DE102012019740A1 - Monorail conveyor system installed in clean room, for conveying article e.g. wafer in assembly line, has conveyor that is provided with non-contact drive, and wheel that is provided with point-like support with respect to rail surface - Google Patents
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft ein Einschienen-Fördersystem nach dem Oberbegriff des unabhängigen Anspruchs 1.The invention relates to a monorail conveyor system according to the preamble of
Einschienen-Fördersysteme unterliegen einer Vielzahl unterschiedlicher Einsatzgebiete, so auch der Einsatz in Reinräumen. Auf einer einzelnen Führungsschiene ist ein Förderer in Form eines Wagens angeordnet, der entlang der Führungsschiene verfahren werden kann und mittels eines Antriebs bewegbar ist. Es sind Förderer bekannt, die ein oder mehrere Räder aufweisen, über die die Förderer auf den Schienen laufen. Solche Einschienen-Fördersysteme werden häufig zum automatischen Fördern bei Montagestraßen eingesetzt und können ganz unterschiedliche Produkte fördern bzw. bewegen, wie beispielsweise auch Wafer.Single-rail conveyor systems are subject to a variety of different applications, including use in clean rooms. On a single guide rail, a conveyor in the form of a carriage is arranged, which can be moved along the guide rail and is movable by means of a drive. There are known conveyors having one or more wheels over which the conveyors run on the rails. Such monorail conveyor systems are often used for automatic conveying on assembly lines and can convey or move very different products, such as wafers.
Bei Fördersystemen in Reinräumen besteht, wie bei allen Einrichtungsgegenständen und Produktionsmitteln, die Notwendigkeit, besonders sauberer und damit auch abriebfester Oberflächen. Es sind zwar Fördersysteme aus dem Stand der Technik bekannt, die in Reinräumen eingesetzt werden, diese sind aber recht unflexibel in ihren Verwendungsmöglichkeiten.In conveyor systems in cleanrooms, as with all furnishings and means of production, there is a need for very clean and therefore abrasion resistant surfaces. While there are known conveyor systems from the prior art, which are used in clean rooms, but these are quite inflexible in their uses.
Es ist deshalb eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein Einschienen-Fördersystem der eingangs genannten Art weiterzuentwickeln, das in Reinräumen eingesetzt werden kann und eine für Reinräume vorteilhafte Geometrie aufweist.It is therefore an object of the present invention to further develop a monorail conveyor system of the type mentioned, which can be used in clean rooms and has a geometry advantageous for clean rooms.
Ein Einschienen-Fördersystem zur Lösung der erfinderischen Aufgabe weist die Merkmale des unabhängigen Anspruchs 1 auf. Danach wird vorgeschlagen, ein Einschienen-Fördersystem zum Transport von Gegenständen in Reinräumen mit zumindest einer Führungsschiene und einem auf der Führungsschiene beweglich gelagerten Förderer, der wenigstens ein Rad aufweist, das auf einer Oberfläche der Führungsschiene aufliegt, wobei der Förderer hinsichtlich der Führungsschiene einen berührungslosen Antrieb aufweist, und wobei das Rad wenigstens eine punktförmige Auflage mit der Oberfläche aufweist. Durch die punktförmige Auflage wird Reibung und damit auch Schlupf zwischen dem Rad und der Oberfläche auf ein Minimum reduziert, wodurch die Möglichkeit reduziert wird, dass von dem Rad oder auch der Führungsschiene sich Material abreibt.A monorail conveyor system for solving the inventive task has the features of
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung kann vorgesehen sein, dass die Führungsschiene im Bereich der Oberfläche eine erste und zweite Kontaktfläche umfasst, die jeweils zumindest teilweise eine konkave Kontur aufweisen. Diese spezielle Kontur der Oberfläche begünstigt nicht nur die Reduzierung des Abriebs, sondern wirkt sich auch vorteilhaft auf eine Luftführung in einem Reinraum aus, so dass mögliche Partikel gut abgeführt werden können.According to a preferred embodiment of the invention it can be provided that the guide rail in the region of the surface comprises a first and second contact surface, each having at least partially a concave contour. This special contour of the surface not only favors the reduction of abrasion, but also has an advantageous effect on an air duct in a clean room, so that possible particles can be easily removed.
Weiterhin kann nach einer vorteilhaften Ausgestaltung vorgesehen sein, dass die Oberfläche symmetrisch ausgebildet ist und insbesondere die erste und zweite Kontaktfläche sich an einer Längsmittelachse der Führungsschiene spiegeln, wobei zumindest ein Teil der jeweiligen Kontaktflächen vorzugsweise im Wesentlichen schräg zu einer Lotrechten gerichtet sind. Damit bietet die Oberfläche der Schiene eine besonders günstige Kontur, die der Luftführung bzw. dem Abtransport von möglichen Partikeln auf der Oberfläche Vorteile bietet, gerade im Zusammenhang mit dem Rad, welches von Zeit zu Zeit über die Schiene bewegt wird.Furthermore, it can be provided according to an advantageous embodiment that the surface is formed symmetrically and in particular the first and second contact surface are reflected on a longitudinal center axis of the guide rail, wherein at least a portion of the respective contact surfaces are preferably directed substantially obliquely to a perpendicular. Thus, the surface of the rail offers a particularly favorable contour that offers advantages to the air flow or the removal of possible particles on the surface, especially in connection with the wheel, which is moved over the rail from time to time.
