DE102010050082A1 - burner - Google Patents
burner Download PDFInfo
- Publication number
- DE102010050082A1 DE102010050082A1 DE102010050082A DE102010050082A DE102010050082A1 DE 102010050082 A1 DE102010050082 A1 DE 102010050082A1 DE 102010050082 A DE102010050082 A DE 102010050082A DE 102010050082 A DE102010050082 A DE 102010050082A DE 102010050082 A1 DE102010050082 A1 DE 102010050082A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- burner
- tube
- channel
- interior
- foot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/30—Plasma torches using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/46—Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/4697—Generating plasma using glow discharges
Abstract
Die Erfindung betrifft einen Brenner, vorzugsweise Plasmabrenner mit induktiver Kopplung, enthaltend einen Brennerkanal mit einem Innenraum, eine den Brennerkanal umgebende Induktionsspule und einen Brennerfuß. Der Brennerkanal ist als ein mit dem Brennerfuß koppelbares Mehrrohr ausgebildet, dessen Mehrfachwandung einen zum Brennerfuß gerichteten offenen Querschnitt für eine Gaseintrittsöffnung und einen in Brennrichtung gerichteten geschlossenen Querschnitt aufweist, wobei ein Außenrohr des Mehrrohres im Bereich des in Brennrichtung orientierten Endes des Brennerkanals mindestens einen vorzugsweise seitlichen äußeren Gasaustritt aufweist.The invention relates to a burner, preferably plasma torch with inductive coupling, comprising a burner channel with an interior, an induction coil surrounding the burner channel and a burner base. The burner channel is designed as a multi-pipe which can be coupled to the burner base, whose multi-wall has an open cross-section directed towards the burner foot for a gas inlet opening and a closed cross-section directed in the firing direction, wherein an outer pipe of the multi-pipe in the region of the focal direction oriented end of the burner channel at least one preferably lateral having outer gas outlet.
Description
Die Erfindung betrifft einen Brenner, insbesondere Plasmabrenner mit induktiver Kopplung nach Anspruch 1.The invention relates to a burner, in particular plasma torch with inductive coupling according to
Brenner insbesondere Plasmabrenner mit induktiver Kopplung zur Beschichtung bilden einen bekannten Stand der Technik. Bei derartigen Vorrichtungen wird ein Plasma erzeugt, das anschließend einen Brennerkanal durchströmt und als Brennerflamme austritt. Für den Betrieb eines Plasmabrenners sind (Plasma-)arbeitsgase wie Ar oder Stickstoff – bei Verwendung eines Flammenbrenner Brenngase wie H2, CH4, Propan oder Acetylen –, Spülgase zur Kühlung sowie Realtivgase wie SiCl4 notwendig. Der Brennerkanal ist von einer Spulenwicklung umgeben. Diese erzeugt ein Magnetfeld, welches das Plasma in seinem Strömungsverhalten beeinflusst. Um eine gute Kopplung zwischen der Wicklung und dem Plasma zu erreichen, sollte die Wicklung möglichst eng um den Brennerkanal herum geführt sein.Burners in particular plasma torch with inductive coupling to the coating form a known prior art. In such devices, a plasma is generated, which then flows through a burner channel and exits as a burner flame. For the operation of a plasma torch are (plasma) working gases such as Ar or nitrogen - when using a flame burner fuel gases such as H 2 , CH 4 , propane or acetylene -, purge gases for cooling and Realtivgassen such as SiCl 4 necessary. The burner channel is surrounded by a coil winding. This generates a magnetic field which influences the plasma in its flow behavior. In order to achieve a good coupling between the winding and the plasma, the winding should be guided as closely as possible around the burner channel.
Der Brennerkanal selbst besteht aus einem röhrenförmigen Körper, der aus einem Dielektrikum, insbesondere aus Glas, besteht. Der Körper des Brennerkanals ist dabei auf einem so genannten Brennerfuß aufgesetzt. Dieser dient zum Einleiten der Plasmagase.The burner channel itself consists of a tubular body, which consists of a dielectric, in particular of glass. The body of the burner channel is placed on a so-called Brennerfuß. This serves to introduce the plasma gas.
