an geeigneten Bereichen Düsen 14 zum Einbringen eines Schutzgases sowie insbesondere beim DCB-Bonden auch zum geregelten Einbringen von Sauerstoff oder eines Schutzgas-Sauerstoff-Gemisches mit geregeltem Sauerstoffanteil. Zum Herstellen der Produkte 1 wird das entsprechende Behandlungsgut 1.1, welches bei der dargestellten Ausführungsform jeweils von der Stapelanordnung bestehend aus den beiden Metallfolien 3 und der zwischen diesen angeordneten Keramikschicht 2 gebildet ist, am Ofeneinlauf 4.1 auf die obere eine horizontale Transportebene bildende Schlaufenlänge 9.1 aufgelegt und dann mit dem Transportband 9 durch den Ofenraum 5.1 bewegt. Das fertige Produkt 1 wird am Ofenauslauf 4.2 entnommen. Eine der beiden Umlenkungen 7 und 8 ist auch für ein Spannen oder Nachspannen des Transportbandes 9 ausgebildet.In the oven room 5.1 open at suitable areas nozzles 14 for introducing a protective gas and in particular for DCB bonding also for the controlled introduction of oxygen or an inert gas-oxygen mixture with regulated oxygen content. To manufacture the products 1 becomes the appropriate item to be treated 1.1 which in the illustrated embodiment in each case of the stack arrangement consisting of the two metal foils 3 and the ceramic layer disposed therebetween 2 is formed, at the kiln inlet 4.1 on the top of a horizontal transport plane forming loop length 9.1 put on and then with the conveyor belt 9 through the oven room 5.1 emotional. The finished product 1 is at the kiln outlet 4.2 taken. One of the two diversions 7 and 8th is also for a tensioning or tensioning of the conveyor belt 9 educated.

Zur Unterstützung der oberen Schlaufenlänge 9.1 nicht nur im Bereich des Ofeneinlaufs 4.1 und des Ofenauslaufs 4.2, sondern insbesondere auch im Ofenraum 5.1 sind Transportelementgleitmittel vorgesehen, die bei der in den 3–5 dargestellten Ausführungsform durch eine Vielzahl von Rollen oder Walzen 11.1 realisiert sind, die eine Rollenbahn 11 formen und jeweils frei drehbar im Ofengehäuse 5 oder an einem dortigen Maschinengestellt 12 beidendig gelagert sind. Die Walzen 11.1 sind mit ihren Achsen parallel zur horizontalen Transportebene des Transportbandes 9 sowie senkrecht zur Transportrichtung A orientiert.To support the upper loop length 9.1 not only in the area of the kiln inlet 4.1 and the oven spout 4.2 , but especially in the oven room 5.1 Transportelementgleitmittel are provided which in the in the 3 - 5 illustrated embodiment by a plurality of rollers or rollers 11.1 Realized are a roller conveyor 11 Shaping and freely rotatable in the oven housing 5 or placed on a machine there 12 are stored at both ends. The rollers 11.1 are with their axes parallel to the horizontal transport plane of the conveyor belt 9 and oriented perpendicular to the transport direction A.

Die obere Schlaufenlänge 9.1 bildet somit eine horizontale oder im Wesentlichen horizontale Transportebene für das Behandlungsgut 1.1 bzw. für das jeweilige Produkt 1.The upper loop length 9.1 thus forms a horizontal or substantially horizontal transport plane for the material to be treated 1.1 or for the respective product 1 ,

Zur Lagerung der Walzen 11.1 dienen Kugellager 13, die beispielsweise aus einem inneren Lagerring 13.1, aus einem äußeren Lagering 13.2 sowie aus einer Vielzahl von Kugeln 13.3 bestehen, die zwischen den Lagerringen 13.1 und 13.2 bzw. zwischen den dortigen Kugellaufflächen angeordnet sind. Zumindest die Walzen 11.1 sowie auch die Kugellager 13 einschließlich ihrer Lagerringe 13.1 und 13.2 sowie Kugeln 13.3 jeweils aus einem keramischen Material oder Werkstoff gefertigt, das nicht nur eine hohe Temperaturfestigkeit sondern auch eine hohe mechanische Festigkeit bei der maximalen Behandlungs- oder Bondtemperatur aufweist.For storage of rolls 11.1 serve ball bearings 13 , for example, from an inner bearing ring 13.1 , from an outer bearing ring 13.2 as well as a multitude of balls 13.3 exist between the bearing rings 13.1 and 13.2 or are arranged between the local ball treads. At least the rollers 11.1 as well as the ball bearings 13 including their bearing rings 13.1 and 13.2 as well as bullets 13.3 each made of a ceramic material or material, which not only has a high temperature resistance but also a high mechanical strength at the maximum treatment or bonding temperature.

Die obere Schlaufenlänge 9.1 liegt mit ihrer Unterseite auf den Walzen 11.1 bzw. auf den von diesen Walzen gebildeten Rollengang auf. Hierdurch wird die für das Bewegen des Transportbandes 9 erforderliche und von der Umlenkung 8 auf das Transportband 9 ausgeübte Zugkraft wesentlich reduziert. Insbesondere werden auch die Nachteile einer reinen Gleitführung des Transportbandes 9 innerhalb des Tunnelofens 4 vermieden, zumindest aber wesentlich reduziert. Dies bedeutet u. a. auch, dass ein die Qualität der hergestellten Produkte 1 möglicherweise beeinträchtigender und aus einer Gleitführung resultierender Abrieb zwischen dem Transportband 9 und einer Transportbandführung vermieden ist, und vor allem aber ein Austauschen des Transportbandes 9 wegen übermäßiger Längung dieses Transportbandes nicht mehr oder aber nur noch in wesentlich größeren Zeitintervallen erforderlich ist, d. h. mit der Erfindung ergibt sich eine wesentliche Erhöhung der Lebensdauer oder Standzeit des Transportbandes 9.The upper loop length 9.1 lies with its underside on the rollers 11.1 or on the roller conveyor formed by these rollers. As a result, the for moving the conveyor belt 9 required and from the diversion 8th on the conveyor belt 9 applied traction significantly reduced. In particular, the disadvantages of a pure sliding of the conveyor belt 9 inside the tunnel kiln 4 avoided, but at least significantly reduced. This means, among other things, that the quality of the manufactured products 1 possibly impairing and resulting from a sliding abrasion between the conveyor belt 9 and a conveyor belt guide is avoided, and above all, a replacement of the conveyor belt 9 because of excessive elongation of this conveyor belt no longer or only in much larger time intervals is required, ie with the invention results in a significant increase in the life or service life of the conveyor belt 9 ,

Die 6 zeigt in einer Darstellung ähnlich der 5 ein Kugellager 13a für die Walzen 11.1. Das Kugellager 13a unterscheidet sich von dem Kugellager 13 dadurch, dass der innere Ring 13.1 entfallen ist und die Kugeln 13.3 gegen die jeweilige Walze 11.1 unmittelbar anliegen. The 6 shows in a representation similar to the 5 a ball bearing 13a for the rollers 11.1 , The ball bearing 13a is different from the ball bearing 13 in that the inner ring 13.1 is eliminated and the bullets 13.3 against the respective roller 11.1 lie directly.