Nach einer anderen vorteilhaften Weiterführung der Erfindung kann das Rad eine zumindest teilweise kreiszylindrische Kontur aufweisen und im Wesentlich senkrecht auf der Oberfläche aufstehen, wobei insbesondere zwei äußere Kanten des Rads in Kontakt mit der Oberfläche stehen. Da die konkave Form der Oberfläche und die gerade Form des Rads nur eine punktförmige Auflage zulassen, besteht nur ein geringer Kontakt zwischen dem Förderer und der Führungsschiene, wodurch sich der Förderer besonders leicht auf der Führungsschiene bewegen lässt.According to another advantageous development of the invention, the wheel may have an at least partially circular cylindrical contour and stand up substantially perpendicular to the surface, wherein in particular two outer edges of the wheel are in contact with the surface. Since the concave shape of the surface and the straight shape of the wheel allow only a punctiform support, there is little contact between the conveyor and the guide rail, which allows the conveyor to move particularly easily on the guide rail.
Für die Führung des Förderers auf der Führungsschiene kann es gemäß einer Weiterbildung der Erfindung weiterhin vorteilhaft sein, wenn ein erstes Rad auf der ersten Kontaktfläche und ein zweites Rad auf der zweiten Kontaktfläche der Führungsschiene aufsteht, wobei insbesondere beide Räder im Wesentlich senkrecht auf der jeweiligen Kontaktfläche aufstehen. Durch die schräge Ausrichtung der Oberfläche bzw. der Kontaktflächen zu der Lotrechten stehen die beiden Räder auch schräg zu der Lotrechten, wodurch sich eine bessere Auflage der Räder auf der Kontaktfläche ergibt.For the guidance of the conveyor on the guide rail, it may further be advantageous according to a development of the invention, when a first wheel on the first contact surface and a second wheel rests on the second contact surface of the guide rail, in particular both wheels substantially perpendicular to the respective contact surface get up. Due to the oblique orientation of the surface or the contact surfaces to the vertical, the two wheels are also obliquely to the vertical, resulting in a better support of the wheels on the contact surface.
Gemäß einem weiteren Aspekt kann auch vorgesehen sein, dass mehrere Führungsschienen vorgesehen sind, wobei wenigstens eine Führungsschiene beweglich, insbesondere drehbeweglich gelagert ist und insbesondere derart ausgebildet ist, dass eine Fahrrichtung, eine Fahrhöhe oder eine Fahrspur des Förderers geändert werden kann. Um nicht nur eine Geradeausfahrt des Förderers zu ermöglichen, sind beweglich Schienen vorgesehen, über die die Fahrrichtung geändert werden kann. Dieses bietet gegenüber gekrümmten Führungsschienen den Vorteil, dass eine Lastverteilung an den Rädern immer gleich groß ist, da bei gekrümmten Schienen die Lastverteilung zu Gunsten des Materialabriebs veränderlich ist. Ebenso kann durch Veränderung der Fahrhöhe der Förderer in unterschiedlichen Ebenen betrieben werden. Darüber hinaus ist auch eine Veränderung der Fahrspur möglich, wodurch der Förderer parallel versetzt werden kann.According to a further aspect it can also be provided that a plurality of guide rails are provided, wherein at least one guide rail is movably, in particular rotatably mounted and in particular designed such that a direction of travel, a ride height or a lane of the conveyor can be changed. To enable not only a straight ahead of the conveyor, movable rails are provided over which the direction of travel can be changed. This offers over curved guide rails the advantage that a load distribution at the wheels is always the same size, since with curved rails, the load distribution is variable in favor of material abrasion. Likewise, by changing the ride height of the conveyor can be operated in different levels. In addition, it is Also a change of the lane possible, whereby the conveyor can be offset in parallel.
Weitere bevorzugte Ausgestaltungen des erfinderischen Einschienen-Fördersystem sind Teil der Unteransprüche.Further preferred embodiments of the inventive monorail conveyor system are part of the dependent claims.
Nachfolgend wird anhand der Zeichnung ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel näher erläutert. Darin zeigen:Hereinafter, a preferred embodiment will be explained in more detail with reference to the drawing. Show:
Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel handelt es sich um ein Fördersystem, das speziell für Rein- und/oder Reinsträume konzipiert ist, wobei es auch in weniger anspruchsvollen Umgebungen eingesetzt werden kann. Ein solches Fördersystem ist dafür ausgelegt, Produkte, vorzugsweise Wafer oder dergleichen, zwischen zwei Arbeitspunkten einer Fertigungsstraße automatisch und/oder gesteuert zu transportieren.In the embodiment shown is a conveyor system that is designed specifically for clean and / or clean rooms, where it can be used in less demanding environments. Such a conveyor system is designed to automatically and / or controlled transport products, preferably wafers or the like, between two operating points of a production line.
In den
Der Aufbau der Führungsschiene
Auf einer Oberseite
Die Führungsschiene
Der Fortsatz
Der Förderer
Die Räder
Im Bereich des Fortsatzes
In den
Die Weiche
In
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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DE102008019319A1 (en) | 2008-04-16 | 2009-10-29 | Sew-Eurodrive Gmbh & Co. Kg | transport device |
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