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Verwandte Anmeldungen
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Die vorliegende Patentanmeldung beansprucht Priorität im Rahmen von 35 U. S. C. 119(e) (Offizielle Sammlung von Bundesgesetzen) der gleichzeitig anhängigen Vorläufigen USA-Anmeldung, laufende Nummer 61/670,055, eingereicht am 10. Juli 2012 mit dem Titel „System und Verfahren für Hochauflösungs-/Hoch-durchsatz-Bearbeitung von Leiterbildern flexibler Substrate”. Diese Anmeldung inkorporiert die Vorläufige USA-Anmeldung, Laufende Nummer 61/670,055 in ihrer Gesamtheit durch Bezugnahme.
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Gebiet der Erfindung
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Die vorliegende Erfindung betrifft Mehrfachschichtsubstrate und Verfahren der Bearbeitung von Mehrfachschichtsubstraten, Im Besonderen betrifft die vorliegende Erfindung Mehrfachschichtsubstrate mit Leiterbildern und Verfahren der Bearbeitung dieser Substrate.
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Der Erfindung zugrundeliegender allgemeiner Stand der Technik Viele elektrische Geräte haben Touchscreen-Displays. Ein Touchscreen ist ein Display, welches das Vorhandensein, den Ort und den Druck einer Berührung innerhalb des Displaybereiches, im Allgemeinen durch einen Finger, eine Hand, eine Schreibspitze oder eine andere Zeigevorrichtung, feststellt. Der Touchscreen ermöglicht einem Nutzer die direkte Interaktion mit dem Displaypanel ohne das Erfordernis einer Zwischenvorrichtung, anstatt indirekt mit einer Maus oder einem Touchpad. Touchscreens können in Computern oder als Terminals für den Zugang zu Netzen implementiert sein. Touchscreens findet man gemeinhin in bargeldlosen Kassensystemen, multifunktionalen Bankautomaten (ATM), Mobiltelefonen, Personal Digital Assistants (PDA), tragbaren Spielekonsolen, Satellitennavigationsgeräten und Informationsanwendungen.
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Es gibt eine Reihe verschiedener Touchscreentechnologien. Ein kapazitiver Touchsensor schließt Mehrfachschichten ein, die mit einem Material beschichtet, teilbeschichtet oder gemustert sind, welches einen elektrischen Dauerstrom leitet. Der Sensor zeigt ein präzise gesteuertes Feld gespeicherter Elektronen sowohl auf der horizontalen als auch auf der vertikalen Achse, um Kapazitanz zu erzielen. Der menschliche Körper ist leitfähig, daher beeinflusst er elektrische Felder, die in einer Kapazitanz gespeichert sind. Wenn eine Bezugskapazitanz des Sensors durch ein anderes Kapazitanzfeld, wie zum Beispiel einen Finger geändert wird, messen elektronische Kreise, die sich an jeder Ecke des Panels befinden, die sich ergebende Verzerrung in der Bezugskapazitanz. Die gemessene Information in Bezug auf das Touch-Event wird an die Steuereinheit für mathematische Bearbeitung übermittelt.
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Kapazitive Touchsensoren werden typischerweise unter Verwendung von transparenten Leitern ausgebildet, wie zum Beispiel Indium-Zinn-Oxid-Leiter, die in Schichten ausgebildet sind. Bei einer beispielhaften Ausgestaltung ist eine erste Schicht oben auf einer zweiten Schicht positioniert. Die zweite Schicht weist am Boden angeordnete Leiter auf, die Antriebselektroden bilden, ebenfalls Antriebsleitungen genannt, und die erste Schicht weist oben angeordnete Leiter auf, die Abtastelektroden bilden, ebenfalls Abtastleitungen genannt. Jeder Kreuzungspunkt einer Antriebsleitung und einer Abtastleitung bildet einen Kondensator mit einer gemessenen Kapazitanz. Das Ziel ist, eine Schätzung einer Touch-Position auf dem kapazitiven Touchsensor zu bestimmen. Wenn ein Finger oder ein anderer Gegenstand, der geerdet ist, auf einem Kreuzungspunkt des Sensors oder nahe diesem positioniert wird, gibt es eine Änderung bei der gemessenen Kapazitanz an jenem Kreuzungspunkt.