Die 7 und 8 zeigen als weitere Ausführungsform einen Tunnelofen 4a, der sich vom Tunnelofen 4 im Wesentlichen nur dadurch unterscheidet, dass der Transporteur 6b von einer Vielzahl von beispielsweise plattenförmigen oder im Wesentlichen plattenförmigen Aufnahmen 15 gebildet ist. Die Aufnahmen 15 sind jeweils mit mehreren Rollen 16 versehen, mit denen sich die Aufnahmen 15 auf Führungen 17 des Tunnelofens 4a abstützen. Zumindest zwischen dem Einlass 4a.1 und dem Auslass 4a.2 des Tunnelofens 4 schließen die einzelnen Aufnahmen 15 dicht aneinander an, sodass sie durch einen in der 7 durch den Pfeil 18 schematisch dargestellten Schubantrieb durch Schieben durch den Tunnelraum 5.1 in der Transportrichtung A bewegt werden, wobei sich die Rollen 16 jeweils auf den Führungen 17 abwälzen.The 7 and 8th show as another embodiment, a tunnel furnace 4a getting out of the tunnel kiln 4 essentially only different in that the transporter 6b of a plurality of, for example, plate-shaped or substantially plate-shaped receptacles 15 is formed. The pictures 15 are each with multiple roles 16 provided with which the shots 15 on guided tours 17 of the tunnel kiln 4a support. At least between the inlet 4a.1 and the outlet 4a.2 of the tunnel kiln 4 close the individual shots 15 close to each other, so that they through a in the 7 through the arrow 18 Shear drive shown schematically by pushing through the tunnel space 5.1 be moved in the transport direction A, with the rollers 16 each on the guides 17 roll off.

Das Behandlungsgut wird am Einlass 4a.1 auf die Aufnahmen 15 aufgelegt und das fertige Produkt 1 wird am Auslass 4a.2 von den Aufnahmen 15 abgenommen. Über eine in der 7 schematisch mit 19 bezeichnete Transportstrecke werden die Aufnahmen 15 in der Transportrichtung A' vom Auslass 4a.2 an den Einlass 4a zurückbewegt. Hierbei kann es zweckmäßig sein, dass die Transportstrecke 19 innerhalb eines gegenüber der Umgebung thermisch isolierten und/oder beheizten Innenraumes verläuft, wie dies in der 7 mit der unterbrochenen Linie 20 angedeutet ist, um ein zu starkes Abkühlen der Aufnahmen 15 während ihres Rücktransportes an den Einlass 4a.1 zu vermeiden.The material to be treated is at the inlet 4a.1 on the recordings 15 hung up and the finished product 1 will be at the outlet 4a.2 from the recordings 15 decreased. About one in the 7 schematically with 19 designated transport route are the shots 15 in the transport direction A 'from the outlet 4a.2 to the inlet 4a moved back. It may be appropriate that the transport route 19 within a thermally isolated from the environment and / or heated interior runs, as in the 7 with the broken line 20 is hinted to over-cooling the recordings 15 during their return to the inlet 4a.1 to avoid.

Grundsätzlich besteht aber auch die Möglichkeit, die Transportstrecke 19 durch einen weiteren dem Ofenraum 5.1 entsprechenden Ofenraum des Tunnelofens 4a oder eines gesonderten Tunnelofens zu führen, sodass auch die Transportstrecke 19 zur Herstellung der Produkte 1 aus dem Behandlungsgut 1.1 genutzt wird.Basically, there is also the possibility of the transport route 19 through another the oven room 5.1 corresponding furnace room of the tunnel kiln 4a or a separate tunnel kiln, so that the transport route 19 for the production of the products 1 from the material to be treated 1.1 is being used.

Die Rollen 16 sind beispielsweise jeweils von einem Kugellager gebildet. Zumindest die Rollen 16 und die Aufnahmen 15 bestehen aus dem hitzebeständigen und auch mechanisch hochfesten keramischen Werkstoff.The roles 16 For example, each formed by a ball bearing. At least the roles 16 and the recordings 15 consist of the heat-resistant and also mechanically high-strength ceramic material.

Vorstehend wurde davon ausgegangen, dass die Aufnahmen 15 getrennte Elemente sind. Selbstverständlich besteht auch die Möglichkeit, die Aufnahmen 15 über Gelenke gliederkettenartig zu einem eine geschlossene Schlaufe bildenden und umlaufend antreibbaren Transportelement zu verbinden.The above was assumed that the recordings 15 are separate elements. Of course, there is also the option of recording 15 To connect via joints chain-like to form a closed loop and circumferentially drivable transport element.

Die 9 und 10 zeigen als weitere Ausführungsform einen Tunnelofen 4b, bei dem die Transportelementgleitmittel von einer Vielzahl von Kugeln 21 in zwei parallelen und sich jeweils in Transportrichtung A erstreckenden Kugelführungen 22 gebildet sind. Der Transporteur 6b des Tunnelofens 4b ist auch bei dieser Ausführungsform wiederum von einer Vielzahl von Aufnahmen 23 gebildet, die beispielsweise plattenförmig oder im Wesentlichen plattenförmig ausgebildet sind. Zumindest zwischen dem Einlass 4b.1 und dem Auslass 4b.2 schließen die Aufnahmen 23 dicht aneinander an, sodass sie beispielsweise durch Schieben mit einem in der 9 schematisch mit dem Pfeil 24 angedeuteten Schubantrieb durch den Ofenraum 5.1 bewegt werden. Hierbei stützen sich die Aufnahmen 23 jeweils im Bereich ihrer beiden in Transportrichtung A orientierten Seiten auf den Kugeln 21 ab, die in den zugehörigen Kugelführungen 22 dicht aufeinander folgend vorgesehen sind, und die beim Bewegen der Aufnahmen 23 ebenfalls in dieser Transportrichtung von dem Einlass 4b1 an den Auslass 4b2 bewegt werden.The 9 and 10 show as another embodiment, a tunnel furnace 4b in which the transport element sliding means of a plurality of balls 21 in two parallel and each extending in the direction of transport A ball guides 22 are formed. The transporter 6b of the tunnel kiln 4b is again in this embodiment of a variety of shots 23 formed, which are for example plate-shaped or substantially plate-shaped. At least between the inlet 4b.1 and the outlet 4b.2 close the recordings 23 close to each other, so they, for example, by pushing with a in the 9 schematically with the arrow 24 indicated thrust drive through the oven room 5.1 to be moved. Here are the pictures based 23 each in the region of their two sides oriented in the direction of transport A on the balls 21 starting in the associated ball guides 22 are provided in close succession, and when moving the shots 23 also in this transport direction from the inlet 4b1 to the outlet 4b2 to be moved.