Bei einer Reihe von induktiv gekoppelten Plasmabrennern ist der Körper des Brennerkanals so ausgebildet, dass dessen Wand von einem Fluid durchströmt werden kann. Dieses Fluid kann ein Kühlmedium sein oder selbst als Betriebsmedium des Plasmabrenners dienen, das von der durch den Brennvorgang erzeugten Wärme auf die erforderliche Betriebstemperatur vorgewärmt wird. Zu diesem Zweck weisen die Wände des Brennerkanals entsprechende Kanäle auf. Diese münden in Einlass- und Auslassanschlüsse ein, die auf der Außenseite der Wand des Brennerkanals angeordnet sind. Weil das Plasma und das in der Wand des Brennerkanals strömende Medium sehr oft im Gegenstromprinzip umgetrieben werden, befinden sich die Einlass- und Auslassanschlüsse entsprechend an entgegengesetzten Enden des Brennerkanals und zweigen in einer radialen Richtung von der Wand des Brennerkanals ab.In a number of inductively coupled plasma torches, the body of the burner channel is designed so that its wall can be flowed through by a fluid. This fluid may be a cooling medium or itself serve as the operating medium of the plasma torch, which is preheated by the heat generated by the firing process to the required operating temperature. For this purpose, the walls of the burner channel have corresponding channels. These lead into inlet and outlet ports, which are arranged on the outside of the wall of the burner channel. Because the plasma and the medium flowing in the wall of the burner channel are very often driven countercurrently, the inlet and outlet ports are respectively at opposite ends of the burner channel and branch off in a radial direction from the wall of the burner channel.
Eine derartige Konstruktion steht jedoch im Konflikt zu dem Erfordernis einer möglichst engen Spulenwicklung um den Brennerkanal und führt zu großen konstruktiven Nachteilen, die den Bau des Plasmabrenners aufwändig und kompliziert gestalten. Um den Brenner aufzubauen, wird zunächst der Brennerkanal gefertigt, anschließend mit der Spulenwicklung versehen, während abschließend die Anschlüsse für das in der Wand des Brennerkanals strömende Medium angebracht werden. Eine Folge davon ist, dass der Brennerkanal und die Spulenwicklung nach dem Zusammenbau nur noch als ein einheitliches Ganzes gehandhabt werden und ausgetauscht werden können. Es ist insbesondere nicht mehr möglich, einen defekten Brennerkanal auszuwechseln, ohne die Spulenwicklungen mit zu verwerfen und anschließend wieder neu aufzubauen.Such a design, however, conflicts with the requirement of a coil winding as close as possible around the burner channel and leads to major constructive disadvantages that make the construction of the plasma torch complex and complicated. To build the burner, the burner channel is first made, then provided with the coil winding, while finally the connections for the medium flowing in the wall of the burner channel medium are attached. A consequence of this is that the burner duct and the coil winding after assembly can only be handled as a single whole and can be replaced. In particular, it is no longer possible to replace a defective burner channel without rejecting the coil windings and then rebuilding them again.
Es besteht daher die Aufgabe, die genannten Nachteile zu beseitigen und einen Brenner insbesondere einen Plasmabrenner mit induktiver Kopplung zu schaffen, der sich durch einen einfachen konstruktiven Aufbau und eine weitgehend unabhängige Tauschbarkeit sämtlicher Komponenten auszeichnet.It is therefore the object to eliminate the disadvantages mentioned and to provide a burner in particular a plasma torch with inductive coupling, which is characterized by a simple structural design and a largely independent interchangeability of all components.
Diese Aufgabe wird mit einem Brenner, der insbesondere als Plasmabrenner mit induktiver Kopplung verwendet wird mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Die Unteransprüche enthalten zweckmäßige und/oder vorteilhafte Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Brenners.This object is achieved with a burner, which is used in particular as a plasma torch with inductive coupling with the features of
Erfindungsgemäß enthält der Plasmabrenner mit induktiver Kopplung einen Brennerkanal mit einem Innenraum, eine den Brennerkanal umgebende Induktionsspule und einen Brennerfuß. In einem Ausführungsbeispiel bilden die Induktionsspule und der Brennerfuß eine feste und unveränderbare Anordnung, während der Brennerkanal als ein in mit dem Brennerfuß koppelbares Mehrfachrohr vorzugsweise eines Doppelrohrs ausgebildet ist. Im folgenden soll anhand eines Ausführungsbeispiels des Doppelrohrbrenners die wesentlichen Merkmale anschaulich beschrieben werden. Eine Übertragung auf ein Mehrfachrohrsystem ist für einen Fachmann naheliegend und analog den Ausführungen des Doppelrohrbrenners vorzunehmen. Die Doppelwandung des Doppelrohrs weist einen zum Brennerfuß gerichteten offenen Querschnitt für eine Gaseintrittsöffnung und einen in Brennrichtung gerichteten geschlossenen Querschnitt auf, wobei ein Außenrohr des Doppelrohres im Bereich des in Brennrichtung orientierten Endes des Brennerkanals mindestens eine seitliche äußere Gasaustrittsöffnung aufweist.According to the plasma torch with inductive coupling includes a burner channel with an interior, an induction coil surrounding the burner channel and a burner base. In one embodiment, the induction coil and the burner base form a fixed and unchangeable arrangement, while the burner channel is designed as a multiple tube, which can be coupled to the burner base, preferably of a double tube. In the following, the essential features will be described vividly using an embodiment of the double-tube burner. A transfer to a multi-tube system is obvious to a person skilled in the art and analogous to the designs of the double-tube burner. The double wall of the double tube has an open cross-section directed toward the burner base for a gas inlet opening and a closed cross-section directed in the firing direction, wherein an outer tube of the double tube has at least one lateral outer gas outlet opening in the region of the burner chamber-oriented end in the burner direction.