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Die Herstellung von Touchscreens mit kapazitiven Touchsensoren erfordert eine ordnungsgemäße Ausrichtung der Mehrfachschichten sowohl lateral als auch rotational im Rahmen der Hochgeschwindigkeitsbearbeitung. Gedruckte Ziele sind für das Registrieren von verschiedenen Montageoperationen eingesetzt worden, einschließlich Schichtlaminieren, Laserschneiden und Ausschneiden. 1 veranschaulicht ein herkömmliches gedrucktes Ziel. Mehrfache dieser Ziele werden an strategischen Stellen jeder Schicht gedruckt. Ziele auf jeder Schicht werden mit Zielen auf entsprechenden Schichten ausgerichtet, um Sätze ausgerichteter Ziele zu bilden, wobei jeder Satz ein Ziel von jeder Schicht einschließt. Die ausgerichteten Ziele werden dann mittels eines Ausrichtungsstanzsystems so gestanzt, dass ein Stift durch die Schichten an jedem Satz gestanzt wird, wodurch die Schichten in Position gemäß den ausgerichteten Zielen gehalten werden.
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Zusammenfassung der Erfindung
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Für die ordnungsgemäße Ausrichtung von Mehrfachsubstrat-schichten werden Ausrichtungsmarker auf jeder Substratschicht aufgebracht. Bei einigen Ausführungsformen wird jede Schicht aus einem transparenten Substrat hergestellt, das leitfähige Tracings auf einer Oberfläche aufweist. Die leitfähigen Tracings können bei einer Reihe von Anwendungen verwendet werden, wie zum Beispiel kapazitive Touchsensoren. Der Zusammenbau von Mehrfachschichtsubstraten schließt die ordnungsgemäße Ausrichtung der einzelnen Substratschichten in Bezug zueinander ein. Optische Ausrichtungsmarker werden auf der Oberfläche jeder Substratschicht so angebracht, dass sie keine Störung für die anwendungsspezifischen leitfähigen Tracings darstellen. Gruppen von Ausrichtungsmarkern werden in lokalisierten Bereichen auf jeder Substratschicht angeordnet. Jede lokalisierte Gruppe von Ausrichtungsmarkern wird als Ausrichtungszielbereich bezeichnet. Die Ausrichtungsmarker in einem ersten Ausrichtungszielbereich auf der ersten Substratschicht sind mit entsprechenden Ausrichtungsmarkern in einem zweiten Ausrichtungszielbereich auf der zweiten Substratschicht auszurichten. Bei einigen Ausführungsformen schließt der erste Ausrichtungszielbereich einen Ausrichtungsmarker ein, der für manuelle Ausrichtung ausgestaltet ist, und einen anderen Ausrichtungsmarker, der für maschinelle Ausrichtung ausgestaltet ist. Der zweite Ausrichtungszielbereich weist einen entsprechenden manuellen Ausrichtungsmarker und einen maschinellen Ausrichtungsmarker auf.
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Bei einer Ausführungsform wird eine Ausrichtungs-Feedback-Vorrichtung für die Ausrichtung von Mehrfachsubstratschichten offenbart. Die Vorrichtung weist ein erstes Substrat und ein zweites Substrat auf. Die erste Substratschicht weist einen ersten Abschnitt eines Ausrichtungszielbereiches auf, der auf einer Oberfläche ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Abschnitt des Ausrichtungszielbereiches einen ersten manuellen Ausrichtungsmarker und einen ersten maschinellen Ausrichtungsmarker einschließt. Die zweite Substratschicht weist einen auf einer Oberfläche ausgebildeten zweiten Abschnitt des Ausrichtungszielbereiches auf. Die zweite Substratschicht ist mit der ersten Substratschicht verbunden. Der zweite Abschnitt des Ausrichtungszielbereiches schließt einen zweiten manuellen Ausrichtungsmarker und einen zweiten maschinellen Ausrichtungsmarker ein. Wenn die erste Substratschicht und die zweite Substratschicht ordnungsgemäß miteinander ausgerichtet sind, ist der erste manuelle Ausrichtungsmarker mit dem zweiten manuellen Ausrichtungsmarker ausgerichtet, und der erste maschinelle Ausrichtungsmarker ist mit dem zweiten maschinellen Ausrichtungsmarker ausgerichtet.