Zum Behandeln des Behandlungsgutes 1.1 wird jede Aufnahme 23 am Einlass 4b.1 auf die dortigen bereits mit einer Vielzahl von Kugeln 21 versehenen Abschnitte der Kugelführungen 23 aufgesetzt und dann das Behandlungsgut 1.1 auf die betreffende Aufnahme 23 aufgelegt. Das jeweils hergestellte Produkt 1 wird am Auslass 4b.2 von der Aufnahme 23 abgenommen. Danach wird die leere Aufnahme 23 von den Kugelführungen 22 abgenommen und über eine Transportstrecke 25 zusammen mit solchen Kugeln 21, die ebenfalls an den Auslass 4b.2 gelangt sind, an den Einlass 4b.1 zurückbewegt. Auf der Transportstrecke 25 liegen die Aufnahmen 23 beispielsweise ebenfalls auf mit den Kugeln 21 versehenen Kugelführungen auf. Analog zur Transportstrecke 19 verläuft auch die Transportstrecke 25 bevorzugt in einem gegenüber der Umgebung thermisch isolierten und/oder beheizten Raum 20 oder aber durch einen weiteren zum Herstellen der Produkte 1 genutzten Ofenraum des Tunnelofens 4b oder eines weiteren Tunnelofens. Die Kugeln 21 und die Kugelführungen 22 To treat the material to be treated 1.1 every recording 23 at the inlet 4b.1 to the local already with a variety of bullets 21 provided portions of the ball guides 23 put on and then the material to be treated 1.1 on the recording in question 23 hung up. The product produced in each case 1 will be at the outlet 4b.2 from the recording 23 decreased. After that, the empty shot 23 from the ball guides 22 taken off and on a transport route 25 together with such balls 21 , which also to the outlet 4b.2 have reached the inlet 4b.1 moved back. On the transport route 25 are the pictures 23 For example, also with the balls 21 provided on ball guides. Analogous to the transport route 19 also runs the transport route 25 preferably in a relation to the environment thermally insulated and / or heated room 20 or by another for producing the products 1 used furnace room of the tunnel kiln 4b or another tunnel kiln. The balls 21 and the ball guides 22

Entsprechend der 10 sind die beiden Kugelführungen 22 beispielsweise jeweils von zwei Rohren 26 gebildet, die parallel und geringfügig voneinander beabstandet mit ihrer Längserstreckung in Transportrichtung A bzw. A' orientiert und in geeigneter Weise an einem Rahmen 27 des Tunnelofens 4b befestigt sind. Die Rohre 27 dienen bevorzugt zugleich zum Zuführen des Schutzgases und/oder des Sauerstoffs und/oder des Schutzgas-Sauerstoff-Gemisches in den Ofenraum 5.1 und sind hierfür mit mehreren Düsenöffnungen 26.1 ausgebildet. Düsenöffnungen 26.1 befinden sich dabei bevorzugt auch an den einander zugewandten Umfangsbereichen der Rohre 26 mit dem zusätzlichen Vorteil, dass der zwischen den Rohren 26 gebildete Raum 28 durch das aus den dortigen Düsenöffnungen 26.1 austretende Gas durch Ausblasen gereinigt wird.According to the 10 are the two ball guides 22 for example, each of two tubes 26 formed, the parallel and slightly spaced from each other with its longitudinal extent in the transport direction A and A 'oriented and suitably on a frame 27 of the tunnel kiln 4b are attached. The pipes 27 preferably serve at the same time for supplying the protective gas and / or the oxygen and / or the protective gas-oxygen mixture in the furnace chamber 5.1 and are for this purpose with several nozzle openings 26.1 educated. orifices 26.1 are also preferably located at the mutually facing peripheral regions of the tubes 26 with the added benefit of being between the pipes 26 formed space 28 by that from the local nozzle openings 26.1 escaping gas is purified by blowing.

Zumindest die Kugeln 21 und die Kugelführungen 22 bzw. die diese bildenden Elemente, z. B. Rohre 26 bestehen aus dem hitzebeständigen und auch mechanisch hochfesten keramischen Werkstoff.At least the balls 21 and the ball guides 22 or the elements forming this, z. B. pipes 26 consist of the heat-resistant and also mechanically high-strength ceramic material.

Die 11 zeigt eine Ausführungsform, bei der die Transportelementgleitmittel, d. h. die Gleitmittel für die Aufnahmen 23 nicht von mechanischen Gleitmitteln, sondern von einem Druckgas gebildet sind. Hierfür sind entlang der Bewegungsbahn der Aufnahmen 23 und unterhalb der Aufnahmen 23 zwei Rohre 29 vorgesehen, die an ihrer den Aufnahmen 23 zugewandten Seite eine Vielzahl von Düsenöffnungen 29.1 bilden. Während des Betriebes des betreffenden Tunnelofens werden die Rohre 29 mit einem unter Druck stehenden Schutzgas oder Schutzgas-Sauerstoff-Gemisch beaufschlagt, sodass dieses Gas dann unter Druck aus den Düsenöffnungen 29.1 austritt und sich dadurch die Aufnahmen 23 im Bereich ihrer in Transportrichtung A orientierten Seiten auf einem von dem austretenden Druckgas gebildeten Druckgaspolster 30 abstützen. Die Rohre 29 bestehen wiederum bestehen aus dem hitzebeständigen und auch mechanisch hochfesten keramischen Werkstoff.The 11 shows an embodiment in which the Transportelementgleitmittel, ie the lubricant for the recordings 23 are not formed by mechanical lubricants, but by a pressurized gas. For this are along the trajectory of recordings 23 and below the recordings 23 two pipes 29 provided at her the shots 23 facing side a plurality of nozzle openings 29.1 form. During operation of the relevant tunnel kiln, the pipes become 29 subjected to a pressurized inert gas or inert gas-oxygen mixture, so that this gas then under pressure from the nozzle openings 29.1 exit and thereby the recordings 23 in the region of their oriented in the direction of transport A pages on a compressed gas cushion formed by the exiting compressed gas 30 support. The pipes 29 in turn, consist of the heat-resistant and mechanically high-strength ceramic material.

Die 12 und 13 zeigen das Transportsystem oder eine Transportstrecke 6c eines Tunnelofens, welche wiederum das Transportelement bzw. Transportband 9 und die die Transportelementgleitmittel für die obere Länge 9.1 des Transportbandes bildenden Rollenbahn 11c mit einer Vielzahl von in Transportrichtung A aufeinander folgenden Rollen oder Walzen 11c.1 aufweist. Diese sind mit ihren Walzenachsen horizontal oder im Wesentlichen horizontal sowie senkrecht zur Transportrichtung A orientiert und beidendig in Lagergehäusen 31 drehbar gelagert, die bei der dargestellten Ausführungsform jeweils leistenartig, mit ihrer Längserstreckung in Transportrichtung A orientiert ausgebildet sind. Das Transportband 9 besteht wiederum aus einer Vielzahl von Kettenelementen oder -gliedern, die sowohl in Transportrichtung A aufeinander folgend, als auch quer zur Transportrichtung A nebeneinander angeordnet und gelenkig miteinander verbunden sind, sodass sich ein gitterartiges, flexibles Transportband ergibt. Das Transportband 9 bzw. dessen Kettenglieder und Gelenke sind aus einem hoch temperatur- oder wärmefesten Material, bevorzugt aus einem entsprechenden Stahl hergestellt.The 12 and 13 show the transport system or a transport route 6c a tunnel kiln, which in turn the transport element or conveyor belt 9 and the transport element sliding means for the upper length 9.1 the conveyor belt forming roller conveyor 11c with a plurality of successive rollers or rollers in the direction of transport A. 11c.1 having. These are oriented with their roll axes horizontal or substantially horizontal and perpendicular to the transport direction A and both ends in bearing housings 31 rotatably mounted, which are formed in the illustrated embodiment, each strip-like oriented with its longitudinal extent in the transport direction A. The conveyor belt 9 in turn consists of a plurality of chain elements or members, which are arranged side by side both in the transport direction A, as well as transversely to the transport direction A and hinged together, so that there is a lattice-like, flexible conveyor belt. The conveyor belt 9 or its chain links and joints are made of a high-temperature or heat-resistant material, preferably made of a corresponding steel.