Erfindungsgemäß ist der Brennerkanal vorzugsweise somit als ein Doppelrohr ausgebildet, dessen Innen- und Außenrohr an einem Ende miteinander verbunden sind. Der durch das Innen- und das Außenrohr eingeschlossene Hohlraum kann somit von einem Ende her durchströmt werden. Dieses offene Ende ist auf einen Brennerfuß aufsetzbar und wird von diesem Ende her mit dem entsprechenden Fluid beaufschlagt. Ein großer Vorteil einer derartigen Gestaltung besteht darin, dass das Doppelrohr nicht seitlich beschickt wird, wobei die entsprechenden seitlich herausstehenden Anschlüsse entfallen. Das Doppelrohr des Brennerkanals kann dadurch durch eine gegebene Spule hindurch in den Brennerfuß eingeschoben werden. Die Konfiguration aus Spule und Brennerfuß ist somit vollständig unabhängig von dem verschleißintensiven Brennerkanal selbst. Das verschlossene Ende des Hohlraums zeigt in Brennrichtung und stabilisiert dort das Doppelrohr. Im diesem Bereich befinden sich die Auslassöffnungen für das innerhalb des Doppelrohres strömende Fluid. Erfindungsgemäß ist es bei einem Mehrfachrohrbrenner vorgesehen, die unterschiedlichen Hohlräume mit unterschiedlichen Fluiden zu bestücken. In diesem Fall erfolgt die Abnahme des Fluids über wenigstens eine Austrittsöffnungen an der Oberseite des Brenners.According to the invention, the burner channel is thus preferably designed as a double tube whose inner and outer tubes are connected to one another at one end. The enclosed by the inner and outer tube cavity can thus be traversed from one end. This open end can be placed on a burner foot and is acted upon from this end with the appropriate fluid. A major advantage of such a design is that the double tube is not loaded laterally, with the corresponding laterally protruding connections omitted. The double tube of the burner channel can thereby pass through a given coil in the Burner foot are inserted. The configuration of the coil and the burner base is thus completely independent of the wear-intensive burner channel itself. The closed end of the cavity points in the firing direction and stabilizes the double tube there. In this area are the outlet openings for the fluid flowing within the double tube. According to the invention it is provided in a multi-tube burner to equip the different cavities with different fluids. In this case, the removal of the fluid via at least one outlet openings takes place at the top of the burner.
Bei einem Ausführungsbeispiel sind die Mehrfachrohre durch Ausssparungen miteinander verbunden. Das eingeleitete Fluid kann in diesem Fall durch mehrfaches Passieren der heissen Zone besonders viel Energie aufnehmen. Damit kann das Fluid in effektiver Weise vorgewärmt werden.In one embodiment, the multiple tubes are interconnected by Ausssparungen. In this case, the fluid introduced can absorb a particularly large amount of energy by passing the hot zone several times. Thus, the fluid can be preheated in an effective manner.
Bei einer zweckmäßigen Ausführungsform weist das Außenrohr des Doppelrohres eine das Innenrohr an einer Stelle berührende Eindellung zur Aufnahme eines Zünddrahtes auf. Dadurch kann der Zünddraht sehr nahe zum von dem Plasma durchströmten Innenraum geführt werden, ohne den Brennerkanal selbst seitlich zu durchbohren.In an expedient embodiment, the outer tube of the double tube has a depression contacting the inner tube at a location for receiving an ignition wire. As a result, the ignition wire can be guided very close to the interior through which the plasma flows, without piercing the burner channel itself laterally.