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Bei einigen Ausführungsformen umfassen der erste und der zweite manuelle Ausrichtungsmarker jeweils ein Quadrat, und die ersten und zweiten maschinellen Ausrichtungsmarker sind jeweils kreisförmig.
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Bei einigen Ausführungsformen weisen der erste manuelle Ausrichtungsmarker und der zweite manuelle Ausrichtungsmarker jeweils ein Quadrat auf, und der erste maschinelle Ausrichtungsmarker und der zweite maschinelle Ausrichtungsmarker sind jeweils kreisförmig. Bei einigen Ausführungsformen ist der erste manuelle Ausrichtungsmarker ein erstes Quadrat, und der zweite manuelle Ausrichtungsmarker ist ein zweites Quadrat, wobei das erste Quadrat kleiner als das zweite Quadrat ist und das erste Quadrat in das zweite Quadrat hineinpasst, wenn die erste Substratschicht und die zweite Substratschicht ordnungsgemäß ausgerichtet sind. Bei anderen Ausführungsformen ist der erste maschinelle Ausrichtungsmarker ringförmig und weist eine Öffnung auf, und der zweite maschinelle Ausrichtungsmarker ist ein Kreis, wobei der Kreis kleiner als die Öffnung ist und der Kreis in die Öffnung hineinpasst, wenn die erste Substratschicht und die zweite Substratschicht ordnungsgemäß ausgerichtet sind. Bei einigen Ausführungsformen schließt der erste Abschnitt des Ausrichtungszielbereichs weiterhin einen Registrierungsabschnitt ein. In diesem Fall kann der Registrierungsabschnitt leitfähige Spuren einschließen, die rund um den ersten manuellen Ausrichtungsmarker und den ersten maschinellen Ausrichtungsmarker ausgebildet sind. Die leitfähigen Spuren können Indium-Zinn-Oxid sein. Bei einigen Ausführungsformen schließt der zweite Abschnitt des Ausrichtungszielbereichs weiterhin einen Ätzabschnitt ein. In diesem Fall kann der Ätzabschnitt leitfähige Spuren einschließen, die rund um den zweiten manuellen Ausrichtungsmarker und den zweiten maschinellen Ausrichtungsmarker angeordnet sind. Die leitfähigen Spuren können Silbertinte sein.
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Bei einer anderen Ausführungsform wird ein Verfahren zur Ausrichtung von Mehrfachsubstratschichten offengelegt. Das Verfahren schließt die Ausbildung einer ersten Substratschicht ein, die einen ersten Abschnitt eines Ausrichtungszielbereiches aufweist, der auf einer Oberfläche ausgebildet ist. Der erste Abschnitt des Ausrichtungszielbereiches schließt einen ersten manuellen Ausrichtungsmarker und einen ersten maschinellen Ausrichtungsmarker ein. Das Verfahren schließt ebenfalls die Ausbildung einer zweiten Substratschicht ein, die einen zweiten Abschnitt des Ausrichtungszielbereiches aufweist, der auf einer Oberfläche ausgebildet ist. Die zweite Substratschicht ist mit der ersten Substratschicht verbunden. Der zweite Abschnitt des Ausrichtungszielbereiches schließt einen zweiten manuellen Ausrichtungsmarker und einen zweiten maschinellen Ausrichtungsmarker ein. Das Verfahren schließt ebenfalls die Ausrichtung der ersten Substratschicht und der zweiten Substratschicht dergestalt ein, dass der erste manuelle Ausrichtungsmarker mit dem zweiten manuellen Ausrichtungsmarker ausgerichtet ist und der erste maschinelle Ausrichtungsmarker mit dem zweiten maschinellen Ausrichtungsmarker ausgerichtet ist.