Die Walzen 11c.1 sind beidendig mit Lagern 32 um ihre Walzenachse frei drehbar in den Lagergehäusen 31 gelagert, und zwar kugellager- oder wälzlagerartig. Hierfür weist jedes Lager 32 mehrere Lagerwälzkörper 33 auf, die bei der dargestellten Ausführungsform Kugeln sind und jeweils unmittelbar gegen eine Wälz- oder Lagerfläche 34 der betreffenden Walze 11c.1 anliegen bzw. an dieser Lagerfläche 34 abrollen, die bei der dargestellten Ausführungsform jeweils von der Umfangsfläche eines im Querschnitt reduzierten Endes 11c.1.1 der betreffenden Walze 11c.1 gebildet ist. Weiterhin liegen die Lagerwälzkörper 33 gegen eine äußere Lagerfläche 35 des Lagerkörpers 31 an, die bei der dargestellten Ausführungsform jeweils von der Innenfläche einer im Lagerkörper 31 vorgesehenen Ausnehmung 36 gebildet ist. Die Lagerwälzkörper 33 wälzen sich somit unmittelbar auf der jeweiligen Walze 11c.1 bzw. dem Walzenabschnitt 11c.1.1 und der Innenfläche der betreffenden Lagerausnehmung 36 ab. Die Lager 32 weisen somit weder die bei Wälzlagern üblichen äußeren und inneren Laufringe, noch einen Käfig für die Lagerwälzkörper 33 auf.The rollers 11c.1 are both with camps 32 freely rotatable around its roller axis in the bearing housings 31 stored, and that ball bearing or roller bearing. For this purpose, each bearing 32 several Lagerwälzkörper 33 on, which are balls in the illustrated embodiment and each directly against a rolling or bearing surface 34 the roller concerned 11c.1 abutment or on this storage area 34 roll, which in the illustrated embodiment in each case by the peripheral surface of a reduced cross-section end 11c.1.1 the roller concerned 11c.1 is formed. Furthermore, the Lagerwälzkörper 33 against an outer bearing surface 35 of the bearing body 31 in the illustrated embodiment in each case of the inner surface of a bearing body 31 provided recess 36 is formed. The Lagerwälzkörper 33 thus roll directly on the respective roller 11c.1 or the roller section 11c.1.1 and the inner surface of the respective bearing recess 36 from. Camps 32 Thus, neither the usual in rolling bearings outer and inner races, nor a cage for the Lagerwälzkörper 33 on.

Da die Lagerfläche 34 jeweils von der Umfangsfläche des im Querschnitt reduzierten Endes 11c.1.1 der betreffenden Walze 11c.1 und teilweise auch an dem Übergang vom größeren Walzendurchmesser zu dem reduzierte Walzenende 11c.1.1 gebildet ist, wird auch eine axiale Abstützung für die Lagerwälzkörper 33 an den Walzen 11c.1 erreicht, so dass bei der ebenfalls axialen Abstützung der Lagerwälzkörper an den Lagerkörpern 31 bzw. in den Lageröffnungen 36 die Lager 32 nicht nur als Radiallager, sondern auch als Axiallager wirken. Zumindest die Walzen 11c.1 und die Lagerwälzkörper 33 bestehen aus einem hitzebeständigen und auch mechanisch hochfesten keramischer Werkstoff. Die Lagerkörper 31 sind beispielsweise aus einem hoch temperaturfestem Material, beispielsweise Stahl oder aber ebenfalls aus dem hitzebeständigen und auch mechanisch hochfesten keramischen Werkstoff gefertigt.Because the storage area 34 each of the peripheral surface of the reduced cross-section end 11c.1.1 the roller concerned 11c.1 and partly also at the transition from the larger roll diameter to the reduced roll end 11c.1.1 is formed, is also an axial support for the Lagerwälzkörper 33 on the rollers 11c.1 achieved, so that in the likewise axial support of Lagerwälzkörper to the bearing bodies 31 or in the bearing openings 36 camps 32 not only as a radial bearing, but also act as a thrust bearing. At least the rollers 11c.1 and the Lagerwälzkörper 33 consist of a heat-resistant and mechanically high-strength ceramic material. The bearing bodies 31 are made for example of a high temperature resistant material, such as steel or else also of the heat-resistant and mechanically high-strength ceramic material.

Eine weitere Besonderheit der Rollenbahn 11c besteht darin, dass sie sich aus mehreren in Transportrichtung aufeinander folgenden Rollenbahnsegmenten 37 zusammen setzt, die jeweils zwei Lagerkörper 31 an den beiden Längsseiten des jeweiligen Segmentes 37 sowie mehreren in diesen Lagerkörpern 31 in der vorstehend beschriebenen Weise gelagerten Walzen 11c bestehen. Bei der Montage des Transportsystems oder der Transportstrecke 6c werden diese Segmente vor dem Montieren des Transportbandes 9 von wenigstens einem Ende des Tunnelofen her nacheinander in diesen eingeschoben, und zwar im vormontiertem Zustand. Um dabei die Lagerkörper 31, die Walzen 11c.1 und die Elemente der Lager 32 zusammen zu halten, d. h. den vormontierten Zustand des betreffenden Segmentes 37 zu sichern, weist jedes Segment 37 wenigstens ein z. B. aus einem hitzebeständigen Metall, Halteelement 38 auf, das als Montagehilfe dient und sich an der Unterseite des betreffenden Segmentes 37 zwischen den beiden Lagerkörpern 31 erstreckt und diese jeweils mit einem abgewinkelten Abschnitt 38.1 hintergreift. Die Halteelemente 38 verbleiben beispielsweise im Tunnelofen, bevorzugt werden sie aber beim Einschieben des jeweiligen Segmentes 37 entfernt. Die Montage der Segmente 37 am Tunnelofen erfolgt dann so, dass jedes Segment 37 zunächst zumindest soweit in den Tunnelofen 4c eingeschoben wird, dass die Lagerkörper 31 mit ihren den Walzen 11c.1 abgewandten Außenseiten gegen Abstützelemente 39 zur Anlage kommen, die im Tunnelofen für eine ordnungsgemäße Positionierung der Segmente 37 erforderlich sind. Im Anschluss daran kann das Halteelement 38 bereits von dem Segment 37 gelöst und dieses dann vollständig in den Tunnelofen eingeschoben, in dem der Zusammenhalt der Segmente 37 durch die Abstützelemente 39 gewährleistet ist. Bei entsprechender Ausbildung der Halteelemente 38 können diese auch nach jeweils vollständiger Montage eines Segments 37 von diesem abgenommen werden. Die Halteelemente 38 sind beispielsweise Haltebleche oder Halteklammern, z. B. aus Federstahl.Another special feature of the roller conveyor 11c is that they consist of several successive in the transport direction roller conveyor segments 37 put together, each two bearing bodies 31 on the two longitudinal sides of the respective segment 37 as well as several in these bearing bodies 31 Rollers supported in the manner described above 11c consist. When installing the transport system or the transport route 6c These segments are before mounting the conveyor belt 9 inserted one after the other into at least one end of the tunnel kiln, in the preassembled state. To keep the bearing body 31 , the rollers 11c.1 and the elements of the bearings 32 hold together, ie the pre-assembled state of the relevant segment 37 secure, assigns each segment 37 at least one z. B. made of a heat-resistant metal, holding element 38 on, which serves as an assembly aid and located at the bottom of the relevant segment 37 between the two bearing bodies 31 extends and these each with an angled section 38.1 engages behind. The holding elements 38 remain, for example, in the tunnel kiln, but they are preferred when inserting the respective segment 37 away. The assembly of the segments 37 The tunnel kiln is then made so that each segment 37 at least as far as the tunnel kiln 4c is inserted, that the bearing body 31 with their rollers 11c.1 opposite outer sides against supporting elements 39 come to rest in the tunnel kiln for proper positioning of the segments 37 required are. Following this, the retaining element 38 already from the segment 37 and then this completely inserted into the tunnel furnace, in which the cohesion of the segments 37 through the support elements 39 is guaranteed. With appropriate design of the retaining elements 38 You can also do this after each complete assembly of a segment 37 be removed from this. The holding elements 38 For example, holding plates or retaining clips, z. B. spring steel.