Bei einer weiteren Ausführungsform weist das Doppelrohr ein zwischen dem Außenrohr und dem Innenrohr verlaufendes Zünddrahtrohr für den in das Zünddrahtrohr einführbaren Zünddraht aufweist. Das in dem Doppelrohr strömende Fluid fließt um das Zünddrahtrohr herum. Im einfachsten Fall ist dieses Zünddrahtrohr so gestaltet, dass eine elektrisch leitende Verbindung von der Außenseite durch das Doppelwandrohr zur Innenrohrinnenseite geführt wird, wobei darauf geachtet werden muss, dass keine Gase aus dem äußeren Doppelrohr entweichen können. Dadurch wird die Durchführung des Zündstroms für den Betrieb des Plasmas hergestellt.In a further embodiment, the double tube has an ignition wire tube extending between the outer tube and the inner tube for the ignition wire to be inserted into the ignition wire tube. The fluid flowing in the double tube flows around the ignition wire tube. In the simplest case, this Zünddrahtrohr is designed so that an electrically conductive connection is guided from the outside through the double wall pipe to the inner tube inside, taking care that no gases can escape from the outer double tube. As a result, the execution of the ignition current for the operation of the plasma is produced.
In einer weiteren Ausführungsform wird die Durchführung des Zündstroms durch die Brennerkonstruktion dadurch erreicht, dass an einer Stelle zumindest eines der beiden Rohre an das andere angelegt wird, vorzugsweise mit ihm verschmolzen wird, so dass ein elektrischer Übergang von einem externen Zünddraht durch den Glaskörper ins Brennerinnere erfolgt.In a further embodiment, the implementation of the ignition current is achieved by the burner design in that at one point at least one of the two tubes is applied to the other, preferably fused with it, so that an electrical transition from an external ignition wire through the glass body into the burner interior he follows.
Bei einer weiteren Ausführungsform weist das Innenrohr eine in den Innenraum hineinragende Ausformung auf. Dadurch lässt sich die Plasmaströmung günstig beeinflussen.In a further embodiment, the inner tube has a protruding into the interior molding. As a result, the plasma flow can be favorably influenced.
Bei einer weiteren Ausführungsform weist wenigstens ein Brennerrohr eine Oberflächenstrukturierung auf. Beispielsweise kann durch eine schraubenartige Windung an der Glasoberfläche der Gasstrom zu einer Helix ausgebildet werden. Dieses ist besonders vorteilhaft hinsichtlich der Flammenstabilität. Ebenso wie eine Strukturierung der an der Innenseite des Brennerinnenrohrs kann diese auch an der Außenseite des Innenrohrs und/oder an einer der der Oberflächen des Außenrohrs erfolgen. Durch eine Strukturierung der Glasoberfläche an den Grenzflächen des Doppelrohrdurchflusses ist eine Strömungsbeeinflussung des Fluids in geeigneter Weise möglich. Dadurch kann eine Verbesserung des Austrittsstroms an den Austrittsdüsen erreicht werden. Weiterhin kann dadurch die Verweilzeit des Fluids erhöht werden. In analoger Weise erschließt sich der Aufbau eines Mehrfachrohrbrenners für einen Fachmann.In a further embodiment, at least one burner tube has a surface structuring. For example, by a helical winding on the glass surface of the gas stream can be formed into a helix. This is particularly advantageous in terms of flame stability. As well as a structuring of the inside of the burner inner tube, this can also be done on the outside of the inner tube and / or on one of the surfaces of the outer tube. By structuring the glass surface at the interfaces of the double tube flow, a flow influencing of the fluid is possible in a suitable manner. As a result, an improvement of the outlet flow at the outlet nozzles can be achieved. Furthermore, this can increase the residence time of the fluid. In an analogous manner, the structure of a multi-tube burner opens up for a person skilled in the art.
Durch eine Strukturierung der äußeren Außenrohrglasoberfläche ist in einem Ausführungsbeispiel möglich, die Induktionsspule rutschfest an einer Position des Brenners zu fixieren. Bei einer weiteren Ausführungsform ist durch eine geeignete Aussparung möglich, eine kleinere Spule zu verwenden und damit energieeffizienter zu arbeiten.By structuring the outer outer tube surface, it is possible in one embodiment to fix the induction coil in a non-slip manner at a position of the burner. In a further embodiment, it is possible by means of a suitable recess to use a smaller coil and thus to work more energy-efficiently.
Bei einer weiteren Ausführungsform weist das Innenrohr zumindest eine in den Innenraum führende innere Gasaustrittsöffnung auf. Hierdurch können insbesondere Precursoren in den Plasmastrom an einer geeigneten Stelle zugeführt werden.In a further embodiment, the inner tube has at least one inner gas outlet opening leading into the inner space. In this way, in particular precursors can be supplied to the plasma stream at a suitable location.