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Bei einigen Ausführungsformen sind der erste und der zweite manuelle Ausrichtungsmarker jeweils als Quadrate ausgebildet, und der erste und der zweite maschinelle Ausrichtungsmarker sind jeweils kreisförmig ausgebildet. Bei einigen Ausführungsformen ist der erste manuelle Ausrichtungsmarker als ein erstes Quadrat ausgebildet, und der zweite manuelle Ausrichtungsmarker ist als ein zweites Quadrat ausgebildet, wobei das erste Quadrat kleiner als das zweite Quadrat ist und das erste Quadrat in das zweite Quadrat hineinpasst, wenn die erste Substratschicht und die zweite Substratschicht ordnungsgemäß ausgerichtet sind. Bei anderen Ausführungsformen ist der erste maschinelle Ausrichtungsmarker ringförmig ausgebildet und weist eine Öffnung auf, und der zweite maschinelle Ausrichtungsmarker ist als ein Kreis ausgebildet, wobei der Kreis kleiner als die Öffnung ist, und der Kreis in die Öffnung hineinpasst, wenn die erste Substratschicht und die zweite Substratschicht ordnungsgemäß ausgerichtet sind. Bei einigen Ausführungsformen schließt die Ausbildung des ersten Abschnitts des Ausrichtungszielbereiches weiterhin die Ausbildung eines Registrierungsabschnitts ein. Bei einigen Ausführungsformen schließt die Ausbildung des Registrierungsabschnitts die Ausbildung von leitfähigen Spuren rund um den ersten manuellen Ausrichtungsmarker und den ersten maschinellen Ausrichtungsmarker ein. Die leitfähigen Spuren können Indium-Zinn-Oxid sein. Bei einigen Ausführungsformen schließt die Ausbildung des zweiten Abschnitts des Ausrichtungszielbereiches weiterhin die Ausbildung eines Ätzabschnitts ein. Bei einigen Ausführungsformen schließt die Ausbildung des Ätzabschnitts die Ausbildung von leitfähigen Spuren rund um den zweiten manuellen Ausrichtungsmarker und den zweiten maschinellen Ausrichtungsmarker ein. Die leitfähigen Spuren können Silbertinte sein.
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Bei einigen Ausführungsformen schließt die Ausrichtung der ersten Substratschicht und der zweiten Substratschicht dergestalt, dass der erste manuelle Ausrichtungsmarker mit dem zweiten manuellen Ausrichtungsmarker ausgerichtet ist, das manuelle Ausrichten des ersten manuellen Ausrichtungsmarkers und des zweiten manuellen Ausrichtungsmarkers ein. Bei anderen Ausführungsformen schließt die Ausrichtung der ersten Substratschicht und der zweiten Substratschicht dergestalt, dass der erste maschinelle Ausrichtungsmarker mit dem zweiten maschinellen Ausrichtungsmarker ausgerichtet ist, die maschinelle Ausrichtung des ersten maschinellen Ausrichtungsmarkers und des zweiten maschinellen Ausrichtungsmarkers ein.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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Mehrere beispielhafte Ausführungsformen werden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben, wobei gleiche Komponenten mit gleichen Bezugszahlen versehen sind. Die beispielhaften Ausführungsformen sind dazu bestimmt, die Erfindung zu veranschaulichen, diese jedoch nicht einzuschränken. Die Zeichnungen schließen die folgenden Fig. ein:
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1 veranschaulicht ein herkömmliches gedrucktes Ziel.
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2 veranschaulicht ein beispielhaftes Leiterbild aus leitfähiger Tinte, als Registrierungsabschnitt bezeichnet.
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3 veranschaulicht eine Draufsicht eines Ausrichtungszielbereiches, der zwei Paare von Ausrichtungsmarkern in Ausrichtung gemäß einer Ausführungsform einschließt.
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4 veranschaulicht den Abschnitt des Ausrichtungszielbereiches von 3, der einer ersten Substratschicht entspricht.
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5 veranschaulicht den Abschnitt des Ausrichtungszielbereiches von 3, der einer zweiten Substratschicht entspricht.