Vorstehend wurde davon ausgegangen, dass die von den Segmenten 37 gebildete Rollenbahn 11c als Transportelementgleitmittel für das Transportband 9 dient, grundsätzlich besteht aber auch die Möglichkeit, anstelle des Transportbandes 9 plattenförmige Aufnahmen oder Transportelemente vorzusehen, wie dies in der 15 bei 40 dargestellt ist, die dann beispielsweise in Transportrichtung A unmittelbar aneinander anschließend auf der Rollenbahn 11c durch den Tunnelofen 4c geschoben werden und auf denen das jeweilige Behandlungsgut 1.1 für ein DCB-Bonden oder Aktivlöten angeordnet ist.It was assumed above that of the segments 37 formed roller conveyor 11c as Transportelementgleitmittel for the conveyor belt 9 serves, but in principle it is also possible, instead of the conveyor belt 9 provide plate-shaped receptacles or transport elements, as shown in the 15 at 40 is shown, which then, for example, in the transport direction A immediately adjacent to each other on the roller conveyor 11c through the tunnel kiln 4c be pushed on and on which the respective item to be treated 1.1 for DCB bonding or active soldering.

Behandlungsgut 1.1 besteht beispielsweise wiederum aus der Keramikschicht 2 und den Metallfolien 3 an den beiden Oberflächenseiten der Keramikschicht 2. Um ein unerwünschtes Verbinden der unteren Metallfolie 3 mit dem aus einem mechanisch hoch festen keramischen Werkstoff bestehenden Transportelementen oder Aufnahmen 40 zu vermeiden, sind diese zumindest an ihrer Oberseite mit einer Trennschicht 41 versehen, die beispielsweise mit einer hohen Porosität aus keramischen Material hergestellt ist, z. B. aus Mullit und/oder Al2O3 und/oder TiO3 und/oder ZrO2 und/oder MgO und/oder CaO und/oder CaCO2.treated 1.1 For example, once again consists of the ceramic layer 2 and the metal foils 3 on the two surface sides of the ceramic layer 2 , To unwanted joining the lower metal foil 3 with the transport elements or receptacles consisting of a mechanically high-strength ceramic material 40 To avoid these are at least on their top with a release layer 41 provided, which is made for example with a high porosity of ceramic material, for. Example of mullite and / or Al2O3 and / or TiO3 and / or ZrO2 and / or MgO and / or CaO and / or CaCO2.

Als hitzebeständiger und auch mechanisch hochfester keramischer Werkstoff, d. h. als keramischer Werkstoff, welcher nicht nur bei der maximalen Behandlungstemperatur stabil ist, sondern bei dieser Temperatur auch die erforderliche mechanische Festigkeit aufweist, eignet sich bei sämtlichen vorbeschriebenen Ausführungsformen vorzugsweise eine Keramik mit niedrigem thermischen Ausdehnungskoeffizienten, beispielsweise wenigstens eine Keramik aus der Gruppe SiC, Si3N4, Al2O3, AlN, BN, B4C, B-SiC, Si-SiC, N-SiC und/oder Mullit. Dieser keramische Werkstoff ist insbesondere für die Walzen 11.1 und deren Lager 13 bzw. 13a, die Aufnahmen 15 und deren Rollen 16, die Führungen 17, die Kugeln 21, Kugelführungen 22 und die Rohre 29 geeignet.As a heat-resistant and mechanically high-strength ceramic material, ie as a ceramic material which is not only stable at the maximum treatment temperature, but at this temperature also has the required mechanical strength, is suitable in all the above-described embodiments, preferably a ceramic with low thermal expansion coefficient, for example at least one ceramic from the group SiC, Si3N4, Al2O3, AlN, BN, B4C, B-SiC, Si-SiC, N-SiC and / or mullite. This ceramic material is especially for the rolls 11.1 and their camps 13 respectively. 13a taking pictures 15 and their roles 16 , the guides 17 , the balls 21 , Ball guides 22 and the pipes 29 suitable.

Allen Ausführungen ist aber gemeinsam, dass das Transportelement eine ebene oder im Wesentlichen ebene und/oder vollflächige oder im Wesentlichen vollflächige Auflage für das Behandlungsgut 1.1 bildet und sich die Transportelementgleitmittel im Bereich des Ofenraumes 5.1 ausschließlich im Inneren dieses Ofenraum 5.1 befinden und keine Elemente der Transportelementgleitmittel aus dem Ofenraum 5.1 herausgeführt sind, sodass sich mit Ausnahme des Einlasses 4.1, 4a.1 oder 4b.1 und des Auslasses 4.2, 4a.2 bzw. 4b.2 ein nach Außen hin geschlossener Ofenraum 5.1 ergibt und Öffnungen in der Wandung bzw. in dem Ofengehäuse 5 vermieden sind, durch welche Umgebungsluft in den Ofenraum 5.1 eintreten und/oder Schutzgas oder Schutzgas-Sauerstoff-Gemisch aus dem Ofenraum 5.1 austreten könnte.However, all embodiments have in common that the transport element a flat or substantially flat and / or full-surface or substantially full-surface support for the material to be treated 1.1 forms and the Transportelementgleitmittel in the area of the furnace chamber 5.1 only inside this oven room 5.1 are located and no elements of Transportelementgleitmittel from the oven room 5.1 are led out, so except for the inlet 4.1 . 4a.1 or 4b.1 and the outlet 4.2 . 4a.2 respectively. 4b.2 an oven room closed to the outside 5.1 yields and openings in the wall or in the oven housing 5 are avoided, by which ambient air into the furnace chamber 5.1 enter and / or protective gas or inert gas-oxygen mixture from the furnace chamber 5.1 could escape.