Der erfindungsgemäße Brenner soll nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen eines induktiv gekoppelten Doppelrohrplasmabrenners näher erläutert werden. Zur Verdeutlichung dienen die
Es zeigen:Show it:
Zur Gas- und Plasmagaszuführung ist ein Brennerfuß
Der Brennerkanal besteht aus einem Doppelrohr. Dieses Doppelrohr weist einen zum Brennerfuß hin offenen Querschnitt auf. Dieser offene Querschnitt bildet eine Gaseintrittsöffnung
Das Doppelrohr des Brennerkanals besteht aus einem Außenrohr
Bei einer Ausführungsform kann das erwärmte Fluid für andere, nicht unmittelbar an dem Brenner beteiligten Prozesse verwendet werden. Es wird in diesem Fall dann nicht mehr dem Brenner zugeführt.In one embodiment, the heated fluid may be used for other processes not directly involved in the burner. It is then no longer supplied to the burner in this case.
Der in
Der so gebildete Grundaufbau kann in verschiedener Weise abgewandelt werden. Die
Bei der Ausführungsform aus
Zur Beeinflussung des Strömung im Innenraum des Brennerkanals weist das Innenrohr eine innere Ausformung
Die Befestigung des Brennerkanals in der Anordnung aus Brennerfuß und Induktionsspule erfolgt wie bei der Ausführungsform aus
In einem Ausführungsbeispiel bilden die Spule und der Brennerfuss eine feste und unveränderbare Anordnung. In one embodiment, the coil and the burner foot form a fixed and unchangeable arrangement.
Bei dem Ausführungsbeispiel ist die Spule unabhängig vom Brenner angebracht und bildet ein separates Bauelement. Bei der Darstellung nach
Bei der Ausführungsform aus
In einem weiteren Ausführungsbeispiel ist um das innere Brennerrohr wenigstens ein temperaturbeständiger Schlauch bzw. ein Rohr wickelförmig zumindest abschnittsweise herumgelegt. (
Es ist weiterhin vorgesehen, dass diese Wicklung an die Anzahl der späteren Düsen polyfilar vorzugsweise bei einer zweidüsigen Anordnung bifilar erfolgt. Desweiteren besteht die Möglichkeit einer Mehrfachwicklung der mono- bzw. polyfilaren Anordnung. Die Anzahl und die Höhe der Wicklungen (L) sind variabel und können sowohl in längsrichtung abschnittsweise an einer bestimmten Position (M) oder auch über die gesamte Brennerlänge verlaufen (
Die Fluide der einzelnen Schläuche bzw. Rohre können, müssen aber nicht gleiche chemische Zusammensetzung haben. Das Material der Schläuche bzw. Rohre ist dem entsprechenden Verwendungszweck geeignet vom Fachmann anzupassen. Als temperaturbeständige Materialien sind Metall (beispielsweise Kupfer, Stahl oder Aluminium) – bzw. Glasrohre oder Kunststoffschläuche verwendbar, wobei bei der Nutzung des Brenners mit einem induktiv gekoppeltem Plasma vorzugsweise dielektrische Materialien verwendet werden sollten.The fluids of the individual hoses or pipes can, but need not have the same chemical composition. The material of the hoses or pipes is suitable for the appropriate purpose to be adapted by the skilled person. As temperature-resistant materials are metal (for example, copper, steel or aluminum) - or glass tubes or plastic hoses used, with the use of the burner with an inductively coupled plasma preferably dielectric materials should be used.
In einer Ausführungsform ist es vorgesehen in den Brennerfuss, der vorzugsweise aus einem Metallkörper besteht, durch Einbringung von Kanälen und/oder Gitterstrukturen innerhalb, die von dem Fluid durchströmt werden, und/oder Umwicklungen außerhalb, die Wärme in das Fluid zu überführen. In einer bevorzugten Ausführungsform wird ein Mikrowärmetauscher in den Brennerfuss mit integriert.In one embodiment, it is provided in the burner foot, which preferably consists of a metal body, by introducing channels and / or grid structures within which are traversed by the fluid, and / or wraps outside, to transfer the heat into the fluid. In a preferred embodiment, a micro heat exchanger is integrated into the burner foot.