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Detaillierte Beschreibung der Ausführungsformen
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Ausführungsformen der vorliegenden Anmeldung betreffen ein System und ein Verfahren für das Bearbeiten von Mehrfachschichtsubstraten unter Einsatz von Ausrichtungsmarkern. Fachleute werden erkennen, dass die nachfolgende detaillierte Beschreibung des Systems und des Verfahrens nur veranschaulichend ist und nicht dazu bestimmt ist, in irgendeiner Weise einschränkend zu sein. Andere Ausführungsformen des Systems und des Verfahrens werden problemlos für diese Fachleute naheliegen, die den Vorteil dieser Offenlegung genießen. Es wird jetzt im Detail Bezug genommen auf Ausführungen des Systems und des Verfahrens, wie sie in den beigefügten Zeichnungen veranschaulicht werden. Die gleichen Bezugsindikatoren werden in den gesamten Zeichnungen und der nachfolgenden detaillierten Beschreibung verwendet werden, um Bezug auf die gleichen oder auf ähnliche Teile zu nehmen. Im Interesse der Klarheit werden nicht alle der gängigen Merkmale der hierin beschriebenen Ausführungen gezeigt und beschrieben. Es versteht sich natürlich, dass bei der Entwicklung einer solchen tatsächlichen Ausführung zahlreiche ausführungsspezifische Entscheidungen getroffen werden müssen, um die speziellen Ziele des Entwicklers zu erreichen, wie zum Beispiel die Einhaltung von anwendungs- und geschäftsbezogenen Zwängen, und dass diese speziellen Ziele sich von einer Ausführung zur anderen Ausführung und von einem Entwickler zu einem anderen Entwickler unterscheiden werden. Es versteht sich darüber hinaus, dass solche Entwicklungsbemühungen komplex und zeitaufwendig sein könnten, jedoch dessen ungeachtet ein routinemäßiges technisches Unterfangen für diejenigen Fachleute sein würde, die im Genuss dieser Offenlegung sind.
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Ausführungsformen der vorliegenden Anmeldung betreffen Ausrichtungsmarker und Verfahren des Einsatzes von Ausrichtungsmarkern für die Herstellung von Substraten, die Mehrfachschichten aufweisen. Bei einer beispielhaften Anwendung werden die Ausrichtungsmarker beim Zusammenbau von kapazitiven Touchsensoren, die zwei Schichten aufweisen, genutzt. Die nachfolgende Erörterung ist auf die Herstellung eines kapazitiven Touchsensors mit zwei Schichten gerichtet. Es versteht sich, dass die beschriebenen Prinzipien auf alternative Mehrfachschichtsubstrat-Anwendungen angewandt werden können. Bei einigen Ausführungsformen ist jede Schicht aus einem transparenten Substrat hergestellt, das leitfähige Tracings auf einer Oberfläche aufweist. Die zwei Schichten werden so übereinander angeordnet, dass die leitfähigen Tracings auf jeder Schicht durch die Dicke von zumindest einer der Schichten getrennt werden. Bei einigen Ausführungsformen befinden sich die leitfähigen Tracings auf jeder Schicht auf gegenüberliegenden Oberflächen der zusammengefügten Schichten. Bei einigen Ausführungsformen wird jede Schicht aus einem flexiblen Substrat oder Gewebe-Substrat ausgebildet, das unter Einsatz von Walze-zu-Walze-Bearbeitung bearbeitet wird.
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Die Herstellung des kapazitiven Touchsensors schließt die ordnungsgemäße Ausrichtung der zwei Substratschichten in Bezug zueinander ein. Optische Ausrichtungsmarker werden an strategischen, jedoch unauffälligen Bereichen jeder Substratschicht angebracht. Ausrichtungsmarker auf einer ersten Substratschicht werden zu entsprechenden Ausrichtungsmarkern auf einer zweiten Substratschicht ausgerichtet. Ausrichtungsmarker-Toleranzen, die Ausrichtungsmarkern entsprechen, welche auf den zwei Substratschichten ausgerichtet sind, sind anwendungsspezifisch, und sie hängen zum Teil von den Materialien der Substratschicht, den Materialien der leitfähigen Spuren und der Durchsatzrate für den Assemblierungsschritt ab. Bei einigen Anwendungen kann die Ausrichtungsgenauigkeit der Ausrichtungsmarker als Feedbackeinrichtung für die Regulierung der Geschwindigkeit der Walzen, für die Optimierung der Spannung des Gewebesubstrats und den Durchsatz der Walze-zu-Walze-Bearbeitung genutzt werden.
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Gruppen von Ausrichtungsmarkern werden in lokalisierten Bereichen, die als Ausrichtungszielbereich bezeichnet werden, auf jeder Substratschicht angeordnet. Die Ausrichtungsmarker in einem ersten Ausrichtungszielbereich auf der ersten Substratschicht sind mit entsprechenden Ausrichtungsmarkern in einem zweiten Ausrichtungszielbereich auf der zweiten Substratschicht auszurichten. Bei einigen Ausführungsformen schließt jeder Ausrichtungszielbereich einen oder mehr Registrierungsabschnitte und/oder Ätzabschnitte ein. Ätzabschnitte können genutzt werden, um korrekte Leitungsbreiten und die Beabstandung zu messen. Registrierungsabschnitte können genutzt werden, um zu testen, ob eine leitfähige Tinte ordnungsgemäß bearbeitet worden ist.