Die Erfindung wurde voranstehend an verschiedenen Ausführungsformen beschrieben. Es versteht sich, dass weitere Änderungen und Abwandlungen möglich sind, ohne dass dadurch der der Erfindung zugrunde liegende Erfindungsgedanke verlassen wird.The invention has been described above in various embodiments. It is understood that further changes and modifications are possible without thereby departing from the inventive concept underlying the invention.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Produktproduct
1.11.1
Behandlungsguttreated
22
Keramikceramics
33
Metallfoliemetal foil
4, 4a, 4b, 4c4, 4a, 4b, 4c
Tunnelofentunnel kiln
4.1, 4a.1, 4b.14.1, 4a.1, 4b.1
Einlassinlet
4.2, 4a.2, 4b.24.2, 4a.2, 4b.2
Auslassoutlet
55
Ofengehäusen oder MuffelOven casings or muffle
5.15.1
Ofenraumfurnace
6, 6a, 6b, 6c, 6d6, 6a, 6b, 6c, 6d
Transportstrecketransport distance
7, 87, 8
Umlenkungredirection
9, 9a, 9b9, 9a, 9b
Transportelementtransport element
9.19.1
obere Schlaufenlänge des Transportelementes 9 upper loop length of the transport element 9
1010
Heizeinrichtungheater
11, 11c11, 11c
Rollenbahnroller conveyor
11.1, 11c.111.1, 11c.1
Walzeroller
11c.1.111c.1.1
Walzenenderoll end
1212
Maschinengestellmachine frame
13, 13a13, 13a
Kugellagerball-bearing
13.1, 13.213.1, 13.2
Lagerringbearing ring
13.313.3
KugelBullet
1414
Düsejet
1515
Aufnahmeadmission
1616
Rollerole
17 17
Führungguide
1818
Antriebdrive
1919
Transportstrecketransport distance
2020
geschützter Raumprotected space
2121
KugelBullet
2222
Kugelführungball guide
2323
Aufnahmeadmission
2424
Antriebdrive
2525
Transportstrecketransport distance
2626
Rohrpipe
26.126.1
Düsenöffnungnozzle opening
2727
Maschinenrahmenmachine frame
2828
Zwischenraumgap
2929
Rohrpipe
29.129.1
Düsenöffnungnozzle opening
3030
DruckgaspolsterPressure gas cushion
3131
Lagerkörperbearing body
3232
Lagercamp
3333
Lagerwälzkörperbearing roller
34, 3534, 35
Lagerflächestorage area
3636
Ausnehmung oder LageröffnungRecess or bearing opening
3737
Segmentsegment
3838
Halteelement oder MontagehilfeRetaining element or mounting aid
38.138.1
Abschnitt der HalteklammerSection of the retaining clip
3939
ofenseitiges Abstützelementoven-side support element
4040
Transportelement oder AufnahmeTransport element or recording
4141
TrennschichtInterface
A, A'A, A '
Transportrichtungtransport direction

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • US 3744120 [0002] US 3744120 [0002]
  • DE 2319854 [0002] DE 2319854 [0002]
  • DE 2213115 [0005] DE 2213115 [0005]
  • EP 153618 A [0005] EP 153618 A [0005]
  • DE 202010014461 U1 [0007] DE 202010014461 U1 [0007]

Claims (18)