Der Gegenstand der Erfindung wurde anhand von beispielhaften Ausführungsformen erläutert. Im Rahmen fachmännischen Handelns sind weitere Ausführungsformen möglich. So ist die Verwendung dieses Brenners nicht auf Erzeugung von induktiv gekoppelte Plasmen beschränkt. In analoger Weise kann dieses Prinzip auch auf andere Arten von Plasmen (dielektrische Barriereentladung, Mikrowellenplasmen, Plasmajets etc) bzw. Beschichtungsverfahren wie OVD Verfahren angewendet werden, wobei der Brennerfuss in geeigneter Weise modifiziert werden muss und die Induktionsspule entfällt. Für den Betrieb dieses Brenners ist kein besonderer Außendruck notwendig, so dass sowohl Vakuumverfahren als auch Atmosphären bzw. Hochdruckanwendungen möglich sind. Ebenfalls möglich ist die Nutzung dieses Brenners für Flammverfahren bzw. CVD-Verfahren. Dabei wird im Inneren ein Brennmedium verbrannt. Die Zufuhr des durch die Abstrahlung der Hitze vorgewärmten Precursors bzw. der Precursoren und deren Gemischen kann entweder direkt mit dem Brennmedium – also durch den Brennerkopf selber (
In einer Ausführungsform wird das erwärmte Fluid nicht dem Brennprozess als Precursor und/oder Brennmittel und/oder Arbeitsgas zugeführt, sondern für einen anderen Prozess weiter verwendet.In one embodiment, the heated fluid is not supplied to the combustion process as a precursor and / or fuel and / or working gas, but further used for another process.
Das Fluid besteht in einer weiteren Ausführungsform aus wenigstens einer der nachfolgenden Komponenten und/oder Gemischen und/oder Emulsionen und/oder Suspensionen aus diesen:
Glasmatrixbuildner vorzugsweise ein Si-Donor insbesondere SiCl4 und/oder Si-Organyl und/oder SiO2,
F-Donor vorzugsweise SF6, CxHyFz, NF3,
Dotierungsmittel beinhaltend Verbindungen und/oder Gemische von Haupt- und/oder Nebengruppenelementen und/oder Selten Erden Elementen vorzugsweise bestehend aus den Elementen Na, Li, K, Ge, W, Al, As, B, Sb, P, Nd, Ce, Yb, Ho, Cr, Ti, Ag, Ru, Rh, Ir, Au, Pt, Sm, Er, Y, V, Sc, Lu, Pr
Lösungsmittel wie vorzugsweise Wasser, Ethanol, Aceton, Isopropanol, Essigester, Diethylether, Methanol, Acetonitril, Toluol, Chloroform, Methylenchlorid, Tetrachlorkohlenstoff,
Brennmittel wie Kohlenwasserstoffe vorzugsweise Methan, Propan, Butan, Acetylen, Ethylen,
Prozessgase wie vorzugsweise N2, O2, Ar, He, H2 bzw. deren Derivaten wie NxOy, NF3 In a further embodiment, the fluid consists of at least one of the following components and / or mixtures and / or emulsions and / or suspensions of these:
Glass matrix builder preferably a Si donor, in particular SiCl 4 and / or Si-organyl and / or SiO 2 ,
F donor preferably SF 6 , C x H y F z , NF 3 ,
Doping agent containing compounds and / or mixtures of main and / or subgroup elements and / or rare earth elements preferably consisting of the elements Na, Li, K, Ge, W, Al, As, B, Sb, P, Nd, Ce, Yb , Ho, Cr, Ti, Ag, Ru, Rh, Ir, Au, Pt, Sm, Er, Y, V, Sc, Lu, Pr
Solvents such as preferably water, ethanol, acetone, isopropanol, ethyl acetate, diethyl ether, methanol, acetonitrile, toluene, chloroform, methylene chloride, carbon tetrachloride,
Combustibles such as hydrocarbons, preferably methane, propane, butane, acetylene, ethylene,
Process gases such as preferably N 2 , O 2 , Ar, He, H 2 or their derivatives such as N x O y , NF 3
Das Fluid kann sowohl gasförmige als auch flüssige Bestandteile enthalten.The fluid may contain both gaseous and liquid components.
Die Strömungsrichtung des Fluids kann zum Brennerfuss hin oder weg erfolgen. In einem Ausführungsbeispiel wird das in Richtung Brennerfuss fließende Fluid durch nach innen gerichtete Öffnungen des Brennerfusses in den Brennerinnenraum eingeführt.The direction of flow of the fluid may be toward or away from the burner foot. In one embodiment, the fluid flowing in the direction of the burner foot is introduced into the burner interior through inwardly directed openings of the burner foot.