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2 veranschaulicht ein beispielhaftes Leiterbild leitfähiger Tinte, als Registrierungsabschnitt bezeichnet. Bei dem in 2 gezeigten Beispiel ist das Bild ein serpentinenartiges Bild 2. Andere Bilder können verwendet werden. Das Bild besteht aus einer leitfähigen Tinte, die bei einer Vorrichtungsanwendung zum Einsatz kommt, wie zum Beispiel leitfähige Spuren in kapazitiven Touchsensoren. Registrierungsabschnitte werden verwendet, um zu testen, ob die leitfähige Tinte eingetrocknet ist oder ausgehärtet ist und ordnungsgemäß leitet. Der Registrierungsabschnitt hat eine bekannte Gesamtlänge und Gesamtbreite, von denen ein bekannter elektrischer Widerstand erwartet wird. Wenn die leitfähige Tinte ordnungsgemäß trocknet, weist sie einen sich ergebenden elektrischen Widerstand auf, oder einen Bereich des elektrischen Widerstands, der dem erwarteten elektrischen Widerstand entspricht. Für das Testen werden Drahtsondenspitzen auf jedes der zwei Testpads 4 und 6 aufgebracht, und der elektrische Gesamtwiderstand wird gemessen. Dieser gemessene elektrische Widerstand wird mit dem ausgelegten elektrischen Widerstand verglichen, welcher der Abschnittlänge und den Breitenabmaßen entspricht.
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3 veranschaulicht eine Draufsicht eines Ausrichtungszielbereiches 10, einschließlich von zwei Paaren Ausrichtungsmarkern in Ausrichtung nach einer Ausführungsform. Bei dieser beispielhaften Ausführungsform entspricht der Ausrichtungszielbereich 10 zwei ausgerichteten Substratschichten. 4 veranschaulicht den Abschnitt des Ausrichtungszielbereiches von 3, der einer ersten Substratschicht entspricht. 5 veranschaulicht den Abschnitt des Ausrichtungszielbereiches von 3, der einer zweiten Substratschicht entspricht. Der Ausrichtungszielbereich-Abschnitt 10a auf der ersten Substratschicht schließt einen Rand 12, einen inneren Quadratmarker 14 und den ringförmigen Marker 16 ein. Bei einigen Ausführungsformen wirkt der Rand 12 als ein Registrierungsabschnitt, dessen elektrischer Widerstand gemessen werden kann. Bei anderen Ausführungsformen wirkt der Rand 12 als visuelle Hilfe für die Bestimmung eines Bereiches des Ausrichtungszielbereich-Abschnitts 10a. Der Ausrichtungszielbereich-Abschnitt 10b auf der zweiten Substratschicht schließt einen Ätzabschnitt 22, einen äußeren Quadratmarker 24 und einen Punktmarker 26 ein. Der Ätzabschnitt 22 kann eine Spur oder mehr Spuren einschließen, die durch Abstände getrennt werden, wobei jede Spur und jeder Abstand eine bestimmte Breite aufweisen. Der Ätzabschnitt kann genutzt werden, um korrekte Leitungsbreiten und Beabstandung zu messen.
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Bei einigen Ausführungsformen sind der Rand 12, der innere Quadratmarker 14 und der ringförmige Marker 16 aus Silbertinte gefertigt, und der Ätzabschnitt 22, der äußere Quadratmarker 24 und der Punktmarker 26 sind aus ITO (Indium-Zinn-Oxid) gefertigt. Es versteht sich, dass alternative leitfähige Materialien zum Einsatz kommen können. Es versteht sich ebenfalls, dass die Komponenten des Ausrichtungszielbereiches aus nicht leitfähigem Material gefertigt werden können.
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Die Marker 14, 16, 24 und 26 werden als Feedback-Registrierungs-Vorrichtung genutzt. Bei einigen Ausführungsformen werden der innere Quadratmarker 14 und der äußere Quadratmarker 24 für durch Menschen lesbares Registrierungs-Feedback genutzt, ebenfalls als manuelle Ausrichtung bezeichnet. Die Größe des kleineren Quadratmarkers 14 relativ zum größeren Quadratmarker 24 ist gemäß einer Toleranz des Ausrichtungsprozesses ausgelegt, und sie kann entsprechend der Anwendung angepasst werden. Wenn eine Seite des inneren Quadratmarkers 14 zur Kante des größeren Quadratmarkers 24 wandert, ist dies die Grenze für die zulässige Registrierungstoleranz.