Tunnelofen für eine Hitzebehandlung von Behandlungsgut (1.1), insbesondere zum Herstellen von Mehrschichtprodukten (1) und/oder zum Einbrennen von Dickfilm- oder Metalldickfilmpasten, mit einem wenigstens einen tunnelartigen Ofenraum (5.1) bildenden Ofengehäuse (5), mit wenigstens einer Heizeinrichtung (10) zum Beheizen des wenigstens einen Ofenraumes (5.1) sowie mit wenigstens einem Transporteur (6, 6a, 6b) mit mindestens einem Transportelement (9, 15, 23, 40), mit dem das Behandlungsgutes (1.1) in einer Transportrichtung (A) durch den wenigstens einen Ofenraum (5.1) transportiert wird, mit zwischen dem wenigstens einen Transporteur (6, 6a, 6b, 6c, 6d) und dem Tunnelofen (4, 4a, 4b, 4c) wirkenden Transportelementgleitmitteln (11.1, 16, 21, 30) zur Abstützung des Transporteurs (6, 6a, 6b, 6c, 6d), und mit drehbar und/oder abwälzbaren Lager- oder Stützelementen oder Wälzkörpern (11.1, 11c.1, 16, 21), dadurch gekennzeichnet, dass das wenigstens eine Transportelement (9, 15, 23, 40) zumindest eine ebene oder im Wesentlichen ebene und/oder vollflächige oder im Wesentlichen vollflächige Auflage für das jeweilige Behandlungsgut (1.1) bildet, und dass die drehbar und/oder abwälzbaren Lager- oder Stützelementen oder Wälzkörper (11.1, 11c.1, 16, 21) die Transportelementgleitmitteln bilden.Tunnel kiln for a heat treatment of material to be treated ( 1.1 ), in particular for producing multilayer products ( 1 ) and / or for baking thick-film or metal thick-film pastes, with at least one tunnel-like oven chamber ( 5.1 ) forming furnace housing ( 5 ), with at least one heating device ( 10 ) for heating the at least one furnace space ( 5.1 ) as well as with at least one transporter ( 6 . 6a . 6b ) with at least one transport element ( 9 . 15 . 23 . 40 ), with which the material to be treated ( 1.1 ) in a transport direction (A) through the at least one furnace space ( 5.1 ) is transported between the at least one conveyor ( 6 . 6a . 6b . 6c . 6d ) and the tunnel kiln ( 4 . 4a . 4b . 4c ) acting transport element lubricants ( 11.1 . 16 . 21 . 30 ) for supporting the transporter ( 6 . 6a . 6b . 6c . 6d ), and with rotatable and / or rollable bearing or support elements or rolling elements ( 11.1 . 11c.1 . 16 . 21 ), characterized in that the at least one transport element ( 9 . 15 . 23 . 40 ) at least one flat or substantially planar and / or full-surface or substantially full-surface support for the respective item to be treated ( 1.1 ), and that the rotatable and / or rollable bearing or support elements or rolling elements ( 11.1 . 11c.1 . 16 . 21 ) form the Transportelementgleitmitteln. Tunnelofen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Ofengehäuse (5) den wenigstens einen Ofenraum (5.1) zumindest an sämtlichen, sich in Transportrichtung (A) erstreckenden Umfangsseiten gasdicht zu einer Umgebung hin verschließt.Tunnel kiln according to claim 1, characterized in that the kiln housing ( 5 ) the at least one furnace space ( 5.1 ) At least at all, in the transport direction (A) extending peripheral sides gas-tightly closes to an environment. Tunnelofen nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Tunnelofen (4, 4a, 4b, 4c) für ein DCB-Bonden von Metall mit Metall, beispielsweise von Metall- oder Kupferfolien mit Metall- oder Kupferfolien, oder für ein DCB-Bonden oder Aktivlöten von Metall mit Keramik, beispielsweise von Metall- oder Kupferfolien mit Keramik oder für das Einbrennen von Dickfilm- oder Metalldickfilmpasten ausgebildet ist.Tunnel kiln according to claim 1 or 2, characterized in that the tunnel kiln ( 4 . 4a . 4b . 4c ) for DCB bonding of metal to metal, for example metal or copper foils to metal or copper foils, or for DCB bonding or active brazing of metal to ceramic, for example, metal or copper foils with ceramic or for thick film burn-in - or metal thick film pastes is formed. Tunnelofen nach einem der Ansprüche 1–3, dadurch gekennzeichnet, dass die Wälzkörper (11.1, 11c.1, 16, 21) sowie vorzugsweise auch Lager (13, 13a, 32) und/oder Führungen (17, 22) für die Wälzkörper (11.1, 11c.1, 16, 21) aus keramischem Werkstoff bestehen.Tunnel kiln according to one of claims 1-3, characterized in that the rolling bodies ( 11.1 . 11c.1 . 16 . 21 ) and preferably also bearings ( 13 . 13a . 32 ) and / or guided tours ( 17 . 22 ) for the rolling elements ( 11.1 . 11c.1 . 16 . 21 ) consist of ceramic material. Tunnelofen nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportelementgleitmittel von einer Vielzahl von Wälzkörpern in Form von Walzen (11.1, 11c.1) gebildet sind, die in Transportrichtung (A) aufeinander folgend eine Walzen- oder Rollenbahn (11, 11c) für den Transporteur (6, 6a, 6b, 6c, 6d) oder für das wenigstens eine Transportelement (9, 15, 23, 40) bilden, und dass die Rollen oder Walzen (11.1, 11c.1) aus dem keramischen Werkstoff in dem wenigstens einen Ofenraum (5.1) an ebenfalls in dem wenigstens einen Ofenraum (5.1) angeordneten Lagern (13, 13a, 32), vorzugsweise mit Wälz- oder Kugellagern aus dem keramischen Werkstoff frei drehbar gelagert sind.Tunnel kiln according to claim 4, characterized in that the transport element sliding means of a plurality of rolling elements in the form of rollers ( 11.1 . 11c.1 ) are formed in the transport direction (A) successively a roller or roller conveyor ( 11 . 11c ) for the transporter ( 6 . 6a . 6b . 6c . 6d ) or for the at least one transport element ( 9 . 15 . 23 . 40 ) and that the rollers or rollers ( 11.1 . 11c.1 ) of the ceramic material in the at least one furnace chamber ( 5.1 ) also in the at least one furnace space ( 5.1 ) ( 13 . 13a . 32 ), are preferably freely rotatably mounted with rolling or ball bearings of the ceramic material. Tunnelofen nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Wälz- oder Kugellager (32) Lagerwälzkörper (33) aufweisen, die unmittelbar gegen von den Walzen (11c.1) gebildete Lager- oder Laufflächen (34) anliegen, wobei Lager- oder Laufflächen (34) vorzugsweise jeweils an einem im Querschnitt reduzierte Walzenende (11c.1.1) und/oder an einem Übergang zu dem reduzierte Walzenende (11c.1.1) gebildet sind.Tunnel kiln according to claim 5, characterized in that the rolling or ball bearings ( 32 ) Bearing Rolling Body ( 33 ) directly against the rollers ( 11c.1 ) formed bearing or running surfaces ( 34 ) bearing or bearing surfaces ( 34 ) preferably each at a reduced in cross-section roll end ( 11c.1.1 ) and / or at a transition to the reduced roll end ( 11c.1.1 ) are formed. Tunnelofen nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Wälz- oder Kugellager (32) Lagerwälzkörper (33) aufweisen, die frei, d. h. ohne einen Kugel- oder Wälzkörperkäfig zwischen der jeweiligen Walze (11c.1) und einer Lager- oder Lauffläche (35) eines Lagerkörpers (31) angeordnet sind.Tunnel kiln according to claim 5 or 6, characterized in that the rolling or ball bearings ( 32 ) Bearing Rolling Body ( 33 ), which is free, ie without a ball or Wälzkörperkäfig between the respective roller ( 11c.1 ) and a bearing or tread ( 35 ) of a bearing body ( 31 ) are arranged. Tunnelofen nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportelementgleitmittel, insbesondere die Rollenbahn (11c) aus mehreren in Transportrichtung (A) des Transporteurs (6c, 6d) an einander anschließenden Segmenten (37) besteht, von denen jedes mehrere Wälzkörper, vorzugsweise Walzen (11c.1) und zugehörigen Lager (32) mit Lagerwälzkörpern (33) aufweist.Tunnel kiln according to one of the preceding claims, characterized in that the transport element sliding means, in particular the roller conveyor ( 11c ) of several in the transport direction (A) of the transporter ( 6c . 