Brenner dieser Art sind insbesondere zu Herstellung von Beschichtungen insbesondere von Quarzglas bzw. dotiertem Quarzglas auf geeigneten Substraten wie Glas, Graphit, Keramik und/oder Metall vorgesehen. In effizienter Weise lassen sich durch Brenner dieser Art Halbzeuge für die optische Industrie, vor allem Preformen und/oder Stäbe und/oder Rohre für Lichtwellenleiter herstellen. Aber auch Gläser basierend auf einem anderen Glasbildner wie Al, Ge sind möglich und können vom Fachmann entsprechend verwendet werden.Burners of this type are intended in particular for producing coatings, in particular quartz glass or doped quartz glass, on suitable substrates such as glass, graphite, ceramic and / or metal. Burners of this type can be used to efficiently produce semi-finished products for the optical industry, in particular preforms and / or rods and / or tubes for optical waveguides. But also glasses based on another glass former such as Al, Ge are possible and can be used accordingly by the skilled person.
Weitere Verwendungen und Ausführungsformen ergeben sich insbesondere aus den Unteransprüchen.Further uses and embodiments emerge in particular from the subclaims.
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
- 11
- Brennerkanal in DoppelrohrformBurner duct in double tube form
- 22
- Innenrauminner space
- 33
- Induktionsspuleinduction coil
- 3a3a
- Spulenwicklungcoil winding
- 3b3b
- Verbundkörpercomposite body
- 44
- Brennerfußburner stand
- 4a4a
- Gaszuführunggas supply
- 4b4b
- BrennerkanalhalterungBurner duct holder
- 55
- GaseintrittsöffnungGas inlet opening
- 5a5a
- Verschlussshutter
- 66
- Außenrohrouter tube
- 77
- Innenrohrinner tube
- 88th
- Gasaustrittgas outlet
- 99
- Eindellungdenting
- 1010
- Zünddrahtignition wire
- 1111
- ZünddrahtrohrZünddrahtrohr
- 1212
- Innere AusformungInner shaping
- 1313
- Innerer GasaustrittInner gas outlet
Claims (15)
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102010050082.8A DE102010050082B4 (en) | 2010-09-15 | 2010-10-29 | burner |
PCT/EP2010/068113 WO2012034605A1 (en) | 2010-09-15 | 2010-11-24 | Torch |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102010045393 | 2010-09-15 | ||
DE102010045393.5 | 2010-09-15 | ||
DE102010047534.3 | 2010-10-05 | ||
DE102010047534 | 2010-10-05 | ||
DE102010050082.8A DE102010050082B4 (en) | 2010-09-15 | 2010-10-29 | burner |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102010050082A1 true DE102010050082A1 (en) | 2012-03-15 |
DE102010050082B4 DE102010050082B4 (en) | 2017-04-27 |
Family
ID=45756174
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102010050082.8A Active DE102010050082B4 (en) | 2010-09-15 | 2010-10-29 | burner |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102010050082B4 (en) |
WO (1) | WO2012034605A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011107536A1 (en) * | 2011-03-17 | 2012-10-18 | J-Plasma Gmbh | Burner e.g. inductively coupled plasma torch for preparation of semi-finished material for bend-insensitive optical fiber, has porous structure through which fluid is passed in space between tubular channel and outer envelope |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103203532B (en) * | 2013-04-28 | 2016-03-02 | 昆山日皓焊切器材有限公司 | A kind of air-cooled welding gun |
CN107655004B (en) * | 2017-09-18 | 2019-02-22 | 徐州工程学院 | A kind of spiral micro-burner for carbon tetrachloride processing equipment |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3296410A (en) * | 1962-06-20 | 1967-01-03 | Atomic Energy Authority Uk | Induction coupled plasma generators |
GB1091498A (en) * | 1965-06-02 | 1967-11-15 | British Titan Products | Gas heating apparatus |
US3428771A (en) * | 1964-11-20 | 1969-02-18 | British Titan Products | Plasma producing apparatus |
US3694618A (en) * | 1971-08-03 | 1972-09-26 | Humphreys Corp | High pressure thermal plasma system |
US4794230A (en) * | 1984-02-16 | 1988-12-27 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Low-pressure water-cooled inductively coupled plasma torch |
DE10231739B4 (en) * | 2002-07-13 | 2004-10-28 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Induction plasma torch device |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3407281A (en) * | 1967-09-20 | 1968-10-22 | Cabot Corp | Plasma producing apparatus |
CA871894A (en) * | 1968-08-02 | 1971-05-25 | Canadian Titanium Pigments Limited | Plasma arc heating apparatus |
DE3627218C2 (en) * | 1985-11-01 | 1995-08-03 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Arrangement for improving the ignition of inductively coupled plasma torches |
JPH0693396B2 (en) * | 1987-11-27 | 1994-11-16 | 日本高周波株式会社 | Ignition method of high frequency plasma reactor |