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Bei einigen Ausführungsformen werden der ringförmige Marker 16 und der Punktmarker 26 für maschinenlesbares Registrierungs-Feedback, auch als maschinelle Ausrichtung bezeichnet, verwendet. Der ringförmige Marker 16 und der Punktmarker 26 haben eine ähnliche Funktion wie die inneren und die äußeren Quadratmarker 14 und 24, aber der ringförmige Marker 16 und der Punktmarker 26 sind für optische Registrierungsvorrichtungen bestimmt. Diese Vorrichtungen sind erfolgreicher bei der Lokalisierung eines Mittelpunktes eines Kreises als bei der Lokalisierung eines Mittelpunktes eines Quadrats, während anekdotisch menschliche Bediener die Verwendung eines Quadrats vorziehen. Es versteht sich, dass alternativ ausgebildete Marker für manuelle und maschinelle Ausrichtung verwendet werden können. Die Größe des Punktmarkers 26 relativ zum ringförmigen Marker 16 ist gemäß der Toleranz des Ausrichtungsverfahrens ausgelegt und kann entsprechend der Anwendung angepasst werden.
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Die Ausrichtungsmarkierungen sind Herstellungshilfen, die von Menschen, von Maschinen oder von beiden genutzt werden, um Paare von Ausrichtungsmarkierungen auf zwei zu schichtenden Substratschichten optisch zu identifizieren, und um zu verifizieren, dass die zwei Substratschichten ausgerichtet sind. Die Ausrichtungsmarkierungen können verwendet werden, um die Schichten anfänglich auszurichten oder um die bei einem vorherigen Schritt vorgenommene Ausrichtung zu verifizieren. Die zwei Substratschichten werden so zusammengefügt, dass die Oberflächen, welche die Leiterbilder aufweisen, einander nicht gegenüber liegen. Eine erste Substratschicht hat zum Beispiel eine obere oder erste Oberfläche und eine untere oder zweite Oberfläche, wobei die leitfähigen Spuren des kapazitiven Touchsensors und der Ausrichtungszielbereich auf die erste Oberfläche gedruckt sind, und eine zweite Substratschicht weist ebenfalls eine erste Oberfläche und eine zweite Oberfläche auf, wobei die leitfähigen Spuren des kapazitiven Touchsensors und der Ausrichtungszielbereich auf die erste Oberfläche gedruckt sind. Bei einer beispielhaften Ausgestaltung ist die zweite Schicht der ersten Substratschicht auf der zweiten Oberfläche der zweiten Substratschicht positioniert. Alternativ kann die zweite Oberfläche der ersten Substratschicht auf der ersten Oberfläche der zweiten Substratschicht positioniert sein oder die erste Oberfläche der ersten Substratschicht kann auf der zweiten Oberfläche der zweiten Substratschicht positioniert sein.
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Die vorliegende Anmeldung ist in Form von speziellen Ausführungsformen beschrieben worden, welche Einzelheiten beinhalten, um das Verständnis für die Prinzipien der Bauweise und des Betriebs des Systems und des Verfahrens für das Bearbeiten von Mehrfachschichtsubstraten unter Einsatz von Ausrichtungsmarkern zu erleichtern. Viele der Komponenten, die in den verschiedenen Abbildungen gezeigt und beschrieben werden, können gegeneinander ausgetauscht werden, um die erforderlichen Ergebnisse zu erzielen, und die vorliegende Beschreibung sollte so verstanden werden, dass sie diesen Austausch ebenfalls umfasst. Als solche sollen Bezugnahmen hierin auf spezielle Ausführungsformen und Einzelheiten derselben nicht den Umfang der hierzu beigefügten Ansprüche einschränken. Es wird für die Fachleute offensichtlich sein, dass Änderungen bei den Ausführungsformen vorgenommen werden können, die zur Veranschaulichung ausgewählt wurden, ohne vom Geist und Umfang der Anmeldung abzuweichen.