6d ) on adjacent segments ( 37 ), each of which has a plurality of rolling elements, preferably rollers ( 11c.1 ) and associated bearings ( 32 ) with bearing rolling elements ( 33 ) having. Tunnelofen nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die an zwei gegenüber liegenden Seiten eines Segments (37) angeordneten Lagerkörper (31) durch wenigstens eine Montagehilfe oder durch wenigstens ein vorzugsweise lösbares Halteelement (38) mit einander verbunden sind.Tunnel kiln according to claim 8, characterized in that on two opposite sides of a segment ( 37 ) arranged bearing body ( 31 ) by at least one mounting aid or by at least one preferably releasable retaining element ( 38 ) are connected to each other. Tunnelofen nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportelementgleitmittel von Rollen oder Walzen (16) gebildet sind, die am Transporteur (6a) oder an dessen Transportelementen (15) frei drehbar gelagert sind, und dass die Walzen oder Rollen (16) aus dem keramischen Werkstoff bestehen und vorzugsweise mit ebenfalls aus dem keramischen Werkstoff gefertigten Führungen (17) des Tunnelofens (4a) zusammenwirken.Tunnel kiln according to one of the preceding claims, characterized in that the transport element sliding means of rollers or rollers ( 16 ) formed at the conveyor ( 6a ) or on its transport elements ( 15 ) are freely rotatably mounted, and that the rollers or rollers ( 16 ) consist of the ceramic material and preferably with also made of the ceramic material guides ( 17 ) of the tunnel kiln ( 4a ) interact. Tunnelofen nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportelemente Gleitmittel in Kugelführungen (22) geführte Kugeln (21) sind, auf denen sich der Transporteur (6b) oder das wenigstens eine Transportelement (23) abstützt, und dass die Kugeln sowie vorzugsweise auch die Kugelführungen (22) aus dem keramischen Werkstoff bestehen.Tunnel kiln according to one of the preceding claims, characterized in that the transport elements lubricant in ball guides ( 22 ) guided balls ( 21 ) on which the carrier ( 6b ) or the at least one transport element ( 23 ) and that the balls as well preferably also the ball guides ( 22 ) consist of the ceramic material. Tunnelofen nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch Düsenöffnungen (14, 26.1, 29.1) zum Einbringen eines gasförmigen Mediums, beispielsweise in Form eines Schutzgases und/oder in Form von Sauerstoff, in den wenigstens einen Ofenraum (5.1), wobei die Düsenöffnungen (26.1) zumindest zum Teil an Führungen für die Transportelementgleitmittel bildenden Verteilerrohren (26, 29), beispielsweise an die Kugelführungen (22) bildenden Verteilerrohren vorgesehen sind.Tunnel kiln according to one of the preceding claims, characterized by nozzle openings ( 14 . 26.1 . 29.1 ) for introducing a gaseous medium, for example in the form of a protective gas and / or in the form of oxygen, into the at least one furnace chamber ( 5.1 ), wherein the nozzle openings ( 26.1 ) at least partially on guides for the Transportelementgleitmittel forming manifolds ( 26 . 29 ), for example to the ball guides ( 22 ) forming distribution pipes are provided. Tunnelofen für eine Hitzebehandlung von Behandlungsgut (1.1), insbesondere zum Herstellen von Mehrschichtprodukten (1), mit einem wenigstens einen tunnelartigen Ofenraum (5.1) bildenden Ofengehäuse (5), mit wenigstens einer Heizeinrichtung (10) zum Beheizen des wenigstens einen Ofenraumes (5.1) sowie mit wenigstens einem Transporteur (6, 6a, 6b) mit mindestens einem Transportelement (9, 15, 23), mit dem das Behandlungsgutes (1.1) in einer Transportrichtung (A) durch den wenigstens einen Ofenraum (5.1) transportiert wird, mit zwischen dem wenigstens einen Transporteur (6, 6a, 6b) und dem Tunnelofen (4, 4a, 4b) wirkenden Transportelementgleitmitteln (11.1, 16, 21, 30) zur Abstützung des Transporteurs (6, 6a, 6b), dadurch gekennzeichnet, dass das wenigstens eine Transportelement (9, 15, 23) zumindest eine ebene oder im Wesentlichen ebene und/oder vollflächige oder im Wesentlichen vollflächige Auflage für das jeweilige Behandlungsgut (1.1) bildet, und dass die Transportelementgleitmittel von wenigstens einem Druckgaspolster oder -volumen (30) gebildet sind, welches durch ein aus einer Vielzahl von Düsen (29.1) austretenden Druckgas erzeugt ist.Tunnel kiln for a heat treatment of material to be treated ( 1.1 ), in particular for producing multilayer products ( 1 ), with at least one tunnel-like furnace space ( 5.1 ) forming furnace housing ( 5 ), with at least one heating device ( 10 ) for heating the at least one furnace space ( 5.1 ) as well as with at least one transporter ( 6 . 6a . 6b ) with at least one transport element ( 9 . 15 . 23 ), with which the material to be treated ( 1.1 ) in a transport direction (A) through the at least one furnace space ( 5.1 ) is transported between the at least one conveyor ( 6 . 6a . 6b ) and the tunnel kiln ( 4 . 4a . 4b ) acting transport element lubricants ( 11.1 . 16 . 21 . 30 ) for supporting the transporter ( 6 . 6a . 6b ), characterized in that the at least one transport element ( 9 . 15 . 23 ) at least one flat or substantially planar and / or full-surface or substantially full-surface support for the respective item to be treated ( 1.1 ) and that the transport element sliding means of at least one pressurized gas cushion or volume ( 30 ) formed by one of a plurality of nozzles ( 29.1 ) exiting compressed gas is generated. Tunnelofen nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Transportelement ein Transportband (9) ist, welches eine in sich geschlossene und umlaufend antreibbare Schlaufe bildet und mit einer Schlaufenlänge (9.1) durch den wenigstens einen Tunnelraum (5.1) hindurchreicht.Tunnel kiln according to one of the preceding claims, characterized in that the transport element is a conveyor belt ( 9 ), which forms a self-contained and circumferentially drivable loop and with a loop length ( 9.1 ) through the at least one tunnel space ( 5.1 ) passes through. Tunnelofen nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Transporteur (6a, 6b) von mehreren aneinander anschließenden Transportelementen oder Aufnahmen (15, 23) gebildet ist, dass die Aufnahmen (15, 23) als nicht miteinander verbundene Einzelelemente von einem Tunnelofeneinlass (4a.1, 4b.1) an einen Tunnelofenauslass (4a.2, 4b.2) bewegt und vom Tunnelofenauslass (4a.2, 4b.2) an den Tunnelofeneinlass (4a.1, 4b.1) zurückgeführt werden, oder dass die Aufnahmen (15, 23) kettengliederartig miteinander zu einem umlaufenden Transportelement miteinander verbunden sind.Tunnel kiln according to one of the preceding claims, characterized in that the transporter ( 6a . 6b ) of several adjoining transport elements or recordings ( 15 . 23 ) is formed, that the recordings ( 15 . 23 ) as unconnected individual elements of a tunnel oven inlet ( 4a.1 . 4b.1 ) to a tunnel kiln outlet ( 4a.2 . 4b.2 ) and from the tunnel kiln outlet ( 4a.2 . 4b.2 ) to the tunnel oven inlet ( 4a.1 . 4b.1 ) or that the recordings ( 15 . 23 ) are connected to one another in a chain-link fashion to form a circulating transport element. Tunnelofen nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die mit dem Transporteur (6b) oder mit dessen Transportelementen oder Aufnahmen (23) von einem Tunnelofeneinlass (4b.1) an einen Tunnelofenauslass (4b.2) in den Kugelbahnen (22) mitgeführten Kugeln (21) von dem Tunnelofenauslass (4b.2) an den Tunnelofeneinlass (4a.1) zurückgeführt werden.Tunnel kiln according to one of the preceding claims, characterized in that with the transporter ( 6b ) or with its transport elements or recordings ( 23 ) from a tunnel oven inlet ( 4b.1 ) to a tunnel kiln outlet ( 4b.2 ) in the ball tracks ( 22 ) entrained balls ( 21 ) from the tunnel kiln outlet ( 4b.2 ) to the tunnel oven inlet ( 4a.1 ) to be led back. Tunnelofen nach einem der Ansprüche 13–16, dadurch gekennzeichnet, dass die Düsen an wenigstens einem Verteilerrohr (29) aus einem keramischen Werkstoff vorgesehen sind.Tunnel kiln according to one of claims 13-16, characterized in that the nozzles are arranged on at least one distributor pipe ( 29 ) are provided of a ceramic material. Tunnelofen nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der keramische Werkstoff Siliziumnitrid, Siliziumkarbid, Aluminiumoxid ist.Tunnel kiln according to one of the preceding claims, characterized in that the ceramic material is silicon nitride, silicon carbide, aluminum oxide.
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