FR2649850B1 (en) * | 1989-07-12 | 1993-10-01 | Gaz De France | PLASMA TORCH |
US5560844A (en) * | 1994-05-26 | 1996-10-01 | Universite De Sherbrooke | Liquid film stabilized induction plasma torch |
CN101389573B (en) * | 2005-12-29 | 2011-11-16 | 硅石技术责任有限公司 | Plasma torch for making synthetic silica |
JP5014324B2 (en) * | 2008-12-26 | 2012-08-29 | 信越化学工業株式会社 | High-frequency thermal plasma torch for solid synthesis |
-
2010
- 2010-10-29 DE DE102010050082.8A patent/DE102010050082B4/en active Active
- 2010-11-24 WO PCT/EP2010/068113 patent/WO2012034605A1/en active Application Filing
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3296410A (en) * | 1962-06-20 | 1967-01-03 | Atomic Energy Authority Uk | Induction coupled plasma generators |
US3428771A (en) * | 1964-11-20 | 1969-02-18 | British Titan Products | Plasma producing apparatus |
GB1091498A (en) * | 1965-06-02 | 1967-11-15 | British Titan Products | Gas heating apparatus |
US3694618A (en) * | 1971-08-03 | 1972-09-26 | Humphreys Corp | High pressure thermal plasma system |
US4794230A (en) * | 1984-02-16 | 1988-12-27 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Low-pressure water-cooled inductively coupled plasma torch |
DE10231739B4 (en) * | 2002-07-13 | 2004-10-28 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Induction plasma torch device |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011107536A1 (en) * | 2011-03-17 | 2012-10-18 | J-Plasma Gmbh | Burner e.g. inductively coupled plasma torch for preparation of semi-finished material for bend-insensitive optical fiber, has porous structure through which fluid is passed in space between tubular channel and outer envelope |
DE102011107536B4 (en) * | 2011-03-17 | 2017-05-04 | J-Plasma Gmbh | Burner, in particular inductively coupled plasma torch, preferably for the production of semi-finished products for bending-insensitive glass fibers |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102010050082B4 (en) | 2017-04-27 |
WO2012034605A1 (en) | 2012-03-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3011382A1 (en) | LOW PRESSURE GAS DISCHARGE LAMP | |
WO2008141723A1 (en) | Recuperator burner having flattened heat exchanger tubes | |
EP2743582A1 (en) | Burner tip and burner | |
DE102010050082B4 (en) | burner | |
DE10353540A1 (en) | Process for the plasma-supported coating of a tubular component comprises inserting a source containing coating material into the component, evacuating the inner chamber of the component, and producing a high frequency magnetic field | |
EP3114261B1 (en) | Heating apparatus for the production of carbon fibres | |
DE2418235A1 (en) | METAL FIBER MANUFACTURING PROCESS AND DEVICE | |
DE202010015512U1 (en) | burner | |
DE2835169C2 (en) | Injection probe for sulfur trioxide gas | |
DE3309394C2 (en) | Device for the production of hydrogen cyanide | |
DE3731168C2 (en) | Ozonizer for generating ozone by cold plasma for AC excitation in the kHz range and method for manufacturing the device | |
DE102009010497A1 (en) | Multi-nozzle tubular plasma deposition burner for the production of preforms as semi-finished products for optical fibers | |
DE2629962B1 (en) | DEVICE FOR SOUND ATTENUATION OF A RADIANT HEATING TUBE FOR AN INDUSTRIAL FURNACE | |
DE3827828C2 (en) | Heat exchanger | |
DE102010014056B4 (en) | Inductively coupled plasma torch | |
DE102011107536B4 (en) | Burner, in particular inductively coupled plasma torch, preferably for the production of semi-finished products for bending-insensitive glass fibers | |
EP2342522B1 (en) | Annealing furnace with heat exchanger | |
DE2112888C3 (en) | High frequency induction plasma torch and method of manufacture | |
DE2515607C2 (en) | Device for generating UV-C radiation with high spectral radiance | |
DE102016100625A1 (en) | Device for providing a process gas in a coating device | |
DE19959845B4 (en) | plasma generator | |
DE2237189C3 (en) | Tube reactor for the production of carbon black from acetylene by means of detonations | |
DE102019102955B3 (en) | Heat storage device and method for storing or providing heat by means of a heat storage device | |
AT256956B (en) | Superconducting power transmission line | |
DE102009049839B4 (en) | Gas evaporator for coating systems and method for its operation |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R138 | Derivation of utility model |
Ref document number: 202010015512 Country of ref document: DE |
|
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final | ||
R082 | Change of representative |
Representative=s name: EISENFUEHR SPEISER PATENTANWAELTE RECHTSANWAEL, DE |